專利名稱：Tcp處理設(shè)備以及tcp處理設(shè)備的不良沖除孔的檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及為了測(cè)試作為IC器件中的一種的TCP(帶載封裝；Tape carrier package)或COF(薄膜上芯片；chip on film)(以下，利用TCP、COF、以及TAB(載帶自動(dòng)鍵合；Tape automated bonding)封裝技術(shù)而制造的器件統(tǒng)稱為TCP。)而使用的TCP處理設(shè)備，尤其涉及能夠根據(jù)測(cè)試結(jié)果、檢測(cè)出在對(duì)規(guī)定的TCP進(jìn)行沖除時(shí)所形成的不良沖除孔的位置的TCP處理設(shè)備，以及TCP處理設(shè)備的不良沖除孔的檢測(cè)方法。
背景技術(shù)：
在IC器件等電子產(chǎn)品的制造過程中，需要最終對(duì)所制造的IC器件或制造過程中間階段的器件等的性能或功能進(jìn)行測(cè)試的電子產(chǎn)品測(cè)試設(shè)備，對(duì)TCP情況而言，使用用于TCP的測(cè)試設(shè)備。
用于TCP的設(shè)備，通常由測(cè)試儀主體、測(cè)試頭、和TCP處理設(shè)備(以下，也可稱為“TCP處理機(jī)”)構(gòu)成。該TCP處理機(jī)，通過傳送在卷帶(也包括薄膜。下同。)上形成了多個(gè)TCP的載帶，將載帶按壓到與測(cè)試頭電連接的探針板的探針上，使TCP的外部端子與探針相接觸，依次測(cè)試多個(gè)TCP。然后，利用沖除裝置(不合格品沖桿)將測(cè)試結(jié)果判斷為不合格品的TCP沖除來從承載帶上除去。

發(fā)明內(nèi)容
但是，如果沖除裝置的沖除位置偏移，有可能把與不合格品的TCP相鄰的位置上的合格品的TCP切割掉。此時(shí)，有可能因沖除裝置而使不合格品的TCP作為合格品的TCP流出。尤其，近年來，由于載帶上的TCP密度很高，容易引起所述問題。
鑒于這種實(shí)際情況，本發(fā)明的目的在于，提供能夠檢測(cè)出沖除孔的位置不良的TCP處理設(shè)備，以及TCP處理設(shè)備的不良沖除孔的檢測(cè)方法。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的第1方面在于，提供一種將形成了多個(gè)TCP的載帶傳送到與測(cè)試頭電連接的接觸部分，并依次測(cè)試多個(gè)TCP的TCP處理設(shè)備，其特征在于包括在測(cè)試后從承載帶上對(duì)規(guī)定的TCP進(jìn)行沖除的沖除裝置；能夠拍攝由上述沖除而形成的沖除孔的攝像裝置；利用由上述攝像裝置所拍攝的沖除孔的圖像數(shù)據(jù)，獲得該沖除孔的位置信息的位置信息獲得裝置；以及通過將由上述位置信息獲得裝置所獲得的沖除孔信息與基準(zhǔn)位置信息進(jìn)行比較，來檢測(cè)沖除孔的位置不良的位置不良檢測(cè)裝置(發(fā)明1)。
根據(jù)上述發(fā)明(發(fā)明1)，由于能夠自動(dòng)地檢測(cè)出沖除孔的位置不良，因此，能夠根據(jù)其結(jié)果，通過停止TCP處理設(shè)備，或通過調(diào)整沖除裝置的沖除位置，來防止TCP的不合格品的產(chǎn)生。
在上述發(fā)明(發(fā)明1)中，上述基準(zhǔn)位置信息既可以是作為基準(zhǔn)的沖除孔的位置信息(發(fā)明2)，也可以是由上述攝像裝置所拍攝的載帶上的規(guī)定圖形的位置信息(發(fā)明3)。另外，作為“規(guī)定圖形”，雖然例舉了例如與帶齒卷盤的齒配合的孔(齒孔)，或?qū)?zhǔn)標(biāo)記等，但不僅限于此。
