專(zhuān)利名稱(chēng)：具有雙側(cè)抽吸梁的運(yùn)動(dòng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明按在先的主專(zhuān)利申請(qǐng)DE 10 2004 007 558.1涉及制造一種以 鉸式擺動(dòng)和一個(gè)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)為基礎(chǔ)的多軸運(yùn)動(dòng)裝置，其中借助一根抽吸梁 以盡可能正弦狀的運(yùn)動(dòng)過(guò)程使一個(gè)要運(yùn)動(dòng)的零件運(yùn)動(dòng)，它尤其在印刷電 路板工業(yè)、半導(dǎo)體工業(yè)、顯示器生產(chǎn)、汽車(chē)工業(yè)以及類(lèi)似的使用領(lǐng)域中 應(yīng)用于一般操作任務(wù)。
背景技術(shù)：
這類(lèi)迄今的借助鉸式擺動(dòng)使一個(gè)要運(yùn)動(dòng)的零件運(yùn)動(dòng)的多軸運(yùn)動(dòng)裝置 如今被應(yīng)用于完全不同的操作任務(wù)，它們應(yīng)降低運(yùn)動(dòng)裝置的制造成本和 縮短生產(chǎn)時(shí)間。
在在先申請(qǐng)DE 10 2004 007 558.1中說(shuō)明的運(yùn)動(dòng)裝置，在對(duì)此類(lèi)復(fù)雜 運(yùn)動(dòng)過(guò)程的控制器的成本方面，改進(jìn)了用于操作零件和物件的運(yùn)動(dòng)過(guò)程， 因?yàn)閹缀跽覡畹倪\(yùn)動(dòng)過(guò)程形成了一種連續(xù)的運(yùn)動(dòng)過(guò)程，在這方面，由 現(xiàn)有技術(shù)已知的運(yùn)動(dòng)裝置都設(shè)計(jì)成曲線狀的運(yùn)動(dòng)過(guò)程，它們?cè)诟鱾€(gè)分運(yùn) 動(dòng)過(guò)程之間實(shí)施間斷的(ruckweise )運(yùn)動(dòng)過(guò)渡。這同樣導(dǎo)致延長(zhǎng)生產(chǎn)時(shí) 間。
通過(guò)使用按在先申請(qǐng)DE 10 2004 007 558.1中的抽吸梁同樣影響生 產(chǎn)時(shí)間，因?yàn)樗荒苁叭蝹€(gè)要操作的零件，所以改進(jìn)這種抽吸梁同樣 導(dǎo)致優(yōu)化操作時(shí)間和總生產(chǎn)時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容
因此本發(fā)明的目的是，進(jìn)一步發(fā)展一種按主申請(qǐng)DE 10 2004 007 558.1的具有一才艮抽吸梁的運(yùn)動(dòng)裝置，以致進(jìn)一步優(yōu)化操作時(shí)間而導(dǎo)致總 體上縮短生產(chǎn)時(shí)間。
按本發(fā)明，此目的以所說(shuō)明的權(quán)利要求1的技術(shù)教導(dǎo)為特征。在這里重要的是， 一根兩側(cè)"懸伸"的具有一個(gè)附加自由度的抽吸 梁總共使兩個(gè)面狀的加工零件(基片)運(yùn)動(dòng)。
優(yōu)選的是，沿抽吸梁縱向延伸的抽吸孔彼此呈180。的角度。但本發(fā) 明不受此限制。它們也可以彼此呈卯。角度布置。當(dāng)然，本發(fā)明也涉及所 有在卯。與180。之間的角度范圍。因此在權(quán)利要求1中使用的術(shù)語(yǔ)"在 兩側(cè)設(shè)置抽吸孔"涉及一個(gè)長(zhǎng)方六面體所有的四個(gè)側(cè)面。
而且優(yōu)選的是，抽吸孔處于彼此對(duì)置的側(cè)面上，但本發(fā)明不受此限 制。也可以規(guī)定，抽吸孔按90。角度布置，亦即設(shè)置在直接相鄰的側(cè)面上。
