專利名稱：有機(jī)el發(fā)光顯示器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及高清晰且高視覺辨認(rèn)度的能夠顯示多種顏色的有機(jī)EL (electroluminescence:電致發(fā)光)發(fā)光顯示器。詳細(xì)而言，涉及通過 干式處理(dryprocess)形成色變換層、夾持該色變換層的粘接層以及 阻擋層的有機(jī)EL發(fā)光顯示器。本發(fā)明的有機(jī)EL發(fā)光顯示器能夠用作 個(gè)人計(jì)算機(jī)，文字處理器，電視機(jī)，傳真機(jī)，音響，錄相機(jī)，汽車導(dǎo) 航裝置，臺(tái)式計(jì)算機(jī)，電話機(jī)，便攜式終端機(jī)和產(chǎn)業(yè)用的測量儀器類 等的顯示元件。
背景技術(shù)：
作為使用有機(jī)EL發(fā)光元件的全彩色顯示器的制作方式，提案有排 列施加電場后分別發(fā)紅、藍(lán)、綠光的元件的"3色發(fā)光方式"，和利用 濾色片除去白色的發(fā)光而顯示紅、藍(lán)、綠的"濾色片方式"，還有，在 濾色片中使用吸收近紫外光、藍(lán)色光、藍(lán)綠色光或白色光，進(jìn)行波長 分布變換從而發(fā)出可見光域的光的熒光色素的"色變換方式"。
其中，認(rèn)為色變換方式能夠?qū)崿F(xiàn)高的色再現(xiàn)性和效率。并且，因 為與3色發(fā)光方式不同，能夠使用單色的有機(jī)EL發(fā)光元件，因此認(rèn)為 能夠容易地實(shí)現(xiàn)色變換方式的顯示器的畫面的增大。從這幾點(diǎn)來看， 色變換方式有希望成為下一代顯示器的候補(bǔ)。圖4表示色變換方式的 有機(jī)EL發(fā)光顯示器的結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子。在圖4的結(jié)構(gòu)中，在透明基板 31上形成有色變換濾色片，其中，在該色變換濾色片中形成有3種濾 色片層32 (R、 G、 B)、 3種色變換層33 (R、 G、 B)、平坦化層34、 阻擋層35。并且，在色變換濾色片上形成有由透明電極41、有機(jī)EL 層42和反射電極43構(gòu)成的有機(jī)EL元件，由此構(gòu)成有機(jī)EL發(fā)光顯示 器。
一般而言，用于色變換方式的色變換層33具有使一種或多種熒光 色素(包含染料、顏料、以及通過別的途徑使染料分散在樹脂中的顏料化粒子)分散在樹脂中的結(jié)構(gòu)，通過涂敷該熒光色素和樹脂的分散
液并使其干燥的濕式處理(wetprocess)而形成。然而，通過這種濕式 處理形成的色變換層33的膜厚一般為5 u m 20 u m，與構(gòu)成有機(jī)EL 發(fā)光顯示器的其他層比較非常厚。而且，當(dāng)使用多種色變換層33時(shí)， 因色變換層33的厚度分別不同而可能會(huì)形成階差。為了補(bǔ)償這種階差， 有時(shí)必需設(shè)置平坦化層34。
另外，難以使通過濕式處理形成的色變換層33完全干燥。在色變 換層33中殘存的水分，在有機(jī)EL發(fā)光顯示器的制造工序中和/或驅(qū)動(dòng) 中向有機(jī)EL層42移動(dòng)，會(huì)產(chǎn)生被稱為暗區(qū)(dark area)的不發(fā)光缺 陷。
對(duì)于上述問題， 一直在探討研究通過干式處理形成濾色片層和色 變換層的方法(參照專利文獻(xiàn)1 3)。
專利文獻(xiàn)l:日本特開2001-196175號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)2:日本特開2002-175879號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)3:日本特開2002-184575號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種具有能夠抑制有機(jī)EL發(fā)光元件中的暗 區(qū)的發(fā)生，并且能夠高效率地利用有機(jī)EL發(fā)光元件的發(fā)光的新穎的結(jié) 構(gòu)的色變換方式的有機(jī)EL發(fā)光顯示器。
本發(fā)明的一種有機(jī)EL發(fā)光顯示器，其特征在于依次包括透明基 板、l種或多種濾色片層、粘接層、色變換層、阻擋層、透明電極、有 機(jī)EL層和反射電極，其中，上述濾色片層通過濕式處理形成，上述色 變換層和阻擋層通過干式處理形成，以及上述粘接層為無機(jī)粘接層、 有機(jī)粘接層、或有機(jī)粘接層與無機(jī)粘接層的疊層體。另外，上述阻擋 層的折射率優(yōu)選比上述色變換層的折射率大、并且比上述透明電極的 折射率小，特別優(yōu)選大于1.9且小于2.2。另外，本發(fā)明的有機(jī)EL發(fā) 光顯示器也可以包含配置在上述1種或多種濾色片層的間隙中的黑矩 陣(black matrix)。另外，有機(jī)粘接層的折射率優(yōu)選為1.5以下，例如 能夠使用硅酮樹脂形成。另外，上述色變換層也可以有選擇地形成在 與上述1種或多種濾色片層的至少1種對(duì)應(yīng)的位置上?；蛘撸景l(fā)明的EL發(fā)光顯示器還可以在上述色變換層與上述阻擋
層之間包括緩沖層。這種緩沖層也可以包含耐成膜性材料。上述緩沖 層通過電阻加熱蒸鍍法或電子束加熱蒸鍍法形成。 發(fā)明的效果
通過采用以上的結(jié)構(gòu)，能夠使用通過干式處理形成的較薄的層代 替通過濕式處理形成的較厚的層作為色變換層。并且，通過粘接層能 夠得到色變換層的很好的粘緊性。另外，利用阻擋層，能夠防止可能
殘存在濾色片層中的水分向有機(jī)EL層透過，發(fā)生暗區(qū)。進(jìn)一步，通過 使色變換層、阻擋層和透明電極的折射率匹配，能夠更高效率地利用 有機(jī)EL元件的發(fā)光。