在上述發(fā)明(發(fā)明1)中，優(yōu)選地，還包括當(dāng)利用上述位置不良檢測(cè)裝置檢測(cè)出不良沖除孔的位置時(shí)，發(fā)出警報(bào)的警報(bào)裝置(發(fā)明2)。
在上述發(fā)明(發(fā)明4)中，上述位置不良檢測(cè)裝置能夠根據(jù)上述沖除孔的位置與上述基準(zhǔn)位置信息的比較，檢測(cè)位置偏移量大的第1沖除孔的位置不良、和位置偏移量小的第2沖除孔的位置不良；也可以在當(dāng)檢測(cè)出上述第1沖除孔位置不良時(shí)，停止TCP處理設(shè)備的驅(qū)動(dòng)，而當(dāng)檢測(cè)出上述第2沖除孔位置不良時(shí)，利用上述警報(bào)裝置發(fā)出警報(bào)(發(fā)明5)。這里，“位置偏移量大”是指，例如，已經(jīng)產(chǎn)生了TCP的不合格品，或大到馬上就能夠產(chǎn)生TCP的不合格品程度的位置偏移量；“位置偏移量小”是指，例如，雖然不是立刻產(chǎn)生TCP的不合格品的程度，但能夠開始識(shí)別位置偏移的程度的小的位置偏移量。
根據(jù)上述發(fā)明(發(fā)明5)，當(dāng)沖除孔的位置偏移量大時(shí)，能夠防止TCP的不合格品的大量產(chǎn)生；當(dāng)沖除孔的位置偏移量小時(shí)，不僅能夠維持盡量高的測(cè)試設(shè)備使用率，而且能夠事先防止TCP的不合格品的產(chǎn)生。
在上述發(fā)明(發(fā)明1)中，上述沖除裝置也可以利用上述位置不良檢測(cè)裝置根據(jù)上述沖除孔的位置信息與上述基準(zhǔn)位置信息的比較，進(jìn)行沖除位置的位置調(diào)整(發(fā)明6)。
根據(jù)所述發(fā)明(發(fā)明6)，可以事先防止TCP不良品的發(fā)生，且不必停止測(cè)試裝置的動(dòng)作，因此可以提高測(cè)試的吞吐量。
本發(fā)明的第2方面，提供了一種檢測(cè)在TCP處理裝置中由沖除而在載帶上形成的沖除孔的位置不良的方法，其特征在于包括以下步驟拍攝由沖除所形成的沖除孔；根據(jù)上述所拍攝的沖除孔的圖像數(shù)據(jù)，獲得該沖除孔的位置信息；以及將上述所獲得的沖除孔的位置信息與基準(zhǔn)位置信息進(jìn)行比較，來檢測(cè)沖除孔的位置不良(發(fā)明7)。
在上述發(fā)明(發(fā)明7)中，優(yōu)選地，還包括當(dāng)檢測(cè)出沖除孔的位置不良時(shí)發(fā)出警報(bào)的步驟(發(fā)明8)。
在上述發(fā)明(發(fā)明7)中，優(yōu)選地，在檢測(cè)上述沖除孔的位置不良的步驟中還包括通過將上述沖除孔的位置信息與上述基準(zhǔn)位置信息進(jìn)行比較，檢測(cè)位置偏移量大的第1沖除孔位置不良、和位置偏移量小的第2沖除孔位置不良；作為其之后的步驟，還包括當(dāng)檢測(cè)出上述第1沖除孔位置不良時(shí)，停止TCP處理設(shè)備；當(dāng)檢測(cè)出上述第2沖除孔的位置不良時(shí)，發(fā)出警報(bào)的步驟(發(fā)明9)。
在上述發(fā)明(發(fā)明7)中，還包括根據(jù)在檢測(cè)上述沖除孔的位置不良的步驟中對(duì)上述沖除孔的位置信息與上述基準(zhǔn)信息的比較，進(jìn)行沖除位置的位置調(diào)整的步驟(發(fā)明10)。
根據(jù)本發(fā)明，能夠檢測(cè)出沖除孔的位置不良，據(jù)此能夠謀求防止由沖除孔的位置不良所引起的TCP的不合格品。


圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的包含TCP處理機(jī)的TCP用測(cè)試設(shè)備的整體正面圖。
圖2示出在相同的實(shí)施方式的TCP處理機(jī)中，利用攝像裝置所拍攝的載帶(沖除孔)的圖像。
