專利名稱：：橋接倉儲(chǔ)的選擇方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明是有關(guān)于物料配送技術(shù)，且特別有關(guān)于選擇跨廠傳輸?shù)淖罴褬蚪觽}儲(chǔ)的方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
：傳統(tǒng)上，晶圓制造廠(waferFab)的在物搬運(yùn)時(shí)采手推車式系統(tǒng)。但隨者晶圓片尺吋由6吋、8吋，增大為12吋，每一個(gè)裝滿25片晶圓(wafer)的晶圓傳送盒(wafercasette)，例如前開式密閉箱(frontopenedunifiedpod,簡(jiǎn)稱F0UP),已重達(dá)8.2公斤，人工搬運(yùn)已無法負(fù)荷。加上產(chǎn)品的良率(yieldrate)及潔凈度等因素的考慮，因此自動(dòng)化的物料配送系統(tǒng)(AutomatedMaterialHandlingSystem,簡(jiǎn)稱AMHS)在近年來已普遍被應(yīng)用于晶圓廠。自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)包含屋頂懸吊式載具(overheadhoistshuttle,簡(jiǎn)稱0HS)、屋頂懸吊式運(yùn)輸器具(overheadhoisttransport,簡(jiǎn)稱0HT)、軌道式運(yùn)輸器具(railguidedVehicle,簡(jiǎn)稱RGV)以及自動(dòng)化倉儲(chǔ)(stocker,簡(jiǎn)稱STK)。目前已有全自動(dòng)化的單一晶圓廠。但是即使企業(yè)或組織有二座相鄰的晶圓廠，并且其中具有部分相同的半導(dǎo)體制造處理設(shè)備，此二者在半導(dǎo)體制造過程中仍然是分開且獨(dú)立進(jìn)行的。當(dāng)其中一晶圓廠的一個(gè)系統(tǒng)發(fā)生問題或需要保養(yǎng)時(shí)，即使另一晶圓廠有相同的系統(tǒng)也沒有自動(dòng)化的機(jī)制以進(jìn)行支持，因此降低半導(dǎo)體產(chǎn)品的總產(chǎn)出量。為了要達(dá)到全面自動(dòng)化的效果，自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)的設(shè)置就變得非常重要，其中的目標(biāo)是讓這些系統(tǒng)相互運(yùn)作來達(dá)到工廠無人化，并使得當(dāng)一個(gè)系統(tǒng)發(fā)生問題時(shí)，能由另一個(gè)系統(tǒng)接手，讓生產(chǎn)不中斷。
發(fā)明內(nèi)容有鑒于此，本發(fā)明的目的在提供二座晶圓廠相互支持時(shí)選擇橋接倉儲(chǔ)的方法及系統(tǒng)?；谏鲜瞿康?，本發(fā)明實(shí)施例提供一種橋接倉儲(chǔ)的選擇方法，用以從多個(gè)橋接倉儲(chǔ)中選擇適合的橋接倉儲(chǔ)，以在第一晶圓廠及第二晶圓廠之間轉(zhuǎn)運(yùn)至少一晶圓傳送盒。首先，依據(jù)上述第一及第二晶圓廠的多個(gè)設(shè)備的布局方式，將上述多個(gè)設(shè)備分類為多個(gè)群組。指定一跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)的橋接倉儲(chǔ)群組。上述跨廠傳輸路線的起點(diǎn)及終點(diǎn)分別為第一群組及第二群組，其中上述第一群組位于上述第一及第二晶圓廠的其中一者內(nèi)，上述第二群組位于上述第一及第二晶圓廠的其中另一者內(nèi)。當(dāng)接收到對(duì)應(yīng)上述跨廠傳輸路線的跨廠傳輸命令時(shí)，其中上述跨廠傳輸命令的起點(diǎn)設(shè)備及終點(diǎn)設(shè)備分別屬于上述第一群組及上述第二群組，取得上述跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)的上述橋接倉儲(chǔ)群組的實(shí)時(shí)信息。根據(jù)上述取得的實(shí)時(shí)信息以選擇上述橋接倉儲(chǔ)群組的其中一者作為上述適合的橋接倉儲(chǔ)，以轉(zhuǎn)運(yùn)上述跨廠傳輸命令指定的晶圓傳送盒。另外，本發(fā)明實(shí)施例提供一種橋接倉儲(chǔ)的選擇系統(tǒng)，包含多個(gè)橋接倉儲(chǔ)以及一控制系統(tǒng)。上述多個(gè)橋接倉儲(chǔ)用以在第一晶圓廠及第二晶圓廠之間轉(zhuǎn)運(yùn)至少一晶圓傳送盒。上述第一及第二晶圓廠的多個(gè)設(shè)備依照布局方式被分類為多個(gè)群組。一跨廠傳輸路線被指定對(duì)應(yīng)橋接倉儲(chǔ)群組。