專利名稱：用于半導(dǎo)體制造設(shè)備內(nèi)的晶片盒輸送的裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總的涉及半導(dǎo)體制造，且更具體地說，涉及一種用于半導(dǎo)體制造設(shè)備內(nèi)的晶片盒輸送的改進(jìn)裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造設(shè)備中，半導(dǎo)體加工周期時(shí)間的縮短是最為重要的。在半導(dǎo)體制造設(shè)備中的輸送移動增加了半導(dǎo)體加工周期時(shí)間。因此，減少在半導(dǎo)體制造設(shè)備中的輸送移動變得愈發(fā)地重要。
用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中的晶片盒輸送的現(xiàn)有技術(shù)的裝置是昂貴和低效的。更具體地說，用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中的晶片盒輸送的現(xiàn)有技術(shù)的裝置包括許多晶片盒輸送通常不需要的部件。例如，每個現(xiàn)有技術(shù)的裝置包括控制系統(tǒng)、通信系統(tǒng)以及用于傳送和接收來自半導(dǎo)體制造設(shè)備中的站臺的晶片盒的機(jī)構(gòu)。另外，每個現(xiàn)有技術(shù)裝置一次只能輸送一個晶片盒。
因?yàn)楝F(xiàn)有技術(shù)裝置的制造成本高，所以現(xiàn)有技術(shù)裝置是有問題的，且又因?yàn)楝F(xiàn)有技術(shù)裝置一次只能持有一個晶片盒，所以現(xiàn)有技術(shù)裝置有效傳送晶片盒的能力較低。
本領(lǐng)域需要一種成本合算和有效的用于晶片盒輸送的改進(jìn)裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中的晶片盒輸送的裝置和方法。
本發(fā)明的裝置包括拖車和導(dǎo)引車輛。拖車包括隔間和機(jī)構(gòu)，所述隔間用于存儲晶片盒，所述機(jī)構(gòu)用于將晶片盒從隔間傳送到半導(dǎo)體設(shè)備中的一個站臺或者將晶片盒從半導(dǎo)體設(shè)備中的一個站臺接收到隔間中。導(dǎo)引車輛包括通信系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。通信系統(tǒng)從材料控制系統(tǒng)(MCS)接收指令，所述指令是(1)晶片盒從拖車的隔間到半導(dǎo)體制造設(shè)備中的一個站臺的傳送，或者是(2)晶片盒從半導(dǎo)體制造設(shè)備中的一個站臺到所述拖車中的隔間中的接收。控制系統(tǒng)協(xié)調(diào)所述拖車到指令中描述的半導(dǎo)體制造設(shè)備中的站臺的輸送，并引發(fā)拖車的機(jī)構(gòu)響應(yīng)于來自MCS的傳送指令的接收進(jìn)行傳送，或響應(yīng)于來自MCS的接收指令的接收進(jìn)行接收。
本發(fā)明的方法包括接收、輸送和引發(fā)步驟。接收步驟包括接收指令，所述指令為(1)晶片盒從連接到導(dǎo)引車輛的拖車的隔間到半導(dǎo)體制造設(shè)備中的一個站臺的傳送和(2)晶片盒從半導(dǎo)體制造設(shè)備中的一個站臺到所述拖車中的隔間中的接收。輸送步驟包括將拖車輸送到指令中描述的半導(dǎo)體制造設(shè)備中的一個站臺。引發(fā)步驟包括引發(fā)拖車響應(yīng)于傳送指令的接收來將晶片盒傳送到站臺或響應(yīng)于接收指令的接收來接收晶片盒。
本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中的晶片盒輸送的改進(jìn)設(shè)備和方法。本發(fā)明減少了在半導(dǎo)體制造設(shè)備中的車輛輸送時(shí)間。因此，本發(fā)明減少了半導(dǎo)體加工周期時(shí)間。
至少由于以上的理由，本發(fā)明改進(jìn)了半導(dǎo)體制造設(shè)備中的晶片盒輸送。


本發(fā)明的特征和元件特性在所附權(quán)利要求書中具體地闡明。附圖只是用于說明的目的，且沒有按比例繪制。此外，在附圖中，相同的附圖標(biāo)記表示相同的部件。然而結(jié)合附圖，通過參考隨后的詳細(xì)描述，可以關(guān)于組織和操作方法兩方面最佳地理解發(fā)明本身，其中圖1描述了根據(jù)本發(fā)明的裝置。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在將參考附圖來描述本發(fā)明。在附圖中，以簡化的方式描繪和示意性地表示了結(jié)構(gòu)的各個方面，以更為清楚地描述和說明本發(fā)明。
通過綜述和引言，本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中的晶片盒輸送的裝置和方法。更具體地說，本發(fā)明包括一種具有導(dǎo)引車輛和拖車的裝置，所述導(dǎo)引車輛包括控制系統(tǒng)、通信系統(tǒng)和用于傳送和接收來自半導(dǎo)體制造設(shè)備中的站臺的晶片盒的機(jī)構(gòu)，所述拖車包括用于傳送和接收來自半導(dǎo)體制造設(shè)備中的站臺的晶片盒的機(jī)構(gòu)。拖車通過牽引桿連接到導(dǎo)引車輛上。因?yàn)橥宪嚥话ê蛯?dǎo)引車輛一樣多的部件，所以拖車的制造成本更低。另外，因?yàn)楸景l(fā)明的裝置可以輸送至少兩個晶片盒，所以該裝置使得現(xiàn)有技術(shù)裝置的效率加倍。因此，本發(fā)明的裝置減少了半導(dǎo)體制造的周期時(shí)間。
圖1圖示了根據(jù)本發(fā)明的裝置100。本發(fā)明的裝置100包括導(dǎo)引車輛110和拖車150。導(dǎo)引車輛110包括通信系統(tǒng)104、控制系統(tǒng)106、傳感器108以及用于傳送和接收來自半導(dǎo)體制造設(shè)備中的站臺的晶片盒170的機(jī)構(gòu)(未示出)。拖車150包括比導(dǎo)引車輛110更少的部件。拖車150唯一必須包括的部件是用于傳送和接收來自半導(dǎo)體制造設(shè)備中的站臺的晶片盒170的機(jī)構(gòu)102。晶片盒170包括掩模存儲晶片盒(RSP)以及前開口式一體晶片盒(FOUP)。如圖所示，牽引桿112將導(dǎo)引車輛110連接到拖車150。