圖3是說明檢測(cè)在相同的實(shí)施方式的TCP處理機(jī)中的不良沖除孔動(dòng)作的流程圖。
具體實(shí)施例方式
以下參考附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。
圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的包括TCP處理機(jī)的TCP用測(cè)試設(shè)備的整體正面圖；圖2示出在相同的實(shí)施方式的TCP處理機(jī)中，利用攝像裝置所拍攝的載帶(沖除孔)的圖像；圖3是說明檢測(cè)在相同的實(shí)施方式的TCP處理機(jī)中的不良沖除孔的動(dòng)作的流程圖。
首先，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的包含處理機(jī)的TCP用測(cè)試設(shè)備的整體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。
如圖1所示，TCP用測(cè)試設(shè)備1由圖中未示出的測(cè)試儀主體、與測(cè)試儀主體電連接的測(cè)試頭10、和設(shè)置在測(cè)試頭10上側(cè)的TCP處理機(jī)2構(gòu)成。
在測(cè)試頭10的上部，安裝了具有能夠與TCP外部端子接觸的多個(gè)探針(接觸端子)81的探針板8。
TCP處理機(jī)2通過傳送載帶5，依次測(cè)試沿載帶5的長度方向在載帶5上排列形成的各個(gè)TCP的裝置。另外，如圖2所示，在載帶5的兩邊形成了齒孔52。
如圖1所示，TCP處理機(jī)2具有卷出卷軸21和卷取卷軸22。在卷出卷軸21上卷裹著測(cè)試前的載帶5，載帶5從卷出卷軸21卷出，并在進(jìn)行測(cè)試后被傳送以使得卷裹在卷取卷軸22上。
在卷出卷軸21與卷取卷軸22之間，設(shè)置了將從載帶5剝離下來的保護(hù)卷帶51從卷出卷軸21支起并引導(dǎo)到卷取卷軸22的3個(gè)支撐卷軸23a、23b和23c。各個(gè)支撐卷軸23a、23b、23c分別能夠上下活動(dòng)，使得能夠調(diào)整保護(hù)帶51的張力。
在卷出卷軸21的下側(cè)，設(shè)置有卷帶導(dǎo)向裝置24a、卷出限制輥25a、入側(cè)次鏈輪25b和入側(cè)導(dǎo)向輥25c，從卷出卷軸21所卷出的載帶5通過卷帶導(dǎo)向裝置24a而被引導(dǎo)，并經(jīng)過卷出限制輥25a、入側(cè)次鏈輪25b以及入側(cè)導(dǎo)向輥25c，被傳送到推動(dòng)裝置3中。
卷取卷軸22的下側(cè)，設(shè)置有卷帶導(dǎo)向裝置24b、卷取限制輥25f、出側(cè)次鏈輪25e以及出側(cè)導(dǎo)向輥25d，在推動(dòng)裝置3中進(jìn)行測(cè)試之后的載帶5通過帶導(dǎo)向裝置24b而被引導(dǎo)，并且經(jīng)過出側(cè)卷帶導(dǎo)向輥25d、出側(cè)次鏈輪25e以及卷取限制輥25f而被卷裹在卷取卷軸22上。
在入側(cè)導(dǎo)向輥25c和出側(cè)導(dǎo)向輥25d之間，設(shè)置有推動(dòng)裝置3。在推動(dòng)裝置3的框架(推動(dòng)裝置框架)36上，經(jīng)由鏈輪361安裝有能夠使圓頭螺釘32旋轉(zhuǎn)的伺服電機(jī)31，同時(shí)，經(jīng)由2個(gè)Z軸方向的線性運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向裝置37安裝有與圓頭螺釘32螺合的推動(dòng)裝置主體部分33。該推動(dòng)裝置主體部分33，通過伺服發(fā)動(dòng)機(jī)31的驅(qū)動(dòng)，能夠一邊被線性運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向裝置37導(dǎo)向，一邊在上下(Z軸)方向上移動(dòng)。
