專利名稱：加速度傳感器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于檢測XYZ三軸方向的加速度的加速度傳感器及其制造方法，特別是關(guān)于利用簡單的制造方法提高耐沖擊性的防止破壞的技術(shù)。
背景技術(shù)：
以往，作為實施防止破壞對策的加速度傳感器的相關(guān)技術(shù)，有例如下面文獻(xiàn)所記載的技術(shù)。
特開2004-198243號公報。
在該專利文獻(xiàn)1記載的加速度傳感器中，包括錘固定部；配置于上述錘固定部的周邊的周邊固定部；將上述錘固定部撓性地連接到上述周邊固定部上的梁部；設(shè)置在上述梁部表面的、具有壓電電阻效果的電阻元件；固定在上述錘固定部的錘部；為了離開外殼底面隔開規(guī)定間隔配置上述錘部、將上述周邊固定部固定在上述外殼(package)上的臺座部；配置在上述周邊固定部內(nèi)側(cè)且與上述外殼底面對置的位置上的、限制上述錘部的位移的止動部；以及設(shè)置在上述止動部上的鋁加強部件。
根據(jù)這樣的加速度傳感器，當(dāng)固定在錘固定部的錘部的加速度增加時，梁部撓曲，設(shè)置在該梁部表面的電阻元件的電阻值發(fā)生變化，根據(jù)該變化量，計算出加速度的大小及方向。
當(dāng)給錘部施加向下的加速度時，梁部撓曲而使錘部向下位移，但是，該錘部的底面停止在與外殼的底部接觸的位置，阻止其進(jìn)一步位移。另外，當(dāng)給錘部施加向上的加速度時，梁部撓曲而使錘部向上位移，但是，該錘部的外緣停止在與止動部接觸的位置，阻止其進(jìn)一步位移。特別是，在止動部上設(shè)置有鋁加強部件，所以，可以提高下落時的耐沖擊性(例如，從1.5m高度下落時，沖擊力相當(dāng)于6000G，鋁加強部件能消除該沖擊力)。
但是，專利文獻(xiàn)1記載的以往加速度傳感器，存在著以下問題。
在以往的止動結(jié)構(gòu)中，為了通過鋁加強部件加強止動部，借此得到例如6000G以上的耐沖擊性，需要至少堆積數(shù)十μm以上膜厚的鋁。但是，通過半導(dǎo)體制造工序中的濺射技術(shù)等來實現(xiàn)此目的則需要特別長的制造時間，生產(chǎn)效率降低。并且，必須使用用于形成加強部件的鋁的圖案用掩膜，不僅制造工序繁多，成本增大，而且制造工序繁雜。因此，希望使用簡易的方法，實現(xiàn)止動部的加強。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種通過將硅類橡膠等彈性粘接劑直接涂敷在止動部上，可使制造工序簡單化，材料利用率高的加速度傳感器及其制造方法。
為了解決上述課題，本發(fā)明的加速度傳感器，包括撓性地支承錘固定部的周邊固定部；固定在上述錘固定部上的錘部；為了與傳感器搭載部隔開規(guī)定間隔地配置上述錘部、而將上述周邊固定部固定在上述傳感器搭載部上的臺座部；配置在與上述傳感器搭載部對置的位置、限制上述錘部位移的止動部；其中，在上述止動部上，利用分配器(dispenser)等按一定量涂敷有固化性的彈性粘接劑(例如從液體固化為彈性體的硅類橡膠等)。
于是，當(dāng)固定于錘固定部的錘部上的加速度增加時，由于該錘部通過周邊固定部撓性地支承著，所以，相對該周邊固定部產(chǎn)生位移。錘部向傳感器搭載部側(cè)的位移由臺座高度和錘部的厚度之差限制。并且，錘部向外殼底面相反側(cè)的位移，由按一定間隔配置的止動部限制。這時，借助于涂敷在止動部上的彈性粘接劑，吸收并緩和該沖擊力，因而加強了止動部，提高了耐沖擊性。
