專利名稱：具備洗滌裝置的加工機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及切斷半導(dǎo)體晶片等被加工物的切削機(jī)等加工機(jī)，更詳細(xì)為涉及具備洗滌加工后的被加工物的洗滌裝置的加工機(jī)。
背景技術(shù)：
在制造半導(dǎo)體設(shè)備的工序中，近似圓板狀的半導(dǎo)體晶片的表面被形成為格子狀的稱為“跡道(ストリ一ト)”的預(yù)定切割線區(qū)分成多個(gè)區(qū)域，在該被區(qū)分成的區(qū)域中形成IC、LSI等設(shè)備。通過沿預(yù)定切割線切斷這樣形成的半導(dǎo)體晶片制來造各個(gè)半導(dǎo)體芯片。
上述沿預(yù)定切割線切斷半導(dǎo)體晶片通常是用被稱為切丁機(jī)的切削機(jī)進(jìn)行的。該切削機(jī)具備保持半導(dǎo)體晶片等被加工物的卡盤臺、切削被保持在該卡盤臺上的被加工物的切削機(jī)構(gòu)、洗滌由該切削單元切削加工的加工后的被加工物的洗滌裝置、以及將被保持在卡盤臺上的加工后的被加工物輸送到洗滌裝置上的輸送機(jī)構(gòu)。在用這樣的切削機(jī)沿預(yù)定切割線切削半導(dǎo)體晶片時(shí)，為了使切割下來的半導(dǎo)體晶片不會散亂，在將半導(dǎo)體晶片粘貼在安裝于環(huán)形框上的保護(hù)帶上的狀態(tài)下實(shí)施。
上述洗滌裝置具備旋轉(zhuǎn)臺，將粘貼有加工后的半導(dǎo)體晶片的保護(hù)帶保持在該旋轉(zhuǎn)臺上，在給半導(dǎo)體晶片提供洗滌水的同時(shí)使旋轉(zhuǎn)臺高速旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)洗滌加工后的半導(dǎo)體晶片。該洗滌作業(yè)時(shí)由于旋轉(zhuǎn)臺高速旋轉(zhuǎn)，因此洗滌水飛濺或者沿預(yù)定切割線切削下來的半導(dǎo)體晶片的外周部生成的余料從保護(hù)帶上剝離下來飛濺。為了使這樣飛濺的洗滌水或余料不會飛濺到洗滌裝置的外面，提出過用蓋部件適當(dāng)?shù)卣趽跸礈煅b置的開口部的切削機(jī)的方案(參照例如專利文獻(xiàn)1)。
專利文獻(xiàn)1日本特開2003-7674號公報(bào)但是，遮擋洗滌裝置的開口部的蓋部件的大小有必要形成為面積比開口部的面積大，至少需要搬入搬出晶片時(shí)避讓蓋部件的空間。
另外，也考慮過用折皺保護(hù)罩構(gòu)成蓋部件，或者用具有撓性的帶狀部件形成蓋部件，再用軋輥卷繞，通過這樣減小使蓋部件處于避讓狀態(tài)下的空間的方案。然而，在使蓋部件從遮擋狀態(tài)變?yōu)楸茏尃顟B(tài)時(shí)，存在附著在折皺保護(hù)罩或帶狀部件下面的洗滌水被擠下落在已經(jīng)洗滌的晶片的表面上，污染晶片的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述實(shí)際情況而被作出的，其主要技術(shù)課題就是提供一種具備能夠減小遮擋開口部的蓋部件在避讓狀態(tài)下的空間、并且能夠防止在使蓋部件處于避讓狀態(tài)時(shí)洗滌水落下的洗滌裝置的加工機(jī)。
為了解決上述主要技術(shù)問題，本發(fā)明的具備洗滌裝置的加工機(jī)具備卡盤臺，保持被加工物；加工機(jī)構(gòu)，加工被保持在該卡盤臺上的被加工物；洗滌裝置，洗滌由該加工機(jī)構(gòu)加工過的被加工物；以及輸送機(jī)構(gòu)，將被保持在該卡盤臺上的加工后的被加工物輸送到該洗滌裝置上，該具備洗滌裝置的加工機(jī)的特征在于，該洗滌裝置具備上面開口的洗滌外罩；旋轉(zhuǎn)臺，配設(shè)在該洗滌外罩內(nèi)、保持并旋轉(zhuǎn)被加工物；洗滌水供給機(jī)構(gòu)，對保持在該旋轉(zhuǎn)臺上的被加工物提供洗滌水；以及蓋機(jī)構(gòu)，可以開閉地遮擋該洗滌外罩的開口，該蓋機(jī)構(gòu)具備多個(gè)蓋部件，被構(gòu)成為彼此可以上下分開地在與該洗滌外罩的開口相鄰設(shè)置的避讓區(qū)域和遮擋該開口的遮擋區(qū)域之間移動，遮擋該遮擋區(qū)域；以及蓋部件動作機(jī)構(gòu)，使位于該避讓區(qū)域的上述多個(gè)蓋部件移動到該遮擋區(qū)域，并使位于該遮擋區(qū)域的上述多個(gè)蓋部件移動到該避讓區(qū)域，上述多個(gè)蓋部件當(dāng)移動到該避讓區(qū)域時(shí)，處于彼此上下重合的位置。
上述多個(gè)蓋部件具備第1蓋部件，被構(gòu)成為可以在與該洗滌外罩的開口相鄰設(shè)置的該避讓區(qū)域和該遮擋區(qū)域的第1區(qū)域之間移動，遮擋該第1區(qū)域；第2蓋部件，被構(gòu)成為可以在該第1區(qū)域與該避讓區(qū)域之間的第2區(qū)域和該避讓區(qū)域之間移動，遮擋該第2區(qū)域，上述蓋部件動作機(jī)構(gòu)使位于該避讓區(qū)域的該第1蓋部件和該第2蓋部件移動到該第1區(qū)域和該第2區(qū)域，并使位于該第1區(qū)域和該第2區(qū)域的該第1蓋部件和該第2蓋部件移動到該避讓區(qū)域。