在該推動(dòng)裝置主體部分33的下端部設(shè)置了能夠通過吸引空氣而吸附保持載帶5的吸附板34。在推動(dòng)裝置主體部分33的前級(jí)側(cè)(圖1中左側(cè))設(shè)置了張力鏈輪35a，在推動(dòng)裝置主體部分33的后級(jí)側(cè)(圖1中的右側(cè))設(shè)置了主鏈輪35b。
在推動(dòng)裝置3的前級(jí)側(cè)(圖1中左側(cè))設(shè)置有第1照相機(jī)6a，在推動(dòng)裝置3的下側(cè)設(shè)置有第2照相機(jī)6b，在推動(dòng)裝置3的后級(jí)側(cè)(圖1中右側(cè))設(shè)置有第3照相機(jī)6c。另外，在推動(dòng)裝置3與第3照相機(jī)6c之間，設(shè)置有標(biāo)記沖桿26a和不合格品沖桿26b。
標(biāo)記沖桿26a根據(jù)測(cè)試結(jié)果，對(duì)相應(yīng)的TCP、在規(guī)定的位置上打一個(gè)或多個(gè)孔。不合格品沖桿26b將測(cè)試結(jié)果被判斷為不合格品的TCP沖除。本實(shí)施方式中的步合格品沖桿26b，具有在X軸/Y軸方向上調(diào)整沖除位置的功能。
各照相機(jī)6a、6b、6c與圖中未示出的圖像處理裝置相連接。第1照相機(jī)6a拍攝載帶5，并將圖像數(shù)據(jù)傳送到圖像處理裝置中，用于對(duì)TCP的有無進(jìn)行判斷。第2照相機(jī)6b拍攝TCP的外部端子以及探針板8的探針81的尖端部分，并將圖像數(shù)據(jù)傳送到圖像處理裝置中，用于TCP與探針81的位置對(duì)準(zhǔn)等。第3照相機(jī)6c拍攝載帶5，將圖像傳送到圖像處理裝置中，用于如后所述的判斷沖除孔的有無、以及取得沖除孔的位置信息。各照相機(jī)6a、6b、6c所拍攝的圖像能夠在監(jiān)視器(未圖示)上顯示。
在與夾著傳送帶5的第2照相機(jī)6b相對(duì)的位置上，設(shè)置有背光61。當(dāng)利用該背光61將光照射到載帶5上時(shí)，則從形成于載帶5上的沖除孔53透過光線，能夠利用第2照相機(jī)6b獲得清楚的沖除孔53的圖像(參照?qǐng)D2)。
上述的圖像處理裝置能夠根據(jù)第3照相機(jī)6c所取得的沖除孔53的圖像數(shù)據(jù)，計(jì)算出該沖除孔53的重心坐標(biāo)(絕對(duì)坐標(biāo))。另外，上述圖像處理裝置能夠存儲(chǔ)作為基準(zhǔn)的沖除孔的基準(zhǔn)坐標(biāo)，并且能夠根據(jù)該基準(zhǔn)坐標(biāo)和沖除孔53的重心坐標(biāo)，計(jì)算出沖除孔53的位置偏移量。另外，上述圖像處理裝置存儲(chǔ)2類位置偏移量的基準(zhǔn)值，即位置偏移量大的第1基準(zhǔn)值(X1，Y1)以及位置偏移量小的第2基準(zhǔn)值(X2，Y2)。
另外，TCP處理機(jī)2具有揚(yáng)聲器、蜂鳴器、警告燈等報(bào)警裝置(未圖示)。
在上述說明的測(cè)試裝置1中，將載帶5上的TCP傳送到探針板8上，并利用推動(dòng)裝置3按壓到探針板8上。因此，TCP的外部端子成為與探針板8上的探針81相接觸的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，來自測(cè)試儀主體的測(cè)試信號(hào)施加到TCP上，從TCP讀出的響應(yīng)信號(hào)通過測(cè)試頭10傳送到測(cè)試儀主體?；谠擁憫?yīng)信號(hào)來測(cè)試TCP的性能等，進(jìn)行對(duì)TCP通過判斷(合格品判斷)或失敗判斷(不合格品判斷)。
