專(zhuān)利名稱(chēng)：半導(dǎo)體光電器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種作為光信息處理用的光源、光通信的信號(hào)、以及光纖放大器的激勵(lì)光源等使用的半導(dǎo)體激光器、放大光信號(hào)的半導(dǎo)體放大器和調(diào)制光信號(hào)的光調(diào)制器等的半導(dǎo)體光電器件。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體激光器、光調(diào)制器等半導(dǎo)體光電器件端面部的波導(dǎo)層上，通常，涂覆有反射膜。如把設(shè)于該半導(dǎo)體光電器件端面部的反射膜(涂覆膜折射率n1)的膜厚d設(shè)定為λ/(4n1)的奇數(shù)倍，反射膜的反射率就取極小值。進(jìn)而，通過(guò)在端面部形成涂覆膜具有包括波導(dǎo)層的疊層構(gòu)造體折射率nc的平方根折射率而得到無(wú)反射膜。例如，把半導(dǎo)體激光器端面的反射膜制成無(wú)反射膜的例子(例如，參照非專(zhuān)利文獻(xiàn)1)是眾所周知。
可以認(rèn)為，在包括半導(dǎo)體光電器件端面部波導(dǎo)層的疊層構(gòu)造體(有效折射率nc＝3.37)上改變膜厚形成單層反射膜(折射率n1＝1.449)的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系。這里，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下要設(shè)定為使其反射率取最小值。所謂反射率取最小值的情況，就是λ/(4n1)奇數(shù)倍膜厚的情況。因此，如對(duì)膜厚λ/(4n1)的單層反射膜的情況和膜厚5λ/(4n1)的單層反射膜情況分別進(jìn)行研究，膜厚λ/(4n1)的單層反射膜與膜厚5λ/(4n1)的單層反射膜相比，在反射率極小值近旁的平坦部分要寬廣。
具體如下所述。膜厚d1＝λ/(4n1)時(shí)，波長(zhǎng)980nm下就是極小反射率值4％，極小反射率值+2％的波長(zhǎng)帶寬擴(kuò)展為從848nm到1161nm的313nm。另一方面，厚度d1＝5λ/(4n1)時(shí)，波長(zhǎng)980nm下極小反射率值4％雖相同，但極小反射率值+2％的波長(zhǎng)帶寬極端變窄為從951nm到1011nm的60nm。這時(shí)，用規(guī)定波長(zhǎng)除以波長(zhǎng)帶寬的值為0.061。極小反射率值+2.5％的波長(zhǎng)帶寬是從949nm到1013nm的64nm，將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值為0.065。

I.Ladany，et al.，“Scandium oxide antireflection coatings for super-luminescentLEDs”，Appl.Opt.Vol.25，No.4，pp.472-473，(1986)發(fā)明內(nèi)容如上述一樣，按λ/(4n1)的奇數(shù)倍把半導(dǎo)體光電器件端面部反射膜的膜厚d制成厚膜的情況，存在反射率極小值近旁的低反射率區(qū)域波長(zhǎng)帶寬變窄，半導(dǎo)體激光器特性受到反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系的影響，變化很大這樣的問(wèn)題。
因此，本發(fā)明的目的是提供一種具備極小反射率近旁波長(zhǎng)帶寬寬廣的反射膜的半導(dǎo)體光電器件。
本發(fā)明的半導(dǎo)體光電器件其特征是具備包括由有源層和夾著所述有源層的2張包層構(gòu)成的波導(dǎo)層的疊層構(gòu)造體，和在所述疊層構(gòu)造體的一對(duì)相對(duì)端面部至少其一端面部上形成的多層反射膜；所述多層反射膜各自膜的折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi，對(duì)于波導(dǎo)所述波導(dǎo)層的光的波長(zhǎng)λ，滿足∑nidi＞λ/4的關(guān)系；同時(shí)所述多層反射膜以所述波長(zhǎng)λ時(shí)的反射率R(λ)為基準(zhǔn)，包括成為+2.0％以下所述波長(zhǎng)λ的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬Δλ，對(duì)于所述疊層構(gòu)造體的有效折射率nc與所述波長(zhǎng)λ時(shí)的反射率R’(λ)，把僅以厚度5λ/(4nf)在所述端面部形成折射率nf滿足下述關(guān)系式R’(λ)＝((nc-nf2)/(nc+nf2))2的虛擬單層反射膜情況的反射率R’作為基準(zhǔn)，比包括成為+2.0％以下所述波長(zhǎng)λ的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬Δ’λ還寬。
本發(fā)明的半導(dǎo)體光電器件其特征是具備包括由有源層和夾著上述有源層的2張包層構(gòu)成的波導(dǎo)層的疊層構(gòu)造體，和在所述疊層構(gòu)造體的一對(duì)相對(duì)的端面部的至少其一端面部上形成的多層反射膜；所述多層反射膜各自膜的折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi，對(duì)于波導(dǎo)所述波導(dǎo)層的光的波長(zhǎng)λ，滿足∑nidi＞λ/4的關(guān)系；同時(shí)所述多層反射膜以所述波長(zhǎng)λ情況的反射率R(λ)為基準(zhǔn)，把包括成為從-1.0％到+2.0％范圍內(nèi)所述波長(zhǎng)λ的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬Δλ除以所述波長(zhǎng)λ的值Δλ/λ為0.062以上。
本發(fā)明的半導(dǎo)體光電器件其特征是具備包括由有源層和夾著上述有源層的2張包層構(gòu)成的波導(dǎo)層的疊層構(gòu)造體，和在所述疊層構(gòu)造體的一對(duì)相對(duì)的端面部的至少其一端面部上形成的多層反射膜；所述多層反射膜各自膜的折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi，對(duì)于波導(dǎo)所述波導(dǎo)層的光的波長(zhǎng)λ，滿足∑nidi＞λ/4的關(guān)系；同時(shí)所述多層反射膜以所述波長(zhǎng)λ情況的反射率R(λ)為基準(zhǔn)，把包括成為從-1.5％到+1.0％范圍內(nèi)所述波長(zhǎng)λ連續(xù)的波長(zhǎng)帶寬Δλ除以所述波長(zhǎng)λ的值Δλ/λ是0.066以上。
另外，對(duì)于∑nidi，最好是滿足∑nidi＞5λ/4的關(guān)系。因此進(jìn)而能夠制成厚的反射膜。并且，將上述波長(zhǎng)帶寬Δλ除以上述波長(zhǎng)λ的值Δλ/λ較好的是0.070以上，更好的是0.090以上，最好的是0.10以上。如果低反射率的波長(zhǎng)帶寬Δλ寬廣，反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系就小，因而即使波導(dǎo)光的波長(zhǎng)變化的情況，也能抑制特性變化。
根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體光電器件，多層反射膜的各自膜的折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi大于波導(dǎo)波導(dǎo)層的光的規(guī)定波長(zhǎng)，例如980nm的1/4波長(zhǎng)。進(jìn)而，該多層反射膜的∑nidi大于波導(dǎo)光的大約5/4波長(zhǎng)，就非常厚。因此端面的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。并且，多層反射膜作為波長(zhǎng)函數(shù)的反射率，將設(shè)定波長(zhǎng)λ的成為反射率從-1.0％到+2.0％范圍內(nèi)連續(xù)的波長(zhǎng)帶寬Δλ除以所述波長(zhǎng)λ的值Δλ/λ是0.062以上。并且，多層反射膜作為波長(zhǎng)函數(shù)的反射率，將設(shè)定波長(zhǎng)λ的成為反射率從-1.5％到+1.0％范圍內(nèi)連續(xù)的波長(zhǎng)帶寬Δλ’除以所述波長(zhǎng)λ的值Δλ’/λ是0.066以上。由此，盡管是非常之厚的膜，卻將加寬一定反射率的波長(zhǎng)帶寬Δλ(Δλ’)。


圖1是表示由復(fù)數(shù)表示的振幅反射率的復(fù)平面圖。
圖2是表示端面上具有虛擬單層反射膜的半導(dǎo)體光電器件構(gòu)造概略剖面圖。
圖3是表示用2層膜置換圖2的虛擬單層反射膜時(shí)的本發(fā)明半導(dǎo)體光電器件構(gòu)造概略剖面圖。
圖4是表示用4層膜置換圖2的虛擬單層反射膜時(shí)的本發(fā)明半導(dǎo)體光電器件構(gòu)造概略剖面圖。
圖5是表示本發(fā)明實(shí)施例1的半導(dǎo)體光電器件端面部構(gòu)造概略剖面圖。
圖6是表示本發(fā)明實(shí)施例1的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖7是表示本發(fā)明實(shí)施例2的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖8是表示端面部上所形成的虛擬單層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖9是表示本發(fā)明實(shí)施例3的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖10是表示本發(fā)明實(shí)施例4的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖11是表示本發(fā)明實(shí)施例5的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖12是表示本發(fā)明實(shí)施例6的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖13是表示本發(fā)明實(shí)施例7的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖14是表示本發(fā)明實(shí)施例8的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖15是表示本發(fā)明實(shí)施例9的半導(dǎo)體光電器件端面部構(gòu)造概略剖面圖。
圖16是表示本發(fā)明實(shí)施例9的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖17是表示本發(fā)明實(shí)施例10的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖18是表示本發(fā)明實(shí)施例11的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖19是表示本發(fā)明實(shí)施例12的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖20是表示本發(fā)明實(shí)施例13的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖21是表示本發(fā)明實(shí)施例14的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖22是表示本發(fā)明實(shí)施例15的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖23是表示本發(fā)明實(shí)施例16的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖24是表示本發(fā)明實(shí)施例17的半導(dǎo)體光電器件端面部構(gòu)造概略剖面圖。
圖25是表示本發(fā)明實(shí)施例17的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖26是表示本發(fā)明實(shí)施例18的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖27是表示本發(fā)明實(shí)施例19的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖28是表示本發(fā)明實(shí)施例20的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖29是表示本發(fā)明實(shí)施例21的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖30是表示本發(fā)明實(shí)施例22的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖31是表示本發(fā)明實(shí)施例23的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖32是表示本發(fā)明實(shí)施例24的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖33是表示本發(fā)明實(shí)施例25的半導(dǎo)體光電器件端面部構(gòu)造概略剖面圖。
圖34是表示本發(fā)明實(shí)施例25的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖35是表示本發(fā)明實(shí)施例26的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖36是表示本發(fā)明實(shí)施例27的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖37是表示本發(fā)明實(shí)施例28的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖38是表示本發(fā)明實(shí)施例29的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖39是表示本發(fā)明實(shí)施例30的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖40是表示本發(fā)明實(shí)施例31的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖41是表示本發(fā)明實(shí)施例32的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖42是表示本發(fā)明實(shí)施例33的半導(dǎo)體光電器件端面部構(gòu)造概略剖面圖。
圖43是表示本發(fā)明實(shí)施例33的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖44是表示本發(fā)明實(shí)施例34的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖45是表示本發(fā)明實(shí)施例35的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖46是表示本發(fā)明實(shí)施例36的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖47是表示本發(fā)明實(shí)施例37的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖48是表示本發(fā)明實(shí)施例38的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖49是表示本發(fā)明實(shí)施例39的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖50是表示本發(fā)明實(shí)施例40的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖51是表示本發(fā)明實(shí)施例41的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖52是表示本發(fā)明實(shí)施例42的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖53是表示本發(fā)明實(shí)施例43的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖54是表示本發(fā)明實(shí)施例44的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖55是表示本發(fā)明實(shí)施例45的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖56是表示本發(fā)明實(shí)施例46的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖57是表示本發(fā)明實(shí)施例47的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖58是表示本發(fā)明實(shí)施例48的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖59是表示本發(fā)明實(shí)施例49的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖60是表示本發(fā)明實(shí)施例50的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖61是表示本發(fā)明實(shí)施例51的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖62是表示本發(fā)明實(shí)施例52的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖63是表示本發(fā)明實(shí)施例53的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖64是表示本發(fā)明實(shí)施例54的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖65是表示本發(fā)明實(shí)施例55的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖66是表示本發(fā)明實(shí)施例56的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖67是表示本發(fā)明實(shí)施例57的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖68是表示本發(fā)明實(shí)施例58的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖69是表示本發(fā)明實(shí)施例59的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖70是表示本發(fā)明實(shí)施例60的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖71是表示本發(fā)明實(shí)施例61的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖72是表示本發(fā)明實(shí)施例62的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖73是表示本發(fā)明實(shí)施例63的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖74是表示本發(fā)明實(shí)施例64的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖75是表示本發(fā)明實(shí)施例65的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖76是表示本發(fā)明實(shí)施例66的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖77是表示本發(fā)明實(shí)施例67的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖78是表示本發(fā)明實(shí)施例68的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖79是表示本發(fā)明實(shí)施例69的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖80是表示本發(fā)明實(shí)施例70的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖81是表示本發(fā)明實(shí)施例71的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖82是表示本發(fā)明實(shí)施例72的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖83是表示本發(fā)明實(shí)施例73的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖84是表示本發(fā)明實(shí)施例74的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖85是表示本發(fā)明實(shí)施例75的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖86是表示本發(fā)明實(shí)施例76的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖87是表示本發(fā)明實(shí)施例77的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖88是表示本發(fā)明實(shí)施例78的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖89是表示本發(fā)明實(shí)施例79的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖90是表示本發(fā)明實(shí)施例80的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖91是表示本發(fā)明實(shí)施例81的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖92是表示本發(fā)明實(shí)施例82的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖93是表示本發(fā)明實(shí)施例83的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖94是表示本發(fā)明實(shí)施例84的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖95是表示本發(fā)明實(shí)施例85的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖96是表示本發(fā)明實(shí)施例86的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖97是表示本發(fā)明實(shí)施例87的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖98是表示本發(fā)明實(shí)施例88的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖99是表示本發(fā)明實(shí)施例89的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖100是表示本發(fā)明實(shí)施例90的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖101是表示本發(fā)明實(shí)施例91的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖102是表示本發(fā)明實(shí)施例92的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖103是表示本發(fā)明實(shí)施例93的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖104是表示本發(fā)明實(shí)施例94的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖105是表示本發(fā)明實(shí)施例95的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖106是表示本發(fā)明實(shí)施例96的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖107是表示本發(fā)明實(shí)施例97的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖108是表示本發(fā)明實(shí)施例98的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖109是表示本發(fā)明實(shí)施例99的半導(dǎo)體光電器件端面部構(gòu)造概略剖面圖。
圖110是表示本發(fā)明實(shí)施例99的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖111是表示本發(fā)明實(shí)施例100的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖112是表示本發(fā)明實(shí)施例101的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖113是表示本發(fā)明實(shí)施例102的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖114是表示本發(fā)明實(shí)施例103的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖115是表示本發(fā)明實(shí)施例104的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖116是表示本發(fā)明實(shí)施例105的半導(dǎo)體光電器件端面部構(gòu)造概略剖面圖。
圖117是表示本發(fā)明實(shí)施例105的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖118是表示本發(fā)明實(shí)施例106的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖119是表示本發(fā)明實(shí)施例107的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖120是表示本發(fā)明實(shí)施例108的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖121是表示本發(fā)明實(shí)施例109的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
圖122是表示本發(fā)明實(shí)施例110的半導(dǎo)體光電器件端面部上所形成的多層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。
具體實(shí)施例方式
利用附圖，說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體光電器件。另外，附圖中，實(shí)質(zhì)上給同一部件附加同一符號(hào)。
首先，利用圖1到圖5，說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例半導(dǎo)體光電器件端面部所形成的多層反射膜反射率的算出。圖1是表示復(fù)數(shù)表示的振幅反射率r的復(fù)平面圖。圖2是表示半導(dǎo)體光電器件端面上單層反射膜的概略剖面圖。圖3是表示設(shè)置2層反射膜而取代圖2的單層反射膜時(shí)的概略剖面圖。圖4是表示設(shè)置4層反射膜而取代圖2的單層反射膜時(shí)的概略剖面圖。圖5是表示設(shè)置7層反射膜而取代單層反射膜時(shí)的概略剖面圖。關(guān)于波長(zhǎng)λ的光的復(fù)數(shù)表示的振幅反射率r，由下式(1)表示，可在圖1的復(fù)平面上表示出來(lái)。
r＝rr(λ)+iri(λ)(1)這里，i是虛數(shù)單位(i＝(-1)1/2)，rr(λ)是實(shí)數(shù)部分，ri(λ)是虛數(shù)部分。通常使用的反射率是所述振幅反射率的2次方，所謂該反射率成為零的情況，就是如下列式(2a)、(2b)那樣使振幅反射率的實(shí)數(shù)部分和虛數(shù)部分一起變成零的情況。通過(guò)對(duì)兩個(gè)關(guān)系式求解可以得到反射率為零的條件。
rr(λ)＝0(2a)ri(λ)＝0(2b)另一方面，想要求出不是零的反射率的情況，因?yàn)闆Q定該圖1的復(fù)平面上各點(diǎn)振幅反射率，所以上述這個(gè)條件式不是唯一地決定的。因此，可以考慮對(duì)波導(dǎo)的波長(zhǎng)λ獲得要求反射率的虛擬單層反射膜。圖2是半導(dǎo)體光電器件的波導(dǎo)層10端面上設(shè)置單層反射膜1的虛擬單層反射膜概略剖面圖。反射膜1面對(duì)大氣等的自由空間5。使單層反射膜1的振幅反射率r變成最小的條件，利用半導(dǎo)體光電器件的波導(dǎo)層10進(jìn)行波導(dǎo)的光的波長(zhǎng)λ、單層反射膜1的折射率ni以及膜厚df，由下述式(3)表示。
df=λ4nf(2m+1)---(3)]]>這里，m＝0、1、2、3等非負(fù)的整數(shù)。
該虛擬單層膜的振幅反射率r的最小值由下述(4)表示。
r=nc-nf2nc+nf2---(4)]]>另外，反射率R相對(duì)于振幅反射率r，用|r|2來(lái)表示。即，由R＝((nc-nf2)/(nc+nf2))2表示。于是，如果想要得到反射率R＝4％，在半導(dǎo)體光電器件的波導(dǎo)層有效折射率nc＝3.37時(shí)，求解上述式，作為單層反射膜1的折射率nf，可得到2.248或1.499。但是，通常，大多不能得到具有這樣折射率的單層膜。因此，對(duì)用多層反射膜置換上述虛擬單層反射膜進(jìn)行研究。
就設(shè)置2層反射膜時(shí)的反射率來(lái)代替上述單層反射膜的反射率進(jìn)行研究。圖3是端面部上采用2層反射膜來(lái)代替虛擬單層反射膜時(shí)的概略剖面圖。至于把該2層反射膜反射率的極小值設(shè)定為規(guī)定值，說(shuō)明通過(guò)本發(fā)明人的研究結(jié)果。如把構(gòu)成2層反射膜的第1層膜1和第2層膜2的相位變化分別設(shè)為1和2，就如下述式(5)和(6)所定義。
φ1=2πλn1d1---(5)]]>φ2=2πλn2d2---(6)]]>這時(shí)，由復(fù)數(shù)表示的振幅反射率r就以下式(7)表示。
r=Re1+iIm1Re2+im2---(7)]]>這里，i是虛數(shù)單位，Re1和Re2分別是分子、分母的實(shí)數(shù)部分，Im1和Im2分別是分子、分母的虛數(shù)部分。
上述式(7)的分子、分母中的實(shí)數(shù)部分Re1、Re2和虛數(shù)部分Im1、Im2，分別如下式(8a)到(8d)所示。
Re1=(nc-1)cosφ1cosφ2+(n1n2-n2ncn1)sinφ1sinφ2---(8a)]]>Im1=-{(ncn2-n2)cosφ1sinφ2+(ncn1-n1)sinφ1cosφ2}---(8b)]]>Re2=(nc+1)cosφ1cosφ2-(n2ncn1+n1n2)sinφ1sinφ2---(8c)]]>Im2=-{(ncn2+n2)cosφ1sinφ2+(ncn1+n1)sinφ1cosφ2}---(8d)]]>并且，電力反射率R，利用上述振幅反射率r由|r|2來(lái)表示。決定厚度d1和d2以便于該式(7)所表示的振幅反射率與用式(4)表示的上述單層反射膜的振幅反射率相同。
圖4是端面部上設(shè)置4層反射膜來(lái)代替單層反射膜時(shí)的概略剖面圖。對(duì)該4層反射膜的反射率在設(shè)定波長(zhǎng)中成為與上述虛擬單層反射膜的反射率相同的條件進(jìn)行研究。在4層反射膜的情況，振幅反射率由下述式(9)表示。
r=(m11+m12)nc-(m21+m22)(m11+m12)nc+(m21+m22)---(9)]]>
這里，mij(i，j是1或2)由下述式(10)表示。
m11m12m21m22=cosAφ1-in1sinAφ1-in1sinφ1cosAφ1cosAφ2-in2sinAφ2-in2sinAφ2cosAφ2]]>×cosBφ1-in1sinBφ1-in1sinBφ1cosBφ1cosBφ2-in2sinBφ2-in2sinBφ2cosBφ2---(10)]]>另外，A，B是表示第1層膜1的膜厚設(shè)為Ad1、第2層膜2的膜厚設(shè)為Ad2、第3層膜3的膜厚設(shè)為Bd1、第4層膜4的膜厚設(shè)為Bd2的情況各自2層膜(裸露)的影響程度的參數(shù)。
圖5是波導(dǎo)層10端面部上設(shè)置7層反射膜20來(lái)代替單層反射膜時(shí)的概略剖面圖。對(duì)要將該7層反射膜的反射率設(shè)定為使之變成與上述虛擬單層反射膜的反射率相同的條件進(jìn)行研究。在7層反射膜20的情況下，振幅反射率，與4層反射膜同樣，由下述式(11)表示。
r=(m11+m12)nc-(m21+m22)(m11+m12)nc+(m21+m22)---(11)]]>這里，mij(i，j是1或2)由下述式(12)表示。
m11m12m21m22=cosOφ2-in1sinOφ2-in2sinOφ2cosOφ2]]>×cosAφ1-in1sinAφ1-in1sinAφ1cosAφ1cosAφ2-in2sinAφ2-in2sinAφ2cosAφ2]]>×cosBφ1-in1sinBφ1-in1sinBφ1cosBφ1cosBφ2-in2sinBφ2-in2sinBφ2cosBφ2]]>×cosCφ1-in1sinCφ1-in1sinCφ1cosCφ1cosCφ2-in2sinCφ2-in2sinCφ2cosCφ2---(12)]]>另外，O、A、B、C是表示設(shè)為第1層膜11的膜厚設(shè)為Od2、第2層膜12的膜厚設(shè)為Ad1、第3層膜13的膜厚設(shè)為Ad2、第4層膜14的膜厚設(shè)為Bd1、第5層膜15的膜厚設(shè)為Bd2、第6層膜16的膜厚設(shè)為d1、第7層膜17的膜厚設(shè)為Cd2的情況，各自2層膜(裸露)的影響程度的參數(shù)。
實(shí)施例1利用圖5和圖6，說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例1的半導(dǎo)體光電器件。圖5是設(shè)置7層反射膜來(lái)代替單層反射膜時(shí)的概略剖面圖。該半導(dǎo)體光電器件是，例如半導(dǎo)體激光器、光調(diào)制器、光開(kāi)關(guān)等。該半導(dǎo)體光電器件在光波導(dǎo)的波導(dǎo)層端面部以規(guī)定波長(zhǎng)為中心的寬廣波長(zhǎng)帶寬范圍內(nèi)，設(shè)置具有低反射率的多層反射膜。這樣，通過(guò)設(shè)置低反射率多層反射膜的辦法，可以降低例如，半導(dǎo)體激光器情況所謂由返回光所發(fā)生的噪聲。并且，在光調(diào)制器和光開(kāi)關(guān)的情況，可使信號(hào)低損耗透過(guò)。并且，該多層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)具有低反射率，因而即使振蕩波長(zhǎng)變化的情況和信號(hào)中心波長(zhǎng)變化的情況，也能抑制反射特性對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系。
其次，對(duì)半導(dǎo)體光電器件端面部上設(shè)置的7層反射膜20，利用圖5進(jìn)行說(shuō)明。圖5是表示半導(dǎo)體光電器件端面部設(shè)有7層反射膜20的構(gòu)成概略剖面圖。該半導(dǎo)體光電器件中，在波導(dǎo)層10(等效折射率nc＝3.37)的端面部上，順序?qū)盈B氧化鋁的第1層膜11(折射率n2＝1.62，膜厚Od2)、氧化鉭的第2層膜12(折射率n1＝2.057，膜厚Ad1)、氧化鋁的第3層膜13(折射率n2＝1.62，膜厚Ad2)、氧化鉭的第4層膜14(折射率n1＝2.057，膜厚Bd1)、氧化鋁的第5層膜15(折射率n2＝1.62，膜厚Bd2)、氧化鉭的第6層膜16(折射率n1＝2.057，膜厚Cd1)、氧化鋁的第7層膜17(折射率n2＝1.62，膜厚Cd2)。并且第7層膜與大氣等自由空間5接連起來(lái)。
對(duì)該半導(dǎo)體光電器件端面部設(shè)有7層反射膜20的反射特性進(jìn)行說(shuō)明。首先，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為2％。把各參數(shù)設(shè)為O＝0.2、A＝2.2、B＝2.0、C＝2.0的情況，氧化鉭和氧化鋁的相位變化1和2分別為1＝0.45844、2＝1.14932的情況，在波長(zhǎng)980nm下得到反射率2％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝22.13nm/76.47nm/243.44nm/69.52nm/221.31nm/69.52nm/221.31nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是923.7nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1590.57nm，就規(guī)定波長(zhǎng)980nm來(lái)說(shuō)為1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的大約6.4倍，非常厚。即，對(duì)波導(dǎo)的光的規(guī)定波長(zhǎng)980nm，比其5/4波長(zhǎng)還要厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖6是表示該7層反射膜20的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。這里設(shè)定反射率的大約+1％為目標(biāo)反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到在目標(biāo)反射率的3％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)968nm到1210nm范圍內(nèi)，將反射率納入極小值的1.3％到4.0％范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率2.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，連續(xù)1.0％～4.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬是242nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)λ(＝980nm)的值約為0.246。
這里，為了比較，關(guān)于波導(dǎo)光的規(guī)定波長(zhǎng)980nm，假定5/4波長(zhǎng)厚度的虛擬單層反射膜。設(shè)定條件是nc＝3.37，n1＝1.449，以便于波長(zhǎng)980nm達(dá)到極小反射率4％。這時(shí)，以極小反射率為基準(zhǔn)，+2％，即反射率4％～6％的范圍是951nm～1011nm，其波長(zhǎng)帶寬為60nm。作為該波長(zhǎng)帶寬的寬度標(biāo)準(zhǔn)，除以波導(dǎo)光的規(guī)定波長(zhǎng)980nm后得到0.061。
因而，就本實(shí)施例1的7層反射膜來(lái)說(shuō)，與上述虛擬單層反射膜比較，將作為在波導(dǎo)光波長(zhǎng)中的反射率+2％的波長(zhǎng)帶寬除以此波長(zhǎng)的商就是0.246，遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于虛擬單層反射膜的0.061。所以可知，盡管該7層反射膜如上述那樣關(guān)于規(guī)定波長(zhǎng)980nm是厚于5/4波長(zhǎng)的膜厚，但是在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例2利用圖7，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例2的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。圖7是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系的曲線圖。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1的半導(dǎo)體光電器件比較，雖然在多層膜結(jié)構(gòu)方面相同，但在設(shè)定波長(zhǎng)λ為879nm并將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為2.0％這一點(diǎn)不相同。將各參數(shù)設(shè)為O＝0.2、A＝2.2、B＝2.0、C＝2.0的情況，氧化鉭和氧化鋁的相位變化1和2分別為1＝0.45844、2＝1.14932的情況，在波長(zhǎng)879nm下得到反射率2％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝19.85nm/68.59nm/218.35nm/62.36nm/198.50nm/62.36nm/198.50nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是828.51nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1426.66nm，就規(guī)定波長(zhǎng)980nm來(lái)說(shuō)為1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的大約5.82倍是非常之厚的。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度的上升。
圖7是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率的3％左右的平坦部分。即，在波長(zhǎng)861nm到1098nm范圍內(nèi)，將反射率收納在極小值的-3.0％到4.0％的范圍內(nèi)。此時(shí)，大致以波導(dǎo)光的規(guī)定波長(zhǎng)980nm為中心，可得到平坦的部分。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)879nm的反射率2.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，1.0％～4.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬Δλ是237nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)879nm的值約為0.270，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，盡管該7層反射膜，如上述那樣關(guān)于規(guī)定波長(zhǎng)980nm是厚于5/4波長(zhǎng)的膜厚，但是在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)有低反射率的平坦部分。另外，這里所謂「規(guī)定波長(zhǎng)」就是使波導(dǎo)層進(jìn)行波導(dǎo)的光波長(zhǎng)，這時(shí)，設(shè)定為980nm的光。另一方面，所謂「設(shè)定波長(zhǎng)」就是要設(shè)定的波長(zhǎng)，使上述規(guī)定波長(zhǎng)成為低反射率平坦部分的大約中心。
