專利名稱：門閥裝置、處理系統(tǒng)及密封部件的更換方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在對(duì)半導(dǎo)體晶片等被處理體進(jìn)行規(guī)定處理的處理腔室中所使用的門閥裝置、以及具有多個(gè)該處理腔室的處理系統(tǒng)、和門閥裝置的密封部件的更換方法。
背景技術(shù)：
一般地，在半導(dǎo)體設(shè)備的制造工序中，反復(fù)對(duì)半導(dǎo)體晶片進(jìn)行各種處理，例如干式蝕刻、濺射、CVD(化學(xué)氣相沉積)等工序。上述各種處理大多在真空氣氛下進(jìn)行，對(duì)于進(jìn)行這種處理的處理腔室進(jìn)行晶片搬出搬入的搬入開口，在處理時(shí)由門閥進(jìn)行高氣密性的密封。
這種門閥裝置，例如在專利文獻(xiàn)1等中有所揭示。例如，在能夠抽真空的處理腔室的側(cè)壁上形成晶片能夠通過(guò)的大小的寬度的搬入開口，在該搬入開口處安裝門閥裝置。而且，在進(jìn)行工序時(shí)，由安裝有該門閥裝置的O形環(huán)等閥體來(lái)使上述搬入開口氣密性地關(guān)閉，在該狀態(tài)下進(jìn)行工序處理。
然而，在上述各種工序中，有使用腐蝕性氣體的處理，而且，即使在工序中不使用腐蝕性的氣體，為了去除在處理腔室內(nèi)粘附的各種不需要的膜和污染物等，也通過(guò)腐蝕性(蝕刻性)氣體進(jìn)行定期或不定期的清洗處理。在這種情況下，對(duì)于上述門閥裝置的密封部件來(lái)說(shuō)，雖然是逐漸的，但還是會(huì)受到上述腐蝕性氣體的影響而性能惡化，不僅如此，而且還會(huì)因與裝配面的接觸或者推壓所產(chǎn)生物理磨損而導(dǎo)致性能惡化，所以必須對(duì)該密封部件進(jìn)行定期或者不定期的更換。
然而，上述處理腔室一般是在一個(gè)共同的搬送室的周圍，分別通過(guò)門閥裝置連接有多個(gè)來(lái)設(shè)置，即工具集中化。上述門閥裝置的密封部件的更換操作，一般是使與其相連設(shè)置的處理腔室向大氣開放，在進(jìn)行維護(hù)操作的同時(shí)進(jìn)行。但是，如上所述，由于處理腔室內(nèi)向大氣開放，且為了進(jìn)行密封部件的更換而使得門閥裝置也向大氣開放，所以共同搬送室也就向大氣開放。其中，此時(shí)其它的處理腔室則由別的門閥裝置而關(guān)閉，在這種情況下，在維護(hù)操作結(jié)束后或密封部件更換后，雖然能夠?qū)Π崴褪覂?nèi)及處理腔室內(nèi)分別抽真空而回到規(guī)定的減壓氣氛，但是一旦向大氣開放后，則由于空氣中的水分及不純氣體等會(huì)粘附于內(nèi)壁面，所以，為了將這些粘附的水分及不純氣體去除就需要延長(zhǎng)抽真空的時(shí)間，從而會(huì)引起裝置利用率下降與生產(chǎn)能力的下降。
因此，為了解決上述問(wèn)題，例如專利文獻(xiàn)2所述，提出了具有兩個(gè)閥體的門閥裝置的方案。具體地說(shuō)，在門閥裝置內(nèi)設(shè)置具有各自獨(dú)立動(dòng)作的兩個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的閥體，在處理腔室內(nèi)維護(hù)時(shí)或?qū)Ρ┞队诟g性氣體的閥體一側(cè)的密封部件進(jìn)行更換時(shí)，由另一個(gè)閥體將共同搬送室一側(cè)的開口部氣密性地密封，即使是處理腔室內(nèi)向大氣開放，搬送室內(nèi)也能夠維持真空狀態(tài)。
專利文獻(xiàn)1(日本專利)特開平8-60374號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2(日本專利)特表2003-503844號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容但是，在上述相對(duì)于兩個(gè)閥體分別設(shè)置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的現(xiàn)有技術(shù)的門閥裝置中，不僅是閥體、就連驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)也必須分別設(shè)置成兩組。所以，存在有全體的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化，且裝置本身也大型化等所不希望出現(xiàn)的問(wèn)題。
此外，在更換密封部件時(shí)，必須分解劃分門閥裝置的劃分壁等，從而使得更換操作本身的工作量增大，且更換操作的時(shí)間延長(zhǎng)。
而且，在密封部件的更換時(shí)，門閥裝置內(nèi)必須向大氣開放，此時(shí)，還產(chǎn)生對(duì)門閥裝置內(nèi)造成污染、更換操作后抽真空的時(shí)間延長(zhǎng)等問(wèn)題。即，如果不使處理腔室向大氣開放，則不能進(jìn)行密封部件的更換。
本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題、為有效地解決上述問(wèn)題而提出的。
本發(fā)明的第一目的在于，提供一種即使是設(shè)置一個(gè)閥體也能夠在搬送室和處理腔室不向大氣開放的情況下進(jìn)行密封部件的更換的門閥裝置、處理系統(tǒng)以及密封部件的更換方法。
本發(fā)明的第二目的在于，提供一種通過(guò)設(shè)置兩個(gè)閥體而能夠在搬送室與處理腔室相隔離的狀態(tài)下進(jìn)行密封部件的更換的門閥裝置、處理系統(tǒng)以及密封部件的更換方法。
在本發(fā)明第一方面中的門閥裝置，其特征在于是安裝在用于對(duì)被處理體實(shí)施規(guī)定處理的處理腔室的搬入開口、使所述被處理體從真空狀態(tài)的搬送室通過(guò)、并開閉所述搬入開口的門閥裝置，其中，包括能夠開閉所述搬入開口而安裝的閥體；可裝卸地設(shè)置于所述閥體的表面，在由所述閥體開閉所述搬入開口時(shí)氣密地與裝配的裝配面接觸的密封部件；在該密封部件的外周、以距所述密封部件規(guī)定的間隔而包圍設(shè)置的維護(hù)用密封部件；維護(hù)用開口，形成為在裝配所述閥體時(shí)、在所述密封部件露出的狀態(tài)下，通過(guò)所述維護(hù)用密封部件而能夠氣密地密封的大??；可裝卸地氣密堵塞所述維護(hù)用開口的維護(hù)用開閉蓋；和能夠使所述閥體在所述搬入開口與所述維護(hù)用開口之間移動(dòng)而安裝的閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
這樣，由于在閥體上設(shè)置有工藝時(shí)的密封部件與在其外周的維護(hù)用密封部件，密封部件的更換能夠在由維護(hù)用密封部件將閥體裝配于維護(hù)用開口的狀態(tài)下進(jìn)行，所以能夠在門閥裝置內(nèi)以及搬送室不暴露于大氣的狀態(tài)下進(jìn)行密封部件的更換，使得更換操作能夠迅速地進(jìn)行。
在這種情況下，例如在本發(fā)明第二方面中，在所述閥體的表面或者由所述閥體開閉所述搬入開口時(shí)而裝配的裝配面上，形成有接觸回避臺(tái)階部，在將所述閥體裝配于所述搬入開口的裝配面時(shí)，用于避免所述維護(hù)用密封部件的接觸。
而且，例如在本發(fā)明第三方面中，在劃分所述維護(hù)用開閉蓋或者所述維護(hù)用開口的劃分壁上，設(shè)置有空隙供氣體系，將在所述維護(hù)用開閉蓋與裝配于所述維護(hù)用開口的裝配面上的所述閥體之間所形成的空隙內(nèi)恢復(fù)成大氣壓。
而且，在本發(fā)明第四方面中，在劃分所述維護(hù)用開閉蓋或者所述維護(hù)用開口的劃分壁上，設(shè)置有空隙真空排氣系統(tǒng)，將在所述維護(hù)用開閉蓋與裝配于所述維護(hù)用開口的裝配面上的所述閥體之間所形成的空隙內(nèi)抽成真空狀態(tài)。
