專利名稱：：檢測數(shù)據(jù)中異常點(diǎn)的去除方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造
技術(shù)領(lǐng)域：
，特別涉及一種檢測數(shù)據(jù)中異常點(diǎn)的去除方法。
背景技術(shù)：
：集成電路制作工藝是一種平面制作工藝，其結(jié)合光刻、刻蝕、沉積、離子注入等多種工藝，在同一襯底上形成大量各種類型的復(fù)雜器件，并將其互相連接以具有完整的電子功能。其中，任一步工藝出現(xiàn)問題，都可能會導(dǎo)致電路的制作失敗，因此，在現(xiàn)有技術(shù)中，常會對各步工藝的制作結(jié)果進(jìn)行檢測，如對薄膜的生長厚度、刻蝕的深度、光刻套刻的精度、器件的壽命等的檢測，并針對檢測得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，判斷各步工藝及制作出的各種器件的性能是否正常，以盡早發(fā)現(xiàn)工藝中所出現(xiàn)的問題。對于工藝中所出現(xiàn)的問題，越早發(fā)現(xiàn)，損失就會越小。為更好地對檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，2006年5月IO日公開的公開號為CN1770417A的中國專利申請?zhí)岢隽艘环N缺陷檢測及分類系統(tǒng)的數(shù)據(jù)分析方法，該方法從原始數(shù)據(jù)中選取需進(jìn)行分析的數(shù)據(jù)，對其進(jìn)行統(tǒng)計分析，再以圖表的方式表現(xiàn)出來，以幫助管理者檢測設(shè)備是否存在問題。但是該方法中并未涉及如何判斷數(shù)據(jù)中是否存在異常點(diǎn)(outlier)，以及對數(shù)據(jù)中的異常點(diǎn)如何進(jìn)行處理的問題。所謂異常點(diǎn)是指在實(shí)際檢測所測得的數(shù)據(jù)中，經(jīng)常會包含的一些顯著不同于其它數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)值，該類數(shù)據(jù)值與其他數(shù)據(jù)偏離較遠(yuǎn)，可能引起較大的殘差，并極大地影響回歸擬合的效果。異常點(diǎn)對于整個回歸模型來講只是特殊情況，但因其通常都是一些數(shù)值比其它數(shù)據(jù)要大很多或者小很多的樣本，這些樣本對整個模型擬合的影響十分大。圖l為包含異常點(diǎn)的數(shù)據(jù)分布情況示意圖，圖2為去除異常點(diǎn)后的數(shù)據(jù)分布情況示意圖，如圖l、2所示，兩圖中的左半部100和200表示的是檢測數(shù)據(jù)的柱狀分布圖，右半部110和210表示的是以對應(yīng)數(shù)據(jù)集為基礎(chǔ)進(jìn)行擬合的結(jié)果?？梢钥吹剑驗閳D1的數(shù)據(jù)點(diǎn)與圖2的數(shù)據(jù)點(diǎn)相比，多包含了一個異常點(diǎn)101,而該異常點(diǎn)的值遠(yuǎn)遠(yuǎn)偏離了其他的數(shù)據(jù)點(diǎn)102，這導(dǎo)致兩圖中的分布曲線103和203不再相同。另外，由圖l、圖2右半部的擬合結(jié)果中可以更明顯地看到異常點(diǎn)對于檢測結(jié)果的影響。包含異常點(diǎn)的圖l中對應(yīng)的擬合線lll的斜率，明顯不同于不包含異常點(diǎn)的圖2中對應(yīng)的擬合線211的斜率，前者為0.8373，后者為0.955545。而這一擬合結(jié)果的不同，會直接影響到能否正確判斷工藝是否超出控制(OOC，OutofControl),嚴(yán)重時，甚至?xí)?dǎo)致當(dāng)工藝已偏離至超出規(guī)格(OOS,OutofSpec)時，仍不能由檢測數(shù)據(jù)的結(jié)果得出結(jié)論。因此，如何能在檢測數(shù)據(jù)分析過程中正確地去除異常點(diǎn)，得到更能反映一般性規(guī)律的數(shù)據(jù)模型，對于正確地判斷半導(dǎo)體工藝中是否存在問題非常關(guān)鍵。目前，在工業(yè)領(lǐng)域中常用的異常點(diǎn)去除方法是Grubb方法，該方法先對檢測得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行排序，然后，針對所有數(shù)據(jù)中的一個端值進(jìn)行計算，判斷其是否為異常點(diǎn)。但是，該方法只能對單一的異常點(diǎn)進(jìn)行計算分析，對于"偽裝"(masking)的異常點(diǎn)，如有兩個相鄰的異常點(diǎn)的情況，其可能會無法分辨，出現(xiàn)漏判，從而使統(tǒng)計的分布結(jié)果出現(xiàn)偏差，而這對于及時發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體工藝中的問題是不利的。隨著集成電路的制作向超大規(guī)模集成電路(ULSI,UltraLargeScaleIntegration)發(fā)展，器件的關(guān)鍵尺寸不斷縮小，對各步工藝的要求不斷提高，相應(yīng)地，對各步工藝及器件性能的檢測及分析的要求也更為嚴(yán)格，而現(xiàn)有的Grubb異常點(diǎn)去除方法已不能滿足半導(dǎo)體工藝中分析檢測數(shù)據(jù)時的精度要求。為此，希望能夠提出一種新的異常點(diǎn)去除方法，以更準(zhǔn)確地對檢測數(shù)據(jù)中的異常點(diǎn)進(jìn)行去除，得到更為準(zhǔn)確的分析結(jié)果，更好地實(shí)現(xiàn)對半導(dǎo)體工藝的監(jiān)測。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供一種檢測數(shù)據(jù)中異常點(diǎn)的去除方法，以改善現(xiàn)有的檢測數(shù)據(jù)分析過程中異常點(diǎn)去除不準(zhǔn)確的問題。本發(fā)明提供的一種檢測數(shù)據(jù)中異常點(diǎn)的去除方法，包括步驟提供至少五個檢測數(shù)據(jù)；設(shè)定置信度及預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目，且所述預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目大于或等于2;計算所述檢測數(shù)據(jù)的平均值，得到第一平均值；計算每一個所述檢測數(shù)據(jù)與所述第一平均值的差值，并平方相加得到第一平方和；根據(jù)預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目將所述檢測數(shù)據(jù)分為預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)和非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)；計算所述非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)的平均值，得到第二平均值；計算每一個所述非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)與所述第二平均值的差值，并平方相加得到第二平方和；計算所述第二平方和與所述第一平方和的比值，得到偏離值；根據(jù)所述檢測數(shù)據(jù)的數(shù)目、置信度及預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目確定臨界值；比較所述偏離值與所述臨界值；根據(jù)所述比較結(jié)果確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目；根據(jù)所述實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目去除所述檢測數(shù)據(jù)中的異常點(diǎn)數(shù)據(jù)。