其中上述跨廠傳輸路線的起點(diǎn)及終點(diǎn)分別為第一群組及第二群組，其中上述第一群組位于上述第一及第二晶圓廠的其中一者內(nèi)，上述第二群組位于上述第一及第二晶圓廠的其中另一者內(nèi)。上述控制系統(tǒng)用以從上述多個(gè)橋接倉儲(chǔ)中選擇適合的橋接倉儲(chǔ)，當(dāng)接收到對(duì)應(yīng)上述跨廠傳輸路線的跨廠傳輸命令時(shí)，其中上述跨廠傳輸命令的起點(diǎn)設(shè)備及終點(diǎn)設(shè)備分別屬于上述第一群組及上述第二群組，取得上述跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)的上述橋接倉儲(chǔ)群組的實(shí)時(shí)信息，以及根據(jù)上述取得的實(shí)時(shí)信息以選擇上述橋接倉儲(chǔ)群組的其中一者作為上述適合的橋接倉儲(chǔ)，以轉(zhuǎn)運(yùn)上述跨廠傳輸命令指定的晶圓傳送盒。另外，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種橋接倉儲(chǔ)的選擇方法，用以從多個(gè)橋接倉儲(chǔ)中選擇適合的橋接倉儲(chǔ)，以在第一晶圓廠及第二晶圓廠之間轉(zhuǎn)運(yùn)至少一晶圓傳送盒，包含依據(jù)上述第一及第二晶圓廠的多個(gè)設(shè)備的布局方式，將上述多個(gè)設(shè)備分類為多個(gè)群組；根據(jù)上述多個(gè)群組指定二群組間一跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)的橋接倉儲(chǔ)群組，其中上述跨廠傳輸路線的起點(diǎn)及終點(diǎn)分別為第一群組及第二群組，其中上述第一群組位于上述第一及第二晶圓廠的其中一者內(nèi)，上述第二群組位于上述第一及第二晶圓廠的其中另一者內(nèi)；儲(chǔ)存上述橋接倉儲(chǔ)群組的預(yù)定信息，包含上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)對(duì)應(yīng)上述跨廠傳輸路線的優(yōu)先權(quán)以及每一橋接倉儲(chǔ)的多個(gè)加權(quán)值；當(dāng)接收到對(duì)應(yīng)上述跨廠傳輸路線的跨廠傳輸命令時(shí)，其中上述^爭(zhēng)廠傳輸命令的起點(diǎn)設(shè)備及終點(diǎn)設(shè)備分別屬于上述第一群組及上述第二群組，取得上述跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)的上述橋接倉儲(chǔ)群組的實(shí)時(shí)信息，包含上述橋接倉儲(chǔ)群組中每一橋接倉儲(chǔ)的待處理命令數(shù)量及儲(chǔ)位使用量；以及計(jì)算上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)的關(guān)鍵值，其中，上述橋接倉儲(chǔ)群組的第i個(gè)橋接倉儲(chǔ)的優(yōu)先權(quán)為P(i),待處理命令數(shù)量為C(i),儲(chǔ)位使用量為S(i),多個(gè)加權(quán)值wji)w2(i)w3(i),其中i為正整數(shù)，則上述第i個(gè)橋接倉儲(chǔ)的關(guān)鍵值R(i)為i(/)=W)xWl(/)+C(/)xw2(/)+鄧)xw3(/);以及選擇上述橋接倉儲(chǔ)群組中關(guān)鍵值最小的橋接倉儲(chǔ)作為上述適合的橋接倉儲(chǔ)，以轉(zhuǎn)運(yùn)上述跨廠傳輸命令指定的該晶圓傳送盒。另外，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種橋接倉儲(chǔ)的選擇系統(tǒng)，包含多個(gè)橋接倉儲(chǔ)，用以在第一晶圓廠及第二晶圓廠之間轉(zhuǎn)運(yùn)至少一晶圓傳送盒，其中上述第一及第二晶圓廠的多個(gè)設(shè)備-依照布局方式被分類為多個(gè)群組，上述多個(gè)群組的二群組間一跨廠傳輸路線被指定對(duì)應(yīng)橋接倉儲(chǔ)群組，其中上述跨廠傳輸路線的起點(diǎn)及終點(diǎn)分別為第一群組及第二群組，其中上述第一群組位于上述第一及第二晶圓廠的其中一者內(nèi)，上述第二群組位于上述第一及第二晶圓廠的其中另一者內(nèi)；以及控制系統(tǒng)，用以從上述多個(gè)橋接倉儲(chǔ)中選擇適合的橋接倉儲(chǔ)，上述控制系統(tǒng)預(yù)先儲(chǔ)存上述橋接倉儲(chǔ)群組的預(yù)定信息，包含上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)對(duì)應(yīng)上述跨廠傳輸路線的優(yōu)先權(quán)以及每一橋接倉儲(chǔ)的多個(gè)加權(quán)值，當(dāng)接收到對(duì)應(yīng)上述跨廠傳輸路線的跨廠傳輸命令時(shí)，