專利名稱：陶瓷生片的層疊裝置和層疊方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在制作層疊型陶瓷電容器等的層疊電子零件中使用的陶瓷生片的層疊裝置和層疊方法。
背景技術(shù)：
目前，在特開2003-205510號公報和特開平8-162364號公報中公開了這個技術(shù)領(lǐng)域的陶瓷生片的層疊裝置。
然而，在上述目前的陶瓷生片的層疊裝置中存在以下的問題。即在上述特開2003-205510號公報的層疊裝置中，由于在用切刀切斷載體薄膜上的生片的位置上，依次使陶瓷生片重疊，故切斷時產(chǎn)生的陶瓷生片的切斷渣會進(jìn)入陶瓷生片層疊體的層間。在切斷渣進(jìn)入生片層疊內(nèi)的情況下，會使燒固得到的生片層疊體的各種電子零件的特性變差(例如，靜電電容減小等)或產(chǎn)生分層等。
如上述特開平8-162364號公報的層疊裝置那樣，通過改變陶瓷生片切斷位置和層疊位置，可以抑制切斷渣混入陶瓷生片層疊體中。但是，一般陶瓷生片厚度為精密級，因此當(dāng)吸著陶瓷生片從切斷機(jī)構(gòu)輸送至層疊位置時，有陶瓷生片會變形和破損的危險。另外，由于陶瓷生片的輸送路徑，在位于切斷位置的切斷部件和位于層疊位置的層疊部件中是截斷的，因此在上述吸著輸送的前后，位置對合麻煩等，造成生產(chǎn)效率降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問題而提出的，其目的是要提供不降低生產(chǎn)效率，可以抑制切斷渣混入的陶瓷生片的層疊裝置和層疊方法。
本發(fā)明的陶瓷生片的層疊裝置的特征為，具有輸送保持陶瓷生片的載體薄膜的輸送機(jī)構(gòu)；位于由輸送機(jī)構(gòu)輸送的載體薄膜的輸送路徑上，切斷陶瓷生片，從陶瓷生片切出給定形狀的片的切斷機(jī)構(gòu)；位于切斷機(jī)構(gòu)下游的輸送路徑上，使由切斷機(jī)構(gòu)切出的片重疊在連載體薄膜在內(nèi)的被層疊體上的層疊裝置；和從載體薄膜剝離片的剝離機(jī)構(gòu)。
在該陶瓷生片的層疊裝置中，切斷機(jī)構(gòu)和層疊裝置分別位于由輸送機(jī)構(gòu)輸送的載體薄膜的輸送路徑上。即陶瓷生片的切斷和片的層疊在一個輸送路徑上實現(xiàn)。由于這樣，可以有意地抑制生產(chǎn)效率的降低。另外，層疊裝置位于切斷機(jī)構(gòu)下游的輸送路徑上，切斷機(jī)構(gòu)和層疊裝置的位置不同。因此，即使在切斷機(jī)構(gòu)切斷時產(chǎn)生切斷渣的情況下，也可以有意地抑制進(jìn)入生片層疊體的層間的問題。
另外，優(yōu)選在上述陶瓷生片和上述載體薄膜的至少任何一個上設(shè)置位置調(diào)整標(biāo)記；切斷機(jī)構(gòu)或?qū)盈B裝置的至少任何一個還具有利用位置調(diào)整標(biāo)記，檢測陶瓷生片的規(guī)定位置的標(biāo)記檢測機(jī)構(gòu)；和根據(jù)標(biāo)記檢測機(jī)構(gòu)檢測的規(guī)定位置，進(jìn)行位置對合的位置調(diào)整機(jī)構(gòu)。在這種情況下，可以實現(xiàn)由切斷機(jī)構(gòu)進(jìn)行的切斷位置的位置對合和由層疊裝置進(jìn)行的層疊位置的位置對合的自動化。
優(yōu)選通過剝離機(jī)構(gòu)相對地移動，使載體薄膜和被層疊體互相離開，從載體薄膜上剝離片。
本發(fā)明的陶瓷生片的層疊方法的特征為，具有利用位于保持由輸送機(jī)構(gòu)輸送的陶瓷生片的載體薄膜的輸送路徑上的切斷機(jī)構(gòu)切斷上述陶瓷生片，從陶瓷生片切出給定形狀的片的步驟；利用位于切斷機(jī)構(gòu)下游的輸送路徑上的層疊裝置，使由切斷機(jī)構(gòu)切出的片，重疊在每個載體薄膜被層疊體上的步驟；和利用剝離機(jī)構(gòu)從載體薄膜上剝離上述片的步驟。
