專利名稱：開(kāi)關(guān)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總體上涉及開(kāi)關(guān)，更具體地涉及一種機(jī)械驅(qū)動(dòng)和電耦合的開(kāi)關(guān)。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，隨著移動(dòng)通信系統(tǒng)的發(fā)展，便攜式信息終端等迅速地廣泛普及。例如，移動(dòng)電話系統(tǒng)使用諸如800MHz至1GHz以及1.5GHz到2.0GHz的高頻帶寬。因此，高頻開(kāi)關(guān)被用于移動(dòng)通信系統(tǒng)的設(shè)備中。存在對(duì)于減小尺寸和節(jié)省能量的高頻開(kāi)關(guān)的需求，而傳統(tǒng)上使用的是含砷化鎵(GaAs)等的半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)。但是，半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)能耗高且隔離度低。因此，高頻微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開(kāi)關(guān)正通過(guò)使用MEMS技術(shù)而不斷得到發(fā)展，從而實(shí)現(xiàn)小型化、低能耗和高隔離度。
如日本專利申請(qǐng)公報(bào)No.2005-243576和日本專利申請(qǐng)公報(bào)No.2003-522377中所披露的，提出了具有懸臂梁(cantilever beam)的MEMS開(kāi)關(guān)，該懸臂梁是一種一端固定于基板上的活動(dòng)梁。該MEMS開(kāi)關(guān)使用絕緣體上硅(SOI)基板，懸臂梁由上硅層形成。在懸臂梁的一端設(shè)置有金的薄膜電極，并且通過(guò)在該薄膜電極的上部鍍金而制成上電極。開(kāi)關(guān)接觸部分被構(gòu)造為，使得薄膜電極和上電極連接或斷開(kāi)。懸臂梁由靜電致動(dòng)器或電磁致動(dòng)器來(lái)驅(qū)動(dòng)。例如，靜電致動(dòng)器包括懸臂梁上的下電極和懸臂梁上方的上電極。通過(guò)在上電極和下電極之間提供電壓來(lái)驅(qū)動(dòng)懸臂梁。
存在對(duì)于可使驅(qū)動(dòng)電力降低(即功耗降低)、穩(wěn)定性增強(qiáng)和尺寸減小的MEMS開(kāi)關(guān)的需求。一般而言，當(dāng)驅(qū)動(dòng)電壓降低時(shí)，開(kāi)關(guān)接觸部分的接觸操作會(huì)變得不穩(wěn)定。例如，即便從致動(dòng)器生成小功率來(lái)減小MEMS開(kāi)關(guān)的驅(qū)動(dòng)電壓，開(kāi)關(guān)接觸部分也需要是可操作的。作為解決方法，減小活動(dòng)梁部分的彈性系數(shù)(spring constant)。但是，活動(dòng)梁部分的這種減小的彈性系數(shù)減弱了開(kāi)啟開(kāi)關(guān)接觸部分時(shí)的開(kāi)啟力。當(dāng)開(kāi)關(guān)接觸部分被多次開(kāi)啟和閉合時(shí)，這可能導(dǎo)致無(wú)法開(kāi)啟的現(xiàn)象并導(dǎo)致不穩(wěn)定的接觸操作。如上所述，降低的驅(qū)動(dòng)電壓與開(kāi)關(guān)接觸部分處的穩(wěn)定接觸操作之間是一種平衡關(guān)系。
已提出一種在具有電磁致動(dòng)器的開(kāi)關(guān)中，通過(guò)使用該電磁致動(dòng)器中的具有磁滯特性的拴鎖結(jié)構(gòu)來(lái)抑制功耗的方法。另外，還提出了一種用來(lái)實(shí)現(xiàn)該拴鎖結(jié)構(gòu)的帶有鉸鏈的翹板結(jié)構(gòu)。然而，即便采用上述方法或結(jié)構(gòu)，也很難減小磁性薄膜或線圈的尺寸。MEMS開(kāi)關(guān)的尺寸也很難減小。
同時(shí)，靜電致動(dòng)器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造起來(lái)容易，可以減小其尺寸。目前已有一種減小靜電致動(dòng)器的電極之間的間隔以減小靜電致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)電壓的方法。但是，當(dāng)電極之間的間隔變窄時(shí)，可能導(dǎo)致在制造靜電致動(dòng)器時(shí)的粘結(jié)(sticking)問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上情況提出本發(fā)明，本發(fā)明提供了一種可以減小其尺寸，可以降低其驅(qū)動(dòng)電壓，或者可以穩(wěn)定地執(zhí)行在其開(kāi)關(guān)接觸部分處的接觸操作的開(kāi)關(guān)。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種開(kāi)關(guān)，該開(kāi)關(guān)包括多個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧，每個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧的一端都固定在基板上；梁部分，所述多個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧的另一端中的每一個(gè)都固定于其上，其通過(guò)靜電致動(dòng)器進(jìn)行擺動(dòng)；以及開(kāi)關(guān)接觸部分，其中設(shè)置在梁部分處的第一觸點(diǎn)和固定于基板上的第二觸點(diǎn)處于連接或斷開(kāi)狀態(tài)。通過(guò)采用靜電致動(dòng)器，尺寸得以減小。即使要施加給靜電致動(dòng)器的電壓較小，也能夠以減小的彈性系數(shù)來(lái)驅(qū)動(dòng)梁部分，因?yàn)閺椥韵禂?shù)變小了。這使得能夠降低驅(qū)動(dòng)電壓。


下面參照以下附圖來(lái)詳細(xì)描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，附圖中圖1是根據(jù)本發(fā)明第一示例性實(shí)施例的開(kāi)關(guān)的俯視圖；