其中，所述設(shè)定預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目將預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)設(shè)定為固定值，且所述固定值小于或等于所述檢測數(shù)據(jù)總數(shù)的二分之一。其中，確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目由以下步驟實(shí)現(xiàn)當(dāng)所述偏離值小于所述臨界值時，將所述預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目加1,再重復(fù)進(jìn)行由所述得到第一平均值到所述比較偏離值與臨界值的步驟，直到偏離值大于臨界值為止，確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目等于此時對應(yīng)的預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目減1;當(dāng)所述偏離值大于所述臨界值時，將所述預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目減1，再重復(fù)進(jìn)行由所述得到第一平均值到所述比較偏離值與臨界值的步驟，直到偏離值小于臨界值為止，確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目等于此時對應(yīng)的預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目。其中，在所述設(shè)定預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目之前，還包括觀察所述檢測數(shù)據(jù)確定預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目的步驟。此時，確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目由以下步驟實(shí)現(xiàn)當(dāng)所述偏離值小于所述臨界值時，確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目等于此時對應(yīng)的預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目；當(dāng)所述偏離值大于所述臨界值時，重新觀察所述檢測數(shù)據(jù)，重新設(shè)定預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目，再重復(fù)進(jìn)行由所述得到第一平均值到所述比較偏離值與臨界值的步驟，直至計算得到的所述偏離值小于所述臨界值為止，確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目等于此時對應(yīng)的預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目。另夕卜，在所述將所述檢測數(shù)據(jù)分為預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)和非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)的步驟由以下步驟實(shí)現(xiàn)分別計算每一個所述纟全測數(shù)據(jù)與所述第一平均值的差值的絕對值；將所述^r測數(shù)據(jù)按所述絕對值由小到大的順序進(jìn)行排序；按照所述預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目將排序后的所述檢測數(shù)據(jù)中位于后面的數(shù)據(jù)定義為預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)，其余的所述檢測數(shù)據(jù)定義為非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)。其中，所述去除異常點(diǎn)數(shù)據(jù)是由排序后的檢測數(shù)據(jù)中去除異常點(diǎn)數(shù)據(jù)。如果在對所述檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行排序時，還記錄了各所述檢測數(shù)據(jù)在排序前后的對應(yīng)關(guān)系，則所述去除異常點(diǎn)數(shù)據(jù)也可以是由排序前的^r測數(shù)據(jù)中去除異常點(diǎn)數(shù)據(jù)。本發(fā)明的去除方法中所述的檢測數(shù)據(jù)是測得的薄膜厚度、刻蝕深度、器件電性能參數(shù)、光刻套刻精度及器件可靠性參數(shù)中的一種。本發(fā)明的去除方法中所述異常點(diǎn)分別位于所述^r測數(shù)據(jù)的上、下限的兩側(cè)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明的沖企測數(shù)據(jù)中異常點(diǎn)的去除方法，利用Tietjen&Moore方法對檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行異常點(diǎn)的去除分析，實(shí)現(xiàn)對多個異常點(diǎn)的分析，防止了因異常點(diǎn)間的關(guān)聯(lián)性而導(dǎo)致的異常點(diǎn)漏判的問題，提高了異常點(diǎn)去除的準(zhǔn)確性。并因此可以得到更準(zhǔn)確的統(tǒng)計分布結(jié)果，提高了監(jiān)測半導(dǎo)體工藝的有效性。本發(fā)明的檢測數(shù)據(jù)中異常點(diǎn)的去除方法，可用于處理多種異常點(diǎn)情況，如可以用于傳統(tǒng)方法一般不適用的在檢測數(shù)據(jù)的上、下限均可能出現(xiàn)異常點(diǎn)的情況，對異常點(diǎn)的分析判斷更為全面，并可以提高對^r測數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析的準(zhǔn)確性。本發(fā)明的檢測數(shù)據(jù)中異常點(diǎn)的去除方法，既可以結(jié)合觀察及經(jīng)驗對確定的異常點(diǎn)數(shù)進(jìn)行驗證，也可以利用設(shè)定初始預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目，并逐漸增大的方法對實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目進(jìn)行循環(huán)計算，直至得到實(shí)際的異常點(diǎn)數(shù)目，防止了因主觀臆斷帶來的誤判問題。本發(fā)明的檢測數(shù)據(jù)中異常點(diǎn)的去除方法，可以利用數(shù)據(jù)庫程序自動實(shí)現(xiàn)，梯:作起來方便、靈活、快捷。