上述蓋機(jī)構(gòu)具備第1導(dǎo)軌，在避讓區(qū)域與第1區(qū)域之間引導(dǎo)該第1蓋部件；第2導(dǎo)軌，配設(shè)在比該第1導(dǎo)軌靠下側(cè)，在該避讓區(qū)域與該第2區(qū)域之間引導(dǎo)該第2蓋部件；以及連動機(jī)構(gòu)，當(dāng)使該第1蓋部件從該避讓區(qū)域移動到該第1區(qū)域時(shí)，與該第1蓋部件從該第2區(qū)域向該第1區(qū)域的移動相連動，使該第2蓋部件從該避讓區(qū)域移動到該第2區(qū)域，當(dāng)使該第1蓋部件從該第1區(qū)域移動到該避讓區(qū)域時(shí)，與該第1蓋部件從該第2區(qū)域向該避讓區(qū)域的移動相連動，使該第2蓋部件從該第2區(qū)域移動到該避讓區(qū)域，上述蓋部件動作機(jī)構(gòu)使第1蓋部件移動。
發(fā)明的效果本發(fā)明的裝備到加工機(jī)中的洗滌裝置，由于當(dāng)可以開閉地遮擋洗滌外罩的開口的蓋機(jī)構(gòu)的多個(gè)蓋部件移動到避讓區(qū)域時(shí)處于上下重合的位置，因此使多個(gè)蓋部件處于避讓區(qū)域時(shí)所占的面積大致與一個(gè)蓋部件的面積相等，能夠減小避讓區(qū)域的空間。并且，由于采用使多個(gè)蓋部件可以彼此上下分開移動的結(jié)構(gòu)，因此在被加工物洗滌后使多個(gè)蓋部件從遮擋區(qū)域移動到避讓區(qū)域時(shí)，附著在多個(gè)蓋部件下面的洗滌水不會被擠落下來。


圖1是具備按本發(fā)明構(gòu)成的洗滌裝置的加工機(jī)的立體圖。
圖2是裝備到圖1所示的切削機(jī)中的洗滌裝置的主要部分的立體圖。
圖3是構(gòu)成裝備到圖1所示的切削機(jī)中的洗滌裝置的蓋機(jī)構(gòu)的立體圖。
圖4是構(gòu)成圖3所示的蓋機(jī)構(gòu)的連動機(jī)構(gòu)的說明圖。
圖5是構(gòu)成圖3所示的蓋機(jī)構(gòu)的動作機(jī)構(gòu)的主要部分的剖視圖。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖詳細(xì)說明具備依本發(fā)明構(gòu)成的洗滌裝置的加工機(jī)的優(yōu)選實(shí)施形態(tài)。
圖1表示具備依本發(fā)明構(gòu)成的洗滌裝置的作為加工機(jī)的切削機(jī)的立體圖。
圖示實(shí)施形態(tài)的切削機(jī)具備近似長方體狀的裝置外殼2。保持被加工物的卡盤臺(チヤツクテ一ブル)3可以沿切削進(jìn)給方向即用箭頭X表示的切削進(jìn)給方向移動地配置在該裝置外殼2內(nèi)。卡盤臺3具備吸附卡盤支持臺31和安裝在該吸附卡盤支持臺31上的吸附卡盤32，作為被加工物的例如圓板狀晶片用圖中沒有示出的吸引機(jī)構(gòu)保持在該吸附卡盤32的表面即安置面上。并且，卡盤臺3可以由圖中沒有表示的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。另外，卡盤臺3上安裝有后述用于固定環(huán)形框的夾持件33。
圖示切削機(jī)具備作為切削機(jī)構(gòu)的主軸組件4。主軸組件4具備安裝在圖中沒有表示的移動底座上沿箭頭Y所示的分度(割り出し)方向以及箭頭Z所示的進(jìn)刀方向移動調(diào)整的主軸套(スピンドルハウジング)41、旋轉(zhuǎn)自由地支持在該主軸套41上的旋轉(zhuǎn)主軸42、安裝在該旋轉(zhuǎn)主軸42頂端部的作為旋轉(zhuǎn)工具的切削刀片43。
圖示切削機(jī)具備拍攝保持在上述卡盤臺3上的被加工物的表面、檢測需要用上述切削刀片43切削的區(qū)域或者確認(rèn)切削槽的狀態(tài)的攝像單元5。該攝像單元5由顯微鏡或CCD相機(jī)等光學(xué)單元構(gòu)成，拍攝的圖像信號傳送給圖中沒有表示的控制單元。并且，圖示的晶片分割裝置具備顯示由攝像單元5拍攝的圖像的顯示單元6。
圖示實(shí)施形態(tài)的切削機(jī)具備洗滌在卡盤臺3上被切削加工的被加工物的洗滌裝置7。下面參照圖2至圖5說明該洗滌裝置7。
圖示實(shí)施形態(tài)的洗滌裝置7具備圖2所示的洗滌外罩71和沒有該洗滌外罩71地配置的旋轉(zhuǎn)臺機(jī)構(gòu)72。
洗滌外罩71包括上面具備開口710的洗滌水容器711和3根(圖2中表示了2根)支持該洗滌水容器711的支持腿712。洗滌水容器711包括圓筒狀外側(cè)壁711a、底壁711b和內(nèi)側(cè)壁711c。在底壁711b的中央部設(shè)置有穿插后述的電動機(jī)的驅(qū)動軸的孔711d，形成有從該孔711d的邊緣向上突出的內(nèi)側(cè)壁711c。并且，在底壁711b上設(shè)置有排液口711e，排水軟管713連接在該排液口711e上。