接著，關(guān)于以極小反射率為基準(zhǔn)成為+2.0％的波長(zhǎng)頻帶寬度，對(duì)該7層反射膜和虛擬單層反射膜進(jìn)行比較研究。該7層反射膜的極小反射率為1.3％。因此，以極小反射率為基準(zhǔn)成為2.0％的波長(zhǎng)范圍，也就是反射率3.3％以下的范圍為從波長(zhǎng)866nm到1089nm。即，作為波長(zhǎng)帶寬是223nm。另一方面，想要用虛擬單層反射膜實(shí)現(xiàn)同一的極小反射率的情況，有效折射率nc＝3.37，因而單層膜的折射率nf只要為1.637或2.058就行。例如，圖8中折射率nf＝1.367，表示膜厚d＝5λ/(4nf)的虛擬單層反射膜對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系。把該虛擬單層反射膜的極小反射率1.3％作為基準(zhǔn)，成為極小反射率+2.0％以?xún)?nèi)的范圍是從波長(zhǎng)952nm到1009nm。即，作為波長(zhǎng)帶寬是57nm。所以，7層反射膜與膜厚d＝5λ/(4nf)的虛擬單層反射膜相比，低反射率的波長(zhǎng)帶寬非常寬廣。
實(shí)施例3利用圖9，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例3的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1的半導(dǎo)體光電器件比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm并將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為3.0％這一點(diǎn)不相同。并且，參數(shù)設(shè)為O＝0.2、A＝2.4、B＝2.0、C＝2.0。通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2分別設(shè)定為1＝0.518834、2＝0.789695，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率3.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝15.21nm/94.42nm/182.47nm/78.68nm/152.06nm/78.68nm/152.06nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是753.58nm。各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1330.83nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的大約5.43倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度的上升。
圖9是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率的3％左右的平坦部分。即，在波長(zhǎng)841nm到1014范圍內(nèi)將反射率納入在2.5％到5.0％的范圍，并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率3.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，2.0％～5.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是173nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.177，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可見(jiàn)，該7層反射膜，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例4利用圖10，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例4的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例3的半導(dǎo)體光電器件比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1035nm并將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為3.0％這一點(diǎn)不相同。并且，參數(shù)設(shè)為O＝0.2、A＝2.4、B＝2.0、C＝2.0。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.518834、2＝0.789695，可在波長(zhǎng)1035nm下設(shè)定為反射率3.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝16.06nm/99.72nm/192.72nm/83.10nm/160.60nm/83.10nm/160.60nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是795.9nm。各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1405.57nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝258.75nm)的大約5.43倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度的上升。
圖10是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率的3％左右的平坦部分。即，在波長(zhǎng)888nm到1071范圍內(nèi)將反射率納入2.5％到5.0％的范圍，并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1035nm的反射率3.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，2.0％～5.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是183nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)1035nm的值約為0.177，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，該7層反射膜，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例5利用圖11，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例5的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1的半導(dǎo)體光電器件比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm并將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為4.0％這一點(diǎn)不相同。并且，參數(shù)設(shè)為O＝0.15、A＝2.5、B＝2.0、C＝2.0。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2分別設(shè)定為1＝0.52082、2＝0.767337，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率4.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝11.08nm/98.73nm/184.70nm/78.98nm/147.76nm/78.98nm/147.76nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是746.99nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1323.92nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的大約5.40倍是非常之厚的。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度的上升。
圖11是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率的5％左右的平坦部分。即，在波長(zhǎng)834nm到1021nm范圍內(nèi)將反射率納入3.5％到6.0％的范圍，并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率4.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，3.0％～6.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是178nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.182，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，該7層反射膜，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例6利用圖12，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例6的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例5的半導(dǎo)體光電器件比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1040nm并將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為4.0％這一點(diǎn)不相同。并且，參數(shù)設(shè)為O＝0.15、A＝2.5、B＝2.0、C＝2.0。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2分別設(shè)定為1＝0.52082、2＝0.767337，可在波長(zhǎng)1040nm下設(shè)定為反射率4.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad1/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝11.76nm/104.77nm/196.00nm/83.82nm/156.80nm/83.82nm/156.80nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是793.77nm。各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1404.95nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的大約5.73倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度的上升。
圖12是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率的5％左右的平坦部分。即，在波長(zhǎng)885nm到1074nm范圍內(nèi)將反射率納入3.5％到6.0％的范圍，并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1040nm的反射率4.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，3.0％～6.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是189nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)1040nm的值約為0.182，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，該7層反射膜，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例7利用圖13，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例7的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1的半導(dǎo)體光電器件比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm并將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為5.0％這一點(diǎn)不相同。并且，參數(shù)設(shè)為O＝0.15、A＝2.5、B＝2.0、C＝2.0。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2分別設(shè)定為1＝0.541022、2＝0.741397，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率5.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝10.71nm/102.56nm/178.45nm/82.05nm/142.76nm/82.05nm/142.76nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是741.34nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1391.41nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的大約5.38倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度的上升。
圖13是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率的6％左右的平坦部分。即，在波長(zhǎng)843nm到1013nm范圍內(nèi)將反射率納入4.6％到7.0％的范圍，并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率5.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，4.0％～7.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是170nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.173，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，該7層反射膜，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例8利用圖14，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例8的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例7的半導(dǎo)體光電器件比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1035nm并將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為5.0％這一點(diǎn)不相同。并且，參數(shù)設(shè)為O＝0.15、A＝2.5、B＝2.0、C＝2.0。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2分別設(shè)定為1＝0.541022、2＝0.741397，可在波長(zhǎng)1035nm下設(shè)定為反射率5.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝11.31nm/108.31nm/188.47nm/86.65nm/150.77nm/86.65nm/150.77nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是782.93nm。各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1391.41nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的大約5.68倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度的上升。
圖14是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率的6％左右的平坦部分。即，在波長(zhǎng)890nm到1070nm范圍內(nèi)將反射率納入4.6％到7.0％的范圍，并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1035nm的反射率5.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，4.0％～7.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是170nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)1035nm的值約為0.164，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，該7層反射膜，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例9利用圖15和圖16，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例9的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。圖15是作為該半導(dǎo)體光電器件端面部的反射膜，表示在第1層膜上設(shè)置使用氧化鉭膜的7層反射膜30時(shí)構(gòu)成的概略剖面圖。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1的半導(dǎo)體光電器件比較，7層反射膜30就從波導(dǎo)層10側(cè)起順序?qū)盈B氧化鉭21/氧化鋁22/氧化鉭23/氧化鋁24/氧化鉭25/氧化鋁26/氧化鉭27，波導(dǎo)層10側(cè)的第1層膜21是氧化鉭這一點(diǎn)上不同。具體點(diǎn)說(shuō)，7層反射膜30從波導(dǎo)層10側(cè)起順序?qū)盈B氧化鉭的第1層膜21(折射率n2＝2.037，膜厚Od2)、氧化鋁的第2層膜22(折射率n1＝1.62，膜厚Ad2)、氧化鉭的第3層膜21(折射率n2＝2.037，膜厚Ad2)、氧化鋁的第4層膜24(折射率n1＝1.62，膜厚Bd1)、氧化鉭的第5層膜25(折射率n2＝2.037，膜厚Bd2)、氧化鋁的第6層膜26(折射率n1＝1.62，膜厚Cd2)、氧化鉭的第7層膜27(折射率n2＝2.037，膜厚Cd2)。另外，在將氧化鋁和氧化鉭交替層疊起來(lái)方面則與實(shí)施例1的半導(dǎo)體光電器件相同。
在該半導(dǎo)體光電器件的7層反射膜30中，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為2.0％。此時(shí)，如各參數(shù)設(shè)為O＝0.15、A＝1.82、B＝1.97、C＝2.06，就可在氧化鋁和氧化鉭的相位變化1和2分別為1＝0.645821、2＝0.452041的情況，在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定反射率為2％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝126.62nm/113.17nm/200.38nm/122.49nm/216.90nm/128.09nm/226.81nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1134.46nm。各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2174.63nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的大約8.88倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度的上升。
圖16是表示該7層反射膜30的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率3％左右的平坦部分。即，在波長(zhǎng)996nm到1119nm范圍內(nèi)將反射率納入1.5％到4.0％的范圍，并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的設(shè)定反射率2.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，1.0％～4.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是157nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.160，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，該7層反射膜，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例10利用圖17，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例10的7層反射膜。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例9的半導(dǎo)體光電器件比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝908nm下將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為2.0％這一點(diǎn)上不相同。并且，參數(shù)設(shè)為O＝1.15、A＝1.82、B＝1.97、C＝2.06，通過(guò)把氧化鋁和氧化鉭的相位變化1和2分別設(shè)定為1＝0.645821、2＝1.452041的情況，在波長(zhǎng)908nm下設(shè)定反射率為2.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝117.31nm/104.85nm/185.66nm/113.49nm/200.96nm/118.68nm/210.14nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1051.09nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2014.81nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的大約8.22倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度的上升。
圖17是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率3％左右的平坦部分。即，在波長(zhǎng)924nm到1037nm范圍內(nèi)將反射率納入1.5％到4.0％的范圍，并且，把設(shè)定波長(zhǎng)908nm的反射率2.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，1.0％～4.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是145nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)908nm的值約為0.160，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，該7層反射膜，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例11利用圖18，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例11的7層反射膜。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例9的半導(dǎo)體光電器件比較，在多層反射膜方面相同，然而在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為3.0％這一點(diǎn)上不相同。并且，參數(shù)設(shè)為O＝0.15、A＝1.82、B＝1.97、C＝2.06。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鋁和氧化鉭的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.893399、2＝1.26984，就可在波長(zhǎng)908nm下設(shè)為反射率3.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝110.73nm/156.55nm/175.24nm/169.45nm/189.68nm/177.19nm/198.35nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1177.19nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2201.59nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的大約8.99倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度的上升。
圖18是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率4％左右的平坦部分。即，在波長(zhǎng)962nm到1053nm范圍內(nèi)將反射率納入2.6％到5.0％的范圍，并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率3.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，2.0％～5.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是91nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.093，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，該7層反射膜，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例12利用圖19，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例12的7層反射膜。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例11的半導(dǎo)體光電器件比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝953nm下將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為3.0％這一點(diǎn)上不相同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝1.15、A＝1.82、B＝1.97、C＝2.06。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鋁和氧化鉭的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.893399、2＝1.26984，就可在波長(zhǎng)953nm下設(shè)為反射率3.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝103.16nm/145.85nm/163.26nm/157.87nm/176.72nm/165.08nm/184.79nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1096.73nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2140.93nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的大約8.74倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度的上升。
圖19是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率4％左右的平坦部分。即，在波長(zhǎng)962nm到1053nm范圍內(nèi)將反射率納入2.6％到5.0％的范圍，并且，把設(shè)定波長(zhǎng)953nm的反射率3.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，2.0％～5.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是89nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)953nm的值約為0.093，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，該7層反射膜，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例13利用圖20，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例13的7層反射膜。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例9的半導(dǎo)體光電器件比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為4.0％這一點(diǎn)上不相同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝1.09、A＝1.80、B＝1.98、C＝2.05。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鋁和氧化鉭的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.922613、2＝1.26872，就可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)為反射率4.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝104.86nm/159.89nm/173.16nm/175.88nm/190.48nm/182.99nm/198.17nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1185.43nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2211.73nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的大約9.03倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度的上升。
圖20是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率約4％左右的平坦部分。即，將反射率納入3.7％到6.0％的范圍，并且，把波長(zhǎng)980nm的反射率4.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，3.0％～6.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是190nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.093，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，該7層反射膜，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例14利用圖21，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例14的7層反射膜。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例13的半導(dǎo)體光電器件比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)＝912nm下將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為4.0％這一點(diǎn)上不相同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝1.09、A＝1.80、B＝1.98、C＝2.05。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鋁和氧化鉭的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.922613、2＝1.26872，就可在波長(zhǎng)912nm下設(shè)為反射率4.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝97.58nm/148.80nm/161.15nm/163.68nm/177.26nm/170.29nm/184.42nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1103.18nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2059.26nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的大約8.41倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度的上升。
圖21是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率約5％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)891nm到1069nm范圍內(nèi)將反射率納入3.7％到6.0％的范圍，并且，把設(shè)定波長(zhǎng)912nm的反射率4.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，3.0％～6.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是178nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)912nm的值約為0.195，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，該7層反射膜，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例15利用圖22，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例15的7層反射膜。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例9的半導(dǎo)體光電器件比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為5.0％這一點(diǎn)上不相同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝1.13、A＝1.76、B＝1.98、C＝2.06。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鋁和氧化鉭的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.0252、2＝1.18958，就可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)為反射率5.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝101.93nm/173.72nm/158.75nm/195.44nm/178.60nm/203.33nm/185.81nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1103.18nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2213.24nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的大約9.03倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度的上升。
圖22是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率約6％左右的平坦部分。即，將反射率納入4.7％到7.0％的范圍，并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率5.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，4.0％～7.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是190nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.194，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，該7層反射膜，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例16利用圖23，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例16的7層反射膜。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例15的半導(dǎo)體光電器件比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝910nm下將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為5.0％這一點(diǎn)上不相同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝1.13、A＝1.76、B＝1.98、C＝2.06。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鋁和氧化鉭的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.0252、2＝1.18958，就可在波長(zhǎng)910nm下設(shè)為反射率5.0％。隨之，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝94.65nm/161.31nm/1473.41nm/181.48nm/165.84nm/188.81nm/172.54nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1112.04nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2055.16nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的大約8.39倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度的上升。
圖23是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率約6％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)891nm到1068nm范圍內(nèi)將反射率納入4.7％到7.0％的范圍，并且，把波長(zhǎng)910nm的反射率5.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，4.0％～7.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是177nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)910nm的值約為0.195，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，該7層反射膜，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)具有低反射率的平坦部分。
以下，表1中示出有關(guān)實(shí)施例1到實(shí)施例16的半導(dǎo)體光電器件的多層反射膜特性。表1中，作為多層反射膜的特性，示出有關(guān)多層反射膜的構(gòu)成、設(shè)定波長(zhǎng)λ和設(shè)定反射率R(λ)、極小反射率、∑nidi以及與規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(245nm)的對(duì)比、成為R(λ)的-1.0～+2.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬Δλ、Δλ/λ。
表1

實(shí)施例17利用圖24和圖25，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例17的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。圖24是表示設(shè)置6層反射膜40來(lái)代替單層反射膜作為半導(dǎo)體光電器件端面部的反射膜時(shí)的構(gòu)成概略剖面圖。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1的半導(dǎo)體光電器件比較，在用6層反射膜40構(gòu)成多層反射膜這一點(diǎn)上不相同。研究以規(guī)定波長(zhǎng)將該6層反射膜40的反射率設(shè)定得與上述虛擬單層膜的反射率相同的條件。即使6層反射膜40的情況與上述7層反射膜同樣，振幅反射率由下述式(13)表示。
r=(m11+m12)nc-(m21+m22)(m11+m12)nc+(m21+m22)---(13)]]>這里，mij(i，j是1或2)由下述式(14)表示。
m11m12m21m22=cosAφ1-in1sinAφ1-in1sinAφ1cosAφ1cosAφ2-in2sinAφ2-in2sinAφ2cosAφ2]]>×cosBφ1-in1sinBφ1-in1sinBφ1cosBφ1cosBφ2-in2sinBφ2-in2sinBφ2cosBφ2]]>×cosCφ1-in1sinCφ1-in1sinCφ1cosCφ1cosCφ2-in2sinCφ2-in2sinCφ2cosCφ2---(14)]]>另外，A、B、C表示設(shè)為第1層膜31的膜厚Ad1、第2層膜32的膜厚Ad2、第3層膜33的膜厚Bd1、第4層膜34的膜厚Bd2、第5層膜35的膜厚Cd1、第6層膜36的膜厚Cd2的情況的各自2層膜(裸露)的影響程度的參數(shù)。
以下，對(duì)半導(dǎo)體光電器件端面部上設(shè)置的6層反射膜40的情況進(jìn)行說(shuō)明。圖24是表示端面部設(shè)有6層反射膜40的構(gòu)成概略剖面圖。該半導(dǎo)體光電器件中，在波導(dǎo)層10(等效折射率nc＝3.37)的端面部，順序?qū)盈B氧化鉭的第1層膜31(折射率n1＝2.057，膜厚Ad1)、氧化鋁的第2層膜32(折射率n2＝1.62，膜厚Ad2)、氧化鉭的第3層膜33(折射率n1＝2.057，膜厚Bd1)、氧化鋁的第4層膜34(折射率n2＝1.62，膜厚Bd2)、氧化鉭的第5層膜35(折射率n1＝2.057，膜厚Cd1)、以及氧化鋁的第6層膜36(折射率n2＝1.62，膜厚Cd2)。并且該6層反射膜40與大氣等自由空間5接連起來(lái)。