而且，例如在本發(fā)明第五方面中，所述閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由閥體支撐部件與閥體移動(dòng)裝置所構(gòu)成，其中，所述閥體支撐部件可旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，使得能夠在遮斷所述被處理體的移動(dòng)軌跡的位置與不遮斷移動(dòng)軌跡的位置之間移動(dòng)；所述閥體移動(dòng)裝置設(shè)置于所述閥體支撐部件，并在其前端安裝有所述閥體而使其前進(jìn)以及后退。
而且，例如在本發(fā)明第六方面中，所述閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由閥體支撐部件與閥體移動(dòng)裝置所構(gòu)成，其中，所述閥體支撐部件可直線移動(dòng)，使得能夠在遮斷所述被處理體的移動(dòng)軌跡的位置與不遮斷移動(dòng)軌跡的位置之間移動(dòng)；所述閥體移動(dòng)裝置設(shè)置于所述閥體支撐部件，并在其前端安裝有所述閥體而使其前進(jìn)以及后退。
在本發(fā)明第七方面中的門閥裝置，其特征在于是安裝在用于對(duì)被處理體實(shí)施規(guī)定處理的處理腔室的搬入開口、使所述被處理體從真空狀態(tài)的搬送室通過(guò)、并開閉所述搬入開口的門閥裝置，其中，包括可開閉所述搬入開口而安裝的第一以及第二閥體；可裝卸地設(shè)置于所述第一及第二閥體的表面，在由所述第一以及第二閥體開閉所述搬入開口時(shí)可氣密地與裝配的裝配面接觸的密封部件；在所述第一以及第二閥體中的至少一個(gè)閥體的密封部件的外周、以距該密封部件規(guī)定的間隔而包圍設(shè)置的維護(hù)用密封部件；至少一個(gè)維護(hù)用開口，形成為在裝配設(shè)置有所述維護(hù)用密封部件的閥體時(shí)、在所述密封部件露出的狀態(tài)下，通過(guò)所述維護(hù)用密封部件而能夠氣密地密封的大?。豢裳b卸地氣密堵塞所述維護(hù)用開口的外側(cè)的維護(hù)用開閉蓋；和能夠使所述第一以及第二閥體在所述搬入開口與所述維護(hù)用開口之間選擇性地移動(dòng)而安裝的閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
這樣，設(shè)置有第一以及第二兩個(gè)閥體，至少一個(gè)閥體上除了密封部件之外還設(shè)置有維護(hù)用密封部件。由于密封部件的更換能夠在由維護(hù)用密封部件將具有維護(hù)用密封部件的閥體裝配于維護(hù)用開口的狀態(tài)下由維護(hù)用密封部件所密封，同時(shí)由另一閥體將與處理腔室相連通的搬出搬入口氣密地密封的狀態(tài)下進(jìn)行，所以，能夠在門閥裝置內(nèi)以及搬送室不暴露于大氣的狀態(tài)下進(jìn)行密封部件的更換，更換操作能夠迅速地進(jìn)行。
在這種情況下，例如在本發(fā)明第八方面中，在設(shè)置有維護(hù)用密封部件的閥體的表面或者在所述搬入開口的周圍的裝配面上，形成有接觸回避臺(tái)階部，在將設(shè)置有所述維護(hù)用密封部件的所述閥體裝配于所述搬入開口的裝配面上時(shí)，用于避免所述維護(hù)用密封部件的接觸。
而且，例如在本發(fā)明第九方面中，在劃分所述維護(hù)用開閉蓋或者所述維護(hù)用開口的劃分壁上，設(shè)置有空隙供氣體系，將在所述維護(hù)用開閉蓋與裝配于所述維護(hù)用開口的裝配面上的設(shè)置有所述維護(hù)用密封部件的閥體之間所形成的空隙內(nèi)恢復(fù)成大氣壓。
而且，例如在本發(fā)明第十方面中，在劃分所述維護(hù)用開閉蓋或所述維護(hù)用開口的劃分壁上，設(shè)置有空隙真空排氣系統(tǒng)，將在所述維護(hù)用開閉蓋與裝配于所述維護(hù)用開口的裝配面上的設(shè)置有所述維護(hù)用密封部件的閥體之間所形成的空隙內(nèi)抽成真空狀態(tài)。
而且，例如在本發(fā)明第十一方面中，所述閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由閥體支撐部件與第一以及第二閥體移動(dòng)裝置所構(gòu)成，其中，所述閥體支撐部件能夠在遮斷所述被處理體的移動(dòng)軌跡的位置與不遮斷移動(dòng)軌跡的位置之間直線移動(dòng)；所述第一以及第二閥體移動(dòng)裝置設(shè)置于所述閥體支撐部件，可使安裝于其前端的第一以及第二閥體在相互不同方向前進(jìn)以及后退。
而且，例如在本發(fā)明第十二方面中，在所述閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上安裝有用于抑止所述閥體的動(dòng)作的鎖定機(jī)構(gòu)。
而且，例如在本發(fā)明第十三方面中，所述維護(hù)用開閉蓋由透明板構(gòu)成。
由此，由于維護(hù)用開閉蓋是透明板，所以能夠觀察與確認(rèn)密封部件的惡化程度。
而且，例如在本發(fā)明第十四方面中，所述維護(hù)用開閉蓋具有用于目視確認(rèn)其內(nèi)部的觀察窗。
而且，例如在本發(fā)明第十五方面中，所述閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有由手動(dòng)將向著所述維護(hù)用開口的所述閥體裝配于所述維護(hù)用開口的裝配面的裝配裝置。
而且，例如在本發(fā)明第十六方面中，所述門閥裝置全體的周圍由框體所包圍。
本發(fā)明第十七方面中的被處理體的處理系統(tǒng)，其特征在于，包括能夠抽成真空的搬送室；用于對(duì)被處理體實(shí)施規(guī)定的處理的、設(shè)置在所述搬送室的周圍的處理腔室；設(shè)置在所述搬送室與所述處理腔室之間的、如第一至第十六方面中的任一個(gè)所述的門閥裝置；設(shè)置在所述搬送室內(nèi)、用于將所述被處理體向所述各處理腔室搬出搬入而能夠伸縮與旋轉(zhuǎn)的搬送機(jī)構(gòu)。
本發(fā)明第十八方面中的密封部件的更換方法，其特征在于是更換本發(fā)明任意方面中所述的門閥裝置的密封部件的更換方法，其中，包括密封工序，將閥體裝配于搬入開口的裝配面并氣密地密封；維護(hù)工序，使所述處理腔室內(nèi)對(duì)大氣開放，對(duì)所述腔室內(nèi)進(jìn)行維護(hù)；抽真空工序，在所述維護(hù)工序之后對(duì)所述處理腔室內(nèi)抽真空，達(dá)到真空氣氛；和密封部件更換工序，在所述抽真空工序進(jìn)行之間，在所述處理腔室與真空狀態(tài)的搬送室內(nèi)的壓力差達(dá)到規(guī)定值以下時(shí)，在所述閥體裝配于維護(hù)用開閉蓋并密封的狀態(tài)下將所述維護(hù)用開閉蓋取下，更換所述密封部件。
本發(fā)明第十九方面中的密封部件的更換方法，其特征在于在上述門閥裝置的密封部件的更換方法中，包括密封工序，將第一以及第二閥體內(nèi)的設(shè)置有維護(hù)用密封部件的閥體裝配于維護(hù)用開口的裝配面并氣密地密封，同時(shí)將另一閥體裝配于搬入開口的裝配面并氣密地密封；密封部件更換工序，將所述維護(hù)用開閉蓋取下，更換所述密封部件。
根據(jù)本發(fā)明的門閥裝置、處理系統(tǒng)以及密封部件的更換方法，能夠發(fā)揮以下的優(yōu)異作用與效果。
根據(jù)發(fā)明第一～第六、第十二～第十五方面，由于在閥體上設(shè)置有工藝時(shí)使用的密封部件與在其外周的維護(hù)用密封部件，密封部件的更換能夠在由維護(hù)用密封部件將閥體裝配于維護(hù)用開口的狀態(tài)下進(jìn)行，所以能夠在門閥裝置內(nèi)及搬送室不暴露于大氣的狀態(tài)下進(jìn)行密封部件的更換，更換操作能夠迅速地進(jìn)行。
