專利名稱：固體電解電容器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有由閥作用金屬或以閥作用金屬為主要成分的合金構(gòu)成的陽極、上述陽極被陽極氧化而形成的電介質(zhì)層、和在上述電介質(zhì)層上形成的陰極的固體電解電容器，特別地，本發(fā)明具有在進(jìn)行回流工序等熱處理工序時(shí)、可以控制漏電流的增加并增大靜電容量的特征。
背景技術(shù)：
作為固體電解電容器，通常已提出使由鈦、鈮、鉭等閥作用金屬或以這些閥作用金屬為主要成分的合金構(gòu)成的陽極在磷酸水溶液中進(jìn)行陽極氧化、在該陽極的表面形成由氧化物構(gòu)成的電介質(zhì)層，在該電介質(zhì)層上設(shè)置由具有導(dǎo)電性的氧化物或?qū)щ娦愿叻肿訕?gòu)成的電解質(zhì)層，在該電解質(zhì)層上設(shè)置碳層和銀涂料層作為陰極(參照特開平6-151258號(hào)公報(bào)、特開2004-18966號(hào)公報(bào))。
但是，因?yàn)橛缮鲜龅墓腆w電解電容器中設(shè)置的氧化物構(gòu)成的電介質(zhì)層容易受熱的影響，特別是在對使用鈮或鈦的陽極進(jìn)行陽極氧化而形成的電介質(zhì)層中，容易極大地受到熱的影響。因此，在進(jìn)行回流工序等熱處理工序時(shí)，會(huì)有下述問題由于上述電解質(zhì)層的伸縮等，電介質(zhì)層中產(chǎn)生龜裂；或者由于電介質(zhì)層的結(jié)晶化等而導(dǎo)致漏電流增加。
另外，近年來，已提出用于抑制因回流工序中的加熱而導(dǎo)致的靜電容量變化的固體電解電容器，在該固體電解電容器中，陽極使用鈮，在該陽極的表面上設(shè)置具有鈮氧化物層和鈮氮化物區(qū)域的電介質(zhì)層。(參照特開平11-329902號(hào)公報(bào))。
但是，如上所述，在使用鈮的陽極的表面設(shè)置具有鈮氧化物層和鈮氮化物區(qū)域的電介質(zhì)層的固體電解電容器中，在進(jìn)行回流工序等熱處理工序時(shí)，會(huì)有不能充分地抑制電介質(zhì)層中產(chǎn)生龜裂或電介質(zhì)層結(jié)晶化，從而導(dǎo)致漏電流依然增加的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是在對固體電解電容器進(jìn)行回流工序等熱處理工序時(shí)，可以抑制電介質(zhì)層中產(chǎn)生龜裂或電介質(zhì)層結(jié)晶化，從而可以充分地抑制固體電解電容器中的漏電流的增加。
本發(fā)明的另一目的是增大陽極的表面積，從而增加固體電解電容器的靜電容量。
本發(fā)明的固體電解電容器具有由閥作用金屬或以閥作用金屬為主要成分的合金構(gòu)成的陽極；上述陽極被陽極氧化而形成的電介質(zhì)層；和在上述電介質(zhì)層上形成的陰極，上述電介質(zhì)層具有位于陽極側(cè)的第一電介質(zhì)層和在該第一電介質(zhì)層上形成的第二電介質(zhì)層，該第二電介質(zhì)層中的氧濃度從上述第一電介質(zhì)層側(cè)向陰極側(cè)減少。
在此，在上述的固體電解電容器中，上述的第二電介質(zhì)層中含有氮和氟，同時(shí)還優(yōu)選含有選自硅、磷、鈦、鈮和鍺的至少1種元素，特別優(yōu)選含有硅和鍺。
另外，在上述的固體電解電容器中，優(yōu)選上述的第一電介質(zhì)層中含有氟并且該第一電介質(zhì)層中的氟濃度向陽極側(cè)增加。
另外，在本發(fā)明的固體電解電容器的制造方法中，制造具有由閥作用金屬或以閥作用金屬為主要成分的合金構(gòu)成的陽極、上述陽極被陽極氧化而形成的電介質(zhì)層、和在上述電介質(zhì)層上形成的陰極的固體電解電容器時(shí)，使上述陽極在含有六氟化物離子(hexafluoride ion)的電解液中進(jìn)行陽極氧化。
