專利名稱：用于半導體設備具有調節(jié)長度功能的舉升裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及微電子技術領域，具體涉及將半導體晶片從位于半導體加工室內的晶片座中舉升的機械裝置。
背景技術：
Lam公司(美國)曾發(fā)明一種用線傳動的舉升裝置，即通過鋼絲繩的張緊和松弛來完成針的升起和降落，如圖1所示。它是由升針1’、頂升裝置基體2’、緊定旋鈕3’、調節(jié)旋鈕及牽引繩4’等構件組成。該裝置同樣可以完成使晶片升降的動作操作，同時，在需要的情況下可調整舉升裝置的長度以及清洗和更換使用頻繁的升針1’。
由于該裝置是利用線傳動原理完成針的升起和落下，于是還需要在牽引繩的末端安裝一實現(xiàn)頂針運動的傳動裝置，如圖2所示。它是由真空氣缸5’、緊定旋鈕6’、調節(jié)螺母7’、緊定調節(jié)防松螺母8’、行程調節(jié)旋鈕9、行程調節(jié)防松螺母10’、定位旋鈕11’、套頭12’、繩套13’等構件組成。由于需要安裝三套舉升裝置才能實現(xiàn)對晶片的升降，因此在傳動裝置上需安裝三套舉升機構，再將它們固定在基座上，并由氣缸帶動，牽引鋼絲繩張緊或松弛，從而完成升針的升降。
從上所述的機械裝置，雖然可以完成一套舉升裝置所要完成的若干功能，但由于機構本身限制，即要利用繩傳動原理，就必須引入三根包裹塑料層的鋼絲繩，同時，還要考慮將他們緊固、限位，從而導致結構設計過于復雜，另外，鋼絲繩之間相互地纏繞也使得維護變得相對困難。

發(fā)明內容
(一)要解決的技術問題本發(fā)明的目的是提供一種機構簡單，安裝維護簡便靈活，使用方便的具有調節(jié)長度功能的舉升裝置。
(二)技術方案為了達到上述目的，本發(fā)明采取以下方案本發(fā)明包括套筒、套筒內的升針，還包括氣缸，安裝在氣缸的活塞桿上的卡盤以及可調節(jié)地連接到卡盤上的直線往復傳動機構。
其中，所述的直線往復傳動機構包括設置在所述套筒中軸線位置的導向桿、套裝在上的導向塊以及安裝在導向塊和套筒之間的內套筒，其中內套筒的外端部與套筒之間密封連接，導向桿上設有凸環(huán)，所述凸環(huán)與內套筒之間密封連接一波紋管。
其中，所述導向桿端部裝有螺紋調節(jié)旋鈕，螺紋調節(jié)旋鈕配合在卡盤的安裝孔內，其兩端部分別裝有緊定螺母。
其中，所述升針插接在導向桿前端部固定孔內。
其中，所述升針通過環(huán)形彈簧與導向桿連接在一起。
其中，所述直線往復傳動機構為導軌式傳動機構。
(三)有益效果本發(fā)明與已有技術相比，由于采取以上技術方案，具有以下優(yōu)點1)通過整個舉升裝置實現(xiàn)晶片的升降；2)通過螺紋調節(jié)旋鈕可在一定范圍內自由調節(jié)舉升裝置的長度；3)可對調整后升針的長度進行緊鎖，防止其在舉升過程中發(fā)生松動；4)可方便對針頭進行拆卸，使清洗、更換變得更加方便；5)整套舉升裝置結構簡單，維護方便。


圖1是現(xiàn)有技術產品立體圖；圖2是現(xiàn)有技術產品工作安裝狀態(tài)立體圖；圖3是本發(fā)明的直線往復傳動機構結構示意圖；圖4是本發(fā)明的一種安裝使用狀態(tài)立體圖；圖5是本發(fā)明波紋管部件的結構示意圖。
圖中
1‘、升針；2‘、頂升裝置基體；3’、緊定旋鈕；4‘、牽引繩；5‘、真空氣缸；6’、緊定旋鈕；7‘、調節(jié)螺母；8’、緊定調節(jié)放松螺母；9‘、行程螺紋調節(jié)旋鈕；10‘、行程調節(jié)放松螺母；11’、定位旋鈕；12‘、套頭；13’、繩套；1、升針；2、套筒；3、波紋管；4、導向塊；5、螺紋調節(jié)旋鈕；6、緊定螺母；7、三爪卡盤；8、氣缸；9、導向桿；10、內套筒；11、凸環(huán)；12、固定孔。
具體實施例方式
以下實施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。