根據(jù)發(fā)明第七～第十一、第十六方面，由于設(shè)置有第一及第二兩個(gè)閥體，至少一個(gè)閥體上除了密封部件之外還設(shè)置有維護(hù)用部件。由于密封部件的更換能夠在由維護(hù)用密封部件將具有維護(hù)用密封部件的閥體裝配于維護(hù)用開口的狀態(tài)下進(jìn)行。所以，能夠在門閥裝置內(nèi)及搬送室不暴露于大氣的狀態(tài)下進(jìn)行密封部件的更換，更換操作能夠迅速地進(jìn)行。
根據(jù)發(fā)明第十二方面，由于在閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)有鎖定機(jī)構(gòu)，所以能夠提高安全性。
根據(jù)發(fā)明第十三方面，由于維護(hù)用開閉蓋是透明板，所以能夠觀察與確認(rèn)密封部件的惡化程度。


圖1是表示使用本發(fā)明的門閥裝置的處理系統(tǒng)的一例的平面圖。
圖2是表示本發(fā)明的門閥裝置的第一實(shí)施例的安裝狀態(tài)的放大截面圖。
圖3是門閥裝置的俯視圖。
圖4是從前方表示閥體與閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的安裝狀態(tài)的立體圖。
圖5是從后方表示閥體與閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的安裝狀態(tài)的立體圖。
圖6是用于說(shuō)明門閥裝置的第一實(shí)施例動(dòng)作的動(dòng)作說(shuō)明圖。
圖7是表示密封部件的更換方法的工序圖。
圖8是用于說(shuō)明本發(fā)明的門閥裝置的第二實(shí)施例動(dòng)作的動(dòng)作說(shuō)明圖。
圖9是表示本發(fā)明的門閥裝置的第三實(shí)施例的截面圖。
圖10是表示本發(fā)明的門閥裝置的第四實(shí)施例的截面圖。
圖11是表示本發(fā)明的門閥裝置的第五實(shí)施例的截面圖。
圖12是表示本發(fā)明的門閥裝置的第六實(shí)施例的截面圖。
圖13是表示本發(fā)明的門閥裝置的第七實(shí)施例的截面圖。
圖14是表示將本發(fā)明的門閥裝置向搬送室內(nèi)一體組合裝配時(shí)的狀態(tài)的簡(jiǎn)要截面圖。
符號(hào)說(shuō)明2 處理系統(tǒng)4、4A～4D 處理腔室6 搬送室12、12A～12D 門閥裝置14 搬送機(jī)構(gòu)36 框體37 搬出搬入口
44、44A、44B閥體46 閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)48 閥體支撐部件66 密封部件68 維護(hù)用密封部件70 接觸回避臺(tái)階部72、72A、72B維護(hù)用開口74、74A、74B維護(hù)用開閉蓋80 空隙供氣系統(tǒng)88 空隙真空排氣系統(tǒng)94 移動(dòng)軌跡W 半導(dǎo)體晶片(被處理體)具體實(shí)施方式
以下，基于附圖，對(duì)本發(fā)明的門閥裝置、處理系統(tǒng)以及密封部件的更換方法加以詳細(xì)敘述。
第一實(shí)施例圖1是表示使用本發(fā)明的門閥裝置的處理系統(tǒng)的一例的平面圖；圖2是表示本發(fā)明的門閥裝置的第一實(shí)施例的安裝狀態(tài)的放大截面圖；圖3是門閥裝置的上面圖(俯視圖)；圖4是從前方表示閥體與閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的安裝狀態(tài)的立體圖；圖5是從后方表示閥體與閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的安裝狀態(tài)的立體圖；圖6是用于說(shuō)明門閥裝置的第一實(shí)施例動(dòng)作的動(dòng)作說(shuō)明圖；圖7是表示密封部件的更換流程的工序圖。
如圖1所示，該處理系統(tǒng)2主要包括多個(gè)(例如4個(gè))處理腔室4A、4B、4C、4D，相對(duì)于上述處理腔室4A～4D成為共通的六邊形的搬送室6，以及兩個(gè)負(fù)載鎖定室8A、8B。具體地說(shuō)，上述各處理腔室4A～4D能夠分別被抽成真空，同時(shí)，在處理腔室4A～4D內(nèi)分別設(shè)置有裝載作為被處理體的晶片W的裝載臺(tái)10A、10B、10C、10D，這里，在裝載有晶片W的狀態(tài)下來(lái)進(jìn)行各種處理(工序)。其中，該各種處理一般是在真空氣氛下進(jìn)行的，但根據(jù)處理的樣式也有在大體常壓下進(jìn)行的情況。上述各處理腔室4A～4D經(jīng)由本發(fā)明的門閥裝置12A、12B、12C、12D而分別與上述搬送室6的各邊相接。
此外，上述各搬送室6內(nèi)也可以進(jìn)行抽真空以及大氣壓恢復(fù)。而且，在該搬送室6內(nèi)，設(shè)置有用于搬送晶片W而能夠曲折以及旋轉(zhuǎn)的搬送機(jī)構(gòu)14，經(jīng)由開放的各門閥裝置12A～12D而能夠向各處理腔室4A～4D搬入、搬出晶片W。
而且，上述兩個(gè)負(fù)載鎖定室8A、8B，經(jīng)由門閥裝置16A、16B而與搬送室6相連接。該負(fù)載鎖定室8A、8B內(nèi)也能夠抽成真空以及恢復(fù)到大氣壓。而且，這些負(fù)載鎖定室8A、8B經(jīng)由門閥裝置18A、18B而與負(fù)載模塊20相接。在該負(fù)載模塊20上，配置有設(shè)置了收容多個(gè)晶片W的盒體的端口22。而且，在上述負(fù)載模塊20內(nèi)，沿著導(dǎo)軌26可自由行走地設(shè)置有可伸縮旋轉(zhuǎn)的搬送臂機(jī)構(gòu)24，從裝載在上述端口22上的盒體內(nèi)將晶片W裝入內(nèi)部，通過(guò)這樣能夠?qū)⑵浒崛胴?fù)載鎖定室8A、8B內(nèi)。而且，負(fù)載鎖定室8A、8B內(nèi)的晶片W由搬送室6內(nèi)的搬送機(jī)構(gòu)14而放入，能夠如上上述搬入各處理腔室4A～4D。而且，在搬出晶片時(shí)，可以通過(guò)與上述搬入路徑相反的路徑搬出。
接著，參照?qǐng)D2對(duì)設(shè)置于搬送室6與各處理腔室4A～4D之間的本發(fā)明的門閥裝置12A～12D加以說(shuō)明。由于這些門閥裝置12A～12D都是同樣的結(jié)構(gòu)，作為代表而用圖2表示作為門閥裝置12，而且以處理腔室4A～4D作為代表而表示作為處理腔室4。
如圖2所示，在劃分處理腔室4的側(cè)壁28上，形成有使晶片W通過(guò)而搬出搬入的細(xì)長(zhǎng)的搬入開口30，此外，在劃分搬送室6的側(cè)壁32上也形成開口34。而且，上述門閥裝置12，例如具有形成該外殼的、由A1所構(gòu)成的大體呈長(zhǎng)方體形狀的框體36，其截面大體為正方形。在該框體36的一側(cè)形成有與處理腔室4內(nèi)相連通的細(xì)長(zhǎng)的搬出搬入口37，在相反的一側(cè)形成有與搬送室6相連通的細(xì)長(zhǎng)的開口38。在該框體36與上述處理腔室4以及搬送室6的接合面上，分別由O形環(huán)40、42來(lái)保持氣密性。而且，在上述框體36內(nèi)的門閥驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)46上安裝設(shè)置有具有本發(fā)明特征的閥體44，可以根據(jù)需要裝配于上述搬出搬入口37，從而使其得到氣密性的密封。這里，由于上述搬出搬入口37與搬入開口30一體連接，所以通過(guò)上述搬出搬入口37的開閉也可以使搬入開口30開閉。
具體地，如圖4及圖5所示，閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)46具有形成“”字型的閥體支撐部件48，支撐軸50從該閥體支撐部件48的兩端分別向外側(cè)延伸。而且，該支撐軸50以與框體36的長(zhǎng)度方向的側(cè)壁氣密貫通的方式而可旋轉(zhuǎn)移動(dòng)地支撐。其中，在該支撐軸50的貫通部?jī)?nèi)存在有未圖示的磁流體密封等，使得在維持該密封性的狀態(tài)下，允許支撐軸50的旋轉(zhuǎn)。