上述旋轉(zhuǎn)臺機(jī)構(gòu)72具備旋轉(zhuǎn)臺721、驅(qū)動該旋轉(zhuǎn)臺721旋轉(zhuǎn)的電動機(jī)722、可以沿上下方向移動地支持該電動機(jī)722的支持機(jī)構(gòu)723。旋轉(zhuǎn)臺721具有由多孔性材料形成的吸附卡盤721a，該吸附卡盤721a與圖中沒有表示的吸引機(jī)構(gòu)連通。因此，旋轉(zhuǎn)臺721將作為被加工物的晶片安放在吸附卡盤721a上，通過圖中沒有表示的吸引機(jī)構(gòu)產(chǎn)生負(fù)壓將晶片保持在旋轉(zhuǎn)臺721上。另外，旋轉(zhuǎn)臺721上配設(shè)有用于固定后述的環(huán)形框的夾持件724。這種結(jié)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)臺721配設(shè)在洗滌水容器711內(nèi)。上述電動機(jī)722將其驅(qū)動軸722a穿插到洗滌水容器711的底壁711b的中央部所形成的孔711d中配設(shè)，上述旋轉(zhuǎn)臺721連接在該驅(qū)動軸722a的上端。上述支持機(jī)構(gòu)723包括多根(在圖示實(shí)施形態(tài)中為3根)支持腿723a和多個(gè)(在圖示實(shí)施形態(tài)中為3個(gè))分別連接該支持腿723a安裝在電動機(jī)722上的汽缸723b。這樣構(gòu)成的支持機(jī)構(gòu)723通過使汽缸723b動作，使電動機(jī)722和旋轉(zhuǎn)臺721位于圖1所示上方位置的被加工物搬入、搬出位置和位于比該被加工物板、搬出位置靠下預(yù)定量的位置的作業(yè)位置。
圖示洗滌裝置7具備用于洗滌保持在上述旋轉(zhuǎn)臺721上的加工后的被加工物的洗滌水供給機(jī)構(gòu)74。洗滌水供給機(jī)構(gòu)74具備向保持在旋轉(zhuǎn)臺721上的加工后的被加工物噴出洗滌水的洗滌水噴嘴741、和使該洗滌水噴嘴741擺動的可以正轉(zhuǎn)、逆轉(zhuǎn)的電動機(jī)(圖中沒有表示)，該洗滌水噴嘴741與圖中沒有表示的洗滌水供給源連接。洗滌水噴嘴741包括沿水平方向延伸的頂端部向下彎曲的噴嘴部741a、和從該噴嘴部741a的基端向下延伸的支持部741b，支持部741b穿過構(gòu)成上述洗滌外罩71的洗滌水容器711的底壁711b上設(shè)置的、圖中沒有表示的穿插孔地配設(shè)，與圖中沒有表示的洗滌水供給源相連。另外，洗滌水噴嘴741的噴嘴部741a的頂端向下彎曲。
并且，圖示的洗滌裝置7具備向保持在旋轉(zhuǎn)臺721上的加工后的被加工物吹空氣的干燥用空氣供給機(jī)構(gòu)75。干燥用空氣供給機(jī)構(gòu)75具備向保持在旋轉(zhuǎn)臺721上的被加工物噴出空氣的空氣噴嘴751、和使該空氣噴嘴751擺動的能夠正轉(zhuǎn)、逆轉(zhuǎn)的電動機(jī)(圖中沒有表示)，該空氣噴嘴751與圖中沒有表示的空氣供給源連接?？諝鈬娮?51包括水平延伸的噴嘴部751a、和從該噴嘴部751a的基端向下延伸的支持部751b，支持部751b穿過設(shè)置在構(gòu)成上述洗滌水容器711的底壁711b上的圖中沒有表示的穿插孔地配設(shè)，與圖中沒有表示的空氣供給源連接。另外，空氣噴嘴751的噴嘴部751a的頂端向下彎曲。
下面回到圖1繼續(xù)說明。圖示實(shí)施形態(tài)的洗滌裝置7具備可以開閉地遮擋上述洗滌外罩71的洗滌水容器711的開口710的蓋機(jī)構(gòu)8。蓋機(jī)構(gòu)8具備隔著洗滌水容器711的開口710平行地配設(shè)在裝置外殼2上面的一對導(dǎo)軌部件81、81以及可以沿這對導(dǎo)軌部件81、81移動地配設(shè)的第1蓋部件82和第2蓋部件83。一對導(dǎo)軌部件81、81的截面如圖3所示呈L字形狀，具備第1導(dǎo)軌部811和形成在比該第1導(dǎo)軌部811靠下側(cè)的第2導(dǎo)軌部812。這樣地形成。一對導(dǎo)軌部件81、81分別使第2導(dǎo)軌部812位于內(nèi)側(cè)而相對地配設(shè)。