一種用于半導體設備具有調節(jié)長度功能的舉升裝置，如圖3所示，包括升針1和套筒2，螺紋調節(jié)旋鈕5、緊定螺母6，直線往復傳動機構、三爪卡盤7、氣缸8。所述直線往復傳動機構包括設置在所述套筒中軸線位置的導向桿9、套裝在上的導向塊4以及安裝在導向塊4和套筒2之間的內套筒10，其中內套筒10的外端部與套筒2之間密封連接；導向桿9上設有凸環(huán)11，波紋管3的一端與導向桿9上的凸環(huán)11焊接，另一端與內套筒10焊接。
螺紋調節(jié)旋鈕5在直線往復傳動機構下端，通過緊定螺母6與三爪卡盤7連接，三爪卡盤7與氣缸8連接。
升針1與直線往復傳動機構能采用插接的連接形式，即通過導向桿9上的固定孔12固定；也能采用環(huán)形彈簧的連接形式。所述的直線往復傳動機構能夠采用導軌式傳動機構。
本發(fā)明能夠起到晶片提升的作用。如圖4所示，具體來說，首先直線往復傳動機構固定在三爪卡盤7上，然后可根據(jù)實際使用的需要調整螺紋調節(jié)旋鈕5，使整個升降裝置的長度達到使用要求，再將螺紋調節(jié)旋鈕5兩側的緊定螺母6鎖緊，并將三套相同的直線往復傳動機構固定在與氣缸8相聯(lián)結的三爪卡盤7上。此時，這三套直線往復傳動機構便可在氣缸8的作用下完成升降動作。整套機構可以實現(xiàn)晶片的升起或降落。
當本發(fā)明使用一段時間后，升針1部分可能會發(fā)生沾污或磨損，產生一定量的顆粒，污染晶片。此時，可從導向桿固定孔中拔出升針1，完成升針1的清洗或更換，而且，能夠很好地保證升針1與導向桿固定孔的連接，不至于升針1松動。
通過螺紋調節(jié)旋鈕5可在一定范圍內自由調節(jié)本發(fā)明的長度；可對調整后的舉升裝置的長度進行緊鎖；升針與導向桿固定孔之間的插接或環(huán)形彈簧的連接，能防止其在舉升過程中發(fā)生松動；可方便對升針進行拆卸，使清洗、更換變得更加方便。
權利要求
1.一種用于半導體設備具有調節(jié)長度功能的舉升裝置，包括套筒(2)、套筒內的升針(1)，其特征在于還包括氣缸(8)，安裝在氣缸(8)的活塞桿上的卡盤(7)以及可調節(jié)地連接到卡盤(7)上的直線往復傳動機構。
2.如權利要求1所述的一種用于半導體設備具有調節(jié)長度功能的舉升裝置，其特征在于所述的直線往復傳動機構包括設置在所述套筒(2)中軸線位置的導向桿(9)、套裝在上的導向塊(4)以及安裝在導向塊(4)和套筒(2)之間的內套筒(10)，其中內套筒(10)的外端部與套筒(2)之間密封連接，導向桿(9)上設有凸環(huán)，所述凸環(huán)與內套筒(10)之間密封連接一波紋管(3)。
3.如權利要求2所述的一種用于半導體設備具有調節(jié)長度功能的舉升裝置，其特征在于所述導向桿(9)端部裝有螺紋調節(jié)旋鈕(5)，螺紋調節(jié)旋鈕(5)配合在卡盤(7)的安裝孔內，其兩端部分別裝有緊定螺母(6)。
4.如權利要求2所述的一種用于半導體設備具有調節(jié)長度功能的舉升裝置，其特征在于所述升針(1)插接在導向桿(9)前端部固定孔內。
5.權利要求2所述的一種用于半導體設備具有調節(jié)長度功能的舉升裝置，其特征在于所述升針(1)通過環(huán)形彈簧與導向桿(9)連接在一起。
6.如權利要求1所述的一種用于半導體設備具有調節(jié)長度功能的舉升裝置，其特征在于所述直線往復傳動機構為導軌式傳動機構。
全文摘要
本發(fā)明涉及微電子技術領域，具體涉及將半導體晶片從位于半導體加工室內的晶片座中舉升的機械裝置。本發(fā)明公開的一種用于半導體設備具有調節(jié)長度功能的舉升裝置，包括套筒、套筒內的升針，還包括氣缸，安裝在氣缸的活塞桿上的卡盤以及可調節(jié)地連接到卡盤上的直線往復傳動機構。本發(fā)明結構簡單，安裝簡便靈活，不僅能夠很好地完成晶片的提升或落下，也可方便地調節(jié)舉升裝置的長度，維護起來也很方便。
文檔編號H01L21/687GK1851899SQ20051012638
公開日2006年10月25日 申請日期2005年12月8日 優(yōu)先權日2005年12月8日
發(fā)明者國欣 申請人:北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司