圖1為包含異常點(diǎn)的數(shù)據(jù)分布情況示意圖；圖2為去除異常點(diǎn)后的數(shù)據(jù)分布情況示意圖；圖3為說明本發(fā)明第一實(shí)施例的異常點(diǎn)去除方法的流程圖；圖4為本發(fā)明第一實(shí)施例中的檢測數(shù)據(jù)分布示意圖；圖5為說明本發(fā)明第一實(shí)施例的偏離值計算的流程圖；圖6為說明本發(fā)明第三實(shí)施例的異常點(diǎn)去除方法的流程圖。具體實(shí)施方式為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實(shí)施方式做詳細(xì)的說明。本發(fā)明的處理方法應(yīng)用廣泛，下面是通過具體的實(shí)施例來加以說明，當(dāng)然本發(fā)明并不局限于以下的具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員所熟知的一般的替換無疑地涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。檢測數(shù)據(jù)中，異常點(diǎn)的存在會嚴(yán)重影響由檢測數(shù)據(jù)推出的數(shù)學(xué)模型。因此，在實(shí)際應(yīng)用中常需要對檢測數(shù)據(jù)中的異常點(diǎn)進(jìn)行去除。異常點(diǎn)產(chǎn)生的原因很多，其中大多數(shù)都是由人為錯誤所造成，比如數(shù)據(jù)登記錯誤，數(shù)據(jù)測量誤差，工藝的操作錯誤等，這類因人為因素導(dǎo)致的異常點(diǎn)應(yīng)該從數(shù)據(jù)中去除。另外，表現(xiàn)為異常點(diǎn)的數(shù)據(jù)也有可能是現(xiàn)實(shí)中客觀存在的數(shù)據(jù)，如某一工藝的設(shè)備老化后其工藝結(jié)果也可能會發(fā)生逐漸的偏差直至遠(yuǎn)遠(yuǎn)偏離正常數(shù)據(jù)集，這類因客觀因素導(dǎo)致的異常點(diǎn)不應(yīng)該單純地將其去除，需要對其進(jìn)行分析，判斷產(chǎn)生的原因，如果直接將代表設(shè)備問題的異常點(diǎn)去除，可能會導(dǎo)致工藝問題被掩蔽，不能及時發(fā)現(xiàn)并解決。正因為異常點(diǎn)的產(chǎn)生原因很多，數(shù)據(jù)中的異常點(diǎn)的表現(xiàn)形式也是多種多樣的，在一組檢測數(shù)據(jù)中，異常點(diǎn)可能出現(xiàn)在檢測數(shù)據(jù)的上限，可能出現(xiàn)在檢測數(shù)據(jù)的下限，還可能同時會出現(xiàn)多個異常點(diǎn)，且多個異常點(diǎn)之間還可能存在"偽裝"現(xiàn)象，這些都給異常點(diǎn)的發(fā)現(xiàn)及判斷帶來了困難。為提高對復(fù)雜的異常點(diǎn)進(jìn)行去除的準(zhǔn)確性，本發(fā)明公開了一種異常點(diǎn)的去除方法，該方法利用Tietjen&Moore方法對^r測^t據(jù)中的異常點(diǎn)進(jìn)行了分析判斷，圖3為說明本發(fā)明第一實(shí)施例的異常點(diǎn)去除方法的流程圖，下面結(jié)合圖3詳細(xì)介紹本發(fā)明第一實(shí)施例的異常點(diǎn)去除方法。首先，對工藝結(jié)果或器件參數(shù)進(jìn)行檢測，提供至少五個檢測數(shù)據(jù)(S301)。本實(shí)施例中，該檢測是針對光刻工藝的自動套刻結(jié)果進(jìn)行的，得到的檢測數(shù)據(jù)為上、下兩層光刻圖形間套刻的偏移量。假設(shè)本次檢測共得到15個數(shù)據(jù)點(diǎn)(單位:(im),表l為本發(fā)明第一實(shí)施例中的檢測數(shù)據(jù)列表。表l檢測數(shù)據(jù)列表<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>下面對這15個檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行具體分析計算，去除其中的異常點(diǎn)，保留符合一般規(guī)律的數(shù)據(jù)，以便能得到可以正確反映自動套刻機(jī)的套刻精度情況的擬合結(jié)果。在進(jìn)行數(shù)據(jù)分析之前，可以先設(shè)定置信度及預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目(S302)。其中，置信度的設(shè)定是由工藝要求決定的，具體可以設(shè)置為O.Ol、0.05、O.l等。對工藝檢測準(zhǔn)確性的要求越高，可以將置信度設(shè)定的越小。對于普通的半導(dǎo)體制造工藝，通常將置信度設(shè)置為0.05。本實(shí)施例中所用的異常點(diǎn)去除方法通常適用于異常點(diǎn)數(shù)目大于或等于2的情況，對于具體如何設(shè)定預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目(k)通常可以有兩種方法，一種是直接通過觀察檢測數(shù)據(jù)，確定最有可能的異常點(diǎn)數(shù)目，并將其設(shè)定為預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目(k)。圖4為本發(fā)明第一實(shí)施例中的檢測數(shù)據(jù)分布示意圖，如圖4所示，橫坐標(biāo)為檢測數(shù)值，縱坐標(biāo)為數(shù)據(jù)數(shù)目，圖中數(shù)據(jù)的柱狀分布401表明了在各個檢測數(shù)值范圍內(nèi)的數(shù)據(jù)數(shù)目，如可以看到，檢測數(shù)值在-0.3至-0.1之間的樣品數(shù)為4個，在0.1到0.3之間為3個。由圖4可以觀察到可能的異常點(diǎn)分別位于兩端，一個是-1.4,一個是l.Ol,其余的13個檢測數(shù)據(jù)則相對集中，應(yīng)該不屬于異常點(diǎn)，因此，可以取預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目為2，以驗證該兩點(diǎn)是否都為異常點(diǎn)。另一種則可以對于數(shù)量相同的數(shù)據(jù)，將預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目設(shè)定為固定值，該值通常要大于或等于2、小于或等于所述檢測數(shù)據(jù)數(shù)目的二分之一。如有50個檢測數(shù)據(jù)，預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目(k)可以設(shè)置為2個至25個中的任一個。再如本實(shí)施例中有15個檢測數(shù)據(jù)，可以將預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目(k)設(shè)置為2至7個，如4個。注意到這一固定值的設(shè)置應(yīng)當(dāng)結(jié)合經(jīng)驗來設(shè)置，如果以往的檢測數(shù)據(jù)中通常50個數(shù)據(jù)中的異常點(diǎn)數(shù)為5個，就可以直接將預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目(k)設(shè)置為5，以提高效率及準(zhǔn)確性。完成上述參數(shù)的設(shè)定后，可以針對異常點(diǎn)的分布情況，計算偏離值(S303)。