圖2A是沿圖1的線A-A截取的剖面圖；圖2B是沿圖1的線B-B截取的剖面圖；圖2C是沿圖1的線C-C截取的剖面圖；圖3A至圖3E是示出本發(fā)明第一示例性實(shí)施例中所采用的開(kāi)關(guān)的制造方法的剖面圖；圖4A和圖4B分別示出了用于計(jì)算彈性系數(shù)的扭轉(zhuǎn)彈簧結(jié)構(gòu)和懸臂梁結(jié)構(gòu)；圖5示出了這兩種結(jié)構(gòu)的彈性系數(shù)計(jì)算結(jié)果相對(duì)于梁部分的梁長(zhǎng)度的關(guān)系；圖6示意性示出了在對(duì)第一示例性實(shí)施例中采用的開(kāi)關(guān)進(jìn)行操作時(shí)的電路圖；圖7A和圖7B分別示出了在對(duì)第一示例性實(shí)施例中采用的開(kāi)關(guān)進(jìn)行操作時(shí)的時(shí)序圖；圖8是根據(jù)本發(fā)明第二示例性實(shí)施例的開(kāi)關(guān)的立體圖；圖9是根據(jù)本發(fā)明第三示例性實(shí)施例的開(kāi)關(guān)的立體圖；圖10是根據(jù)本發(fā)明第四示例性實(shí)施例的開(kāi)關(guān)的立體圖；圖11是根據(jù)本發(fā)明第五示例性實(shí)施例的開(kāi)關(guān)的立體圖；以及圖12是根據(jù)本發(fā)明第六示例性實(shí)施例的開(kāi)關(guān)的立體圖。
具體實(shí)施例方式
下面將參照附圖對(duì)本發(fā)明的示例性實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。
(第一示例性實(shí)施例)下面將參照?qǐng)D1、圖2A至2C，對(duì)根據(jù)本發(fā)明第一示例性實(shí)施例的開(kāi)關(guān)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖1是本發(fā)明第一示例性實(shí)施例中采用的開(kāi)關(guān)的俯視圖。圖2A是沿圖1所示的線A-A截取的剖面圖。圖2B是沿圖1所示的線B-B截取的剖面圖。圖2C是沿圖1所示的線C-C截取的剖面圖。
如圖2A至圖2C所示，第一示例性實(shí)施例中采用的開(kāi)關(guān)具有絕緣體上硅(SOI)基板60，其中設(shè)置有硅基板50；氧化硅層52；以及硅層54。此外，第一示例性實(shí)施例中采用的開(kāi)關(guān)具有堆疊結(jié)構(gòu)，其中金屬層56和58堆疊在SOI基板60上。硅基板50的厚度例如可以是600μm，氧化硅層52的厚度例如可以是4μm，硅層54的厚度例如可以是15μm，金屬層56的厚度例如可以是20μm，金屬層58的厚度例如可以是20μm。
參照?qǐng)D1和圖2B，硅層54上形成有兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12a和12b，每個(gè)彈簧的一端都固定于SOI基板60上。這里，扭轉(zhuǎn)彈簧通過(guò)扭曲來(lái)展示彈簧特性。扭轉(zhuǎn)彈簧12a和12b的另一端固定于梁部分10中的公共部分11上。布置在扭轉(zhuǎn)彈簧12a和12b下面和梁部分10下面的氧化硅層52被去除，由此限定了空腔66。參照?qǐng)D1和圖2A，梁部分10包括子梁部分13a和13b；以及子梁部分13a和13b的一端都固定于其上的公共部分11，且梁部分10由硅層54(將成為剛體)一體地形成。位于扭轉(zhuǎn)彈簧12a和12b的下面以及梁部分10的下面的氧化硅層52被去除，由此限定了腔66。在梁部分10的周圍，除扭轉(zhuǎn)彈簧12a和12b之外的氧化硅層52被去除，由此形成縫隙(slit)62。除了由扭轉(zhuǎn)彈簧12a和12b支撐的部分以外，梁部分10被縫隙62和腔66所圍繞。也就是說(shuō)，梁部分10只由扭轉(zhuǎn)彈簧12a和12b所支撐。子梁部分13a和13b設(shè)置在公共部分11的兩側(cè)。
參照?qǐng)D1、圖2A和圖2C，在子梁部分13a和13b的頂表面上分別設(shè)置有靜電致動(dòng)器20a的下電極22a，以及靜電致動(dòng)器20b的下電極22b。在下電極22a和22b的上方，分別設(shè)置有由金屬層58形成的上電極24a和24b。靜電致動(dòng)器20a由下電極22a和上電極24a形成，靜電致動(dòng)器20b由下電極22b和上電極24b形成。參照?qǐng)D2C，上電極24a和24b通過(guò)設(shè)置在子梁部分13a和13b兩側(cè)的金屬層56分別固定于SOI基板60上，并且與焊盤(pán)40電連接。參照?qǐng)D1和圖2B，下電極22a和22b分別通過(guò)布線電極18a和18b與焊盤(pán)40電連接。布線電極18a和18b分別設(shè)置在扭轉(zhuǎn)彈簧12b和12a上。再參照?qǐng)D1和圖2A，靜電致動(dòng)器20a和20b分別由提供給下電極22a和22b以及上電極24a和24b的電壓來(lái)驅(qū)動(dòng)。于是，靜電致動(dòng)器20a和20b使梁部分10上下擺動(dòng)。
參照?qǐng)D1和圖2A，子梁部分13a的一端布置有第一觸點(diǎn)32a。第一觸點(diǎn)32a上設(shè)置有第二觸點(diǎn)36a。第二觸點(diǎn)36a設(shè)置在由金屬層58和56所組成的上層34中。第二觸點(diǎn)36a通過(guò)上層34固定于SOI基板60上，并與焊盤(pán)40電連接。第一觸點(diǎn)32a和第二觸點(diǎn)36a組成了開(kāi)關(guān)接觸部分30a。一個(gè)第一觸點(diǎn)32a上設(shè)置有兩個(gè)第二觸點(diǎn)32a。當(dāng)子梁部分13a被向上驅(qū)動(dòng)時(shí)，第一觸點(diǎn)32a和第二觸點(diǎn)32a相連接。于是，上層34之一、第二觸點(diǎn)36a之一以及第一觸點(diǎn)32a之一變?yōu)閷?dǎo)電，并且其他第二觸點(diǎn)36a和其他上層34中的每一個(gè)都變得導(dǎo)電。于是，開(kāi)關(guān)接觸部分30a處于連接狀態(tài)。同時(shí)，當(dāng)?shù)谝挥|點(diǎn)32a和第二觸點(diǎn)36a處于斷開(kāi)狀態(tài)時(shí)，開(kāi)關(guān)接觸部分30a處于斷開(kāi)狀態(tài)。設(shè)置在子梁部分13b上的開(kāi)關(guān)接觸部分30b按照類似的方式進(jìn)行操作。
