專利名稱：有機電致發(fā)光顯示裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機電致發(fā)光顯示裝置，更具體地說，涉及有機電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，該制造方法容易適用于大面積的應(yīng)用。
背景技術(shù)：
最近，根據(jù)制造大尺寸顯示裝置的趨勢，對占據(jù)更小面積的平板顯示裝置的需求正在增長。作為這種平板顯示器的一種，電致發(fā)光顯示(ELD)裝置正在受到很大關(guān)注。
根據(jù)其使用的材料，通常將ELD裝置分成無機電致發(fā)光顯示裝置和有機電致發(fā)光顯示裝置。有機ELD裝置的優(yōu)點在于它可以由比等離子體顯示板或無機ELD裝置更低的電壓(例如，低于10V)來驅(qū)動，因為當將電荷注入設(shè)置在空穴注入電極(陰極)與電子注入電極(陽極)之間的有機發(fā)射層中時，在電子與空穴在成為一對之后湮滅的同時會發(fā)射光。因此，已將許多努力付諸于研究和開發(fā)有機ELD裝置。
圖1是示意性地示出有機電致發(fā)光顯示裝置的結(jié)構(gòu)的圖。如該圖所示，有機電致發(fā)光顯示裝置10具有位于諸如玻璃基板的透明基板上的彼此面對的陰極3和陽極1。通過在陰極3與陽極1之間施加電壓，會從有機發(fā)射層發(fā)出光。此時，由作為透明導電材料的氧化銦錫(ITO)形成陽極1，使得從有機發(fā)射層發(fā)出的光可以良好地透射并且可以容易地提供空穴。此外，由具有低功函的金屬形成陰極3，使得可以容易地提供電子。
因此，如果向陽極1和陰極3分別施加(+)電壓和(-)電壓，則從陽極1注入的空穴與從陰極3注入的電子在有機發(fā)射層中復合，從而發(fā)射光。此時，發(fā)光顏色根據(jù)形成有機發(fā)射層5的材料而變成多種多樣的。即，由有機發(fā)射層5多樣化出R(紅)、G(綠)以及B(藍)發(fā)光顏色。
同時，該有機發(fā)光器件具有排列成矩陣形式的多個單位像素，并由設(shè)置在各單位像素處的驅(qū)動裝置和開關(guān)裝置對這些單位像素的有機發(fā)射層選擇性地進行驅(qū)動，從而顯示圖像。該驅(qū)動裝置和開關(guān)裝置是由薄膜晶體管構(gòu)成的。
此時，R、G以及B的三個單位像素構(gòu)成用于進行驅(qū)動的基本單位。可以通過陰影掩模方法、注射方法以及LITI(激光誘導轉(zhuǎn)移成像)方法、微構(gòu)圖方法等來形成有機電致發(fā)光顯示裝置的有機發(fā)射層。
陰影掩模方法是通過使用具有與有機發(fā)射層形成區(qū)相同的開口部分的掩模進行配向來在用于進行膜形成的基板上形成RGB發(fā)射層的方法。然而，該方法不適合于大面積的顯示裝置，因為它由于配向誤差等而難以執(zhí)行掩模處理并獲得高分辨率，特別的是，它由于大面積顯示裝置的趨勢而難以執(zhí)行掩模處理。
注射方法是主要用于聚合物的方法，在該方法中，通過注射器將液相的聚合物滴在期望的位置上，以分別形成R、G以及B發(fā)射層。
LITI方法是如下方法在具有吸熱層的聚合物膜上形成各RGB發(fā)射層，將RGB發(fā)射層置于基板上并在基板上對準，然后使用激光器通過只向期望的圖案位置施加熱來順序地轉(zhuǎn)移這些RGB發(fā)射層。需要用于進行轉(zhuǎn)移的附加聚合物膜，因而工藝難度高。
微構(gòu)圖方法是如下方法在形成有發(fā)射層的基板上放置環(huán)氧樹脂模具，并按預(yù)定壓力按壓該環(huán)氧樹脂模具以去除不期望的部分。該方法不適合于有機電致發(fā)光顯示裝置，因為圖案的周緣部分不清潔。此外，隨著顯示裝置的面積變大，環(huán)氧樹脂模具變大，因而難以在整個基板上施加均勻的壓力，從而使得該方法不適合于大面積的顯示裝置，因而降低了可靠性。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種容易適用于大面積的應(yīng)用的有機電致發(fā)光顯示裝置的制造方法。
本發(fā)明的另一目的是提供一種可以提高可靠性的有機電致發(fā)光顯示裝置的制造方法。