這在印刷電路板工業(yè)中迄今尚未實(shí)現(xiàn)，以及尤其對(duì)于那些借助可移 動(dòng)的工作臺(tái)工作的儀器類(lèi)型有重要意義，例如AOI (自動(dòng)光學(xué)檢查儀 (Automatic Optical Inspection))儀、直接成像(Direct Imaging)儀、 圖形打印(Legend-Printing)儀、EL測(cè)試(EL-Test)儀、鉆床之類(lèi)、 以及輸入和輸出裝置。
對(duì)于迄今大多數(shù)設(shè)計(jì)為自動(dòng)機(jī)不太適合使用按本發(fā)明抽吸梁的連續(xù) 設(shè)備，同樣可以裝備按本發(fā)明的抽吸梁。
優(yōu)選的是，按本發(fā)明的抽吸梁應(yīng)用于需要放入和取出基片的臺(tái)式儀器。
由此，在臺(tái)式儀器上印刷電路板必要的操作時(shí)間縮短到傳統(tǒng)操作時(shí) 間的約1/3。
在本發(fā)明中重要的是，運(yùn)動(dòng)裝置具有一根抽吸梁，它在兩側(cè)設(shè)置用 于拾取印刷電路板、基片、晶片或此類(lèi)板狀物件的抽吸裝置，此抽吸梁 具有一個(gè)旋轉(zhuǎn)支座，它繞其軸向延伸的縱軸線實(shí)施至少180°直到360°的 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。由此可以從抽吸梁的兩個(gè)對(duì)置的側(cè)面從一個(gè)面拾取物件而在 其他位置重新^t下。
具有一個(gè)在兩側(cè)設(shè)計(jì)的用于印刷電路板之類(lèi)的抽吸裝置的 一個(gè)抽吸 梁例如從一個(gè)堆垛或從一個(gè)料箱取出 一個(gè)基片并且使抽吸梁或拾取梁以 在抽取裝置上空閑的拾取點(diǎn)向在臺(tái)式儀器或傾斜儀上完成加工的基片運(yùn) 動(dòng)并在那里拾取此基片。
然后抽吸梁實(shí)施約180°的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)并將此新的基片放下/轉(zhuǎn)交到臺(tái)式儀器的承接臺(tái)上。
在這之后，仍在抽吸梁的一個(gè)側(cè)面上存在的基片向另一臺(tái)儀器或料 箱運(yùn)動(dòng)并轉(zhuǎn)交進(jìn)行繼續(xù)加工。
在基片轉(zhuǎn)交給另 一臺(tái)加工儀器或一條加工線上后，現(xiàn)在運(yùn)動(dòng)裝置以 沒(méi)有(各)基片的抽吸梁返回原先的起始位置并且重新開(kāi)始所述過(guò)程。 然而具有抽吸梁的運(yùn)動(dòng)裝置也可以操作多個(gè)輸入輸出裝置，并在這種情 況下，基片可以在移入或移出時(shí)被更換，并以此方式從連續(xù)線或M箱 取出，或放到連續(xù)線上，或放到料箱內(nèi)，或處于等待位置，因?yàn)檫@種臺(tái) 式儀器，亦即傾斜或垂直儀器，按順序加工基片。
優(yōu)選的是，在這些機(jī)器中按規(guī)定輸入?yún)^(qū)與輸出區(qū)對(duì)應(yīng)。
通過(guò)使用一個(gè)設(shè)計(jì)有一個(gè)在兩側(cè)的抽吸梁的系統(tǒng)(機(jī)器人)，具有輸 入和輸出區(qū)的儀器被非常有效地自動(dòng)化，由此與現(xiàn)有技術(shù)相比縮短了操 作時(shí)間并以此方式提高了輸入和輸出裝置的效率。
當(dāng)然這不僅適用于印刷電路板和半導(dǎo)體基片，而且一般性地適用于 板狀基片。
然而按本發(fā)明的雙側(cè)的抽吸梁不限于具有一種抽吸裝置的設(shè)計(jì)。確 切地說(shuō)，在一種這類(lèi)運(yùn)動(dòng)裝置上需要配置所有相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)已知的操 作裝置，例如夾鉗、抓臂和類(lèi)似的緊固系統(tǒng)。
抽吸梁的這種實(shí)施形式具有突出的優(yōu)點(diǎn)，按本發(fā)明的抽吸梁能夠在 任何一側(cè)借助適當(dāng)?shù)某槲b置拾取一個(gè)扁平狀加工件，并根據(jù)主專(zhuān)利申