其中上述跨廠傳輸命令的起點(diǎn)設(shè)備及終點(diǎn)設(shè)備分別屬于上述第一群組及上述第二群組，取得上述跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)的上述橋接倉儲(chǔ)群組的實(shí)時(shí)信息，包含上述橋接倉儲(chǔ)群組中每一橋接倉儲(chǔ)的待處理命令數(shù)量及儲(chǔ)位使用量，以及計(jì)算上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)的關(guān)鍵值，其中，上述橋接倉儲(chǔ)群組的第i個(gè)橋接倉儲(chǔ)的優(yōu)先權(quán)為P(i)，待處理命令數(shù)量為C(i)，儲(chǔ)位使用量為S(i),多個(gè)加權(quán)值wji)w2(i)w3(i)，其中i為正整數(shù)，則上述第i個(gè)橋接倉儲(chǔ)的關(guān)鍵值R(i)為外')^('0xw,(/)+C(/)xw2(/)+鄧)xw3(/);以及其中上述控制系統(tǒng)選擇上述橋接倉儲(chǔ)群組中關(guān)鍵值最小的橋接倉儲(chǔ)作為上述適合的橋接倉儲(chǔ)，以轉(zhuǎn)運(yùn)上述跨廠傳輸命令指定的該晶圓傳送盒。圖1顯示具有跨廠傳輸能力的二座晶圓廠的示意圖；圖2顯示上述二座晶圓廠及多個(gè)橋接倉儲(chǔ)的示意圖；圖3顯示選擇橋接倉儲(chǔ)的前置處理的流程圖；圖4顯示上述二座晶圓廠中多個(gè)設(shè)施群組的示意圖；以及圖5顯示橋接倉儲(chǔ)的選擇方法的實(shí)施例的流程圖。[主要元件標(biāo)號(hào)說明]20-23~橋接倉儲(chǔ)；24屋頂懸吊式載具(OHS);25-屋頂懸吊式運(yùn)輸器具(OHT);26-軌道；101~晶圓廠；102~晶圓廠；103~通道；104-MCS;105-MCS;211—專命入端口；212~輸出端口；Bay_Al~晶圓廠"i殳施群組；Bay—Bl~晶圓廠設(shè)施群組；Block—Al~晶圓廠設(shè)施群組；Block—Bl-晶圓廠設(shè)施群組；STK—2-自動(dòng)化倉儲(chǔ)；STK—3-自動(dòng)化倉儲(chǔ)；STK-5自動(dòng)化倉儲(chǔ)；Tool-l-制造工具；Tool-2-制造工具；Tool-4-制造工具；Tool—5-制造工具；Tool—7~制造工具；TooL9制造工具。具體實(shí)施方式以下說明是本發(fā)明的較佳實(shí)施例。其目的是要舉例說明本發(fā)明一般性的原則，不應(yīng)^f見為本發(fā)明的限制，本發(fā)明的范圍當(dāng)以申請(qǐng)專利范圍所界定者為準(zhǔn)。以下提出橋接倉儲(chǔ)的選擇方法及系統(tǒng)。圖1顯示具有跨廠傳輸能力的二座晶圓廠的示意圖。在圖1中，晶圓廠101與晶圓廠102的位置相鄰，其中信道103提供自動(dòng)化機(jī)構(gòu)在晶圓廠101與晶圓廠102之間轉(zhuǎn)運(yùn)物料，即搬運(yùn)晶圓廠101的物料至晶圓廠102,以及搬運(yùn)晶圓廠102的物料至晶圓廠101。上述物料包含晶圓傳送盒，例如前開式密閉箱(frontopenedunifiedpod，簡(jiǎn)稱F0UP)。參照?qǐng)D2,通道103可以利用多個(gè)自動(dòng)化倉儲(chǔ)(stocker)來實(shí)作，稱為橋接倉儲(chǔ)(relaystocker),例如橋接倉儲(chǔ)20-23。橋接倉儲(chǔ)(例如橋接倉儲(chǔ)21及22)可以設(shè)置于晶圓廠101與晶圓廠102之間，或其中一者。舉例來說，橋接倉儲(chǔ)20設(shè)置于晶圓廠101,而橋接倉儲(chǔ)23設(shè)置于晶圓廠102。每一橋接倉儲(chǔ)具有輸入端口及輸出端口(例如橋接倉儲(chǔ)21的輸入端口211及輸出端口212)，分別用以從屋頂懸吊式載具(overheadhoistshuttle,簡(jiǎn)稱0HS,例如0HS24)、屋頂懸吊式運(yùn)輸器具(overheadhoisttransport,簡(jiǎn)稱0HT，例如0HT25)、或軌道式運(yùn)輸器具(railguidedVehicle,筒稱RGV)等運(yùn)輸工具取得晶圓傳送盒或輸出晶圓傳送盒至上述運(yùn)輸器具。上述運(yùn)輸器具的軌道(例如軌道26)設(shè)置于每一橋接倉儲(chǔ)的輸入端口及輸出端口及晶圓廠101及102的設(shè)備間，使運(yùn)輸工具可以將晶圓傳送盒送至輸入端口或從輸出端口取得。上述多個(gè)橋接倉儲(chǔ)可以由晶圓廠101及102的各別的物料控制系統(tǒng)(materialcontrolsystem,簡(jiǎn)稱MCS)共同管理。一個(gè)橋接倉儲(chǔ)單位時(shí)間能處理的芯片盒的效率有其限制。此限制取決于其中的機(jī)器手臂的搬運(yùn)時(shí)間以及傳送系統(tǒng)的搬送效率。