圖1為表示本發(fā)明的有機(jī)EL發(fā)光顯示器的結(jié)構(gòu)例的截面圖。
圖2為表示本發(fā)明的有機(jī)EL發(fā)光顯示器的另外的結(jié)構(gòu)例的截面圖。
圖3為表示本發(fā)明的有機(jī)EL發(fā)光顯示器的另外的結(jié)構(gòu)例的截面圖。
圖4為表示現(xiàn)有技術(shù)的有機(jī)EL發(fā)光顯示器的一個(gè)例子的截面圖。 圖5為表示本發(fā)明的有機(jī)EL發(fā)光顯示器的另外的結(jié)構(gòu)例的截面圖。
圖6為表示本發(fā)明的有機(jī)EL發(fā)光顯示器的另外的結(jié)構(gòu)例的截面圖。
符號(hào)的說明
11、 31透明基板
12、 32 (R、 G、 B) 濾色片層 13無機(jī)粘接層
14色變換層 15、 35阻擋層 16有機(jī)粘接層 17緩沖層 21、 41透明電極22、 42有機(jī)EL層
23、 43反射電極
33 (R、 G、 B)(現(xiàn)有技術(shù)型)色變換層 34平坦化層
具體實(shí)施例方式
圖1表示本發(fā)明的有機(jī)EL發(fā)光顯示器的一個(gè)結(jié)構(gòu)例。圖1表示在 透明基板11上形成有3種濾色片層12 (R、 G、 B)、粘接層、色變換 層14、緩沖層15和有機(jī)EL元件的色變換方式的有機(jī)EL發(fā)光顯示器。 這里，有機(jī)EL元件由透明電極21 、有機(jī)EL層22和反射電極23構(gòu)成。 另外，3種濾色片層12 ( R、 G、 B)通過濕式處理形成，另一方面， 色變換層14和緩沖層15通過干式處理形成。
透明基板11利用可見光透過率好、并且在有機(jī)EL發(fā)光顯示器的 形成過程中不引起有機(jī)EL發(fā)光顯示器的性能降低的材料形成。優(yōu)選的 透明基板11包括玻璃基板和由樹脂形成的剛性的樹脂基板。作為樹脂， 例如能夠使用聚烯烴、丙烯樹脂(包含聚甲基丙烯酸酯)、聚酯樹脂(包 含聚對(duì)苯二甲酸丁二酯)、聚碳酸酯樹脂或聚酰亞胺樹脂等?；蛘?，作 為透明基板11，也可以使用由聚烯烴、丙烯樹脂(包括聚甲基丙烯酸 甲脂)、聚酯樹脂(包括聚對(duì)苯二甲酸丁二酯)、聚碳酸酯樹脂或聚酰 亞胺樹脂等形成的可撓性薄膜(film)。就形成用作透明基板11的玻璃 基板的材料而言，特別優(yōu)選硼硅酸玻璃或藍(lán)板玻璃等。
本發(fā)明的濾色片層12為將入射光分光，僅使所希望波長域的光透 過的層。在圖1的結(jié)構(gòu)中，使用紅色濾色片層12R、綠色濾色片層12G 和藍(lán)色濾色片層12B這3種濾色片層。但是，根據(jù)需要，也可以使用 1種、2種或4種以上的濾色片層。濾色片層12能夠使用具有所希望 的吸收的染料或顏料被分散在高分子的基體樹脂(matrix resin)中的材 料形成。能夠使用的材料包括市場銷售的平板顯示器用材料等在該技 術(shù)中己知的任意材料，例如包括液晶用濾色片材料(FUJIFILM Electronic Materials Co.， Ltd.制造的彩色瑪賽克等)。為了以高的色純度 得到所希望的波長域的光，令本發(fā)明的濾色片層12的膜厚為0.5 5u m，更加優(yōu)選為1 3um。為了實(shí)現(xiàn)必需的高清晰度，本發(fā)明的濾色片層12優(yōu)選通過包括液 體狀材料(溶液或分散液)的涂敷、光抗蝕圖的形成、使用顯影液的
不要部分的除去的濕式處理形成。在通過濕式處理形成濾色片層12后， 對(duì)透明基板11和濾色片層12進(jìn)行高溫加熱，充分地除去濾色片層12 中殘存的水分，由此，有利于提高有機(jī)EL發(fā)光顯示器成品的穩(wěn)定性。 在圖1中雖然沒有表示，在各濾色片層12的間隙中也可以形成不 使光透過的黑矩陣。黑矩陣與濾色片層12同樣地能夠使用在市場銷售 的平板顯示器用材料等該技術(shù)中已知的任意材料，通過濕式處理制作。 黑矩陣對(duì)提高有機(jī)EL發(fā)光顯示器的對(duì)比率(contrast ratio)有效。當(dāng) 設(shè)置黑矩陣時(shí)，既可以先形成黑矩陣，也可以先形成濾色片層12。這 里，也可以將黑矩陣的一部分和濾色片層12的一部分重疊(overlap), 使來自有機(jī)EL元件的光一定通過濾色片層12后射出。當(dāng)形成黑矩陣 時(shí)，優(yōu)選在形成全部濾色片層12和黑矩陣后進(jìn)行用于除去上述水分的 高溫加工工序。
接著，以覆蓋濾色片層12 (當(dāng)存在黑矩陣情況時(shí)，覆蓋該黑矩陣) 的方式形成粘接層。本發(fā)明的粘接層為用于提高在其上通過干式處理 形成的色變換層14的粘合性的層。本發(fā)明的粘接層既可以為圖1和圖 3所示的無機(jī)粘接層13，也可以為圖6所示的有機(jī)粘接層16，還可以 如圖2和圖5所示，為有機(jī)粘接層16和無機(jī)粘接層13的疊層體。其 中，在使用有機(jī)粘接層16和無機(jī)粘接層13的疊層體的情況下，優(yōu)選 在有機(jī)粘接層16上形成無機(jī)粘接層13。
無機(jī)粘接層13除了具有提高色變換層14的粘合性的功能外，還 具有防止水分、氧和低分子成分等從在其下形成的濾色片層12向有機(jī) EL元件透過，從而防止由此引起的有機(jī)EL層22的功能降低的功能。 另外，為了使來自色變換層14的光透過到透明基板11 一側(cè)，優(yōu)選無 機(jī)粘接層13透明。為了滿足這些要求，無機(jī)粘接層13利用可視區(qū)域 的透明性高(在400 800nm范圍內(nèi)，透過率為50%以上)，且對(duì)水分、 氧和低分子成分有阻擋性的材料形成。作為用于形成無機(jī)粘接層13的 材料，能夠使用Si02、 SiN等硅化合物或Al203那樣的鋁化合物。無機(jī) 粘接層13的膜厚為100nm 2um，更優(yōu)選為200nm lum的范圍內(nèi)。 無機(jī)粘接層13能夠通過作為干式處理的濺射法(包括高頻濺射法、磁控管濺射法等)形成。
