專利名稱：光阻收集座的內(nèi)襯結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種光阻收集座的內(nèi)襯結(jié)構(gòu)，特別是指一種用于光阻涂布 機(jī)的光阻收集座的內(nèi)襯結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
目前應(yīng)用在圓片上的光阻涂布是以旋轉(zhuǎn)式的光阻涂布機(jī)(coater)來(lái)進(jìn)行，藉 由將適量黏著性極高的液態(tài)光阻滴于圓片頂面中央處，并使該圓片高速轉(zhuǎn)動(dòng)， 利用圓片轉(zhuǎn)動(dòng)產(chǎn)生的離心力使光阻快速向外擴(kuò)張，而達(dá)到均勻附著的狀態(tài)，并 將多余的光阻甩出圓片表面，再經(jīng)由設(shè)置于涂布機(jī)的光阻收集座排出光阻。同 時(shí)，多余的光阻容易四處飛散，需再藉由強(qiáng)力抽風(fēng)來(lái)帶引排除。
該涂布機(jī)具有一吸盤(pán)可將圓片置于其上，并抽真空將圓片吸住，該吸盤(pán)底 端連接-轉(zhuǎn)動(dòng)軸，可帶動(dòng)圓片高速旋轉(zhuǎn)。該光阻收集座具有一內(nèi)襯，其設(shè)置于 該吸盤(pán)下方。
現(xiàn)有光阻收集座的內(nèi)襯10a如圖l所示，其具有一圓形的底盤(pán)lla，該底盤(pán) Ua中央處凸設(shè)有一隆起部12a，形成一階梯狀的設(shè)計(jì)，該涂布機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸(圖 略)貫穿該底盤(pán)lla與隆起部12a而伸出該內(nèi)襯10a上方，并連接于吸盤(pán)100a， 使吸盤(pán)100a設(shè)置于該內(nèi)襯10a上方，且與該內(nèi)襯10a相隔-一段距離，該吸盤(pán)100a 可吸住一圓片(圖略)，并帶動(dòng)其旋轉(zhuǎn)。
在吸盤(pán)的轉(zhuǎn)速較低時(shí)，由圓片所甩出去的多余光阻是呈水滴狀，但是在轉(zhuǎn) 速較高吋，光阻會(huì)呈細(xì)絲狀如棉花糖一般，且吸盤(pán)在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，吸盤(pán)下方會(huì) 產(chǎn)生微弱的真空狀態(tài)并形成負(fù)壓，此時(shí)較輕的光阻細(xì)絲在甩出斷裂后會(huì)自行產(chǎn) 生一回復(fù)力，加上吸盤(pán)下方的負(fù)壓影響，光阻細(xì)絲就很容易附著于圓片底面。
現(xiàn)有的內(nèi)襯結(jié)構(gòu)具有下列的缺點(diǎn)
1、 內(nèi)襯與吸盤(pán)頂面之間隔距離過(guò)大，光阻細(xì)絲容易回噴于圓片底面，即
使在內(nèi)襯與吸盤(pán)之間增加一鐵環(huán)也無(wú)法阻擋光阻細(xì)絲回噴。
2、 內(nèi)襯的階梯過(guò)大，光阻細(xì)絲在抽風(fēng)引起的氣流飄動(dòng)下，更容易讓光阻
細(xì)絲殘留于圓片底面。
因此，本設(shè)計(jì)人有感上述問(wèn)題之可改善，乃潛心研究并配合學(xué)理的運(yùn)用， 而提出一種設(shè)計(jì)合理且有效改善上述問(wèn)題的本實(shí)用新型。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的主要目的，在于提供一種光阻收集座的內(nèi)襯結(jié)構(gòu)，可使高速 轉(zhuǎn)動(dòng)的圓片在進(jìn)行光阻的涂布時(shí)，不會(huì)殘留光阻細(xì)絲于圓片底面。
本實(shí)用新型的次要目的，在于提供一種光阻收集座的內(nèi)襯結(jié)構(gòu)，其可調(diào)整 內(nèi)襯的高度與水平，以適用于不同的產(chǎn)品或規(guī)格上的變異。
為了達(dá)成上述目的，本實(shí)用新型提供一種光阻收集座的內(nèi)襯結(jié)構(gòu)，包括 --本體，其周緣為由下向上漸縮的圓弧面； 一容置槽，其由該本體頂端向下凹 設(shè)形成，該容置槽上端呈開(kāi)口狀；以及--穿孔，其位于該本體中央處，該穿孔 貫穿至該容置槽底面與該本體底端。
本實(shí)用新型具有以下有益效果本實(shí)用新型可使吸盤(pán)頂面與內(nèi)襯上緣之間 的距離縮短，令光阻細(xì)絲難以殘留于圓片底面，并加裝有調(diào)整螺絲可調(diào)整內(nèi)襯 的高度與水平，而能適用于不同的產(chǎn)品。