在此，作為在上述的電解液中加入的六氟化物，可以使用例如以通式(NH4)xMF6(式中，M是選自磷、硅、鈮、鈦、鍺、鋯的元素)表示的銨鹽；作為含有六氟化物離子的電解液，具體地說，可以使用含有六氟磷酸銨(ammonium hexafluorophosphate)、六氟硅酸銨(ammonium hexafluorosilicate)、六氟鈦酸銨(ammoniumhexafluorotitanate)、六氟鈮酸銨(ammonium hexafluoronibate)、六氟鍺酸銨(ammonium hexafluorogermanate)等銨鹽的電解液，優(yōu)選使用含有六氟鍺酸銨的電解液。
本發(fā)明的固體電解電容器中，電介質(zhì)層具有位于陽極側(cè)的第一電介質(zhì)層和在該第一電介質(zhì)層上形成的第二電介質(zhì)層，使該第二電介質(zhì)層中的氧濃度從第一電介質(zhì)層側(cè)向陰極側(cè)減少時(shí)，該第二電介質(zhì)層中對熱的伸縮響應(yīng)性向如上所述氧濃度變低的陰極側(cè)改善。
結(jié)果，在對本發(fā)明的固體電解電容器進(jìn)行回流工序等熱處理工序時(shí)，即使如上所述電解質(zhì)層伸縮而增加了熱應(yīng)力，該熱應(yīng)力在上述第二電介質(zhì)層中也會(huì)向第一電介質(zhì)層逐漸緩和，作用在第一電介質(zhì)層上的熱應(yīng)力被緩和，從而抑制電介質(zhì)層中產(chǎn)生龜裂，防止漏電流的增加。
另外，在本發(fā)明的固體電解電容器中，上述的第二電介質(zhì)層中含有氮和氟，同時(shí)含有選自硅、磷、鈦、鈮和鍺的至少1種元素，在進(jìn)行回流工序等熱處理工序時(shí)，該第二電介質(zhì)層的結(jié)晶化被抑制，因電介質(zhì)層的結(jié)晶化而產(chǎn)生的漏電流的增加也被抑制，特別地，含有硅和鍺時(shí)，漏電流的增加更加被抑制。
在本發(fā)明的固體電解電容器中，上述的第一電介質(zhì)層中含有氟，使該第一電介質(zhì)層中的氟濃度向陽極側(cè)增加，則在進(jìn)行回流工序等熱處理工序時(shí)，因氧從電介質(zhì)層向陽極擴(kuò)散而導(dǎo)致電介質(zhì)層的層厚的減少被抑制，漏電流的增加更加被抑制。
另外，在本發(fā)明的固體電解電容器的制造方法中，使由閥作用金屬或以閥作用金屬為主要成分的合金構(gòu)成的陽極在含有六氟化物離子的電解液中進(jìn)行陽極氧化，形成具有位于陽極側(cè)的第一電介質(zhì)層和在該第一電介質(zhì)層上形成的第二電介質(zhì)層的電介質(zhì)層，第二電介質(zhì)層中的氧濃度從第一電介質(zhì)層側(cè)向陰極側(cè)減少，同時(shí)在第一電介質(zhì)層和第二電介質(zhì)層中含有氟。
另外，使如上所述由閥作用金屬或以閥作用金屬為主要成分的合金構(gòu)成的陽極在含有六氟化物離子的電解液中進(jìn)行陽極氧化時(shí)，使用含有選自六氟磷酸銨、六氟硅酸銨、六氟鈦酸銨、六氟鈮酸銨和六氟鍺酸銨的至少1種銨鹽的電解液，形成含有氮和氟并且含有選自硅、磷、鈦、鈮和鍺的至少1種元素的第二電介質(zhì)層。
另外，使如上所述由閥作用金屬或以閥作用金屬為主要成分的合金構(gòu)成的陽極在含有六氟化物離子的電解液中進(jìn)行陽極氧化時(shí)，該陽極表面的一部分被溶解，在陽極表面形成凹凸，由此，陽極的表面積增大，固體電解電容器的靜電容量增大。特別地，如果使用含有六氟鍺酸銨的電解液，則可以認(rèn)為鍺的氟化物的氧化能力強(qiáng)，陽極表面進(jìn)一步溶解，陽極的表面積大大增加，固體電解電容器的靜電容量進(jìn)一步增大，同時(shí)，電介質(zhì)層的結(jié)晶化被抑制，漏電流也更加被抑制。
根據(jù)結(jié)合圖解說明本發(fā)明的具體實(shí)施例的附圖的下述說明，本發(fā)明的上述和其它的目的、優(yōu)點(diǎn)和特征將變得明顯。


圖1是本發(fā)明的實(shí)施例的固體電解電容器的截面說明圖。