下面將對(duì)本發(fā)明第一示例性實(shí)施例中采用的開(kāi)關(guān)的制作方法進(jìn)行描述。圖3A至圖3E示出了本發(fā)明第一示例性實(shí)施例中采用的開(kāi)關(guān)的制作方法。圖3A至圖3E是沿圖1所示的線A-A截取的剖面圖?，F(xiàn)在參照?qǐng)D3A，在SOI基板60上形成諸如鉬、金等的金屬薄膜，SOI基板60包括硅基板50；氧化硅層52；以及硅層54。利用光刻和蝕刻技術(shù)形成第一觸點(diǎn)32a和32b、下電極22a和22b，以及布線電極18a和18b。
現(xiàn)在參照?qǐng)D3B，在硅層54中、梁部分10和扭轉(zhuǎn)彈簧12a和12b的周圍形成縫隙62。利用光刻和蝕刻技術(shù)來(lái)形成縫隙62。現(xiàn)在參照?qǐng)D3C，通過(guò)等離子體化學(xué)氣相沉積(CVD)形成例如由氧化硅膜形成且厚度為幾微米的犧牲層64。然后，利用光刻和蝕刻技術(shù)去除犧牲層64的給定區(qū)域。
現(xiàn)在參照?qǐng)D3D，在給定區(qū)域中形成光刻膠，并通過(guò)電鍍形成Au。通過(guò)該工藝，形成了上層34以及上電極24a和24b。現(xiàn)在參照?qǐng)D3E，利用基于氫氟酸的蝕刻劑來(lái)去除犧牲層64和氧化硅層52。通過(guò)該工藝，去除了布置在梁部分10下面的氧化硅層52，從而限定了腔66。按照上文所述，制成了第一實(shí)施例中采用的開(kāi)關(guān)。
在圖3D和圖3E中，在上層34上設(shè)置第二觸點(diǎn)36a和36b。如上所述，第二觸點(diǎn)36a和36b可包括在上層34中。在如圖2A所示將第二觸點(diǎn)36a和36b設(shè)置在上層34的下表面的情況下，設(shè)置凹陷部分以在犧牲層64中形成第二觸點(diǎn)36a和36b。接下來(lái)，執(zhí)行圖3D和圖3E中所示的處理。由此可將第二觸點(diǎn)36a和36b設(shè)置在上層34的下表面。
這里，計(jì)算其中梁部分由扭轉(zhuǎn)彈簧12a和12b支撐的扭轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的彈性系數(shù)，和其中扭轉(zhuǎn)彈簧12a和12b的一端都被固定的懸臂梁結(jié)構(gòu)的彈性系數(shù)，并對(duì)二者進(jìn)行比較。圖4A和圖4B分別示出了用于該計(jì)算的扭轉(zhuǎn)彈簧結(jié)構(gòu)和懸臂梁結(jié)構(gòu)。參照?qǐng)D4A，由扭轉(zhuǎn)彈簧支撐的梁部分由寬度為100μm、厚度為15μm的硅制成。其一側(cè)的兩端固定于兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧上，另一側(cè)的另一端被加載負(fù)荷。設(shè)置了兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧，每個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧的長(zhǎng)度都為100μm，寬度都為10μm，厚度都為15μm。這兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧的一端都固定在梁部分上，其另一端都固定在例如基板上。參照?qǐng)D4B，懸臂梁由寬度為100μm，厚度為15μm的硅制成。懸臂梁的一端固定，另一端都被加載負(fù)荷。
圖5示出了上述兩個(gè)結(jié)構(gòu)的彈性系數(shù)的計(jì)算結(jié)果相對(duì)于梁部分的梁長(zhǎng)度的關(guān)系。在扭轉(zhuǎn)彈簧結(jié)構(gòu)和懸臂梁結(jié)構(gòu)二者中，梁的長(zhǎng)度越長(zhǎng)，彈性系數(shù)越小。扭轉(zhuǎn)彈簧結(jié)構(gòu)的彈性系數(shù)與懸臂梁結(jié)構(gòu)的彈性系數(shù)相比可降低一個(gè)或更多個(gè)數(shù)位(digit)。
下面將參照?qǐng)D6、圖7A和圖7B，對(duì)本發(fā)明第一示例性實(shí)施例中采用的開(kāi)關(guān)的操作進(jìn)行說(shuō)明。圖6示意性示出了當(dāng)對(duì)第一示例性實(shí)施例中采用的開(kāi)關(guān)進(jìn)行操作時(shí)的電路圖。以下，在圖6中，與圖2A中所采用的相同的部件和結(jié)構(gòu)具有相同的標(biāo)號(hào)，并且將省略詳細(xì)的說(shuō)明。如圖6所示，將驅(qū)動(dòng)信號(hào)Vd2從信號(hào)產(chǎn)生器80輸入到設(shè)置在子梁部分13b處的靜電致動(dòng)器20b(以下稱為第二靜電致動(dòng)器)中，子梁部分13b是第一示例性實(shí)施例中采用的開(kāi)關(guān)的彼此相對(duì)并插設(shè)有公共部分11的子梁部分13a和13b中的一個(gè)。將驅(qū)動(dòng)信號(hào)Vd1輸入到設(shè)置在另一個(gè)子梁部分13a上的靜電致動(dòng)器20a(以下稱為第一靜電致動(dòng)器)中，但驅(qū)動(dòng)信號(hào)Vd1是信號(hào)產(chǎn)生器80的反相信號(hào)，在反相器82處進(jìn)行了反相?？梢詫Ⅱ?qū)動(dòng)信號(hào)的高電平和低電平配置為例如TTL電平。
圖7A和圖7B分別示出了施加給第一靜電致動(dòng)器20a的電壓Vd1和施加給第二靜電致動(dòng)器20b的電壓Vd2。電壓Vd2經(jīng)過(guò)反相器而轉(zhuǎn)換為電壓Vd1。即，Vd1和Vd2互為反相信號(hào)。當(dāng)電壓Vd1是低電壓且電壓Vd2是高電壓時(shí)，對(duì)第一靜電致動(dòng)器20a施加了斥力，而對(duì)第二靜電動(dòng)器20b施加了引力。因此，開(kāi)關(guān)接觸部分30a(以下稱為第一開(kāi)關(guān)接觸部分)處于斷開(kāi)(OFF)狀態(tài)，而開(kāi)關(guān)接觸部分30b(以下稱為第二開(kāi)關(guān)接觸部分)處于連接(ON)狀態(tài)。同時(shí)，當(dāng)電壓Vd1是高電壓且電壓Vd2是低電壓時(shí)，對(duì)第一靜電致動(dòng)器20a施加了引力，而對(duì)第二靜電致動(dòng)器20b施加了斥力。因此，開(kāi)關(guān)接觸部分30a處于連接(ON)狀態(tài)，而開(kāi)關(guān)接觸部分30b處于斷開(kāi)(OFF)狀態(tài)。