對(duì)該半體光電器件端面部的6層反射膜40的反射特性進(jìn)行說(shuō)明。首先，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為2％。把各參數(shù)設(shè)為A＝2.0、B＝2.0、C＝2.0的情況，氧化鉭和氧化鋁的相應(yīng)位變化1和2分別為1＝0.792828、2＝0.715471的情況，得到反射率2％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝120.23nm/137.77nm/120.23nm/137.77nm/120.23nm/137.77nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是774.0nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1411.50nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.76倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖25是表示該6層反射膜40的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率3％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)877nm到1017nm范圍內(nèi)將反射率納入極小值的1.4％到4.0％的范圍內(nèi)，并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率2.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，1.0％～4.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是140nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.143，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例18利用圖26，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例18的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例17的半導(dǎo)體光電器件比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1014nm下將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為2.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為A＝2.0、B＝2.0、C＝2.0。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鋁和氧化鉭的各自相位變化1和2分別設(shè)定為1＝0.792828、2＝0.715471，可在波長(zhǎng)1014nm下得到反射率2.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝124.40nm/142.55nm/124.40nm/142.55nm/124.40nm/142.55nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是800.85nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1460.47nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.96倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖25是表示該6層反射膜40的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率約3％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)907nm到1053nm范圍內(nèi)將反射率納入1.4％到4.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1014nm的反射率2.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，1.0％～4.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是146nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)1014nm的值約為0.144，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜40具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例19利用圖27，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例19的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例17的半導(dǎo)體光電器件比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為3.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為A＝1.94、B＝1.90、C＝2.2。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鋁和氧化鉭的各自相位變化1和2分別設(shè)定為1＝0.948585、2＝0.476939，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率3.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝139.54nm/89.08nm/136.66nm/87.25nm/158.24nm/101.02nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是711.79nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1342.95nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.48倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖27是表示該6層反射膜40的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率約4％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)806nm到1009nm范圍內(nèi)將反射率納入2.3％到5.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率3.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，2.0％～5.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是203nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.207，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜40具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例20利用圖28，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例18的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例19的半導(dǎo)體光電器件比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1052nm下將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為3.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為A＝1.94、B＝1.90、C＝2.2。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鋁和氧化鉭的各自相位變化1和2分別設(shè)定為1＝0.948585、2＝0.476939，可在波長(zhǎng)1052nm下設(shè)定為反射率3.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝150.64nm/96.17nm/147.54nm/94.19nm/170.83nm/109.06nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是768.43nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1449.81nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.92倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖28是表示該6層反射膜40的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率約4％左右的平坦部分。即，反射率納入2.3％到5.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1052nm的反射率3.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，2.0％～5.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是218nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)1052nm的值約為0.207，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜40具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例21利用圖29，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例21的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例17的半導(dǎo)體光電器件比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為4.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為A＝1.94、B＝1.90、C＝2.2。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鋁和氧化鉭的各自相位變化1和2分別設(shè)定為1＝0.9861、2＝0.417545，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率4.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝144.98nm/77.99nm/141.99nm/76.38nm/164.41nm/188.44nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是794.19nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1483.84nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.06倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖29是表示該6層反射膜40的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率約5％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)791到1020nm范圍內(nèi)將反射率納入3.3％到6.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率4.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，3.0％～6.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是229nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.234，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜40具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例22利用圖30，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例22的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例21的半導(dǎo)體光電器件比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1075nm下將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為4.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為A＝1.94、B＝1.90、C＝2.2。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鋁和氧化鉭的各自相位變化1和2分別設(shè)定為1＝0.98561、2＝0.417545，可在波長(zhǎng)1075nm下設(shè)定為反射率4.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝159.04nm/85.55nm/155.76nm/83.79nm/180.35nm/97.02nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是761.51nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1450.03nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.92倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖30是表示該6層反射膜40的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率約5％左右的平坦部分。即，在從波長(zhǎng)854nm到1105nm范圍內(nèi)將反射率納入3.3％到6.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1075nm的反射率4.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，連續(xù)3.0％～6.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬是251nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)1075nm的值約為0.233，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜40具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例23利用圖31，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例23的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例17的半導(dǎo)體光電器件比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為5.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為A＝2.04、B＝1.92、C＝2.2。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鋁和氧化鉭的各自相位變化1和2分別設(shè)定為1＝0.93793、2＝0.433879，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率5.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Ad1/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝145.08nm/85.22nm/136.55nm/80.21nm/156.46nm/91.90nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是695.42nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1318.03nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.38倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖31是表示該6層反射膜40的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率約6％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)787nm到1009nm范圍內(nèi)將反射率納入4.6％到7.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率5.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，4.0％～7.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是222nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.227，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜40具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例24利用圖32，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例24的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例23的半導(dǎo)體光電器件比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1069nm下將設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為5.0％這一點(diǎn)上不同。并且，參數(shù)設(shè)為A＝2.04、B＝1.92、C＝2.2。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鋁和氧化鉭的各自相位變化1和2分別設(shè)定為1＝0.93793、2＝0.433879，可在波長(zhǎng)1069nm下設(shè)定為反射率5.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝158.26nm/92.96nm/148.95nm/87.49nm/170.67nm/100.25nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是758.58nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1437.73nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.87倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖32是表示該6層反射膜40的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率約6％左右的平坦部分。即，在從波長(zhǎng)858nm到1101nm范圍內(nèi)將反射率納入4.6％到7.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1069nm的反射率5.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，連續(xù)4.0％～7.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬是243nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以設(shè)定波長(zhǎng)1069nm的值約為0.227，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜40具有低反射率的平坦部分。
以下，表2中示出有關(guān)實(shí)施例17到實(shí)施例24的半導(dǎo)體光電器件的多層反射膜特性。表2中，就多層反射膜的特性來(lái)說(shuō)，示出有關(guān)多層反射膜的構(gòu)成、設(shè)定波長(zhǎng)λ和設(shè)定反射率R(λ)、極小反射率、∑nidi以及與規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(245nm)的對(duì)比、成為R(λ)的-1.0～+2.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬Δλ、Δλ/λ。
表2

實(shí)施例25利用圖33和圖34，說(shuō)明具備含有本發(fā)明實(shí)施例25的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。圖33是表示設(shè)置由3種膜構(gòu)成的7層反射膜50來(lái)代替單層反射膜作為半導(dǎo)體光電器件端面部的反射膜時(shí)的構(gòu)成概略剖面圖。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1的半導(dǎo)體光電器件比較，在多層反射膜由3種膜構(gòu)成7層反射膜50來(lái)構(gòu)成多層反射膜這一點(diǎn)上不同。再詳細(xì)點(diǎn)說(shuō)，在與波導(dǎo)層10連接的第1層膜為氮化鋁膜41這一點(diǎn)上不同。另外從第2層膜直到第7層膜，在交替層疊氧化鉭和氧化鋁方面是相同的。
研究有關(guān)以規(guī)定波長(zhǎng)將該3種膜的7層反射膜50的反射率設(shè)定得與上述虛擬單層膜的反射率相同的條件。這里，研究在與波導(dǎo)膜10相連的第1層膜上使用第3種類(lèi)的膜的情況。該第3種膜的相位變化3，由下述式表示。
φ3=2πλn3d3---(15)]]>這里，由該3種膜構(gòu)成的7層反射膜50的振幅反射率，與上述7層反射膜、6層反射膜同樣，由下述式(16)表示。
r=(m11+m12)nc-(m21+m22)(m11+m12)nc+(m21+m22)---(16)]]>這里，mij(i，j是1或2)由下述式(17)表示。
m11m12m21m22=cosφ3-in3sinφ3-in3sinφ3cosφ3]]>×cosAφ1-in1sinAφ1-in1sinAφ1cosAφ1cosAφ2-in2sinAφ2-in2sinAφ2cosAφ2]]>×cosBφ1-in1sinBφ1-in1sinBφ1cosBφ1cosBφ2-in2sinBφ2-in2sinBφ2cosBφ2]]>×cosCφ1-in1sinCφ1-in1sinCφ1cosCφ1cosCφ2-in2sinCφ2-in2sinCφ2cosCφ2---(17)]]>另外，A、B、C表示設(shè)為第2層膜42的膜厚Ad1、第3層膜43的膜厚Ad2、第4層膜44的膜厚Bd1、第5層膜45的膜厚Bd2、第6層膜46的膜厚Cd1、第7層膜47的膜厚Cd2的情況的各自2層膜(裸露)的影響程度的參數(shù)。
以下，對(duì)半導(dǎo)體光電器件端面部上設(shè)置的包括3種膜的7層反射膜50的情況進(jìn)行說(shuō)明。圖33是表示包括端面部上設(shè)置的3種膜的7層反射膜50的構(gòu)成概略剖面圖。該半導(dǎo)體光電器件中，在波導(dǎo)層10(等效折射率nc＝3.37)的端面部，順序?qū)盈B氮化鋁(AlN)的第1層膜41(折射率n3＝2.072，膜厚d3＝50nm)、氧化鉭的第2層膜42(折射率n1＝2.057，膜厚Ad1)、氧化鋁的第3層膜43(折射率n2＝1.62，膜厚Ad2)、氧化鉭的第4層膜44(折射率n1＝2.057，膜厚Bd1)、氧化鋁的第5層膜45(折射率n2＝1.62，膜厚Bd2)、氧化鉭的第6層膜46(折射率n1＝2.057，膜厚Cd1)、以及氧化鋁的第7層膜47(折射率n2＝1.62，膜厚Cd2)。進(jìn)而，該7層反射膜50與大氣等自由空間5接連起來(lái)。
首先，對(duì)包括氮化鋁、氧化鉭和氧化鋁的3種膜的7層反射膜熱特性進(jìn)行說(shuō)明。這3種膜的導(dǎo)熱率，依次為約1.8W/(cm·K)、約0.1W/(cm·K)、約0.2W/(cm·K)，因而氮化鋁的導(dǎo)熱率最高，因此能夠使波導(dǎo)層10的熱迅速向外部散熱。
其次，對(duì)該半導(dǎo)體光電器件端面部的包括3種膜的7層反射膜50的反射特性進(jìn)行說(shuō)明。首先，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為2.0％。把各參數(shù)設(shè)為A＝1.0、B＝2.0、C＝2.0的情況，氧化鉭和氧化鋁的相位變化1和2分別為1＝1.23574、2＝0.727856的情況，得到波長(zhǎng)980nm下反射率2％。另外，氮化鋁的第1層膜41個(gè)厚度d3預(yù)先設(shè)為50nm，3當(dāng)作已知常數(shù)，在變量方面只使用1和2。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/93.7nm/70.08nm/187.40nm/140.15nm/187.40nm/140.15nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是868.88nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1634.92nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.67倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖34是表示包括該3種膜的7層反射膜50的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率3％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)952nm到1194nm范圍內(nèi)將反射率納入極小值的1.6％到4.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率2.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，1.0％～4.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是242nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.247，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例26利用圖35，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例26的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例25進(jìn)行比較，雖然其構(gòu)成方面相同，但是在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝897nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為2.0％這一點(diǎn)上不同。把各參數(shù)設(shè)為A＝1.0、B＝2.0、C＝2.0。進(jìn)而，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.23574、2＝0.727856，得到在波長(zhǎng)897nm下反射率2.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/83.26nm/65.10nm/166.52nm/130.20nm/166.52nm/130.20nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是791.8nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1487.24nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.07倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖35是表示包括該3種膜的7層反射膜50的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率3％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)872nm到1086nm范圍內(nèi)將反射率納入1.5％到4.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)897nm的反射率2.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，連續(xù)1.0％～4.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬是214nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)897nm的值約為0.239，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜50具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例27利用圖36，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例27的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例25進(jìn)行比較，雖然其構(gòu)成方面相同，但是在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為3.0％這一點(diǎn)上不同。并且，把參數(shù)設(shè)為A＝1.0、B＝2.0、C＝2.0。進(jìn)而，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.20275、2＝0.765599，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率3.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/91.20nm/73.71nm/182.40nm/147.42nm/182.40nm/147.42nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是874.55nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1638.64nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.69倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖36是表示包括該3種膜的7層反射膜50的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率4％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)953nm到1195nm范圍內(nèi)將反射率納入2.6％到5.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率3.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，2.0％～5.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是242nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.247，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜50具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例28利用圖37，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例28的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例27進(jìn)行比較，雖然其構(gòu)成方面相同，但是在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝896nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為3.0％這一點(diǎn)上不同。并且，參數(shù)設(shè)為A＝1.0、B＝2.0、C＝2.0。進(jìn)而，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.23574、2＝0.727856，可在波長(zhǎng)896nm下反射率3.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/81.08nm/68.15nm/162.16nm/136.31nm/162.16nm/136.31nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是796.17nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1489.56nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.08倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖37是表示包括該3種膜的7層反射膜50的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率4％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)872nm到1089nm范圍內(nèi)將反射率納入2.5％到5.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)896nm的反射率3.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，連續(xù)2.0％～5.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬是217nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)896nm的值約為0.242，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜50具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例29利用圖38，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例29的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例25進(jìn)行比較，雖然其構(gòu)成方面相同，但是在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為4.0％這一點(diǎn)上不同。并且，把參數(shù)設(shè)為A＝1.0、B＝2.0、C＝2.0。進(jìn)而，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.17459、2＝0.79874，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率4.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/89.06nm/76.91nm/178.13nm/153.83nm/178.13nm/153.83nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是879.89nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1642.63nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.70倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖38是表示包括該3種膜的7層反射膜50的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率5％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)953nm到1198nm范圍內(nèi)將反射率納入3.6％到6.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率4.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，3.0％～6.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是245nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.250，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜50具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例30利用圖39，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例30的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例27進(jìn)行比較，雖然其構(gòu)成方面相同，但是在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝893nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為4.0％這一點(diǎn)上不同。并且，參數(shù)設(shè)為A＝1.0、B＝2.0、C＝2.0。進(jìn)而，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.14262、2＝0.805876，可在波長(zhǎng)893nm下反射率4.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/78.95nm/70.70nm/157.90nm/141.40nm/157.90nm/141.40nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是798.25nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1488.27nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.07倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖39是表示包括該3種膜的7層反射膜50的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率5％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)870nm到1090nm范圍內(nèi)將反射率納入3.4％到6.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)893nm的反射率4.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，3.0％～6.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是220nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)893nm的值約為0.246，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜50具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例31利用圖40，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例31的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例25進(jìn)行比較，雖然其構(gòu)成方面相同，但是在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為5.0％這一點(diǎn)上不同。并且，把參數(shù)設(shè)為A＝1.0、B＝2.0、C＝2.0。進(jìn)而，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.14888、2＝0.829916，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率5.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/87.11nm/79.90nm/174.23nm/159.81nm/174.23nm/159.81nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是885.09nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1646.79nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.72倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖40是表示包括該3種膜的7層反射膜50的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率6％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)952nm到1201nm范圍內(nèi)將反射率納入4.6％到7.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率5.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，4.0％～7.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是249nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.254，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜50具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例32利用圖41，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例32的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例31進(jìn)行比較，雖然其構(gòu)成方面相同，但是在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝890nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為5.0％這一點(diǎn)上不同。并且，把參數(shù)設(shè)為A＝1.0、B＝2.0、C＝2.0。進(jìn)而，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.1792、2＝0.835299，可在波長(zhǎng)890nm下設(shè)定為反射率5.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/76.98nm/73.04nm/153.96nm/146.07nm/153.96nm/146.07nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是800.08nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1486.93nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.07倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖41是表示包括該3種膜的7層反射膜50的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率6％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)867nm到1093nm范圍內(nèi)將反射率納入4.4％到7.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)890nm的反射率5.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，連續(xù)4.0％～7.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬是226nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)890nm的值約為0.254，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜50具有低反射率的平坦部分。