圖2是表示在本發(fā)明的實(shí)施例1的固體電解電容器中，在陽極表面形成的電介質(zhì)層中、在與陽極相反一側(cè)的表面的深度方向上測定的各元素含量的結(jié)果的圖。
圖3是表示在本發(fā)明的實(shí)施例的固體電解電容器中，在陽極表面形成的電介質(zhì)層的狀態(tài)的概略截面圖。
圖4是表示在對照例1的固體電解電容器中，在陽極表面形成的電介質(zhì)層中、在與陽極相反一側(cè)的表面的深度方向上測定的各元素含量的結(jié)果的圖。
圖5是表示在實(shí)施例1中使陽極進(jìn)行陽極氧化后的表面狀態(tài)的圖。
圖6是表示在對照例1中使陽極進(jìn)行陽極氧化后的表面狀態(tài)的圖。
具體實(shí)施例方式
以下，對本發(fā)明的實(shí)施例的固體電解電容器及其制造方法進(jìn)行具體地說明，同時(shí)舉出對照例，表明在本發(fā)明的實(shí)施例的固體電解電容器中，即使在進(jìn)行回流工序(reflow soldering process)等熱處理工序時(shí)，漏電流的增大也被抑制，同時(shí)靜電容量增大。此外，本發(fā)明的固體電解電容器及其制造方法并不限于下述的實(shí)施例所示的內(nèi)容，在不改變其要點(diǎn)的范圍內(nèi)，可以適當(dāng)?shù)馗淖儊韺?shí)施。
(實(shí)施例1)
根據(jù)附圖對實(shí)施例1的固體電解電容器進(jìn)行說明。
在制造該實(shí)施例1的固體電解電容器時(shí)，燒結(jié)平均粒徑為2μm的鈮金屬粉末以制作由鈮的多孔質(zhì)燒結(jié)體構(gòu)成的陽極1，使由鉭金屬構(gòu)成的引線11從該陽極1引出。
接著，使上述的陽極1進(jìn)行陽極氧化、在陽極1的表面形成電介質(zhì)層2時(shí)，使用0.1重量％的六氟硅酸銨水溶液作為電解液。然后，在加熱到60℃的上述電解液中，在上述陽極1和對置電極之間施加10小時(shí)8V的電壓以使陽極1進(jìn)行陽極氧化，從而在該陽極1的表面形成電介質(zhì)層2。
接著，在陽極1的表面形成的上述電介質(zhì)層2上，通過化學(xué)聚合等形成由聚吡咯構(gòu)成的電解質(zhì)層3，再在該電解質(zhì)層3上形成由石墨層41和銀糊層(silver paste layer)42構(gòu)成的陰極4。此外，作為上述電解質(zhì)層3的材料，除了上述的聚吡咯以外，可以使用聚噻吩、聚苯胺等導(dǎo)電性高分子材料和二氧化錳等導(dǎo)電性氧化物。
接著，使陽極引線5與從上述陽極1引出的引線11連接，同時(shí)使陰極引線6與上述陰極4的銀糊層42連接，由環(huán)氧樹脂構(gòu)成的樹脂層7封裝，使上述的陽極引線5和陰極引線6通過該樹脂層7伸出到外部，制作出圖1所示的固體電解電容器。
另外，如上所述，對在使陽極1陽極氧化的階段中在陽極1的表面形成的電介質(zhì)層2，通過能量分散型分光法(EDX)測定在電介質(zhì)層2的表面、即與陽極1相反一側(cè)的表面的深度方向上的各元素的含量，將其結(jié)果示于圖2。
其結(jié)果，如圖3示意性地所示，上述的電介質(zhì)層2形成由位于陽極1表面的第一電介質(zhì)層21、和在該第一電介質(zhì)層21上形成的第二電介質(zhì)層22構(gòu)成的結(jié)構(gòu)，第二電介質(zhì)層22在距離與陽極1相反一側(cè)的表面4nm左右的深度范圍，在該第二電介質(zhì)層22中，氧濃度從上述的第一電介質(zhì)層21向表面減少，另一方面，含有氮、硅和氟，氮和硅的濃度向表面增加。
另一方面，在位于距離電介質(zhì)層2表面的深度從約4nm至約25nm范圍的區(qū)域的第一電介質(zhì)層21中，幾乎不含氮和硅，隨著接近陽極1、氟濃度增加，另外，距離電介質(zhì)層2的表面超過約17nm的深度時(shí)，氧濃度迅速地減少，而鈮濃度迅速地增加。