對(duì)于上述進(jìn)行了失敗判斷的TCP，利用不合格品沖桿26b沖除，從載帶5上除去。這里，參照附圖3的流程圖，對(duì)TCP處理機(jī)2的不良沖除孔的檢測(cè)動(dòng)作進(jìn)行說明。
載帶5從推動(dòng)裝置3穿過標(biāo)記沖桿26a和不合格品沖桿26b而被傳送后，第3照相機(jī)6c拍攝載帶5(步驟S01)，所得到的圖像數(shù)據(jù)傳輸?shù)綀D像處理裝置中，并在監(jiān)視器中顯示該圖像(步驟S02)。在監(jiān)視器中表示的圖像例如圖2所示。在圖2中，載帶5上形成了由不合格品沖桿26b沖除TCP而形成的沖除孔53。
圖像處理裝置根據(jù)接收到的圖像數(shù)據(jù)，判斷沖除孔53的有無(步驟S03)。在判斷為沒有沖除孔53的情況下(步驟S03的“否”分支)，省略后述的步驟S11。在判斷有沖除孔53的情況下(步驟S03的“是”分支)，獲得該沖除孔53的重心坐標(biāo)(步驟S04)。
然后，圖像處理裝置根據(jù)成為基準(zhǔn)的沖除孔的基準(zhǔn)坐標(biāo)和所獲得的沖除孔53的重心坐標(biāo)，計(jì)算沖除孔53的X軸方向以及Y軸方向的位置偏移量(ΔX，ΔY)(步驟S05)，判斷其位置偏移量(ΔX，ΔY)是否大于等于第1基準(zhǔn)值(X1，Y1)(步驟S06)。具體地，判斷是否至少滿足ΔX≥X1，ΔY≥Y1中的一個(gè)。第1基準(zhǔn)值X1例如可以是0.5mm，第1基準(zhǔn)值Y1例如可以是0.2mm。
在位置偏移量(ΔX，ΔY)大于等于第1基準(zhǔn)值(X1，Y1)的情況下(步驟S06的“是”分支)，由于位置偏移量大而發(fā)生了TCP不合格品或發(fā)生不合格品的概率高，因此，停止TCP處理機(jī)2的動(dòng)作(步驟S07)。由于該TCP處理機(jī)2的自動(dòng)停止，因此，不用等待由操作員(大多不在測(cè)試設(shè)備1附近)手動(dòng)停止，能夠防止大量產(chǎn)生TCP的不合格品。
而在位置偏移量(ΔX，ΔY)未達(dá)到第1基準(zhǔn)值(X1，Y1)的情況下(步驟S06的“否”分支)，圖像處理裝置繼續(xù)判斷位置的偏移量(ΔX，ΔY)是否大于等于第2基準(zhǔn)值(X2，Y2)(步驟S08)。具體的，判斷是否至少滿足ΔX≥X2，ΔY≥Y2中的一個(gè)。第2基準(zhǔn)值X2例如可以是0.3mm，第2基準(zhǔn)值Y2例如可以是0.1mm。
在位置偏移量(ΔX，ΔY)未達(dá)到第2基準(zhǔn)值(X2，Y2)的情況下(步驟S08的“否”分支)，省略后述的步驟S11。
而在位置偏移量(ΔX，ΔY)大于等于第2基準(zhǔn)值(X2，Y2)的情況下，TCP處理機(jī)2發(fā)出警報(bào)(步驟S09)。根據(jù)該警報(bào)，操作員能夠知道沖除孔53的位置正開始出現(xiàn)偏移。
接著，不合格品沖桿26b根據(jù)上述位置偏移量(ΔX，ΔY)，調(diào)整在X軸方向和/或Y軸方向上的沖除位置，使其回到正常的位置(步驟S10)。通過該不合格品沖桿26b的沖除位置的自動(dòng)調(diào)整，能夠事先防止TCP不合格品的產(chǎn)生，而且由于不需要停止TCP處理機(jī)2的動(dòng)作，因此，能夠提高測(cè)試吞吐量。
另外，不合格品沖桿26b的沖除位置不僅能如上所述的自動(dòng)調(diào)整，還能夠手動(dòng)調(diào)整。此時(shí)，基于上述警報(bào)，操作員可以暫時(shí)停止TCP處理機(jī)2的動(dòng)作，手動(dòng)調(diào)整不合格品沖桿26b的沖除位置。此時(shí)，也能夠事先防止TCP不合格品的產(chǎn)生。另外，在沖除孔53的位置偏移量小的情況下，通過不讓TCP處理機(jī)2自動(dòng)停止，能夠維持高工作率。