在第一示例性實(shí)施例所采用的開(kāi)關(guān)中，梁部分10由靜電致動(dòng)器20a和20b來(lái)驅(qū)動(dòng)，并且扭轉(zhuǎn)彈簧12a和12b的一端都固定在SOI基板60上，其另一端固定在梁部分10上。如圖5所示，通過(guò)采用扭轉(zhuǎn)彈簧結(jié)構(gòu)，減小了彈性系數(shù)。即使對(duì)靜電致動(dòng)器20a和20b施加較小的電壓，也可致動(dòng)梁部分。這使得可以降低驅(qū)動(dòng)電壓。這里，在第一示例性實(shí)施例中，對(duì)設(shè)置有兩個(gè)子梁部分13a和13b、兩個(gè)靜電致動(dòng)器20a和20b，以及兩個(gè)開(kāi)關(guān)接觸部分30a和30b的情況進(jìn)行了說(shuō)明。但是，也可以設(shè)置至少一個(gè)子梁部分、至少一個(gè)靜電致動(dòng)器，以及至少一個(gè)開(kāi)關(guān)接觸部分。如果設(shè)置了至少一個(gè)靜電致動(dòng)器、至少一個(gè)開(kāi)關(guān)接觸部分，并采用了扭轉(zhuǎn)彈簧結(jié)構(gòu)，則可使彈性系數(shù)減小，并且可以降低驅(qū)動(dòng)電壓。
第一示例性實(shí)施例中采用的開(kāi)關(guān)具有梁部分10，其設(shè)置有兩個(gè)子梁部分13a和13b；以及子梁部分13a和13b的一端都固定于其上的公共部分11。公共部分11由兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12a和12b來(lái)連接和支撐。兩個(gè)子梁部分13a和13b分別包括靜電致動(dòng)器20a和20b；以及第一觸點(diǎn)32a和32b。此外，分別設(shè)置有開(kāi)關(guān)接觸部分30a和30b，以與分別布置在子梁部分13a和13b處的第一觸點(diǎn)32a和32b相對(duì)應(yīng)。通過(guò)這樣的結(jié)構(gòu)，當(dāng)?shù)谝婚_(kāi)關(guān)接觸部分30a處于連接狀態(tài)時(shí)，第二開(kāi)關(guān)接觸部分30b處于斷開(kāi)狀態(tài)。當(dāng)?shù)诙_(kāi)關(guān)接觸部分30b處于連接狀態(tài)時(shí)，第一開(kāi)關(guān)接觸部分30a處于斷開(kāi)狀態(tài)。這樣，第一示例性實(shí)施例中采用的開(kāi)關(guān)起到了單刀雙擲(SPDT)開(kāi)關(guān)的作用。
此外，如圖7A和圖7B所示，當(dāng)對(duì)第一靜電致動(dòng)器20a施加高電壓(第一電壓)時(shí)，對(duì)第二靜電致動(dòng)器20b施加了低電壓(第二電壓)。當(dāng)對(duì)第一靜電致動(dòng)器20a施加低電壓(第三電壓)時(shí)，對(duì)第二靜電致動(dòng)器20b施加了高電壓(第四電壓)。因此，當(dāng)對(duì)第一靜電致動(dòng)器20a施加高電壓，且對(duì)第二靜電致動(dòng)器20b施加低電壓時(shí)，第一開(kāi)關(guān)接觸部分30a處于斷開(kāi)(OFF)狀態(tài)，而第二開(kāi)關(guān)接觸部分30b處于連接(ON)狀態(tài)。同時(shí)，當(dāng)對(duì)第一靜電致動(dòng)器20a施加高電壓，且對(duì)第二靜電致動(dòng)器20b施加低電壓時(shí)，第一開(kāi)關(guān)接觸部分30a處于連接(ON)狀態(tài)，而第二開(kāi)關(guān)接觸部分30b處于斷開(kāi)(OFF)狀態(tài)。
第一電壓和第四電壓可以不同，第二電壓和第三電壓可以不同。然而優(yōu)選的是，根據(jù)第一示例性實(shí)施例，第一電壓和第四電壓相同，第二電壓和第三電壓相同。這是因?yàn)榈谝婚_(kāi)關(guān)接觸部分30a和第二開(kāi)關(guān)接觸部分30b可以通過(guò)相同的力而連接。
如圖7A和圖7B所示，優(yōu)選的是，施加到第一靜電致動(dòng)器20a上的電壓Vd1從高電壓(第一電壓)變?yōu)榈碗妷?第三電壓)，同時(shí)施加到第二靜電致動(dòng)器20b上的電壓Vd2從低電壓(第二電壓)變?yōu)楦唠妷?第四電壓)。另外優(yōu)選的是，施加到第一靜電致動(dòng)器20a上的電壓Vd1從低電壓(第三電壓)變?yōu)楦唠妷?第一電壓)，同時(shí)施加到第二靜電致動(dòng)器20b上的電壓Vd2從高電壓(第四電壓)變?yōu)榈碗妷?第二電壓)。當(dāng)電壓Vd2變?yōu)楦唠妷呵乙ψ饔糜诘谝混o電致動(dòng)器20a時(shí)，電壓Vd1變?yōu)榈碗妷海页饬ψ饔糜诘诙o電致動(dòng)器20b。這使得兩個(gè)靜電致動(dòng)器20a和20b可以施加力以開(kāi)啟開(kāi)關(guān)接觸部分30a和30b。因此，即使在彈性系數(shù)較小的扭轉(zhuǎn)彈簧結(jié)構(gòu)的開(kāi)關(guān)中，也可以抑制在對(duì)開(kāi)關(guān)接觸部分進(jìn)行多次開(kāi)和關(guān)時(shí)出現(xiàn)的無(wú)法開(kāi)啟的現(xiàn)象。
根據(jù)本發(fā)明的第一示例性實(shí)施例，將驅(qū)動(dòng)第一靜電致動(dòng)器20a的第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)Vd1施加于第一靜電致動(dòng)器20a，并將驅(qū)動(dòng)第二靜電致動(dòng)器20b的第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)Vd2施加于第二靜電致動(dòng)器20b。設(shè)置有反相器82，用于對(duì)第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)Vd1進(jìn)行反相，并輸出第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)Vd2。利用反相器82將第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)Vd1反相從而生成第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)Vd2，由此使得可以利用上述簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)，在第一電壓Vd1變?yōu)楦唠妷簳r(shí)將第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)Vd2變?yōu)榈碗妷?