(實(shí)施例2)在實(shí)施例2中，使用由對平均粒徑2μm的鈦金屬粉末進(jìn)行燒結(jié)而制作出的鈦的多孔質(zhì)燒結(jié)體構(gòu)成的陽極1，除此以外，與上述的實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，制作出固體電解電容器。
(實(shí)施例3)在實(shí)施例3中，使用由對平均粒徑為2μm的鈮金屬粉末與鋁粉末以約99∶1的重量比混合的混合物進(jìn)行燒結(jié)而制作出的、以鈮為主要成分的鈮合金多孔質(zhì)燒結(jié)體構(gòu)成的陽極1，除此以外，與上述的實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，制作出固體電解電容器。
此外，也與上述實(shí)施例1同樣地對上述實(shí)施例2、3所示的固體電解電容器的陽極1表面形成的電介質(zhì)層2進(jìn)行研究，結(jié)果，與上述實(shí)施例1同樣地形成由位于陽極1表面的第一電介質(zhì)層21和在該第一電介質(zhì)層21上形成的第二電介質(zhì)層22構(gòu)成的結(jié)構(gòu)。在第二電介質(zhì)層22中，氧濃度從第一電介質(zhì)層21向表面減少，另一方面，含有氮、硅和氟，氮和硅的濃度向表面增加，另外，在第一電介質(zhì)層21中，幾乎不含氮和硅，隨著靠近陽極1、氟濃度增加。
(對照例1)在對照例1中，使與上述實(shí)施例1相同的、由鈮的多孔質(zhì)燒結(jié)體構(gòu)成的陽極進(jìn)行陽極氧化時(shí)，使用0.1重量％的磷酸水溶液作為電解液，除此以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，制作出圖1所示的結(jié)構(gòu)的固體電解電容器。
在此，在該對照例1中，如上所述，對在使用0.1重量％的磷酸水溶液的電解液中使陽極進(jìn)行陽極氧化的階段中形成的電介質(zhì)層，與上述實(shí)施例1同樣地利用能量分散型分光法(EDX)測定在與陽極相反一側(cè)的表面、即電介質(zhì)層的表面的深度方向上的各元素含量，將其結(jié)果示于圖4。
其結(jié)果，對照例1的電介質(zhì)層中，在距電介質(zhì)層的表面4nm左右的深度范圍內(nèi)含有磷，但與上述實(shí)施例1不同，不含氮、硅和氟。另外，從該電介質(zhì)層的表面直至17nm左右深度的范圍，氧濃度和鈮濃度大體上一定，氧濃度沒有像上述實(shí)施例1那樣在電介質(zhì)層表面一側(cè)減少。此外，對照例1的電介質(zhì)層也位于距其表面深度約25nm的范圍。
(對照例2)在對照例2中，使與上述實(shí)施例2相同的、由鈦的多孔質(zhì)燒結(jié)體構(gòu)成的陽極進(jìn)行陽極氧化時(shí)，使用與對照例1相同的0.1重量％的磷酸水溶液作為電解液，除此以外，與實(shí)施例2同樣地進(jìn)行，制作出固體電解電容器。
(對照例3)在對照例3中，使與上述實(shí)施例3相同的、由鈮合金的多孔質(zhì)燒結(jié)體構(gòu)成的陽極進(jìn)行陽極氧化時(shí)，使用與對照例1相同的0.1重量％的磷酸水溶液作為電解液，除此以外，與實(shí)施例3同樣地進(jìn)行，制作出固體電解電容器。
另外，也與上述實(shí)施例1同樣地對上述對照例2、3所示的固體電解電容器的陽極1表面形成的電介質(zhì)層2進(jìn)行研究，結(jié)果，與上述對照例1的情況相同，在從電介質(zhì)層表面到某一深度的范圍內(nèi)含有磷，但不含氮、硅和氟。另外，從電介質(zhì)層表面直至一定的深度，氧濃度和鈮濃度大體上一定，氧濃度沒有像上述的實(shí)施例1那樣在電介質(zhì)層的表面一側(cè)減少。