根據(jù)結(jié)合附圖的本發(fā)明的以下詳細說明，本發(fā)明的上述和其他目的、特征、方面以及優(yōu)點將變得明了。
為了實現(xiàn)以上目的，提供了一種根據(jù)本發(fā)明的有機電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，該方法包括以下步驟制備第一基板和第二基板；在所述第一基板上形成第一電極；在所述第二基板上形成有機光發(fā)射圖案；以及將所述第一基板與第二基板粘合，然后通過其中形成有所述有機光發(fā)射圖案的區(qū)與其外部區(qū)之間的壓力差將形成在所述第二基板上的所述有機光發(fā)射圖案轉(zhuǎn)移到所述第一基板上。
所述制備第二基板的步驟還包括在所述第二基板上形成用于形成有機光發(fā)射圖案的陣列圖案的步驟?？梢栽谒鲫嚵袌D案與所述有機光發(fā)射圖案之間附加地形成緩沖膜，以使得更容易將所述有機光發(fā)射圖案轉(zhuǎn)移到所述第一基板上。所述緩沖膜是由諸如硅氧化物(SiOx)或硅氮化物(SiNx)的無機膜制成的?？梢栽谒鰺o機膜的表面上附加地執(zhí)行疏水處理。


附圖被包括進來以提供對本發(fā)明的進一步的理解并被并入且構(gòu)成本說明書的一部分，附圖示出了本發(fā)明多個實施例，并且與以下說明一起用于解釋本發(fā)明的原理。
在附圖中圖1是典型有機電致發(fā)光器件的示意框圖；圖2是示出有機電致發(fā)光顯示裝置的等效電路圖的圖；圖3是示出有機電致發(fā)光器件的結(jié)構(gòu)的剖面圖；圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的有機電致發(fā)光器件的制造方法的順序的流程圖；圖5A到5D是示出根據(jù)本發(fā)明的有機電致發(fā)光顯示裝置的制造工藝的工藝剖面圖；圖6是第二基板的平面圖，其用于示出根據(jù)本發(fā)明的形成在用于形成有機光發(fā)射圖案的基板上的密封材料；圖7A到7F是示出用于形成有機光發(fā)射層的有機電致發(fā)光器件的第一電極的折射掩模工藝的工藝剖面圖，該有機光發(fā)射層可以形成在第一基板和第二基板上；以及圖8是例示了有機電致發(fā)光顯示裝置的剖面圖。
具體實施例方式
以下參照附圖對根據(jù)本發(fā)明的有機電致發(fā)光顯示裝置的制造方法進行詳細描述。
圖2是示出有機電致發(fā)光顯示裝置的等效電路圖的圖。
如該圖所示，有機電致發(fā)光顯示裝置100包括多個第一薄膜晶體管TR1和多個第二薄膜晶體管TR2，這些第一薄膜晶體管TR1和第二薄膜晶體管TR2設(shè)置在由提供選通信號的n行選通線Gn、提供數(shù)據(jù)信號的m列數(shù)據(jù)線Dm以及提供電源電壓的m條電源線Pm限定的區(qū)中。此時，選通線Gn與數(shù)據(jù)線Dm彼此相交叉，在其交叉點附近設(shè)置有機電致發(fā)光器件EL和對該有機電致發(fā)光器件EL進行驅(qū)動的第一薄膜晶體管TR1和第二薄膜晶體管TR2。
此外，設(shè)置電容器，在該電容器中，一側(cè)的電極公共地連接到第一薄膜晶體管TR1的漏極D1和第二薄膜晶體管TR2的柵極G2，另一側(cè)的電極連接到第二薄膜晶體管TR2的源極S2和電源線Pm。
第一薄膜晶體管TR1包括連接到選通線Gn并提供數(shù)據(jù)信號的源極S1，和連接到第二薄膜晶體管TR2的柵極G2的漏極D1，第二薄膜晶體管TR2對有機電致發(fā)光器件EL進行開關(guān)。
第二薄膜晶體管TR2包括連接到第一薄膜晶體管TR1的漏極D1的柵極G2、連接到有機電致發(fā)光器件EL的陽極的漏極D2以及連接到電源線Pm的源極S2，并充當有機電致發(fā)光器件EL的驅(qū)動裝置。
有機電致發(fā)光器件EL包括連接到第二薄膜晶體管TR2的漏極D2的陽極、連接到地線的陰極以及形成在該陰極與陽極之間的有機光發(fā)射層。如圖3所示，該有機光發(fā)射層包括空穴注入層、空穴輸運層、空穴載流子層、光發(fā)射層、電子載流子層、電子注入層等。