本實(shí)施例中，檢測數(shù)據(jù)中的異常點(diǎn)數(shù)目可能會大于或等于2，且可能分別位于檢測數(shù)據(jù)的上、下限的兩側(cè)。此時，傳統(tǒng)的Grubb方法并不適用，利用該方法對異常點(diǎn)進(jìn)行去除分析，很可能會得到錯誤的結(jié)論。本發(fā)明采用了Tietjen&Moore方法針對異常點(diǎn)數(shù)目為預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目(k)的情況進(jìn)行了偏離值的計算。圖5為說明本發(fā)明第一實(shí)施例的偏離值計算的流程圖，下面結(jié)合圖5對本發(fā)明第一實(shí)施例中的偏離值的計算過程進(jìn)行詳細(xì)介紹首先，計算檢測數(shù)據(jù)Xi的平均值，得到第一平均值；(S501)。本實(shí)一ff施例中，計算得到的1=2^,./"=0.018。然后，計算各^r測數(shù)據(jù)與第一平均值的差值，并平方后相加，得到第一平方和(S502)。本實(shí)施例中計算得到的第一平方和為A—^=4.24964c接著，可以4艮據(jù)預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目將所有檢測數(shù)據(jù)分為預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)和非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)(S503)。其中，預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)是根據(jù)預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目，在所有檢測數(shù)據(jù)中提取出的偏離較遠(yuǎn)的數(shù)據(jù)，其數(shù)目的多少由預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目決定。非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)則是所述檢測數(shù)據(jù)中其余的數(shù)據(jù)。該步預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)與非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)的劃分既可以通過直接觀察檢測數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)，也可以通過對檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行計算及排序?qū)崿F(xiàn)。前者簡單方便，但易因人為的主觀因素造成誤判，且不能利用計算機(jī)自動完成。本實(shí)施例中，釆用了后一種方法，其具體實(shí)現(xiàn)步驟為A、計算各檢測數(shù)據(jù)與第一平均值的差值的絕對值。即，按公式r,=|x,-;l計算檢測數(shù)據(jù)與第一平均值間差的絕對值。表2為本發(fā)明第一實(shí)施例中的Xi與對應(yīng)的ri值列表。表2檢測數(shù)據(jù)與對應(yīng)的ij值列表<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>B、將各檢測數(shù)據(jù)按上述絕對值ri由小到大的順序進(jìn)行排序。排序中，可以只記錄下排序后的檢測數(shù)據(jù)，也可以同時記錄下各檢測數(shù)據(jù)所對應(yīng)的ri值，另外，為了能夠反映排序前、后的檢測數(shù)據(jù)的相關(guān)聯(lián)性，還可以將各檢測數(shù)據(jù)在排序前的記錄號記錄下來。表3為本發(fā)明第一實(shí)施例中的排序后的檢測數(shù)據(jù)列表，經(jīng)重新排序后的檢測數(shù)據(jù)的記錄號為Zj，其內(nèi)記錄的數(shù)據(jù)有檢測數(shù)據(jù)值、該檢測數(shù)據(jù)在第一數(shù)據(jù)庫中的記錄號、該檢測數(shù)據(jù)與第一平均值間的差值的絕對值。表3排序后的檢測數(shù)據(jù)列表<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>c、按照預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目將排序后的檢測數(shù)據(jù)中位于后面的數(shù)據(jù)定義為預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)，其余的所述檢測數(shù)據(jù)定義為非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)。本實(shí)施例中，設(shè)定的預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目為2,因此，對排序后的檢測數(shù)據(jù)中位于最后的兩個數(shù)據(jù)點(diǎn)作了標(biāo)記(*)處理，表明其為預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)。注意，這一標(biāo)記處理可以通過對對應(yīng)的記錄作標(biāo)記記號實(shí)現(xiàn)，也可以通過直接將這兩個數(shù)據(jù)刪除實(shí)現(xiàn)。表4為本發(fā)明第一實(shí)施例中的標(biāo)記預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)后的檢測數(shù)據(jù)列表。表4標(biāo)記預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)后的檢測數(shù)據(jù)列表<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>注意，如果采用觀察的方法劃分預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)和非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)，本步驟(S503)的執(zhí)行順序可以不受限，可以在S501前執(zhí)行，也可以在S502前執(zhí)行，當(dāng)然也可以在S502后執(zhí)行。即使采用了排序計算的方法，只要不刪除預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)，本步驟(S503)的執(zhí)行順序也可以不受限，至少可以與S502的執(zhí)行順序互換，(為了不重復(fù)計算第一平均值，其最好在S501后進(jìn)行)。這是因為本步數(shù)據(jù)劃分步驟(S503)至多只是檢測數(shù)據(jù)的排序發(fā)生了變化，而各個檢測數(shù)據(jù)本身都沒有變化，所以既可以利用排序前的檢測數(shù)據(jù)，也可以利用排序后的檢測數(shù)據(jù)計算笫一平均值或第一平方和，計算的結(jié)果都是相同的。其中，利用排序后的檢測數(shù)據(jù)計算第一平方和的公式為fS)2,本實(shí)施例中，其計算結(jié)果同樣等于4.24964。將檢測數(shù)據(jù)作完劃分后，計算所有非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)的平均值，得到第二平均值(S504)。