另外，在上述的實(shí)施例1和對照例1中，利用電子顯微鏡(SEM)觀察如上述那樣使陽極進(jìn)行陽極氧化后的表面狀態(tài)，將實(shí)施例1的觀察結(jié)果示于圖5、對照例1的觀察結(jié)果示于圖6。結(jié)果，在實(shí)施例1中，陽極氧化后的陽極表面形成凹凸，表面積增大。與此相對，在對照例1中，觀察不到陽極氧化后的陽極表面的凹凸。此外，如實(shí)施例2和實(shí)施例3所示那樣使陽極進(jìn)行陽極氧化時(shí)，與實(shí)施例1同樣地，在陽極氧化后的陽極表面形成凹凸，表面積增大。
然后，對如上述那樣制作的實(shí)施例1～3與對照例1～3的各固體電解電容器在回流時(shí)的漏電流進(jìn)行測定。
這里，在將上述各固體電解電容器回流時(shí)，利用空氣回流方式、在峰值溫度240℃下熱處理5分鐘，向這樣回流的各固體電解電容器施加5V的電壓，測定20秒后的漏電流，將其結(jié)果示于表1。
另外，測定如上述那樣回流后的各固體電解電容器在頻率120Hz時(shí)的靜電容量，將其結(jié)果示于表1。
表1

從該結(jié)果可知，使由鈮等閥作用金屬構(gòu)成的陽極在由六氟硅酸銨水溶液構(gòu)成的電解液中進(jìn)行陽極氧化、形成上述的具有位于陽極側(cè)的第一電介質(zhì)層和在該第一電介質(zhì)層上形成的第二電介質(zhì)層的電介質(zhì)層的實(shí)施例1～3的固體電解電容器，與使由鈮等閥作用金屬構(gòu)成的陽極在由磷酸水溶液構(gòu)成的電解液中進(jìn)行陽極氧化、形成上述的電介質(zhì)層的對照例1～3的固體電解電容器相比，回流后的漏電流顯著減少。
另外，對陽極使用相同的閥作用金屬的實(shí)施例1的固體電解電容器與對照例1的固體電解電容器、實(shí)施例2的固體電解電容器與對照例2的固體電解電容器、實(shí)施例3的固體電解電容器與對照例3的固體電解電容器進(jìn)行比較時(shí)，都是實(shí)施例的固體電解電容器的靜電容量較大。
(實(shí)施例4～7)在實(shí)施例4～7中，使與上述實(shí)施例1相同的、由鈮的多孔質(zhì)燒結(jié)體構(gòu)成的陽極1進(jìn)行陽極氧化時(shí)，只改變使用的電解液的種類，除此以外，與上述實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，制作出固體電解電容器。
這里，作為電解液，在實(shí)施例4中使用0.1重量％的六氟磷酸銨水溶液、在實(shí)施例5中使用0.1重量％的六氟鈮酸銨水溶液、在實(shí)施例6中使用0.1重量％的六氟鈦酸銨水溶液、在實(shí)施例7中使用0.1重量％的六氟鍺酸銨水溶液。
此外，也與上述實(shí)施例1同樣地對上述實(shí)施例4～7的固體電解電容器的陽極1的表面形成的電介質(zhì)層2進(jìn)行研究。其結(jié)果，與實(shí)施例1同樣地由位于陽極1表面的第一電介質(zhì)層21、和在該第一電介質(zhì)層21上形成的第二電介質(zhì)層22構(gòu)成。在第二電介質(zhì)層22中，氧濃度從上述的第一電介質(zhì)層21側(cè)向電介質(zhì)層2的表面減少。另外，在第二電介質(zhì)層22中，除了氮和氟以外，在實(shí)施例4中含有磷、在實(shí)施例5中含有鈦、在實(shí)施例6中含有鈮、在實(shí)施例7中含有鍺，而且，在第一電介質(zhì)層21中，隨著接近陽極1、氟濃度增加。
接著，也與上述情況同樣地利用空氣回流方式、在峰值溫度240℃下對上述實(shí)施例4～7的各固體電解電容器熱處理5分鐘，對這樣回流的各電解電容器施加5V的電壓，測定20秒后的漏電流，并測定頻率120Hz時(shí)的靜電容量，將其結(jié)果與上述實(shí)施例1的結(jié)果合在一起示于下述的表2。
表2

結(jié)果，實(shí)施例4～7的各固體電解電容器，與上述實(shí)施例1～3同樣地，與對照例1～3的各固體電解電容器相比，回流后的漏電流顯著減少，特別地，使由鈮的多孔質(zhì)燒結(jié)體構(gòu)成的陽極1在六氟硅酸銨水溶液或六氟鍺酸銨水溶液中進(jìn)行陽極氧化、使第二電介質(zhì)層22中含有鍺或硅的實(shí)施例1和實(shí)施例7的固體電解電容器中，回流后的漏電流大大地下降。
