專利名稱：適用于不同晶舟盒的晶片起托器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及晶片制造過程中使用的輔助裝置，具體地說，涉及一種適 用于不同晶舟盒的晶片起托器。
背景技術(shù)：
太陽能晶片是垂直放置在晶舟盒內(nèi)，在太陽能晶片制作過程中，常需要將 晶舟盒中的晶片手動取出.進行觀察或放置到下一個制程的治具中。從晶舟盒取出晶片通常采用 一個吸筆將晶片吸取出來，然而太陽能晶片很 薄，而且晶舟盒垂直高度很高，吸取晶片的過程中很容易由于操作不慎而導(dǎo)致 太陽能晶片破片。因此，需要設(shè)計一種可以方便將晶片取出的裝置。此外由于 目前常用的晶舟盒的尺寸不同，如果設(shè)計的裝置僅限于一種規(guī)格的晶舟盒，顯 然會造成生產(chǎn)成本的浪費。實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種適用于不同晶舟盒的晶片起托器，該晶片 起托器可以適用于不同尺寸的晶舟盒將晶片托起。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供一種適用于不同晶舟盒的晶片起托器， 其中，該起托器至少包括一個底座，至少一個水平放置在底座上方的固定板， 至少 一個固定在固定板上的凸塊，該凸塊可以從晶舟盒的底部將晶片托起。起托器包括多個呈階梯狀疊放的固定板，尺寸最大的固定板放置在最下層。每個固定板的尺寸大小分別對應(yīng)于不同尺寸的晶舟盒。固定板的兩個相對的側(cè)壁與晶舟盒兩個內(nèi)壁接觸以便晶片起托器在晶舟盒 中左右定位。起托器還包括一個與底座垂直的基準(zhǔn)板，其用于與晶舟盒的一個外壁接觸 以從一個方向定位起托器。
固定板一個側(cè)壁緊靠基準(zhǔn)板。 凸塊的一個側(cè)壁緊靠基準(zhǔn)板。 凸塊呈矩形或是圓柱形。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的晶片起托器可以通過凸塊穩(wěn)固地將晶舟盒 中的晶片托起，此外，還設(shè)置多個階梯疊放的固定板，使該晶片起托器適用于 不同尺寸的晶舟盒，有效地節(jié)約了生產(chǎn)成本。


通過以下對本實用新型一實施例結(jié)合其附圖的描述，可以進一步理解其實用新型的目的、具體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點。其中，附圖為圖1為本實用新型適用于不同晶舟盒的晶片起托器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
請參閱圖l,本實用新型適用于不同晶舟盒的晶片起托器包括底座l，設(shè)置 在底座1上的固定板3，凸塊5以及基準(zhǔn)板7?；鶞?zhǔn)板7垂直于底座1。固定板3水平放置在底座1上方的中央位置，左右兩個側(cè)壁可以為圓弧角 或為直角，便于與晶舟盒的兩個相對的內(nèi)壁接觸以達(dá)到左右定位的效果；固定 板3 —個側(cè)壁緊靠基準(zhǔn)板7，另一相對的側(cè)壁與基準(zhǔn)板7 —起用于晶片起托器在 晶舟盒中的前后定位。凸塊5固定在固定板3上，其底部通過螺絲或其他固定件固定在固定板3 上， 一個側(cè)壁緊靠基準(zhǔn)板7，另一個側(cè)壁可以與基準(zhǔn)板7起到前后定位晶片起托 器的作用。凸塊5的尺寸不大于固定板3的尺寸。凸塊5可設(shè)計為矩形，也可 設(shè)計為圓柱形。在本實用新型的較佳實施例中，凸塊5高度是晶片高度的1/2。在實際使用過程中，首先將晶片起托器置于晶舟盒的底部，并且確保基準(zhǔn) 板7緊靠晶舟盒的一個外壁，固定板3的左右側(cè)壁分別與晶舟盒的兩個相對的 內(nèi)壁接觸以達(dá)到左右定位的作用，凸塊5將晶舟盒中的晶片全部托高。在本實用新型的較佳實施例中，可以設(shè)置多個固定板3呈階梯狀疊放，每 個固定板3的尺寸大小分別對應(yīng)于不同尺寸的晶舟盒，尺寸最大的固定板3放 置在最下層。如果采用尺寸較大的晶舟盒，晶舟盒兩個內(nèi)壁與對應(yīng)尺寸較大的
固定板3的兩個側(cè)壁相接觸以便晶片起托器在晶舟盒內(nèi)左右定位。如果采用尺 寸較小的晶舟盒，晶舟盒兩個內(nèi)壁與對應(yīng)尺寸較小的固定板3的兩個側(cè)壁相接 觸以便晶片起托器在晶舟盒內(nèi)左右定位。底座1采用的材質(zhì)較重以便使用過程中晶片起托器不會晃動。
權(quán)利要求1、一種適用于不同晶舟盒的晶片起托器，其特征在于該起托器至少包括一個底座，至少一個水平放置在底座上方的固定板，至少一個固定在固定板上的凸塊，該凸塊可以將晶片托起。
2、 如權(quán)利要求l所述的適用于不同晶舟盒的晶片起托器，其特征在于起 托器包括多個呈階梯狀疊放的固定板，尺寸最大的固定板放置在最下層。
3、 如權(quán)利要求2所述的適用于不同晶舟盒的晶片起托器，其特征在于每 個固定板的尺寸大小分別對應(yīng)于不同尺寸的晶舟盒。
4、 如權(quán)利要求1或2所述的適用于不同晶舟盒的晶片起托器，其特征在于 固定板的兩個相對的側(cè)壁與晶舟盒兩個內(nèi)壁接觸以便晶片起托器在晶舟盒中左 右定位。
5、 如權(quán)利要求1所述的適用于不同晶舟盒的晶片起托器，其特征在于起 托器還包括一個與底座垂直的基準(zhǔn)板，其用于與晶舟盒的一個外壁接觸。
6、 如權(quán)利要求5所述的適用于不同晶舟盒的晶片起托器，其特征在于固 定板一個側(cè)壁緊靠基準(zhǔn)板。
7、 如權(quán)利要求5所述的適用于不同晶舟盒的晶片起托器，其特征在于凸 塊的一個側(cè)壁緊靠基準(zhǔn)板。
8、 如權(quán)利要求l所述的適用于不同晶舟盒的晶片起托器，其特征在于凸 塊呈矩形。
9、 如權(quán)利要求l所述的適用于不同晶舟盒的晶片起托器，其特征在于凸 塊呈圓柱形。
專利摘要本實用新型提供一種適用于不同晶舟盒的晶片起托器，其中，該起托器至少包括一個底座，至少一個水平放置在底座上方的固定板，至少一個固定在固定板上的凸塊，該凸塊可以從晶舟盒的底部將晶片托起。起托器包括多個呈階梯狀疊放的固定板，尺寸最大的固定板放置在最下層。每個固定板的尺寸大小分別對應(yīng)于不同尺寸的晶舟盒。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的晶片起托器可以通過凸塊穩(wěn)固地將晶舟盒中的晶片托起，此外，還設(shè)置多個階梯疊放的固定板，使該晶片起托器適用于不同尺寸的晶舟盒，有效地節(jié)約了生產(chǎn)成本。
文檔編號H01L21/673GK201017858SQ20062004961
公開日2008年2月6日 申請日期2006年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月27日
發(fā)明者李向前, 藍(lán)仁隆, 達(dá) 錢, 龔偉平 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司