另外，本發(fā)明加速度傳感器的制造方法，包括相對于由通過接合層粘合在一起的第1及第2半導(dǎo)體基板構(gòu)成的半導(dǎo)體晶片，在上述第1半導(dǎo)體基板上形成將機械應(yīng)變變換成電輸出的應(yīng)變檢測裝置的工序；在上述第1半導(dǎo)體基板上設(shè)置多個開口部，并形成錘固定部、周邊固定部、以具有撓性的方式將上述錘固定部連接到上述周邊固定部上的梁部、以及配置在上述周邊固定部的內(nèi)側(cè)的止動部的工序；將上述第2半導(dǎo)體基板的周邊作為臺座部保留下來，在形成錘部的內(nèi)側(cè)形成一定深度的凹部的工序；在上述第2半導(dǎo)體基板上的凹部中形成將上述臺座部與上述錘部分離的間隙，并將對應(yīng)于上述梁部的上述第2半導(dǎo)體基板的區(qū)域除去的工序；以及將上述錘固定部與上述錘部、及上述周邊固定部與上述臺座部分別接合的接合部位保留下來，除去上述止動部與上述錘部之間的上述絕緣膜的工序，其中，還設(shè)置有下述工序。
換句話說，在除去上述絕緣膜的工序之后，利用分配器，通過單點涂敷或多點涂敷，或通過規(guī)定方向的線狀涂敷，從上述止動部沿著上述周邊固定部上以一定量涂敷從液體固化為彈性體的硅類橡膠。借此，可簡化制造工序。
根據(jù)本發(fā)明，由于利用分配器等，在止動部上以一定量涂敷有硅類橡膠等的彈性粘接劑，因而，可通過彈性粘接劑吸收并抑制作用在止動部上的沖擊力等，加強止動部，提高了耐沖擊性等的機械強度。
由于通過單點涂敷將彈性粘接劑涂敷在止動部上等，因而，制造方法簡單，制造工序數(shù)目少，制造成本低。
在將彈性粘接劑分割成多個進(jìn)行多點涂敷的情況下，與單點涂敷相比，可將彈性粘接劑的高度抑制到比較低，能使安裝的外殼厚度更薄，而且，在更大范圍內(nèi)加強了止動部，提高了耐沖擊性。
在以線狀涂敷彈性粘接劑的情況下，與多點涂敷相比，可將彈性粘接劑的高度抑制到更低。這時，例如，如果在涂敷終點將分配器沿相反方向返回，從周邊固定部拉離，則能防止涂敷終點的彈性粘接劑的隆起，可薄且均勻地進(jìn)行涂敷。
如果使彈性粘接劑的頂部與外殼蓋的背面接觸，則可進(jìn)一步提高相對止動部的加強強度，同時，也能使外殼薄型化。


圖1是表示本發(fā)明實施例1的加速度傳感器的概略構(gòu)成圖。
圖2是省略了圖1加速度傳感器的一部分的立體圖。
圖3是圖1加速度傳感器的仰視圖。
圖4是表示圖1加速度傳感器的制造方法的工序圖(之一)。
圖5是表示圖1加速度傳感器的制造方法的工序圖(之二)。
圖6是表示圖1加速度傳感器的制造方法的工序圖(之三)。
圖7是表示圖1加速度傳感器的制造方法的工序圖(之四)。
圖8是表示本發(fā)明實施例2的加速度傳感器的概略俯視圖。
圖9是表示本發(fā)明實施例3的加速度傳感器的概略俯視圖。
具體實施例方式
加速度傳感器包括撓性地支承錘固定部的周邊固定部；固定在上述錘固定部上的錘部；為了與傳感器搭載部隔開規(guī)定間隔地配置上述錘部、而將上述周邊固定部固定在上述傳感器搭載部上的臺座部；以及配置在與上述傳感器搭載部對置的位置、以限制上述錘部位移的止動部。并且，在上述止動部上，使用分配器(dispenser)等涂敷一定量的固化性的彈性粘接劑(例如從液體固化成彈性體的硅類橡膠等)。
(構(gòu)成)圖1(a)～(c)是表示本發(fā)明實施例1的加速度傳感器的概略構(gòu)成圖。圖1(a)、(b)是省略了一部分的俯視圖，圖1(c)是圖1(b)中的A1-A2線剖視圖。圖2是省略了圖1加速度傳感器的一部分的立體圖，并且，圖3是圖1加速度傳感器的仰視圖。
該加速度傳感器，是通過絕緣性的接合層30，將厚度10μm左右的第1硅基板10和厚度525μm左右的第2硅基板20粘合成SOI(Silicon on Insulator)晶片，并在該晶片上進(jìn)行蝕刻等處理而形成的。