在該陶瓷生片的層疊方法中，切斷機(jī)構(gòu)和層疊裝置分別位于由輸送機(jī)構(gòu)輸送的載體薄膜的輸送路徑上。即陶瓷生片的切斷和片的層疊在一個輸送路徑上實現(xiàn)。由于這樣，可以有意地抑制生產(chǎn)效率的降低。另外，層疊裝置位于切斷機(jī)構(gòu)下游的輸送路徑上，切斷機(jī)構(gòu)和層疊裝置的位置不同。因此，即使在切斷機(jī)構(gòu)切斷時產(chǎn)生切斷渣的情況下，可以有意地抑制進(jìn)入生片層疊體的層間的問題。
上述方法優(yōu)選具有下述步驟在陶瓷生片和載體薄膜的至少任何一個上設(shè)置位置調(diào)整標(biāo)記，在利用切斷機(jī)構(gòu)切出片前，和利用層疊裝置將片重疊在被層疊體上之前的至少任何一個中，通過標(biāo)記檢測機(jī)構(gòu)，利用位置調(diào)整標(biāo)記，檢測陶瓷生片的規(guī)定位置的步驟；和利用，根據(jù)標(biāo)記檢測機(jī)構(gòu)檢測的規(guī)定位置，進(jìn)行位置對合的步驟。在這種情況下，可以實現(xiàn)由切斷機(jī)構(gòu)進(jìn)行的切斷位置的位置對合或由層疊裝置進(jìn)行的層疊位置的位置對合的自動化。
優(yōu)選當(dāng)上述剝離機(jī)構(gòu)從上述載體薄膜剝離上述片時，上述載體薄膜和上述被層疊體相對移動，使得互相離開。
采用本發(fā)明可提供不降低生產(chǎn)效率，可抑制切斷渣混入的陶瓷生片的層疊裝置和層疊方法。


圖1為表示本發(fā)明的實施例的裝置的大致結(jié)構(gòu)的圖；圖2為表示圖1的切斷機(jī)構(gòu)的主要部分的放大圖；圖3為表示圖2的臂部的主要部分的放大圖；圖4為表示圖2的切斷機(jī)構(gòu)的仰視圖；圖5為表示送入圖2的切斷機(jī)構(gòu)中的載體薄膜的狀態(tài)的圖；圖6為表示切斷機(jī)構(gòu)的片切斷順序的圖；圖7為表示圖1的層疊機(jī)構(gòu)的主要部分的放大圖；圖8為表示利用圖7的層疊機(jī)構(gòu)層疊片時的一個工序的圖；圖9為表示利用圖7的層疊機(jī)構(gòu)層疊片時的一個工序的圖；圖10為表示利用圖7的層疊機(jī)構(gòu)層疊片時的一個工序的圖；圖11為表示利用圖7的層疊機(jī)構(gòu)層疊片時的一個工序的圖；圖12為表示利用圖7的層疊機(jī)構(gòu)層疊片時的一個工序的圖；圖13為表示利用圖7的層疊機(jī)構(gòu)層疊片時的一個工序的圖；圖14為表示利用圖7的層疊機(jī)構(gòu)層疊片時的一個工序的圖；圖15為表示利用圖7的層疊機(jī)構(gòu)層疊片時的一個工序的圖；具體實施方式
以下，參照附圖，詳細(xì)說明實施本發(fā)明的優(yōu)選實施例。相同或同等的元件用相同的符號表示，在說明重復(fù)的情況下，省略其說明。
首先，參照圖1說明本發(fā)明的實施例的陶瓷生片(以下簡稱為“生片”)的層疊裝置(切斷機(jī)構(gòu))10。圖1為層疊裝置10的大致結(jié)構(gòu)的圖。
如圖1所示，層疊裝置10具有卷繞著保持生片G的載體薄膜F的抽出滾子12；在規(guī)定的輸送路徑P上，為從抽出滾子12抽出的載體薄膜F導(dǎo)向的多個導(dǎo)向部R；和卷取在輸送路徑P上被導(dǎo)向的載體薄膜F的卷取滾子14。即在該層疊裝置10中，由抽出滾子12、多個導(dǎo)向部R和卷取滾子14構(gòu)成載體薄膜F的輸送機(jī)構(gòu)15。載體薄膜F在從抽出滾子12抽出后，通過導(dǎo)向部R在輸送路徑P上被導(dǎo)向，由卷取滾子14卷取。