為使能更進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的特征及技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本實(shí) 用新型的詳細(xì)說(shuō)明與附圖，然而所示附圖僅提供參考與說(shuō)明用，并非用來(lái)對(duì)本 實(shí)用新型加以限制。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)的內(nèi)襯與吸盤(pán)配合使用時(shí)的示意圖2為本實(shí)用新型的立體分解圖3為本實(shí)用新型的剖視圖4為本實(shí)用新型另一角度的立體分解圖5為本實(shí)用新型內(nèi)襯、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、吸盤(pán)及圓片配合使用時(shí)的剖視圖。 其中，附圖標(biāo)記為 10a 內(nèi)襯 lla底盤(pán) 12a隆起部
100a吸盤(pán)
10本體
11螺孔
12螺孔
13圓弧面
14圓弧面
20容置槽
30對(duì)接柱
31剖溝
40穿孔
50提把
51螺紋
60調(diào)整螺絲
100吸盤(pán)
200轉(zhuǎn)動(dòng)軸
300圓片
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參閱圖2至圖4所示，本實(shí)用新型光阻收集座的內(nèi)襯結(jié)構(gòu)包括 一本體IO、 一容置槽20、 一對(duì)接柱30、 一穿孔40及二提把50。
該本體10略呈一圓盤(pán)狀，該本體10周緣為由下向上漸縮的圓弧面13。該本 體10于該圓弧面13向下凹設(shè)有二螺孔11，該二螺孔11對(duì)稱的設(shè)置在本體10兩 側(cè)，用以與該二提把50結(jié)合。該本體10底部并向內(nèi)凹陷形成另一圓弧面14。
該容置槽20呈圓形，該容置槽20由該本體10頂端向下凹設(shè)形成，該容置槽 20位于該本體10內(nèi)部，且其上端形成一開(kāi)口狀。
該對(duì)接柱30呈一短柱狀，且由該本體10底部的圓弧面14的中央處向下凸設(shè) 形成，該對(duì)接柱30底面近周緣處環(huán)狀的凹設(shè)有一剖溝31，該剖溝31由該對(duì)接柱 30底面向上延伸適當(dāng)?shù)纳疃取?br> 該穿孔40呈圓形，且位于該本體10內(nèi)部中央處，該穿孔40貫穿至該容置槽 20底面與該對(duì)接柱30底面，以供一光阻涂布機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸200插置(請(qǐng)參閱圖5)。該二提把50底端皆具有螺紋51，該二提把50以螺紋51螺鎖于該本體10的二 螺孔ll，進(jìn)而使該二提把50凸出的裝設(shè)于該本體10頂端，以方便使用者拿取使用。
請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D4所示，本實(shí)用新型可進(jìn)一步在該本體10底部裝設(shè)有三調(diào)整螺 絲60,形成一可調(diào)整式的設(shè)計(jì)。該本體10底部凹設(shè)有三個(gè)呈間隔設(shè)置的螺孔12， 該三螺孔12與該三調(diào)整螺絲60相對(duì)應(yīng)，該三調(diào)整螺絲60尾部鎖固于該三螺孔 12，該三調(diào)整螺絲60頭部伸出該本體10底端外，且可與該光阻收集座(圖略) 內(nèi)面相抵接，可藉由調(diào)整該三調(diào)整螺絲60凸出該本體10底端的距離，對(duì)該本體 IO進(jìn)行高度與水平的調(diào)整。
請(qǐng)參閱圖5所示，本實(shí)用新型內(nèi)襯結(jié)構(gòu)設(shè)置于該光阻收集座(圖略)內(nèi)， 且可與一光阻涂布機(jī)(圖略)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸200及一設(shè)置于該轉(zhuǎn)動(dòng)軸200頂端的吸盤(pán) IOO互相配合。該對(duì)接柱30的剖溝31可套設(shè)于該光阻收集座內(nèi)面預(yù)設(shè)的環(huán)形凸 肋(圖略)，使得該本體10能安裝于該光阻收集座內(nèi)。
該本體10設(shè)置于該吸盤(pán)100下方，由于該容置槽20內(nèi)徑較該吸盤(pán)100(圖略) 為大，讓該吸盤(pán)100能收容于該容置槽20內(nèi)，該吸盤(pán)100頂面并略凸出于該本體 IO上緣，以使該吸盤(pán)100頂面與該本體10上緣較為接近。該吸盤(pán)100頂面放置有 一圓片300，并以抽真空的方式，將該圓片300吸附固定于其頂面，使圓片300 可與吸盤(pán)100同步轉(zhuǎn)動(dòng)。該轉(zhuǎn)動(dòng)軸200由該本體10底端通過(guò)該穿孔40伸入該容置 槽20內(nèi)，且連接于該吸盤(pán)100底端，該轉(zhuǎn)動(dòng)軸200可帶動(dòng)該吸盤(pán)100旋轉(zhuǎn)，以進(jìn) 行光阻的涂布工作。
