專(zhuān)利名稱(chēng)：用于在制造設(shè)施中控制材料流的方法和系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及諸如在半導(dǎo)體制造設(shè)施中使用的制造設(shè)施控制的領(lǐng)域，具體地，本發(fā)明涉及用于使用擴(kuò)展的控制區(qū)域來(lái)在制造設(shè)施中控制材料流的方法、系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品。
背景技術(shù)：
在制造設(shè)施(例如半導(dǎo)體制造設(shè)施)中必須回答的關(guān)鍵問(wèn)題之一是“當(dāng)工具變得空閑時(shí)在工具上下一步運(yùn)行哪一批次 ”。這被稱(chēng)為“下一步是什么”的分派決定(dispatch decision)以及通過(guò)當(dāng)前被一般稱(chēng)為“下一個(gè)是什么模塊”(What-Next-Module)(WNM)來(lái)決定。這種決定是分層的一組匹配(將設(shè)備與需求匹配(assets with demand))決定的一個(gè)，其中，設(shè)備(assets)(例如制造工具)可以執(zhí)行幾個(gè)制造工藝的一個(gè)，并且需求是需要由該工具可以執(zhí)行的一個(gè)制造工藝的批次(例如晶片批次)。WNM必須保證不違反各種系統(tǒng)限制(例如容量限制、批次對(duì)工具的兼容性、批量大小限制等)?？梢酝ㄟ^(guò)業(yè)務(wù)指南來(lái)建立其他的限制(例如批次類(lèi)型對(duì)工具專(zhuān)用策略，工具特定禁止項(xiàng)，工具中的階段等)。在這些限制內(nèi)，WNM試圖處理一系列分派量度(dispatchingmetrics)，包括優(yōu)先級(jí)、到期日、與批次相關(guān)聯(lián)的設(shè)置、最大批量大小、未完工作(WIP)平衡和在所述制造設(shè)施上的同步。
分派理想上根據(jù)諸如如上所述的那些限制和量度來(lái)識(shí)別用于優(yōu)化總的供應(yīng)鏈的位置的要在工具上運(yùn)行的下一批次。當(dāng)前基于分派的系統(tǒng)通常依賴(lài)于基于實(shí)時(shí)列表(real-time list)的調(diào)度(schedule)，其中，可以根據(jù)所識(shí)別的判斷標(biāo)準(zhǔn)來(lái)分類(lèi)立即可用于分派的批次，并且根據(jù)這個(gè)優(yōu)先級(jí)排序來(lái)釋放各個(gè)批次。這些通常被稱(chēng)為“機(jī)會(huì)主義的分派系統(tǒng)”。有相當(dāng)多的現(xiàn)有技術(shù)用于處理這種基于列表的分派。一種公知的方法是基于臨界比(critical ratio)的概念，所述臨界比被定義如下臨界比＝(批次到期日-當(dāng)前日期)/(處理所需標(biāo)準(zhǔn)天數(shù))。
當(dāng)前的分派方法關(guān)注于在工具上(即在局部的控制區(qū)域中)當(dāng)前正等待處理的或者很快要處理的批次。在這種情況下，不知道上游行為、下游要求和未來(lái)的分派決定(即在擴(kuò)展的控制區(qū)域中)。這樣的信息——如果適當(dāng)?shù)乇焕谩梢杂糜谠鰪?qiáng)在制造設(shè)施內(nèi)的各個(gè)工具的性能，并且作為結(jié)果，可以增強(qiáng)整體的制造性能。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明一般地提供一種方法、系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，用于使用擴(kuò)展的控制區(qū)域來(lái)在制造設(shè)施中控制材料流。
本發(fā)明的第一方面涉及一種用于在制造設(shè)施中控制材料流的方法，包括建立擴(kuò)展的控制區(qū)域，其包括高沖擊成套工具(high impact tool set)和至少一個(gè)其他成套工具；在所述高沖擊成套工具處分析計(jì)劃中的工作到達(dá)；以及，根據(jù)在所述高沖擊成套工具處的計(jì)劃中的工作到達(dá)的分析來(lái)調(diào)整在所述高沖擊成套工具和所述至少一個(gè)其他成套工具之間的材料流。
本發(fā)明的第二方面涉及一種用于在制造設(shè)施中控制材料流的系統(tǒng)，包括用于建立擴(kuò)展的控制區(qū)域的系統(tǒng)，所述擴(kuò)展的控制區(qū)域包括高沖擊成套工具和至少一個(gè)其他成套工具；策略器(game planner)，用于在所述高沖擊成套工具處分析計(jì)劃中的工作到達(dá)，以及用于根據(jù)在所述高沖擊成套工具處的計(jì)劃中的工作到達(dá)的分析來(lái)調(diào)整在所述高沖擊成套工具和所述至少一個(gè)其他成套工具之間的材料流。
本發(fā)明的第三方面涉及在計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)中存儲(chǔ)的程序產(chǎn)品，用于在制造設(shè)施中控制材料流，所述計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)包括用于執(zhí)行下述步驟的程序代碼建立擴(kuò)展的控制區(qū)域，其包括高沖擊成套工具和至少一個(gè)其他成套工具；在所述高沖擊成套工具處分析計(jì)劃中的工作到達(dá)；以及，根據(jù)在所述高沖擊成套工具處的計(jì)劃中的工作到達(dá)的分析來(lái)調(diào)整在所述高沖擊成套工具和所述至少一個(gè)其他成套工具之間的材料流。