加速度傳感器單個的第1硅基板10，作成一邊為2.5mm左右的大致正方形，其內(nèi)側(cè)設(shè)置有4個槽11，借此形成周邊固定部12、錘固定部13、梁部14及止動部15的各個區(qū)域。周邊固定部12是設(shè)置在硅基板10周邊部上的寬500μm左右的區(qū)域。錘固定部13包括設(shè)置在硅基板10中央部的、一邊為700μm左右的大致正方形的中央錘固定部13a；以及連接在該中央錘固定部13a四角上的大致倒三角形的4個周邊錘固定部13b。在各個周邊錘固定部13b的周圍分別形成有槽11。周邊固定部12與中央錘固定部13a之間，由縱橫方向垂直地設(shè)置的寬400μm左右的4根梁部14連結(jié)著。在梁部14的表面上，形成具有根據(jù)機械應(yīng)變而改變電阻的壓電電阻效果的電阻元件16。
在周邊固定部12內(nèi)側(cè)的四角的區(qū)域，分別設(shè)置有大致直角三角形的止動部15，該各個止動部15以隔著槽11的方式與各個周邊錘固定部13b相對置。在各個止動部15上分別形成有多個小的開口部17。
另一方面，硅基板20具有對應(yīng)于硅基板10的周邊固定部12而在周邊設(shè)置的寬500μm左右的臺座部21、以及通過間隙22設(shè)置在該臺座部21的內(nèi)側(cè)的錘部23。錘部23具有與硅基板10的錘固定部13及止動部15的區(qū)域相對應(yīng)的形狀，包括對應(yīng)于中央錘固定部13a的棱柱狀的中央錘部23a；以及連接到該中央錘部23a的四角上、并與周邊錘固定部13b和止動部15對應(yīng)的4個棱柱狀的周邊錘部23b。在各周邊錘部23b之間，通過除去硅而形成4個槽24，該各個槽24分別對應(yīng)于硅基板10的各個梁部14。錘部23的厚度與臺座部21的厚度相比，要薄最大容許位移量(例如5μm)左右地形成。
硅基板10、20，利用與周邊固定部12對應(yīng)地保留的接合層30的氧化膜31和對應(yīng)于錘固定部13地保留的接合層30的氧化膜32而相互接合在一起。硅基板10的表面如圖1(c)所示，由絕緣性保護(hù)膜40包覆，在該保護(hù)膜40上的周邊固定部12的部位，形成由鋁鉑等形成的配線41，該配線41與各電阻元件16連接。
此外，如圖1(b)、(c)所示，在保護(hù)膜40上的各止動部15的部位上，為了加強該各止動部15，通過使用分配器的單點涂敷，分別涂敷有一定量(厚度為250μm以上)的作為固化性彈性粘接劑的例如硅類橡膠50。關(guān)于硅類橡膠50，希望具有優(yōu)良的機械性能和化學(xué)性能，而且當(dāng)為液體時，為能容易進(jìn)行一定量的涂敷的高粘度的糊狀，涂敷后具有固化為彈性體的特性。
這種構(gòu)成的加速度傳感器，用粘接劑等固定并安裝在傳感器搭載部上(例如圖1(c)所示的外殼60的底部61上)。
(制造方法)圖4～圖7是表示圖1加速度傳感器的制造方法的概略工序圖(之一、之二、之三、之四)，圖4、圖5是加速度傳感器的剖視圖，圖6是硅類橡膠的涂敷方法的示意圖，圖7是表示加速度傳感器的安裝例子的剖視圖。
下面，根據(jù)圖4～圖7，說明表示圖1加速度傳感器的制造方法例子的制造工序(1)～(14)。
(1)工序1預(yù)備粘合的SOI晶片，該晶片是借助于由厚4μm左右的氧化硅形成的接合層30，將厚10μm、體積電阻率6～8Ω/cm左右的N型硅基板10與厚525μm、體積電阻率16Ω/cm左右的硅基板20粘合而成的。
(2)工序2在硅基板10的表面上，在利用1000℃左右的加濕氣氛的熱氧化條件下，形成由厚0.4μm左右的氧化硅形成的保護(hù)膜40。
(3)工序3使用光刻蝕刻技術(shù)在保護(hù)膜40上設(shè)置開口部40a，借助于硼擴(kuò)散法，在硅基板10的表面上形成成為電阻元件16等的P型擴(kuò)散層18。進(jìn)一步，在擴(kuò)散層18的表面上利用CVD(Chemical VaporDeposition)法形成保護(hù)氧化膜40b。