可以通過制備用于形成有機光發(fā)射圖案的基板并將這些有機光發(fā)射圖案轉(zhuǎn)移到陽極上來形成有機光發(fā)射層。以下參照附圖對根據(jù)本發(fā)明的形成有機光發(fā)射層的方法進行更詳細的描述。
圖4是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的有機光發(fā)射層的制造方法的工藝流程圖。圖5A到5C示出了圖4的工藝剖面圖。
首先，如圖4所示，制備其中要形成有機光發(fā)射層(即，陽極)的第一基板和用于將有機光發(fā)射圖案轉(zhuǎn)移到第一基板上的第二基板，通過對真空室的第一泵抽來形成真空，然后在真空室中將這兩塊基板對準(S100)。盡管稍后再詳細描述，但是沿著待形成有源區(qū)的區(qū)域的周緣在第一基板上涂覆密封材料。
在實現(xiàn)了對準的情況下，由形成在第二基板上的密封材料將第二基板與第一基板粘合(S300)。
接著，通過使真空室內(nèi)部通氣來使室內(nèi)的壓力升高(S400)，由密封材料保持有源區(qū)的內(nèi)部與外部之間的壓力差(S500)。此時，由于有源區(qū)的內(nèi)部與外部之間的壓力差，將有源區(qū)中的有機光發(fā)射圖案轉(zhuǎn)移到第一基板上，同時對第一基板的整個部分均勻地施加壓力(S600)。
隨后，通過第二泵抽使有源區(qū)的外部的壓力比其內(nèi)部的壓力低，從而使第二基板與第一基板分離(S700)。
在本發(fā)明中，不是通過利用機械壓力而是通過有源區(qū)的內(nèi)部與外部之間的壓力差來將形成在第二基板上的有機光發(fā)射圖案轉(zhuǎn)移到第一基板上，由此可以在基板的整個部分上施加均勻的壓力，因此，容易提供大面積的應(yīng)用。
參照如圖5A到5C所示的用于形成有機光發(fā)射圖案的工藝剖面圖來對此進行更具體的描述。
首先，如圖5A所示，形成第一基板210，該第一基板210具有用于形成有機電致發(fā)光器件的第一電極220和用于在有源區(qū)上形成多個有機光發(fā)射圖案的陣列圖案350，在陣列圖案350的頂部形成有機光發(fā)射膜330，然后制備其中沿有源區(qū)的周緣形成有密封材料300的第二基板310。
將密封材料300形成為封閉表面，并且如圖6所示，可以沿著具有多個單位板P的母基板310’的周緣形成密封材料，也可以沿著各單位板P的周緣形成密封材料。
可以由高度為幾個微米的聚合物結(jié)構(gòu)來形成陣列圖案350?？梢栽陉嚵袌D案350與有機光發(fā)射膜330之間附加地形成用于減小陣列圖案350與有機光發(fā)射膜330之間的粘著力的緩沖膜320?？梢允褂弥T如硅氧化物(SiOx)或硅氮化物(SiNx)的無機物作為緩沖膜320。此外，通過附加的工藝(如等離子體處理、疏水處理等)對緩沖膜320的表面進行處理，可以使對有機光發(fā)射膜的轉(zhuǎn)移更容易。
有機光發(fā)射膜330包括發(fā)射紅光、綠光以及藍光的有機膜。有機光發(fā)射膜330包括電子/空穴注入層、電子/空穴輸運層等。
此時，為了使得容易將形成在第二基板310上的有機光發(fā)射膜330轉(zhuǎn)移到第一基板210上，可以在第一基板210上附加地形成粘附層，或者可以預(yù)先形成空穴注入層或空穴輸運層。按此方式，在第一基板上形成了粘附層、空穴注入層或空穴輸運層，使得與轉(zhuǎn)移到第一基板的有機光發(fā)射膜330的粘附和這些有機層之間的界面性質(zhì)更好，以由此提高轉(zhuǎn)移效率。
圖7A到7F示出了在將有機光發(fā)射膜轉(zhuǎn)移到第一基板上之前可以在第一和第二基板上形成的有機光發(fā)射膜的示例，其中略去了第二基板上的陣列圖案，并且假設(shè)第一基板上的第一電極是陽極。
首先，如圖7A所示，在第一基板210上只形成第一電極220，并且可以在第二基板310上形成有機光發(fā)射膜350，有機光發(fā)射膜350具有發(fā)光層351、形成在發(fā)光層351的上方的電子輸運層352和電子注入層354，以及形成在發(fā)光層351的下方的空穴輸運層353和空穴注入層355，該發(fā)光層351布置在電子輸運層352與空穴輸運層353之間。形成電子輸運層352和空穴輸運層353以及電子注入層354和空穴注入層355用來提高發(fā)光層351的發(fā)光效率。如果第一電極220是陰極，則改變電子輸運層352與空穴輸運層353的上下位置以及電子注入層354與空穴注入層355的上下位置。
