專利名稱：一種測試自動上料卸料機(jī)臺的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于芯片制造領(lǐng)域，具體涉及一種測試自動上料卸料機(jī)臺的方法。
背景技術(shù)：
目前，在半導(dǎo)體制造業(yè)，自動上料卸料機(jī)臺(Standard Merchanical Interface, SMIF)得到了廣泛應(yīng)用。SMIF附屬于其他設(shè)備，主要負(fù)責(zé)將要 加工的半導(dǎo)體晶圓/人POD (裝晶圓的容器)導(dǎo)入到加工才幾臺中(即上料)或 將加工完的晶圓從加工機(jī)臺導(dǎo)回POD中(即卸料)。SMIF有一個遠(yuǎn)程控制 才幾臺——工業(yè)自動4匕控制系統(tǒng)(Equipment Automation Program, EAP )， EAP能控制SMIF以及其他加工機(jī)臺進(jìn)行生產(chǎn)，最大限度地降低人工干預(yù)。
然而，EAP不能控制SMIF通信問題的情況經(jīng)常發(fā)生。相關(guān)技術(shù)人員通 常不能鑒別到底是SMIF本身引起的，還是由EAP控制系統(tǒng)的軟件或硬件 引起的，或者也可能是相關(guān)加工機(jī)臺引起的，需要進(jìn)行才企查。
在生產(chǎn)線上檢查這個問題會造成相關(guān)加工機(jī)臺當(dāng)機(jī)，影響了工廠的正常 生產(chǎn)，P爭低了生產(chǎn)效率；技術(shù)人員通常不得不去更換SMIF的配件來解決和 澄清這個問題，盡管那些電路板是完好的，這就浪費(fèi)了物質(zhì)資源和人力資源。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決測試SMIF故障成本過大的問題，本發(fā)明提出一種測試自動上 料卸料機(jī)臺的方法，提高了測試效率節(jié)約了物質(zhì)資源和人力資源。
本發(fā)明包括用于上鎖和解鎖功能是否正常的步驟；用于循環(huán)測試自動 上料卸料機(jī)臺的上料卸料功能是否正常的步驟；用于測試自動上料卸料機(jī)臺 讀寫電子標(biāo)簽功能是否正常的步驟；
所述的用于循環(huán)測試自動上料卸料機(jī)臺的上料卸料功能是否正常的步 驟通過在測試軟件上輸入要循環(huán)測試的次數(shù)，系統(tǒng)就能控制自動上料卸料機(jī) 臺進(jìn)行循環(huán)上料、卸料操作。
所述的用于循環(huán)測試自動上料卸料機(jī)臺的上料卸料功能是否正常的步 驟包括追蹤記錄功能。
所述追蹤記錄功能是在循環(huán)測試自動上料卸料機(jī)臺的上料卸料過程中， 將自動上料卸料機(jī)臺和電腦間的交互信息和上料卸料次數(shù)都記錄下來，以供 分析使用。 .