在其限制條件下，以下的橋接倉儲(chǔ)的選擇方法要讓二個(gè)大量生產(chǎn)的半導(dǎo)體晶圓廠互做大量的傳送，且要避免傳送量受限于橋接倉儲(chǔ)，亦即不要讓橋接倉儲(chǔ)成為瓶頸。上述橋接倉儲(chǔ)的選擇方法可以由晶圓廠101及102的各別的物料控制系統(tǒng)(MCS)104及105執(zhí)行。為了要加速選擇橋接倉儲(chǔ)的效率，需要執(zhí)行在每次選擇橋接倉儲(chǔ)之前的前置處理。參照?qǐng)D3,前置處理可以包含依據(jù)晶圓廠101及102的自動(dòng)化的物料配送系統(tǒng)(AMHS)的配置將晶圓廠101及102的生產(chǎn)設(shè)備及自動(dòng)化倉儲(chǔ)的分類為多個(gè)群組(步驟S30),依據(jù)上述多個(gè)群組決定多個(gè)跨廠傳輸路線(步驟S32),并指定每一跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)的橋接倉儲(chǔ)群組(步驟S34)。橋接倉儲(chǔ)群組包含一個(gè)或一個(gè)以上的橋接倉儲(chǔ)，且每一橋接倉儲(chǔ)被指定優(yōu)先權(quán)值(步驟S36)。舉例來說，下列表格l舉出圖4中晶圓廠101及102的多個(gè)群組實(shí)例，每一群組可以包含生產(chǎn)設(shè)備及自動(dòng)化倉儲(chǔ)<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>表格lBay—Al及Block—Al分別代表晶圓廠101的二區(qū)域，Bay—Al包含生產(chǎn)設(shè)備(機(jī)臺(tái))Tool-l、Tool—2以及自動(dòng)化倉儲(chǔ)STK-3，而Block—Al包含生產(chǎn)設(shè)備Tool-9以及自動(dòng)化倉儲(chǔ)STK—2及STK—3。Bay—Bl及Block醫(yī)Bl代表晶圓廠102的二區(qū)域，Bay_Bl包含生產(chǎn)設(shè)備(機(jī)臺(tái))Tool—4、Tool—5以及自動(dòng)化倉儲(chǔ)STK—5,而Block—Bl包含生產(chǎn)設(shè)備(機(jī)臺(tái))Tool—7以及自動(dòng)化倉儲(chǔ)STK一5。下列表格2舉例在步驟S32依據(jù)上述多個(gè)群組決定的多個(gè)跨廠傳輸路線以及在步驟S34指定的對(duì)應(yīng)橋接倉儲(chǔ)群組跨廠傳輸路線橋接倉儲(chǔ)群組(鄰近的橋接倉儲(chǔ))<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>表格2上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)的優(yōu)先權(quán)是根據(jù)該橋接倉儲(chǔ)與起點(diǎn)群組的設(shè)備的距離而決定，可以利用仿真程序以決定。根據(jù)表格2，從Bay-Al到Bay-Bl的跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)橋接倉儲(chǔ)Relay-Sl、Relay-S2以及Relay-S3。Relay-Sl、Relay-S2以及Relay-S3的優(yōu)先權(quán)值分別為1、1及6。上述跨廠傳輸路線的起點(diǎn)及終點(diǎn)分別為晶圓廠101及102其中一者內(nèi)的一群組及另一者內(nèi)的另一群組。參照?qǐng)D5,當(dāng)MCS104或MCS105接收到跨廠傳輸命令時(shí)(步驟S50)，其中上述跨廠傳輸命令用以請(qǐng)求在晶圓廠101及102之間轉(zhuǎn)運(yùn)晶圓傳送盒，該MCS決定上述跨廠傳輸命令對(duì)應(yīng)的跨廠傳輸路線(步驟S52)。上述跨廠傳輸路線的起點(diǎn)及終點(diǎn)分別為晶圓廠101及102其中一者內(nèi)的一群組及另一者內(nèi)的另一群組。因此，該MCS根據(jù)上述if爭(zhēng)廠傳輸命令的起點(diǎn)設(shè)備及終點(diǎn)設(shè)備可以判別上述跨廠傳輸命令對(duì)應(yīng)的跨廠傳輸路線。舉例來說，當(dāng)接收到的第一跨廠傳輸命令的起點(diǎn)設(shè)備及終點(diǎn)設(shè)備分別屬于群組Bay_Al及Bay_Bl時(shí)，則取得的上述第一跨廠傳輸命令對(duì)應(yīng)表格2中的第一個(gè)跨廠傳輸路線。接著，該MCS取得跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)的上述橋接倉儲(chǔ)群組的預(yù)定信息及實(shí)時(shí)信息(步驟S54)。