同時，為了增強與有機光發(fā)射膜350的粘附性，可以在第一電極220的表面上執(zhí)行諸如UV照射、臭氧和等離子體處理等的預(yù)處理，或者可以在其上附加地形成薄金屬層。
作為另一種選擇，如圖7B所示，可以通過在第一基板210的第一電極220上附加地形成粘附層240來增強與有機光發(fā)射膜350的粘附性。
作為另一種選擇，如圖7C所示，通過使用與第二基板310的第一空穴輸運層355a相同的材料在第一電極220上形成第二空穴輸運層355b，可以增強界面性質(zhì)和粘附性質(zhì)。如果第一電極220是陰極，則可以在第一電極220上形成第二電子注入層355b，使得它可以與第二基板的第一電子注入層355a相接觸。
作為另一種選擇，如圖7D所示，可以在第一電極220上形成空穴注入層355，并且可以在第二基板310上只形成電子注入層354、電子輸運層352、空穴輸運層353以及發(fā)光層351。
作為另一種選擇，如圖7E所示，可以在第一電極220上形成空穴注入層355和第二空穴輸運層353b，并且可以在第二基板310上形成電子注入層354、電子輸運層352、第一空穴輸運層353a以及發(fā)光層351。
作為另一種選擇，如圖7F所示，可以在第一電極220上形成空穴注入層355和空穴輸運層353，并且可以在第二基板310上只形成電子注入層354、電子輸運層352以及發(fā)光層351。
如由以上示例(圖7A到7F)例示的那樣，可以通過對構(gòu)成有機光發(fā)射膜的多個有機層的結(jié)構(gòu)進行各種調(diào)節(jié)來形成其中要形成有機電致發(fā)光器件的第一基板210和用于在其上形成該有機電致發(fā)光器件的有機光發(fā)射膜的第二基板310。
接著，參照圖5A對有機光發(fā)射膜的制造方法進行描述。在真空室(未示出)中裝載包括第一電極220的第一基板210和包括有機光發(fā)射膜330的第二基板310，通過第一泵抽來形成真空，并將第一基板210與第二基板310對準。即，在真空狀態(tài)下，將第二基板310的陣列圖案350對準，以使其位于第一基板的第一電極220上。
隨后，如圖5B所示，當真空室通氣時，在第二基板310在第一基板210上接觸的情況下，室內(nèi)的壓力升高，并通過密封材料300來保持密封材料300的內(nèi)部(有源區(qū)的內(nèi)部)與外部之間的壓力差。即，使有源區(qū)的內(nèi)部壓力保持為低于有源區(qū)的外部壓力。在這種狀態(tài)下，密封材料內(nèi)部的壓力低于其外部的壓力，第二基板的陣列圖案350對第一基板210施加預(yù)定壓力，特別的是，在第一基板210的整個部分上施加均勻的壓力。將形成在陣列圖案350上的有機光發(fā)射膜330轉(zhuǎn)移到第一基板210上。
然后，如圖5C所示，使密封材料的外部壓力低于其內(nèi)部壓力，使得不再由陣列圖案350在第一基板210上施加壓力。然后，通過配置在真空室頂部的真空卡夾件(未示出)將第二基板310與第一基板210分離，來在第一基板210上形成有機光發(fā)射圖案360。
有機光發(fā)射圖案360的發(fā)光顏色取決于構(gòu)成發(fā)光層的有機材料。通過重復上述過程，如圖5D所示，可以形成RGB有機光發(fā)射圖案360。
如從以上可以看到的，在轉(zhuǎn)移了所有有機光發(fā)射圖案360之后，在其上部形成第二電極，從而完成了有機電致發(fā)光器件。
圖8是示出有機電致發(fā)光顯示裝置的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
如圖8所示，該有機電致發(fā)光顯示裝置包括薄膜晶體管、有機電致發(fā)光結(jié)構(gòu)以及電容器。
盡管可以在該有機電致發(fā)光顯示裝置中形成多個薄膜晶體管，但是為方便起見在圖中只示出了一個薄膜晶體管。
