專利名稱：薄膜圖案層的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種薄膜圖案層的制造方法。
背景技術(shù)：
目前，噴墨法在制造薄膜圖案層中越來越廣泛。在噴墨法中，使用噴墨 裝置在已形成擋墻的玻璃基板上噴墨，干燥墨水形成薄膜圖案層。
請參閱圖14及圖15,為一個基板120的示意圖?；?20上具有多個 擋墻122，所述多個擋墻122與所述基板120限定多個收容空間124。每一 行收容空間124沿著X軸排布，每一列收容空間124沿著Y軸排布，每相 鄰兩4亍收容空間124之間的間隔為d。
請參閱圖16，噴墨頭900中相鄰噴嘴902與904的間距為d。在現(xiàn)有技 術(shù)中，在噴嘴902沿著第一路線312噴墨后，噴墨頭900沿著Y軸負(fù)方向移 動距離d,從而噴嘴904沿著第一路線312的反方向噴墨。
然而，噴嘴902及904對同一個收容空間124噴墨時，前后兩次噴墨路 線基本上重疊。故墨水在收容空間124內(nèi)難以均勻擴(kuò)散，墨水干燥后形成的 薄膜圖案層往往厚度不均勻。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，有必要提供一種能提高均勻度的薄膜圖案層的制造方法。 一種薄膜圖案層的制造方法，其包括以下步驟提供一個基板，所述基 板具有多個擋墻，所述多個擋墻與所述基板限定多個收容空間，每一個收容
空間具有相互平行的第一側(cè)邊及第二側(cè)邊，第一側(cè)邊與第二側(cè)邊的距離為b; 提供第一噴嘴，該第一噴嘴沿著第一路線移動，該第一路線位于一個待處理 的收容空間的第一側(cè)邊與第二側(cè)邊之間，與該第一側(cè)邊平行，且距離為a; 該第一噴嘴對該收容空間噴入墨水；提供第二噴嘴，該第二噴嘴沿著第二路線移動，該第二路線與該第一路線平行，該第二路線與該第一路線的距離C
符合以下兩個關(guān)系式之一0<c<b-a,及0<c<a;該第二噴嘴對該收容空間噴 入墨水；干燥固化收容空間的墨水而形成薄膜圖案層。
相較于現(xiàn)有技術(shù)，上述薄膜圖案層的制造方法中不同噴嘴將墨水噴到同 一個收容空間的不同位置，從而促使墨水在同 一個收容空間中更加均勻地分 布，進(jìn)而提高薄膜圖案層的均勻度。


圖l至圖IO為本發(fā)明第一實(shí)施例之薄膜圖案層制造方法示意圖，其中 圖1為基板俯視圖2為圖1所示基板沿著直線II-II的剖視圖3至圖6為噴墨步驟之示意圖7至圖8為另一噴墨步驟之示意圖9為形成顏色層之基板剖視圖10為形成有導(dǎo)電層之基板剖視圖11為本發(fā)明第二實(shí)施例之噴墨步驟示意圖12為本發(fā)明第三實(shí)施例之噴墨步驟示意圖13為本發(fā)明第四實(shí)施例之噴墨步驟示意圖14為現(xiàn)有技術(shù)中一個基板的俯視圖15為圖14所示基板沿著直線XV-XV的剖視圖16現(xiàn)有技術(shù)中噴墨步驟之示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明實(shí)施例作進(jìn)一步之詳細(xì)說明。 請一起參閱圖1到圖10，系本發(fā)明第一實(shí)施例提供之一種薄膜圖案層的 制造方法示意圖，該方法之步驟如下
步驟一提供一基板100,如圖1及圖2所示。基板100上具有多個擋 墻102，所述多個擋墻102與所述基板100限定多個收容空間104。每一行 收容空間104沿著X軸排布，每一列收容空間104沿著Y軸排布，每相鄰 兩行收容空間104之間的間隔為d，每一個收容空間104具有相互平行的第
6一側(cè)邊110及第二側(cè)邊112,兩側(cè)邊之間間隔為b,即收容空間104在Y軸 上的寬度為b。本實(shí)施例中，基板IOO之材料選用玻璃。當(dāng)然，基板材料也 可選用石英玻璃、硅晶圓、金屬或塑料等。