有機(jī)粘接層16除了具有提高色變換層14的粘合性的功能以外，
還具有補(bǔ)償由濾色片層12帶來的階差(difference inevel)的功能。另 外，考慮來自有機(jī)EL元件的光通過有機(jī)粘接層16后向外部射出這點(diǎn)， 有機(jī)粘接層16的材料優(yōu)選具有優(yōu)良的透光性(對(duì)于波長400 800nm 的光優(yōu)選具有50%的透過率，更加優(yōu)選具有85%以上的透過率)。另外， 如圖2和圖5所示，當(dāng)在有機(jī)粘接層16的上面形成無機(jī)粘接層13時(shí)， 要求有機(jī)粘接層16具有濺射耐性。 一般而言，有機(jī)粘接層16通過涂 敷法(旋涂法、輥涂法、刮涂法等)形成。用于形成有機(jī)粘接層16的 材料包括熱可塑性樹脂(丙烯樹脂(包含甲基丙烯樹脂)、聚酯樹脂 (聚對(duì)苯二甲酸乙二酯等)、甲基丙烯酸樹脂、聚酰胺樹脂、聚酰亞胺 樹脂、聚醚亞胺(polyether imide)樹脂、聚甲醛樹脂、聚醚砜、聚乙 烯醇及其衍生物(聚乙烯醇縮丁醛等)、聚苯醚、原菠烷(norbomene) 類樹脂、異丁烯無水馬來酸共聚樹脂、環(huán)烯徑類樹脂)，非感光性的熱 硬化性樹脂(醇酸樹脂、芳香族磺胺樹脂、尿素樹脂，密胺樹脂、苯 代三聚氰胺(benzoguanamine)樹脂)或光硬化性樹脂。這些材料的折 射率為1.5 1.6。
特別是，當(dāng)有選擇地在粘接層的一部分區(qū)域上形成色變換層14時(shí)， 優(yōu)選使用折射率比無機(jī)粘接層13的折射率低的材料形成有機(jī)粘接層 16。在這種情況下，優(yōu)選有機(jī)粘接層16具有1.5以下的折射率。通過 使用低折射率材料，在從有機(jī)EL層22發(fā)出的光中，能夠提高透過沒 有色變換層14的部分的光的取出效率。這種低折射率材料例如包括具 有折射率為1.4 1.5的硅酮樹脂、和通過氟化乙烯醚類和/或全氟烯烴 類(六氟丙烯等)(共)聚合得到的、具有1.4左右的更低折射率的氟 化聚合物類。
當(dāng)使用有機(jī)粘接層16時(shí)，在形成有機(jī)粘接層16之后，優(yōu)選對(duì)透 明基板11、濾色片層12和有機(jī)粘接層16的疊層體(當(dāng)存在黑矩陣時(shí)， 還包括黑矩陣)進(jìn)行高溫加熱，充分除去殘存于濾色片層12和有機(jī)粘 接層16中的水分?；蛘?，也可以在形成有機(jī)粘接層16之前，對(duì)濾色 片層12 (當(dāng)存在黑矩陣時(shí)，還包括黑矩陣)進(jìn)行高溫加熱，除去濾色 片層12中的水分，進(jìn)一步，在形成有機(jī)粘接層16之后，再進(jìn)行高溫加熱，除去殘存于有機(jī)粘接層16中的水分。通過除去這些層中殘存的
水分，能夠提高有機(jī)EL發(fā)光顯示器成品的穩(wěn)定性。
在與濾色片層12不重疊的區(qū)域，有機(jī)粘接層16的膜厚優(yōu)選為 0.5 3"m，更優(yōu)選為l 2um。通過具有這個(gè)范圍的膜厚，能夠補(bǔ)償 由多種濾色片層12引起的階差，提供平坦的上平面。
色變換層14用于吸收入射光(從有機(jī)EL元件發(fā)出的光)的一部 分，進(jìn)行波長分布變換，發(fā)出具有包括入射光的非吸收部分和變換光 的不同波長分布的光。色變換層14由至少1種或多種色變換色素構(gòu)成。 色變換層14優(yōu)選將從有機(jī)EL元件發(fā)出的藍(lán)色 藍(lán)綠色光變換為白色 光。本發(fā)明中的所謂白色光，不僅包括均勻地包含可視區(qū)域(400 700nm)的波長成分的光，還包括雖然不均地包含該波長成分、但肉眼 看為白色的光。色變換色素吸收入射光，發(fā)射不同波長域的光，優(yōu)選 吸收光源發(fā)出的藍(lán)色 藍(lán)綠色的光，發(fā)射所希望波長域的光(例如綠 色或紅色)的色素。作為色變換色素，能夠使用DCM-1 (1)、 DCM-2 (II )、 DCJTB (m)、 4， 4畫二氟-l， 3， 5， 7-四苯基-4-硼(求，)醫(yī)3a，4a-二氮(diaza) -s-引達(dá)省"乂夕、、i 乂: indacene) (IV)、尼羅紅(Nile red)(V)等紅色發(fā)光材料用的色素；發(fā)射紅色光的若丹明(rhodamine) 類色素、菁藍(lán)類色素、吡啶(pyridine)類色素、噁嗪(oxazine)類色 素等；放射綠色光的香豆素類色素，萘二甲酰亞胺(naphthalimide)類 色素等，在該技術(shù)中已知的任意的色素。 (化學(xué)式1)<formula>formula see original document page 11</formula>優(yōu)選在本發(fā)明中使用的色變換色素的至少1種能夠吸收EL元件的 發(fā)光，并發(fā)出波長580nm以上的紅色光?；蛘撸儞Q層14也可以包 含用于提高色變換色素的粘接性等色變換層14的特性的添加材料。能 夠使用的添加材料例如包括三(8-喹啉(quinolinolato))鋁(Alq3) 或三(4-甲基-8-喹啉(quinolinolato))鋁(Almq3)這樣的鋁絡(luò)化物、 4.4， -二 (2， 2-二苯乙烯基)聯(lián)苯基(DPVBi)、 2.5—二一 (5-tert-丁 基-2-苯并噁唑基)噻吩等。
色變換層14通過干式處理形成。色變換層14既可以形成于粘接 層上的全部表面上，也可以有選擇地形成于粘接層的一部分區(qū)域。例 如，也可以有選擇地將色變換層14形成在與1種或多種濾色片層12 的至少一種對(duì)應(yīng)的位置上。例如，如圖5所示，能夠只在與紅色濾色片層12R對(duì)應(yīng)的位置上形成色變換層14。