，而在第一電壓Vd1變?yōu)榈碗妷簳r(shí)將第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)Vd2變?yōu)楦唠妷骸?br> (第二實(shí)施例)根據(jù)本發(fā)明第二示例性實(shí)施例，設(shè)置有四個(gè)子梁部分。圖8是根據(jù)本發(fā)明第二示例性實(shí)施例的開(kāi)關(guān)的立體圖。梁部分10包括四個(gè)子梁部分13；以及四個(gè)子梁部分13的一端都固定于其上的公共部分11。四個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12固定于公共部分11上。四個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12的一端都固定于公共部分11上，另一端都通過(guò)固定部分42固定于SOI基板60上。固定部分42由硅層54和氧化硅層52組成，并固定于硅基板50上。梁部分10和扭轉(zhuǎn)彈簧12由硅層54形成，布置在梁部分10下面以及扭轉(zhuǎn)彈簧12下面的氧化硅層52被去除，由此限定了腔。因此，梁部分10僅由通過(guò)固定部分42固定于SOI基板60上的扭轉(zhuǎn)彈簧12來(lái)支撐。靜電致動(dòng)器20和開(kāi)關(guān)接觸部分30的結(jié)構(gòu)與第一示例性實(shí)施例中所采用的相同，因此將省略詳細(xì)的說(shuō)明。
在第二示例性實(shí)施例中所采用的開(kāi)關(guān)中，按照與第一示例性實(shí)施例中參照?qǐng)D6、圖7A和圖7B所述相同的方式，對(duì)設(shè)置在彼此相對(duì)并插設(shè)有公共部分11的兩個(gè)子梁部分處的兩個(gè)靜電致動(dòng)器20進(jìn)行操作。此時(shí)，優(yōu)選的是，除了對(duì)相對(duì)的兩個(gè)靜電致動(dòng)器進(jìn)行操作以外，不向任一個(gè)靜電致動(dòng)器輸入任何驅(qū)動(dòng)信號(hào)。這樣，第二示例性實(shí)施例中采用的開(kāi)關(guān)起到了單刀四擲(SP4T)開(kāi)關(guān)的作用。子梁部分13和開(kāi)關(guān)接觸部分30的數(shù)量不僅限于四個(gè)。例如，當(dāng)開(kāi)關(guān)包括N個(gè)(2個(gè)或更多)子梁部分13和N個(gè)(2個(gè)或更多)開(kāi)關(guān)接觸部分30時(shí)，該開(kāi)關(guān)起到了單刀N擲(SPNT)開(kāi)關(guān)的作用。如前文所述，SPNT開(kāi)關(guān)可集成并制造在單個(gè)基板上。
根據(jù)第一和第二示例性實(shí)施例，可以將子梁部分和扭轉(zhuǎn)彈簧設(shè)置為交替地固定于公共部分11上。通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，梁部分10由扭轉(zhuǎn)彈簧12以非常平衡的方式來(lái)支撐。
(第三實(shí)施例)根據(jù)本發(fā)明的第三示例性實(shí)施例，以V形方式布置有兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧。圖9是根據(jù)本發(fā)明第三示例性實(shí)施例的開(kāi)關(guān)的立體圖。梁部分10的公共部分11的兩側(cè)分別設(shè)置有兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12c，它們的各自一端以彼此緊密靠近的方式固定在公共部分11上。扭轉(zhuǎn)彈簧12c的另一端以彼此分離的方式固定在SOI基板60上。這樣，兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12c就排列為V形方式。在第三示例性實(shí)施例中，與第一示例性實(shí)施例中采用的相同的組件和結(jié)構(gòu)具有相同的標(biāo)號(hào)，因此將省略詳細(xì)的說(shuō)明。
(第四實(shí)施例)根據(jù)本發(fā)明的第四示例性實(shí)施例，以V形方式布置有兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧。圖10是根據(jù)本發(fā)明第四示例性實(shí)施例的開(kāi)關(guān)的立體圖。梁部分10的公共部分11的兩側(cè)分別設(shè)置有兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12c，它們的各自一端以彼此分離的方式固定在公共部分11上。扭轉(zhuǎn)彈簧12c的另一端以彼此緊密靠近的方式固定在SOI基板60上。這樣，兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12c就排列為V形方式。在第四示例性實(shí)施例中，與第一示例性實(shí)施例中采用的相同的組件和結(jié)構(gòu)具有相同的標(biāo)號(hào)，因此將省略詳細(xì)的說(shuō)明。
根據(jù)第三和第四實(shí)施例，優(yōu)選的是，將以V形方式布置的兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧固定在梁部分10上。這使得可以防止梁部分10在水平方向上移位。以V形方式布置的扭轉(zhuǎn)彈簧12c可以用于，例如第二示例性實(shí)施例中采用的具有3個(gè)或更多個(gè)子梁部分13的開(kāi)關(guān)。
(第五實(shí)施例)根據(jù)本發(fā)明的第五實(shí)施例，在以V形方式布置的兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12c之間設(shè)置有另一個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12d。圖11是根據(jù)本發(fā)明第五示例性實(shí)施例的開(kāi)關(guān)的立體圖。梁部分10的公共部分11的兩側(cè)分別設(shè)置有兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12c，它們的各自一端以彼此緊密靠近的方式固定在公共部分11上。在以V形方式布置的兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12c之間還設(shè)置有扭轉(zhuǎn)彈簧12d，其一端固定于公共部分11上。扭轉(zhuǎn)彈簧12c和12d的另一端以彼此分離的方式固定在SOI基板60上。在第五實(shí)施例中，與第三示例性實(shí)施例中采用的相同的組件和結(jié)構(gòu)具有相同的標(biāo)號(hào)，因此將省略詳細(xì)的說(shuō)明。