而且，在該閥體支撐部件48上并排設(shè)置有能夠伸縮的、例如由氣缸所構(gòu)成的兩個(gè)閥體移動(dòng)裝置52，在該閥體移動(dòng)裝置52的前端安裝有板狀的上述閥體44。所以，通過(guò)該閥體移動(dòng)裝置52的伸縮，能夠使上述閥體44前進(jìn)以及后退。上述閥體移動(dòng)裝置52的伸縮驅(qū)動(dòng)，在這里是由壓縮空氣進(jìn)行的，因此，在上述閥體支撐部件48上形成與上述閥體移動(dòng)裝置52相連通的氣體流路56，該氣體流路56通過(guò)一方的支撐軸50而向外部引出。而且，在形成氣體流路56的支撐軸50上，安裝有由壓縮空氣動(dòng)作的轉(zhuǎn)動(dòng)裝置58，該轉(zhuǎn)動(dòng)裝置58上設(shè)置有使閥體移動(dòng)裝置52伸縮的伸縮用氣體供排端口60、和使閥體支撐部件48以規(guī)定的角度向著正反方向旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)用氣體供排端口62，可以根據(jù)需要進(jìn)行閥體移動(dòng)裝置52的伸縮以及閥體支撐部件48的旋轉(zhuǎn)。
這種情況下，如后所述，閥體支撐部件48在遮斷晶片的移動(dòng)軌道與不遮斷該移動(dòng)軌道的位置之間旋轉(zhuǎn)移動(dòng)。而且，上述閥體移動(dòng)裝置52的周圍設(shè)置有包圍其而可伸縮的金屬制的波紋管64，容許上述閥體移動(dòng)裝置52的伸縮、且使壓縮空氣不向外泄漏。
而且，在上述閥體44的前面，設(shè)置有用于密封處理腔室4內(nèi)的例如由O形環(huán)所構(gòu)成的細(xì)長(zhǎng)環(huán)狀的密封部件66。該密封部件66是在現(xiàn)有技術(shù)裝置中也使用的密封部件，如圖2所示，能夠與搬出搬入口37的周圍的裝配面氣密地接觸，可靠地將搬出搬入口37密封。而且，在該閥體44上，在上述密封部件66的外周設(shè)置有例如由O形環(huán)所構(gòu)成的、具有本發(fā)明特征的維護(hù)用密封部件68，其從上述密封部件66隔開規(guī)定的間隔L1而包圍該密封部件66。即，密封部件66、68設(shè)置有同心狀的雙重結(jié)構(gòu)。這里，上述規(guī)定的間隔L1例如為5～20mm。在這種情況下，如圖2所示，在上述搬出搬入口37周圍的裝配面上，沿著搬出搬入口37的圓周方向而形成有細(xì)長(zhǎng)狀的、截面為凹狀部的接觸回避臺(tái)階部70，以用于在將閥體44裝配到搬出搬入口36時(shí)、避免與上述密封部件68相接觸，從而，防止該維護(hù)用密封部件68的不必要的惡化(磨耗及彈力減弱)。
如圖2及圖3所示，在上述框體36的頂部，設(shè)置有用于更換上述閥體44的內(nèi)側(cè)密封部件66的細(xì)長(zhǎng)的維護(hù)用開口72。具體地說(shuō)，該維護(hù)用開口72被設(shè)定為這樣的大小，使得當(dāng)在其周圍的裝配面上裝配上述閥體44時(shí)，在只有上述密封部件66露出的狀態(tài)下，外側(cè)的上述維護(hù)用密封部件68與裝配面接觸而得到氣密性密封。即，上述維護(hù)用開口72形成僅比上述搬出搬入口37的大小稍大的尺寸，使得由維護(hù)用密封部件68對(duì)該維護(hù)用開口72氣密性地密封，而密封部件66從維護(hù)用開口72內(nèi)露出。而且，在該維護(hù)用開口72上，經(jīng)由O形環(huán)76而氣密性地從其外側(cè)安裝有例如由丙烯酸樹脂板等形成的維護(hù)用開閉蓋74。在這種情況下，該維護(hù)用開閉蓋74通過(guò)多個(gè)螺栓78可裝卸地被安裝。而且，如果使用例如丙烯酸樹脂等透明板來(lái)構(gòu)成該維護(hù)用開閉蓋74，則在不將其取下的情況下也能夠從外側(cè)目視確認(rèn)密封部件66的惡化程度。在這種情況下，也可以是在維護(hù)用開閉蓋74的一部分上設(shè)置能夠目視確認(rèn)其內(nèi)部的透明的觀察窗口。
而且，在將上述閥體44裝配于上述維護(hù)用開口72時(shí)，設(shè)置有將上述維護(hù)用開閉蓋74與裝配的閥體44之間形成的很小的空隙82(參照?qǐng)D6(E))內(nèi)恢復(fù)為大氣壓的空隙供氣系統(tǒng)80。具體地說(shuō)，在這里如圖2所示，該空隙供氣系統(tǒng)80是在劃分上述維護(hù)用開口72的劃分壁上，設(shè)置使上述空隙82(與維護(hù)用開口72的一部分相對(duì)應(yīng))與外部連通的流路84，在該流路84上中途設(shè)置有開閉閥86，能夠根據(jù)需要來(lái)供給N2氣體或者潔凈的空氣等。其中，作為上述空隙供氣系統(tǒng)80，還可以是在上述維護(hù)用開閉蓋74上貫通設(shè)置例如手動(dòng)或者自動(dòng)工作的安全閥，以取代上述流路84與開閉閥86的結(jié)構(gòu)。
而且，還設(shè)置有用于將上述空隙82內(nèi)抽成真空的空隙真空排氣系統(tǒng)88。具體地說(shuō)，該空隙真空排氣系統(tǒng)88是在劃分上述維護(hù)用開口72的劃分壁上，設(shè)置使上述空隙82與外部相連通的流路90，在該流路90上中途設(shè)置有開閉閥92，能夠根據(jù)需要而將空隙82內(nèi)的氣氛進(jìn)行真空排氣。其中，作為上述空隙真空排氣系統(tǒng)88，還可以是例如在劃分上述維護(hù)用開口72的劃分壁上埋入自動(dòng)進(jìn)行開閉的氣動(dòng)閥門，使上述空隙82內(nèi)與框體36的內(nèi)部相連通，來(lái)取代上述流路90與開閉閥92的結(jié)構(gòu)。
此外，還可以是僅設(shè)置兩個(gè)流路84、90中的一個(gè)，在其上設(shè)置未圖示的三通閥等，通過(guò)該三通閥的切換而能夠選擇性地供給N2或潔凈空氣，或者進(jìn)行真空排氣。
接著，參照?qǐng)D6及圖7對(duì)以上結(jié)構(gòu)的門閥裝置12的密封部件66的更換方法加以說(shuō)明。其中，圖6是僅簡(jiǎn)化地表示了前面說(shuō)明的門閥裝置12的主要部件。
首先，如上所述，為了改變?cè)撻T閥裝置12的閥體44的方向，對(duì)圖5所示的閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)46的旋轉(zhuǎn)用氣體供排端口62供給壓縮空氣或排氣，由此使閥體支撐部件48正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)所希望的角度。如圖6所示，使閥體44向上方、或向橫向。而且為使閥體44前進(jìn)或后退，可以通過(guò)對(duì)伸縮用供排端口60供給壓縮空氣或排氣，例如由氣缸使閥體移動(dòng)裝置52伸縮。
其中，該閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)46，設(shè)置有未圖示的鎖定機(jī)構(gòu)，鎖定在各自的停止位置，特別是能夠確保后述的密封部件更換的安全性。而且，在這里，也可以在維護(hù)用開口72的附近設(shè)置氣密地貫通框體36的劃分壁、例如能夠通過(guò)手動(dòng)向框體內(nèi)部方向移動(dòng)的爪狀部件(未圖示)，由該爪狀部件將上述閥體推壓到上述維護(hù)用開口72的裝配面上而氣密性地裝配。由此，使該裝配裝置具有鎖定機(jī)構(gòu)的功能，而且，還可以是在關(guān)閉維護(hù)用開口72時(shí)，通過(guò)手動(dòng)來(lái)移動(dòng)該裝配裝置。
首先，在通常的動(dòng)作中，在晶片W從搬送室6向處理腔室4移動(dòng)的情況下，或者相反在從處理腔室4向搬送室6移動(dòng)的情況下，如圖6(D)所示，在使閥體44后退的同時(shí)使閥體支撐部件48向上方移動(dòng)。由此，能夠成為搬出搬入口37開放而不遮斷晶片W的移動(dòng)軌跡94的狀態(tài)，晶片W沿著該移動(dòng)軌跡94而搬送。這里，搬送室6內(nèi)始終維持真空狀態(tài)，搬送室6內(nèi)與處理腔室4內(nèi)連通時(shí)，在兩者的壓力差為規(guī)定值以下時(shí)連通。