導(dǎo)引車輛110的通信系統(tǒng)104從材料控制系統(tǒng)(未示出)為導(dǎo)引車輛110和拖車150接收關(guān)于晶片盒170的接收和傳送的指令。導(dǎo)引車輛110還包括電機(jī)(未示出)，所述電機(jī)向?qū)б囕v110和拖車150在通過半導(dǎo)體制造設(shè)備中的輸送供給動力。從MCS接收的指令包括為導(dǎo)引車輛110的隔間和/或拖車150的隔間從加工工具或存儲容器接收晶片盒170，或者將晶片盒170傳送到加工工具或存儲容器的的任意重復(fù)。
盡管結(jié)合特定優(yōu)選實(shí)施例和其它可替代實(shí)施例具體描述了本發(fā)明，但顯然本領(lǐng)域技術(shù)人員可根據(jù)上述描述進(jìn)行許多替代、修改和變型。因此，旨在由所附權(quán)利要求書將所有的這種替代、修改和變型納入到本發(fā)明的準(zhǔn)確范圍和精神內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中的晶片盒輸送的裝置，包括具有隔間和機(jī)構(gòu)的拖車，所述隔間用于存儲晶片盒，所述機(jī)構(gòu)用于將所述晶片盒從所述隔間傳送到所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中的多個站臺中的一個并用于將所述晶片盒從所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中的多個站臺中的一個接收到所述隔間中；以及具有通信系統(tǒng)和控制系統(tǒng)并連接到所述拖車上的導(dǎo)引車輛，所述通信系統(tǒng)從材料控制系統(tǒng)(MCS)接收指令，所述指令包括所述晶片盒從所述拖車中的所述隔間到所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中的多個站臺中的一個的傳送以及所述晶片盒從所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中的多個站臺中的一個到所述拖車的所述隔間的接收之中的一個；控制系統(tǒng)協(xié)調(diào)所述拖車到所述指令中描述的所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中的所述多個站臺中的一個的輸送，并且引發(fā)所述拖車的所述機(jī)構(gòu)響應(yīng)于來自該MCS的傳送指令的接收進(jìn)行傳送，并且引發(fā)所述拖車的所述機(jī)構(gòu)響應(yīng)于來自所述MCS的接收指令的接收進(jìn)行接收。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，所述晶片盒包括掩模存儲晶片盒(RSP)和前開口式一體晶片盒(FOUP)中的一個。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，所述導(dǎo)引車輛具有隔間和機(jī)構(gòu)，所述隔間用于存儲所述晶片盒，所述機(jī)構(gòu)用于將所述晶片盒從所述隔間傳送到所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中的多個站臺中的一個并用于將所述晶片盒從所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中的多個站臺中的一個接收到所述隔間中。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，所述指令還包括所述晶片盒從所述導(dǎo)引車輛中的所述隔間到所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中的多個站臺中的一個的傳送和所述晶片盒從所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中的多個站臺中的一個到所述導(dǎo)引車輛的所述隔間的接收中的一個。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，在所述多個站臺中一個站臺包括半導(dǎo)體加工工具和存儲容器中的一個。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，所述指令包括第一晶片盒從所述半導(dǎo)體加工工具和存儲容器中的一個到所述導(dǎo)引車輛和拖車中的一個的空隔間的接收，以及第二晶片盒從所述導(dǎo)引車輛和拖車中的一個的另一個隔間到半導(dǎo)體加工工具和存儲容器中的一個的傳送。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，將所述第二晶片盒傳送到半導(dǎo)體加工工具和存儲容器中與從中接收所述第一晶片盒的那個相同的一個。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，將所述第二晶片盒傳送到半導(dǎo)體加工工具和存儲容器中與從中接收所述第一晶片盒的那個不同的一個。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，所述指令包括第一晶片盒從所述半導(dǎo)體加工工具和存儲容器中的一個到所述導(dǎo)引車輛和拖車中的第一個的空隔間的接收，以及第二晶片盒從所述半導(dǎo)體加工工具和存儲容器中的一個到所述導(dǎo)引車輛和拖車中的第二個的空閑隔間的接收。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，所述第二晶片盒接收自半導(dǎo)體加工工具和存儲容器中與從中接收所述第一晶片盒的那個相同的一個。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，所述第二晶片盒接收自半導(dǎo)體加工工具和存儲容器中與從中接收所述第一晶片盒的那個不同的一個。