本實(shí)施例中的第二平均值z=J]z,/"=0.051。再接著，計算每一個非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)與第二平均值的差值，再平方相加，得到第二平方和(S505)。本實(shí)施例中計算得到的第二平方和為然后，計算第二平方和與第一平方和的比值，得到偏離值Ek(S506)。計算出偏離值Ek后，根據(jù)檢測數(shù)據(jù)的數(shù)目、前面確定的置信度及預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目確定臨界值(S304)。臨界值的確定是由查表完成的，且不同的情況所適用的臨界值表是不同的。下面的表5為適用于本發(fā)明第一實(shí)施例的置信度為0.05時臨界值列表。表5置信度為0.05時的臨界值列表<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>其中n為檢測數(shù)據(jù)數(shù)目，k為預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目，k—l表示預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目為l，k—2表示預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目為2。注意表5中只是列出了部分臨界值，且表中各數(shù)值為臨界值的1000倍。另外，本步查表工作也可以提前至在S302完成后進(jìn)行。該臨界值列表可以事先存儲在計算機(jī)中，直接由程序根據(jù)參數(shù)調(diào)用，也可以由人為查表后，直接得到對應(yīng)的臨界值，對于人為查表的情況通常適用于檢測數(shù)據(jù)數(shù)目固定、置信度固定、預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目固定的情況。本實(shí)施例中，置信度為0.05,檢測數(shù)據(jù)數(shù)目為15,異常點(diǎn)數(shù)目為2，由表中查得的臨界值為0.317。接著，可以比較前面計算得到的偏離值Ek與查表得到的臨界值(S305)。如果偏離值小于臨界值，則^r測數(shù)據(jù)中存在的實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目不少于預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目k;如果偏離值Ek大于臨界值，則檢測數(shù)據(jù)中的實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目少于預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目k。本實(shí)施例中，計算得到的偏離值為0.292,小于查表所得的臨界值0.317,因此，觀察時認(rèn)為可能的兩個點(diǎn)-1.4和1.01實(shí)際都屬于異常點(diǎn)。再接著，可以由上述比較結(jié)果來確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目(S306)。本實(shí)施例中，如果明顯可以確認(rèn)或可以由經(jīng)驗確認(rèn)其他的數(shù)據(jù)點(diǎn)不會是異常點(diǎn)，此時，可以確定實(shí)際的異常點(diǎn)數(shù)目與預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目相同，為2個。此外，在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，或若本實(shí)施例中開始設(shè)定的預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目為3時，可能計算得到的偏離值會大于臨界值，以后者為例，此時，開始觀察認(rèn)定的3個點(diǎn)中至少有一個點(diǎn)不屬于異常點(diǎn)，應(yīng)該重新觀察各檢測^t據(jù)的分布情況，重新設(shè)定預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目，如為2,然后再重新進(jìn)行計算偏離值、確定臨界值、比較偏離值與臨界值的步驟，直至計算得到的偏離值小于臨界值為止，確定此時的預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目就為實(shí)際的異常點(diǎn)數(shù)目。在確定實(shí)際的異常點(diǎn)數(shù)目后，去除異常點(diǎn)凄t據(jù)(S307)。本步去除工作，既可以通過觀察檢測數(shù)據(jù)直接實(shí)現(xiàn)，也可以利用前面將檢測數(shù)據(jù)劃分為預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)和非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)時的排序、標(biāo)記結(jié)果來實(shí)現(xiàn)。對于后者，如果檢測順序?qū)τ跈z測結(jié)果的監(jiān)測有意義的話，可以根據(jù)排序后的檢測數(shù)據(jù)與排序前的檢測數(shù)據(jù)中各檢測數(shù)據(jù)的對應(yīng)關(guān)系，去除排序前的檢測數(shù)據(jù)中的對應(yīng)異常點(diǎn)數(shù)據(jù)。但如果檢測順序?qū)τ跈z測結(jié)果的監(jiān)測沒有意義的話，也可以直接利用標(biāo)記異常點(diǎn)后的排序后的檢測數(shù)據(jù)中未標(biāo)記的數(shù)據(jù)作為最終的符合一般規(guī)律的檢測數(shù)據(jù)集，進(jìn)4亍后續(xù)的擬合分析。表6為本發(fā)明第一實(shí)施例中的去除異常點(diǎn)后的檢測數(shù)據(jù)列表，該數(shù)據(jù)列表是通過去除排序前的檢測數(shù)據(jù)中的異常點(diǎn)數(shù)據(jù)而得到的，此時，其內(nèi)數(shù)據(jù)為按檢測順序得到的所有符合一般規(guī)律的檢測數(shù)據(jù)。對其進(jìn)行分析，得到的是反映檢測結(jié)果真實(shí)情況的擬合結(jié)果，可以實(shí)現(xiàn)對半導(dǎo)體工藝的良好監(jiān)測。表6去除異常點(diǎn)后的排序前的檢測數(shù)據(jù)列表x90.20-0.24XlO0.63x3-0.05Xii-0.30X40.18Xl2-0.13x50.48Xl30.10x6-0.44Xl40.39x7-0.22Xl5一_x80.06上述本發(fā)明的第一實(shí)施例中，采用了觀察的方法確定預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目，在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，為了防止主觀誤判，也可以采用固定預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目的方法。此時通常需要針對不同的k值進(jìn)行偏離值的循環(huán)計算，直至推出實(shí)際的異常點(diǎn)數(shù)目。本發(fā)明的第二實(shí)施例就針對固定預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目的情況進(jìn)行了介紹。