對(duì)于此，在進(jìn)行成膜等工序處理時(shí)，如圖6(A)所示，閥體支撐部件48使閥體44向橫方向前進(jìn)，將該閥體44裝配于搬出搬入口37。由此，設(shè)置于閥體44的內(nèi)側(cè)的密封部件66與裝配面接觸，使搬送出入口37成為氣密性地密封。由此，處理腔室4內(nèi)成為密封狀態(tài)，在這種狀態(tài)下，在處理腔室4內(nèi)進(jìn)行規(guī)定的處理及清洗處理等。此時(shí)，設(shè)置于密封部件66的外側(cè)的維護(hù)用密封部件68成為與裝配面上設(shè)置的凹部狀的接觸回避臺(tái)階部70接近且非接觸的狀態(tài)，其結(jié)果是，由于該維護(hù)用密封部件68沒(méi)有無(wú)用的變形，所以能夠防止因該變形引起的惡化。其中，也可以是不設(shè)置接觸回避臺(tái)階部70，成為全體無(wú)臺(tái)階部的平坦裝配面。
接著，參照?qǐng)D7所示的流程圖對(duì)上述密封部件66的更換方法加以說(shuō)明。
這里，該密封部件66的更換，是在進(jìn)行處理腔室4內(nèi)的維護(hù)的同時(shí)進(jìn)行的。在這種情況下，搬送室6內(nèi)被抽成真空，維持為規(guī)定的減壓氣氛(真空狀態(tài))，且與其始終連通的閥門裝置12內(nèi)也維持為減壓氣氛。
首先，如圖6(A)所示，先進(jìn)行處理腔室4的維護(hù)，將閥體44裝配于搬出搬入口37并使其氣密性地密封(S1)。由此，處理腔室4內(nèi)與搬送室6內(nèi)的連通被隔斷，成為密封狀態(tài)。而且，在該狀態(tài)下，處理腔室4內(nèi)向大氣開放，例如進(jìn)行電極的更換及內(nèi)部部件的更換等必要的維護(hù)操作(S2)。
接著，結(jié)束上述維護(hù)操作，使處理腔室再次組合，同時(shí)開始成為大氣壓的處理腔室4內(nèi)的抽真空操作，緩慢地進(jìn)行減壓(S3)。這里，在處理腔室4內(nèi)的抽真空中，由未圖示的壓力計(jì)檢測(cè)出處理腔室4內(nèi)與搬送室6內(nèi)的壓力差，比較該壓力差是否在規(guī)定值以下(S4)。
而且，當(dāng)上述壓力差在規(guī)定值以下時(shí)(S4的YES(是))，因?yàn)閹缀醪粫?huì)發(fā)生顆粒的卷?yè)P(yáng)(飛散)，所以如圖6(B)所示，閥體44后退。由此，搬出搬入口37開放，處理腔室4內(nèi)與搬送室6內(nèi)在共同減壓氣氛的狀態(tài)下恢復(fù)到連通狀態(tài)。而且，如圖6(C)及圖6(D)所示，閥體支撐部件48緩慢地例如旋轉(zhuǎn)移動(dòng)90度，使閥體44向著維護(hù)用開口72(S5)。其中，此時(shí)，處理腔室4內(nèi)也是長(zhǎng)時(shí)間抽真空，以去除壁面等所粘附的水分及不需要的氣體。
接著，如圖6(E)所示，通過(guò)使閥體44前進(jìn)，而使其裝配于維護(hù)用開口72，對(duì)維護(hù)用開口72進(jìn)行氣密性的關(guān)閉(S6)。在這種情況下，由于維護(hù)用開口72形成僅比前面的搬出搬入口34稍大的尺寸，所以外側(cè)的維護(hù)用密封部件68與裝配面接觸成為密封，與此相比，內(nèi)側(cè)惡化的密封部件66則成為對(duì)于維護(hù)用開口72內(nèi)而露出狀態(tài)。
而且，此時(shí)，在該裝配的閥體44與上述維護(hù)用開閉蓋74之間形成很小的、相當(dāng)于該部分的劃分壁厚度的密閉空隙82，這里，若突然取下維護(hù)用開閉蓋74，則因?yàn)樵摽障?2內(nèi)的真空被迅速破壞而成為顆粒飛散的原因，所以不希望這樣。因此，首先，在取下維護(hù)用開閉蓋74之前，使圖2所示的空隙供氣系統(tǒng)80動(dòng)作，向上述空隙82內(nèi)供給例如N2等氣體，使空隙82成為大氣壓狀態(tài)。其中，在作為空隙供氣系統(tǒng)80而未設(shè)置安全閥的情況下，也可以通過(guò)手動(dòng)使其緩慢地動(dòng)作而使空隙82內(nèi)成為大氣壓狀態(tài)。
這樣，若空隙82內(nèi)成為大氣壓狀態(tài)，則通過(guò)松動(dòng)圖2及圖3所示的螺栓78，而如圖6(F)所示，將維護(hù)用開閉蓋74取下(S7)。由此，使維護(hù)用開口72成為向外側(cè)開放的狀態(tài)。
接著，維護(hù)操作者將露出維護(hù)用開口72的惡化的密封部件66更換為新的密封部件(S8)。此時(shí)，維護(hù)操作者在安裝新的密封部件時(shí)強(qiáng)力推壓閥體44，但由于閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)46是由鎖定機(jī)構(gòu)動(dòng)作而處于鎖定狀態(tài)，所以能夠確保操作安全性。
這樣，在密封部件66的更換結(jié)束之后，能夠再次通過(guò)螺栓78而將維護(hù)用開閉蓋74安裝固定(S9)。此時(shí)的狀態(tài)為圖6(E)所示的狀態(tài)。這里，與上述相反，空隙82內(nèi)成為大氣壓狀態(tài)，而且，若閥體44就這樣后退，則少量的含有水分等的大氣向處理腔室4內(nèi)及搬送室6內(nèi)擴(kuò)散，這是所不希望的。因此，在使閥體44后退之前，先驅(qū)動(dòng)圖2所示的空氣真空排氣系統(tǒng)88，將該空隙82內(nèi)的大氣壓狀態(tài)抽成真空。而且，在進(jìn)行了一定時(shí)間的抽真空后，使該閥體44后退而從維護(hù)用開口72離開(S10)。此時(shí)的狀態(tài)是如圖6(D)所示的狀態(tài)，由此，結(jié)束了密封部件66的更換操作。
這樣，上述密封部件66的更換操作，能夠在搬送室6內(nèi)及處理腔室4內(nèi)維持真空的狀態(tài)下、即在不破還真空的情況下進(jìn)行。所以，由于與處理腔室4相比，能夠維持大容量的搬送室6內(nèi)的真空狀態(tài)，所以能夠使該處理系統(tǒng)的效率大幅度提高。
而且，該密封部件66的更換操作，能夠在數(shù)十分鐘左右完成，與其相對(duì)，因?yàn)閷?duì)一度向大氣開放的處理腔室4內(nèi)的水分等進(jìn)行去除的抽真空運(yùn)行、即抽空運(yùn)行需要數(shù)小時(shí)到十幾小時(shí)的時(shí)間，所以通過(guò)在上述空運(yùn)行時(shí)間內(nèi)進(jìn)行密封部件66的更換操作，就能夠使上述處理系統(tǒng)的全體停止時(shí)間縮短，從這一點(diǎn)上也能夠使處理系統(tǒng)的工作效率提高。
而且，在密封部件66的更換時(shí)，由于不對(duì)門閥裝置進(jìn)行大幅度地分解，而是僅將維護(hù)用開閉蓋74取下就能夠進(jìn)行密封部件66的更換，從這一點(diǎn)來(lái)講也能夠提高操作性，并迅速進(jìn)行該更換操作。
而且，由于僅分別設(shè)置一個(gè)閥體及驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，所以能夠使裝置全體的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化，而且其尺寸也小，能夠使裝置全體小型化。
第二實(shí)施例以下，對(duì)本發(fā)明門閥裝置的第二實(shí)施例加以說(shuō)明。
圖8是用于說(shuō)明本發(fā)明的門閥裝置的第二實(shí)施例動(dòng)作的動(dòng)作說(shuō)明圖。其中，對(duì)與圖6所示構(gòu)成部分相同的構(gòu)成部分標(biāo)注相同的符號(hào)，并省略其說(shuō)明。此外，在圖8中僅表示門閥裝置的主要部分。