(4)工序4使用光刻蝕刻技術(shù)在保護(hù)氧化膜40b進(jìn)行開口，形成電極取出口40c，使用金屬濺鍍技術(shù)，在保護(hù)膜40上堆積鋁。然后，使用光刻蝕刻技術(shù)蝕刻鋁，形成配線41。
(5)工序5使用PRD(Plasma Reactive Deposition)法，在保護(hù)膜40及其上面所形成的配線41的表面上，形成保護(hù)用硅氮化膜43。另外，在下面工序6以后的說明中，省略了該硅氮化膜43的圖示。
(6)工序6在硅氮化膜43上形成光致抗蝕劑，利用光刻蝕刻技術(shù)，形成劃分梁部14和止動部15的槽11，并且，形成開口部17，以在后續(xù)工序中除去處于周邊錘部23b與止動部15之間的接合層30。
(7)工序7在SOI晶片的背面，即硅基板20的表面上，利用CVD技術(shù)形成氧化膜44。以對應(yīng)于臺座部21的方式保留周邊氧化膜44，利用光刻蝕刻技術(shù)除去中央部的氧化膜44，形成開口部44a。并且，在開口部44a中，形成對應(yīng)于錘部23的光致抗蝕劑45。
(8)工序8將保留在周邊部的氧化膜44和光致抗蝕劑45作為蝕刻掩膜，利用氣割·蝕刻技術(shù)(GCETGas Chopping Etching Technology，所謂的Bosch法)，在硅基板20的表面進(jìn)行20μm左右的蝕刻，形成凹部20a。之后，僅除去光致抗蝕劑45。
(9)工序9將氧化膜44作為蝕刻掩膜，利用GCET，對硅基板20的表面追加5μm左右的蝕刻。借此，得到厚度比臺座部21薄5μm左右的錘部23。
(10)工序10
借助于光刻技術(shù)，形成用于形成硅基板20的臺座部21與錘部23之間的間隙22及槽24的蝕刻掩膜46。
(11)工序11利用GCET，形成硅基板20的間隙22及槽24。
(12)工序12將至工序11的處理結(jié)束的SOI晶片浸漬在緩沖氟酸中，對硅基板10、20之間的接合層20進(jìn)行蝕刻。這時，緩沖氟酸從設(shè)置在硅基板10的開口部17、硅基板20的間隙22及槽24流入，除去介于周邊錘部23b與止動部15之間的接合層30。
(13)工序13圖6是表示硅類橡膠50涂敷方法的示意圖。為了涂敷硅類橡膠50，使用例如分配器70。分配器70是尖端上帶有噴嘴71，一邊給裝填到內(nèi)部的高粘度糊狀的硅類橡膠50施加規(guī)定壓力，一邊從該噴嘴71供給一定量的硅類橡膠50的裝置。硅類橡膠50的涂敷條件(分配條件)例如表述為下述條件壓力400Kpa涂敷速度400msec噴嘴直徑150μm間隙g0.10mm硅類橡膠使用不能從開口部17流出的高粘度糊狀物質(zhì)。
在這樣的分配條件下，讓分配器70的噴嘴尖端接近由保護(hù)膜40包覆的止動部15的上面，隔開規(guī)定間隙g地從噴嘴71的尖端將糊狀硅類橡膠50按一定量供給并斷開(以單點打點)。借此，只將一滴(高度250μm以上)硅類橡膠50涂敷在止動部15上。在溫度為100℃～120℃下，放置30分鐘～1小時，使糊狀硅類橡膠50固化，變化成彈性體。因此，止動部15的部位由彈性體加強。
(14)工序14與通常的半導(dǎo)體制造方法一樣，從SOI晶片切出加速度傳感器芯片80，搭載在例如圖7所示的外殼60上。該外殼60的結(jié)構(gòu)是，內(nèi)部是中空的，內(nèi)部具有芯片搭載用的底部61，上端開口部用蓋62封住。在該安裝例子中，在底部61上固定有加速度傳感器控制用集成電路芯片(以下稱作“IC芯片”)81，其上層疊有加速度傳感器芯片80。并且，借助于電線82將加速度傳感器芯片80與IC芯片81及未圖示的外殼端子連接之后，如果用蓋62封住外殼60的上端開口部，則結(jié)束安裝工序。這時，如果是變成彈性體的硅類橡膠50的頂部與蓋62背面接觸的結(jié)構(gòu)，則能提高對止動部15加強的的加強強度，并也能實現(xiàn)外殼60的薄型化。