本發(fā)明的第二實(shí)施例是對薄膜生長厚度的檢測結(jié)果進(jìn)行異常點(diǎn)的去除分析。假設(shè)本實(shí)施例中共有30個檢測數(shù)據(jù)，其置信度的要求仍為0.05。根據(jù)經(jīng)驗，其中的異常點(diǎn)數(shù)目通常在5個左右，因此，可以將預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目(k)固定設(shè)置為5。注意到采用固定預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目的方法是不需要對;險測數(shù)據(jù)進(jìn)行觀察的。設(shè)定好上述參數(shù)后，同樣可以利用Tietjen&Moore方法計算k二5時的偏離值(S501到S506),并查表得到此時的臨界值為0.298。接著，比較計算得到的偏離值與臨界值如果偏離值小于所述臨界值，表明5個點(diǎn)可能均為異常點(diǎn)，但因為此時不能確定其余的25個點(diǎn)中是否還有異常點(diǎn)，可以繼續(xù)進(jìn)行計算將預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目加1,即k=6,然后再重復(fù)進(jìn)行計算偏離值[即S303中所述的由得到第一平均值(S501)到得到偏離值(S506)的計算步驟]、確定臨界值、比較偏離值與臨界值的步驟，如果新的偏離值仍小于臨界值，則再將k加l，重復(fù)上述步驟，一直到計算得到的偏離值大于臨界值為止，表明增加一個預(yù)計異常點(diǎn)后，其中至少有一個不為異常點(diǎn)，則可以確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目等于此時對應(yīng)的預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目減1。至此，可以得到確切的實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目。如果第一次計算所得的偏離值大于臨界值，表明5個點(diǎn)中至少有一個不是異常點(diǎn)，此時將預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目減1,再重復(fù)進(jìn)行計算偏離值[即由得到第一平均值(S501)到得到偏離值(S506)的計算步驟]、確定臨界值、比較偏離值與臨界值的步驟，直到計算得到的偏離值小于臨界值為止，確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目等于此時對應(yīng)的預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目。在確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目后，再在^r測數(shù)據(jù)中去除對應(yīng)多個偏離最遠(yuǎn)的數(shù)據(jù)即可。如果在上述數(shù)據(jù)處理過程中對4全測數(shù)據(jù)進(jìn)行了排序處理，又沒有記錄下排序前后的才企測數(shù)據(jù)間的對應(yīng)關(guān)系，而在對沖企測數(shù)據(jù)進(jìn)行分析時又對檢測順序有要求時，也可以直接用觀察的方法將檢測數(shù)據(jù)中對應(yīng)多個的偏離最遠(yuǎn)的數(shù)據(jù)去除。得到?jīng)]有異常點(diǎn)的新檢測數(shù)據(jù)樣本后，對其進(jìn)行統(tǒng)計分析，就可以得到較為準(zhǔn)確的符合一般規(guī)律的擬合結(jié)果。本發(fā)明的第二實(shí)施例是通過經(jīng)驗值確定k值，但要注意到其中k的取值不能過于隨便，如果k的取值與實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目相比相差過大，可能會導(dǎo)致誤判。因此，可以采用經(jīng)驗與觀察相結(jié)合的方法確定k值，以確保k的取值與實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目相近，避免單純利用經(jīng)驗或觀察方法可能帶來的過于主觀臆斷的問題，提高異常點(diǎn)去除的準(zhǔn)確性及效率。另外，為了防止判斷上過于主觀臆斷，本發(fā)明的第三實(shí)施例采用了按k值由小到大的順序，直接對不同的k值下的偏離值進(jìn)行循環(huán)計算，確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目的方法。圖6為說明本發(fā)明第三實(shí)施例的異常點(diǎn)去除方法的流程圖，下面結(jié)合圖6對本發(fā)明的第三實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)介紹。本發(fā)明的第三實(shí)施例是對器件可靠性參數(shù)的#r測結(jié)果進(jìn)行異常點(diǎn)的去除分析。首先，對器件進(jìn)行測試，提供至少五個檢測數(shù)據(jù)(S601)。本實(shí)施例中，對制作完成的器件進(jìn)行可靠性測試，假設(shè)共測試得到50個檢測數(shù)據(jù)，需要對其進(jìn)行異常點(diǎn)去除分析。然后，設(shè)定置信度(S602)。本實(shí)施例中對置信度的要求設(shè)定為0.05,在其他實(shí)施例中，也可以設(shè)置為0.01或0.1等。接著，設(shè)定初始預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目(S603)。本實(shí)施例中將預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目(k)的初始值設(shè)置為2。注意到本實(shí)施例中采用的設(shè)定初始預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目的方法是不需要對檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行觀察的。設(shè)定好上述參數(shù)后，同樣可以利用Tietjen&Moore方法計算k=2時的偏離值(S604)，具體計算方法與上述第一實(shí)施例中的相同(S501至S506),在此不再贅述。接著，查表得到對應(yīng)此時的預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目的臨界值(S605)。本實(shí)施例中，檢測數(shù)據(jù)數(shù)目為50,置信度為0.05,預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目初始值為2,查表5得到此時的臨界值為0.684。再接著，比較計算得到的偏離值與查表得到的臨界值(S606)。如果偏離值小于臨界值，表明至少有2個點(diǎn)為異常點(diǎn)，但因為此時不能確定其余的48個點(diǎn)中是否還有異常點(diǎn)，可以繼續(xù)進(jìn)行計算將預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目加1(S607),即1^=3，然后再重復(fù)進(jìn)行計算偏離值(S604)、確定臨界值(S605)、比較偏離值與臨界值(S606)的步驟，如果新的偏離值仍小于臨界值，則再將k加1(S607),重復(fù)上述步驟，一直到計算得到的偏離值大于臨界值為止。