在涂布光阻的過(guò)程中，圓片300上的多余光阻在被甩出后，會(huì)沿著該光阻 收集座的內(nèi)壁流向其底部，同時(shí)可由其底部的抽風(fēng)孔(圖略)進(jìn)行抽風(fēng)帶引， 使光阻由該光阻收集座的排出孔(圖略)排出。
而，本實(shí)用新型將該本體10的表面結(jié)構(gòu)由階梯狀改為圓弧狀，且將本體IO 的整體外徑縮小，并將本體10的厚度加高(增加習(xí)知的鐵環(huán)高度)，使得光阻 細(xì)絲在抽風(fēng)氣流的引導(dǎo)下，容易附著于本體10的圓弧面13上，并設(shè)置可收容該 吸盤(pán)100的容置槽20，使得該吸盤(pán)100可以沈入該本體10的容置槽20內(nèi)，讓該吸 盤(pán)100頂面與該本體10上緣之間的距離縮短，即使在圓片300以高速進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng) 時(shí)，光阻細(xì)絲也不易進(jìn)入該吸盤(pán)100與本體10之間，令光阻細(xì)絲難以附著殘留 于圓片300底面。
另外，在本實(shí)用新型的本體10底部加裝有三顆調(diào)整螺絲60，可調(diào)整本實(shí)用 新型內(nèi)襯結(jié)構(gòu)的高度與水平，使該吸盤(pán)100表面與本體10上緣的間隙可因產(chǎn)品 或其它規(guī)格上的變異而進(jìn)行調(diào)整，其適用性較高。
雖然本實(shí)用新型己以上述較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí) 用新型，在不背離本實(shí)用新型精神及其實(shí)質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人 員當(dāng)可根據(jù)本實(shí)用新型作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形 都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1、一種光阻收集座的內(nèi)襯結(jié)構(gòu)，其特征在于，該光阻收集座的內(nèi)襯結(jié)構(gòu)包括一本體，其周緣為由下向上漸縮的圓弧面；一容置槽，其由該本體頂端向下凹設(shè)形成，該容置槽上端呈開(kāi)口狀；以及一穿孔，其位于該本體中央處，該穿孔貫穿至該容置槽底面與該本體底端。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的光阻收集座的內(nèi)襯結(jié)構(gòu)，其特征在于，該本體頂 端裝設(shè)有二提把。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的光阻收集座的內(nèi)襯結(jié)構(gòu)，其特征在于，該本體底 部向內(nèi)凹陷形成另-一圓弧面，并裝設(shè)有至少二調(diào)整螺絲。
4、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的光阻收集座的內(nèi)襯結(jié)構(gòu)，其特征在于，該本體底 部中央處向下凸設(shè)一對(duì)接柱，該穿孔貫穿至該對(duì)接柱底面，該對(duì)接柱底面并凹設(shè)有一剖溝。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的光阻收集座的內(nèi)襯結(jié)構(gòu)，其特征在于，該容置槽 收容有一吸盤(pán)，該吸盤(pán)頂面凸出于該本體上緣，該吸盤(pán)設(shè)置于一轉(zhuǎn)動(dòng)軸，該轉(zhuǎn) 動(dòng)軸通過(guò)該穿孔而連接于該吸盤(pán)底端。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種光阻收集座的內(nèi)襯結(jié)構(gòu)，包括一本體、一容置槽及一穿孔，該本體周緣為圓弧面，該本體頂端向下凹設(shè)形成該容置槽，該容置槽上端呈開(kāi)口狀，該本體中央處設(shè)置有該穿孔，該穿孔貫穿至該容置槽底面與該本體底端；藉由上述組成，可與光阻涂布機(jī)的吸盤(pán)配合，讓圓片在高速轉(zhuǎn)動(dòng)下進(jìn)行光阻的涂布時(shí)，光阻細(xì)絲不會(huì)殘留于圓片底面。
文檔編號(hào)H01L21/00GK201000533SQ20062013937
公開(kāi)日2008年1月2日 申請(qǐng)日期2006年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月26日
發(fā)明者李訓(xùn)敏, 洪承祥, 連志明 申請(qǐng)人:敦南科技股份有限公司