通過(guò)本發(fā)明的實(shí)施例的更具體的說(shuō)明，本發(fā)明的上述和其他特征將變得清楚。


圖1描述按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的包括策略器(GP)和擴(kuò)展的控制區(qū)域(EZOC)的說(shuō)明性系統(tǒng)。
圖2描述按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的用于使用EZOC在制造設(shè)施中控制材料流的處理的說(shuō)明性流程圖。
圖3描述按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的用于建立EZOC的處理的說(shuō)明性流程圖。
圖4描述按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的在試圖改善EZOC的性能中通過(guò)GP執(zhí)行的步驟的說(shuō)明性流程圖。
圖5描述按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的用于實(shí)現(xiàn)方法的說(shuō)明性計(jì)算機(jī)系統(tǒng)。
所述附圖僅僅是示意的表示，不意欲描繪本發(fā)明的具體參數(shù)。所述附圖意欲僅僅描述本發(fā)明的典型實(shí)施例，因此不應(yīng)當(dāng)被考慮作為限定本發(fā)明的范圍。在所述附圖中，類(lèi)似的標(biāo)號(hào)表示類(lèi)似的元件。
具體實(shí)施例方式
通常通過(guò)三種方法之一來(lái)控制關(guān)于在給定工具上下一步要進(jìn)行什么工作的決定(a)本地機(jī)會(huì)主義清掃，用于一旦工具變得空閑則迅速地尋找要分派到工具(即機(jī)器)的最佳批次；(b)在指定的成套工具(包括一個(gè)或多個(gè)工具)處在某個(gè)時(shí)間范圍上建立固定的序列時(shí)間表；以及(c)對(duì)諸如在時(shí)間表后的數(shù)量、未完工作(WIP)分布或循環(huán)時(shí)間阻尼(dampening)之類(lèi)的全局重要性指標(biāo)(indicator)的流控制驅(qū)動(dòng)。本地控制代理(Local Control Agent)(LCA)是決定技術(shù)部件，它根據(jù)它使用的任何一種方法和它考慮的任何因素來(lái)向其成套工具分派批次。由LCA考慮的因素的示例可以包括工具特性(例如，上/下工具的數(shù)量、維修的預(yù)期時(shí)間、當(dāng)前設(shè)置狀態(tài)(setup state)、用于處理不同類(lèi)型的作業(yè)的設(shè)置時(shí)間)、WIP特性(例如全局作業(yè)重要性、可用性、數(shù)量、處理時(shí)間)和業(yè)務(wù)策略參數(shù)。每個(gè)LCA根據(jù)其本地和全局的域知識(shí)來(lái)操作其本身的成套工具。假定，可以在生產(chǎn)模式(用于向?qū)嶋H工具分派實(shí)際批次)中和在模擬假設(shè)分析(what-if)模式中執(zhí)行每個(gè)LCA。
本發(fā)明提供了策略器(GP)，用于改善在擴(kuò)展的控制區(qū)域(EZOC)中的一組LCA的協(xié)調(diào)。在圖1中描述了按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的說(shuō)明性GP 100和EZOC 102。所述EZOC 102包括高沖擊成套工具(HITS)104(例如在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的熔爐成套工具)、上游成套工具106、下游成套工具108和關(guān)鍵下游成套工具(KDTS)112。按照各自的LCA 110來(lái)調(diào)度或分派HITS 104、每個(gè)上游成套工具106、每個(gè)下游成套工具108和每個(gè)關(guān)鍵下游成套工具(KDTS)112。上游成套工具106被選擇作為用于處理被預(yù)期在指定持續(xù)時(shí)間內(nèi)(例如在指定的累積循環(huán)時(shí)間內(nèi)或在上游成套工具106和HITS 104之間的總的粗加工(rawprocess)時(shí)間內(nèi))到達(dá)HITS 104的作業(yè)的那些成套工具。
HITS 104是用于在EZOC 102內(nèi)的調(diào)度目的的關(guān)注區(qū)域，并且它通常包括如果制造設(shè)施未適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行調(diào)度，則會(huì)限制制造設(shè)施的整體吞吐量的一組設(shè)備。HITS 104可以是這樣的成套工具，其生產(chǎn)率高度依賴(lài)于可用于批次分配的作業(yè)的混合。在例如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，熔爐成套工具是HITS 104的一個(gè)示例(光刻和離子注入成套工具是其他示例)。熔爐成套工具對(duì)于可獲得的作業(yè)的混合敏感，因?yàn)樵趩我慌沃兄荒芤黄鹛幚砭哂泄蚕砣蹱t處理特性的作業(yè)。期望在熔爐操作中運(yùn)行滿批次，所述熔爐操作要求多個(gè)作業(yè)共享相同熔爐操作參數(shù)。