請(qǐng)DE 10 2004 007 558.1基于其按本發(fā)明的自由度，以最佳操作時(shí)間或生 產(chǎn)時(shí)間由輸入和輸出裝置實(shí)施操作任務(wù)。
此外，對(duì)于臺(tái)式系統(tǒng)(輸入和輸出裝置)的兩側(cè)抽吸梁需要一個(gè)控 制器，在系統(tǒng)中分開(kāi)地置入要加工的基片并在這之后重新取出，控制器 快速而精確地實(shí)現(xiàn)必要的運(yùn)動(dòng)過(guò)程和無(wú)故障地工作，
此外需要可能的運(yùn)動(dòng)的一種比較高的自由度，它同樣可借助此類(lèi)控 制器實(shí)現(xiàn)。
當(dāng)然，這種運(yùn)動(dòng)過(guò)程同樣可以通過(guò)應(yīng)用兩個(gè)彼此獨(dú)立工作的具有一 個(gè)單側(cè)抽吸梁的機(jī)器人系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。不過(guò)使用兩個(gè)獨(dú)立的機(jī)器人系統(tǒng)需要非常大的控制器，因?yàn)檫\(yùn)動(dòng)過(guò)程相互交錯(cuò)。
此外， 一側(cè)設(shè)計(jì)的抽吸梁需要具有比較扁平的結(jié)構(gòu)方式。
這導(dǎo)致高的制造成本，因?yàn)檫@種控制器非常昂貴，在這里使用兩個(gè) 獨(dú)立工作的具有單側(cè)設(shè)計(jì)的扁平抽吸梁的機(jī)器人系統(tǒng)同樣非常昂貴。
許多極其昂貴的加工系統(tǒng)不按連續(xù)原理工作，而是采用 一個(gè)基片(扁 平的加工件)放在其上的輸入工作臺(tái)，并在這種情況下直接在轉(zhuǎn)交時(shí)或 只在輸入工作臺(tái)上才預(yù)定位或記錄，然后置于加工位置?；诩庸ず?重新放回輸入位置。
在此運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，基片離開(kāi)和朝向加工設(shè)備的輸送是一個(gè)重要的準(zhǔn) 則。實(shí)施加工過(guò)程的往往很昂貴的儀器或設(shè)備必須保持運(yùn)行并且必須達(dá) 到盡可能少的非生產(chǎn)性運(yùn)行時(shí)間。
因此需要優(yōu)化運(yùn)行時(shí)間。這種優(yōu)化可通過(guò)使用 一個(gè)按本發(fā)明的兩側(cè) 設(shè)計(jì)的抽吸梁實(shí)現(xiàn)。
按優(yōu)選的實(shí)施形式規(guī)定，按本發(fā)明的抽吸梁分別在其對(duì)置的側(cè)面上 具有一些抽吸裝置，它們?cè)O(shè)計(jì)用于拾取和運(yùn)輸各一個(gè)扁平狀基片。
抽吸梁借助一個(gè)在抽吸梁上側(cè)與下側(cè)之間設(shè)置的旋轉(zhuǎn)支座實(shí)施旋轉(zhuǎn)
運(yùn)動(dòng)，這一旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)沿抽吸梁的軸的旋轉(zhuǎn)方向幾乎等于180°。
由此保證，抽吸梁的第一側(cè)從一個(gè)堆垛拾取一個(gè)基片以及借助一個(gè) 按在先申請(qǐng)DE 10 2004 007 558.1的運(yùn)動(dòng)裝置向加工位置輸送。(機(jī)器人 系統(tǒng))在運(yùn)動(dòng)裝置向加工位置的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，抽吸梁繞其軸向旋轉(zhuǎn)軸線 實(shí)施180°的旋轉(zhuǎn)，由此使已經(jīng)拾取的基片出現(xiàn)在抽吸梁上側(cè)。
因此用于拾取已加工好的基片的抽吸梁下側(cè)朝完成加工的基片方向 定向。
經(jīng)加工的基片被抽吸梁拾取，抽吸梁實(shí)施例如180。旋轉(zhuǎn)并將尚需加 工的基片放到加工機(jī)床的工作臺(tái)上。
運(yùn)動(dòng)裝置帶著已加工的基片移到在另 一個(gè)加工機(jī)床前的等待位置， 或移到料箱并放下此已加工的基片。