另外，該切斷機(jī)構(gòu)10還具有設(shè)在載體薄膜F的輸送路徑P上的切斷機(jī)構(gòu)20，和設(shè)在切斷機(jī)構(gòu)20下游的輸送路徑P上的層疊機(jī)構(gòu)80。
切斷機(jī)構(gòu)20為從生片G切出正方形(例如160mm×160mm)的片S，將在生片G上形成的后述導(dǎo)體圖形C截斷成每個單位的部分，以下，參照圖2～圖4說明切斷機(jī)構(gòu)20的結(jié)構(gòu)。
切斷機(jī)構(gòu)20具有切斷生片G的切刀部件22，吸著保持載體薄膜F的滑動臺24；和檢測設(shè)在生片G上的后述的標(biāo)記(位置調(diào)整標(biāo)記)M的4臺照相機(jī)(標(biāo)記檢測機(jī)構(gòu))26。
滑動臺24由從其主面的相反面吸著保持載體薄膜F的吸著臺24a，和在鉛直上下方向(圖2的Z方向)驅(qū)動該吸著臺24a的上下驅(qū)動部24b構(gòu)成。在上下驅(qū)動部24b中采用眾所周知的作動器。另外，送入切斷機(jī)構(gòu)20中的載體薄膜F在被滑動臺24的吸著臺24a吸著的狀態(tài)下，沿垂直方向向上輸送，使切刀部件22一側(cè)成為載體薄膜F的主面(生片G形成面)。在用該吸著臺24a吸著之前，利用切刀部件22切斷載體薄膜F的生片G。
切刀部件22由送入切斷機(jī)構(gòu)20中的在上述垂直向上的載體薄膜F的法線方向(厚度方向)上延伸的4個臂部28、保持該4個臂部28的臂保持部30、進(jìn)行臂保持部30的保持與位置調(diào)整的位置調(diào)整部32，和移動4個臂部28的移動機(jī)構(gòu)34構(gòu)成。
如圖3所示，各個臂部28由長尺狀的臂36，設(shè)在臂36的一端36a上的切刀部38，設(shè)在臂36的另一端36b上的皮帶夾持部40，和設(shè)在臂36的中心附近的導(dǎo)向部42構(gòu)成。
切刀部38由具有在與臂36的長度方向垂直的方向上延伸的旋轉(zhuǎn)軸44的圓刃的滾子切刀46；可自由轉(zhuǎn)動地支承該滾子切刀46，同時沿著設(shè)在臂36的側(cè)面36a上的升降軌道48，在臂36的長度方向?qū)虻妮S支承構(gòu)件50；和在離臂36遠(yuǎn)的方向，給軸支承構(gòu)件50加力的壓縮彈簧(壓緊力調(diào)整機(jī)構(gòu))52構(gòu)成。
由于切刀部38具有以上的結(jié)構(gòu)，當(dāng)使臂36的切刀部38接近載體薄膜F，將滾子切刀46壓緊在載體薄膜F上時，滾子切刀46可在載體薄膜F上轉(zhuǎn)動。另外，利用彈簧52調(diào)整滾子切刀46對載體薄膜F的壓緊力。
皮帶夾持部40為將與臂36垂直的后述的定時皮帶B夾持在與臂36之間的部分，利用兩個螺釘54和皮帶壓緊構(gòu)件56將定時皮帶B固定在臂部28上。
導(dǎo)向部42為連接臂保持部30和臂部28的部分。臂保持部30由與送入切斷機(jī)構(gòu)20的載體薄膜F相對的正方形平板狀的板58，和設(shè)在該板58的端面上的4個軌道60構(gòu)成。在板58的厚度方向延伸的臂部28在各個軌道60的每一個上有一個，安裝在導(dǎo)向部42中，使軌道60的延伸方向和滾子切刀46的旋轉(zhuǎn)軸44的軸線(參見圖3的點劃線)垂直。安裝在導(dǎo)向部42上的臂部28由軌道60導(dǎo)向，可在軌道60的延伸方向滑動。
即臂部28的移動方向(軌道60的延伸方向)和滾子切刀46的旋轉(zhuǎn)軸44的軸線方向(與軌道60的延伸方向垂直的方向)垂直。由于這樣，在將滾子切刀46按壓在載體薄膜F上的生片G上的狀態(tài)下，在臂部28沿著軌道60移動的情況下，滾子切刀46由于與生片G之間的摩擦而轉(zhuǎn)動，在臂部28的移動方向行進(jìn)，并將生片G切斷。