該薄膜晶體管包括柵極450、有源層430、源極470以及漏極460。在柵極450與有源層430之間形成柵絕緣層340以將柵極450與有源層430絕緣開。在絕緣層412上在有源層430的兩側(cè)形成具有高密度的雜質(zhì)的漏區(qū)433A和源區(qū)433B。此時，將源極470和漏極460分別連接到源區(qū)433B和漏區(qū)433A。
該有機電致發(fā)光結(jié)構(gòu)包括連接到漏極460的陰極420、陽極426以及有機光發(fā)射層423(即，有機光發(fā)射圖案)。如圖3所示，該有機電致發(fā)光顯示裝置的有機光發(fā)射層423具有發(fā)光層、電子注入層、空穴注入層、電子輸運層以及空穴輸運層。此外，可以通過圖4和圖7A到7F所示的方法來形成有機光發(fā)射層423。
所述電容器包括與有源層430同時形成的下電極431、連接到源極470的電源線440以及位于它們之間的第一夾層425。在該第一夾層425上，形成有第二夾層427、鈍化層428以及第三夾層429。
如上所述，本發(fā)明涉及一種有機電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，更具體地說，本發(fā)明通過以下步驟提供了在基板的整個部分上具有均勻特性的有機電致發(fā)光器件制備單獨的基板以在其上形成有機光發(fā)射圖案；利用其中待形成有機光發(fā)射圖案的有源區(qū)的內(nèi)部壓力與外部壓力之差，在基板的整個部分上施加均勻的壓力；以及將有機光發(fā)射圖案轉(zhuǎn)移到基板上。
本發(fā)明的基本概念是制備用于在其上形成有機光發(fā)射圖案的單獨的基板，并在真空室中通過有源區(qū)(即，密封材料)的內(nèi)部壓力與外部壓力之差將有機光發(fā)射圖案轉(zhuǎn)移到有機電致發(fā)光顯示裝置的基板上。本發(fā)明既可以包括用于向上發(fā)射光的頂部方式也可以包括用于向下發(fā)射光的底部方式。此外，本發(fā)明可以包括通過本發(fā)明的基本思想實現(xiàn)的有機電致發(fā)光顯示裝置。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，通過制備單獨的基板以在其上形成有機光發(fā)射圖案，利用其中待形成有機光發(fā)射圖案的有源區(qū)的內(nèi)部壓力與外部壓力之差來在基板的整個部分上施加均勻的壓力，從而將有機光發(fā)射圖案轉(zhuǎn)移到基板上，由此提供了一種在基板的整個部分上具有均勻特性的有機電致發(fā)光器件，并提供了可以提高可靠性的有機電致發(fā)光顯示裝置的制造方法。
此外，通過在基板的整個部分上施加均勻的壓力并對有機光發(fā)射圖案進行轉(zhuǎn)移，本發(fā)明提供了一種對于大面積的應(yīng)用來說具有優(yōu)勢的有機電致發(fā)光顯示裝置的制造方法。
權(quán)利要求
1.一種有機電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，該方法包括以下步驟制備第一基板和第二基板；在所述第一基板上形成第一電極；在所述第二基板上形成有機光發(fā)射圖案；以及將所述第一基板與第二基板粘合，然后通過形成有所述有機光發(fā)射圖案的區(qū)與該區(qū)的外部區(qū)之間的壓力差將形成在所述第二基板上的所述有機光發(fā)射圖案轉(zhuǎn)移到第一基板上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，該方法還包括以下步驟在被轉(zhuǎn)移到所述第一基板上的所述有機光發(fā)射圖案上形成第二電極。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述制備所述第二基板的步驟還包括以下步驟在所述第二基板上形成用于形成有機光發(fā)射圖案的陣列圖案。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中在所述陣列圖案與所述有機光發(fā)射圖案之間附加地形成緩沖膜，以使得更容易將所述有機光發(fā)射圖案轉(zhuǎn)移到所述第一基板上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中所述緩沖膜是由無機膜制成的。