專利名稱：密封裝置及密封方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及例如制造有機(jī)電致發(fā)光面板的技術(shù)，特別是涉及對(duì)有機(jī)電致發(fā)光面板進(jìn)行密封的技術(shù)。
背景技術(shù)：
一般來說，制造有機(jī)電致發(fā)光(EL)面板時(shí)，以最后工序來說，進(jìn)行使形成有機(jī)電致發(fā)光元件部的基板和密封玻璃貼合來密封元件部的工序。
以往，在有機(jī)電致發(fā)光面板的密封工序中，在導(dǎo)入氮?dú)獾恼婵詹蹆?nèi)，使用紫外線固化樹脂使基板和密封玻璃貼合后，對(duì)紫外線固化樹脂照射紫外線而使其固化。
然而，已知技術(shù)中經(jīng)由較厚的石英玻璃從真空槽的外部照射紫外線，所以樹脂的固化較花費(fèi)時(shí)間，結(jié)果，會(huì)有熱對(duì)于作為密封對(duì)象部分的有機(jī)電致元件部產(chǎn)生影響的問題。
日本特開2001-319776公報(bào)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有技術(shù)的問題而提出的，其目的在于提供一種密封裝置及密封方法，在使用紫外線固化樹脂進(jìn)行密封時(shí)可在短時(shí)間內(nèi)使樹脂固化，并可抑制熱對(duì)密封對(duì)象部分造成影響。
為實(shí)現(xiàn)上述目的而作成的本發(fā)明是一種密封裝置，包括真空處理槽，能夠?qū)朊芊庥梅腔钚詺怏w；和搬送機(jī)構(gòu)，將在上述真空處理槽內(nèi)借助紫外線固化樹脂貼合的一對(duì)密封對(duì)象物從該真空處理槽搬出并移動(dòng)到紫外線照射位置；和紫外線照射機(jī)構(gòu)，對(duì)從上述真空處理槽搬出的上述密封對(duì)象物的上述紫外線固化樹脂照射紫外線。
本發(fā)明中，在上述發(fā)明中，也可構(gòu)成為將上述密封對(duì)象物載置于上述搬送機(jī)構(gòu)上進(jìn)行加壓貼合。
本發(fā)明中，在上述發(fā)明中，也可在上述搬送機(jī)構(gòu)上設(shè)置紫外線透過用的窗部。
本發(fā)明中，在上述發(fā)明中，構(gòu)成為具有配置了上述紫外線照射機(jī)構(gòu)的UV照射室，將從上述真空處理槽搬出的上述密封對(duì)象物搬入到上述UV照射室內(nèi)進(jìn)行紫外線的照射。
本發(fā)明是一種密封方法，具有在真空且密封用非活性氣體氣氛中，借助紫外線固化樹脂使一對(duì)密封對(duì)象物貼合而對(duì)密封對(duì)象部分的周圍進(jìn)行密封的工序；和移動(dòng)該密封結(jié)構(gòu)的上述密封對(duì)象物并配置于大氣壓下，對(duì)上述密封對(duì)象物的上述紫外線固化樹脂照射紫外線而使其固化的工序。
本發(fā)明中，在上述發(fā)明中，也可移動(dòng)上述密封結(jié)構(gòu)的上述密封對(duì)象物并配置于加壓條件下，對(duì)上述密封對(duì)象物的上述紫外線固化樹脂照射紫外線而使其固化。
本發(fā)明中，在上述發(fā)明中，上述密封對(duì)象部分為有機(jī)電致發(fā)光元件。
在本發(fā)明的情況下，紫外線固化樹脂的固化工序是在與進(jìn)行密封工序的場(chǎng)所不同的場(chǎng)所(例如UV照射室)進(jìn)行，所以不需如已知技術(shù)般經(jīng)由石英玻璃來進(jìn)行紫外線的照射，可直接且從近距離照射紫外線。
結(jié)果，根據(jù)本發(fā)明，可在短時(shí)間完成紫外線固化樹脂的固化，所以尤其在有機(jī)電致發(fā)光面板的密封工序中，可大幅抑制熱對(duì)有機(jī)電致發(fā)光元件部分的影響。
在本發(fā)明裝置中，若構(gòu)成為密封對(duì)象物載置于搬送機(jī)構(gòu)上進(jìn)行加壓貼合，則不需設(shè)置搬送機(jī)器人，構(gòu)成變簡單，并且在貼合工序后可馬上轉(zhuǎn)移到紫外線照射工序，故可實(shí)現(xiàn)密封工序的迅速化。