根據(jù)第五示例性實(shí)施例，通過(guò)在以V形方式布置的兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12c之間設(shè)置扭轉(zhuǎn)彈簧12d，可以進(jìn)一步防止梁部分10在水平方向上移位。如第四示例性實(shí)施例中所描述的，可將以V形方式布置的兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12c設(shè)置為其各自一端相互以彼此分離的方式固定在梁部分10上，而其各自另一端以彼此緊密靠近的方式固定在SOI基板60上?？梢栽谝訴形方式布置的兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12c之間設(shè)置兩個(gè)或更多個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12d。隨著扭轉(zhuǎn)彈簧12d的數(shù)量的增加，可以進(jìn)一步防止水平方向上移位。但是，這增大了彈性系數(shù)?？梢钥紤]水平方向上的移位以及彈性系數(shù)來(lái)確定扭轉(zhuǎn)彈簧12d的數(shù)量。此外，上述設(shè)置在以V形方式布置的兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12c之間的一個(gè)或更多個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧12d可用于具有3個(gè)或更多個(gè)子梁部分13的開(kāi)關(guān)(例如，如第二示例性實(shí)施例中采用的)。
(第六實(shí)施例)根據(jù)本發(fā)明的第六示例性實(shí)施例，子梁部分包括彼此電絕緣的多個(gè)開(kāi)關(guān)接觸部分。圖12是根據(jù)本發(fā)明第六示例性實(shí)施例的開(kāi)關(guān)的立體圖。子梁部分13a和13b分別大體上為T(mén)形。在大體為T(mén)形的子梁部分13a的一側(cè)的兩端上分別設(shè)置有兩個(gè)開(kāi)關(guān)接觸部分30a。兩個(gè)開(kāi)關(guān)接觸部分30a彼此電絕緣，并且同時(shí)連接或斷開(kāi)。以類似的方式來(lái)構(gòu)造設(shè)置在子梁部分13b處的兩個(gè)開(kāi)關(guān)接觸部分30b。在第六示例性實(shí)施例中，與第一示例性實(shí)施例中所采用的相同的組件和結(jié)構(gòu)具有相同的標(biāo)號(hào)，因此將省略詳細(xì)的說(shuō)明。
第六示例性實(shí)施例中采用的開(kāi)關(guān)用作其中電絕緣的兩個(gè)開(kāi)關(guān)接觸部分30a和30b處于連接或斷開(kāi)狀態(tài)的雙開(kāi)關(guān)?？梢栽谝粋€(gè)子梁部分13上設(shè)置三個(gè)或更多(即，N)個(gè)電絕緣的開(kāi)關(guān)接觸部分30。在此情況下，該開(kāi)關(guān)用作N系列開(kāi)關(guān)。此外，本示例性實(shí)施例中采用的開(kāi)關(guān)接觸部分可適用于具有3個(gè)或更多個(gè)子梁部分13的SPNT開(kāi)關(guān)，如第二示例性實(shí)施例中所述。此外，只需在至少一個(gè)子梁部分13中設(shè)置兩個(gè)電絕緣的開(kāi)關(guān)接觸部分30。
根據(jù)第一至第六示例性實(shí)施例，可以在扭轉(zhuǎn)彈簧12上布置布線電極18，布線電極18與設(shè)置在梁部分10中的靜電致動(dòng)器20的下電極22電連接。這使得可以將布線電極18設(shè)置在SOI基板60上，而布線電極18與下電極22電連接。扭轉(zhuǎn)彈簧的形狀不限于第一至第六示例性實(shí)施例中所使用的方形桿(square pole)。扭轉(zhuǎn)彈簧可以是通過(guò)扭轉(zhuǎn)來(lái)展示彈簧特性的彈簧。
最后，將本發(fā)明的各個(gè)方面總結(jié)如下
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種開(kāi)關(guān)，該開(kāi)關(guān)包括多個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧，每個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧的一端都固定在基板上；梁部分，所述多個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧的另一端都固定于其上，其通過(guò)靜電致動(dòng)器進(jìn)行擺動(dòng)；以及開(kāi)關(guān)接觸部分，其中設(shè)置在所述梁部分處的第一觸點(diǎn)和固定于所述基板上的第二觸點(diǎn)處于連接或斷開(kāi)狀態(tài)。
在上述開(kāi)關(guān)中，所述梁部分包括多個(gè)子梁部分以及所述多個(gè)子梁部分的一端都固定于其上的公共部分；所述多個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧固定于該公共部分上；所述多個(gè)子梁部分分別包括所述靜電致動(dòng)器和所述第一觸點(diǎn)；并且，在分別設(shè)置在所述多個(gè)子梁部分處的第一觸點(diǎn)上設(shè)置有多個(gè)開(kāi)關(guān)接觸部分。在設(shè)置了N個(gè)子梁部分的情況下，SPNT開(kāi)關(guān)可以制造并集成在單個(gè)基板上。
在上述開(kāi)關(guān)中，所述多個(gè)子梁部分可以是兩個(gè)梁部分。所述SPNT開(kāi)關(guān)可以制造并集成在單個(gè)基板上。