一旦偏離值大于了臨界值，表明上一次增加了一個預(yù)計異常點(diǎn)后，至少有一個不為異常點(diǎn)，而再之前的一次則全為異常點(diǎn)，因此可以確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目等于上一次循環(huán)時的預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目，也即等于此時對應(yīng)的預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目減l。因此，通過將此時的預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目減1即可得到確切的實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目(S608)。但是，如果第一次k二2時計算所得的偏離值就大于了臨界值，表明檢測數(shù)據(jù)中最多有一個異常點(diǎn)，此時對異常點(diǎn)的去除將不適于采用Tietjen&Moore方法，而可以仍采用傳統(tǒng)的Grubb方法對單邊(只會出現(xiàn)在檢測數(shù)據(jù)上限或下限的一邊)、單個的異常點(diǎn)進(jìn)行分析判斷。在得到確切的實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目之后，去除^r測數(shù)據(jù)中的異常點(diǎn)數(shù)據(jù)(S609)。如果在分析檢測數(shù)據(jù)時，需要利用檢測數(shù)據(jù)的測試順序信息，而前面的異常點(diǎn)分析過程中采用的又是需要對檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行排序的方法，則可以在進(jìn)行偏離值計算過程中，記錄下排序前后的檢測數(shù)據(jù)間的對應(yīng)關(guān)系，然后，按照這一對應(yīng)關(guān)系去除排序前的、保留有測試順序信息的檢測數(shù)據(jù)中的對應(yīng)異常點(diǎn)數(shù)據(jù)，最后得到既保留有測試順序又符合一般規(guī)律的檢測數(shù)據(jù)。此外，如果在上述數(shù)據(jù)處理過程中沒有記錄下排序前后的檢測數(shù)據(jù)間的對應(yīng)關(guān)系，而在對檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行分析時又對檢測順序有要求時，也可以直接用觀察的方法將檢測數(shù)據(jù)中對應(yīng)多個的偏離最遠(yuǎn)的數(shù)據(jù)去除。如果在分析;險測數(shù)據(jù)時，不需要利用檢測數(shù)據(jù)的測試順序信息，也可以按照實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目直接將排序后的檢測數(shù)據(jù)中后面的檢測數(shù)據(jù)去除，余下的檢測數(shù)據(jù)即為滿足一般規(guī)律的非異常的檢測數(shù)據(jù)。去除檢測數(shù)據(jù)中的異常點(diǎn)后，就可以對其進(jìn)行統(tǒng)計分析，得到較為符合一般規(guī)律的擬合結(jié)果，實(shí)現(xiàn)了對半導(dǎo)體工藝較為準(zhǔn)確的監(jiān)測，提高了工藝監(jiān)測的靈敏度。上述本發(fā)明的異常點(diǎn)的去除方法，可以通過編制數(shù)據(jù)庫程序(如Excel程序、Foxpro程序、VB程序等)的方法事先存儲在計算機(jī)介質(zhì)上，并通過執(zhí)行該程序自動完成對檢測數(shù)據(jù)中的異常點(diǎn)的去除。該計算機(jī)介質(zhì)可以是電、磁或半導(dǎo)體的存儲介質(zhì)。另外，臨界值列表(如表5)也可以事先存儲在計算機(jī)中，直接由程序自動調(diào)用。實(shí)現(xiàn)起來方便快捷。本發(fā)明的上述實(shí)施例中的檢測數(shù)據(jù)是套刻精度和可靠性測試數(shù)據(jù)，在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，還可以利用本發(fā)明的方法對其他的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行異常點(diǎn)去除分析，如薄膜厚度、刻蝕深度、器件電性能參數(shù)(電壓、電流、漏電流、電阻、電容等)等。本發(fā)明的檢測數(shù)據(jù)中的異常點(diǎn)去除方法并不僅限于在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中的應(yīng)用，而是可以廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)領(lǐng)域中，如還可以應(yīng)用于機(jī)械、電子、醫(yī)學(xué)等工業(yè)領(lǐng)域中。本發(fā)明雖然以較佳實(shí)施例公開如上，但其并不是用來限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能的變動和修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以本發(fā)明權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。權(quán)利要求1、一種檢測數(shù)據(jù)中異常點(diǎn)的去除方法，其特征在于，包括步驟提供至少五個檢測數(shù)據(jù)；設(shè)定置信度及預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目，且所述預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目大于或等于2；計算所述檢測數(shù)據(jù)的平均值，得到第一平均值；計算每一個所述檢測數(shù)據(jù)與所述第一平均值的差值，并平方相加得到第一平方和；根據(jù)預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目將所述檢測數(shù)據(jù)分為預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)和非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)；計算所述非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)的平均值，得到第二平均值；計算每一個所述非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)與所述第二平均值的差值，并平方相加得到第二平方和；計算所述第二平方和與所述第一平方和的比值，得到偏離值；根據(jù)所述檢測數(shù)據(jù)的數(shù)目、置信度及預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目確定臨界值；比較所述偏離值與所述臨界值；根據(jù)所述比較結(jié)果確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目；根據(jù)所述實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目去除所述檢測數(shù)據(jù)中的異常點(diǎn)數(shù)據(jù)。