保持臂保持部30的位置調(diào)整部32具有在載體薄膜F上的進(jìn)退方向(圖3的Y方向)上，可調(diào)整臂保持部30的位置的第一位置調(diào)整部62；可以在通過板58的中心位置58a的法線周圍(圖3的Y軸周圍)調(diào)整臂保持部30的位置的第二位置調(diào)整部64；和可在與板58相對的載體薄膜F的寬度方向(圖3的X方向)上調(diào)整臂保持部30的位置的第三位置調(diào)整部分66。即位置調(diào)整部32可利用第一位置調(diào)整部62，在相對載體薄膜F的進(jìn)退方向(相對方向)上調(diào)整臂保持部30的位置。另外，通過與第二位置調(diào)整部64和第三位置調(diào)整部66協(xié)同動作，可在臂保持部30的載體薄膜F的面方向(即X-Z平面方向)上調(diào)整位置。
如圖4所示，移動機(jī)構(gòu)34由定時皮帶B、驅(qū)動定時皮帶B的電機(jī)68、和沿著臂保持部30的58的邊，為由電機(jī)68驅(qū)動的定時皮帶B導(dǎo)向的皮帶輪70構(gòu)成。
在皮帶夾持部40上，上述4個臂部28固定在定時皮帶B上。由于這樣，當(dāng)使電機(jī)68正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，驅(qū)動定時皮帶B時，隨之4個臂部28沿著臂保持部30的軌道60，同時移動。這時，各個滾子切刀46同時移動，以得到正方形的軌道。又如圖4所示，沿著定時皮帶B，相鄰的臂部28彼此空出與板58的一個邊的長度大致相同間隔，使得在與各個臂部28對應(yīng)的板58的各邊上，可配置在相同位置上。因此，即使4個臂部28由定時皮帶B同時移動，也可有意地避免臂部28彼此接觸。
送入切斷機(jī)構(gòu)20中的載體薄膜F由PET構(gòu)成，在其主面上保持生片G。在該生片G上形成由相同的金屬材料(例如銅)構(gòu)成的導(dǎo)體圖形C和標(biāo)記M。導(dǎo)體圖形C的1個單位由30個矩形的圖形構(gòu)成，單位區(qū)域A配置成矩陣狀，使它大致為正方形。另外，通過上述臂部28的同時移動，可沿著單位區(qū)域A的輪廓，將導(dǎo)體圖形C截斷為每個單位，這樣，可從生片G切出正方形的片S。上述的標(biāo)記M分別在導(dǎo)體圖形C的各個單位區(qū)域A的角附近形成。這種導(dǎo)體圖形C的單位，空出給定的間隔，在生片G上連續(xù)地形成多個。
在切刀部件22的輸送路徑P的上游設(shè)置4臺照相機(jī)26，利用這4臺照相機(jī)26檢測上述標(biāo)記M的位置。根據(jù)照相機(jī)26檢測出的上述標(biāo)記M的位置，利用圖中沒有示出的控制部驅(qū)動滑動臺24、臂保持部30的第二位置調(diào)整部64和第三位置調(diào)整部66，可進(jìn)行滾子切刀46的切斷位置的調(diào)整。即滑動臺24、臂保持部30的第二位置調(diào)整部64和第三位置調(diào)整部66構(gòu)成本發(fā)明的滾子切刀46的位置調(diào)整機(jī)構(gòu)72。
當(dāng)利用上述的切斷機(jī)構(gòu)20從生片G切出片S時，首先，利用滑動臺24的吸著臺24a吸著保持送入切斷機(jī)構(gòu)20中的載體薄膜F。另外，在吸著保持的載體薄膜F上，利用照相機(jī)26，使用標(biāo)記M，進(jìn)行導(dǎo)體圖形C的單位區(qū)域(即切斷區(qū)域)A的檢測。這時，在由于載體薄膜F的蛇行等產(chǎn)生位置偏移的情況下，利用滾子切口46的上述位置調(diào)整機(jī)構(gòu)72，調(diào)整切斷位置(校正)。還可以利用滑動臺24的上下驅(qū)動部24b，將載體薄膜F輸送至與切刀部件22相對的位置，進(jìn)行從生片G切出片S的處理。