步驟二如圖3所示，提供一個噴墨頭300,噴墨頭300至少包含有第 一噴嘴302及第二噴嘴304，噴嘴302及304沿著Y軸排列，噴嘴302及304 在Y軸(即與列印方向垂直的方向)的投影間隔亦為d。下面以收容空間104 為例，對噴墨頭300對收容空間104噴墨過程進(jìn)行描述。噴墨頭300沿著第 一路線306移動，第一路線306是沿著X軸正方向，第一路線306與第一側(cè) 邊110的距離為a。當(dāng)?shù)谝粐娮?02移動到收容空間104的位置時，第一噴 嘴302對收容空間104噴墨。噴墨頭300可選用熱泡式或壓電式。
步驟三如圖4及圖5所示，噴墨頭300繼續(xù)沿著該第一路線306移動， 當(dāng)噴墨頭300移動到收容空間104的一側(cè)后，噴墨頭300沿著第二路線308 移動距離c,第二路線308沿著Y軸的反方向，距離c符合以下關(guān)系式之一 d<c<d+b-a及d-a<c<d。
當(dāng)然，若噴嘴302及304在Y軸上的間隔為k'd (k為任意自然數(shù))，相 應(yīng)地，噴墨頭300應(yīng)該沿著第二路線移動距離c,該距離c應(yīng)符合以下關(guān)系 式之一kd<c<kd+b-a及kd-a<c<kd (k為任意自然數(shù))。
步驟四如圖5及圖6所示，噴墨頭300沿著第三路線310移動，該第 三路線310沿著X軸的反方向，當(dāng)?shù)诙娮?04移動到收容空間104的位置 時，第二噴嘴304對收容空間104噴墨。噴墨后，噴墨頭300繼續(xù)沿著第三 路線310移動。
當(dāng)噴墨頭300移動距離c為d<c<d+b-a3t，第一路線及第三路線的距離 c為0<c<b-a;當(dāng)噴墨頭300移動距離c為d-a<c<d時，第一路線及第三路線 的3巨離c為0<c<a。
墨水之中至少包含一溶劑。優(yōu)選地，該溶劑為有機(jī)溶劑，且該溶劑應(yīng)該 有較高的沸點(diǎn)，比如說沸點(diǎn)應(yīng)該高于170攝氏度rC)，沸點(diǎn)高于185。C更佳。 不同的有機(jī)溶劑有不同的沸點(diǎn)，例如，對于沸點(diǎn)400 。C的溶劑也可以用于本 發(fā)明，且取得預(yù)期的效果。這樣,在第二噴嘴304將墨水噴入一個收容空間 104之前，第一噴嘴302噴入同一個收容空間104的墨水不會固化。噴嘴302 及304先后噴入同一個收容空間104的墨水可以互相混合，而且可以同時被固化。
作為噴墨步驟可替代的實(shí)施例，在對收容空間104前后兩次噴墨可以采 用同一個噴墨頭。也就是說，請再次參閱圖4，當(dāng)噴墨頭300沿著第二路線 308移動到圖7的位置時，即當(dāng)?shù)谝粐娮?02的中心位于第三路線310上時， 噴墨頭3 00沿著第三路線310移動。第 一 噴嘴3 02再次對收容空間10 4噴墨。 噴墨后，噴墨頭300繼續(xù)沿著第三路線310移動，如圖8所示。
步驟五干燥固化多個收容空間104中墨水而形成顏色層106，如圖9 所示。此步驟主要藉由一抽真空裝置、 一加熱裝置或一曝光裝置，將多個收 容空間104之墨水進(jìn)行干燥固化，或者采用上述三者方式之任兩種或三種進(jìn) 行干燥固化，而曝光裝置包括紫外光曝光照射裝置。
步驟六于該基板IOO上形成覆蓋擋墻102及顏色層106的透明導(dǎo)電層 108,如圖IO所示。此步驟為可選擇之步驟。例如，使用真空賊鍍裝置，形 成一層氧化銦錫薄膜(Indium Tin Oxide Film, ITO Film)。
應(yīng)當(dāng)指出的是，在上述實(shí)施例噴嘴302及304在Y軸上的間隔為kd (k 為任意自然數(shù))。當(dāng)然，間隔可以任意，只要使得第一路線及第三路線的距 離c符合以下關(guān)系式之一即可0<c<b-a，及0<c<a，從而不同噴嘴將墨水 噴到同 一個收容空間的不同位置。