上述橋接倉儲(chǔ)群組的上述預(yù)定信息包含上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)對(duì)應(yīng)的優(yōu)先權(quán)。上述實(shí)時(shí)信息包含上述橋接倉儲(chǔ)群組中每一橋接倉儲(chǔ)的待處理命令數(shù)量及儲(chǔ)位使用量。每一橋接倉儲(chǔ)對(duì)應(yīng)一隊(duì)列用以暫存該橋接倉儲(chǔ)所接收的命令數(shù)量。另外，每一橋接倉儲(chǔ)具有固定數(shù)量的儲(chǔ)位，而上述儲(chǔ)位使用量即已被晶圓傳送盒占用的儲(chǔ)存數(shù)量。該MCS根據(jù)上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)的預(yù)定信息及實(shí)時(shí)信息以計(jì)算上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)的關(guān)4定值(步驟S56),并根據(jù)計(jì)算出的關(guān)鍵值從上述橋接倉儲(chǔ)群組中選擇一個(gè)適合的橋接倉儲(chǔ)(步驟S58)，以轉(zhuǎn)運(yùn)上述跨廠傳輸命令指定的上述晶圓傳送盒。舉例來說，表格2中的第一個(gè)跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)的橋接倉儲(chǔ)群組中包含橋接倉儲(chǔ)Relay-Sl、Relay-S2及Relay-S3。該橋接倉儲(chǔ)群組的預(yù)定信息包含其中每一橋接倉儲(chǔ)的多個(gè)加權(quán)值，包含每一橋接倉儲(chǔ)的優(yōu)先權(quán)的第一加權(quán)值、每一橋接倉儲(chǔ)的待處理命令數(shù)量的第二加權(quán)值以及每一橋接倉儲(chǔ)的儲(chǔ)位使用量的第三加權(quán)值。下列表格3顯示跨廣傳輸路線與其對(duì)應(yīng)橋接倉儲(chǔ)群組的第一、第二及第三加權(quán)值<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>表格3其中，上述橋接倉儲(chǔ)群組的第i個(gè)橋接倉儲(chǔ)的優(yōu)先權(quán)為P(i),待處理命令數(shù)量為C(i)，儲(chǔ)位使用量為S(i),第一加權(quán)值為w！(i)，第二加權(quán)值為w2(i),第三加權(quán)值為W3(i),則上述第i個(gè)橋接倉儲(chǔ)的關(guān)鍵值R(i)為i<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>其中i為正整數(shù)。因此，該MCS可以計(jì)算上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)的關(guān)鍵值。下列表格4舉例上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)的已加權(quán)信息及計(jì)算后的關(guān)鍵值<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>表格4該MCS選擇上述橋接倉儲(chǔ)群組中關(guān)鍵值最小的橋接倉儲(chǔ)作為上述適合的橋接倉儲(chǔ)。雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視所附的權(quán)利要求范圍所界定者為準(zhǔn)。權(quán)利要求1.一種橋接倉儲(chǔ)的選擇方法，用以從多個(gè)橋接倉儲(chǔ)中選擇適合的橋接倉儲(chǔ)，以在第一晶圓廠及第二晶圓廠之間轉(zhuǎn)運(yùn)至少一晶圓傳送盒，包含依據(jù)上述第一及第二晶圓廠的多個(gè)設(shè)備的布局方式，將上述多個(gè)設(shè)備分類為多個(gè)群組；根據(jù)上述多個(gè)群組指定二群組間一跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)的橋接倉儲(chǔ)群組，其中上述跨廠傳輸路線的起點(diǎn)及終點(diǎn)分別為第一群組及第二群組，其中上述第一群組位于上述第一及第二晶圓廠的其中一者內(nèi)，上述第二群組位于上述第一及第二晶圓廠的其中另一者內(nèi)；儲(chǔ)存上述橋接倉儲(chǔ)群組的預(yù)定信息；當(dāng)接收到對(duì)應(yīng)上述跨廠傳輸路線的跨廠傳輸命令時(shí)，其中上述跨廠傳輸命令的起點(diǎn)設(shè)備及終點(diǎn)設(shè)備分別屬于上述第一群組及上述第二群組，取得上述跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)的上述橋接倉儲(chǔ)群組的實(shí)時(shí)信息，包含上述橋接倉儲(chǔ)群組中每一橋接倉儲(chǔ)的待處理命令數(shù)量及儲(chǔ)位使用量；以及根據(jù)上述待處理命令數(shù)量、儲(chǔ)位使用量及上述預(yù)定信息之中至少二項(xiàng)信息以選擇上述橋接倉儲(chǔ)群組的其中一者作為上述適合的橋接倉儲(chǔ)，以轉(zhuǎn)運(yùn)上述跨廠傳輸命令指定的該晶圓傳送盒。