在這個切分處理中，首先，利用第一位置調(diào)整部，使臂保持部30接近載體薄膜F，使?jié)L子切刀46與生片G接觸。這時，如圖6所示，滾子切刀46的位置成為切斷區(qū)域A的角(始點位置)(圖6(a)的X位置)。當(dāng)使移動機(jī)構(gòu)34的電機(jī)68轉(zhuǎn)動，驅(qū)動定時皮帶B時，4個滾子切刀46在保持移動距離d相同的狀態(tài)下，以相同的速度移動(參見圖6(b))。當(dāng)各個滾子切刀46到達(dá)切斷區(qū)域的角(終點位置)時，停止電機(jī)68的轉(zhuǎn)動，停止?jié)L子切刀46的移動(參見圖6(c))。這樣，切出正方形的片S，使得從生片G將導(dǎo)體圖形C截斷為每個單位。根據(jù)需要，反復(fù)使電機(jī)68正轉(zhuǎn)和反轉(zhuǎn)，可以重復(fù)多次將滾子切刀46從始點位置移動至終點位置。
在具有上述的切斷機(jī)構(gòu)20的裝置10中，由于利用滾子切刀46切斷片S的全部的邊(即4個邊)，與利用片式切刀進(jìn)行的生片G的切斷的目前裝置比較，可有意地抑制生片G的切斷不良。又由于不改變部位地切斷片S的各個邊，與切斷各邊時，改變部位的目前裝置比較，可提高切斷尺寸精度。另外，由于利用定時皮帶B同時移動4個滾子切刀46，與依次移動各個滾子切刀46的情況比較，可縮短切斷片S的時間。
另外，在利用照相機(jī)26，使用設(shè)在生片G上的標(biāo)記M，檢測出切斷位置后，根據(jù)該切斷位置，利用位置調(diào)整機(jī)構(gòu)72，進(jìn)行載體薄膜F和滾子切刀46的相對位置的自動調(diào)整。通過采用設(shè)在臂部28的切刀部38上的壓縮彈簧52，即使1個或多個臂部28超過必需地接近載體薄膜F，由于可利用臂部28的壓縮彈簧52調(diào)整壓力，因此可避免滾子切刀46切斷載體薄膜F的問題。
上述片S為正方形，但根據(jù)需要，改變成其他的多角形(例如六角形)也可以。在這種情況下，僅準(zhǔn)備與多角形的邊數(shù)相同的滾子切刀46。
其次，參照圖7，說明設(shè)在上述切斷機(jī)構(gòu)20下游的輸送路徑P上的層疊機(jī)構(gòu)80。
層疊機(jī)構(gòu)80具有控制輸送送入層疊機(jī)構(gòu)80中的載體薄膜F的輸送板82的位置的薄膜輸送部84；進(jìn)行輸送板82的沖壓的沖壓部分86；和依次層疊利用切斷機(jī)構(gòu)20從生片G切出的載體薄膜F上的片S的層疊部88。如圖7所示，在層疊機(jī)構(gòu)80附近，載體薄膜F的輸送路徑P沿著水平方向(圖7的Y方向)，送入切斷機(jī)構(gòu)20中，使載體薄膜F的主面垂直向下。
輸送板82為保持水平的板狀構(gòu)件，通過沿著其上下面使載體薄膜F滑動，可以輸送載體薄膜F。吸著保持位于輸送板82下面的載體薄膜F的薄膜吸著部90，和加熱薄膜吸著部90保持的載體薄膜F的加熱器92放在輸送板82內(nèi)部。輸送板82的端部中，載體薄膜F通過的端部82a前端作成尖銳的，使載體薄膜F容易從下面轉(zhuǎn)入至上面。另外，沖壓部分86和層疊部88，在上下并排配置，使得通過輸送板82相對。
薄膜輸送部84由上述輸送板82；從下方支承該輸送板82，同時可在上下方向(圖7的Z方向)驅(qū)動的上下驅(qū)動部94；和可在水平方向(圖7的Y方向)通過上下驅(qū)動部94驅(qū)動輸送板82的水平驅(qū)動部96構(gòu)成。因此，利用水平驅(qū)動部96的驅(qū)動，薄膜輸送部84可以進(jìn)退，以便使輸送板82放在沖壓部分86和層疊部88之間；并且，通過上下驅(qū)動部94的驅(qū)動，可使放在沖壓部分86和層疊部88之間的輸送板82上下運(yùn)動。另外，在上下驅(qū)動部94和水平驅(qū)動部96中，采用眾所周知的作動器。在輸送路徑P上的層疊機(jī)構(gòu)80的上游設(shè)置停止載體薄膜F的輸送的薄膜固定部97。