當(dāng)在粘接層上的全部表面上形成色變換層14時(shí)，能夠使用蒸鍍法 形成色變換層14。在此，當(dāng)形成還包含用于提高特性的添加材料的色 變換層14時(shí)，通過一起蒸鍍色變換色素和添加材料，能夠形成色變換 層14。
當(dāng)有選擇地在粘接層的一部分區(qū)域上形成色變換層14時(shí)，能夠使 用以下方法中的任何一個(gè)
(O使用在形成的區(qū)域具有開口部的金屬掩模的蒸鍍(一起蒸度)
法；
(2) 使用蒸鍍(一起蒸鍍)法在粘接層上的全部表面上形成色變 換層，接著，利用激光照射或常壓等離子體照射除去必要區(qū)域以外的 色變換層的方法；或
(3) 制作具有通過蒸鍍(一起蒸鍍)法等形成于其它支撐體上的 色變換材料層的轉(zhuǎn)印介質(zhì)，接著，使熱或能量束(光等)作用于必要 的區(qū)域從而轉(zhuǎn)印色變換材料層的方法。
色變換層14的膜厚在100nm liim范圍內(nèi)，優(yōu)選在150nm 600nm范圍內(nèi)。因此，本發(fā)明的色變換層14與通過色變換色素/基體樹 脂的組成物的涂敷、干燥形成的現(xiàn)有的色變換層不同，不會(huì)形成引起 透明電極21和反射電極23的斷線或短路等故障的階差。因此，排除 了在色變換層14上設(shè)置平坦化層的必要性。
另外，通過色變換色素/基體樹脂的組成物的涂敷、干燥形成的現(xiàn) 有的色變換層，存在在該層中含有引起有機(jī)EL元件劣化的水分的問 題。然而，因?yàn)橥ㄟ^干式處理形成，所以本發(fā)明的色變換層不含有這 種水分，不會(huì)因此而引起有機(jī)EL元件的劣化。
阻擋層15具有阻止水分從濾色片層12向有機(jī)EL層一側(cè)透過的功 能、和在其上形成有機(jī)EL元件的透明電極21的形成工序中保護(hù)色變 換層14的功能。因此，阻擋層15利用對(duì)水分、氧和低分子成分具有 壁壘性的材料形成。而且，為了使有機(jī)EL層22發(fā)出的光高效率地透 過到色變換層14 一側(cè)，優(yōu)選阻擋層15在該發(fā)光波長域中為透明，而 且滿足(色變換層14的折射率) < (阻擋層15的折射率) < (透明電 極21的折射率)的關(guān)系。關(guān)于透明性，優(yōu)選阻擋層15在400 800nm范圍內(nèi)具有50%以上的較高的透過率。另外，考慮色變換層14和透明 電極21的代表材料，優(yōu)選阻擋層15的材料滿足1.9< (阻擋層15的折 射率)<2.2的關(guān)系。作為阻擋層15的合適材料，包括SiN、 SiNH、 A1N等。
阻擋層15的膜厚在100nm 2y m范圍內(nèi)，優(yōu)選在200nm 1 um 范圍內(nèi)，以覆蓋其下面的色變換層14以下的層的方式形成。
阻擋層15能夠通過作為干式處理的濺射法或CVD法形成。濺射 法既可以是高頻濺射法，也可以是磁控管濺射法。另外，CVD法優(yōu)選 為等離子體CVD法。作為本工序中的等離子體發(fā)生裝置，可以使用高 頻電力(電容結(jié)合型或感應(yīng)結(jié)合型中的任何一個(gè)均可)、ECR、螺旋波 等技術(shù)中已知的任意裝置。并且，作為高頻電力，除了工業(yè)用頻率 (13.56MHz)的電力以外，還能夠使用UHF或VHF區(qū)域的頻率的電 力。
當(dāng)使用CVD法形成阻擋層15時(shí)，在本發(fā)明中能夠使用的Si源包 括SiH4、 SiH2Cl2、 SiCU、 Si(OC2Hs)4等。在本發(fā)明中能夠使用的Al源 包括A1C13、 Al(0-i-C3H7)3、有機(jī)鋁化合物(三甲基鋁、三乙基鋁、三 丁基鋁等)等。另外，在本發(fā)明中，優(yōu)選使用NH3作為N源。除了這 些原料氣體外，作為稀釋氣體，也可以在CVD裝置中導(dǎo)入H2、 N2或 惰性氣體(He、 Ar等)。
在此，在如上所述那樣利用濺射法或CVD法形成阻擋層15之前， 也可以在色變換層14上形成緩沖層17 (參照?qǐng)D3)。緩沖層17有利于 保護(hù)色變換層14中的色變換色素不受在阻擋層15的成膜工序(濺射 法或CVD法)中發(fā)生的等離子體、高能量粒子(中性原子或離子化原 子)、高速電子、或紫外線的影響。通過在色變換層14和阻擋層15之 間設(shè)置緩沖層17，能夠防止因上述各種原因引起的色變換色素的分解 以及隨之而發(fā)生的色變換功能的喪失。
緩沖層17能夠利用耐成膜性材料(即具有耐濺射性、耐等離子體 性或這二者的材料)形成。這種材料例如包括金屬絡(luò)化物(complex), 特別包括金屬螯合物(chelate complex)。能夠使用的金屬螯合物包括 銅酞菁(CuPc )等的金屬酞菁類、或三(8-羥基喹啉 (hydroxyquinolinato))鋁(Alq3)或三(4-甲基-8-羥基喹啉)鋁(Almq3)這樣的鋁螯合物?；蛘?，能夠使用無機(jī)氟化物類，特別能夠使用堿土
金屬氟化物(MgF2、 CaF2、 SrF2、 BaF2等)，形成緩沖層17。
通過利用電阻加熱蒸鍍法或電子束加熱蒸鍍法這種使用低能量的 成膜粒子的方法，沉積上述耐成膜性材料，能夠形成緩沖層17。緩沖 層17優(yōu)選具有50 100nm的膜厚。通過具有這種膜厚，為同樣的膜的 緩沖層17能夠有效地保護(hù)色變換層14。
能夠使用于本發(fā)明的有機(jī)EL發(fā)光元件具有按順序疊層有透明電 極21、有機(jī)EL層22、和反射電極23的結(jié)構(gòu)。有機(jī)EL層22至少包 括有機(jī)發(fā)光層，并根據(jù)需要具有在其間設(shè)置有空穴注入層、空穴輸送 層、電子輸送層和/或電子注入層的結(jié)構(gòu)。或者，也可以使用具有空穴 的注入和輸送兩個(gè)功能的空穴注入輸送層、具有電子的注入和輸送兩 個(gè)功能的電子注入輸送層。具體而言，有機(jī)EL元件采用由下述的層結(jié) 構(gòu)構(gòu)成的結(jié)構(gòu)。
(1) 陽極/有機(jī)發(fā)光層/陰極