在上述實(shí)施例中，同一個收容空間采用兩個噴嘴進(jìn)行噴墨?？梢岳斫猓?同一個收容空間也可以采用三個或三個以上的噴嘴進(jìn)行噴墨，每個噴嘴移動 的路線不同，從而將墨水噴到同 一 個收容空間的不同位置。
上述薄膜圖案層的制造方法中不同噴嘴將墨水噴到同 一個收容空間的 不同位置，從而促使墨水在同一個收容空間中更加均勻地分布，進(jìn)而提高薄 膜圖案層的均勻度。
請參閱圖11，為本發(fā)明第二實(shí)施例之噴墨步驟示意圖。該噴墨步驟與前 述第一實(shí)施例之噴墨步驟類似，區(qū)別在于第一噴嘴402及第二噴嘴502分 別位于第一噴墨頭400及第二噴墨頭500。第一噴墨頭400及第二噴墨頭500 可以是同一型號的噴墨頭，也可以是不同型號的噴墨頭。第一噴墨頭400及 第二噴墨頭500可以是設(shè)置在同一機(jī)臺，也可以是設(shè)置在不同的機(jī)臺。在噴 墨過程中，噴墨頭400、 500作為一個整體移動。噴墨頭400、 500的運(yùn)動軌 跡與噴墨頭300的運(yùn)動軌跡相似，在此不再——贅述。請參閱圖12,為本發(fā)明第三實(shí)施例之噴墨步驟示意圖。該噴墨步驟與前
述第一實(shí)施例之噴墨步驟類似，區(qū)別在于噴墨頭600相對于第一路線306 傾斜設(shè)置，噴嘴602與604的中心連線與第一路線306互成角度6(其中，
o。<e<9o。，或者％°<e<i8o。)。在本實(shí)施例中，e=45。。噴嘴602與604在Y
軸上的投影間距為d。
請參閱圖13，為本發(fā)明第四實(shí)施例之噴墨步驟示意圖。該噴墨步驟與前 述第二實(shí)施例之噴墨步驟類似，區(qū)別在于噴墨頭700及800均相對于第一 路線306傾斜設(shè)置，噴嘴702、 802與804的中心連線與第一路線306互成
角度e(其中，o。<e<9o°,或者90°<e<i80。)。在本實(shí)施例中，e=45。。 . 需要指出的是，本發(fā)明之薄膜圖案層結(jié)構(gòu)及其制造方法可適用于彩色濾 光片及有機(jī)發(fā)光裝置之制造等。于彩色濾光片之制程中，可用此制程完成紅 綠藍(lán)三色顏色層之制造，相應(yīng)地，上述擋墻可以是單層擋墻(僅使用黑矩陣 作為擋墻)，也可以是多層擋墻(包括黑矩陣及黑矩陣之上的一層或多層材 料)。而于有機(jī)發(fā)光裝置之制造中，可用此制程完成有機(jī)發(fā)光裝置之導(dǎo)線層， 發(fā)光層及電子電洞傳輸層等之制造。然而，所形成之薄膜圖案及所需之墨水 會有所不同。
另外，本領(lǐng)域技術(shù)人員還可在本發(fā)明精神內(nèi)做其它變化，當(dāng)然，這些依 據(jù)本發(fā)明精神所做的變化，都應(yīng)包含在本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1. 一種薄膜圖案層的制造方法，其包括以下步驟 提供一個基板，所述基板具有多個擋墻，所述多個擋墻與所述基板限定有多個收容空間，每一個收容空間具有相互平行的第一側(cè)邊及第二側(cè)邊，第 一側(cè)邊與第二側(cè)邊的距離為b;提供第一噴嘴，該第一噴嘴沿著第一路線移動，該第一路線位于一個待 處理的收容空間的第一側(cè)邊與第二側(cè)邊之間，與該第一側(cè)邊平行，且距離為該第 一噴嘴對該收容空間噴入墨水；提供第二噴嘴，該第二噴嘴沿著第二路線移動，該第二路線與該第一路 線平行，該第二路線與該第一路線的距離c符合以下兩個關(guān)系式之一 0<c<b-a，及0<c<a;該第二噴嘴對該收容空間噴入墨水；干燥固化收容空間的墨水而形成薄膜圖案層。