所述電腦和自動上料卸料機(jī)臺通過串行連接線相連。
所述的用于上鎖和解鎖功能是否正常的步驟能夠測試自動上料卸料機(jī) 臺對裝晶圓的容器的鎖定功能是否正常。
所述的用于測試自動上料卸料機(jī)臺讀寫電子標(biāo)簽功能是否正常的步驟 用于測試自動上料卸料機(jī)臺讀寫電子標(biāo)簽的功能是否正常，所述的電子標(biāo)簽 安裝在裝晶圓的容器上，用于記錄裝晶圓的容器的相關(guān)信息，所述的自動上 料卸料機(jī)臺通過讀所述的電子標(biāo)簽?zāi)軌蛘莆昭b晶圓的容器的工作和通訊狀 況。
本發(fā)明通過遠(yuǎn)程控制測試SMIF故障，不影響工廠的正常生產(chǎn)，提高了 生產(chǎn)效率；本發(fā)明不需經(jīng)常更換SMIF的配件，節(jié)約了物質(zhì)和人力資源。


圖1是測試準(zhǔn)備的軟件流程圖； 圖2是本發(fā)明的軟件測試流程圖； 圖3是本發(fā)明的連接圖。
具體實(shí)施例方式
以下結(jié)合本發(fā)明的具體實(shí)施例和附圖，對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。 圖1是測試準(zhǔn)備的軟件流程圖。如圖所示，首先要搭建測試環(huán)境，包括 軟件和硬件。所述硬件環(huán)境指準(zhǔn)備好測試用的電腦，用連接線和接口將SMIF 和電腦連接起來；所述軟件環(huán)境是指電腦上安裝好Windows操作系統(tǒng)和測試 軟件(LCT測試軟件，LPT Cycle Test)。然后打開LCT測試軟件，將測 試電腦和SMIF通過串口連接好。然后打開通訊端口測試測試電腦和SMIF 的連接是否成功。如果連接成功，便將SMIF的控制狀態(tài)切換到遠(yuǎn)程控制； 如果當(dāng)前SMIF的控制狀態(tài)已是遠(yuǎn)程控制狀態(tài)，激活SMIF內(nèi)部的所有事件， 使測試者能使用LCT測試軟件通過計(jì)算機(jī)監(jiān)測SMIF的運(yùn)行狀況，即搭建測 試環(huán)境完成，開始測試SMIF。
測試準(zhǔn)備設(shè)置完畢后就可以開始測試SMIF的各種功能。圖2是本發(fā)明 的軟件測試流程圖。如圖所示，首先測試上鎖和解鎖功能，所述上鎖和解鎖 功能結(jié)束測試后便開始循環(huán)測試SMIF的上料和卸料功能。所述測試SMIF 的上料卸料功能是本發(fā)明的主要目的，在測試軟件上輸入要循環(huán)測試的次 數(shù)，系統(tǒng)就能控制SMIF進(jìn)行循環(huán)上料、卸料操作。測試人員可以通過事件
追蹤窗口監(jiān)控SMIF的動作，以便異常發(fā)生時找出問題所在。之后，開始測 試SMIF讀寫電子標(biāo)簽(SMART-TAG)的功能，所述電子標(biāo)簽依附于POD 上，里面記錄了 POD的相關(guān)信息。結(jié)束所有測試項(xiàng)目。
循環(huán)測試SMIF的自動上料卸料功能是本發(fā)明的主要目的。技術(shù)人員可 以設(shè)定任意需要的次數(shù)在EAP的控制下來循環(huán)測試。比如，技術(shù)人員設(shè)定 循環(huán)次數(shù)為1000次，如果在第500次的時候出現(xiàn)問題，可以推測這是由于 發(fā)熱等外部原因?qū)е碌?；如果在?0次的時候出現(xiàn)問題，就可以斷定這是 SMIF功能出現(xiàn)了問題，需要更換SMIF。因此，本發(fā)明可以脫離生產(chǎn)線在維 修車間測試SMIF與EAP之間的通信狀態(tài)，測試EAP的重復(fù)性和可靠性。 另外，所述循環(huán)測試SMIF的上料卸料功能包括追蹤紀(jì)錄功能。所述追蹤記
料卸料次數(shù)都記錄下來，以供分析時使用。如果SMIF在循環(huán)測試中非正常 的中斷，我們可以追蹤錯誤發(fā)生的時間和SMIF是在執(zhí)行EAP哪一個命令 時出錯，從而判斷是哪一部分發(fā)生了問題。
在上料和卸料的時候，SMIF可以把POD鎖定在SMIF上。本發(fā)明的上 鎖和解鎖功能就能夠測試SMIF對POD的鎖定功能是否正常。
在半導(dǎo)體晶圓廠，為了方便起見需要在每個POD上安裝一個電子標(biāo)簽， 用于記錄POD的相關(guān)信息，SMIF通過讀電子標(biāo)簽?zāi)軌蛘莆誔OD的工作和 通訊狀態(tài)。本發(fā)明能夠測試SMIF讀寫電子標(biāo)簽功能是否正常。