(2) 陽極/空穴注入層/有機(jī)發(fā)光層/陰極
(3) 陽極/有機(jī)發(fā)光層/電子注入層/陰極
(4) 陽極/空穴注入層/有機(jī)發(fā)光層/電子注入層/陰極
(5) 陽極/空穴輸送層/有機(jī)發(fā)光層/電子注入層/陰極
(6) 陽極/空穴注入層/空穴輸送層/有機(jī)發(fā)光層/電子注入層/陰極
(7) 陽極/空穴注入層/空穴輸送層/有機(jī)發(fā)光層/電子輸送層/電子 注入層/陰極
在上述層結(jié)構(gòu)中，陽極和陰極分別為透明電極21或反射電極23 的任何一個(gè)。由于已知在該技術(shù)中容易令陽極透明，因此在本發(fā)明中， 優(yōu)選使用透明電極21為陽極，并使用反射電極23作為陰極。優(yōu)選透 明電極21在有機(jī)EL層22發(fā)出的光的波長域中為透明。
構(gòu)成有機(jī)EL層22的各層能夠使用在該技術(shù)中公知的材料形成。 例如，為了得到從藍(lán)色到藍(lán)綠色的發(fā)光，作為有機(jī)發(fā)光層例如優(yōu)選使 用苯并噻唑(benzothiazole)類、苯并咪唑(benzoimidazole)類、苯 并噁唑(benzooxazole)類等熒光增白劑、金屬螯合化氧化合物、苯乙 烯基苯類化合物、芳香族二亞甲基(dimethylidene)類化合物等。優(yōu)選 通過蒸鍍法形成構(gòu)成有機(jī)EL層22的各層。透明電極21對(duì)于波長400 800nm的光優(yōu)選具有50%以上、更優(yōu) 選具有85%以上的透過率。透明電極21能夠利用ITO(In-Sn氧化物)、 Sn氧化物、In氧化物、IZO (In-Zn氧化物)、Zn氧化物、Zn-Al氧化 物、Zn-Ga氧化物、或在這些氧化物中添加有F、 Sb等摻雜的導(dǎo)電性 透明金屬氧化物形成。透明電極21利用蒸鍍法、濺射法或化學(xué)氣相沉 積(CVD)法形成，優(yōu)選利用濺射法形成。另外，如后述那樣，當(dāng)需 要由多個(gè)部分電極構(gòu)成的透明電極21時(shí)，也可以在全部表面上均勻地
形成導(dǎo)電性透明金屬氧化物，然后以形成所希望的圖形的方式進(jìn)行蝕 刻，形成由多個(gè)部分電極構(gòu)成的反射電極21?；蛘?，也可以使用付與 所希望的形狀的掩模，形成由多個(gè)部分電極構(gòu)成的反射電極21。
當(dāng)使用透明電極21作為陰極時(shí)，優(yōu)選在與有機(jī)EL層22的界面處 設(shè)置陰極緩沖層，提高電子注入效率。用于形成陰極緩沖層的材料包 括Li、 Na、 K、或Cs等堿金屬，Ba、 Sr等堿土金屬，或包含它們的合 金，稀土金屬，或這些金屬的氟化物等，但并不限于這些。陰極緩沖 層的膜厚能夠經(jīng)考慮驅(qū)動(dòng)電壓和透明性等后適當(dāng)選擇。在通常情況下， 陰極緩沖層優(yōu)選具有10nm以下的膜厚。
反射電極23優(yōu)選使用高反射率的金屬、非晶(amophous)合金、 微結(jié)晶性合金形成。高反射率的金屬包括Al、 Ag、 Mo、 W、 Ni、 Cr 等。高反射率的非晶合金包括NiP、 NiB、 CrP和CrB等。高反射率的 微結(jié)晶性合金包括NiAl等。反射電極23既可以使用為陰極，也可以 使用為陽極。當(dāng)使用反射電極23作為陰極時(shí)，也可以在反射電極23 和有機(jī)EL層22的界面處設(shè)置上述陰極緩沖層，提高對(duì)有機(jī)EL層22 的電子注入的效率?；蛘?，當(dāng)使用反射電極23作為陰極時(shí)，在上述高 反射率金屬、非晶合金或微結(jié)晶性合金中添加作為功函數(shù)(work function)較小的材料的鋰、鈉、鉀等堿金屬，鈣、鎂、鍶等堿土類金 屬，形成合金，由此能夠提高電子注入效率。當(dāng)使用反射電極23作為 陽極時(shí)，也可以在反射電極23和有機(jī)EL層22的界面處設(shè)置上述導(dǎo)電 性透明金屬氧化物的層，提高對(duì)有機(jī)EL層22的空穴注入的效率。
反射電極23，依賴于使用的材料，能夠使用蒸鍍(電阻加熱或電 子束加熱)、濺射、離子鍍、激光燒蝕等該技術(shù)中已知的任意方法形成。 如后所述，當(dāng)需要由多個(gè)部分電極構(gòu)成的反射電極23時(shí)，也可以使用付與所希望的形狀的掩模形成由多個(gè)部分電極構(gòu)成的反射電極23?；?br> 者，也可以在有機(jī)EL層22的疊層之前，形成截面形狀為倒錐形狀的 分離隔壁(未圖示)，利用該隔壁形成由多個(gè)部分電極構(gòu)成的反射電極 23。
在圖1中，為了在有機(jī)EL元件中形成多個(gè)獨(dú)立的發(fā)光部，透明電 極21和反射電極23分別由平行的帶(stripe)狀的多個(gè)部分形成，形 成透明電極21的帶和形成反射電極23的帶以相互交叉(優(yōu)選為正交) 的方式形成。因此，有機(jī)EL發(fā)光元件能夠進(jìn)行矩陣驅(qū)動(dòng)。g卩，當(dāng)向透 明電極21的特定的帶、和反射電極23的特定的帶施加電壓時(shí)，在這 些帶交叉的部分上有機(jī)EL層22發(fā)光?；蛘?，令一個(gè)電極(例如透明 電極21)為不具有帶圖形的同樣的平面電極，而將另一電極(例如反 射電極23)圖形形成(patterning)為與各發(fā)光部對(duì)應(yīng)的多個(gè)部分電極。 在這種情況下，設(shè)置與各發(fā)光部對(duì)應(yīng)的多個(gè)開關(guān)元件， 一對(duì)一地使該 開關(guān)元件與和各發(fā)光部對(duì)應(yīng)的上述部分電極連接，由此能夠進(jìn)行所謂 的有源矩陣(active matrix)驅(qū)動(dòng)。 (實(shí)施例1)