另外，也可以在工序13、14中，在從SOI晶片切出加速度傳感器芯片80并將該加速度傳感器芯片80固定在外殼60內(nèi)之后，再涂敷硅類橡膠50。另外，雖然在圖7中采用了層疊結(jié)構(gòu)，但是還可以在外殼60內(nèi)，將加速度傳感器芯片80及IC芯片81橫向并列地固定在底部61上，或者，將IC芯片81設(shè)置在外殼60的外部。
(動作)由上述制造方法制造出的加速度傳感器芯片80，以下述方式動作。
在容納于外殼60內(nèi)的加速度傳感器芯片80的錘部23上施加向下的加速度時，通過梁部14的撓曲，使該錘部23向下側(cè)位移。錘部23朝向下側(cè)的位移在該錘部23的底面與外殼60的底部61(在層疊結(jié)構(gòu)中，是IC芯片81的上部)接觸的位置停止，阻止其進(jìn)一步的位移。與此相對，當(dāng)給錘部23施加向上的加速度時，通過梁部14撓曲，該錘部23向上側(cè)的位移在周邊錘部23b與止動部15接觸的位置停止，阻止其進(jìn)一步的位移。這時，止動部15的位移借助于硅類橡膠50加強，特別是施加有強的沖擊力時，該沖擊力由硅類橡膠50吸收，因而，顯著地提高了耐沖擊性。
另一方面，在4個梁部14上所形成的電阻元件16的電阻，與該梁部14的撓曲對應(yīng)地變化。借此，基于4個電阻元件16的變化量，算出加速度的大小和方向。
(效果)在本實施例1中，具有下面的(i)～(iv)的效果。
(i)超過錘部23的向上側(cè)的容許量的位移，受到用硅類橡膠50加強的止動部15的阻止，超過向下側(cè)的容許量的位移，受到外殼60的底部61(在層疊結(jié)構(gòu)中，是IC芯片81的上部)的阻止。因此，能防止過大加速度引起的加速度傳感器的破壞。
(ii)與以往止動部通過鋁加強部件加強的結(jié)構(gòu)相比，本實施例1的借助于硅類橡膠50加強止動部15的結(jié)構(gòu)，由于通過使用分配器70的單點涂敷，能簡單且可靠地涂敷規(guī)定量的硅類橡膠50，所以，制造方法簡單、制造工序數(shù)目少，也降低了制造成本。
(iii)在圖1(a)所示的沒有加強止動部15的情況下，雖然耐沖擊性在例如2000G以下，但是，在如本實施例1的圖1(b)所示地在止動部15上涂敷有硅類橡膠50的情況下，耐沖擊性可以提高到例如6000G以上。
(iv)如果采用使硅類橡膠50的頂部與外殼60的蓋62的背面接觸的結(jié)構(gòu)，則在提高對止動部15的加強強度的同時，也能實現(xiàn)外殼60的薄型化。
圖8是表示本發(fā)明實施例2的角速度傳感器的概略俯視圖，與表示實施例1的圖1(b)中的要素共用的要素上標(biāo)有相同的標(biāo)記。
在本實施例2中，借助于分配器70，在止動部15上以多點涂敷(例如3點涂敷50-1～50-3)硅類橡膠50，對止動部15加強。其他構(gòu)成和制造方法與實施例1相同。
在實施例1中，由于以單點涂敷硅類橡膠50，該硅類橡膠50的高度例如250μm以上，這是阻礙外殼60薄型化的主要原因。為了消除這一缺陷，在本實施例2中，將由分配器70進(jìn)行的硅類橡膠50的涂敷分割成多個，進(jìn)行多點涂敷。借此，例如，可將硅類橡膠50-1～50-3的高度抑制得較低，例如為150μm左右，所以，能使外殼60的厚度更薄。而且，也能在更大范圍加強止動部15，提高了耐沖擊性。
圖9是表示本發(fā)明實施例3的角速度傳感器的概略俯視圖，與表示實施例2的圖8中的要素共用的要素標(biāo)有相同的標(biāo)記。
