專利名稱:一種用于離子注入機(jī)的高壓自動(dòng)放電裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明是一種用于快速釋放殘余高壓和靜電的裝置,用于離子注入機(jī)中高壓倉(cāng)或高壓區(qū)機(jī)房架殘余高壓和靜電釋放,屬于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。
背景技術(shù):
離子注入機(jī)屬于粒子加速器的一種,有部分設(shè)備處在一高電位工作區(qū),其電位基本與加速能量相關(guān),需要從高壓區(qū)中快速釋放殘余高壓以及由于高壓而產(chǎn)生的靜電,殘余高壓未釋放可能會(huì)擊傷工作人員?,F(xiàn)在國(guó)內(nèi)大多數(shù)離子注入機(jī)都是采用手持式接地放電棒,在高電位區(qū)工作的同時(shí),必須手握接地放電棒以釋放殘余高壓和靜電。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是針對(duì)手持放電棒操作使用不方便,安全可靠性不太高的缺點(diǎn)。設(shè)計(jì)能安全自動(dòng)放電的開(kāi)門自動(dòng)連鎖的氣動(dòng)放電裝置。提高注入機(jī)的安全性和可靠性。
本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)一種高壓自動(dòng)放電裝置,包括底板1,壓塊2,推塊3,固定座4,放電桿5,盤頭螺釘6,盤頭螺釘7,內(nèi)六角圓柱頭螺釘8,氣缸9,如圖1所示。
所述的底板1是將整個(gè)放電裝置固定在機(jī)房上,同時(shí)將壓塊2和固定座4固定在底板1上。
所述的壓塊2通過(guò)盤頭螺釘6連接到底板1上,將放電桿5限制在底板1與壓塊2貼合面的孔內(nèi)。
所述的固定座4通過(guò)盤頭螺釘7連接在底板1上,固定座4做成剖分式,通過(guò)內(nèi)六角圓柱頭螺釘8將固定座4的上剖分塊和下剖分塊連接,中間留有圓孔,將氣缸9固定在圓孔內(nèi)。
所述的推塊3通過(guò)螺紋與氣缸9相連,當(dāng)氣缸9伸長(zhǎng)時(shí),推動(dòng)放電桿5轉(zhuǎn)動(dòng)。
圖1為本發(fā)明高壓自動(dòng)放電裝置的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
圖中個(gè)部件介紹如下底板1,壓塊2,推塊3,固定座4,放電桿5,盤頭螺釘6,盤頭螺釘7,內(nèi)六角圓柱頭螺釘8,氣缸9。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明,但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。
當(dāng)離子注入機(jī)高壓區(qū)處于工作狀態(tài)時(shí),高壓區(qū)門關(guān)閉,放電裝置的氣缸9伸出,通過(guò)推塊3推動(dòng)放電桿5轉(zhuǎn)動(dòng),離開(kāi)放電位置。當(dāng)高壓區(qū)門打開(kāi)時(shí),在氣動(dòng)連鎖條件下氣缸9放氣,推塊3退回,放電桿5在自重力作用下擺到與地線短接,放電。推塊3用尼龍6做成,起到耐磨和絕緣作用。
本發(fā)明的高壓自動(dòng)放電裝置由氣缸行程轉(zhuǎn)換為放電桿的轉(zhuǎn)動(dòng),且能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)氣動(dòng)連鎖控制。
權(quán)利要求
1.一種用于離子注入機(jī)的高壓自動(dòng)放電裝置,其特征在于,包括底板(1),壓塊(2),推塊(3),固定座(4),放電桿(5),盤頭螺釘(6),盤頭螺釘(7),內(nèi)六角圓柱頭螺釘(8),氣缸(9);所述的底板(1)是將整個(gè)放電裝置固定在機(jī)房上,同時(shí)將壓塊(2)和固定座(4)固定在底板(1)上;所述的壓塊(2)通過(guò)盤頭螺釘(6)連接到底板(1)上,將放電桿(5)限制在底板(1)與壓塊(2)貼合面的孔內(nèi);所述的固定座(4)通過(guò)盤頭螺釘(7)連接在底板(1)上,固定座(4)做成剖分式,通過(guò)內(nèi)六角圓柱頭螺釘(8)將固定座(4)的上剖分塊和下剖分塊連接,中間留有圓孔,將氣缸(9)固定在圓孔內(nèi);所述的推塊(3)通過(guò)螺紋與氣缸(9)相連,當(dāng)氣缸(9)伸長(zhǎng)時(shí),推動(dòng)放電桿(5)轉(zhuǎn)動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明是一種用于快速釋放殘余高壓和靜電的裝置,用于離子注入機(jī)中高壓倉(cāng)或高壓區(qū)機(jī)房架殘余高壓和靜電釋放,包括底板、壓塊、推塊、固定座、放電桿、盤頭螺釘、內(nèi)六角圓柱頭螺釘和氣缸組成。
文檔編號(hào)H01L21/425GK101038851SQ200610065119
公開(kāi)日2007年9月19日 申請(qǐng)日期2006年3月17日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月17日
發(fā)明者伍三忠, 彭立波, 孫雪平, 何科峰, 文超 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司