現(xiàn)在按固定的順序重復(fù)所述的運(yùn)動(dòng)過(guò)程。
運(yùn)動(dòng)過(guò)程的其他的組合也是可以的。在這里重要的是，當(dāng)兩側(cè)設(shè)計(jì)的抽吸梁裝備有至少一個(gè)要運(yùn)輸?shù)幕?片時(shí)，運(yùn)動(dòng)裝置(機(jī)器人系統(tǒng))優(yōu)選實(shí)施輸送運(yùn)動(dòng)。
本發(fā)明不應(yīng)限于使用一根實(shí)施幾乎180。和尤其直到360。旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的 抽吸梁。確切地說(shuō)，按本發(fā)明需要所有相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)已知的用于此類(lèi) 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。
抽吸裝置借助適當(dāng)?shù)目刂破靼匆獙?shí)施的工作任務(wù)的類(lèi)型和方式施以 用于抽吸和固定基片的真空。在這里規(guī)定，可以控制每一側(cè)的抽吸裝置， 從而每一側(cè)可以彼此獨(dú)立地施以真空。
這樣做的優(yōu)點(diǎn)是，在放下或拾取一個(gè)基片時(shí)，抽吸梁的每一側(cè)可以 彼此獨(dú)立地拾取或放下一個(gè)基片。
由此保證，按本發(fā)明具有兩側(cè)抽吸裝置的抽吸梁在最佳的時(shí)間內(nèi)通 過(guò)單個(gè)運(yùn)動(dòng)裝置實(shí)施操作任務(wù)，這些操作任務(wù)借助由現(xiàn)有技術(shù)已知的抽 吸梁只有通過(guò)使用總共兩根彼此獨(dú)立工作的抽吸梁才能完成。


下面借助僅表示一種實(shí)施方法的附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。在這里，由 附圖及其說(shuō)明可看出本發(fā)明其他重要的發(fā)明特征和優(yōu)點(diǎn)。其中
圖1 按在先申請(qǐng)DE 10 2004 007 558.1的具有三根軸及一個(gè)兩側(cè)
設(shè)計(jì)的抽吸梁的多軸運(yùn)動(dòng)裝置的示意圖； 圖2 —個(gè)兩側(cè)設(shè)計(jì)的具有抽吸裝置和旋轉(zhuǎn)支座的抽吸梁的示意 圖3 具有一個(gè)帶兩側(cè)設(shè)置的抽吸裝置的抽吸梁的運(yùn)動(dòng)裝置的透 視圖。
具體實(shí)施例方式
在圖1中的運(yùn)動(dòng)裝置1表示按在先申請(qǐng)DE 102004 007 558.1的具有 三才艮軸7、 8、 9的運(yùn)動(dòng)裝置1。
軸7是用于驅(qū)動(dòng)第一臂3的主軸。第二軸8使第二臂8運(yùn)動(dòng)而第三 軸9使兩側(cè)的抽吸梁40運(yùn)動(dòng)。在軸9與兩側(cè)的抽吸梁40之間的連接借 助一個(gè)由現(xiàn)有技術(shù)已知的軸座41的承接裝置實(shí)現(xiàn)，它用于將軸固定在機(jī)器構(gòu)件上并且設(shè)計(jì)為力封閉的連接。
軸9通過(guò)軸承46、 47可旋轉(zhuǎn)地支承在臂4內(nèi)，所以整個(gè)抽吸梁40 借助一個(gè)相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器15實(shí)施沿旋轉(zhuǎn)方向50繞軸向的旋轉(zhuǎn)軸線49的旋 轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)直至180°和尤其直至360°。
所述軸座同時(shí)用作在上部框架與下部框架42、 43之間的連接件，框 架再用于安裝各抽吸裝置6。
各抽吸裝置6借助一個(gè)相應(yīng)的控制器經(jīng)由電纜19按側(cè)分開(kāi)地進(jìn)4亍控 制和供給氣態(tài)介質(zhì)，所以通過(guò)相應(yīng)的控制使各抽吸裝置6按文丘里原理 產(chǎn)生真空并實(shí)施拾取印刷電路板16或類(lèi)似物。