TCP處理機(jī)2判斷在第3照相機(jī)6c位置上的TCP(包括正在沖除的情況)是否為最后的TCP(步驟S11)，當(dāng)判斷為最后的TCP時(shí)(步驟S11的“是”分支)，結(jié)束沖除孔的位置不良的測(cè)試操作。而當(dāng)判斷為不是最后的TCP時(shí)(步驟S11的“否”分支)，傳送載帶5，返回步驟S01，重復(fù)進(jìn)行上述動(dòng)作。
利用如上所述動(dòng)作的TCP處理機(jī)2，能夠檢測(cè)出沖除孔的位置不良，據(jù)此，能夠謀求防止TCP的不合格品的大量產(chǎn)生，或事先防止不合格品的產(chǎn)生。
以上說明的實(shí)施方式，是為了容易理解本發(fā)明而記述的內(nèi)容，而不是為了限定本發(fā)明而記述的內(nèi)容。因此，上述實(shí)施方式中所示出的各個(gè)因素包含屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)的全部設(shè)計(jì)變更或等價(jià)物。
例如，利用照相機(jī)6c以及由圖像處理裝置獲得的沖除孔53的重心坐標(biāo)不僅可以是絕對(duì)坐標(biāo)，也可以是相對(duì)于規(guī)定的齒孔52的相對(duì)坐標(biāo)。此時(shí)，規(guī)定的齒孔52的位置坐標(biāo)(重心坐標(biāo))，也能夠與沖除孔53的重心坐標(biāo)相同地利用第3照相機(jī)6c和圖像處理裝置獲得。
另外，沖除孔位置的偏移量的基準(zhǔn)值也可以只有一種，此時(shí)，當(dāng)位置偏移量大于等于基準(zhǔn)值時(shí)，可以讓TCP處理機(jī)2的動(dòng)作停止，也可以發(fā)出警報(bào)。
工業(yè)可用性本發(fā)明對(duì)于防止因沖除孔的位置不良而造成的TCP的不合格品流出方面是有用的。
權(quán)利要求
1.一種將形成有多個(gè)TCP的載帶傳送到與測(cè)試頭電連接的接觸部分，并可依次測(cè)試多個(gè)TCP的TCP處理設(shè)備，其特征在于包括在測(cè)試后能夠從載帶沖除規(guī)定的TCP的沖除裝置；能夠拍攝由上述沖除而形成的沖除孔的攝像裝置；根據(jù)由上述攝像裝置所拍攝的沖除孔的圖像數(shù)據(jù)，獲得相應(yīng)的沖除孔的位置信息的位置信息獲得裝置；和通過由上述位置信息獲得裝置所獲得的沖除孔信息與基準(zhǔn)位置信息進(jìn)行比較，來檢測(cè)出沖除孔的位置不良的位置不良檢測(cè)裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TCP處理設(shè)備，其特征在于上述基準(zhǔn)位置信息是作為基準(zhǔn)的沖除孔的位置信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TCP處理設(shè)備，其特征在于上述基準(zhǔn)位置信息是由上述攝像裝置所拍攝的載帶上的規(guī)定圖形的位置信息。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TCP處理設(shè)備，其特征在于還包括在利用上述位置不良檢測(cè)裝置檢測(cè)出沖除孔的位置不良時(shí)，發(fā)出警報(bào)的報(bào)警裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的TCP處理設(shè)備，其特征在于上述位置不良檢測(cè)裝置能夠通過上述沖除孔位置信息與上述基準(zhǔn)位置信息的比較，來檢測(cè)出位置偏移量大的第1