另外，在使由鈮的多孔質(zhì)燒結(jié)體構(gòu)成的陽極1在六氟鍺酸銨水溶液中進(jìn)行陽極氧化的實(shí)施例7的固體電解電容器中，靜電容量也大大地增加。
雖然已通過實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行了充分地描述，但是，應(yīng)當(dāng)注意，各種改變和改型對本領(lǐng)域的技術(shù)人員將是顯而易見的。
因此，除非這些改變和改型脫離本發(fā)明的范圍，否則它們應(yīng)當(dāng)被認(rèn)為包含在其中。
權(quán)利要求
1.一種固體電解電容器，其特征在于，具有由閥作用金屬或以閥作用金屬為主要成分的合金構(gòu)成的陽極；所述陽極被陽極氧化而形成的電介質(zhì)層；和在所述電介質(zhì)層上形成的陰極，所述電介質(zhì)層具有位于陽極側(cè)的第一電介質(zhì)層和在該第一電介質(zhì)層上形成的第二電介質(zhì)層，該第二電介質(zhì)層中的氧濃度從所述第一電介質(zhì)層側(cè)向陰極側(cè)減少。
2.如權(quán)利要求1所述的固體電解電容器，其特征在于所述閥作用金屬是鈮或鈦。
3.如權(quán)利要求1所述的固體電解電容器，其特征在于所述第二電介質(zhì)層中含有氮和氟，同時(shí)含有選自硅、磷、鈦、鈮和鍺的至少一種元素。
4.如權(quán)利要求3所述的固體電解電容器，其特征在于所述第二電介質(zhì)層中含有氮、氟和硅。
5.如權(quán)利要求1所述的固體電解電容器，其特征在于所述第一電介質(zhì)層中含有氟，該氟濃度從所述第一電介質(zhì)層側(cè)向所述陽極側(cè)增加。
6.如權(quán)利要求1所述的固體電解電容器，其特征在于所述陽極為多孔體或燒結(jié)體。
7.如權(quán)利要求1所述的固體電解電容器，其特征在于所述陽極的表面積因陽極氧化而增加。
8.一種固體電解電容器的制造方法，其特征在于，具有制作由閥作用金屬或以閥作用金屬為主要成分的合金構(gòu)成的陽極的工序；使所述陽極進(jìn)行陽極氧化、形成電介質(zhì)層的工序；和在所述電介質(zhì)層上形成陰極的工序，在所述形成電介質(zhì)層的工序中，使所述陽極在含有六氟化物離子的電解液中進(jìn)行陽極氧化。
9.如權(quán)利要求8所述的固體電解電容器的制造方法，其特征在于所述含有六氟化物離子的電解液，含有選自六氟硅酸銨、六氟磷酸銨、六氟鈦酸銨、六氟鈮酸銨和六氟鍺酸銨的至少一種。
10.如權(quán)利要求9所述的固體電解電容器的制造方法，其特征在于所述含有六氟化物離子的電解液含有六氟鍺酸銨。
11.如權(quán)利要求8所述的固體電解電容器的制造方法，其特征在于所述陽極為多孔體或燒結(jié)體。
12.如權(quán)利要求8所述的固體電解電容器的制造方法，其特征在于在使所述陽極進(jìn)行陽極氧化、形成電介質(zhì)層的工序中，陽極的表面積增加。
全文摘要
本發(fā)明提供一種固體電解電容器，其具有由閥作用金屬或以閥作用金屬為主要成分的合金構(gòu)成的陽極；上述陽極被陽極氧化而形成的電介質(zhì)層；和在上述電介質(zhì)層上形成的陰極，上述電介質(zhì)層具有位于陽極側(cè)的第一電介質(zhì)層和在該第一電介質(zhì)層上形成的第二電介質(zhì)層，該第二電介質(zhì)層中的氧濃度從第一電介質(zhì)層側(cè)向陰極側(cè)減少。
文檔編號(hào)H01G9/052GK1825509SQ20061005773
公開日2006年8月30日 申請日期2006年2月23日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月23日
發(fā)明者飯?zhí)镔F久, 矢野睦, 木本衛(wèi), 小林泰三, 野野上寬 申請人:三洋電機(jī)株式會(huì)社