同時(shí)，不期望在熔爐成套工具等待足夠的具有相同操作參數(shù)的批次以達(dá)到滿批次時(shí)，使熔爐成套工具成為空閑。因此，在EZOC 102內(nèi)，GP 100協(xié)作和同步上游成套工具106的調(diào)度，以便HITS 104(例如熔爐成套工具)趨向于能夠運(yùn)行滿批次，并且進(jìn)一步使得HITS 104的輸出趨向于包括不久可以在下游成套工具108、特別是在任何感興趣的關(guān)鍵下游成套工具(KDTS)112上要被處理的作業(yè)。KDTS 112的目的是防止來(lái)料不足(由于在KDTS 112內(nèi)的空閑工具)，并且避免等待由KDTS 112處理的、大量的過(guò)量未完工作(WIP)。但是，優(yōu)化材料到KDTS 112的流動(dòng)對(duì)于GP的優(yōu)化HITS 104的目的來(lái)說(shuō)可以是是次要重要的。GP 100通過(guò)與各自的LCA 110合作和迭代地工作而優(yōu)化HITS 104和KDTS 112。GP 100通過(guò)影響——不控制——由LCA 110做出的無(wú)數(shù)決定(例如下一步的決定是什么)而將此完成。如圖1中所述，LCA 110向GP 100提供諸如計(jì)劃的輸出、批次狀態(tài)/到達(dá)、和工具狀態(tài)之類(lèi)的信息。GP 100向LCA 110提供諸如批次到達(dá)預(yù)報(bào)和LCA控制參數(shù)之類(lèi)的信息。
圖2說(shuō)明了按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的用于使用EZOC 102在制造設(shè)施中控制材料流的處理的流程圖200。參見(jiàn)在圖1中說(shuō)明的系統(tǒng)部件，下面說(shuō)明流程圖200和其他相關(guān)聯(lián)的流程圖。
在步驟S201，建立EZOC 102的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)。在圖3描述的流程圖300中更詳細(xì)地說(shuō)明了EZOC 102的建立。具體地，在步驟S301中，識(shí)別HITS 104?？梢岳绺鶕?jù)人的判斷來(lái)識(shí)別HITS 104；它通常是一組設(shè)備，如果制造設(shè)施未被適當(dāng)?shù)卣{(diào)度，它可以限制制造設(shè)施的整體吞吐量，并且它可以是這樣的成套工具，其生產(chǎn)率高度依賴(lài)于可用于批次分配的作業(yè)的混合。還能夠使用用于識(shí)別HITS 104的自動(dòng)化方法。
在步驟S302中，識(shí)別一個(gè)或多個(gè)上游成套工具106。例如，上游成套工具106通常被識(shí)別為用于處理被預(yù)期在指定持續(xù)時(shí)間內(nèi)(例如在指定的累積循環(huán)時(shí)間內(nèi)或在上游成套工具106和HITS 104之間的總的粗加工時(shí)間內(nèi))到達(dá)HITS 104的作業(yè)的那些成套工具。在步驟S303，識(shí)別一個(gè)或多個(gè)KDTS 112。KDTS 112可以例如根據(jù)人的判斷來(lái)識(shí)別，并且通常是那些下游成套工具108，對(duì)于所述下游成套工具108，避免來(lái)料不足和過(guò)量的WIP堆集是重要的。也可以再次使用用于選擇KDTS 112的自動(dòng)化方法。最后，在步驟S304，將用于處理在HITS 104和KDTS 112之間的作業(yè)的剩余成套工具識(shí)別為下游成套工具108。因?yàn)橥ǔ２恍枰芙?jīng)常(例如每天)地建立EZOC 102，僅僅需要定期地執(zhí)行步驟S301到S304，其對(duì)應(yīng)于圖2的步驟S201。但是，通常更頻繁地執(zhí)行流程圖200的剩余步驟(下述)。
在流程圖200的步驟S202，啟動(dòng)GP 100。這可以響應(yīng)于多種條件和事件而發(fā)生，例如為在EZOC 102內(nèi)的工具上的作業(yè)的完成。另一個(gè)示例是如果關(guān)鍵工具變得不可用并且其維修時(shí)間預(yù)期長(zhǎng)。另一個(gè)示例是如果早期出乎意料地維修關(guān)鍵工具。被持有(put on hold)、脫離(take off hold)或廢棄(scrapped)的WIP作業(yè)也可以用于啟動(dòng)GP 102。在步驟202，從制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)220饋送工具和WIP的變化。從批次分配的角度來(lái)看，MES 220用于跟蹤和報(bào)告制造場(chǎng)地(floor)的狀態(tài)(例如在生產(chǎn)線中的WIP的位置、哪些工具/機(jī)器正在處理WIP、可以獲得處理、或者處在維修中)。從制造生產(chǎn)的角度來(lái)看，MES 220也將便利事務(wù)(transactions)的執(zhí)行，所述事務(wù)諸如是在成套工具之間移動(dòng)WIP和將WIP從成套工具分段運(yùn)送(staging)區(qū)域向特定工具上移動(dòng)以及記錄機(jī)器/工具的故障和維修的那些事務(wù)。制造執(zhí)行系統(tǒng)有時(shí)被稱(chēng)為“車(chē)間控制系統(tǒng)”。當(dāng)自其最后的運(yùn)行起的過(guò)去時(shí)間大于預(yù)定的時(shí)段時(shí)，也可以觸發(fā)GP 100。在任何情況下，一旦觸發(fā)了GP 100，就執(zhí)行步驟S203。