配置在輸送板82上方的沖壓部分86由沖壓輸送板82的沖頭98，和保持沖頭98并上下運(yùn)動的沖頭驅(qū)動器100構(gòu)成。
配置在輸送板82下方的層疊部88具有在水平方向延伸的支承臺102；支承在放置在支承臺102上的支架104上，同時依次層疊著上述載體薄膜F的片S的正方形的保持件106；在上下方向延伸，以包圍支架104和保持件106的四角筒狀框架108；和配置在上述支承臺102上，使框架108上下運(yùn)動的框架驅(qū)動部110。
利用框架驅(qū)動部110使框架108上升，通過使框架108的上端面108a與載體薄膜F接觸，在收容保持件106的狀態(tài)下；可以密閉框架108內(nèi)部。另外，框架驅(qū)動部110具有加力機(jī)構(gòu)110a(例如，壓縮彈簧)，使得即使在框架108與載體薄膜F接觸的狀態(tài)下，框架108也可以位移。另外，在支架104內(nèi)部放置加熱保持件106的加熱器112，并且設(shè)置將框架108內(nèi)真空吸氣的吸氣孔104a。
另外，層疊部88具有在支承臺102下，通過支承臺102，進(jìn)行保持件106的位置調(diào)整的位置調(diào)整部114。該位置調(diào)整部114由第一位置調(diào)整部116和第二位置調(diào)整部118構(gòu)成。第一位置調(diào)整部116具有可在通過保持件106的中心位置的垂直軸周圍，調(diào)整支承臺102的位置的機(jī)構(gòu)。第二位置調(diào)整部118具有在與保持件106相對的載體薄膜F的寬度方向(圖7的X方向)上，調(diào)整支承臺102的位置的機(jī)構(gòu)(所謂傾斜機(jī)構(gòu))。即利用位置調(diào)整部114可以調(diào)整保持件106和載體薄膜F的相對位置。
另外，在輸送路徑P上的層疊部88的上游設(shè)有4臺照相機(jī)120(標(biāo)記檢測機(jī)構(gòu))。利用這4臺照相機(jī)120，與上述的照相機(jī)26同樣，檢測設(shè)在載體薄膜F上的標(biāo)記M的位置。根據(jù)照相機(jī)120檢測的標(biāo)記M的位置，利用圖中沒有示出的控制部，驅(qū)動薄膜輸送部84的水平驅(qū)動部96和層疊部88的位置調(diào)整部114，可調(diào)整載體薄膜F和保持件106的相對位置。即由薄膜輸送部84和層疊部88的位置調(diào)整部114，構(gòu)成本發(fā)明的保持件106的位置調(diào)整機(jī)構(gòu)122。
其次，參照圖8～圖15，說明利用層疊機(jī)構(gòu)80在保持件106上層疊載體薄膜F上的片S的順序。在以下的說明中，說明在形成包含多層的片S的層疊體130的保持件106上層疊新的片S的順序。
首先，當(dāng)將利用上述切斷機(jī)構(gòu)20切出的載體薄膜F的片S部分輸送至輸送板82的薄膜吸著部90時，如圖8所示，利用薄膜吸著部90吸著載體薄膜F。在輸送板82吸著保持載體薄膜F的狀態(tài)下，利用照相機(jī)120檢測設(shè)在載體薄膜F上的標(biāo)記M的位置。另外，驅(qū)動水平驅(qū)動部96和層疊部88的位置調(diào)整部114，調(diào)整載體薄膜F和保持件106的相對位置(即位置偏移的校正)。在這個階段，利用框架驅(qū)動部110將框架108保持在下側(cè)的狀態(tài)，保持件106成為從框架108露出的狀態(tài)。
其次，如圖9所示，利用水平驅(qū)動部86移動輸送板82，使它放在沖壓部分86和層疊部88之間。由輸送板82吸著保持的片S和保持件106上的層疊體130在垂直方向相對，使它們重疊。