上述第1蓋部件82形成為矩形，其兩端部安放在上述一對導(dǎo)軌部件81、81的第1導(dǎo)軌部811、811上。該第1蓋部件82的寬度為遮擋比上述洗滌水容器711的開口710的一半稍微寬的區(qū)域的寬度，其結(jié)構(gòu)為能夠在第1導(dǎo)軌部811、811上在與洗滌水容器711的開口710相鄰地設(shè)置的避讓位置70a與遮擋區(qū)域的第1區(qū)域70b之間移動。上述第2蓋部件83形成為矩形，其兩端部安放在上述一對導(dǎo)軌部件81、81的第2導(dǎo)軌部812、812上。該第2蓋部件83的寬度為遮擋比上述洗滌水容器711的開口710的一半稍微寬的區(qū)域的寬度，其結(jié)構(gòu)為能夠在第2導(dǎo)軌部812、812上在避讓位置70a和該避讓位置70a與第1區(qū)域70b之間的遮擋區(qū)域的第2區(qū)域70c之間移動。于是，當(dāng)?shù)?蓋部件82和第2蓋部件83處在避讓位置70a的位置時(shí)，為互相位于上下的位置。另外，第2蓋部件83的厚度設(shè)定為比第1導(dǎo)軌部811、811與第2導(dǎo)軌部812、812之間的高度差薄的值。因此，第1蓋部件82與第2蓋部件83不會接觸，能夠在第1導(dǎo)軌部811、811和第2導(dǎo)軌部812、812上滑動。
在第1蓋部件82與第2蓋部件83之間設(shè)置如下的連動機(jī)構(gòu)84像圖4所示那樣當(dāng)使第1蓋部件82從避讓位置70a移動到第1區(qū)域70b時(shí)，與第1蓋部件82從第2區(qū)域70c向第1區(qū)域70b的移動相連動，使第2蓋部件83從避讓位置70a移動到第2區(qū)域70c，當(dāng)使第1蓋部件82從第1區(qū)域70b移動到避讓位置70a時(shí)，與第1蓋部件82從第2區(qū)域70c向避讓位置70a的移動相連動，使第2蓋部件83從第2區(qū)域70c移動到避讓位置70a。圖4所示的連動機(jī)構(gòu)84包括設(shè)置在第1蓋部件82的下面的第1卡合部件841、設(shè)置在第2蓋部件83的上面的第2卡合部件842、和第3卡合部件843。第1卡合部件841設(shè)置在第1蓋部件82的避讓位置70a一側(cè)的端部(圖4中的右端)。第2卡合部件842和第3卡合部件843設(shè)置在上述第1卡合部件841的移動軌跡上的第2蓋部件83的兩端部。該第1卡合部件841與第2卡合部件842和第3卡合部件843的關(guān)系為，第1卡合部件841位于第2卡合部件842與第3卡合部件843之間。于是，在第1蓋部件82和第2蓋部件83位于避讓位置70a的狀態(tài)下，第1卡合部件841與第2卡合部件842相卡合。
連動機(jī)構(gòu)84的結(jié)構(gòu)如上所述，下面說明其作用。
如果在第1蓋部件82和第2蓋部件83如圖4實(shí)線所示那樣位于避讓位置70a的狀態(tài)下使第1蓋部件82向第1區(qū)域70b移動，則如圖4中單點(diǎn)劃線所示那樣第1蓋部件82到達(dá)第2區(qū)域70c時(shí)，第1蓋部件82上設(shè)置的第1卡合部件841與第2蓋部件83上設(shè)置的第3卡合部件843卡合。因此，當(dāng)?shù)?蓋部件82從第2區(qū)域70c向第1區(qū)域70b移動時(shí)，使第2蓋部件83像圖4中的雙點(diǎn)劃線所示的那樣移動到第2區(qū)域70c。接著，如果在圖4的雙點(diǎn)劃線所示那樣第1蓋部件82位于第1區(qū)域70b、第2蓋部件83位于第2區(qū)域70c的狀態(tài)下，使第1蓋部件82向避讓位置70a移動的話，則當(dāng)?shù)?蓋部件82到達(dá)第2區(qū)域70c時(shí)，第1蓋部件82上設(shè)置的第1卡合部件841與第2蓋部件83上設(shè)置的第2卡合部件842卡合。因此，當(dāng)?shù)?蓋部件82從第2區(qū)域70c向避讓位置70a移動時(shí)，第2蓋部件83也移動到避讓位置70a。另外，連動機(jī)構(gòu)84也可以將上述第1卡合部件841設(shè)置在第2卡合部件842上，將上述第2卡合部件842和第3卡合部件843設(shè)置在第2蓋部件83上。
下面回到圖3繼續(xù)說明。圖示實(shí)施形態(tài)的蓋機(jī)構(gòu)8具備使第1蓋部件82沿一對導(dǎo)軌部件81、81移動的蓋部件動作機(jī)構(gòu)9。蓋部件動作機(jī)構(gòu)9具備在第1蓋部件82的上側(cè)沿一個(gè)導(dǎo)軌部件81配設(shè)的引導(dǎo)管91、和沿安裝在第1蓋部件82上的引導(dǎo)管91移動的移動滑塊92。引導(dǎo)管91用非磁性材料形成，其兩端部由配設(shè)在裝置外殼2上面(參照圖1)的支持部件93、93支持。在該引導(dǎo)管91內(nèi)像圖5所示那樣可以滑動地配設(shè)有圓筒狀永久磁鐵94。移動滑塊92用磁性材料形成，設(shè)置有穿插上述引導(dǎo)管91的穿插孔921。這樣形成的移動滑塊92安裝到第1蓋部件82的上面。于是，永久磁鐵94與移動滑塊92位于相對的位置。因此，形成從永久磁鐵94穿過移動滑塊92的磁力線，當(dāng)永久磁鐵94在引導(dǎo)管91內(nèi)移動時(shí)，移動滑塊92與永久磁鐵94一起移動。因此，安裝有移動滑塊92的第1蓋部件82也與永久磁鐵94一起移動。