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的橋接倉儲(chǔ)的選擇方法，其中，上述橋接倉儲(chǔ)群組的上述預(yù)定信息包含上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)對(duì)應(yīng)上述跨廠傳輸路線的優(yōu)先權(quán)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的橋接倉儲(chǔ)的選擇方法，其中，上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)的優(yōu)先權(quán)是根據(jù)該橋接倉儲(chǔ)與上述第一群組的距離而決定。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的橋接倉儲(chǔ)的選擇方法，其中，上述橋接倉儲(chǔ)群組的上述預(yù)定信息包含上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)的多個(gè)加權(quán)值，包含上述優(yōu)先權(quán)的第一加權(quán)值、上述待處理命令數(shù)量的第二加權(quán)值以及上述儲(chǔ)位使用量的第三加權(quán)值。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的橋接倉儲(chǔ)的選擇方法，還包含計(jì)算上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)的關(guān)鍵值，其中，上述橋接倉儲(chǔ)群組的第i個(gè)橋接倉儲(chǔ)的優(yōu)先權(quán)為P(i)，待處理命令數(shù)量為C(i),儲(chǔ)位使用量為S(i),第一加權(quán)值為w,(i),第二加權(quán)^直為w2(i),第三加權(quán)爿f直為w3(i),其中i為正整數(shù)，則上述第i個(gè)橋接倉儲(chǔ)的關(guān)鍵值R(i)為雄)=xWl(/)+C(z,)xw2(/)+鄧)xw3(/);以及選擇上述橋接倉儲(chǔ)群組中關(guān)鍵值最小的橋接倉儲(chǔ)作為上述適合的橋接倉儲(chǔ)。6.—種橋接倉儲(chǔ)的選擇系統(tǒng)，包含多個(gè)橋接倉儲(chǔ)，用以在第一晶圓廠及第二晶圓廠之間轉(zhuǎn)運(yùn)至少一晶圓傳送盒，其中上述第一及第二晶圓廣的多個(gè)設(shè)備農(nóng)照布局方式被分類為多個(gè)群組，上述多個(gè)群組的二群組間一跨廠傳輸路線被指定對(duì)應(yīng)橋接倉儲(chǔ)群組，其中上述跨廠傳輸路線的起點(diǎn)及終點(diǎn)分別為第一群組及第二群組，其中上述第一群組位于上述第一及第二晶圓廠的其中一者內(nèi)，上述第二群組位于上述第一及第二晶圓廠的其中另一者內(nèi)；以及控制系統(tǒng)，用以從上述多個(gè)橋接倉儲(chǔ)中選擇適合的橋接倉儲(chǔ)，預(yù)先儲(chǔ)存上述橋接倉儲(chǔ)群組的預(yù)定信息，當(dāng)接收到對(duì)應(yīng)上述跨廠傳輸路線的跨廠傳輸命令時(shí)，其中上述跨廠傳輸命令的起點(diǎn)設(shè)備及終點(diǎn)設(shè)備分別屬于上述第一群組及上述第二群組，取得上述跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)的上述橋接倉儲(chǔ)群組的實(shí)時(shí)信息，包含上述橋接倉儲(chǔ)群組中每一橋接倉儲(chǔ)的待處理命令數(shù)量及儲(chǔ)位使用量，以及根據(jù)上述待處理命令數(shù)量、儲(chǔ)位使用量及上述預(yù)定信息之中至少二項(xiàng)信息以選擇上述橋接倉儲(chǔ)群組的其中一者作為上述適合的橋接倉儲(chǔ)，以轉(zhuǎn)運(yùn)上述跨廠傳輸命令指定的該晶圓傳送盒。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的橋接倉儲(chǔ)的選擇系統(tǒng)，其中，上述橋接倉儲(chǔ)群組的上述預(yù)定信息包含上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)對(duì)應(yīng)上述跨廠傳輸路線的優(yōu)先權(quán)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的橋接倉儲(chǔ)的選擇系統(tǒng)，其中，上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)的優(yōu)先權(quán)是根據(jù)該橋接倉儲(chǔ)與上述第一群組的距離而決定。