在步驟S203，獲得WIP數(shù)據(jù)和工具狀態(tài)信息。對(duì)于在EZOC 102內(nèi)的成套工具處正在處理的、或者在EZOC 102內(nèi)的成套工具處等待處理的、或者被傳送到EZOC 102內(nèi)的成套工具處的所有WIP作業(yè)，由MES 220提供WIP數(shù)據(jù)和工具狀態(tài)信息。每個(gè)作業(yè)被置于三個(gè)分組的一個(gè)中非EZOC、EZOC-A和EZOC-B。非EZOC作業(yè)要求由EZOC 102的成套工具的一個(gè)進(jìn)行的處理，但是不要求在HITS 104上的處理，直到它們已經(jīng)離開(kāi)EZOC 102后為止(這些作業(yè)可以不曾在HITS 104上被處理)。EZOC-A作業(yè)在離開(kāi)EZOC 102之前將被HITS 104和KDTS 112處理。EZOC-B作業(yè)在被HITS 104處理后將離開(kāi)EZOC 102，并且在離開(kāi)EZOC 102之前不被KDTS 112處理(如果有的話)。在如下所述的EZOC 102的模擬中考慮這些作業(yè)分組的每一個(gè)。除了檢索EZOC 102的WIP數(shù)據(jù)之外，步驟S203還從MES 220接收關(guān)于工具狀態(tài)的最新信息(例如在每個(gè)成套工具內(nèi)的上和下的工具的數(shù)量、維修的預(yù)期剩余時(shí)間、工具處理時(shí)間(times)等)。
在步驟S204，進(jìn)行用于改進(jìn)EZOC 102的性能的一個(gè)或多個(gè)嘗試。如果在步驟S205確定應(yīng)當(dāng)停止“改進(jìn)嘗試”迭代，則流程進(jìn)行到步驟S206，并且GP 100處理結(jié)束。如果否定，則流程返回到步驟S204，在這里，進(jìn)行另一個(gè)改進(jìn)嘗試。GP 100的停止判斷標(biāo)準(zhǔn)可以基于過(guò)去時(shí)間、總的迭代次數(shù)、自最近顯著改進(jìn)起的總的迭代次數(shù)等等。在步驟S206，在步驟S204中提供的改進(jìn)的參數(shù)——如果有的話——被傳送到在生產(chǎn)環(huán)境中的相關(guān)聯(lián)的“實(shí)際世界”LCA 110。
在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，步驟S204充分迅速地執(zhí)行以在執(zhí)行時(shí)間期間有對(duì)于MES 220的改變的低似然性。但是，在具有較慢執(zhí)行步驟S204的另一個(gè)實(shí)施例中，在沒(méi)有新的WIP/工具數(shù)據(jù)的情況下，在S204的迭代已經(jīng)發(fā)生了特定時(shí)段之后，處理流可以從步驟S205返回到步驟S203(如在虛線(phantom)中所示)，此時(shí)可以從MES 220收集新的一組WIP和工具狀態(tài)信息。
圖4說(shuō)明了在試圖改進(jìn)EZOC 102的性能中由GP 100執(zhí)行的步驟的流程圖400。在步驟S401，模擬作業(yè)到達(dá)EZOC 102內(nèi)的每個(gè)成套工具。GP 100通過(guò)首先在EZOC 102中模擬最上游的成套工具、然后是第二最上游的成套工具等等直到最后已經(jīng)模擬了所有的KDTS 112來(lái)做這件事。在任何給定成套工具處的作業(yè)到達(dá)是當(dāng)前在所述成套工具處的那些加上根據(jù)通過(guò)任何先前的成套工具的模擬所輸出的作業(yè)而計(jì)劃到達(dá)的那些。同樣，由一個(gè)成套工具輸出的作業(yè)可以被輸入到在作業(yè)行程中的下游的下一個(gè)成套工具。這些模擬可以確定地或隨機(jī)地進(jìn)行，并且在任何情況下在每個(gè)成套工具處調(diào)用LCA110的下一步是什么邏輯的內(nèi)容。在步驟S401完成時(shí)，根據(jù)LCA 110的現(xiàn)有條件和參數(shù)以及政策內(nèi)容來(lái)知道在每個(gè)成套工具處的到達(dá)WIP(包括其特性)。
在步驟S402，檢查從KDTS 112角度看的模擬結(jié)果。通過(guò)分析在模擬結(jié)果中的KDTS 112來(lái)料不足或過(guò)量的WIP的發(fā)生(incidence)，可以向HITS 104的LCA 110提供關(guān)于下述的指示如果要具體化不同的作業(yè)混合或輸出速率，是否更期望HITS 104的輸出。同樣，HITS 104的LCA 110可以調(diào)整其(模擬的)參數(shù)，以便在KDTS 112處減輕對(duì)于來(lái)料不足或過(guò)量WIP的任何影響。