在上述開(kāi)關(guān)中，可以在彼此相對(duì)并插設(shè)有所述公共部分的兩個(gè)子梁部分之一處設(shè)置第一靜電致動(dòng)器，并且在這兩個(gè)子梁部分的另一個(gè)處設(shè)置第二靜電致動(dòng)器；當(dāng)對(duì)第一靜電致動(dòng)器施加第一電壓時(shí)，對(duì)第二靜電致動(dòng)器施加第二電壓；當(dāng)對(duì)第一靜電致動(dòng)器施加第三電壓時(shí)，對(duì)第二靜電致動(dòng)器施加第四電壓；并且第一電壓大于第二電壓，第三電壓大于第四電壓。當(dāng)對(duì)第一靜電致動(dòng)器施加低電壓且對(duì)第二靜電致動(dòng)器施加高電壓時(shí)，與第一靜電致動(dòng)器相對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)接觸部分處于斷開(kāi)狀態(tài)，而與第二靜電致動(dòng)器相對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)接觸部分處于連接狀態(tài)。同時(shí)，當(dāng)對(duì)第一靜電致動(dòng)器施加高電壓且對(duì)第二靜電致動(dòng)器施加低電壓時(shí)，與第一靜電致動(dòng)器相對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)接觸部分處于連接狀態(tài)，而與第二靜電致動(dòng)器相對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)接觸部分處于斷開(kāi)狀態(tài)。
在上述開(kāi)關(guān)中，第一電壓可以等于第四電壓，第二電壓可等于第三電壓?？梢杂上嗤牧?lái)操作與第一靜電致動(dòng)器相對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)接觸部分和與第二靜電致動(dòng)器相對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)接觸部分。這使得可以進(jìn)行穩(wěn)定的操作。
在上述開(kāi)關(guān)中，施加到第一靜電致動(dòng)器上的電壓可以從第一電壓變?yōu)榈谌妷海c此同時(shí)，施加到第二靜電致動(dòng)器上的電壓從第二電壓變?yōu)榈谒碾妷?；施加到第一靜電致動(dòng)器上的電壓可以從第三電壓變?yōu)榈谝浑妷海c此同時(shí)，施加到第二靜電致動(dòng)器上的電壓從第四電壓變?yōu)榈诙妷?。?duì)一個(gè)靜電致動(dòng)器施加引力的同時(shí)，對(duì)另一個(gè)靜電致動(dòng)器施加斥力。這樣就可以防止在彈性系數(shù)較小的扭轉(zhuǎn)彈簧結(jié)構(gòu)的開(kāi)關(guān)中，在對(duì)開(kāi)關(guān)接觸部分進(jìn)行多次開(kāi)和關(guān)時(shí)所出現(xiàn)的無(wú)法開(kāi)啟的現(xiàn)象。
上述開(kāi)關(guān)還可以包括反相器，該反相器對(duì)用于驅(qū)動(dòng)第一靜電致動(dòng)器的第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行反相以輸出用于驅(qū)動(dòng)第二靜電致動(dòng)器的第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)，可以將第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)施加給第一靜電致動(dòng)器，將第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)施加給第二靜電致動(dòng)器。第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)在反相器處被反相從而生成第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)。通過(guò)這種簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，可以同時(shí)改變施加給其中一個(gè)靜電致動(dòng)器的電壓和施加給另一個(gè)靜電致動(dòng)器的電壓。
在上述開(kāi)關(guān)中，以V形方式布置的兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧可以固定于梁部分上。這樣可以抑制梁部分在水平方向上的移位。
在上述開(kāi)關(guān)中，可以在以V形方式布置的所述兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧之間設(shè)置另一個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧。這樣可以進(jìn)一步抑制梁部分在水平方向上的移位。
在上述開(kāi)關(guān)中，所述多個(gè)子梁部分和所述多個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧可以交替地固定于公共部分上。梁部分可由扭轉(zhuǎn)彈簧以非常平衡的方式來(lái)支撐。
在上述開(kāi)關(guān)中，所述多個(gè)子梁部分中的至少一個(gè)可以包括彼此電絕緣的多個(gè)開(kāi)關(guān)接觸部分。該開(kāi)關(guān)可以被構(gòu)造為，使得彼此電絕緣的多個(gè)開(kāi)關(guān)接觸部分同時(shí)連接或斷開(kāi)。
在上述開(kāi)關(guān)中，可以在與所述靜電致動(dòng)器的下電極電連接的所述多個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧上分別設(shè)置布線電極。這種結(jié)構(gòu)使得不必設(shè)置與靜電致動(dòng)器連接的布線，從而減小了開(kāi)關(guān)的尺寸。
雖然已經(jīng)示出和說(shuō)明了本發(fā)明所采用的一些具體的示例性實(shí)施例，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，在不脫離本發(fā)明的原理和精神的情況下，可以對(duì)這些示例性實(shí)施例進(jìn)行修改，本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求及其等價(jià)形式來(lái)限定。
本發(fā)明基于2005年11月24日提交的日本專利申請(qǐng)No.2005-338532，此處通過(guò)引用并入其全部公開(kāi)內(nèi)容。
權(quán)利要求