在本發(fā)明裝置中，若將紫外線透過用的窗部設(shè)置于搬送機(jī)構(gòu)，則可經(jīng)由該窗部從極近的距離對(duì)例如載置于搬送機(jī)構(gòu)上的密封對(duì)象物照射紫外線。
根據(jù)本發(fā)明，可在短時(shí)間完成紫外線固化樹脂的固化，且可在有機(jī)電致面板等的密封工序中大幅抑制熱對(duì)密封部分的影響。


圖1是表示本發(fā)明的密封裝置的實(shí)施方式的概略構(gòu)成圖。
圖2是表示該實(shí)施方式的密封部的內(nèi)部構(gòu)成的概略圖。
圖3是表示本發(fā)明的密封方法的實(shí)施方式的概略構(gòu)成圖(其一)。
圖4是表示本發(fā)明的密封方法的實(shí)施方式的概略構(gòu)成圖(其二)。
圖5是表示本發(fā)明的密封方法的實(shí)施方式的概略構(gòu)成圖(其三)。
標(biāo)號(hào)說明1密封裝置3對(duì)準(zhǔn)貼合室(真空處理槽)4UV照射室6密封玻璃裝入室7密封用玻璃基板(密封對(duì)象物)7a密封用樹脂(紫外線固化樹脂)9基板(密封對(duì)象物)9a有機(jī)電致發(fā)光元件10密封部15搬送機(jī)構(gòu)16載置部17窗部18加壓機(jī)構(gòu)20保持部30UV燈(紫外線照射機(jī)構(gòu))40有機(jī)電致發(fā)光面板具體實(shí)施方式
以下，參照附圖，詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。
圖1是表示本發(fā)明的密封裝置的實(shí)施方式的概略構(gòu)成圖。圖2是表示該實(shí)施方式的密封部的內(nèi)部構(gòu)成的概略圖。
圖3至圖5是表示本發(fā)明的密封方法的實(shí)施方式的概略構(gòu)成圖。
如圖1所示，本實(shí)施方式的密封裝置1具有將已形成有機(jī)電致發(fā)光元件9a的基板(密封對(duì)象物)9搬入的基板搬入室2，且在該基板搬入室2的后段連結(jié)有對(duì)準(zhǔn)貼合室3。
在該對(duì)準(zhǔn)貼合室(真空處理槽)3的后段，設(shè)有后述的UV照射室4和密封基板取出室5。
又，對(duì)準(zhǔn)貼合室3連結(jié)有用以搬入密封用玻璃基板7的密封玻璃裝入室6。該密封用玻璃基板7涂布有密封用樹脂(紫外線固化樹脂)7a(例如參考圖2)。
如圖2所示，本實(shí)施方式的密封部10的上述對(duì)準(zhǔn)貼合室3和UV照射室4構(gòu)成為經(jīng)由閘閥8連通。
對(duì)準(zhǔn)貼合室3構(gòu)成為連接于真空排氣系統(tǒng)11，并且導(dǎo)入密封用非活性氣體的氮?dú)?N2)。
進(jìn)而，對(duì)準(zhǔn)貼合室3連接有包括水分計(jì)12及氧氣計(jì)13的氮?dú)饩蒲b置14。
在對(duì)準(zhǔn)貼合室3內(nèi)的下部，設(shè)有可移動(dòng)于其與UV照射室4之間的搬送機(jī)構(gòu)15。在該搬送機(jī)構(gòu)15設(shè)有用以載置密封用玻璃基板7的平板狀載置部16。
在此，密封用玻璃基板7借助未圖示的定位機(jī)構(gòu)而定位于既定位置。
在搬送機(jī)構(gòu)15的載置部16上，在與密封用玻璃基板7上的密封用樹脂7a對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有紫外線透過用的窗部17。
另一方面，在對(duì)準(zhǔn)貼合室3的上部，設(shè)有用于相對(duì)于密封用玻璃基板7而對(duì)基板30加壓的加壓機(jī)構(gòu)18。
該加壓機(jī)構(gòu)18具有連接于真空排氣系統(tǒng)19且可借助真空吸附來保持基板9的保持部20，該保持部20安裝于可上下移動(dòng)的升降機(jī)構(gòu)21，構(gòu)成為借助該升降機(jī)構(gòu)21在搬送機(jī)構(gòu)15的上方升降。