在上述第一實(shí)施例的情況下，是在搬出搬入口37的裝配面上形成凹部狀的接觸回避臺(tái)階部70，以避免在閥體44裝配時(shí)與維護(hù)用密封部件68的接觸，但是，在該第二實(shí)施例中，是將接觸回避臺(tái)階部70設(shè)置于閥體44的表面周緣部。其中，其它結(jié)構(gòu)都與第一實(shí)施例相同。具體地說(shuō)，閥體44形成得稍厚，使其周緣部形成臺(tái)階狀，由此形成接觸回避臺(tái)階部70。而且，維護(hù)用密封部件68設(shè)置于該接觸回避臺(tái)階部70。在這種情況下，在閥體44的中心側(cè)突出的周邊部設(shè)置密封部件66，如圖8(E)及圖8(F)所示，該突出部形成為能夠收存于維護(hù)用開口72內(nèi)的大小。
所以，如圖8(A)所示，在閥體44裝配于搬出搬入口37時(shí)，密封部件66接觸密封，此時(shí)，在接觸回避臺(tái)階部70上設(shè)置的維護(hù)用密封部件68成為非接觸狀態(tài)。與此相對(duì)，當(dāng)閥體44裝配于維護(hù)用開口72時(shí)，維護(hù)用密封部件68與裝配面接觸密封，而另一密封部件66成為從維護(hù)用開口72內(nèi)露出的狀態(tài)而被更換。
第三實(shí)施例接著，對(duì)本發(fā)明的門閥裝置的第三實(shí)施例加以說(shuō)明。
圖9是表示本發(fā)明的門閥裝置的第三實(shí)施例的截面圖。其中，對(duì)與上面說(shuō)明的構(gòu)成部分相同的構(gòu)成部分標(biāo)注相同的符號(hào)，并省略其說(shuō)明。此外，在圖9中僅表示門閥裝置的主要部分。
在上述第一及第二實(shí)施例中，閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)46的閥體支撐部件48是能夠旋轉(zhuǎn)的，而在第三實(shí)施例中，該閥體支撐部件98形成為棒狀，是能夠使其上下方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。而且，在該閥體支撐部件98的前端部上設(shè)置有能夠前進(jìn)以及后退的閥體44。此外，框體36向上方延長(zhǎng)而形成截面長(zhǎng)方形，使上述棒狀的閥體支撐部件98貫通該框體36的頂部而向外部引出。此外，在該閥體支撐部件98的貫通部，設(shè)置有金屬制的可伸縮的波紋管100，能夠在維持門閥裝置內(nèi)的氣密性的同時(shí)使棒狀的閥體支撐部件98上下動(dòng)作。
而且，在上述框體63的上部的側(cè)壁上，設(shè)置有維護(hù)用開口72以及維護(hù)用開閉蓋74。在這種情況下，維護(hù)用開口72相對(duì)于搬出搬入口37在上下方向呈直線狀配置而形成。
在該第三實(shí)施例的情況下，在第一以及第二實(shí)施例中是使閥體支撐部件48旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，而這里是使閥體支撐部件98上下運(yùn)動(dòng)，使得閥體44可選擇地鄰近搬出搬入口37和維護(hù)用開口72。而且，在搬送晶片W時(shí)，閥體44位于上方而處于待機(jī)狀態(tài)。
在該第三實(shí)施例的情況下，由于是不需要旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)而僅由直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)所構(gòu)成，所以能夠使結(jié)構(gòu)更為簡(jiǎn)化。
還其中，使上述維護(hù)用開口72位于處理腔室4的上方側(cè)的理由是，由于一般處理腔室4的上方側(cè)的空間較大，易于進(jìn)行密封部件的更換操作。也可以根據(jù)情況使框體36向下方延伸而位于處理腔室4的下側(cè)來(lái)設(shè)置維護(hù)用開口72。
第四實(shí)施例接著，對(duì)本發(fā)明的門閥裝置的第四實(shí)施例加以說(shuō)明。
圖10是表示本發(fā)明的門閥裝置的第四實(shí)施例的截面圖。在圖10中僅表示了裝置的主要部件。其中，具有與圖9中包含的已經(jīng)說(shuō)明的部分相同結(jié)構(gòu)的部分標(biāo)注同一符號(hào)，省略其說(shuō)明。在該第四實(shí)施例中，圖9所示的第三實(shí)施例中的框體36向下方延伸至少閥體44直徑以上的長(zhǎng)度，且棒狀的閥體支撐部件98貫通框體36的底部而設(shè)置。
在這種情況下，當(dāng)在處理腔室4與搬送室6之間搬送晶片W時(shí)，閥體44位于框體36內(nèi)的最下部，使得不遮斷晶片W的移動(dòng)軌跡94。
第五實(shí)施例接著，對(duì)本發(fā)明的門閥裝置的第五實(shí)施例加以說(shuō)明。
圖11是表示本發(fā)明的門閥裝置的第五實(shí)施例的截面圖。在圖11中僅表示了門閥裝置的主要部件。其中，對(duì)與上面說(shuō)明的實(shí)施例相同的構(gòu)成部分標(biāo)注相同的符號(hào)，并省略其說(shuō)明。在該第五實(shí)施例中，是上述說(shuō)明的第一以及第二實(shí)施例的變形例。首先，框體36的形狀從大體正方形變?yōu)榇篌w正六邊形。而且，可旋轉(zhuǎn)的閥體支撐部件48的截面形狀為大體等腰三角形，在其兩腰部分別安裝有能夠前進(jìn)以及后退的兩個(gè)閥體、即第一以及第二閥體44A、44B。這里，將相對(duì)于第一以及第二閥體44A、44B的旋轉(zhuǎn)中心的安裝張開角θ設(shè)定為大致60度。在這種情況下，閥體移動(dòng)裝置52也可以對(duì)應(yīng)于第一以及第二閥體44A、44B而獨(dú)立控制來(lái)設(shè)置。
此外，該第一及第二閥體44A、44B共同使用圖8所示的第二實(shí)施例中說(shuō)明的閥體，即在閥體側(cè)形成接觸回避臺(tái)階部70的閥體。而且，在截面為六邊形的框體36上，通過(guò)在該搬出搬入口37的兩側(cè)相鄰的邊上分別形成又細(xì)長(zhǎng)的開口來(lái)設(shè)置第一以及第二兩個(gè)維護(hù)用開口72A、72B。而且，該維護(hù)用開口72A、72B上由未圖示的螺栓而可裝卸地安裝有第一以及第二維護(hù)用開閉蓋74A、74B。其中，在這些第一以及第二維護(hù)用口72A、72B處，當(dāng)然也可分別設(shè)置如圖2所說(shuō)明那樣的空隙真空排氣系統(tǒng)88以及空隙供氣系統(tǒng)80等。
在該第五實(shí)施例的情況下，當(dāng)晶片W通過(guò)時(shí)，如圖11(A)或者圖11(D)所示，在第一以及第二閥體44A、44B共同后退的狀態(tài)下，設(shè)置第一以及第二閥體44A、44B向著上側(cè)或者下側(cè)，使得不遮斷晶片W的移動(dòng)軌跡94。其中，在閥體支撐部件48旋轉(zhuǎn)時(shí)，如圖11(B)所示，第一以及第二閥體44A、44B共同后退，對(duì)內(nèi)壁不產(chǎn)生干涉。
此外，在工序處理時(shí)，如圖11(E)或者圖11(C)所示，第一閥體44A或者第二閥體44B裝配于搬出搬入口37，并將其密封，使處理腔室4內(nèi)成為密封狀態(tài)。即，在這里，第一以及第二閥體44A、44B共同具有等價(jià)的相同功能。其中，在圖11(C)中，第一閥體44A裝配于第一維護(hù)用開口72A，在圖11(E)中，第二閥體44B裝配于維護(hù)用開口72B，但在工序處理時(shí)，兩閥體44A、44B沒(méi)有必要共同裝配，可以后退。
接著，對(duì)更換第一以及第二閥體44A、44B的內(nèi)側(cè)密封部件66的情況加以說(shuō)明。