又如圖10所示，利用框架驅(qū)動部110使框架108上升，將保持件106收容在框架108內(nèi)。接著，如圖11所示，利用薄膜輸送部84的上下驅(qū)動部94，使輸送板82下降，使載體薄膜F緊貼在框架108的上端面108a上。即框架108利用輸送板82封閉，在收容保持件106的狀態(tài)下密閉。在密閉框架108內(nèi)后，利用圖中沒有示出的真空泵，從支架104的吸氣孔104a，進(jìn)行框架108內(nèi)的真空吸氣。
在對框架108內(nèi)進(jìn)行真空吸氣的狀態(tài)下，利用加熱器92加熱薄膜吸著部90，并且利用加熱器112加熱保持件106。如圖12所示，驅(qū)動沖頭驅(qū)動部100，利用沖頭98，以給定的壓力壓下輸送板82。這樣，由薄膜吸著部90吸著的片S被熱接在層疊體130上。這時，由于框架108為利用框架驅(qū)動部110的加力機(jī)構(gòu)110a，處在下降的狀態(tài)，因此可避免框架108妨礙壓接。
接著，利用圖中沒有示出的框架108的脫氣孔，進(jìn)行框架108內(nèi)的脫氣，同時如圖13所示，利用框架驅(qū)動部110使框架108下降，至保持件106露出為止。另外，停止薄膜吸著部90對載體薄膜F的吸著，同時，如圖14所示，利用沖頭驅(qū)動部100，使沖頭98上升。
然后，利用薄膜輸送部84的上下驅(qū)動部94，使輸送板82稍微上升一些距離(至少比生片G的厚度大的距離)。另外，在利用上述薄膜固定部97約束層疊機(jī)構(gòu)80上游的載體薄膜F的移動的狀態(tài)下，利用水平驅(qū)動部86移動輸送板82，使輸送板82從沖壓部分86和層疊部88之間撤退(參見圖15)。這樣，片S剝離的載體薄膜F部分，在端部82a上，轉(zhuǎn)入至輸送板82的上面。這時，片S完全從載體薄膜F剝離。因此，包含輸送板82的薄膜輸送部84起著本發(fā)明剝離機(jī)構(gòu)的作用。
當(dāng)利用水平驅(qū)動部86移動輸送板82時，新的片S1位于設(shè)在輸送板82下面的薄膜吸著部90的位置上。反復(fù)進(jìn)行新的片S1的層疊，可以容易由層疊機(jī)構(gòu)80進(jìn)行多層層疊。
在上述的裝置10中，切斷機(jī)構(gòu)20和層疊機(jī)構(gòu)80分別位于利用輸送機(jī)構(gòu)15輸送的載體薄膜的輸送路徑P上。即生片G的切斷和片S的層疊在一個輸送路徑P上實現(xiàn)。因此，與生片G的切斷和片S的層疊在分別的輸送路徑上進(jìn)行的目前裝置比較，生產(chǎn)效率提高。
另外，由于層疊機(jī)構(gòu)80位于切斷機(jī)構(gòu)20下游的輸送路徑P上，切斷機(jī)構(gòu)20和層疊機(jī)構(gòu)80的位置不同，因此即使在切斷機(jī)構(gòu)20切斷片S時產(chǎn)生切斷渣的情況下，也可以有意地抑制進(jìn)入層疊體130的層間。另外，由于在切斷機(jī)構(gòu)20附近，載體薄膜F在垂直方向延伸，即使產(chǎn)生切斷渣，也容易從載體薄膜F上落下。
另外，在利用照相機(jī)120，使用設(shè)在生片G上的標(biāo)記M，檢測出規(guī)定位置后，根據(jù)該規(guī)定位置，利用位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，進(jìn)行載體薄膜F和保持件106的相對位置的自動調(diào)整。
在上述裝置10中，作為剝離機(jī)構(gòu)的薄膜輸送部84相對移動，使載體薄膜F和層疊體(被層疊體)130互相離開，將片A從載體薄膜F剝離。
本發(fā)明不是僅限于上述實施例，可有各種變形。例如，標(biāo)記M不形成在生片G上，形成在載體薄膜F上也可以。
權(quán)利要求