在本實施例3中，借助于分配器70，從止動部15上沿著周邊固定部12的上面，以線狀涂敷硅類橡膠50，從而加強止動部15和周邊固定部12。作為涂敷方法，例如圖6所示，如果讓分配器70從止動部15向周邊固定部12的方向引線，則能將硅類橡膠50涂敷成線狀。這時，將分配器70在涂敷終點沿相反方向返回，并且拉離周邊固定部12拉開，就能防止涂敷終點的硅類橡膠50A的隆起，可均勻地進(jìn)行涂敷。
另外，圖9中，雖然沒有將硅類橡膠50A以環(huán)狀涂敷，設(shè)置有一部分未涂敷的部位，但是，這是為了不妨礙設(shè)置在例如周邊固定部12上圖中未示的引出端子部分等。
在本實施例3中，由于使用分配器70以線狀涂敷硅類橡膠50來加強，所以，與實施例2相比，能將高度抑制到更低的左右。
本發(fā)明并不限于上述實施例，可以變更為各種形式。作為該應(yīng)變例的實施例4，例如，是下面的(a)～(c)的尺寸。
(a)加速度傳感器的形狀不限于正方形。還可以是長方形或圓形。另外，硅基板10、20等的尺寸，也不限于例示的形式。
(b)為了加強止動部15等，作為固化性的彈性粘接劑，雖然使用硅類橡膠50、50-1～50-3、50A，但是，如果是從高粘度的糊狀變化為彈性體的粘接劑，機械或化學(xué)特性優(yōu)異，那么其他材料也可以。
(c)加速度傳感器的制造方法或安裝方法，也不限于例示的方法。
權(quán)利要求
1.一種加速度傳感器，包括撓性地支承錘固定部的周邊固定部；固定在所述錘固定部上的錘部；為了與傳感器搭載部隔開規(guī)定間隔地配置所述錘部、而將所述周邊固定部固定在所述傳感器搭載部上的臺座部；配置在與所述傳感器搭載部的底面對置的位置、限制所述錘部位移的止動部，其特征在于，在所述止動部上按一定量涂敷有固化性的彈性粘接劑。
2.一種加速度傳感器，包括第1基板，一體地形成有錘固定部、配置在所述錘固定部的周邊的周邊固定部、撓性地將所述錘固定部連接到所述周邊固定部上的梁部、配置在所述周邊固定部的內(nèi)側(cè)以限制錘部的位移的止動部、以及設(shè)置在所述梁部表面上的應(yīng)變檢測元件；第2基板，一體地形成有所述錘部和臺座部，所述錘部具有大于所述錘固定部的面積，而且，較所述臺座部的厚度要薄容許位移量地形成，所述臺座部通過規(guī)定間隙配置在所述錘部的周邊，用于固定在傳感器搭載部上；以及接合層，具有相當(dāng)于所述錘部的容許位移量的厚度，將所述錘固定部與所述錘部、以及所述周邊固定部與所述臺座部分別接合；其特征在于，在所述止動部上按一定量涂敷有固化性的彈性粘接劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2記載的加速度傳感器，其特征在于，所述彈性粘接劑，從所述止動部上面沿著所述周邊固定部的上面以一定量涂敷。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2記載的加速度傳感器，其特征在于，所述彈性粘接劑是從液體固化為彈性體的硅類橡膠，利用分配器，通過單點涂敷或多點涂敷，將所述硅類橡膠以一定量涂敷在所述止動部上。
5.根據(jù)權(quán)利要求3記載的加速度傳感器，其特征在于，所述彈性粘接劑是從液體固化為彈性體的硅類橡膠，利用分配器，通過規(guī)定方向的線狀涂敷，從所述止動部上面沿著所述周邊固定部上面，以一定量涂敷所述硅類橡膠。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5的任一項記載的加速度傳感器，其特征在于，傳感器容納用外殼的蓋從所述彈性粘接劑的上面與之接觸。