在純水中對(duì)厚度為0.7mm的玻璃基板11進(jìn)行超聲波洗滌，使其干 燥，然后進(jìn)行紫外線臭氧洗凈。利用旋涂(spin coat)法，在洗凈的玻 璃基板上涂敷彩色馬賽克(Color Mosaic) CK-7800 (FUJIFILM Electronic Materials Co., Ltd.制造)。接著，利用光刻法進(jìn)行圖形形成， 形成膜厚為lym的黑矩陣，該黑矩陣以寬度方向間距為O.llmm、和 長度方向間距為0.33mm的方式排列有具有寬度0.09mmX長度0.3mm 的多個(gè)開口。
接著，分別使用彩色瑪賽克CR-7001、 CG-7001、和CB-7001形成
紅色、綠色和藍(lán)色的各濾色片層。在涂敷濾色片層材料后，利用光刻 法，圖形形成為多個(gè)帶狀部分。紅色濾色片層12R、綠色濾色片層12G、 和藍(lán)色濾色片層12B的各自的帶狀部分的寬度為O.lOmm，膜厚為1 n m (玻璃基板11上)，以寬度方向間距為0.33mm的方式排列。在這個(gè) 結(jié)構(gòu)中，黑矩陣的多個(gè)帶狀部分，各自在從其側(cè)邊起的0.005mm的區(qū) 域與濾色片層12中的一個(gè)重疊。
接著，通過旋涂法涂敷NN810L GSR制造)，接著進(jìn)行曝光，形成覆蓋濾色片層12和黑矩陣的有機(jī)粘接層16。與黑矩陣接觸的區(qū)域的
有機(jī)粘接層16的膜厚為1.5 um。
將具有通過上述方式得到的有機(jī)粘接層16以下的層的基板，在干 燥氮?dú)夥?水分濃度在lppm以下)下，在20(TC下加熱20分鐘，除 去可能殘存的水分。
接著，利用AC濺射法疊層膜厚為300nm的SiO2膜，得到無機(jī)粘 接層13。作為靶，使用摻硼型的Si靶。作為濺射氣體使用壓力為1Pa 的Ar/02混合氣體，設(shè)定Ar流量為200SCCM， 02流量為80SCCM。 在靶與相對(duì)電極間施加3.5kW的電力。
接著，將形成有無機(jī)粘接層13的基板安裝在真空蒸鍍裝置中，在 lXl(T4Pa的壓力下，以0.3A/s的蒸鍍速度蒸鍍DCM-1，形成膜厚為 500nm的色變換層14。另外，通過對(duì)在玻璃基板上以相同條件形成的 DCM-1膜的折射率進(jìn)行測定，可知，本實(shí)施例的色變換層14的折射率 為1.9。
然后，利用等離子體CVD法疊層膜厚為300nm的SiNH膜，得到 阻擋層15。作為原料氣體使用100SCCM的SiH4、 500SCCM的NH3、 和2000SCCM的N2，令氣體壓力為80Pa。另夕卜，作為等離子體發(fā)生用 電力，施加0.5kW的27MHz的RF電力。另外，通過對(duì)在玻璃基板上 以相同條件形成的SiNH膜的折射率進(jìn)行測定，可知，本實(shí)施例的阻擋 層15的折射率為1.95。
在以上述方式形成的阻擋層15上形成有機(jī)EL元件。最初，利用 DC濺射法形成膜厚為200nm的IZO膜。作為靶使用In-Zn氧化物，作 為濺射氣體使用02和Ar。接著，通過使用草酸水溶液為蝕刻液的光刻 法進(jìn)行圖形形成，得到透明電極21。透明電極21位于濾色片層12的 上方，由與濾色片層12的帶在相同方向延伸的多個(gè)帶狀部分(寬度 O.lmm，間距0.11mm)形成。另外，通過對(duì)以相同條件在玻璃基板上 形成的IZO膜的折射率進(jìn)行測定，可知，本實(shí)施例的透明電極21的折 射率為2.2。
接著，利用Photoneece (7才卜二一^) (Toray Industries, Inc.制 造)，形成聚酰亞胺膜，使用光刻法，形成以寬度方向的間距為O.llmm、 和長度方向的間距為0.33mm的方式排列有具有寬度0.09mmX長度0.3mm的多個(gè)開口 (成為有機(jī)EL元件的發(fā)光部的部分)的絕緣膜。這 時(shí)，絕緣膜的開口位置與黑矩陣的開口部對(duì)應(yīng)。接著，進(jìn)行反射電極 分離隔壁的形成。利用旋涂法涂敷負(fù)型光刻膠(ZPN1168 (ZEON Corporation制造))，進(jìn)行預(yù)焙烘，使用光掩模燒上在與透明電極21的 帶正交的方向延伸的帶形狀的圖形，然后在ll(TC的熱板上進(jìn)行60秒 的后曝光焙烘，進(jìn)行顯影，最后在18(TC的熱板上進(jìn)行15分鐘的加熱， 形成反射電極分離隔壁。得到的反射電極分隔隔壁具有倒錐形狀的截 面，由在與透明電極21的帶正交的方向延伸的多個(gè)帶形狀部構(gòu)成。
將以上述方式形成有反射電極分離隔壁的基板安裝在電阻加熱蒸 鍍裝置內(nèi)，在真空內(nèi)依次形成空穴注入層、空穴輸送層、有機(jī)發(fā)光層 和電子注入層的膜。在成膜時(shí)，真空槽內(nèi)壓力減壓至1X10—4Pa。疊層 以下各層作為空穴注入層的膜厚為100nm的銅酞菁(CuPc)，作為 空穴輸送層的膜厚為20nrn的4，4' 二[N- (l-萘基)-N-苯胺基]聯(lián)苯(a -NPD)，作為發(fā)光層的膜厚為30nm的DPVBi，和作為電子注入層的膜 厚為20nm的Alq3，從而得到有機(jī)EL層22。
之后，在真空內(nèi)，沉積厚度為200nm的Mg/Ag (10 : 1質(zhì)量比) 膜，得到由寬度為0.3mm、間距為0.33mm的多個(gè)帶形狀的部分電極構(gòu) 成的反射電極23。
在球形盒內(nèi)，在干燥氮?dú)夥?水分濃度在lppm以下)下，使用密 封玻璃和紫外線硬化粘接劑密封以上述方式得到的器件，于是得到有 機(jī)EL發(fā)光顯示器。得到的顯示器，當(dāng)在初期流通電流密度為62mA/m2 的電流時(shí)，發(fā)出1000cd/n^亮度的白色光。在以亮度1000cd/m"進(jìn)行白 色(初期色度(CIE)， x=0.31、 y=0.33)發(fā)光的條件下，在85。C下連 續(xù)驅(qū)動(dòng)得到的顯示器1000小時(shí)，沒有觀測到暗區(qū)的產(chǎn)生。 (實(shí)施例2)