抽吸裝置6的分開(kāi)控制用于交替或同時(shí)地拾取在抽吸梁框架42、 43 的上側(cè)和下側(cè)44、 45上的印刷電路板、基片之類(lèi)16、 46。
抽吸梁40優(yōu)選具有一種扁平的結(jié)構(gòu)形狀，以便在為了交換基片16、 46而實(shí)施抽吸梁旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)，使運(yùn)動(dòng)裝置必須從工作區(qū)的移出盡可能少。
在圖2中表示一個(gè)按本發(fā)明的抽吸梁40的放大圖，包括兩側(cè)配置的 各抽吸裝置6，用于拾取和運(yùn)輸印刷電路板、基片、晶片或類(lèi)似物件16、 46。
在圖3中表示一個(gè)按圖l和圖2的本發(fā)明的抽吸梁40的透視圖，具 有兩側(cè)配置的各抽吸裝置6。
本發(fā)明的發(fā)明主題不僅由各項(xiàng)專(zhuān)利權(quán)利要求的技術(shù)主題給出，而且 也由各項(xiàng)專(zhuān)利權(quán)利要求彼此的組合得出。
所有在連同概述在內(nèi)的本資料中公開(kāi)的說(shuō)明和特征，尤其在附圖中 描述的空間設(shè)計(jì)，都作為本發(fā)明重要的權(quán)利要求，只要它們單獨(dú)或組合 相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)是新的。附圖標(biāo)記一覽表
1 多軸運(yùn)動(dòng)裝置
2 基座
3 臂l
6 固定裝置，例如抽吸裝置之類(lèi)
7 肩軸的臂l
8 肩軸的臂2
9 抽吸梁軸
10 工作區(qū)
11 運(yùn)動(dòng)過(guò)程或軌跡曲線(舉例)
12 零位
13 臂1驅(qū)動(dòng)器
14 臂2驅(qū)動(dòng)器
15 抽吸梁驅(qū)動(dòng)器
16 零件(例如印刷電路板、晶片、玻璃基片等)
17 工作水平
19 電纜(電源線、信號(hào)線)
20 平衡件(彈簧、配重等)
21 驅(qū)動(dòng)件1
22 驅(qū)動(dòng)件2 a、 b
23 驅(qū)動(dòng)件3 a、 b、 c
24 驅(qū)動(dòng)控制器
25 軌跡曲線(軸9)
26 位置
27 位置
28 軸
29' 抓具中點(diǎn)
30 部分下棱邊31 下棱邊軌跡曲線
32 軌跡曲線(軸8)
33 轉(zhuǎn)速曲線(7)
34 轉(zhuǎn)速曲線(8)
35 轉(zhuǎn)速曲線(9)
36 位置
37 位置
38 位置
39 箭頭方向
40 雙側(cè)抽吸梁
41 軸座
42 上框架
43 下框架
44 抽吸梁上側(cè)
45 抽吸梁下側(cè)
46 零件(例如印刷電路板、晶片、玻璃基片等)
47 軸承
48 軸承
49 旋轉(zhuǎn)軸線
50 旋轉(zhuǎn)方向
權(quán)利要求
1.多軸運(yùn)動(dòng)裝置(1)，具有一個(gè)抓具的基本上正弦狀的運(yùn)動(dòng)過(guò)程(11)，所述抓具設(shè)置在一個(gè)多軸驅(qū)動(dòng)的臂的自由端上，其中，為每個(gè)臂(7、8、9)配設(shè)一個(gè)步進(jìn)式驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)(步進(jìn)電動(dòng)機(jī))，并且用于驅(qū)動(dòng)獨(dú)立的軸(7、8、9)的步進(jìn)電動(dòng)機(jī)(13-15)彼此獨(dú)立和自立地工作，而不發(fā)生一臺(tái)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)向另一些步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的響應(yīng)(對(duì)DE 102004007558.1的增補(bǔ))，其特征為，所述運(yùn)動(dòng)裝置(1)具有一根抽吸梁(40)，該抽吸梁在兩側(cè)設(shè)置抽吸裝置(6)，用于拾取印刷電路板、基片、晶片或此類(lèi)板狀物件(16、46)。