另一方面，在UV照射室4設(shè)有UV照射燈(紫外線照射機(jī)構(gòu))30。
本實(shí)施方式中，UV照射燈30構(gòu)成為設(shè)置于UV照射室4內(nèi)的下部，且從上述搬送機(jī)構(gòu)15的載置部16的下方位置朝上方照射紫外線。
在具有該構(gòu)成的本實(shí)施方式中進(jìn)行密封時(shí)，如圖3所示，將已形成有機(jī)電致發(fā)光元件9a的基板9經(jīng)由基板搬入室2搬入對(duì)準(zhǔn)貼合室3內(nèi)，使該基板9吸附保持于加壓機(jī)構(gòu)18的保持部20。
又，將已涂布密封用樹脂7a的密封用玻璃基板7經(jīng)由密封玻璃裝入室6搬入對(duì)準(zhǔn)貼合室3內(nèi)，進(jìn)行既定的定位，載置于搬送機(jī)構(gòu)15的載置部16上。
接著，將對(duì)準(zhǔn)貼合室3內(nèi)減壓至既定的壓力后，導(dǎo)入氮?dú)?，使?duì)準(zhǔn)貼合室3內(nèi)變成既定壓力的氮?dú)鈿夥铡?br> 在該狀態(tài)下，如圖4所示，使加壓機(jī)構(gòu)18的保持部20下降，將基板9推抵于密封用玻璃基板7的密封用樹脂7a后，以既定壓力推壓，由此使基板9與密封用玻璃基板7貼合，將有機(jī)電致發(fā)光元件9a的周圍加以密封。
進(jìn)而，如圖5所示，在已載置有機(jī)電致發(fā)光面板40的狀態(tài)下，移動(dòng)搬送機(jī)構(gòu)15而搬入U(xiǎn)V照射室4內(nèi)，并使搬送機(jī)構(gòu)15的載置部16位于UV燈30的上方。
然后，使UV照射室4內(nèi)的壓力成為大氣壓，并使UV燈30動(dòng)作，經(jīng)由搬送機(jī)構(gòu)15的載置部16的窗部17，對(duì)密封用樹脂7a照射紫外線，使其固化。
如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，在不同的場(chǎng)所(對(duì)準(zhǔn)貼合室3、UV照射室4)進(jìn)行借助紫外線固化型的密封用樹脂7a將基板9和密封用玻璃基板7貼合而將有機(jī)電致發(fā)光元件9a的周圍密封的工序；和對(duì)密封用樹脂7a照射紫外線而使其固化的工序，所以不需像已知技術(shù)那樣要經(jīng)由石英玻璃對(duì)紫外線固化樹脂照射紫外線，可直接且可從近距離來照射紫外線。
結(jié)果，根據(jù)本實(shí)施方式，由于可在短時(shí)間完成紫外線固化樹脂的固化，故在有機(jī)電致發(fā)光面板40的密封工序中，可大幅度抑制熱對(duì)有機(jī)電致發(fā)光元件9a部分的影響。
特別是，在本實(shí)施方式中，將密封用玻璃基板7和基板9載置于搬送機(jī)構(gòu)15上來進(jìn)行加壓貼合，所以不需設(shè)置搬送機(jī)器人，構(gòu)成變得簡單，并且在貼合工序后可馬上轉(zhuǎn)移至紫外線照射工序，因此可實(shí)現(xiàn)密封工序的迅速化。
又，本實(shí)施方式中，由于在搬送機(jī)構(gòu)15上設(shè)有紫外線透過用的窗部17，故可經(jīng)由該窗部17對(duì)載置于搬送機(jī)構(gòu)15上的有機(jī)電致發(fā)光面板40從極近的距離照射紫外線。
此外，本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施方式，可進(jìn)行各種變更。
例如，上述實(shí)施方式中，在UV照射室4內(nèi)于大氣壓中對(duì)密封用樹脂7a照射紫外線，然而，本發(fā)明并不限定于此，也可在略微加壓的情況下(例如100至120kPa)下進(jìn)行紫外線的照射。這時(shí)，基板9和密封用玻璃基板7的緊貼力會(huì)增加，有不易偏離的優(yōu)點(diǎn)。