除了不形成有機(jī)粘接層16以外，重復(fù)與實(shí)施例1同樣的順序，得 到有機(jī)EL發(fā)光顯示器。在以亮度1000cd/n^進(jìn)行白色(初期色度(CIE)， x=0.31、 y=0.33)發(fā)光的條件下，在85。C下連續(xù)驅(qū)動(dòng)得到的顯示器1000 小時(shí)，沒有觀測到暗區(qū)的產(chǎn)生。 (實(shí)施例3)
除了使用膜厚300nm的SiOj莫為阻擋層15以外，重復(fù)與實(shí)施例1同樣的順序，得到有機(jī)EL發(fā)光顯示器。另外，通過對(duì)以相同條件在玻 璃基板上沉積的SiOj莫的折射率進(jìn)行測定，可知，本實(shí)施例的阻擋層
15的折射率為1.5。得到的顯示器，當(dāng)在初期流通電流密度為80mA/cm2 的電流時(shí)，發(fā)出1000cd/n^亮度的白色光。可知，與實(shí)施例1的顯示器 相比，由于阻擋層15的折射率與透明電極21和色變換層14不匹配， 所以效率有少許降低。另一方面，在以亮度1000cd/i^進(jìn)行白色(初期 色度(C正)，x=0.31、 y=0.33)發(fā)光的條件下，在85。C下連續(xù)驅(qū)動(dòng)得 到的顯示器1000小時(shí)，沒有觀測到暗區(qū)的產(chǎn)生，可知達(dá)到了所期望的 目的。
(實(shí)施例4)
重復(fù)與實(shí)施例1同樣的順序，在玻璃基板11上形成從黑矩陣至色 變換層14的層。接著，在真空蒸鍍裝置中，在lX10—4Pa的壓力下， 蒸鍍Alq3，形成膜厚80nm的緩沖層17。
接著，利用等離子體CVD法疊層膜厚300nm的SiNH膜，得到阻 擋層15。作為原料氣體使用100SCCM的SiH4、 500SCCM的NH3和 2000SCCM的N2，令氣體壓力為80Pa。另外，作為等離子體發(fā)生用電 力施加1.0kW的27MHz的RF電力。另夕卜，通過對(duì)以相同條件在玻璃 基板上形成的SiNH膜的折射率進(jìn)行測定可知，本實(shí)施例的阻擋層15 的折射率為2.0，折射率比實(shí)施例1的折射率高。
之后，利用與實(shí)施例1同樣的順序形成有機(jī)EL元件，得到有機(jī) EL顯示器。得到的顯示器發(fā)白色(初期色度(CIE)， x=0.31、 y=0.33) 光。在以亮度1000cd/n^進(jìn)行白色發(fā)光的條件下，在85'C下連續(xù)驅(qū)動(dòng) 得到的顯示器IOOO小時(shí)，沒有觀測到暗區(qū)的產(chǎn)生。由此可知，即使增 大在形成阻擋層15時(shí)施加的RF電力，增大成膜速度，也能夠通過設(shè) 置緩沖層17防止對(duì)色變換層14中的色變換色素的損壞。 (實(shí)施例5)
除了按以下方式形成色變換層14以外，重復(fù)與實(shí)施例1同樣的順 序，得到有機(jī)EL發(fā)光顯示器。準(zhǔn)備金屬掩模，該金屬掩模以寬度方向 間距為0.33mm、和長度方向間距為0.33mm的方式排列有具有寬度 0.09mmX長度0.3mm的多個(gè)開口部。調(diào)整金屬掩模，使其開口部配置 在與紅色濾色片層12R對(duì)應(yīng)的位置。然后，在lX10"Pa的壓力下，蒸鍍DCM-1，形成膜厚500nm的色變換層14。如圖5所示，得到的色 變換層14僅配置在紅色發(fā)光部，沒有配置在藍(lán)色發(fā)光部和綠色發(fā)光部。 在與實(shí)施例1同樣的條件下，進(jìn)行連續(xù)驅(qū)動(dòng)，沒有觀測到暗區(qū)的 產(chǎn)生。另外，在僅使藍(lán)色發(fā)光部發(fā)光的情況下、以及僅使綠色發(fā)光部 發(fā)光的情況下，本實(shí)施例的有機(jī)EL發(fā)光顯示器比實(shí)施例1的顯示器的 亮度高30 40%。這種亮度的增大是因在藍(lán)色發(fā)光部和綠色發(fā)光部沒 有配置色變換層14而引起的。 (實(shí)施例6)
除了不形成無機(jī)粘接層13、并如下述那樣形成有機(jī)粘接層16以 外，重復(fù)與實(shí)施例5同樣的順序，得到圖6所示結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL發(fā)光顯
不器°
利用旋涂法將NN810L (JSR制造)涂敷在形成有濾色片層12和 黑矩陣的玻璃基板ll上。接著，曝光得到的膜，形成覆蓋濾色片層12 和黑矩陣的有機(jī)粘接層16。與黑矩陣接觸的區(qū)域的有機(jī)粘接層16的膜 厚為1.5 ym。接著，將具有得到的有機(jī)粘接層16以下的層的基板，在 干燥氮?dú)夥?水分濃度在lppm以下)下，在23(TC下加熱20分鐘， 除去可能殘存的水分。另外，通過對(duì)以相同條件在玻璃基板上形成的 有機(jī)粘接層的折射率進(jìn)行測定可知，本實(shí)施例的有機(jī)粘接層16的折射 率為1.54。另外，當(dāng)將色變換層14蒸鍍?cè)谟袡C(jī)粘接層16上時(shí)，沒有 觀測到色變換層14的剝離。
在與實(shí)施例1同樣的條件下進(jìn)行連續(xù)驅(qū)動(dòng)，但是在本實(shí)施例的有 機(jī)EL發(fā)光顯示器中沒有觀測到暗區(qū)的發(fā)生。另外，在僅使藍(lán)色發(fā)光部 發(fā)光的情況下、以及僅使綠色發(fā)光部發(fā)光的情況下，本實(shí)施例的有機(jī) EL發(fā)生顯示器比實(shí)施例1的顯示器的亮度高30 40%。這種亮度的增 大是因在藍(lán)色發(fā)光部和綠色發(fā)光部沒有配置色變換層14而引起的。 (實(shí)施例7)