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述無機膜是由硅氧化物(SiOx)或硅氮化物(SiNx)制成的。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中還在所述無機膜的表面上執(zhí)行疏水處理。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中位于所述第一基板上的所述第一電極是陽極。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在所述第二基板上形成有機光發(fā)射圖案的步驟包括以下步驟在所述第二基板上形成電子注入層；在所述電子注入層上形成電子輸運層；在所述電子輸運層上形成發(fā)光層；在所述發(fā)光層上形成空穴輸運層；以及在所述空穴輸運層上形成第一空穴注入層。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述形成所述有機光發(fā)射圖案的步驟還包括以下步驟在所述第一電極上形成用于增強與所述第一空穴注入層的粘附性的粘附層。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述形成所述有機光發(fā)射圖案的步驟還包括以下步驟在所述第一電極上形成第二空穴注入層。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述在所述第二基板上形成有機光發(fā)射圖案的步驟包括以下步驟在所述第二基板上形成電子注入層；在所述電子注入層上形成電子輸運層；在所述電子輸運層上形成發(fā)光層；以及在所述發(fā)光層上形成第一空穴輸運層。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中在所述第一電極上形成空穴注入層。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中形成所述有機光發(fā)射圖案的步驟還包括以下步驟在所述第一基板的所述第一電極上形成空穴注入層；和在所述空穴注入層上形成第二空穴輸運層。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在所述第二基板上形成有機光發(fā)射圖案的步驟包括以下步驟在所述第二基板上形成電子注入層；在所述電子注入層上形成電子輸運層；以及在所述電子輸運層上形成發(fā)光層。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中所述形成所述有機光發(fā)射圖案的步驟還包括以下步驟在所述第一電極上形成空穴注入層；和在所述空穴注入層上形成空穴輸運層。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中位于所述第一基板上的所述第一電極是陰極。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在所述第二基板上形成有機光發(fā)射圖案的步驟包括以下步驟在所述第二基板上形成空穴注入層；在所述空穴注入層上形成空穴輸運層；在所述空穴輸運層上形成發(fā)光層；在所述發(fā)光層上形成電子輸運層；以及在所述電子輸運層上形成第一電子注入層。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中所述方法還包括以下步驟在所述第一電極上形成用于增強與所述第一電子注入層的粘附性的粘附層。
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中所述形成所述有機光發(fā)射圖案的步驟還包括以下步驟在所述第一電極上形成第二電子注入層。
21.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述在所述第二基板上形成所述有機光發(fā)射圖案的步驟包括以下步驟在所述第二基板上形成空穴注入層；在所述空穴注入層上形成空穴輸運層；在所述空穴輸運層上形成發(fā)光層；以及在所述發(fā)光層上形成第一電子輸運層。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其中在所述第一電極上形成電子注入層。