在步驟S403，使用步驟S402的分析結(jié)果來(lái)作為部分的目的，檢查在其性能上以及相對(duì)于各種其他目的的HITS 104輸出。這樣的目的的示例可以包括相對(duì)于目標(biāo)的計(jì)劃輸出、相對(duì)于目標(biāo)的獨(dú)立批次的等待時(shí)間/時(shí)延、循環(huán)時(shí)間、生產(chǎn)速率等。步驟403試圖識(shí)別諸如HITS 104部分批量(例如由于要求相同設(shè)置的不足數(shù)量的作業(yè))和等待太長(zhǎng)時(shí)間被處理的WIP作業(yè)——特別是高優(yōu)先級(jí)作業(yè)——之類(lèi)的未經(jīng)勘察的機(jī)會(huì)。步驟S403選擇下述的一些未經(jīng)勘察的組合進(jìn)入HITS 104的作業(yè)的到達(dá)時(shí)間上的改變；在HITS 104處等待的作業(yè)的優(yōu)先級(jí)上的改變；在HITS 104的LCA 110參數(shù)上的改變(例如大批量對(duì)循環(huán)時(shí)間的相對(duì)重要性等)。根據(jù)它們改進(jìn)解決方案的潛力來(lái)選擇未經(jīng)勘察的組合。步驟S403試驗(yàn)性地進(jìn)行所述改變，并且重新運(yùn)行HITS 104的LCA110以確定對(duì)于EZOC 102的整體性能，結(jié)果產(chǎn)生的影響是否表現(xiàn)為更好。如果是并且所述改變涉及在HITS 104處作業(yè)到達(dá)上的差別，則GP 100將控制轉(zhuǎn)到步驟S404，其確定是否上游成套工具106能夠向HITS 104提供修訂的作業(yè)順序和時(shí)序。在步驟S404，使用修訂的參數(shù)(例如修訂的作業(yè)優(yōu)先級(jí))以模擬模式來(lái)執(zhí)行上游LCA 110，以確定是否可以取得向HITS 104提供一組改進(jìn)的作業(yè)。如果肯定，則在步驟S405，使用修訂的政策和參數(shù)設(shè)置來(lái)模擬EZOC 102的整體材料流(類(lèi)似于步驟S401)。如果這導(dǎo)致對(duì)于EZOC 102性能的整體改善，則在步驟S406預(yù)訂(book)在“模擬世界視圖”中的結(jié)果產(chǎn)生的策略/參數(shù)。在任何情況下，在步驟S406之后，控制返回圖2的步驟S205，用于改進(jìn)EZOC 102性能的迭代嘗試?yán)^續(xù)，直到已經(jīng)達(dá)到了停止判斷標(biāo)準(zhǔn)為止。
通過(guò)提高HITS 104和KDTS 112的利用和效率，本發(fā)明的使用導(dǎo)致制造設(shè)施的改善的性能(或當(dāng)操作被分散在不同地理位置上時(shí)的多個(gè)設(shè)施)。由本發(fā)明提供的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它使得可以根據(jù)其本地信息的下層特性來(lái)優(yōu)化每個(gè)LCA 110。每個(gè)LCA 110可以具有其本身的方法和控制結(jié)構(gòu)。
圖5描述了按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的用于使用擴(kuò)展的控制區(qū)域來(lái)在制造設(shè)施中控制材料流的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500被提供在計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)502中。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500意欲表示能夠執(zhí)行本發(fā)明的教程的任何類(lèi)型的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)。例如，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500可以是膝上型計(jì)算機(jī)、臺(tái)式計(jì)算機(jī)、工作站、手持設(shè)備、服務(wù)器、一組計(jì)算機(jī)等。另外，如下進(jìn)一步所述，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500可以通過(guò)服務(wù)提供器部署和/或操作，所述服務(wù)提供器提供按照本發(fā)明的用于使用擴(kuò)展的控制區(qū)域來(lái)在制造設(shè)施中控制材料流的服務(wù)。應(yīng)當(dāng)明白，用戶504可以直接地訪問(wèn)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500，或可以操作一個(gè)通過(guò)網(wǎng)絡(luò)506(諸如因特網(wǎng)、廣域網(wǎng)(WAN)、局域網(wǎng)(LAN)、虛擬專(zhuān)用網(wǎng)絡(luò)(VPN)等)而與計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500通信的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)。在后者的情況下，在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500和用戶操作的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)之間的通信可以經(jīng)由各種類(lèi)型的通信鏈路的任何組合而發(fā)生。例如，所述通信鏈路可以包括可尋址的連接，它們可以利用有線和/或無(wú)線傳輸方法的任何組合。當(dāng)經(jīng)由因特網(wǎng)而發(fā)生通信時(shí)，可以通過(guò)傳統(tǒng)的基于TCP-IP套接字(socket)的協(xié)議來(lái)提供連接，并且可以使用因特網(wǎng)服務(wù)提供器來(lái)建立到因特網(wǎng)的連接。