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的橋接倉儲(chǔ)的選擇系統(tǒng)，其中，上述橋接倉儲(chǔ)群組的上述預(yù)定信息包含上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)的多個(gè)加權(quán)值，包含上述優(yōu)先權(quán)的第一加權(quán)值、上述待處理命令數(shù)量的第二加權(quán)值以及上述儲(chǔ)位使用量的第三加權(quán)值。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的橋接倉儲(chǔ)的選擇系統(tǒng)，其中上述控制系統(tǒng)計(jì)算上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)的關(guān)鍵值，其中，上述橋接倉儲(chǔ)群組的第i個(gè)橋接倉儲(chǔ)的優(yōu)先權(quán)為P(i),待處理命令數(shù)量為C(i),儲(chǔ)位使用量為S(i),第一加權(quán)值為Wi(i)，第二加權(quán)值為W2(i)，第三加權(quán)值為W3(i),其中i為正整數(shù)，則上述第i個(gè)橋接倉儲(chǔ)的關(guān)鍵值R(i)為i(/)=尸")Xw,(/)+C(z')xw2(/)+鄧)xw3(0;以及上述控制系統(tǒng)選擇上述橋接倉儲(chǔ)群組中關(guān)鍵值最小的橋接倉儲(chǔ)作為上述適合的橋接倉儲(chǔ)。11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的橋接倉儲(chǔ)的選擇系統(tǒng)，其中，上述控制系統(tǒng)為上述第一晶圓廠或上述第二晶圓廠的其中一者的物料控制系統(tǒng)。12.—種橋接倉儲(chǔ)的選擇方法，用以從多個(gè)橋接倉儲(chǔ)中選擇適合的橋接倉儲(chǔ)，以在第一晶圓廠及第二晶圓廠之間轉(zhuǎn)運(yùn)至少一晶圓傳送盒，包含依據(jù)上述第一及第二晶圓廠的多個(gè)設(shè)備的布局方式，將上述多個(gè)設(shè)備分類為多個(gè)群組；根據(jù)上述多個(gè)群組指定二群組間一跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)的橋接倉儲(chǔ)群組，其中上述跨廠傳輸路線的起點(diǎn)及終點(diǎn)分別為第一群組及第二群組，其中上述第一群組位于上述第一及第二晶圓廠的其中一者內(nèi)，上述第二群組位于上述第一及第二晶圓廠的其中另一者內(nèi)；儲(chǔ)存上述橋接倉儲(chǔ)群組的預(yù)定信息，包含上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)對(duì)應(yīng)上述跨廠傳輸路線的優(yōu)先權(quán)以及每一橋接倉儲(chǔ)的多個(gè)加權(quán)值；當(dāng)接收到對(duì)應(yīng)上述跨廠傳輸路線的跨廠傳輸命令時(shí)，其中上述跨廠傳輸命令的起點(diǎn)設(shè)備及終點(diǎn)設(shè)備分別屬于上述第一群組及上述第二群組，取得上述跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)的上述橋接倉儲(chǔ)群組的實(shí)時(shí)信息，包含上述橋接倉儲(chǔ)群組中每一橋接倉儲(chǔ)的待處理命令數(shù)量及儲(chǔ)位使用量；以及計(jì)算上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)的關(guān)鍵值，其中，上述橋接倉儲(chǔ)群組的第i個(gè)橋接倉儲(chǔ)的優(yōu)先權(quán)為P(i),待處理命令數(shù)量為C(i)，儲(chǔ)位使用量為S(i),多個(gè)加權(quán)值wji)w:!(i)w3(i)，其中i為正整數(shù)，則上述第i個(gè)橋接倉儲(chǔ)的關(guān)鍵值R(i)為<formula>formulaseeoriginaldocumentpage0</formula>以及選擇上述橋接倉儲(chǔ)群組中關(guān)鍵值最小的橋接倉儲(chǔ)作為上述適合的橋接倉儲(chǔ)，以轉(zhuǎn)運(yùn)上述跨廠傳輸命令指定的該晶圓傳送盒。