首先，在更換第一閥體44A的內(nèi)側(cè)的密封部件66的情況下，如圖11(C)所示，第二閥體44B裝配于搬出搬入口37并將其密封，而第一閥體44A裝配于上方的第一維護(hù)用開口72A并將其密封。而且，在該狀態(tài)下，能夠取下第一維護(hù)用開閉蓋74A，將第一閥體44A的密封部件66更換為新的密封部件。
此外，在更換第二閥體44B的內(nèi)側(cè)的密封部件66的情況下，如圖11(E)所示，第一閥體44A裝配于搬出搬入口37并將其密封，而第二閥體44B裝配于下方的第二維護(hù)用開口72B并將其密封。而且，在該狀態(tài)下，能夠取下第二維護(hù)用開閉蓋74B，將第二閥體44B的密封部件66更換為新的密封部件。
在這種情況下，當(dāng)在處理腔室4內(nèi)進(jìn)行工序處理時(shí)，或者在大氣開放進(jìn)行維護(hù)時(shí)，也能夠與處理腔室4內(nèi)的壓力狀態(tài)無(wú)關(guān)，進(jìn)行密封部件66的更換。
特別是，為了避免處理腔室4A～4D之間的交叉污染，要求避免發(fā)生多個(gè)處理腔室相對(duì)于搬送室6同時(shí)開放的狀態(tài)，在這種情況下，因?yàn)榘崴褪?與處理腔室4不連通，且包含該門閥裝置而全部維持為真空狀態(tài)，所以使用兩個(gè)閥體的第五實(shí)施例能夠特別有效地與上述要求相對(duì)應(yīng)。
第六實(shí)施例接著，對(duì)本發(fā)明的門閥裝置的第六實(shí)施例加以說(shuō)明。
圖12是表示本發(fā)明的門閥裝置的第六實(shí)施例的截面圖。在圖12中僅表示了裝置的主要部分。其中，對(duì)于與圖11說(shuō)明的第五實(shí)施例相同的構(gòu)成部分標(biāo)注相同的符號(hào)，并省略其說(shuō)明。
該第六實(shí)施例是圖11所示的第五實(shí)施例的變形例。第一以及第二的兩個(gè)閥體44A、44B中的一個(gè)，在圖示例中使用的第一閥體44A是設(shè)置有接觸回避臺(tái)階部70與維護(hù)用密封部件68的閥體，而另一閥體是在圖示例中作為第二閥體44B而未設(shè)置接觸回避臺(tái)階部70的圖2所示的平板狀的閥體，使用的是未設(shè)置維護(hù)用密封部件68而僅設(shè)置一個(gè)密封部件66的閥體。而且，如圖12(B)所示，在工藝處理時(shí)或者清洗處理時(shí)，專門由第一閥體44A密封搬出搬入口37。
此外，如圖12(C)所示，為了更換第一閥體44A的密封部件66，在將其裝配于維護(hù)用開閉蓋74A上時(shí)，將第二閥體44B裝配于搬出搬入口37并將其密封。所以，在本實(shí)施例的情況下，由于第二閥體44B的密封部件66幾乎沒(méi)有惡化，所以沒(méi)有更換的必要。因此，在框體36中就沒(méi)有必要設(shè)置在圖11的第五實(shí)施例中設(shè)置的第二維護(hù)用開口72B，因此將該設(shè)置省略。其中，在使閥體支撐部件48旋轉(zhuǎn)時(shí)，如圖12(A)所示，第一以及第二閥體44A、44B共同后退。在該第六實(shí)施例的情況下，也能夠得到與前面說(shuō)明的第五實(shí)施例同樣的作用效果。
第七實(shí)施例接著，對(duì)本發(fā)明門閥裝置的第七實(shí)施例加以說(shuō)明。
圖13是表示本發(fā)明的門閥裝置的第七實(shí)施例的截面圖。在圖13中僅表示了裝置的主要部分。其中，在圖11以及圖12所示的結(jié)構(gòu)部分中僅表示了門閥裝置的主要部件。此外，對(duì)于與圖11以及圖12所示構(gòu)成部分相同的構(gòu)成部分標(biāo)注相同的符號(hào)，并省略其說(shuō)明。
在該第七實(shí)施例中，主要是圖11所示的第五實(shí)施例與圖12所示的第六實(shí)施例的組合，此外，框體36的左半部分不是角形，而是原封不動(dòng)地以開放狀態(tài)連接于搬送室6一側(cè)。這里，第一以及第二閥體44A、44B可以使用與第五實(shí)施例中使用的兩個(gè)閥體44A、44B相同結(jié)構(gòu)的閥體。此外，這里，在框體36中，與圖12所示的第六實(shí)施例同樣，設(shè)置一方的第一維護(hù)用開口74A而不設(shè)置另一方的第二維護(hù)用開口。在該第七實(shí)施例的情況下，也能夠得到與圖12所示的第六實(shí)施例同樣的作用效果。
其中，在以上的各實(shí)施例中，是以在搬送室6與處理腔室4之間設(shè)置門閥裝置的情況為例而進(jìn)行的說(shuō)明，但是也可以將該門閥裝置的功能一體組裝在搬送室內(nèi)。例如，如圖14所示，搬送室6的劃分壁的一部分具有與前面說(shuō)明的框體36同樣的功能，在這里沒(méi)有框體。而且，在該搬送室6的端部?jī)?nèi)收容有上述閥體44以及閥體支撐部件48等，該端部的前端直接連接于處理腔室4的側(cè)壁28。所以，劃分搬入開口30的側(cè)壁28的外側(cè)面成為裝配面，上述閥體44直接裝配于作為該外側(cè)面的裝配面上。在這種情況下，接觸回避臺(tái)階部70例如形成于側(cè)壁28的外側(cè)面。
此外，這里雖然作為被處理體是以半導(dǎo)體晶片為例進(jìn)行的說(shuō)明，但是并不局限于此，本發(fā)明當(dāng)然也可以適用于玻璃基板、LCD基板等。
權(quán)利要求
1.一種門閥裝置，其特征在于是安裝在用于對(duì)被處理體實(shí)施規(guī)定處理的處理腔室的搬入開口、使所述被處理體從真空狀態(tài)的搬送室側(cè)通過(guò)、并開閉所述搬入開口的門閥裝置，其中，包括能夠開閉所述搬入開口而安裝的閥體；可裝卸地設(shè)置于所述閥體的表面，在由所述閥體開閉所述搬入開口時(shí)氣密地與裝配的裝配面接觸的密封部件；在該密封部件的外周、以距所述密封部件規(guī)定的間隔而包圍設(shè)置的維護(hù)用密封部件；維護(hù)用開口，形成為在裝配所述閥體時(shí)、在所述密封部件露出的狀態(tài)下，通過(guò)所述維護(hù)用密封部件而能夠氣密地密封的大??；可裝卸地氣密堵塞所述維護(hù)用開口的維護(hù)用開閉蓋；和能夠使所述閥體在所述搬入開口與所述維護(hù)用開口之間移動(dòng)而安裝的閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的門閥裝置，其特征在于在所述閥體的表面或者由所述閥體開閉所述搬入開口時(shí)而裝配的裝配面上，形成有接觸回避臺(tái)階部，在將所述閥體裝配于所述搬入開口的裝配面時(shí)，用于避免所述維護(hù)用密封部件的接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的門閥裝置，其特征在于在劃分所述維護(hù)用開閉蓋或者所述維護(hù)用開口的劃分壁上，設(shè)置有空隙供氣體系，將在所述維護(hù)用開閉蓋與裝配于所述維護(hù)用開口的裝配面上的所述閥體之間所形成的空隙內(nèi)恢復(fù)成大氣壓。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的門閥裝置，其特征在于在劃分所述維護(hù)用開閉蓋或者所述維護(hù)用開口的劃分壁上，設(shè)置有空隙真空排氣系統(tǒng)，將在所述維護(hù)用開閉蓋與裝配于所述維護(hù)用開口的裝配面上的所述閥體之間所形成的空隙內(nèi)抽成真空狀態(tài)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的門閥裝置，其特征在于所述閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由閥體支撐部件與閥體移動(dòng)裝置所構(gòu)成，其中，所述閥體支撐部件可旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，使得能夠在遮斷所述被處理體的移動(dòng)軌跡的位置與不遮斷移動(dòng)軌跡的位置之間移動(dòng)；所述閥體移動(dòng)裝置設(shè)置于所述閥體支撐部件，并在其前端安裝有所述閥體而使其前進(jìn)以及后退。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的門閥裝置，其特征在于所述閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由閥體支撐部件與閥體移動(dòng)裝置所構(gòu)成，其中，所述閥體支撐部件可直線移動(dòng)，使得能夠在遮斷所述被處理體的移動(dòng)軌跡的位置與不遮斷移動(dòng)軌跡的位置之間移動(dòng)；所述閥體移動(dòng)裝置設(shè)置于所述閥體支撐部件，并在其前端安裝有所述閥體而使其前進(jìn)以及后退。