再者，上述實(shí)施方式中，經(jīng)由窗部17對(duì)載置于搬送機(jī)構(gòu)15上的有機(jī)電致發(fā)光面板40從下方照射紫外線，但是，本發(fā)明并不限定于此，也可將基板9和密封用玻璃基板7的上下關(guān)系顛倒，并從密封用玻璃基板7的上方直接照射紫外線。
然而，從原樣利用已形成有機(jī)電致發(fā)光膜的基板的觀點(diǎn)來看，如上述實(shí)施方式所示，優(yōu)選地構(gòu)成為經(jīng)由窗部17從下方對(duì)載置于搬送機(jī)構(gòu)15上的有機(jī)電致發(fā)光面板40照射紫外線。
進(jìn)而，雖然本發(fā)明可適用于各種平面面板(flat panel)等的密封，但從在清潔氣氛下進(jìn)行處理的觀點(diǎn)來看，在有機(jī)電致發(fā)光面板的密封上是最有效的。
權(quán)利要求
1.一種密封裝置，其特征在于，包括真空處理槽，能夠?qū)朊芊庥梅腔钚詺怏w；搬送機(jī)構(gòu)，將在上述真空處理槽內(nèi)借助紫外線固化樹脂貼合的一對(duì)密封對(duì)象物從該真空處理槽搬出并移動(dòng)至紫外線照射位置；紫外線照射機(jī)構(gòu)，對(duì)從上述真空處理槽搬出的上述密封對(duì)象物的上述紫外線固化樹脂照射紫外線。
2.如權(quán)利要求1所述的密封裝置，其特征在于，將上述密封對(duì)象物載置在上述搬送機(jī)構(gòu)上進(jìn)行加壓貼合。
3.如權(quán)利要求2所述的密封裝置，其特征在于，在上述搬送機(jī)構(gòu)上設(shè)有紫外線透過用的窗部。
4.如權(quán)利要求1所述的密封裝置，其特征在于，具有配置了上述紫外線照射機(jī)構(gòu)的UV照射室，將從上述真空處理槽搬出的上述密封對(duì)象物搬入到上述UV照射室內(nèi)進(jìn)行紫外線的照射。
5.一種密封方法，其特征在于，包括在真空且密封用非活性氣體氣氛中，借助紫外線固化樹脂使一對(duì)密封對(duì)象物貼合而對(duì)密封對(duì)象部分的周圍進(jìn)行密封的工序；和移動(dòng)該密封結(jié)構(gòu)的上述密封對(duì)象物并配置于大氣壓下，對(duì)上述密封對(duì)象物的上述紫外線固化樹脂照射紫外線而使其固化的工序。
6.一種密封方法，其特征在于，包括在真空且密封用非活性氣體氣氛中，借助紫外線固化樹脂使一對(duì)密封對(duì)象物貼合而對(duì)密封對(duì)象部分的周圍進(jìn)行密封的工序；和移動(dòng)該密封結(jié)構(gòu)的上述密封對(duì)象物并配置于加壓條件下，對(duì)上述密封對(duì)象物的上述紫外線固化樹脂照射紫外線而使其固化的工序。
7.如權(quán)利要求5所述的密封方法，其特征在于，上述密封對(duì)象部分是有機(jī)電致發(fā)光元件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種使用紫外線固化樹脂進(jìn)行密封時(shí)，可在短時(shí)間使樹脂固化以抑制熱對(duì)密封對(duì)象部分造成影響的密封裝置及密封方法。本發(fā)明的密封裝置包括可導(dǎo)入氮?dú)獾膶?duì)準(zhǔn)貼合室(3)；和具有UV照射燈(30)的UV照射室(4)。在對(duì)準(zhǔn)貼合室(3)內(nèi)，將密封用玻璃基板(7)和基板(9)載置于搬送機(jī)構(gòu)(15)上，使用紫外線固化型密封用樹脂(7a)進(jìn)行加壓貼合。然后，利用搬送機(jī)構(gòu)(15)將有機(jī)電致發(fā)光面板(40)從對(duì)準(zhǔn)貼合室(3)搬出，使之移動(dòng)至UV照射室(4)進(jìn)行密封用樹脂(7a)的固化。
文檔編號(hào)H01L51/50GK101069453SQ200680001328
公開日2007年11月7日 申請(qǐng)日期2006年6月12日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月15日
發(fā)明者根岸敏夫 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛發(fā)科