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的橋接倉儲(chǔ)的選擇方法，其中，上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)的優(yōu)先權(quán)是根據(jù)該橋接倉儲(chǔ)與上述第一群組的距離而決定。14.一種橋接倉儲(chǔ)的選擇系統(tǒng)，包含多個(gè)橋接倉儲(chǔ)，用以在第一晶圓廠及第二晶圓廠之間轉(zhuǎn)運(yùn)至少一晶圓傳送盒，其中上述第一及第二晶圓廠的多個(gè)設(shè)M照布局方式被分類為多個(gè)群組，上述多個(gè)群組的二群組間一跨廠傳輸路線被指定對(duì)應(yīng)橋接倉儲(chǔ)群組，其中上述跨廠傳輸路線的起點(diǎn)及終點(diǎn)分別為第一群組及第二群組，其中上述第一群組位于上述第一及第二晶圓廠的其中一者內(nèi)，上述第二群組位于上述第一及第二晶圓廠的其中另一者內(nèi)；以及控制系統(tǒng)，用以從上述多個(gè)橋接倉儲(chǔ)中選擇適合的橋接倉儲(chǔ)，上述控制系統(tǒng)預(yù)先儲(chǔ)存上述橋接倉儲(chǔ)群組的預(yù)定信息，包含上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)對(duì)應(yīng)上述跨廠傳輸路線的優(yōu)先權(quán)以及每一橋接倉儲(chǔ)的多個(gè)加權(quán)值，當(dāng)接收到對(duì)應(yīng)上述跨廠傳輸路線的跨廠傳輸命令時(shí)，其中上述跨廠傳輸命令的起點(diǎn)設(shè)備及終點(diǎn)設(shè)備分別屬于上述第一群組及上述第二群組，取得上述跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)的上述橋接倉儲(chǔ)群組的實(shí)時(shí)信息，包含上述橋接倉儲(chǔ)群組中每一橋接倉儲(chǔ)的待處理命令數(shù)量及儲(chǔ)位使用量，以及計(jì)算上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)的關(guān)鍵值，其中，上述橋接倉儲(chǔ)群組的第i個(gè)橋接倉儲(chǔ)的優(yōu)先權(quán)為P(i),待處理命令數(shù)量為C(i),儲(chǔ)位使用量為S(i)，多個(gè)加權(quán)值Wl(i)w2(i)w3(i)，其中i為正整數(shù)，則上述第i個(gè)橋接倉儲(chǔ)的關(guān)鍵值R(i)為<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>;以及其中上述控制系統(tǒng)選擇上述橋接倉儲(chǔ)群組中關(guān)鍵值最小的橋接倉儲(chǔ)作為上述適合的橋接倉儲(chǔ)，以轉(zhuǎn)運(yùn)上述跨廠傳輸命令指定的該晶圓傳送盒。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的橋接倉儲(chǔ)的選擇系統(tǒng)，其中，上述橋接倉儲(chǔ)群組的每一橋接倉儲(chǔ)的優(yōu)先權(quán)是根據(jù)該橋接倉儲(chǔ)與上述第一群組的距離而決定。16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的橋接倉儲(chǔ)的選擇系統(tǒng)，其中，上述控制系統(tǒng)為上述第一晶圓廠或上述第二晶圓廠的其中一者的物料控制系統(tǒng)。全文摘要一種橋接倉儲(chǔ)的選擇方法。首先，依據(jù)第一及第二晶圓廠的多個(gè)設(shè)備的布局方式，分類多個(gè)設(shè)備為多個(gè)群組。指定一跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)的橋接倉儲(chǔ)群組。上述跨廠傳輸路線的起點(diǎn)及終點(diǎn)分別為不同廠中的群組。當(dāng)接收到跨廠傳輸命令時(shí)，其中上述跨廠傳輸命令的起點(diǎn)設(shè)備及終點(diǎn)設(shè)備分別屬于上述跨廠傳輸路線的起點(diǎn)及終點(diǎn)，取得上述跨廠傳輸路線對(duì)應(yīng)的上述橋接倉儲(chǔ)群組的實(shí)時(shí)信息。根據(jù)上述取得的實(shí)時(shí)信息以選擇上述橋接倉儲(chǔ)群組的其中一者作為上述適合的橋接倉儲(chǔ)，以轉(zhuǎn)運(yùn)上述跨廠傳輸命令指定的晶圓傳送盒。文檔編號(hào)H01L21/677GK101236886SQ200710004740公開日2008年8月6日申請(qǐng)日期2007年1月30日優(yōu)先權(quán)日2007年1月30日發(fā)明者張仁俊,戴淑萍申請(qǐng)人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司