圖示實(shí)施形態(tài)的蓋部件動作機(jī)構(gòu)9具備像圖3所示那樣從上述引導(dǎo)管91的兩端選擇性地供給空氣的空氣供給機(jī)構(gòu)95。空氣供給機(jī)構(gòu)95包括空氣供給源951、連接該空氣供給源951與上述引導(dǎo)管91的兩端的空氣管952、953、954、配設(shè)在空氣管952與空氣管953、954之間的4通道(ポ一ト)電磁轉(zhuǎn)換閥955。4通道電磁轉(zhuǎn)換閥955在圖示的斷電(除勢)(OFF)狀態(tài)下空氣管952與空氣管953、954的連通被阻斷。而一個(gè)電磁線圈955a通電(附勢)(ON)時(shí)，空氣管952與空氣管953連通，另一個(gè)電磁線圈955b通電(ON)時(shí)，空氣管952與空氣管954連通。因此，當(dāng)4通道電磁轉(zhuǎn)換閥955的一個(gè)電磁線圈955a通電(ON)使空氣管953與空氣管952連通時(shí)，從空氣供給源951經(jīng)由空氣管952、4通道電磁轉(zhuǎn)換閥955和空氣管953給引導(dǎo)管91的一端(圖3中為右上端)提供空氣。結(jié)果，使配設(shè)在引導(dǎo)管91中的永久磁鐵94從圖3中的右上側(cè)向左下側(cè)(圖5中的左方)移動。并且，當(dāng)4通道電磁轉(zhuǎn)換閥955的另一個(gè)電磁線圈955b通電(ON)使空氣管952與空氣管954連通時(shí)，從空氣供給源951經(jīng)由空氣管952、4通道電磁轉(zhuǎn)換閥955和空氣管954給引導(dǎo)管91的另一端(圖3中的左下端)供給空氣。結(jié)果，使配設(shè)在引導(dǎo)管91內(nèi)的永久磁鐵94從圖3中的左下側(cè)向右上側(cè)(圖5中的右方)移動。
下面回到圖1繼續(xù)說明。圖示實(shí)施形態(tài)的切削機(jī)具備安放收容作為被加工物的半導(dǎo)體晶片10的盒子的盒子安放部13a。盒子安放部13a上配設(shè)有可以由圖中沒有表示的升降機(jī)構(gòu)驅(qū)動上下移動的盒子臺131，盒子13安放在該盒子臺131上。半導(dǎo)體晶片10粘貼在安裝到環(huán)形框11上的保護(hù)帶12的表面上，在通過保護(hù)帶12被支持在框11上的狀態(tài)下收容到上述盒子13中。另外，半導(dǎo)體晶片10的表面被排列成格子狀的多條預(yù)定分割線區(qū)分成多個(gè)區(qū)域，在該被區(qū)分的區(qū)域內(nèi)形成IC、LSI等元件。
圖示實(shí)施形態(tài)的切削機(jī)具備被加工物搬出、送入機(jī)構(gòu)15，將容納于上述盒子13內(nèi)的切削加工前的半導(dǎo)體晶片10搬出到配設(shè)在臨時(shí)放置部14a上的定位機(jī)構(gòu)14上，并且將切削加工后的半導(dǎo)體晶片10搬入盒子13內(nèi)；第1被加工物輸送機(jī)構(gòu)16，將搬到定位機(jī)構(gòu)14上的切削加工前的半導(dǎo)體晶片10傳送到上述卡盤臺3上；以及第2被加工物輸送機(jī)構(gòu)17，將在卡盤臺3上被切削加工過的半導(dǎo)體晶片10輸送到洗滌裝置7上。
圖示實(shí)施形態(tài)的切削機(jī)為以上結(jié)構(gòu)，下面說明其作用。
如圖1所示，通過保護(hù)帶12支持在環(huán)形框11上的切削加工前的半導(dǎo)體晶片10(以下只稱為半導(dǎo)體晶片10)將表面、即形成有元件和預(yù)定分割線的面作為上側(cè)地收容到盒子13的預(yù)定位置。被收容到盒子13的預(yù)定位置上的切削加工前的半導(dǎo)體晶片10由于由圖中沒有表示的升降機(jī)構(gòu)驅(qū)動盒子臺131上下移動而被安放到搬出位置。接著，被加工物搬出、搬入機(jī)構(gòu)15進(jìn)退動作，將位于搬出位置上的半導(dǎo)體晶片10搬出到配設(shè)在臨時(shí)放置部14a上的定位機(jī)構(gòu)14上。被搬出到定位機(jī)構(gòu)14上的半導(dǎo)體晶片10被定位機(jī)構(gòu)14定位在預(yù)定的位置上。接著，被定位機(jī)構(gòu)14定位的切削加工前的半導(dǎo)體晶片10被第1被加工物輸送機(jī)構(gòu)16輸送到卡盤臺3的吸附卡盤32上，保護(hù)帶12一側(cè)被吸引保持在該吸附卡盤32上。并且，環(huán)形框11被夾持件33固定。這樣一來，吸引保持著半導(dǎo)體晶片10的卡盤臺3被移動到攝像單元5的正下方。當(dāng)卡盤臺3位于攝像單元5的正下方時(shí)，由攝像單元5檢測半導(dǎo)體晶片10上形成的切斷線，沿箭頭Y所示的分度方向移動調(diào)節(jié)主軸組件4，進(jìn)行切斷線與切削刀片43的精確定位作業(yè)。