以下，表3中示出有關(guān)實(shí)施例25到實(shí)施例32的半導(dǎo)體光電器件的多層反射膜特性。表3中，就多層反射膜的特性來(lái)說(shuō)，示出有關(guān)多層反射膜的構(gòu)成、設(shè)定波長(zhǎng)λ和設(shè)定反射率R(λ)、極小反射率、∑nidi以及與規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(245nm)的對(duì)比、成為R(λ)的-1.0～+2.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬Δλ、Δλ/λ。
表3

實(shí)施例33利用圖42和圖43，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例33的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。圖42是表示設(shè)置9層反射膜60來(lái)代替單層反射膜作為半導(dǎo)體光電器件端面部的反射膜時(shí)的構(gòu)成概略剖面圖。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1的半導(dǎo)體光電器件比較，在多層反射膜由9層反射膜60來(lái)構(gòu)成多層反射膜這一點(diǎn)上不同。研究有關(guān)以規(guī)定波長(zhǎng)將該9反射膜60的反射率設(shè)定得與上述虛擬單層膜的反射率相同的條件。9層反射膜60的振幅反射率，上述4層反射膜與上述7層反射膜同樣，有下述式(18)表示。
r=(m11+m12)nc-(m21+m22)(m11+m12)nc+(m21+m22)---(18)]]>這里，mij(i，j是1或2)由下述式(19)表示。
m11m12m21m22=cosOφ2-in2sinOφ2-in2sinOφ2cosOφ2]]>×cosAφ1-in1sinAφ1-in1sinAφ1cosAφ1cosAφ2-in2sinAφ2-in2sinAφ2cosAφ2]]>×cosBφ1-in1sinBφ1-in1sinBφ1cosBφ1cosBφ2-in2sinBφ2-in2sinBφ2cosBφ2]]>×cosCφ1-in1sinCφ1-in1sinCφ1cosCφ1cosCφ2-in2sinCφ2-in2sinCφ2cosCφ2]]>×cosDφ1-in1sinDφ1-in1sinDφ1cosDφ1cosDφ2-in2sinDφ2-in2sinDφ2cosDφ2---(19)]]>另外，O、A、B、C、D是在第1層膜51的膜厚Od2、第2層膜52的膜厚Ad1、第3層膜53的膜厚Ad2、第4層膜54的膜厚Bd1、第5層膜55的膜厚Bd2、第6層膜56的膜厚Cd1、第7層膜57的膜厚Cd2、第8層膜58的膜厚Dd1、以及第9層膜59的膜厚Dd2中，除第1層膜51外，表示各自2層膜(裸露)的影響程度的參數(shù)。
以下，對(duì)半導(dǎo)體光電器件端面部上設(shè)置的9層反射膜60的情況進(jìn)行說(shuō)明。圖42是表示端面部設(shè)置的9層反射膜構(gòu)成概略剖面圖。該半導(dǎo)體光電器件中，在波導(dǎo)層10(等效折射率nc＝3.37)的端面部，順序?qū)盈B氧化鋁的第1層膜51(折射率n2＝1.62，膜厚Od2)、氧化鉭的第2層膜52(折射率n1＝2.057，膜厚Ad1)、氧化鋁的第3層膜53(折射率n2＝1.62，膜厚Ad2)、氧化鉭的第4層膜54(折射率n1＝2.057，膜厚Bd1)、氧化鋁的第5層膜55(折射率n2＝1.62，膜厚Bd2)、氧化鉭的第6層膜56(折射率n1＝2.057，膜厚Cd1)、氧化鋁的第7層膜57(折射率n2＝1.62，膜厚Cd2)、氧化鉭的第8層膜58(折射率n1＝2.057，膜厚Dd1)、以及氧化鋁的第9層膜59(折射率n2＝1.62，膜厚Dd2)。進(jìn)而，該9層反射膜60與大氣等自由空間5接連起來(lái)。
對(duì)該半導(dǎo)體光電器件端面部的9層反射膜60的反射特性進(jìn)行說(shuō)明。首先，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為2％。把各參數(shù)設(shè)為O＝0.2、A＝2.7、B＝2.0、C＝2.0、D＝2.0的情況，氧化鉭和氧化鋁的相位變化1和2分別為1＝0.35769、2＝0.958077的情況，波長(zhǎng)980nm下得到反射率2％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝18.45nm/73.23nm/249.06nm/54.24nm/184.49nm/54.24nm/184.49nm/54.24nm/184.49nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1056.93nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1815.34nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.41倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖43是表示該9層反射膜60的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率3％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)877nm到1007nm范圍內(nèi)將反射率納入極小值的1.6％到4.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率2.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，1.0％～4.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是130nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.133，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜60具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例34利用圖44，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例34的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例33進(jìn)行比較，雖然其構(gòu)成方面相同，但是在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1020nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為2.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.2、A＝2.7、B＝2.0、C＝2.0、D＝2.0。進(jìn)而，把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.35769、2＝0.958077的情況，可在波長(zhǎng)1020nm下設(shè)定為反射率2.0％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝19.20nm/76.22nm/259.22nm/56.46nm/192.02nm/56.46nm/192.02nm/56.46nm/192.02nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1100.08nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1889.46nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.71倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖44是表示該9層反射膜60的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率3％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)912nm到1048nm范圍內(nèi)將反射率納入極小值的1.6％到4.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1020nm的反射率2.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，1.0％～4.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是136nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1020nm的值約為0.133，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜60具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例35利用圖45，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例35的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例33進(jìn)行比較，雖然其構(gòu)成方面相同，但是在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為3.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.2、A＝2.7、B＝2.0、C＝2.0、D＝2.0。進(jìn)而，把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.377348、2＝0.935416的情況，在波長(zhǎng)980nm下得到反射率3％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝18.01nm/77.25nm/243.16nm/57.22nm/180.12nm/57.22nm/180.12nm/57.22nm/180.12nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1050.44nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1810.49nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.49倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖45是表示該9層反射膜60的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率4％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)882nm到1007nm范圍內(nèi)將反射率納入極小值的2.6％到5.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率3.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，2.0％～5.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是125nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.128，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜60具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例36利用圖46，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例36的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例35進(jìn)行比較，雖然其構(gòu)成方面相同，但是在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1017nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為3.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.2、A＝2.7、B＝2.0、C＝2.0、D＝2.0的情況，氧化鉭和氧化鋁的相位變化1和2分別為1＝0.377348、2＝0.935416的情況，在波長(zhǎng)1017nm下得到反射率3.0％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝18.69nm/80.17nm/252.35nm/59.39nm/186.92nm/59.39nm/186.92nm/59.39nm/186.92nm。全體膜厚(dotoal＝∑di)是1090.14nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1878.92nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.67倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖46是表示該9層反射膜60的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率4％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)915nm到1045nm范圍內(nèi)將反射率納入極小值的2.6％到5.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1017nm的反射率3.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，2.0％～5.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是130nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1017nm的值約為0.128，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜60具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例37利用圖47，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例37的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例33進(jìn)行比較，雖然其構(gòu)成方面相同，但是在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為4.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將各參數(shù)設(shè)為O＝0.15、A＝2.8、B＝2.0、C＝2.0、D＝2.0的情況，氧化鉭和氧化鋁的相位變化1和2分別為1＝0.38725、2＝0.911369的情況，在波長(zhǎng)980nm下得到反射率4％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝13.16nm/82.22nm/245.69nm/58.73nm/175.49nm/58.73nm/175.49nm/58.73nm/175.49nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1043.73nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1803.77nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.36倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖47是表示該9層反射膜60的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率5％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)883nm到1006nm范圍內(nèi)將反射率納入極小值的3.6％到6.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率4.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，3.0％～6.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是123nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.126，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例38利用圖48，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例38的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例37進(jìn)行比較，雖然其構(gòu)成方面相同，但是在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1017nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為4.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.15、A＝2.8、B＝2.0、C＝2.0、D＝2.0的情況，氧化鉭和氧化鋁的相位變化1和2分別為1＝0.38725、2＝0.911369的情況，在波長(zhǎng)1017nm下得到反射率4％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝13.66nm/85.32nm/245.96nm/60.94nm/182.12nm/60.94nm/182.12nm/60.94nm/182.12nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1083.12nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1871.83nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.64倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖48是表示該9層反射膜60的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率5％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)916nm到1044nm范圍內(nèi)將反射率納入極小值的3.6％到6.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1017nm的反射率4.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，3.0％～6.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是128nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1017nm的值約為0.126，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜60具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例39利用圖49，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例39的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例33進(jìn)行比較，雖然其構(gòu)成方面相同，但是在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為5.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將各參數(shù)設(shè)為O＝0.10、A＝2.9、B＝2.0、C＝2.0、D＝2.0的情況，氧化鉭和氧化鋁的相位變化1和2分別為1＝0.397519、2＝0.886992的情況，在波長(zhǎng)980nm下得到反射率5％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝8.54nm/87.41nm/247.66nm/60.28nm/170.80nm/60.28nm/170.80nm/60.28nm/170.80nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1036.85nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1801.04nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.35倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖49是表示該9層反射膜60的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率6％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)890nm到1006nm范圍內(nèi)將反射率納入極小值的4.6％到7.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率5.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，4.0％～7.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是116nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.118，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例40利用圖50，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例40的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例39進(jìn)行比較，雖然其構(gòu)成方面相同，但是在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1013nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為5.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.10、A＝2.9、B＝2.0、C＝2.0、D＝2.0的情況，氧化鉭和氧化鋁的相位變化1和2分別為1＝0.397519、2＝0.886992的情況，在波長(zhǎng)1013nm下得到反射率5％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝8.83nm/90.35nm/256.00nm/62.31nm/176.55nm/62.31nm/176.55nm/62.31nm/176.55nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1071.76nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1857.42nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.58倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖50是表示該9層反射膜60的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率6％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)920nm到1040nm范圍內(nèi)將反射率納入極小值的4.6％到7.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1013nm的反射率5.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，4.0％～7.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是120nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1013nm的值約為0.118，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.061。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜60具有低反射率的平坦部分。
以下，表4中示出有關(guān)實(shí)施例33到實(shí)施例40的半導(dǎo)體光電器件的多層反射膜特性。表4中，就多層反射膜的特性來(lái)說(shuō)，示出有關(guān)多層反射膜的構(gòu)成、設(shè)定波長(zhǎng)λ和設(shè)定反射率R(λ)、極小反射率、∑nidi以及與規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(245nm)的對(duì)比、成為R(λ)的-1.0～+2.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬Δλ、Δλ/λ。
表4

實(shí)施例41利用圖51，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例41的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為6.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.15、A＝1.95、B＝2.0、C＝2.0。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.845348、2＝0.578286的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率6.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝8.35nm/124.99nm/108.57nm/128.20nm/111.35nm/128.20nm/111.35nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是721.01nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1334.70nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.45倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖51是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率7％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)828nm到1009nm范圍內(nèi)將反射率納入5.4％到8.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率6.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，5.0％～8.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是181nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.185，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.062。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例42利用圖52，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例42的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例41進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1045nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為6.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.15、A＝1.95、B＝2.0、C＝2.0。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.541022、2＝0.741397，可在波長(zhǎng)1045nm下設(shè)為反射率6％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝8.91nm/133.28nm/115.77nm/136.70nm/118.74nm/136.70nm/118.74nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是768.84nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1423.24nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.81倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖52是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率7％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)883nm到1076nm范圍內(nèi)將反射率納入5.4％到8.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1045nm的反射率6.0％作為基準(zhǔn)，從-1.0％到+2.0％的范圍，即，反射率5.0％～8.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是193nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1045nm的值約為0.185，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.062。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
以下，表5中示出有關(guān)實(shí)施例41和實(shí)施例42的半導(dǎo)體光電器件的多層反射膜特性。表5中，就多層反射膜的特性來(lái)說(shuō)，示出有關(guān)多層反射膜的構(gòu)成、設(shè)定波長(zhǎng)λ和設(shè)定反射率R(λ)、極小反射率、∑nidi以及與規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(245nm)的對(duì)比、成為R(λ)的-1.0～+2.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬Δλ、Δλ/λ。
表5

實(shí)施例43利用圖53，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例43的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為6.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.20、A＝1.97、B＝2.35、C＝2.10。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.79703、2＝0.528684的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率6.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝10.18nm/119.06nm/100.28nm/145.02nm/119.62nm/126.91nm/106.89nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是727.96nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1350.16nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.51倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖53是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率7％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)813nm到994nm范圍將反射率納入5.0％到7.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率6.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率4.5％～7.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是181nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.185。
這里，為了比較，關(guān)于導(dǎo)波光的規(guī)定波長(zhǎng)980nm，假定5/4波長(zhǎng)厚度的虛擬單層反射膜。設(shè)定條件是nc＝3.37和n1＝1.449，使得在波長(zhǎng)980nm取得極小反射率4％。這時(shí)，以極小反射率+2.5％為基準(zhǔn)，即反射率4％～6.5％的波長(zhǎng)范圍是949nm～1013nm，其波長(zhǎng)帶寬為64nm。作為該波長(zhǎng)帶寬的寬度標(biāo)準(zhǔn)，除以波導(dǎo)光的規(guī)定波長(zhǎng)980nm就得到0.065。
所以，關(guān)于本實(shí)施例43的7層反射膜，與上述虛擬單層反射膜比較的話，將成為波導(dǎo)光波長(zhǎng)的反射率+2.5％的波長(zhǎng)帶寬除以其波長(zhǎng)的商是0.185，比虛擬單層反射膜的0.065要大得多。因而可知，該7層反射膜在寬廣的波長(zhǎng)帶寬范圍內(nèi)具有平坦部分。
實(shí)施例44利用圖54，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例44的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例43進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1063nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為6.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.20、A＝1.97、B＝2.35、C＝2.10。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.79703、2＝0.528684，可在波長(zhǎng)1063nm下設(shè)為反射率6.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝11.04nm/129.14nm/108.77nm/154.05nm/129.75nm/137.66nm/115.95nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是786.36nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1457.82nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.95倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖54是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率7％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)882nm到1078nm范圍內(nèi)將反射率納入5.0％到7.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1063nm的反射率6.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，連續(xù)反射率4.5％～7.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬是196nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1063nm的值約為0.184，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例45利用圖55，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例45的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為7.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.17、A＝1.97、B＝2.35、C＝2.05。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.80763、2＝0.525803的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率7.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝8.61nm/120.64nm/99.73nm/143.91nm/118.97nm/125.54nm/103.78nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是721.18nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1338.78nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.46倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖55是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率7％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)797nm到993nm范圍將反射率納入5.9％到8.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率6.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率5.5％～8.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是196nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.200。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例46利用圖56，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例46的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例45進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1073nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為7.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.80763、2＝0.525803，可在波長(zhǎng)1073nm下設(shè)為反射率7.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝9.42nm/132.09nm/109.19nm/157.57nm/130.26nm/137.45nm/113.63nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是789.61nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1465.82nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.98倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖56是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率7％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)872nm到1088nm范圍內(nèi)將反射率納入5.9％到8.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1073nm的反射率7.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率5.5％～8.