1.一種開(kāi)關(guān)，該開(kāi)關(guān)包括多個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧，每個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧的一端都固定在基板上；梁部分，所述多個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧的另一端都固定于其上，其通過(guò)靜電致動(dòng)器進(jìn)行擺動(dòng)；以及開(kāi)關(guān)接觸部分，其中設(shè)置在所述梁部分處的第一觸點(diǎn)和固定于所述基板上的第二觸點(diǎn)處于連接或斷開(kāi)狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的開(kāi)關(guān)，其中所述梁部分包括多個(gè)子梁部分以及所述多個(gè)子梁部分的一端都固定于其上的公共部分；所述多個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧固定于所述公共部分上；所述多個(gè)子梁部分分別包括所述靜電致動(dòng)器和所述第一觸點(diǎn)；并且在分別設(shè)置在所述多個(gè)子梁部分處的所述第一觸點(diǎn)上設(shè)置有多個(gè)開(kāi)關(guān)接觸部分。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的開(kāi)關(guān)，其中所述多個(gè)子梁部分是兩個(gè)梁部分。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的開(kāi)關(guān)，其中在彼此相對(duì)并插設(shè)有所述公共部分的兩個(gè)子梁部分之一處設(shè)置有第一靜電致動(dòng)器，并且在這兩個(gè)子梁部分的另一個(gè)處設(shè)置有第二靜電致動(dòng)器；當(dāng)對(duì)所述第一靜電致動(dòng)器施加第一電壓時(shí)，對(duì)所述第二靜電致動(dòng)器施加第二電壓；當(dāng)對(duì)所述第一靜電致動(dòng)器施加第三電壓時(shí)，對(duì)所述第二靜電致動(dòng)器施加第四電壓；并且所述第一電壓大于所述第二電壓，所述第三電壓大于所述第四電壓。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的開(kāi)關(guān)，其中所述第一電壓等于所述第四電壓，所述第二電壓等于所述第三電壓。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的開(kāi)關(guān)，其中施加到所述第一靜電致動(dòng)器上的電壓從所述第一電壓變?yōu)樗龅谌妷海c此同時(shí)，施加到所述第二靜電致動(dòng)器上的電壓從所述第二電壓變?yōu)樗龅谒碾妷海徊⑶沂┘拥剿龅谝混o電致動(dòng)器上的電壓從所述第三電壓變?yōu)樗龅谝浑妷?，與此同時(shí)，施加到所述第二靜電致動(dòng)器上的電壓從所述第四電壓變?yōu)樗龅诙妷骸?br> 7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的開(kāi)關(guān)，該開(kāi)關(guān)還包括反相器，該反相器對(duì)用于驅(qū)動(dòng)所述第一靜電致動(dòng)器的第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行反相以輸出用于驅(qū)動(dòng)所述第二靜電致動(dòng)器的第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)，其中將所述第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)施加給所述第一靜電致動(dòng)器，將所述第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)施加給所述第二靜電致動(dòng)器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的開(kāi)關(guān)，其中以V形方式形成的所述兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧固定于所述梁部分上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的開(kāi)關(guān)，其中在以V形方式形成的所述兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧之間設(shè)置有另一個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的開(kāi)關(guān)，其中所述多個(gè)子梁部分和所述多個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧交替地固定于所述公共部分上。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的開(kāi)關(guān)，其中所述多個(gè)子梁部分的至少一個(gè)包括彼此電絕緣的多個(gè)開(kāi)關(guān)接觸部分。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的開(kāi)關(guān)，其中在與所述靜電致動(dòng)器的下電極電連接的所述多個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧上分別設(shè)置有布線電極。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種開(kāi)關(guān)。該開(kāi)關(guān)包括多個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧，每個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧的一端都固定在基板上；梁部分，所述多個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧的另一端都固定于其上，其通過(guò)靜電致動(dòng)器進(jìn)行擺動(dòng)；以及開(kāi)關(guān)接觸部分，其中設(shè)置在所述梁部分處的第一觸點(diǎn)和固定于所述基板上的第二觸點(diǎn)處于連接或斷開(kāi)狀態(tài)。
文檔編號(hào)H01H3/38GK1979714SQ200610146780
公開(kāi)日2007年6月13日 申請(qǐng)日期2006年11月24日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月24日
發(fā)明者米澤游, 三島直之, 中谷忠司, 阮俊英, 上田知史 申請(qǐng)人:富士通媒體部品株式會(huì)社, 富士通株式會(huì)社