接著實(shí)施使切削刀片43旋轉(zhuǎn)并沿預(yù)定分割線切斷半導(dǎo)體晶片10的切斷工序。即，使切削刀片43沿箭頭Z(參照圖1)所示的方向前進(jìn)預(yù)定的量，使旋轉(zhuǎn)主軸42即切削刀片43旋轉(zhuǎn)同時(shí)使卡盤臺3沿圖1中箭頭X所示的方向以預(yù)定的切削進(jìn)給速度移動，通過這樣，保持在卡盤臺3上的半導(dǎo)體晶片10被切削刀片43沿預(yù)定的切斷線切斷。另外，在切斷工序中，給切削刀片43進(jìn)行的切削部供給切削水。
在像上述那樣沿半導(dǎo)體晶片10上形成的預(yù)定的切斷線實(shí)施了切斷工序后，使作為切削機(jī)構(gòu)的主軸組件4沿圖1中箭頭Y所示的方向分度移動與切斷線的間隔相等的量(分度工序)，遂行上述切斷工序。在這樣對沿預(yù)定方向延伸的所有的切斷線遂行了切斷工序和分度工序以后，使卡盤臺3及保持在其上的半導(dǎo)體晶片10轉(zhuǎn)動90°，沿與上述預(yù)定方向成直角延伸的各切斷線實(shí)施上述切斷工序和分度工序，通過這樣，半導(dǎo)體晶片10被分割成單個(gè)元件。分割后的元件在保護(hù)帶12的作用下不會散亂，維持半導(dǎo)體晶片10被支持在環(huán)形框11上的狀態(tài)。
在這樣將半導(dǎo)體晶片10分割成單個(gè)元件后，使保持半導(dǎo)體晶片10的卡盤臺3回到最初吸引保持著半導(dǎo)體晶片10的位置，在這里解除半導(dǎo)體晶片10的吸引保持，并且解除夾持機(jī)構(gòu)33對環(huán)形框11的固定。然后，半導(dǎo)體晶片10被第2被加工物輸送機(jī)構(gòu)17送入構(gòu)成洗滌裝置7的旋轉(zhuǎn)臺721的吸附卡盤721a上，被該吸附卡盤721a吸引保持。并且，環(huán)形框11被夾持件724固定。此時(shí)洗滌水噴嘴741和空氣噴嘴751如圖2所示位于洗滌水容器711的上方離開洗滌水容器711的待機(jī)位置。另外，在將切削加工后的半導(dǎo)體晶片10送入構(gòu)成洗滌裝置7的旋轉(zhuǎn)臺721時(shí)，上述蓋機(jī)構(gòu)8的第1蓋部件82和第2蓋部件83位于圖1和圖3中實(shí)線表示的避讓區(qū)域70a。
在像上述那樣將切削加工后的半導(dǎo)體晶片10保持在洗滌裝置7的旋轉(zhuǎn)臺721上后，接通構(gòu)成蓋部件動作機(jī)構(gòu)9的空氣供給機(jī)構(gòu)95的4通道電磁轉(zhuǎn)換閥955的一個(gè)電磁線圈955a的電源(ON)。當(dāng)接通4通道電磁轉(zhuǎn)換閥955的一個(gè)電磁線圈955a的電源(ON)時(shí)，空氣管952與空氣管953連通，從空氣供給源951經(jīng)由空氣管952、4通道電磁轉(zhuǎn)換閥955和空氣管953給引導(dǎo)管91的一端(圖3中的右上端)提供空氣，因此配設(shè)在引導(dǎo)管91內(nèi)的永久磁鐵94從圖3中的右上側(cè)向左下側(cè)(圖5中的左方)移動。結(jié)果，嵌插在引導(dǎo)管91上的移動滑塊92與永久磁鐵94一起移動，因此安裝有移動滑塊92的第1蓋部件82從避讓區(qū)域70a向第1區(qū)域70b移動。因此，當(dāng)?shù)?區(qū)域70b到達(dá)第2區(qū)域70c時(shí)，由于像圖4中的單點(diǎn)劃線所示的那樣第1蓋部件82上設(shè)置的第1卡合部件841與第2蓋部件83上設(shè)置的第3卡合部件843卡合，因此第2蓋部件83也從避讓區(qū)域70a向第2區(qū)域70c移動。當(dāng)?shù)?蓋部件82到達(dá)第1區(qū)域70b，第2蓋部件83到達(dá)第2區(qū)域70c時(shí)，斷開4通道電磁轉(zhuǎn)換閥955的一個(gè)電磁線圈955a的電源(OFF)。這樣一來，當(dāng)?shù)?蓋部件82到達(dá)第1區(qū)域70b的位置，第2蓋部件83到達(dá)第2區(qū)域70c的位置時(shí)，洗滌外罩71的洗滌水容器711的開口710被第1蓋部件82和第2蓋部件83覆蓋。
在像上述那樣使洗滌水容器711的開口710被第1蓋部件82和第2蓋部件83覆蓋后，實(shí)施洗滌被保持在洗滌裝置7的旋轉(zhuǎn)臺721上的切削加工后的半導(dǎo)體晶片10的洗滌工序。即，使旋轉(zhuǎn)臺721到達(dá)比圖2所示的位置靠下的作業(yè)位置，并且驅(qū)動洗滌水供給機(jī)構(gòu)74的圖中沒有表示的電動機(jī)，使洗滌水供給噴嘴741的噴嘴部741a的噴出口到達(dá)保持在旋轉(zhuǎn)臺721上的半導(dǎo)體晶片10的中心部的上方位置。然后，使旋轉(zhuǎn)臺721以例如300rpm的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，同時(shí)從噴嘴部741a的噴出口噴出可以是純凈水的洗滌水。