7.一種門閥裝置，其特征在于是安裝在用于對(duì)被處理體實(shí)施規(guī)定處理的處理腔室的搬入開口、使所述被處理體從真空狀態(tài)的搬送室側(cè)通過(guò)、并開閉所述搬入開口的門閥裝置，其中，包括可開閉所述搬入開口而安裝的第一以及第二閥體；可裝卸地分別設(shè)置于所述第一及第二閥體的表面，在由所述閥體開閉所述搬入開口時(shí)可氣密地與裝配的裝配面接觸的密封部件；在所述第一以及第二閥體中的至少一個(gè)閥體的密封部件的外周、以距該密封部件規(guī)定的間隔而包圍設(shè)置的維護(hù)用密封部件；至少一個(gè)維護(hù)用開口，形成為在裝配設(shè)置有所述維護(hù)用密封部件的閥體時(shí)、在所述密封部件露出的狀態(tài)下，通過(guò)所述維護(hù)用密封部件而能夠氣密地密封的大小；可裝卸地氣密堵塞所述維護(hù)用開口的外側(cè)的維護(hù)用開閉蓋；和能夠使所述第一以及第二閥體在所述搬入開口與所述維護(hù)用開口之間選擇性地移動(dòng)而安裝的閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的門閥裝置，其特征在于在設(shè)置有維護(hù)用密封部件的閥體的表面或者在所述搬入開口的周圍的裝配面上，形成有接觸回避臺(tái)階部，在將設(shè)置有所述維護(hù)用密封部件的閥體裝配于所述搬入開口的裝配面上時(shí)，用于避免所述維護(hù)用密封部件的接觸。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的門閥裝置，其特征在于在劃分所述維護(hù)用開閉蓋或者所述維護(hù)用開口的劃分壁上，設(shè)置有空隙供氣體系，將在所述維護(hù)用開閉蓋與裝配于所述維護(hù)用開口的裝配面上的設(shè)置有所述維護(hù)用密封部件的閥體之間所形成的空隙內(nèi)恢復(fù)成大氣壓。
10.根據(jù)權(quán)利要求7或9所述的門閥裝置，其特征在于在劃分所述維護(hù)用開閉蓋或所述維護(hù)用開口的劃分壁上，設(shè)置有空隙真空排氣系統(tǒng)，將在所述維護(hù)用開閉蓋與裝配于所述維護(hù)用開口的裝配面上的設(shè)置有所述維護(hù)用密封部件的閥體之間所形成的空隙內(nèi)抽成真空狀態(tài)。
11.根據(jù)權(quán)利要求7～10中任一項(xiàng)所述的門閥裝置，其特征在于所述閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由閥體支撐部件與第一以及第二閥體移動(dòng)裝置所構(gòu)成，其中，所述閥體支撐部件能夠在遮斷所述被處理體的移動(dòng)軌跡的位置與不遮斷移動(dòng)軌跡的位置之間直線移動(dòng)；所述第一以及第二閥體移動(dòng)裝置設(shè)置于所述閥體支撐部件，可使分別安裝于其前端的第一以及第二閥體在相互不同方向前進(jìn)以及后退。
12.根據(jù)權(quán)利要求1～11中任一項(xiàng)所述的門閥裝置，其特征在于在所述閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上安裝有用于抑止所述閥體的動(dòng)作的鎖定機(jī)構(gòu)。
13.根據(jù)權(quán)利要求1～12中任一項(xiàng)所述的門閥裝置，其特征在于所述維護(hù)用開閉蓋由透明板構(gòu)成。
14.根據(jù)權(quán)利要求1～12中任一項(xiàng)所述的門閥裝置，其特征在于所述維護(hù)用開閉蓋具有用于目視確認(rèn)其內(nèi)部的觀察窗。
15.根據(jù)權(quán)利要求1～14中任一項(xiàng)所述的門閥裝置，其特征在于所述閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有由手動(dòng)將向著所述維護(hù)用開口的所述閥體裝配于所述維護(hù)用開口的裝配面的裝配裝置。
16.根據(jù)權(quán)利要求1～15中任一項(xiàng)所述的門閥裝置，其特征在于所述門閥裝置全體的周圍由框體所包圍。
17.一種被處理體的處理系統(tǒng)，其特征在于，包括能夠抽成真空的搬送室；用于對(duì)被處理體實(shí)施規(guī)定的處理的、設(shè)置在所述搬送室的周圍的處理腔室；夾設(shè)在所述搬送室與所述處理腔室之間的、如權(quán)利要求1至13中任一項(xiàng)所述的門閥裝置；設(shè)置在所述搬送室內(nèi)、用于將所述被處理體向所述各處理腔室搬出搬入而能夠伸縮與旋轉(zhuǎn)的搬送機(jī)構(gòu)。
18.一種密封部件的更換方法，其特征在于是更換權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的門閥裝置的密封部件的更換方法，其中，包括密封工序，將閥體裝配于搬入開口的裝配面并氣密地密封；維護(hù)工序，使所述處理腔室內(nèi)對(duì)大氣開放，對(duì)所述腔室內(nèi)進(jìn)行維護(hù)；抽真空工序，在所述維護(hù)工序之后對(duì)所述處理腔室內(nèi)抽真空，達(dá)到真空氣氛；和密封部件更換工序，在所述抽真空工序進(jìn)行之間，在所述處理腔室與真空狀態(tài)的搬送室內(nèi)的壓力差達(dá)到規(guī)定值以下時(shí)，在所述閥體裝配于維護(hù)用開閉蓋并氣密地密封的狀態(tài)下將所述維護(hù)用開閉蓋取下，更換所述密封部件。
19.一種密封部件的更換方法，其特征在于在權(quán)利要求7～16中任一項(xiàng)所述的門閥裝置的密封部件的更換方法中，包括密封工序，將第一以及第二閥體內(nèi)的設(shè)置有維護(hù)用密封部件的閥體裝配于維護(hù)用開口的裝配面并氣密地密封，同時(shí)將另一閥體裝配于搬入開口的裝配面并氣密地密封；密封部件更換工序，將所述維護(hù)用開閉蓋取下，更換所述密封部件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種不向大氣開放搬送室也能更換密封部件的門閥裝置。在安裝于處理腔室(4)的搬入開口、開閉與真空狀態(tài)的搬送室(6)之間的門閥裝置(12)中，包括可開閉搬入開口而裝配的閥體(44)；可裝卸地安裝于閥體的表面、與搬入開口周圍的裝配面氣密接觸的密封部件(66)；以距離該密封部件規(guī)定的間隔而包圍設(shè)置在密封部件的外周的維護(hù)用密封部件(68)；維護(hù)用開口(72)，在裝配閥體時(shí)、在密封部件露出狀態(tài)下，成為由維護(hù)用密封部件可氣密地密封的大?。豢裳b卸地氣密堵塞所述維護(hù)用開口的外側(cè)的維護(hù)用開閉蓋(74)；和能夠使閥體在搬入開口與維護(hù)用開口之間移動(dòng)而安裝的閥體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(46)。
文檔編號(hào)H01L21/203GK1790617SQ20051013400
公開日2006年6月21日 申請(qǐng)日期2005年12月19日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月17日
發(fā)明者廣木勤 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社