除了使用硅酮樹脂(KP-85: Shin-Etsu Chemical Co.， Ltd.制造)代 替NN810L (JSR制造)形成有機(jī)粘接層16以外，重復(fù)與實(shí)施例6同 樣的順序，得到有機(jī)EL發(fā)光顯示器。另外，通過對(duì)以相同條件在玻璃 基板上形成的有機(jī)粘接層的折射率進(jìn)行測定可知，本實(shí)施例的有機(jī)粘 接層16的折射率為1.43。另外，在將色交換層14蒸鍍?cè)谟袡C(jī)粘接層16上時(shí)，沒有觀測到色變換層14的剝離。
在與實(shí)施例1同樣的條件下進(jìn)行連續(xù)驅(qū)動(dòng)，沒有觀測到暗區(qū)的發(fā)
生。另外，本實(shí)施例的有機(jī)EL發(fā)光顯示器與實(shí)施例6的顯示器相比， 其所有發(fā)光色(紅色、綠色和藍(lán)色)的亮度均高30%。這種亮度的增 大是因使用更低折射率的有機(jī)粘接層16引起的。 (比較例1)
除了不形成粘接層(有機(jī)粘接層16和無機(jī)粘接層13)以外，重復(fù) 與實(shí)施例1同樣的順序，在濾色片層12和黑矩陣上疊層色變換層14。 然而，色變換層14和濾色片層12的粘合性不好，色變換層14部分地 剝離。
(比較例2)
除了利用采用以下的濕式處理的順序形成色變換層14以外，重復(fù) 與實(shí)施例l同樣的順序，得到有機(jī)EL發(fā)光顯示器。將DCM-1 (0.7重 量部分)溶解在作為溶劑的120重量部分的丙烯二醇單乙基醋酸鹽 (PGMEA: Propylene Glycol Monoethyl Acetate)中。然后加入100重 量部分的光聚合性樹脂組成物"VPA100"(商品名，Nippon Steel Chemical Co.,Ltd.)并使其溶解，得到涂敷液。利用旋涂法，將該涂敷 液涂敷在無機(jī)粘接層13上，形成膜厚10um的色變換層。
在以亮度1000cd/m2進(jìn)行白色(初期色度(C正)，x=0.31、 y=0.33) 發(fā)光的條件下，在85"C下連續(xù)驅(qū)動(dòng)得到的顯示器1000小時(shí)，每1cm2 發(fā)生幾個(gè)暗區(qū)。
權(quán)利要求
1. 一種有機(jī)EL發(fā)光顯示器，其特征在于其依次包括透明基板、1種或多種濾色片層、粘接層、色變換層、阻擋層、透明電極、有機(jī)EL層、和反射電極，其中，所述濾色片層通過濕式處理形成，所述色變換層和阻擋層通過干式處理形成，以及所述粘接層選自由無機(jī)粘接層、有機(jī)粘接層、和有機(jī)粘接層與無機(jī)粘接層的疊層體構(gòu)成的組。
2. 如權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL發(fā)光顯示器，其特征在于 所述阻擋層的折射率比所述色變換層的折射率大，并且比所述透明電極的折射率小。
3. 如權(quán)利要求2所述的有機(jī)EL發(fā)光顯示器，其特征在于 所述阻擋層的折射率大于1.9且小于2.2。
4. 如權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL發(fā)光顯示器，其特征在于 所述色變換層通過蒸鍍法形成。
5. 如權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL發(fā)光顯示器，其特征在于 所述色變換層由1種或多種色變換色素構(gòu)成。
6. 如權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL發(fā)光顯示器，其特征在于-其還包含黑矩陣，所述黑矩陣配置在所述1種或多種濾色片層的間隙中。
7. 如權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL發(fā)光顯示器，其特征在于: 所述有機(jī)粘接層具有1.5以下的折射率。
8. 如權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL發(fā)光顯示器，其特征在于: 所述有機(jī)粘接層由硅酮樹脂形成。
9. 如權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL發(fā)光顯示器，其特征在于-在所述色變換層與所述阻擋層之間還包括緩沖層。
10. 如權(quán)利要求9所述的有機(jī)EL發(fā)光顯示器，其特征在于 所述緩沖層包含耐成膜性材料。
11. 如權(quán)利要求9所述的有機(jī)EL發(fā)光顯示器，其特征在于 所述緩沖層通過電阻加熱蒸鍍法或電子束加熱蒸鍍法形成。
12. 如權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL發(fā)光顯示器，其特征在于 所述色變換層有選擇地形成在與所述1種或多種濾色片層中的至少1種對(duì)應(yīng)的位置上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種有機(jī)EL發(fā)光顯示器，其具有能夠抑制有機(jī)EL元件中的暗區(qū)的發(fā)生、且能夠高效率地利用有機(jī)EL發(fā)光元件的發(fā)光的新穎的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的有機(jī)EL發(fā)光顯示器的特征在于依次包括透明基板、1種或多種濾色片層、粘接層、色變換層、阻擋層、透明電極、有機(jī)EL層、和反射電極，濾色片層通過濕式處理形成，色變換層和阻擋層通過干式處理形成，并且，粘接層為無機(jī)粘接層、有機(jī)粘接層、或有機(jī)粘接層與無機(jī)粘接層的疊層體。
文檔編號(hào)H01L51/50GK101305643SQ200680041839
公開日2008年11月12日 申請(qǐng)日期2006年11月9日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月11日
發(fā)明者倉田昇, 川口剛司, 河村幸則, 河西豪輝 申請(qǐng)人:富士電機(jī)控股株式會(huì)社