2. 多軸運(yùn)動(dòng)裝置(l)，其特征為，所述抽吸梁(40)具有一個(gè)旋轉(zhuǎn) 支座，該支座繞其軸向延伸的旋轉(zhuǎn)軸線(49)實(shí)施至少180°和尤其直到 360°的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
3. 按照權(quán)利要求1或2所述的多軸運(yùn)動(dòng)裝置(1 )，其特征為，兩側(cè) 設(shè)計(jì)有抽吸裝置(6)的抽吸梁(40)借助一個(gè)軸座(41)直接與軸(9) 力封閉連接。
4. 按照權(quán)利要求1和2所述的多軸運(yùn)動(dòng)裝置(1)，其特征為，所述 抽吸梁(40)設(shè)計(jì)用于同時(shí)拾取兩個(gè)印刷電路板、基片、晶片(16、 4) 或類(lèi)似物件。
5. 按照權(quán)利要求1至3所述的多軸運(yùn)動(dòng)裝置(1)，其特征為，所述 抽吸裝置(6)設(shè)計(jì)為可側(cè)面彼此獨(dú)立地控制。
6. 按照權(quán)利要求1至4所述的多軸運(yùn)動(dòng)裝置(1 )，其特征為，所述 抽吸梁(4)具有一種箱形的、扁平的結(jié)構(gòu)形式。
7. 按照權(quán)利要求1至5所述的多軸運(yùn)動(dòng)裝置(1 )，其特征為，所述 抽吸梁(40)的配置在總體上縮短運(yùn)動(dòng)裝置的操作時(shí)間。
8. 按照權(quán)利要求1至6所述的多軸運(yùn)動(dòng)裝置(i )，其特征為，所述 抽吸梁(4)的抽吸孔在直徑上彼此對(duì)置并且彼此對(duì)向定向。
9. 按照權(quán)利要求1至7所述的多軸運(yùn)動(dòng)裝置(1 )，其特征為，所述 抽吸梁的抽吸孔彼此呈卯。角度布置。
10. 按照權(quán)利要求1至8所述的多軸運(yùn)動(dòng)裝置(1 )，其特征為，所 述抽吸梁的抽吸孔彼此在90°至270。的角度范圍內(nèi)布置。
11. 按照權(quán)利要求1至9所述的多軸運(yùn)動(dòng)裝置(1 )，其特征為，所 述抽吸梁的抽吸孔彼此在卯°至270。的角度范圍內(nèi)可調(diào)和可變地布置。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種多軸運(yùn)動(dòng)裝置(1)，具有一個(gè)抓具的基本上正弦狀的運(yùn)動(dòng)過(guò)程，所述抓具設(shè)置在一個(gè)多軸驅(qū)動(dòng)的臂(3、4)的自由端上，其中，為每個(gè)臂配設(shè)一個(gè)步進(jìn)式驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)(13、14、15)，并且用于驅(qū)動(dòng)獨(dú)立的軸(7、8、9)的步進(jìn)電動(dòng)機(jī)彼此獨(dú)立和自立地工作，而不發(fā)生一臺(tái)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)向另一些步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的響應(yīng)。本發(fā)明的特征在于，所述運(yùn)動(dòng)裝置具有一根抽吸梁(40)，該抽吸梁在兩側(cè)設(shè)置抽吸裝置，用于拾取印刷電路板、基片、晶片或類(lèi)似物件。
文檔編號(hào)H01L21/67GK101304847SQ200680035557
公開(kāi)日2008年11月12日 申請(qǐng)日期2006年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月16日
發(fā)明者約瑟夫·莫澤 申請(qǐng)人:約瑟夫·莫澤