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是196nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1073nm的值約為0.183，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例47利用圖57，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例47的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為8.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.17、A＝1.97、B＝2.35、C＝2.05。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.806965、2＝0.532103的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率8.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝8.69nm/120.54nm/100.75nm/143.79nm/120.19nm/122.38nm/102.29nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是718.63nm。各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1333.17nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.44倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖57是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率8％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)786nm到994nm范圍將反射率納入7.0％到9.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率8.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率6.5％～9.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是208nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.212，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例48利用圖58，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例48的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例47進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1079nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為8.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.806965、2＝0.531203，可在波長(zhǎng)1079nm下設(shè)為反射率8.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝9.57nm/132.72nm/110.93nm/158.32nm/132.33nm/134.74nm/112.62nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是791.23nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1467.86nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.99倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖58是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率8％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)866nm到1094nm范圍內(nèi)將反射率納入7.0％到9.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1079nm的反射率8.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率6.5％～9.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是228nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1079nm的值約為0.211，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例49利用圖59，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例49的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為9.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.20、A＝2.05、B＝2.40、C＝1.95。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.734549、2＝0.580342的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率9.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝11.17nm/114.18nm/114.54nm/133.67nm/134.10nm/108.61nm/108.96nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是725.23nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1330.65nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.43倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖59是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率9％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)793nm到994nm范圍將反射率納入8.1％到10.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率8.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率7.5％～10.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是202nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.206，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例50利用圖60，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例50的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例49進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1075nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為9.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.734549、2＝0.580342，可在波長(zhǎng)1075nm下設(shè)為反射率9.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝12.26nm/125.25nm/125.65nm/146.63nm/147.10nm/119.14nm/119.52nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是795.55nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1459.67nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.96倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖60是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率9％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)870nm到1090nm范圍內(nèi)將反射率納入8.1％到10.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1075nm的反射率9.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率7.5％～10.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是220nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1075nm的值約為0.205，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例51利用圖61，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例51的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為10.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.17、A＝2.10、B＝2.45、C＝1.95。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.729549、2＝0.564265的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率10.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝9.24nm/116.17nm/114.09nm/135.53/133.10nm/107.87nm/105.94nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是721.94nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1326.67nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.41倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖61是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率10％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)773nm到994nm范圍將反射率納入9.0％到11.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率10.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率8.5％～11.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是221nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.226，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例52利用圖62，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例52的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例51進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1087nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為10.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.729549、2＝0.564265，可在波長(zhǎng)1087nm下設(shè)為反射率10.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝10.24nm/128.85nm/126.54nm/150.33nm/147.63nm/119.65nm/117.50nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是800.74nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1471.49nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.01倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖62是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率10％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)857nm到1102nm范圍內(nèi)將反射率納入9.0％到11.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1087nm的反射率10.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率8.5％～11.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是245nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1087nm的值約為0.225，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例53利用圖63，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例53的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為11.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.20、A＝2.20、B＝2.55、C＝1.95。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.674425、2＝0.572301的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率11.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝11.02nm/112.50nm/121.22nm/130.40/140.51nm/99.72nm/107.45nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是722.82nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1320.69nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.39倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖63是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率11％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)764nm到994nm范圍將反射率納入10.2％到12.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率11.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率8.5％～11.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是230nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.235，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例54利用圖64，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例54的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例53進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1092nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為11.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.674425、2＝0.572301，可在波長(zhǎng)1092nm下設(shè)為反射率11.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝12.28nm/125.36nm/135.08nm/145.31nm/156.56nm/111.12nm/119.73nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是805.44nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1471.66nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.01倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖64是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率11％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)851nm到1108nm范圍將反射率納入10.2％到12.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1092nm的反射率11.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率9.5％～12.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是257nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1092nm的值約為0.235，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例55利用圖65，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例55的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為12.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.20、A＝2.35、B＝2.65、C＝1.95。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.614143、2＝0.581984的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率12.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝11.21nm/109.43nm/131.68nm/123.40/148.49nm/90.81nm/109.26nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是724.28nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1314.76nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.37倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖65是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率12％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)751nm到995nm范圍將反射率納入10.9％到13.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率12.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率10.5％～13.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是244nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.249，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例56利用圖66，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例56的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例47進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1100nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為12.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.614143、2＝0.581984，可在波長(zhǎng)1100nm下設(shè)為反射率12.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝12.58nm/122.83nm/147.80nm/138.51nm/166.67nm/101.93nm/122.64nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是812.96nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1475.74nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.02倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖66是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率12％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)842nm到1117nm范圍將反射率納入10.9％到13.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1100nm的反射率12.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，連續(xù)反射率10.9％～13.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬是275nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1100nm的值約為0.250，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
以下，表6中示出有關(guān)實(shí)施例43到實(shí)施例56的半導(dǎo)體光電器件的多層反射膜特性。表6中，就多層反射膜的特性來(lái)說(shuō)，示出有關(guān)多層反射膜的構(gòu)成、設(shè)定波長(zhǎng)λ和設(shè)定反射率R(λ)、極小反射率、∑nidi以及與規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(245nm)的對(duì)比、成為R(λ)的-1.5～+1.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬Δλ、Δλ/λ。
表6

實(shí)施例57利用圖67，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例57的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例17進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為6.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為A＝1.50、B＝1.92、C＝2.2。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.16473、2＝0.715823的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率6.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝132.47nm/103.38nm/169.57/132.32nm/194.32nm/151.62nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是883.66nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1648.43nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波(＝245nm)的約6.73倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖67是表示該6層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率6％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)966nm到1219nm范圍將反射率納入5.0％到7.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率6.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率4.5％～7.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是253nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.258，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例58利用圖68，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例58的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例57進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝879nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為6.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.16473、2＝0.715823，可在波長(zhǎng)879nm下設(shè)為反射率6.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝118.82nm/92.72nm/152.09nm/118.69nm/174.27nm/136.00nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是792.59nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1478.54nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.03倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖68是表示該6層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率6％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)866nm到1093nm范圍將反射率納入5.0％到7.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)879nm的反射率6.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率4.5％～7.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是227nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)879nm的值約為0.258，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例59利用圖69，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例59的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例17進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為7.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為A＝1.50、B＝1.95、C＝2.2。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.13181、2＝0.744018的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率7.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝128.73nm/107.45nm/167.35/139.69nm/188.80nm/157.59nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是889.61nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1653.06nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.75倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖69是表示該6層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率7％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)964nm到1219nm范圍將反射率納入6.4％到8.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率7.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率5.5％～8.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是255nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.260，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例60利用圖70，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例60的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例59進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝880nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為7.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.3181、2＝0.744018，可在波長(zhǎng)880nm下設(shè)為反射率7.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝115.59nm/96.49nm/150.27nm/125.43nm/169.54nm/141.51nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是798.83nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1484.37nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.06倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖70是表示該6層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率7％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)866nm到1094nm范圍將反射率納入6.4％到8.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)880nm的反射率7.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率5.5％～8.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是228nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)880nm的值約為0.259，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例61利用圖71，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例61的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例17進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為8.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為A＝1.52、B＝1.95、C＝2.20。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.09941、2＝0.769346的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率8.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝126.71nm/112.59nm/162.56nm/144.44nm/183.40nm/162.96nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是892.66nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1652.67nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.75倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖71是表示該6層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率8％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)964nm到1223nm范圍將反射率納入7.4％到9.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率8.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率6.5％～9.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是259nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.264，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例62利用圖72，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例62的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例61進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝878nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為8.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.09941、2＝0.769346，可在波長(zhǎng)878nm下設(shè)為反射率8.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝113.52nm/100.87nm/145.64nm/129.41nm/164.31nm/146.00nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是799.75nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1480.65nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.04倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖72是表示該6層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率8％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)864nm到1096nm范圍將反射率納入7.4％到9.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)878nm的反射率8.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率6.5％～9.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬是232nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)878nm的值約為0.264，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例63利用圖73，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例63的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例17進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為9.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為A＝1.55、B＝1.97、C＝2.25。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.0677、2＝0.772496的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率9.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝125.49nm/115.28nm/159.49/146.52nm/182.16nm/167.34nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是896.28nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1656.11nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.76倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖73是表示該6層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率9％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)963nm到1235nm范圍將反射率納入8.4％到10.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率9.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率7.5％～10.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是272nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.278，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例64利用圖74，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例64的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例63進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝874nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為9.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.0677、2＝0.772496，可在波長(zhǎng)874nm下設(shè)為反射率9.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝111.91nm/102.81nm/142.24nm/130.67nm/162.45nm/149.24nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是799.32nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1476.95nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.03倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖74是表示該6層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率9％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)859nm到1101nm范圍將反射率納入8.4％到10.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)874nm的反射率9.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率7.5％～10.