2、如權(quán)利要求1所述的異常點(diǎn)的去除方法，其特征在于所述設(shè)定預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目將預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)設(shè)定為固定值，且所述固定值小于或等于所述檢測數(shù)據(jù)總數(shù)的二分之一。3、如權(quán)利要求2所述的異常點(diǎn)的去除方法，其特征在于確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目由以下步驟實(shí)現(xiàn)當(dāng)所述偏離值小于所述臨界值時，將所述預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目加1，再重復(fù)進(jìn)行由所述得到第一平均值到所述比較偏離值與臨界值的步驟，直到偏離值大于臨界值為止，確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目等于此時對應(yīng)的預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目減1;當(dāng)所述偏離值大于所述臨界值時，將所述預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目減1,再重復(fù)進(jìn)行由所述得到第一平均值到所述比較偏離值與臨界值的步驟，直到偏離值小于臨界值為止，確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目等于此時對應(yīng)的預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目。4、如權(quán)利要求1所述的異常點(diǎn)的去除方法，其特征在于在所述設(shè)定預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目之前，還包括觀察所述檢測數(shù)據(jù)確定預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目的步驟。5、如權(quán)利要求4所述的異常點(diǎn)的去除方法，其特征在于確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目由以下步驟實(shí)現(xiàn)當(dāng)所述偏離值小于所述臨界值時，確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目等于此時對應(yīng)的預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目；當(dāng)所述偏離值大于所述臨界值時，重新觀察所述斥全測數(shù)據(jù)，重新設(shè)定預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目，再重復(fù)進(jìn)行由所述得到第一平均值到所述比較偏離值與臨界值的步驟，直至計算得到的所述偏離值小于所述臨界值為止，確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目等于此時對應(yīng)的預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目。6、如權(quán)利要求1所述的異常點(diǎn)的去除方法，其特征在于在所述將所述檢測數(shù)據(jù)分為預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)和非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)的步驟由以下步驟實(shí)現(xiàn)分別計算每一個所述;f企測數(shù)據(jù)與所述第一平均值的差值的絕對值；將所述檢測數(shù)據(jù)按所述絕對值由小到大的順序進(jìn)行排序；按照所述預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目將排序后的所述檢測數(shù)據(jù)中位于后面的數(shù)據(jù)定義為預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)，其余的所述4全測數(shù)據(jù)定義為非預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)據(jù)。7、如權(quán)利要求6所述的異常點(diǎn)的去除方法，其特征在于所述去除異常點(diǎn)數(shù)據(jù)是由排序后的檢測數(shù)據(jù)中去除異常點(diǎn)數(shù)據(jù)。8、如權(quán)利要求6所述的異常點(diǎn)的去除方法，其特征在于對所述檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行排序時，還記錄了各所述檢測數(shù)據(jù)在排序前后的對應(yīng)關(guān)系。9、如權(quán)利要求8所述的異常點(diǎn)的去除方法，其特征在于所述去除異常點(diǎn)數(shù)據(jù)是由排序前的檢測數(shù)據(jù)中去除異常點(diǎn)數(shù)據(jù)。10、如權(quán)利要求1所述的異常點(diǎn)的去除方法，其特征在于所述檢測數(shù)據(jù)是測得的薄膜厚度、刻蝕深度、器件電性能參數(shù)、光刻套刻精度及器件可靠性參數(shù)中的一種。11、如權(quán)利要求1所述的異常點(diǎn)的去除方法，其特征在于所述異常點(diǎn)分別位于所述4全測數(shù)據(jù)的上、下限的兩側(cè)。全文摘要本發(fā)明公開了一種檢測數(shù)據(jù)中異常點(diǎn)的去除方法，包括步驟提供至少五個檢測數(shù)據(jù)；設(shè)定置信度及預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目；根據(jù)預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目計算偏離值；根據(jù)檢測數(shù)據(jù)數(shù)目、置信度及預(yù)計異常點(diǎn)數(shù)目確定臨界值；比較所述偏離值與所述臨界值；根據(jù)比較結(jié)果確定實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目；根據(jù)實(shí)際異常點(diǎn)數(shù)目去除檢測數(shù)據(jù)中的異常點(diǎn)數(shù)據(jù)。采用本發(fā)明的異常點(diǎn)的去除方法對檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行異常點(diǎn)去除，可以提高異常點(diǎn)去除的準(zhǔn)確性，并得到更準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)擬合結(jié)果，提高了半導(dǎo)體工藝監(jiān)測的有效性。文檔編號H01L21/66GK101330030SQ20071004234公開日2008年12月24日申請日期2007年6月21日優(yōu)先權(quán)日2007年6月21日發(fā)明者楊斯元,簡維廷,斌龔申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司