1.一種陶瓷生片的層疊裝置，其特征為，具有輸送保持陶瓷生片的載體薄膜的輸送機(jī)構(gòu)；位于由所述輸送機(jī)構(gòu)輸送的所述載體薄膜的輸送路徑上，切斷所述陶瓷生片，從所述陶瓷生片切分出給定形狀的片的切斷機(jī)構(gòu)；使位于所述切斷機(jī)構(gòu)下游的所述輸送路徑上，由所述切斷機(jī)構(gòu)切出的所述片重疊在包括所述載體薄膜在內(nèi)的被層疊體上的層疊機(jī)構(gòu)；和從所述載體薄膜剝離所述片的剝離機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的陶瓷生片的層疊裝置，其特征為，在所述陶瓷生片和所述載體薄膜的至少任何一個上設(shè)置位置調(diào)整標(biāo)記，所述切斷機(jī)構(gòu)和所述層疊機(jī)構(gòu)的至少任何一方具有利用所述位置調(diào)整標(biāo)記，檢測出所述陶瓷生片的規(guī)定位置的標(biāo)記檢測機(jī)構(gòu)；和根據(jù)所述標(biāo)記檢測機(jī)構(gòu)檢測出的規(guī)定位置，進(jìn)行位置對合的位置調(diào)整機(jī)構(gòu)。
3.如權(quán)利要求1所述的陶瓷生片的層疊裝置，其特征為，通過使所述載體薄膜和所述被層疊體互相離開地相對移動，所述剝離機(jī)構(gòu)從所述載體薄膜上剝離所述片。
4.一種陶瓷生片的層疊方法，其特征為，具有利用位于保持由輸送機(jī)構(gòu)輸送的所述陶瓷生片的載體薄膜的輸送路徑上的切斷機(jī)構(gòu)，切斷所述陶瓷生片，從所述陶瓷生片切分出給定形狀的片的步驟；利用位于所述切斷機(jī)構(gòu)下游的所述輸送路徑上的層疊機(jī)構(gòu)，使由所述切斷機(jī)構(gòu)切分出的所述片重疊在包括所述載體薄膜在內(nèi)的被層疊體上的步驟；以及利用剝離機(jī)構(gòu)從所述載體薄膜上剝離所述片的步驟。
5.如權(quán)利要求4所述的陶瓷生片的層疊方法，其特征為，在所述陶瓷生片和所述載體薄膜的至少任何一方上設(shè)置位置調(diào)整標(biāo)記，在利用所述切斷機(jī)構(gòu)切分出所述片之前，以及利用層疊機(jī)構(gòu)將所述片重疊在所述被層疊體上之前的至少任何一方中具有通過標(biāo)記檢測機(jī)構(gòu)，利用所述位置調(diào)整標(biāo)記，檢測出所述陶瓷生片的規(guī)定位置的步驟；和利用位置對合機(jī)構(gòu)，根據(jù)所述標(biāo)記檢測機(jī)構(gòu)檢測出的規(guī)定位置，進(jìn)行位置對合的步驟。
6.如權(quán)利要求4所述的陶瓷生片的層疊裝置，其特征為，當(dāng)所述剝離機(jī)構(gòu)從所述載體薄膜剝離所述片時，所述載體薄膜和所述被層疊體相對移動，從而互相離開。
全文摘要
在本發(fā)明的陶瓷生片(G)的層疊裝置(10)中，切斷機(jī)構(gòu)(20)和層疊機(jī)構(gòu)(80)分別位于由輸送機(jī)構(gòu)(15)輸送的載體薄膜(F)的輸送路徑(P)上。即陶瓷生片(G)的切斷和片的層疊在一個輸送路徑(P)上實現(xiàn)。由于這樣，可以有意地抑制生產(chǎn)效率的降低。另外，切斷機(jī)構(gòu)(20)和層疊機(jī)構(gòu)(80)的位置不同。因此，即使在切斷機(jī)構(gòu)(20)切斷時產(chǎn)生切斷渣的情況下，可以有意地抑制進(jìn)入生片層疊體(130)的層間的問題。
文檔編號H01G4/12GK1841590SQ20061006595
公開日2006年10月4日 申請日期2006年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月30日
發(fā)明者淀川吉見, 中村進(jìn), 高橋喜久夫, 高橋誠, 八木弘, 佐藤司 申請人:Tdk株式會社