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500被示出包括處理單元508、存儲(chǔ)器510、總線512和輸入/輸出(I/O)接口514。而且，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500被示出與外部設(shè)備/資源516和一個(gè)或多個(gè)存儲(chǔ)系統(tǒng)518通信，通常，處理單元508執(zhí)行在存儲(chǔ)器510和/或存儲(chǔ)系統(tǒng)518中存儲(chǔ)的諸如策略器系統(tǒng)530之類(lèi)的計(jì)算機(jī)程序代碼。當(dāng)執(zhí)行計(jì)算機(jī)程序代碼時(shí)，處理單元508可以在/從存儲(chǔ)器510、存儲(chǔ)系統(tǒng)518和/或輸入/輸出接口514上讀取和/或?qū)懭霐?shù)據(jù)?？偩€512在計(jì)算機(jī)系500的每個(gè)部件之間提供通信鏈路。外部設(shè)備/資源516可以包括用于使得用戶能夠與計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500交互的任何設(shè)備(例如鍵盤(pán)、指示裝置、顯示器(例如顯示器520)、打印機(jī)等))和/或使得計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500能夠與一個(gè)或多個(gè)其他計(jì)算設(shè)備通信的任何設(shè)備(例如網(wǎng)卡、調(diào)制解調(diào)器等)。
計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)502僅僅是說(shuō)明可以用于實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的各種類(lèi)型的計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)。例如，在一個(gè)實(shí)施例中，計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)502可以包括通過(guò)網(wǎng)絡(luò)(例如網(wǎng)絡(luò)506)來(lái)進(jìn)行通信以執(zhí)行本發(fā)明的各種處理步驟的兩個(gè)或多個(gè)計(jì)算設(shè)備(例如服務(wù)器組)。而且，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500僅僅表示可以用于本發(fā)明實(shí)踐的許多類(lèi)型的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，其中每個(gè)可以包括硬件/軟件的多種組合。例如，處理單元508可以包括單個(gè)處理單元，或可以被分布在一個(gè)或多個(gè)位置上的一個(gè)或多個(gè)處理單元上，例如在客戶機(jī)和服務(wù)器上。類(lèi)似地，存儲(chǔ)器510和/或存儲(chǔ)系統(tǒng)518可以包括駐留在一個(gè)或多個(gè)物理位置上的各種類(lèi)型的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和/或傳輸媒體的任何組合。而且，輸入/輸出接口514可以包括用于與一個(gè)或多個(gè)外部設(shè)備/資源516交換信息的任何系統(tǒng)。而且，可以明白，在圖5中未示出的一個(gè)或多個(gè)附加部件(例如系統(tǒng)軟件、通信系統(tǒng)、高速緩沖存儲(chǔ)器等)可以被包括在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500中。但是，如果計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500包括手持設(shè)備等，則可以明白，一個(gè)或多個(gè)外部設(shè)備/資源516(例如顯示器)和/或一個(gè)或多個(gè)存儲(chǔ)系統(tǒng)518可以被包含在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500中，并且未在外部示出。
存儲(chǔ)系統(tǒng)518可以是能夠在本發(fā)明下提供信息的存儲(chǔ)的任何類(lèi)型的系統(tǒng)(例如數(shù)據(jù)庫(kù))。在這種情況下，存儲(chǔ)系統(tǒng)518可以包括一個(gè)或多個(gè)存儲(chǔ)設(shè)備，諸如磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器或光盤(pán)驅(qū)動(dòng)器。在另一個(gè)實(shí)施例中，存儲(chǔ)系統(tǒng)518可以包括分布在例如局域網(wǎng)(LAN)、廣域網(wǎng)(WAN)或存儲(chǔ)區(qū)域網(wǎng)絡(luò)(SAN)(未示出)上的數(shù)據(jù)。而且，雖然未示出，但由用戶504操作的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)可以包含與關(guān)于計(jì)算機(jī)系統(tǒng)500上述的那些類(lèi)似的計(jì)算機(jī)化的部件。