此時(shí)，驅(qū)動圖中沒有表示的電動機(jī)，使從洗滌水供給噴嘴741的噴嘴部741a的噴出口噴出的洗滌水在正對保持在旋轉(zhuǎn)臺721上的半導(dǎo)體晶片10的中心的位置到對著外周邊緣的位置所需要的角度范圍內(nèi)擺動。結(jié)果，在上述切削工序中附著在半導(dǎo)體晶片10的表面上的切削屑被除去。在該洗滌工序中，雖然供給的洗滌水和在半導(dǎo)體晶片10的外周邊緣形成的余料隨著旋轉(zhuǎn)臺721的旋轉(zhuǎn)而飛濺，但由于洗滌水容器711的開口710被第1蓋部件82和第2蓋部件83覆蓋，因此不會飛濺到洗滌水容器711的外部。
在上述洗滌工序結(jié)束以后，實(shí)施干燥工序。即，使洗滌水供給噴嘴741到達(dá)待機(jī)位置，并且使構(gòu)成干燥用空氣供給機(jī)構(gòu)75的空氣噴嘴751的噴嘴部751a的噴出口到達(dá)保持于旋轉(zhuǎn)臺721上的半導(dǎo)體晶片10的中心部上方的位置。然后，使旋轉(zhuǎn)臺721以例如2000rpm的旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)，同時(shí)從噴嘴部751a的噴出口噴出15秒左右的空氣。此時(shí)，使空氣噴嘴751在使從噴嘴部751a噴出的空氣對著保持在旋轉(zhuǎn)臺721上的半導(dǎo)體晶片10的中心的位置到對著外周邊緣的位置所需要的角度范圍內(nèi)擺動。結(jié)果，半導(dǎo)體晶片10的表面被干燥。
在像上述那樣實(shí)施了洗滌工序和干燥工序后，使旋轉(zhuǎn)臺721停止旋轉(zhuǎn)，并且使干燥用空氣供給機(jī)構(gòu)75的空氣噴嘴751到達(dá)待機(jī)位置。然后，使旋轉(zhuǎn)臺721到達(dá)圖2所示的被加工物搬入、搬出位置，并且解除對保持在旋轉(zhuǎn)臺721上的半導(dǎo)體晶片10的吸引保持。接著，接通構(gòu)成蓋部件動作機(jī)構(gòu)9的空氣供給機(jī)構(gòu)95的4通道電磁轉(zhuǎn)換閥955的另一個(gè)電磁線圈955b的電源(ON)。當(dāng)接通4通道電磁轉(zhuǎn)換閥955的另一個(gè)電磁線圈955b的電源(ON)時(shí)，空氣管952與空氣管954連通，從空氣供給源951經(jīng)由空氣管952、4通道電磁轉(zhuǎn)換閥955和空氣管954給引導(dǎo)管91的另一端(圖3中的左下端)供給空氣，因此配設(shè)在引導(dǎo)管91內(nèi)的永久磁鐵94從圖3中的左下側(cè)向右上側(cè)(圖中的右方)移動。結(jié)果，嵌插在引導(dǎo)管91上的移動滑塊92與永久磁鐵94一起移動，因此安裝有移動滑塊92的第1蓋部件82從第1區(qū)域70b向避讓位置70a移動。因此，當(dāng)?shù)?區(qū)域70b到達(dá)第2區(qū)域70c時(shí)，由于第1蓋部件82上設(shè)置的第1卡合部件841與第2蓋部件83上設(shè)置的第2卡合部件842卡合，因此第2蓋部件83也從第2區(qū)域70c向避讓區(qū)域70a移動。當(dāng)?shù)?蓋部件82和第2蓋部件83到達(dá)避讓區(qū)域70a時(shí)，斷開4通道電磁轉(zhuǎn)換閥955的另一個(gè)電磁線圈955b的電源(OFF)。
當(dāng)像上述那樣使第1蓋部件82和第2蓋部件83到達(dá)避讓區(qū)域70a時(shí)，洗滌水容器711上的加工后的半導(dǎo)體晶片10被第1被加工物輸送機(jī)構(gòu)16搬出到配設(shè)在臨時(shí)放置部14a上的定位機(jī)構(gòu)14上。被搬出到定位機(jī)構(gòu)14上的加工后的半導(dǎo)體晶片10被被加工物搬出機(jī)構(gòu)15收容到盒子13的預(yù)定位置。
如上所述，由于裝備到切削機(jī)中的洗滌裝置7采用由第1蓋部件82和第2蓋部件83構(gòu)成可以開閉地遮擋洗滌外罩71的洗滌水容器711的開口710的蓋機(jī)構(gòu)8，當(dāng)移動到避讓區(qū)域時(shí)處于上下位置關(guān)系的結(jié)構(gòu)，因此使第1蓋部件82和第2蓋部件83處于避讓區(qū)域70a時(shí)所占的面積與一個(gè)蓋部件的面積大致相同，能夠減小避讓區(qū)域70a的空間。并且，由于第1蓋部件82和第2蓋部件83采用在不接觸的狀態(tài)下分別在第1導(dǎo)軌部811、811和第2導(dǎo)軌部812、812上滑動的結(jié)構(gòu)，因此當(dāng)在洗滌工序結(jié)束之后使第1蓋部件82和第2蓋部件83從第1區(qū)域70b和第2區(qū)域70c移動到避讓區(qū)域70a時(shí)，附著在第1蓋部件82和第2蓋部件83下面的洗滌水不會被擠落下來。