7.一種加速度傳感器的制造方法，包括以下工序相對于由通過接合層粘合在一起的第1及第2半導(dǎo)體基板構(gòu)成的半導(dǎo)體晶片，在所述第1半導(dǎo)體基板上形成將機械應(yīng)變變換成電輸出的應(yīng)變檢測裝置的工序；在所述第1半導(dǎo)體基板上設(shè)置多個開口部，并形成錘固定部、周邊固定部、以具有撓性的方式將所述錘固定部連接到所述周邊固定部上的梁部、以及配置在所述周邊固定部的內(nèi)側(cè)的止動部的工序；將所述第2半導(dǎo)體基板的周邊作為臺座部保留下來，在形成錘部的內(nèi)側(cè)形成一定深度的凹部的工序；在所述第2半導(dǎo)體基板上的凹部中形成將所述臺座部與所述錘部分離的間隙，并將對應(yīng)于所述梁部的所述第2半導(dǎo)體基板的區(qū)域除去的工序；以及將所述錘固定部與所述錘部、及所述周邊固定部與所述臺座部分別接合在一起的接合部位保留下來，除去所述止動部與所述錘部之間的所述絕緣膜的工序，其特征在于，還設(shè)有以下工序在除去所述絕緣膜的工序之后，利用分配器，通過單點涂敷或多點涂敷，將從液體固化為彈性體的硅類橡膠以一定量涂敷在所述止動部上。
8.一種加速度傳感器的制造方法，包括以下工序相對于由通過接合層粘合在一起的第1及第2半導(dǎo)體基板構(gòu)成的半導(dǎo)體晶片，在所述第1半導(dǎo)體基板上形成將機械應(yīng)變變換成電輸出的應(yīng)變檢測裝置的工序；在所述第1半導(dǎo)體基板上設(shè)置多個開口部，并形成錘固定部、周邊固定部、以具有撓性的方式將所述錘固定部連接到所述周邊固定部上的梁部、以及配置在所述周邊固定部的內(nèi)側(cè)的止動部的工序；將所述第2半導(dǎo)體基板的周邊作為臺座部保留下來，在形成錘部的內(nèi)側(cè)形成一定深度的凹部的工序；在所述第2半導(dǎo)體基板上的凹部中形成將所述臺座部與所述錘部分離的間隙，并將對應(yīng)于所述梁部的所述第2半導(dǎo)體基板的區(qū)域除去的工序；以及將所述錘固定部與所述錘部、及所述周邊固定部與所述臺座部分別接合在一起的接合部位保留下來，除去所述止動部與所述錘部之間的所述絕緣膜的工序，其特征在于，還設(shè)有以下工序在除去所述絕緣膜的工序之后，利用分配器，通過規(guī)定方向的線狀涂敷，從所述止動部上面沿著所述周邊固定部上面以一定量涂敷從液體固化為彈性體的硅類橡膠。
9.根據(jù)權(quán)利要求8記載的加速度傳感器的制造方法，其特征在于，在前述以一定量涂敷的工序中，所述分配器從所述止動部上面沿著所述周邊固定部上面向所述規(guī)定方向移動，在涂敷終點沿相反方向返回，并且拉離所述周邊固定部，從而涂敷所述硅類橡膠。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用簡單的制造方法提高耐沖擊性的加速度傳感器，該加速度傳感器包括撓性地支承錘固定部(13)的周邊固定部(12)；固定在錘固定部(13)上的錘部(23)；為了與外殼底部(61)等傳感器搭載部隔開規(guī)定間隔地配置該錘部(23)、而將周邊固定部(12)固定在上述傳感器搭載部上的臺座部(21)；配置在與上述傳感器搭載部對置的位置、用于限制錘部(23)位移的止動部(15)。在止動部(15)等上，利用分配器(dispenser)等，按一定量直接涂敷有固化性的彈性粘接劑(例如從液體固化為彈性體的硅類橡膠(50)等)。因此，施加在止動部(15)上的沖擊力等通過彈性粘接劑吸收并抑制，加強了止動部(15)，提高了耐沖擊性等的機械強度。
文檔編號H01L29/84GK1793936SQ200510107009
公開日2006年6月28日 申請日期2005年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月22日
發(fā)明者池上尚克 申請人:沖電氣工業(yè)株式會社