基于上述功能，我們能夠掌握足夠的信息去判斷SMIF發(fā)生問題的狀況， 使我們能夠直接的采取準(zhǔn)確的故障排除動作，最大化的減少維修成本和生產(chǎn) 機(jī)臺的當(dāng)機(jī)時間，為用戶創(chuàng)造最大化的效益。
圖3是本發(fā)明的連接圖。裝備有本發(fā)明的電腦和SMIF通過串行連接線
連接起來。所述電腦向所述SMIF發(fā)送建立通訊信號，如連接成功，SMIF 向電腦返回通訊確認(rèn)信號；所述電腦向SMIF發(fā)送各種命令，包括上鎖、解 鎖、上料、卸料等，SMIF向電腦反饋確認(rèn)收到命令的確認(rèn)信息；所述電腦 向SMIF發(fā)送各種事件信息，包括上鎖完成、解鎖完成，上料完成、卸料完 成等，SMIF向電腦反饋收到事件的確認(rèn)信息；所述電腦向SMIF發(fā)送讀寫 電子標(biāo)簽的信息，SMIF向電腦反々赍電子標(biāo)簽的確認(rèn)信息。
以上所述僅為發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明。凡在本 發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含 在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種測試自動上料卸料機(jī)臺的方法，其特征在于包括用于上鎖和解鎖功能是否正常的步驟；用于循環(huán)測試自動上料卸料機(jī)臺的上料卸料功能是否正常的步驟；用于測試自動上料卸料機(jī)臺讀寫電子標(biāo)簽功能是否正常的步驟；
2. 如權(quán)利要求1所述的一種測試自動上料卸料機(jī)臺的方法，其特征在 于所述的用于循環(huán)測試自動上料卸料機(jī)臺的上料卸料功能是否正常的步驟 通過在測試軟件上輸入要循環(huán)測試的次數(shù)，系統(tǒng)就能控制自動上料卸料機(jī)臺 進(jìn)行循環(huán)上料、卸料操作。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的一種測試自動上料卸料機(jī)臺的方法，其特 征在于所述的用于循環(huán)測試自動上料卸料機(jī)臺的上料卸料功能是否正常的 步驟包括追蹤記錄功能。
4. 如權(quán)利要求3所述的一種測試自動上料卸料機(jī)臺的方法，其特征在 于所述追蹤記錄功能是在循環(huán)測試自動上料卸料機(jī)臺的上料卸料過程中， 將自動上料卸料機(jī)臺和電腦間的交互信息和上料卸料次數(shù)都記錄下來，以供 分析使用。
5. 如權(quán)利要求4所述的一種測試自動上料卸料機(jī)臺的方法，其特征在 于所述電腦和自動上料卸料機(jī)臺通過串行連接線相連。
6. 如權(quán)利要求1所述的一種測試自動上料卸料機(jī)臺的方法，其特征在 于所述的用于上鎖和解鎖功能是否正常的步驟能夠測試自動上料卸料機(jī)臺 對裝晶圓的容器的鎖定功能是否正常。
7. 如權(quán)利要求1所述的一種測試自動上料卸料機(jī)臺的方法，其特征在于所述的用于測試自動上料卸料機(jī)臺讀寫電子標(biāo)簽功能是否正常的步驟用 于測試自動上料卸料機(jī)臺讀寫電子標(biāo)簽的功能是否正常，所述的電子標(biāo)簽安 裝在裝晶圓的容器上，用于記錄裝晶圓的容器的相關(guān)信息，所述的自動上料 卸料機(jī)臺通過讀所述的電子標(biāo)簽?zāi)軌蛘莆昭b晶圓的容器的工作和通訊狀況。
全文摘要
一種測試自動上料卸料機(jī)臺的方法，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，包括用于上鎖和解鎖功能是否正常的步驟；用于循環(huán)測試自動上料卸料機(jī)臺的上料卸料功能是否正常的步驟；用于測試SMIF讀寫電子標(biāo)簽功能是否正常的步驟。本發(fā)明能通過遠(yuǎn)程控制測試SMIF的故障，提高了生產(chǎn)效率，節(jié)約了物質(zhì)和人力資源。
文檔編號H01L21/00GK101350288SQ20071004405
公開日2009年1月21日 申請日期2007年7月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月20日
發(fā)明者趙連永, 峰 陳 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司