12.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，所述指令包括第一晶片盒從所述半導(dǎo)體加工工具和存儲容器中的一個到所述導(dǎo)引車輛和拖車中的第一個的所述隔間的傳送，以及第二晶片盒從所述半導(dǎo)體加工工具和存儲容器中的一個到所述導(dǎo)引車輛和拖車中的第二個的所述隔間的傳送。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，所述第二晶片盒傳送到半導(dǎo)體加工工具和存儲容器中與從中傳送所述第一晶片盒的那個相同的一個。
14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，所述第二晶片盒傳送到半導(dǎo)體加工工具和存儲容器中與從中傳送所述第一晶片盒的那個不同的一個。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，所述導(dǎo)引車輛通過牽引桿連接到所述拖車。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，所述導(dǎo)引車輛還包括電機(jī)，所述電機(jī)向所述導(dǎo)引車輛和所述拖車在通過所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中的輸送供給動力。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，所述導(dǎo)引車輛還包括一個傳感器，所述傳感器防止所述導(dǎo)引車輛和拖車在所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中相撞。
18.一種用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中晶片盒輸送的方法，包括接收指令，所述指令包括晶片盒從連接到導(dǎo)引車輛的拖車中的隔間到所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中的多個站臺中一個的傳送和所述晶片盒從所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中的多個站臺中的一個到所述拖車的所述隔間中的接收中的一個；將所述拖車輸送到所述指令中描述的所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中的所述多個站臺中的一個；以及引發(fā)所述拖車響應(yīng)于所述傳送指令的接收將所述晶片盒傳送到所述多個站臺中的一個和響應(yīng)于接收指令的接收將所述晶片盒接收到所述多個站臺中的一個。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，所述接收步驟中的所述指令進(jìn)一步包括晶片盒從所述導(dǎo)引車輛中的隔間到所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中的多個站臺中的一個的傳送和晶片盒從所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中的多個站臺中的一個到所述導(dǎo)引車輛的所述隔間的接收之中的一個。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，進(jìn)一步包括響應(yīng)于所述導(dǎo)引車輛接收指令的接收，將所述晶片盒從所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中的多個站臺中的一個接收到所述導(dǎo)引車輛的空閑隔間中。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，所述引發(fā)步驟與所述第二接收步驟同時(shí)發(fā)生。
22.根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，所述引發(fā)步驟在所述第二接收步驟之前發(fā)生。
23.根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，所述引發(fā)步驟在所述第二接收步驟之后發(fā)生。
24.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，進(jìn)一步包括響應(yīng)于所述導(dǎo)引車輛傳送指令的接收、將所述晶片盒從所述導(dǎo)引車輛的所述隔間傳送到所述半導(dǎo)體設(shè)備中的多個站臺中的一個。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的方法，所述引發(fā)步驟與所述傳送步驟同時(shí)發(fā)生。
26.根據(jù)權(quán)利要求24所述的方法，所述引發(fā)步驟在所述傳送步驟之前發(fā)生。
27.根據(jù)權(quán)利要求24所述的方法，所述引發(fā)步驟在所述傳送步驟之后發(fā)生。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中晶片盒輸送的改進(jìn)裝置和方法。本發(fā)明包括具有通信系統(tǒng)和控制系統(tǒng)的導(dǎo)引車輛以及具有用于從設(shè)備中的站臺傳送和接收晶片盒的機(jī)構(gòu)的拖車。該拖車連接到導(dǎo)引車輛上并具有用于晶片盒輸送的隔間，但比導(dǎo)引車輛具有較少的部件。因此，本發(fā)明減少了制造成本，但使得晶片盒輸送能力加倍。
文檔編號H01L21/677GK1983547SQ20061014709
公開日2007年6月20日 申請日期2006年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月6日
發(fā)明者杰弗里·P·吉福德, 本杰明·R·惠勒, 烏爾迪斯·齊明斯, 戴維·平克尼 申請人:國際商業(yè)機(jī)器公司