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是242nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)874nm的值約為0.244，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例65利用圖75，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例65的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例17進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為10.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為A＝1.60、B＝2.02、C＝2.25。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.00317、2＝0.803388的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率10.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝121.70nm/123.76nm/153.64/156.25nm/171.14nm/174.04nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是900.53nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1653.97nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.75倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖75是表示該6層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率10％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)963nm到1233nm范圍將反射率納入9.5％到11.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率10.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率8.5％～11.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是270nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.276，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例66利用圖76，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例66的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例65進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝874nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為10.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.0031、2＝0.803388，可在波長(zhǎng)874nm下設(shè)為反射率10.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝108.53nm/110.37nm/137.02nm/139.35nm/152.63nm/155.21nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是803.11nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1475.04nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.02倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖76是表示該6層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率10％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)859nm到1100nm范圍將反射率納入9.5％到11.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)874nm的反射率10.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率8.5％～11.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是241nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)874nm的值約為0.276，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例67利用圖77，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例67的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例17進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為11.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為A＝1.65、B＝2.05、C＝2.20。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.931121、2＝0.862397的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率11.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝116.49nm/137.00nm/144.73/170.21nm/155.33nm/182.67nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是906.43nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1650.45nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.74倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖77是表示該6層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率11％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)963nm到1233nm范圍將反射率納入10.4％到12.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率11.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率9.5％～12.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是270nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.276，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例68利用圖78，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例68的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例67進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝875nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為11.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.931121、2＝0.862397，可在波長(zhǎng)875nm下設(shè)為反射率11.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝104.01nm/122.32nm/129.23nm/151.98nm/138.68nm/163.10nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是809.32nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1473.63nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.01倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖78是表示該6層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率11％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)859nm到1100nm范圍將反射率納入10.4％到12.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)875nm的反射率11.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率9.5％～12.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是241nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)875nm的值約為0.275，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例69利用圖79，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例69的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例17進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為12.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為A＝1.70、B＝2.07、C＝2.15。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.853386、2＝0.935812的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率12.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝110.00nm/153.17nm/133.95/186.51nm/139.12nm/193.71nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是916.46nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1652.07nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.74倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖79是表示該6層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率12％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)961nm到1240nm范圍將反射率納入11.5％到13.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率12.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率10.5％～13.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是279nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.285，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例70
利用圖80，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例70的6層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例69進(jìn)行比較，就在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝873nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為12.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.853386、2＝0.935812，可在波長(zhǎng)873nm下設(shè)為反射率12.0％。這時(shí)，6層反射膜的各自膜厚是Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝97.99nm/136.45nm/119.32nm/166.14nm/123.93nm/172.56nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是816.56nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1471.67nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.01倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖80是表示該6層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該6層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率12％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)856nm到1103nm范圍將反射率納入11.5％到13.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)873nm的反射率12.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率10.5％～13.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是247nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)875nm的值約為0.283，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該6層反射膜具有低反射率的平坦部分。
以下，表7中示出有關(guān)實(shí)施例57到實(shí)施例70的半導(dǎo)體光電器件的多層反射膜特性。表7中，就多層反射膜的特性來(lái)說(shuō)，示出有關(guān)多層反射膜的構(gòu)成、設(shè)定波長(zhǎng)λ和設(shè)定反射率R(λ)、極小反射率、∑nidi以及與規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(245nm)的對(duì)比、成為R(λ)的-1.5～+1.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬Δλ、Δλ/λ。
表7

實(shí)施例71利用圖81，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例71的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例25進(jìn)行比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為6.0％這一點(diǎn)上不同。并且，參數(shù)設(shè)為A＝1.05、B＝2.00、C＝2.00。進(jìn)而，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.09082、2＝0.85958，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率6.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/86.85nm/86.90nm/165.42nm/165.52nm/165.42nm/165.52nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是885.63nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1639.85nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.69倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖81是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率6％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)965nm到1186nm范圍內(nèi)將反射率納入5.6％到7.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率6.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率4.5％～7.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是221nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.226，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例72利用圖82，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例72的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例71進(jìn)行比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝889nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為6.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.05881、2＝0.866436，可在波長(zhǎng)889nm下設(shè)定為反射率6.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/76.47nm/79.46nm/145.66nm/151.35nm/145.66nm/151.35nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是799.95nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1479.24nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.04倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖82是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率6％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)877nm到1081nm范圍內(nèi)將反射率納入5.2％到7.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)889nm的反射率6.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，連續(xù)反射率4.5％～7.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬是204nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)889nm的值約為0.229，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例73
利用圖83，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例73的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例25進(jìn)行比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為7.0％這一點(diǎn)上不同。并且，參數(shù)設(shè)為A＝1.10、B＝2.05、C＝2.00。進(jìn)而，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝1.01208、2＝0.896867，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率7.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/84.41nm/94.98nm/157.32nm/177.02nm/143.48nm/172.70nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是879.91nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1636.96nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.68倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖83是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率7％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)965nm到1194nm范圍內(nèi)將反射率納入6.4％到8.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率7.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率5.5％～8.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是229nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.234，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例74利用圖84，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例74的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例73進(jìn)行比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝886nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為7.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.97974、2＝0.904319，可在波長(zhǎng)886nm下設(shè)定為反射率7.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/73.88nm/86.59nm/137.68nm/161.37nm/134.33nm/157.43nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是801.28nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1471.83nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.01倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖84是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率7％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)874nm到1085nm范圍內(nèi)將反射率納入6.0％到8.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)886nm的反射率7.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率5.5％～8.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是211nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)886nm的值約為0.238，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例75利用圖85，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例75的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例25進(jìn)行比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為8.0％這一點(diǎn)上不同。并且，參數(shù)設(shè)為A＝1.10、B＝2.05、C＝2.00。進(jìn)而，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.991775、2＝0.923736，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率8.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/82.72nm/97.83nm/151.16nm/182.32nm/150.40nm/177.87nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是895.3nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1642.23nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.70倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖85是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率8％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)964nm到1204nm范圍內(nèi)將反射率納入7.5％到9.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率8.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，連續(xù)反射率6.5％～9.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬是240nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.245，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例76利用圖86，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例76的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例75進(jìn)行比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝881nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為8.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.958992、2＝0.930306，可在波長(zhǎng)881nm下設(shè)定為反射率8.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/71.91nm/88.57nm/134.01nm/165.07nm/130.74nm/161.04nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是801.34nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1467.89nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.99倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖86是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率8％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)869nm到1090nm范圍內(nèi)將反射率納入7.1％到9.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)881nm的反射率8.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，連續(xù)反射率6.5％～9.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬是221nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)881nm的值約為0.251，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例77利用圖87，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例77的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1進(jìn)行比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為9.0％這一點(diǎn)上不同。并且，參數(shù)設(shè)為A＝1.15、B＝2.10、C＝2.05。進(jìn)而，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.934834、2＝0.927699，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率9.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/81.52nm/102.72nm/148.86nm/187.57nm/145.31nm/183.10nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是899.08nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1643.29nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.71倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖87是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率9％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)965nm到1220nm范圍內(nèi)將反射率納入8.4％到10.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率9.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率7.5％～10.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是255nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.260，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例78利用圖88，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例78的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例77進(jìn)行比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝874nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為9.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.900337、2＝0.935222，可在波長(zhǎng)874nm下設(shè)定為反射率9.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/70.02nm/92.35nm/127.86nm/168.64nm/124.81nm/164.62nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是798.3nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1456.86nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.95倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖88是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率9％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)863nm到1096nm范圍內(nèi)將反射率納入7.9％到10.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)874nm的反射率9.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率7.5％～10.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是233nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)881nm的值約為0.267，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例79利用圖89，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例79的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例25進(jìn)行比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為10.0％這一點(diǎn)上不同。并且，參數(shù)設(shè)為A＝1.15、B＝2.10、C＝2.05。進(jìn)而，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.914148、2＝0.95535，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率10.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/79.71nm/105.78nm/145.56nm/193.16nm/142.10nm/188.56nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是904.87nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1649.03nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.73倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖89是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率10％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)963nm到1235nm范圍內(nèi)將反射率納入9.6％到11.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率10.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率8.5％～11.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是272nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.278，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例80利用圖90，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例80的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例79進(jìn)行比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝868nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為10.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.879123、2＝0.96166，可在波長(zhǎng)868nm下設(shè)定為反射率10.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/67.90nm/94.31nm/123.99nm/172.21nm/121.03nm/168.11nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是797.55nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1451.38nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.92倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖90是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率8％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)856nm到1102nm范圍內(nèi)將反射率納入8.7％到11.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)868nm的反射率10.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率8.5％～11.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是246nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)868nm的值約為0.283，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例81利用圖91，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例81的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例25進(jìn)行比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為11.0％這一點(diǎn)上不同。并且，參數(shù)設(shè)為A＝1.17、B＝2.10、C＝2.05。進(jìn)而，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.881444、2＝0.983957，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率11.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/78.20nm/110.84nm/140.35nm/198.94nm/137.01nm/194.21nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是909.55nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1651.45nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.74倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖91是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率11％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)963nm到1254nm范圍內(nèi)將反射率納入10.4％到12.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率11.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率9.5％～12.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是291nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.297，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例82利用圖92，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例82的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例81進(jìn)行比較，則在參數(shù)設(shè)為A＝1.15、B＝2.10、C＝2.05，設(shè)定波長(zhǎng)λ＝862nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為11.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.856738、2＝0.989623，可在波長(zhǎng)862nm下設(shè)定為反射率11.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/65.71nm/96.38nm/119.99nm/176.00nm/117.14nm/171.81nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是797.03nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總∑nidi是1446.13nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.90倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖92是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率11％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)850nm到1110nm范圍內(nèi)將反射率納入9.5％到12.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)862nm的反射率11.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率9.5％～12.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是260nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)862nm的值約為0.302，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例83利用圖93，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例83的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例25進(jìn)行比較，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為12.0％這一點(diǎn)上不同。并且，參數(shù)設(shè)為A＝1.22、B＝2.13、C＝2.05。進(jìn)而，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.815005、2＝1.021518，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率12.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/75.39nm/120.42nm/131.63nm/210.24nm/126.69nm/202.34nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是916.71nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1653.50nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約6.75倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖93是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率12％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)962nm到1275nm范圍內(nèi)將反射率納入10.7％到13.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率12.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率10.5％～13.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是313nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.319，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例84利用圖94，說(shuō)明具備包括本發(fā)明實(shí)施例84的3種膜的7層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例83進(jìn)行比較，則在參數(shù)設(shè)為A＝1.13、B＝2.10、C＝2.05，設(shè)定波長(zhǎng)λ＝853nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為12.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.82465、2＝1.02038，可在波長(zhǎng)853nm下設(shè)定為反射率12.0％。這時(shí)，7層反射膜的各自膜厚是d3/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2＝50nm/62.83nm/96.63nm/116.76nm/179.57nm/113.98nm/175.30nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是795.07nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1438.90nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約5.87倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖94是表示該7層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該7層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率12％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)838nm到1116nm范圍內(nèi)將反射率納入10.6％到13.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)853nm的反射率12.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率10.5％～13.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是278nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)853nm的值約為0.326，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該7層反射膜具有低反射率的平坦部分。