在存儲(chǔ)器510中示出了(例如作為計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品)策略器系統(tǒng)530，其用于使用擴(kuò)展的控制區(qū)域來(lái)在制造設(shè)施中控制材料流。策略器系統(tǒng)530包括EZOC建立系統(tǒng)532，用于建立擴(kuò)展的控制區(qū)域(例如圖1的EZ0C 102)。由EZOC建立系統(tǒng)532通過(guò)識(shí)別高沖擊成套工具(HITS)、上游成套工具、關(guān)鍵下游成套工具(KDTS)和其他下游成套工具來(lái)建立EZOC。策略器系統(tǒng)530還包括策略器534和啟動(dòng)系統(tǒng)536，所述啟動(dòng)系統(tǒng)536用于響應(yīng)于一組預(yù)定的條件和/或事件來(lái)啟動(dòng)策略器534。
一旦被觸發(fā)，對(duì)于在EZOC內(nèi)的成套工具處正在處理的、或者在EZOC內(nèi)的成套工具處等待處理的、或者被傳送到EZOC內(nèi)的成套工具處的所有WIP作業(yè)，策略器534從制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)中獲得WIP數(shù)據(jù)和工具狀態(tài)信息。策略器534然后迭代地試圖改進(jìn)EZOC的性能，如參見(jiàn)圖4中描述的流程圖400的上述。EZOC的改進(jìn)參數(shù)然后被策略器534傳送到在制造設(shè)施中的相關(guān)聯(lián)的LCA。
本發(fā)明可以被提供為在訂金或收費(fèi)基礎(chǔ)上的業(yè)務(wù)方法。例如，可以由向消費(fèi)者提供在此所述功能的服務(wù)提供器來(lái)建立、保持、支持和/或部署本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)部件。即，可以使用服務(wù)提供器來(lái)提供用于使用擴(kuò)展的控制區(qū)域來(lái)在制造設(shè)施中控制材料流的服務(wù)，如上所述。
也應(yīng)當(dāng)明白，可以以硬件、軟件、傳播信號(hào)或其任何組合來(lái)實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。任何種類(lèi)的計(jì)算機(jī)/服務(wù)器系統(tǒng)——或適合于執(zhí)行在此所述方法的其他裝置——都是適當(dāng)?shù)?。硬件和軟件的典型組合可以包括通用計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，它具有計(jì)算機(jī)程序，所述計(jì)算機(jī)程序當(dāng)被安裝和執(zhí)行時(shí)，實(shí)現(xiàn)在此所述的各自方法?；蛘?，可以使用專(zhuān)用計(jì)算機(jī)，它包含用于執(zhí)行本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)功能任務(wù)的專(zhuān)用硬件。本發(fā)明也可以嵌入在計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品或傳播信號(hào)中，所述計(jì)算機(jī)產(chǎn)品或傳播信號(hào)包括使得能夠?qū)崿F(xiàn)在此所述方法的所有的各自特征，并且它當(dāng)被安裝到計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中時(shí)能夠執(zhí)行這些方法。
本發(fā)明可以采取整體硬件實(shí)施例、整體軟件實(shí)施例或包含硬件和軟件元素的實(shí)施例的形式。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，以軟件來(lái)實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，所述軟件包括但是不限于固件、駐留軟件、微碼等。
本發(fā)明可以采取可以從計(jì)算機(jī)可使用或計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)訪問(wèn)的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品的形式，所述介質(zhì)提供程序代碼以由計(jì)算機(jī)或任何指令執(zhí)行系統(tǒng)使用或與其相結(jié)合地使用。對(duì)于本說(shuō)明書(shū)，計(jì)算機(jī)可使用或計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)可以是能夠包含、存儲(chǔ)、通信、傳播或傳送由指令執(zhí)行系統(tǒng)、裝置或器件使用或與其相結(jié)合使用的程序的任何裝置。
所述介質(zhì)可以是電、磁、光、電磁、紅外線或半導(dǎo)體系統(tǒng)(或裝置或器件)，或者是傳播介質(zhì)。計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)的示例包括半導(dǎo)體或固態(tài)存儲(chǔ)器、磁帶、可裝卸計(jì)算機(jī)磁盤(pán)、隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM)、只讀存儲(chǔ)器(ROM)、硬磁盤(pán)和光盤(pán)。光盤(pán)的當(dāng)前示例包括致密盤(pán)-只讀盤(pán)(CD-ROM)、致密盤(pán)一讀取/寫(xiě)入盤(pán)(CD-R/W)和數(shù)字通用盤(pán)(DVD)。