雖然以上根據(jù)圖示的實(shí)施形態(tài)說明了本發(fā)明，但本發(fā)明并不僅限于實(shí)施形態(tài)，在本發(fā)明的宗旨范圍內(nèi)可以進(jìn)行種種變形。例如，雖然在圖示的實(shí)施形態(tài)中以使用2塊蓋部件為例，但也可以使用3塊以上的蓋部件。并且，雖然在圖示實(shí)施形態(tài)中以切削機(jī)作為具備洗滌裝置的加工機(jī)的例子，但本發(fā)明并不局限于切削機(jī)，也可以適用于激光加工機(jī)等其他加工機(jī)。
權(quán)利要求
1.一種具備洗滌裝置的加工機(jī)，其具備卡盤臺，保持被加工物；加工機(jī)構(gòu)，加工被保持在該卡盤臺上的被加工物；洗滌裝置，洗滌由該加工機(jī)構(gòu)加工過的被加工物；以及輸送機(jī)構(gòu)，將被保持在該卡盤臺上的加工后的被加工物輸送到該洗滌裝置上，其特征在于，該洗滌裝置具備上面開口的洗滌外罩；旋轉(zhuǎn)臺，配設(shè)在該洗滌外罩內(nèi)、保持并旋轉(zhuǎn)被加工物；洗滌水供給機(jī)構(gòu)，對保持在該旋轉(zhuǎn)臺上的被加工物提供洗滌水；以及蓋機(jī)構(gòu)，可以開閉地遮擋該洗滌外罩的開口，該蓋機(jī)構(gòu)具備多個(gè)蓋部件，被構(gòu)成為彼此可以上下分開地在與該洗滌外罩的開口相鄰設(shè)置的避讓區(qū)域和遮擋該開口的遮擋區(qū)域之間移動，遮擋該遮擋區(qū)域；以及蓋部件動作機(jī)構(gòu)，使位于該避讓區(qū)域的上述多個(gè)蓋部件移動到該遮擋區(qū)域，并使位于該遮擋區(qū)域的上述多個(gè)蓋部件移動到該避讓區(qū)域，上述多個(gè)蓋部件當(dāng)移動到該避讓區(qū)域時(shí)，處于彼此上下重合的位置。
2.如權(quán)利要求1所述的具備洗滌裝置的加工機(jī)，其特征在于，上述多個(gè)蓋部件具備第1蓋部件，被構(gòu)成為可以在與該洗滌外罩的開口相鄰設(shè)置的該避讓區(qū)域和該遮擋區(qū)域的第1區(qū)域之間移動，遮擋該第1區(qū)域；第2蓋部件，被構(gòu)成為可以在該第1區(qū)域與該避讓區(qū)域之間的第2區(qū)域和該避讓區(qū)域之間移動，遮擋該第2區(qū)域，該蓋部件動作機(jī)構(gòu)使位于該避讓區(qū)域的該第1蓋部件和該第2蓋部件移動到該第1區(qū)域和該第2區(qū)域，并使位于該第1區(qū)域和該第2區(qū)域的該第1蓋部件和該第2蓋部件移動到該避讓區(qū)域。
3.如權(quán)利要求2所述的具備洗滌裝置的加工機(jī)，其特征在于，該蓋機(jī)構(gòu)具備第1導(dǎo)軌，在避讓區(qū)域與第1區(qū)域之間引導(dǎo)該第1蓋部件；第2導(dǎo)軌，配設(shè)在比該第1導(dǎo)軌靠下側(cè)，在該避讓區(qū)域與該第2區(qū)域之間引導(dǎo)該第2蓋部件；以及連動機(jī)構(gòu)，當(dāng)使該第1蓋部件從該避讓區(qū)域移動到該第1區(qū)域時(shí)，與該第1蓋部件從該第2區(qū)域向該第1區(qū)域的移動相連動，使該第2蓋部件從該避讓區(qū)域移動到該第2區(qū)域，當(dāng)使該第1蓋部件從該第1區(qū)域移動到該避讓區(qū)域時(shí)，與該第1蓋部件從該第2區(qū)域向該避讓區(qū)域的移動相連動，使該第2蓋部件從該第2區(qū)域移動到該避讓區(qū)域，該蓋部件動作機(jī)構(gòu)使第1蓋部件移動。
全文摘要
本發(fā)明提供一種具備能減小遮擋開口部的蓋部件處于避讓狀態(tài)時(shí)的空間、并能防止使蓋部件避讓時(shí)洗滌水落下的洗滌裝置的加工機(jī)。其具備洗滌裝置，洗滌裝置具備上面開口的洗滌外罩；旋轉(zhuǎn)臺，配設(shè)在該洗滌外罩內(nèi)、保持并旋轉(zhuǎn)被加工物；洗滌水供給機(jī)構(gòu)，對保持在該旋轉(zhuǎn)臺上的被加工物提供洗滌水；以及蓋機(jī)構(gòu)，可開閉地遮擋該洗滌外罩的開口。蓋機(jī)構(gòu)具備多個(gè)蓋部件，被構(gòu)成為彼此可以上下分開地在與洗滌外罩的開口相鄰設(shè)置的避讓區(qū)域和遮擋該開口的遮擋區(qū)域之間移動，遮擋區(qū)域；以及蓋部件動作機(jī)構(gòu)，使位于避讓區(qū)域的多個(gè)蓋部件移動到遮擋區(qū)域，并使位于遮擋區(qū)域的多個(gè)蓋部件移動到避讓區(qū)域，多個(gè)蓋部件當(dāng)移動到避讓區(qū)域時(shí)，處于彼此上下重合的位置。
文檔編號H01L21/02GK1872433SQ20061009303
公開日2006年12月6日 申請日期2006年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月2日
發(fā)明者楠欣浩 申請人:株式會社迪斯科