以下，表8中示出有關(guān)實(shí)施例71到實(shí)施例84的半導(dǎo)體光電器件的多層反射膜特性。表8中，就多層反射膜的特性來(lái)說(shuō)，示出有關(guān)多層反射膜的構(gòu)成、設(shè)定波長(zhǎng)λ和設(shè)定反射率R(λ)、極小反射率、∑nidi以及與規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(245nm)的對(duì)比、成為R(λ)的-1.5～+1.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬Δλ、Δλ/λ。
表8

實(shí)施例85利用圖95，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例85的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例33進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為6.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.10、A＝2.7、B＝2.1、C＝2.0、D＝2.0。進(jìn)而，把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.429458、2＝0.889116的情況，在波長(zhǎng)980nm下得到反射率6.0％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝8.56nm/87.92nm/231.13nm/68.38nm/179.77nm/65.13nm/171.21nm/65.13nm/171.21nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1048.44nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1823.70nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.44倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖95是表示該9層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率6％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)893nm到993nm范圍內(nèi)將反射率納入5.1％到7.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率6.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，4.5％～7.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是100nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.102，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例86利用圖96，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例86的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例85進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1018nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為6.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.429458、2＝0.889116的情況，可在波長(zhǎng)1018nm下設(shè)為反射率6.0％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝8.89nm/91.33nm/240.09nm/71.04nm/186.74nm/67.65nm/177.85nm/67.65nm/177.85nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1089.09nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1857.42nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.73倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖96是表示該9層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率6％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)928nm到1031nm范圍內(nèi)將反射率納入5.1％到7.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1018nm的反射率6.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，4.5％～7.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是103nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1018nm的值約為0.101，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例87利用圖97，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例87的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例33進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為7.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.10、A＝2.7、B＝2.15、C＝1.9、D＝1.9。進(jìn)而，把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.413831、2＝0.91752的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率7.0％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Cd2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝8.83nm/84.72nm/238.51nm/65.90nm/185.51nm/59.62nm/167.84nm/59.62nm/167.48nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1038.39nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1800.12nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.35倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖97是表示該9層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率7％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)898nm到993nm范圍內(nèi)將反射率納入6.3％到8.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率7.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，連續(xù)反射率5.5％～8.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬是95nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.097，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例88利用圖98，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例88的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例87進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1016nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為7.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.413831、2＝0.91752的情況，可在波長(zhǎng)1016nm下設(shè)為反射率7.0％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝9.16nm/87.83nm/247.27nm/68.32nm/192.32nm/61.81nm/174.01nm/61.81nm/174.01nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1076.54nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1866.25nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.62倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖98是表示該9層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率7％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)931nm到1029nm范圍內(nèi)將反射率納入6.3％到8.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1016nm的反射率7.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，連續(xù)反射率5.5％～8.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬是98nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1016nm的值約為0.096，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例89利用圖99，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例89的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例33進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為8.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.10、A＝2.70、B＝2.10、C＝2.05、D＝1.80。進(jìn)而，把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.395103、2＝0.933593的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率8.0％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝8.99nm/80.89nm/242.69nm/62.91nm/188.76nm/61.42nm/184.27nm/53.93nm/161.79nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1045.65nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1807.20nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.38倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖99是表示該9層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率8％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)886nm到991nm范圍內(nèi)將反射率納入7.0％到9.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率8.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率6.5％～9.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是105nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.107，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例90利用圖100，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例90的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例89進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1023nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為8.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.395103、2＝0.933593的情況，可在波長(zhǎng)1023nm下設(shè)為反射率8.0％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝9.38nm/84.44nm/253.34nm/65.67nm/194.04nm/64.11nm/192.35nm/56.29nm/168.89nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1091.51nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1886.46nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.70倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖100是表示該9層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率8％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)925nm到1034nm范圍內(nèi)將反射率納入7.0％到9.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1023nm的反射率8.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率6.5％～9.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是109nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1023nm的值約為0.107，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例91利用圖101，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例91的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例33進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為9.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.10、A＝2.70、B＝2.10、C＝2.15、D＝1.75。進(jìn)而，把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.392646、2＝0.930741的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率9.0％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝8.96nm/80.39nm/241.95nm/62.52nm/188.16nm/64.01nm/192.66nm/5.10nm/156.82nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1047.59nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1810.29nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.39倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖101是表示該9層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率9％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)872nm到990nm范圍內(nèi)將反射率納入7.8％到10.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率9.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率7.5％～10.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是118nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.120，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例92利用圖102，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例92的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例91進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1031nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為9.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.392646、2＝0.930741的情況，可在波長(zhǎng)1031nm下設(shè)為反射率9.0％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝9.43nm/84.57nm/54.54nm/65.78nm/197.98nm/67.34nm/202.69nm/54.81nm/164.98nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1102.12nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1904.52nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.77倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖102是表示該9層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率9％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)918nm到1041nm范圍內(nèi)將反射率納入7.8％到10.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1031nm的反射率9.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率7.5％～10.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是123nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1031nm的值約為0.119，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例93利用圖103，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例93的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例33進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為10.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.10、A＝2.75、B＝2.10、C＝2.25、D＝1.75。進(jìn)而，把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.394052、2＝0.907302的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率10.0％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2/＝8.74nm/82.17nm/240.22nm/62.75nm/183.44nm/67.33nm/196.55nm/52.29nm/156.87nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1046.36nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1810.50nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.39倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖103是表示該9層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率9％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)866nm到990nm范圍內(nèi)將反射率納入8.7％到11.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率10.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率8.5％～11.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是124nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.127，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例94利用圖104，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例94的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例93進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1035nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為10.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.394052、2＝0.907302的情況，可在波長(zhǎng)1035nm下設(shè)為反射率10.0％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝9.23nm/86.78nm/253.71nm/66.27nm/193.74nm/71.00nm/207.58nm/55.22nm/161.45nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1104.98nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1912.11nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.80倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖104是表示該9層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率10％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)914nm到1045nm范圍內(nèi)將反射率納入8.7％到11.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1035nm的反射率10.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率8.5％～11.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是131nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1035nm的值約為0.127，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例95利用圖105，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例95的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為11.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.10、A＝2.80、B＝2.10、C＝2.35、D＝1.75。進(jìn)而，把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.395641、2＝0.88414的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率11.0％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝8.51nm/84.00nm/238.35nm/63.00nm/178.76nm/70.50nm/200.04nm/52.50nm/148.97nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1044.63nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1810.29nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.39倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖105是表示該9層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率11％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)856nm到990nm范圍內(nèi)將反射率納入9.7％到12.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率11.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率9.5％～12.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是134nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.137，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例96利用圖106，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例96的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例95進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1040nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為11.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.395641、2＝0.88414，可在波長(zhǎng)1040nm下設(shè)為反射率11.0％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝9.03nm/89.14nm/252.94nm/66.86nm/189.71nm/74.81nm/212.29nm/55.71nm/158.09nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1108.58nm。各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1921.11nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.84倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖106是表示該9層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率11％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)909nm到1050nm范圍內(nèi)將反射率納入9.7％到12.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1040nm的反射率11.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率9.5％～12.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是141nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1040nm的值約為0.136，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例97利用圖107，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例97的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝980nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為12.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為O＝0.10、A＝2.85、B＝2.10、C＝2.42、D＝1.75。進(jìn)而，把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.39697、2＝0.864124的情況，可在波長(zhǎng)980nm下設(shè)定為反射率12.0％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝8.32nm/85.79nm/237.11nm/63.21nm/174.71nm/72.84nm/201.34nm/52.68nm/145.60nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1041.60nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1807.36nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.38倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖107是表示該9層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率12％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)852nm到990nm范圍內(nèi)將反射率納入10.8％到13.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)980nm的反射率12.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率10.5％～13.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是138nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)980nm的值約為0.141，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例98利用圖108，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例98的9層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例97進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝1043nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為12.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.39697、2＝0.864124的情況，可在波長(zhǎng)1043nm下設(shè)為反射率12.0％。這時(shí)，9層反射膜的各自膜厚是Od2/Ad1/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝8.85nm/91.30nm/252.35nm/67.27nm/185.95nm/77.53nm/214.28nm/56.06nm/154.95nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是1108.54nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1923.51nm，為規(guī)定波長(zhǎng)980的1/4波長(zhǎng)(＝245nm)的約7.85倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖108是表示該9層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該9層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率12％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)907nm到1053nm范圍內(nèi)將反射率納入10.8％到13.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)1043nm的反射率12.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，反射率10.5％～13.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是146nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)1043nm的值約為0.140，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該9層反射膜具有低反射率的平坦部分。
以下，表9中示出有關(guān)實(shí)施例85到實(shí)施例98的半導(dǎo)體光電器件的多層反射膜特性。表9中，作為多層反射膜的特性，示出有關(guān)多層反射膜的構(gòu)成、設(shè)定波長(zhǎng)λ和設(shè)定反射率R(λ)、極小反射率、∑nidi以及與規(guī)定波長(zhǎng)980nm的1/4波長(zhǎng)(245nm)的對(duì)比、成為R(λ)的-1.5～+1.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬Δλ、Δλ/λ。
表9

實(shí)施例99利用圖109和圖110，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例99的8層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。圖109是表示設(shè)置由3種膜構(gòu)成的8層反射膜70來(lái)代替單層反射膜作為半導(dǎo)體光電器件端面部的反射膜時(shí)的構(gòu)成概略剖面圖。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例1的半導(dǎo)體光電器件比較，在多層反射膜由3種膜構(gòu)成8層反射膜70來(lái)構(gòu)成多層反射膜這一點(diǎn)上不同。再詳細(xì)點(diǎn)說(shuō)，在與波導(dǎo)層10接連的第1層膜和第2層膜各自為氧化鋁和石英，和折射率小于半導(dǎo)體激光器的等效折射率這方面不同。另外從第3層膜直到第8層膜，交替地層疊氧化鉭和石英。
研究有關(guān)以規(guī)定波長(zhǎng)將包括該3種膜的8層反射膜70的反射率設(shè)定得與上述虛擬單層膜的反射率相同的條件。這里，研究有關(guān)把第3種膜使用于與波導(dǎo)層10接連的第1層膜的情況。該第3種膜的相位變化3，由下述式(20)表示。