在本上下文中的計(jì)算機(jī)程序、傳播信號(hào)、軟件程序、程序或軟件表示意欲使得具有信息處理能力的系統(tǒng)直接或在下述之一或兩者之后執(zhí)行特定功能的一組指令的、以任何語(yǔ)言、代碼或符號(hào)的任何表達(dá)式(a)轉(zhuǎn)換到另一個(gè)語(yǔ)言、代碼或符號(hào)；和/或(b)以不同材料形式的再現(xiàn)。
本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的上述說(shuō)明已經(jīng)給出用于圖解和說(shuō)明。它不意欲是窮盡性的或?qū)⒈景l(fā)明限定到所公開(kāi)的精確形式，并且顯然，許多修改和改變是可能的。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員，顯然，這些修改和改變意欲被包括在由所附權(quán)利要求限定的本發(fā)明的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于在制造設(shè)施中控制材料流的方法，包括建立擴(kuò)展的控制區(qū)域，其包括高沖擊成套工具和至少一個(gè)其他成套工具；在所述高沖擊成套工具處分析計(jì)劃中的作業(yè)到達(dá)；以及根據(jù)在所述高沖擊成套工具處的計(jì)劃中的作業(yè)到達(dá)的分析來(lái)調(diào)整在所述高沖擊成套工具和所述至少一個(gè)其他成套工具之間的材料流。
2.按照權(quán)利要求1的方法，其中，所述至少一個(gè)其他成套工具包括上游成套工具。
3.按照權(quán)利要求2的方法，其中，所述上游成套工具包括用于處理在指定時(shí)段內(nèi)預(yù)期到達(dá)高沖擊成套工具的作業(yè)的成套工具。
4.按照權(quán)利要求1的方法，其中，所述至少一個(gè)其他成套工具包括下游成套工具。
5.按照權(quán)利要求4的方法，其中，所述下游成套工具包括關(guān)鍵下游成套工具。
6.按照權(quán)利要求5的方法，還包括調(diào)整在高沖擊成套工具和關(guān)鍵下游成套工具之間的材料流，以防止關(guān)鍵下游成套工具的來(lái)料不足或在關(guān)鍵下游成套工具處堆集過(guò)量的未完成工作。
7.按照權(quán)利要求1的方法，其中，所述高沖擊成套工具和所述至少一個(gè)其他成套工具的每個(gè)包括本地控制代理。
8.按照權(quán)利要求1的方法，其中，所述高沖擊成套工具包括以下成套工具如果未適當(dāng)?shù)倪M(jìn)行調(diào)度，則其限制所述制造設(shè)施的整體吞吐量。
9.一種用于在制造設(shè)施中控制材料流的系統(tǒng)，包括用于建立擴(kuò)展的控制區(qū)域的系統(tǒng)，所述擴(kuò)展的控制區(qū)域包括高沖擊成套工具和至少一個(gè)其他成套工具；策略器，用于在所述高沖擊成套工具處分析計(jì)劃中的作業(yè)到達(dá)，以及用于根據(jù)在所述高沖擊成套工具處的計(jì)劃中的作業(yè)到達(dá)的分析來(lái)調(diào)整在所述高沖擊成套工具和所述至少一個(gè)其他成套工具之間的材料流。
10.按照權(quán)利要求9的系統(tǒng)，其中，所述至少一個(gè)其他成套工具包括上游成套工具。
11.按照權(quán)利要求10的系統(tǒng)，其中，所述上游成套工具包括用于處理在指定時(shí)段內(nèi)預(yù)期到達(dá)高沖擊成套工具的作業(yè)的成套工具。
12.按照權(quán)利要求9的系統(tǒng)，其中，所述至少一個(gè)其他成套工具包括下游成套工具。
13.按照權(quán)利要求12的系統(tǒng)，其中，所述下游成套工具包括關(guān)鍵下游成套工具。
14.按照權(quán)利要求13的系統(tǒng)，其中，所述策略器被進(jìn)一步配置來(lái)調(diào)整在高沖擊成套工具和關(guān)鍵下游成套工具之間的材料流，以防止關(guān)鍵下游成套工具的來(lái)料不足或在關(guān)鍵下游成套工具處堆集過(guò)量的未完成工作。
15.按照權(quán)利要求9的系統(tǒng)，其中，所述高沖擊成套工具和所述至少一個(gè)其他成套工具的每個(gè)包括本地控制代理。
16.按照權(quán)利要求9的系統(tǒng)，其中，所述高沖擊成套工具包括以下成套工具如果未適當(dāng)?shù)倪M(jìn)行調(diào)度，則其限制所述制造設(shè)施的整體吞吐量。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種方法、系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，用于使用擴(kuò)展的控制區(qū)域來(lái)在制造設(shè)施中控制材料流。按照本發(fā)明實(shí)施例的方法包括建立擴(kuò)展的控制區(qū)域，其包括高沖擊成套工具和至少一個(gè)其他成套工具；在所述高沖擊成套工具處分析計(jì)劃中的作業(yè)到達(dá)；以及，根據(jù)在所述高沖擊成套工具處的計(jì)劃中的工作到達(dá)的分析來(lái)調(diào)整在所述高沖擊成套工具和所述至少一個(gè)其他成套工具之間的材料流。
文檔編號(hào)H01L21/00GK1959570SQ200610136608
公開(kāi)日2007年5月9日 申請(qǐng)日期2006年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月31日
發(fā)明者肯尼思·J·福代斯, 理查德·G·伯達(dá), 艾爾弗雷德·T·德格博茨, 布賴(lài)恩·T·登頓, 羅伯特·J·米爾恩 申請(qǐng)人:國(guó)際商業(yè)機(jī)器公司