沖除孔位置不良和位置偏移量小的第2沖除孔位置不良；當(dāng)檢測(cè)出上述第1沖除孔位置不良時(shí)，停止TCP處理設(shè)備的驅(qū)動(dòng)；當(dāng)檢測(cè)出上述第2沖除孔位置不良時(shí)，利用上述報(bào)警裝置發(fā)出警報(bào)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TCP處理設(shè)備，其特征在于上述沖除裝置能夠根據(jù)上述位置不良檢測(cè)裝置對(duì)上述沖除孔位置信息與上述基準(zhǔn)位置信息的比較，進(jìn)行沖除位置的位置調(diào)整。
7.一種在TCP處理設(shè)備中檢測(cè)利用沖除在載帶上所形成的沖除的位置不良的檢測(cè)方法，其特征在于包括以下步驟拍攝由沖除所形成的沖除孔；根據(jù)上述所拍攝的沖除孔的圖像數(shù)據(jù)，獲得相應(yīng)的沖除孔的位置信息；和根據(jù)上述所獲得的沖除孔的位置信息與基準(zhǔn)位置信息的比較，檢測(cè)沖除孔的位置不良。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的TCP處理設(shè)備沖除孔位置不良的檢測(cè)方法，其特征在于，還包括當(dāng)檢測(cè)出沖除孔的位置不良時(shí)，發(fā)出警報(bào)的步驟。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的TCP處理設(shè)備沖除孔位置不良的檢測(cè)方法，其特征在于在檢測(cè)上述沖除孔的位置不良的步驟中，根據(jù)上述沖除孔的位置信息與上述基準(zhǔn)位置信息的比較，檢測(cè)出位置偏移量大的第1沖除孔位置不良、和位置偏移量小的第2沖除孔位置不良，作為其后的步驟，還包括當(dāng)檢測(cè)出上述第1沖除孔位置不良時(shí)，停止TCP處理設(shè)備的驅(qū)動(dòng)；而當(dāng)檢測(cè)出上述第2沖除孔位置不良時(shí)，發(fā)出警報(bào)的步驟。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的TCP處理設(shè)備沖除孔位置不良的檢測(cè)方法，其特征在于還包括根據(jù)在檢測(cè)出上述沖除孔的位置不良的步驟中對(duì)上述沖除孔的位置信息與上述基準(zhǔn)位置信息進(jìn)行的比較，進(jìn)行沖除位置的位置調(diào)整的步驟。
全文摘要
一種把形成了多個(gè)TCP的載帶(5)傳送到與測(cè)試頭(10)電連接的探針板(8)上，并依次測(cè)試多個(gè)TCP的TCP處理機(jī)(2)，包括在測(cè)試后從載帶(5)上沖除規(guī)定的TCP的不合格品沖桿(26b)；能夠拍攝由該沖除所形成的沖除孔(53)的照相機(jī)(6c)；根據(jù)由照相機(jī)(6c)所拍攝沖除孔(53)的圖像數(shù)據(jù)，獲得相應(yīng)的沖除孔(53)的位置信息的位置信息獲得裝置；和根據(jù)由該位置信息獲得裝置所獲得的沖除孔(53)的位置信息與基準(zhǔn)信息的比較，檢測(cè)出沖除孔(53)的位置不良的位置不良檢測(cè)裝置。上述TCP處理設(shè)備(2)能夠檢測(cè)出沖除孔的位置不良。
文檔編號(hào)H01L21/00GK101030549SQ20071008444
公開日2007年9月5日 申請(qǐng)日期2007年3月2日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月3日
發(fā)明者村野壽, 近藤雅史 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛德萬測(cè)試