φ3=2πλn3d3---(20)]]>因而，由該3種膜構(gòu)成的8層反射膜70的振幅反射率，與上述7層反射膜同樣，由下述式(21)表示。
r=(m11+m12)nc-(m21+m22)(m11+m12)nc+(m21+m22)---(21)]]>這里，mij(i，j是1或2)由下述式(22)表示。
m11m12m21m22=cosφ3-in3sinφ3-in3sinφ3cosφ3cosAφ2-in2sinAφ2-in2sinAφ2cosAφ2]]>×cosBφ1-in1sinBφ1-in1sinBφ1cosBφ1cosBφ2-in2sinBφ2-in2sinBφ2cosBφ2]]>×cosCφ1-in1sinCφ1-in1sinCφ1cosCφ1cosCφ2-in2sinCφ2-in2sinCφ2cosCφ2]]>×cosDφ1-in1sinDφ1-in1sinDφ1cosDφ1cosDφ2-in2sinDφ2-in2sinDφ2cosDφ2---(22)]]>另外，A、B、C、D表示設(shè)為第2層膜72的膜厚Ad2、第3層膜73的膜厚Bd1、第4層膜74的膜厚Bd2、第5層膜75的膜厚Cd1、第6層膜76的膜厚Cd2、第7層膜77的膜厚Dd1、第8層膜78的膜厚Dd2的情況的各自2層膜(裸露)的影響程度的參數(shù)。但是，A只表示第2層膜的影響程度。
以下，對(duì)半導(dǎo)體光電器件端面部上設(shè)置的包括3種膜的8層反射膜70的情況進(jìn)行說(shuō)明。圖109是表示端面部上設(shè)置的包括3種膜的8層反射膜70的構(gòu)成概略剖面圖。該半導(dǎo)體光電器件中，在波導(dǎo)層10(等效折射率nc＝3.37)的端面部，順序?qū)盈B氧化鋁的第1層膜71(折射率n3＝1.636，膜厚d3＝10nm)、石英的第2層膜72(折射率n2＝1.457，膜厚Ad2)、氧化鉭的第3層膜73(折射率n2＝2.072，膜厚Bd2)、氧化鉭的第4層膜74(折射率n2＝1.457，膜厚Bd2)、氧化鉭的第5層膜75(折射率n1＝2.072，膜厚Cd1)、石英的第6層膜76(折射率n2＝1.457，膜厚Cd2)、氧化鉭的第7層膜77(折射率n1＝2.072，膜厚Dd1)以及石英第8層膜78(折射率n2＝1.457，膜厚Dd2)。進(jìn)而，該8層反射膜70與大氣等自由空間5接連起來(lái)。
對(duì)該半導(dǎo)體光電器件端面部的8層反射膜70的反射特性進(jìn)行說(shuō)明。首先，在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝808nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為4.0％。將各參數(shù)設(shè)為A＝0.32、B＝1.96、C＝1.85、D＝2.00的情況，氧化鉭和石英的相位變化1和2分別為1＝0.356684、2＝1.26875的情況，得到波長(zhǎng)808nm下反射率4.0％。這時(shí)，8層反射膜的各自膜厚是d3/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝10nm/35.83nm/43.39nm/219.49nm/40.95nm/207.17nm/44.27/223.96nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是825.06nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2108.54nm，為規(guī)定波長(zhǎng)808的1/4波長(zhǎng)(＝202nm)的約10.44倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖110是表示該8層反射膜70的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該8層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率4.0％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)802nm到941nm范圍內(nèi)將反射率納入極小值的2.6％到5.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)808nm的反射率4.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，2.5％～5.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是139nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)808nm的值約為0.172，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該8層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例100利用圖111，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例100的8層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例99進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝744nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為4.0％這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和石英的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.361744、2＝1.26093的情況，可在波長(zhǎng)744nm下設(shè)為反射率4.0％。這時(shí)，8層反射膜的各自膜厚是d3/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝10nm/32.79nm/40.31nm/199.83nm/38.25nm/189.58nm/41.35nm/204.95nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是757.06nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是1949.67nm，為規(guī)定波長(zhǎng)808的1/4波長(zhǎng)(＝202nm)的約9.65倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖111是表示該8層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該8層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率4.0％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)738nm到869nm范圍內(nèi)將反射率納入2.5％到5.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)744nm的反射率4.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，2.5％～5.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是131nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)744nm的值約為0.176，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該8層反射膜70具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例101利用圖112，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例101的8層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例99進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝808nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為8.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將各參數(shù)設(shè)為A＝0.20、B＝2.00、C＝2.00、D＝2.00。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和石英的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.374385、2＝1.26121，可在波長(zhǎng)808nm下設(shè)為反射率8.0％。這時(shí)，8層反射膜的各自膜厚是d3/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝10nm/22.26nm/46.47nm/222.63nm/46.47nm/222.63nm/46.47nm/222.63nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是839.56nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2177.78nm，為規(guī)定波長(zhǎng)808的1/4波長(zhǎng)(＝202nm)的約10.78倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖112是表示該8層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該8層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率8.0％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)801nm到946nm范圍內(nèi)將反射率納入6.6％到9.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)808nm的反射率8.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，6.5％～9.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是145nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)808nm的值約為0.179，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該8層反射膜70具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例102利用圖113，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例102的8層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例101進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝753nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為8.0％，設(shè)定參數(shù)A＝0.19這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和石英的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.370822、2＝1.26896的情況，可在波長(zhǎng)753nm下設(shè)為反射率8.0％。這時(shí)，8層反射膜的各自膜厚是d3/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝10nm/19.83nm/42.90nm/208.75nm/42.90nm/208.75nm/42.90nm/208.75nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是784.78nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2024.36nm，為規(guī)定波長(zhǎng)808的1/4波長(zhǎng)(＝202nm)的約10.02倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖113是表示該8層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該8層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率8.0％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)746nm到870nm范圍內(nèi)將反射率納入6.7％到9.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)753nm的反射率8.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，6.5％～9.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是124nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)753nm的值約為0.165，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該8層反射膜70具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例103利用圖114，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例103的8層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例99進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝808nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為12.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為A＝0.14、B＝1.95、C＝1.80、D＝2.00。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和石英的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.403695、2＝1.34024，可在波長(zhǎng)808nm下設(shè)為反射率12.0％。這時(shí)，8層反射膜的各自膜厚是d3/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝10nm/16.56nm/48.86nm/230.67nm/45.10nm/212.93nm/50.11nm/236.58nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是850.81nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2264.47nm，為規(guī)定波長(zhǎng)808的1/4波長(zhǎng)(＝202nm)的約11.21倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖114是表示該8層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該8層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率12.0％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)801nm到1037nm范圍內(nèi)將反射率納入10.7％到13.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)808nm的反射率12.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，10.5％～13.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是236nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)808nm的值約為0.292，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該8層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例104利用圖115，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例104的8層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例103進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝706nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為12.0％，設(shè)定參數(shù)B＝1.93這一點(diǎn)上不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和石英的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.412469、2＝1.3303，可在波長(zhǎng)706nm下設(shè)為反射率12.0％。這時(shí)，8層反射膜的各自膜厚是d3/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝10nm/14.43nm/43.49nm/198.96nm/40.56nm/185.56nm/45.06nm/206.18nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是744.24nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2005.83nm，為規(guī)定波長(zhǎng)808的1/4波長(zhǎng)(＝202nm)的約9.93倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖115是表示該8層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該8層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率12.0％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)707nm到908nm范圍內(nèi)將反射率納入10.9％到13.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)706nm的反射率12.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，10.5％～13.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是201nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)706nm的值約為0.285，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該8層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例105利用圖116和圖117，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例105的8層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。圖116是表示作為半導(dǎo)體光電器件端面部的反射膜，由3種膜構(gòu)成的8層反射膜80來(lái)代替單層反射膜情況的構(gòu)成概略剖面圖。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例99半導(dǎo)體光電器件進(jìn)行比較，則在與波導(dǎo)層10接連的第1層膜和第2層膜分別為石英和氧化鋁，從第3層膜直到第8層膜交替層疊氧化鉭和氧化鋁這方面不同。
以下，對(duì)半導(dǎo)體光電器件端面部上設(shè)置包括3種膜的8層反射膜80進(jìn)行說(shuō)明。圖116是表示包括端面部設(shè)置的3種膜的8層反射膜的構(gòu)成概略剖面圖。該半導(dǎo)體光電器件中，在波導(dǎo)層10(等效折射率nc＝3.37)的端面部，順序?qū)盈B石英的第1層膜81(折射率n3＝1.457，膜厚d3＝5nm)、氧化鋁的第2層膜82(折射率n2＝1.636，膜厚Ad2)、氧化鉭的第3層膜83(折射率n1＝2.072，膜厚Bd1)、氧化鋁的第4層膜84(折射率n2＝1.636，膜厚Bd2)、氧化鉭的第5層膜85(折射率n1＝2.072，膜厚Cd1)、氧化鋁的第6層膜86(折射率n2＝1.636，膜厚Cd2)、氧化鉭的第7層膜87(折射率n1＝2.072，膜厚Dd1)以及氧化鋁的第8層膜88(折射率n2＝1.636，膜厚Dd2)。進(jìn)而，該8層反射膜80與大氣等自由空間5接連起來(lái)。
對(duì)該半導(dǎo)體光電器件端面部的8層反射膜80的反射特性進(jìn)行說(shuō)明。首先，這里在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝808nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為4.0％。將各參數(shù)設(shè)為A＝0.22、B＝2.00、C＝2.16、D＝2.00的情況，氧化鉭和氧化鋁的相位變化1和2分別為1＝0.44218、2＝1.18776的情況，得到波長(zhǎng)808nm下反射率4.0％。這時(shí)，8層反射膜的各自膜厚是d3/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝5nm/20.54nm/54.89nm/186.73nm/59.28nm/201.67nm/54.89/186.73nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是769.73nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2355.68nm，為規(guī)定波長(zhǎng)808的1/4波長(zhǎng)(＝202nm)的約11.66倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖117是表示該8層反射膜80的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該8層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率4.0％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)800nm到1032nm范圍內(nèi)將反射率納入2.7％到5.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)808nm的反射率4.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，2.5％～5.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是232nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)808nm的值約為0.287，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該8層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例106利用圖118，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例106的8層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例105進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝716nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為4.0％，將參數(shù)設(shè)定為A＝0.17、B＝2.03、C＝2.24這方面不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.455795、2＝1.15938，可在波長(zhǎng)716nm下設(shè)為反射率4.0％。這時(shí)，8層反射膜的各自膜厚是d3/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝5nm/13.73nm/50.89nm/163.94nm/56.15nm/180.89nm/50.01nm/161.11nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是681.72nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2115.46nm，為規(guī)定波長(zhǎng)808的1/4波長(zhǎng)(＝202nm)的約10.47倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖118是表示該8層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該8層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率4.0％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)709nm到906nm范圍內(nèi)將反射率納入3.0％到5.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)716nm的反射率4.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，2.5％～5.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是197nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)716nm的值約為0.275，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該8層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例107利用圖119，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例107的8層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例105進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝808nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為8.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為A＝0.20、B＝2.00、C＝2.60、D＝2.00。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.703895、2＝0.563728，可在波長(zhǎng)808nm下設(shè)為反射率8.0％。這時(shí)，8層反射膜的各自膜厚是d3/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝5nm/8.86nm/87.37nm/88.62nm/113.59nm/115.21nm/87.37nm/88.62nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是594.64nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2726.92nm，為規(guī)定波長(zhǎng)808的1/4波長(zhǎng)(＝202nm)的約13.50倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖119是表示該8層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該8層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率8.0％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)647nm到819nm范圍內(nèi)將反射率納入7.1％到9.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)808nm的反射率8.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，6.5％～9.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是172nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)808nm的值約為0.213，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該8層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例108利用圖120，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例108的8層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例107進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝891nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為8.0％這一點(diǎn)不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.707082、2＝0.56214，可在波長(zhǎng)891nm下設(shè)為反射率8.0％。這時(shí)，8層反射膜的各自膜厚是d3/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝5nm/9.75nm/96.79nm/97.45nm/125.82nm/126.69nm/96.79nm/97.45nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是655.74nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是3016.09nm，為規(guī)定波長(zhǎng)808的1/4波長(zhǎng)(＝202nm)的約14.93倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖120是表示該8層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該8層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率8.0％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)712nm到903nm范圍內(nèi)將反射率納入7.0％到9.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)891nm的反射率8.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，6.5％～9.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是191nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)891nm的值約為0.214，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該8層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例109利用圖121，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例109的8層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例105進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝808nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為12.0％這一點(diǎn)上不同。并且，將參數(shù)設(shè)為A＝0.10、B＝2.53、C＝2.75、D＝2.00。進(jìn)而，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.549712、2＝0.58774，可在波長(zhǎng)808nm下設(shè)為反射率12.0％。這時(shí)，8層反射膜的各自膜厚是d3/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝5nm/4.62nm/86.32nm/116.88nm/93.82nm/127.05nm/68.24nm/92.40nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是594.33nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2352.26nm，為規(guī)定波長(zhǎng)808的1/4波長(zhǎng)(＝202nm)的約11.64倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖121是表示該8層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該8層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率12.0％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)617nm到821nm范圍內(nèi)將反射率納入10.6％到13.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)808nm的反射率12.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，10.5％～13.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是204nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)808nm的值約為0.252，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該8層反射膜具有低反射率的平坦部分。
實(shí)施例110利用圖122，說(shuō)明具備本發(fā)明實(shí)施例110的8層反射膜的半導(dǎo)體光電器件。該半導(dǎo)體光電器件，如與實(shí)施例109進(jìn)行比較，則在設(shè)定波長(zhǎng)λ＝909nm下把設(shè)定反射率R(λ)規(guī)定為12.0％并將參數(shù)設(shè)定為B＝2.57這方面不同。并且，通過(guò)把氧化鉭和氧化鋁的各自相位變化1和2設(shè)定為1＝0.53932、2＝0.592482，可在波長(zhǎng)909nm下設(shè)為反射率12.0％。這時(shí)，8層反射膜的各自膜厚是d3/Ad2/Bd1/Bd2/Cd1/Cd2/Dd1/Dd2＝5nm/5.24nm/96.78nm/134.65nm/103.56nm/144.08nm/75.31nm/104.79nm。全體膜厚(dtotal＝∑di)是669.41nm。并且，各自的膜折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi是2618.82nm，為規(guī)定波長(zhǎng)808的1/4波長(zhǎng)(＝202nm)的約12.96倍，非常厚。因此，端面上的散熱特性將變得良好，能夠抑制端面溫度上升。
圖122是表示該8層反射膜的反射率對(duì)波長(zhǎng)依賴(lài)關(guān)系曲線圖。曲線圖的橫軸為波長(zhǎng)，縱軸為反射率。該8層反射膜在寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，可得到目標(biāo)反射率12.0％左右的平坦部分。即，從波長(zhǎng)693nm到923nm范圍內(nèi)將反射率納入10.5％到13.0％的范圍內(nèi)。并且，把設(shè)定波長(zhǎng)909nm的反射率13.0％作為基準(zhǔn)，從-1.5％到+1.0％的范圍，即，10.5％～13.0％范圍的連續(xù)波長(zhǎng)帶寬是230nm。將該波長(zhǎng)帶寬除以規(guī)定波長(zhǎng)909nm的值約為0.253，大于虛擬單層反射膜時(shí)的0.065。因而可知，在寬廣的波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，該8層反射膜具有低反射率的平坦部分。
以下，表10中示出有關(guān)實(shí)施例99到實(shí)施例110的半導(dǎo)體光電器件的多層反射膜特性。表10中，作為多層反射膜的特性，示出有關(guān)多層反射膜的構(gòu)成、設(shè)定波長(zhǎng)λ和設(shè)定反射率R(λ)、極小反射率、∑nidi以及與規(guī)定波長(zhǎng)808nm的1/4波長(zhǎng)(202nm)的對(duì)比、成為R(λ)的-1.5～+1.0％范圍的波長(zhǎng)帶寬Δλ、Δλ/λ。
表10

以上，說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例中，雖然舉出7層反射膜、6層反射膜、9層反射膜以及8層反射膜作為其一例進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明并不限定于此。多層反射膜也可以是除此以外的多層。雖然表示使用3種材料的情況，但是4種以上材料的情況，通過(guò)預(yù)先提供相位條件也同樣處理。另外，作為3種材料的一例，雖然分別設(shè)定氮化鋁(AlN)為厚度50nm的例子，氧化鋁(Al2O3)為10nm，或石英(SiO2)為5nm的情況，但是材料和膜厚不限于此。并且，表示一對(duì)氧化鋁和氧化鉭的2層膜、氧化鉭和石英的2層膜等影響的O、A、B、C、D等參數(shù)值不限于上述實(shí)施例所示的值。進(jìn)而，雖然作為半導(dǎo)體光電器件舉出半導(dǎo)體激光器的情況為例，但是本發(fā)明也可以應(yīng)用于半導(dǎo)體光放大器、超晶格發(fā)光二極管、光調(diào)制器、光開(kāi)關(guān)等光器件。并且，作為就波長(zhǎng)，不限定于980nm附近和808nm附近，在可見(jiàn)光區(qū)域、遠(yuǎn)紅外區(qū)域、紅外區(qū)域也能應(yīng)用。進(jìn)而，就反射率來(lái)說(shuō)，雖對(duì)約2～12％的反射率情況進(jìn)行說(shuō)明，但即使其它的反射率也能應(yīng)用。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體光電器件，其特征是，具備包括由有源層和夾著所述有源層的2張包層構(gòu)成的波導(dǎo)層的疊層構(gòu)造體，和在所述疊層構(gòu)造體的一對(duì)相對(duì)的端面部?jī)?nèi)至少其一端面部上形成的多層反射膜；所述多層反射膜各膜的折射率ni與膜厚di乘積nidi的總和∑nidi，對(duì)于波導(dǎo)所述波導(dǎo)層的光的波長(zhǎng)λ，滿足∑nidi＞λ/4的關(guān)系；所述多層反射膜的反射率以所述波長(zhǎng)λ時(shí)的反射率R(λ)為基準(zhǔn)，算出包括反射率從(R(λ)-1.5％)變成(R(λ)+1.0％)的范圍內(nèi)的所述波長(zhǎng)λ的連續(xù)的波長(zhǎng)帶寬Δλ，除以所述波長(zhǎng)λ的值Δλ/λ為0.066以上。
2.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體光電器件，其特征是，所述多層反射膜包括折射率大于含有所述波導(dǎo)層的所述疊層構(gòu)造體的有效折射率nc平方根的第1反射膜，和小于所述有效折射率nc平方根的第2反射膜。
3.按照權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體光電器件，其特征是，所述多層反射膜交互疊層所述第1反射膜和所述第2反射膜。
4.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體光電器件，其特征是，所述多層反射膜之中，與所述波導(dǎo)層接連的第1層膜具有小于包括所述波導(dǎo)層的所述疊層構(gòu)造體有效折射率nc平方根的折射率。
5.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體光電器件，其特征是，所述多層反射膜是由3種以上的膜構(gòu)成的。
6.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體光電器件，其特征是，所述多層反射膜是由7層膜構(gòu)成的。
7.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體光電器件，其特征是，所述多層反射膜是由6層膜構(gòu)成的。
8.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體光電器件，其特征是，所述多層反射膜是由9層膜構(gòu)成的。
9.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體光電器件，其特征是，所述多層反射膜之中，與所述波導(dǎo)層接連的第1層膜具有所述多層反射膜之中最大的導(dǎo)熱率。
10.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體光電器件，其特征是，所述多層反射膜之中，與所述波導(dǎo)層接連的第1層膜是由氮化鋁構(gòu)成的。
11.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體光電器件，其特征是，所述多層反射膜的反射率極小值在1.3～11.5％的范圍內(nèi)。
12.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體光電器件，其特征是，所述多層反射膜之中，與所述波導(dǎo)層接連的第1層膜和第2層膜具有小于包括所述波導(dǎo)層的所述疊層構(gòu)造體有效折射率nc平方根的折射率。
13.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體光電器件，其特征是，所述多層反射膜是由8層膜構(gòu)成的。
全文摘要
本發(fā)明提供一種寬廣波長(zhǎng)頻帶范圍內(nèi)，備有低反射率反射膜的半導(dǎo)體光電器件。半導(dǎo)體光電器件具備包括由有源層和夾著上述有源層的2張包層構(gòu)成的波導(dǎo)層的疊層構(gòu)造體，以及在所述疊層構(gòu)造體的一對(duì)相對(duì)端面部的至少其一端面部上形成的多層反射膜；上述多層反射膜各自膜的折射率n
文檔編號(hào)H01L31/08GK1881633SQ20061009968
公開(kāi)日2006年12月20日 申請(qǐng)日期2003年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2002年9月27日
發(fā)明者原君男, 川崎和重 申請(qǐng)人:三菱電機(jī)株式會(huì)社