23.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其中所述形成所述有機光發(fā)射圖案的步驟還包括以下步驟在所述第一基板的所述第一電極上形成電子注入層；和在所述電子注入層上形成第二電子輸運層。
24.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述在所述第二基板上形成所述有機光發(fā)射圖案的步驟包括以下步驟在所述第二基板上形成空穴注入層；在所述空穴注入層上形成空穴輸運層；以及在所述空穴輸運層上形成發(fā)光層。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的方法，其中所述形成所述有機光發(fā)射圖案的步驟還包括以下步驟在所述第一電極上形成電子注入層；和在所述電子注入層上形成電子輸運層。
26.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一電極是由諸如氧化銦錫或氧化銦鋅的透明材料形成的。
27.根據(jù)權(quán)利要求26所述的方法，該方法還包括以下步驟對所述第一電極的表面進行預(yù)處理以增強與所述有機光發(fā)射圖案的粘附性。
28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，其中所述預(yù)處理包括對所述第一電極照射紫外線。
29.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，其中所述預(yù)處理包括使用臭氧對所述第一電極進行處理。
30.根據(jù)權(quán)利要求27所述的方法，其中所述預(yù)處理包括使用等離子體對所述第一電極進行處理。
31.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中制備所述第二基板的步驟還包括以下步驟沿著要形成有機光發(fā)射圖案的有源區(qū)的周緣形成密封材料。
32.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述將所述第二基板的所述有機光發(fā)射圖案轉(zhuǎn)移到所述第一基板上的步驟包括以下步驟將所述第一基板和第二基板裝載在真空室中；對所述真空室的內(nèi)部進行第一泵抽；將所述第一基板與第二基板對準；通過所述密封材料使所述第二基板與所述第一基板相接觸；以及使所述真空室的內(nèi)部通氣，從而在所述有源區(qū)的內(nèi)部與外部之間保持一定的壓力差。
33.根據(jù)權(quán)利要求32所述的方法，其中所述對所述有機光發(fā)射圖案進行轉(zhuǎn)移的步驟包括以下步驟對所述真空室的內(nèi)部進行第二泵抽；和將所述第二基板與所述第一基板分離。
34.根據(jù)權(quán)利要求33所述的方法，其中通過使用位于所述真空室的頂部的真空卡夾件來執(zhí)行對所述第二基板與所述第一基板的分離。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種容易適用于大面積的應(yīng)用的有機電致發(fā)光顯示裝置的制造方法。該方法包括以下步驟制備第一基板和第二基板；在所述第一基板上形成第一電極；在所述第二基板上形成有機光發(fā)射圖案；以及將所述第一基板與第二基板粘合，然后通過形成有所述有機光發(fā)射圖案的區(qū)與該區(qū)的外部區(qū)之間的壓力差將形成在所述第二基板上的所述有機光發(fā)射圖案轉(zhuǎn)移到所述第一基板上。
文檔編號H01L21/82GK1992374SQ20061006366
公開日2007年7月4日 申請日期2006年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月30日
發(fā)明者金玉姬 申請人:Lg.菲利浦Lcd株式會社