2. 如權(quán)利要求1所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該墨水至 少包括一種溶劑，該溶劑的沸點(diǎn)高于170°C。
3. 如權(quán)利要求2所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該溶劑的 沸點(diǎn)高于185°C。
4. 如權(quán)利要求1所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，所述基板 材料選自玻璃、石英玻璃、硅晶圓、金屬或塑料。
5. 如權(quán)利要求1所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該干燥固 化步驟采用以下裝置中的至少一種 一種抽真空裝置、 一種加熱裝置及一種 曝光裝置。
6. 如權(quán)利要求5所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該曝光裝 置包括紫外光曝光照射裝置。
7. 如權(quán)利要求1所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，所述第一 噴嘴及第二噴嘴均位于同 一噴墨頭。
8. 如權(quán)利要求7所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該噴墨頭 系熱泡式或壓電式。
9. 如權(quán)利要求1所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，所述第一 噴嘴及第二噴嘴分別位于第一噴墨頭及第二噴墨頭。
10. 如權(quán)利要求9所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，所述第一、第二噴墨頭為同一型號之噴墨頭。
11. 如權(quán)利要求9所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，所述第一、第二噴墨頭為不同型號之噴墨頭。
12. 如權(quán)利要求9所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，所述第 一、第二噴墨頭均設(shè)置于同一機(jī)臺上。
13. 如權(quán)利要求9所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，所述第 一、第二噴墨頭分別設(shè)置于不同之機(jī)臺上。
14. 一種薄膜圖案層的制造方法，其包括以下步驟 提供一個基板，所述基板具有多個擋墻，所述多個擋墻與所述基板限定有多個收容空間，每一個收容空間具有相互平行的第一側(cè)邊及第二側(cè)邊，第 一側(cè)邊與第二側(cè)邊的距離為b;提供一個噴嘴，該噴嘴沿著第一路線移動，該第一路線位于一個待處理 的收容空間的第一側(cè)邊與第二側(cè)邊之間，與該第一側(cè)邊平行，且距離為a;該噴嘴對該收容空間噴入墨水；該噴嘴沿著第二路線移動，該第二路線與該第一路線平行，該第二路線 與該第一路線的距離c符合以下兩個關(guān)系式之一0<c<b-a，及0<c<a; 該噴嘴對該收容空間噴入墨水； 干燥固化收容空間的墨水而形成薄膜圖案層。
15. 如權(quán)利要求14所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該墨水 至少包括一種溶劑，該溶劑的沸點(diǎn)高于17CTC。
16. 如權(quán)利要求15所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該溶劑 的沸點(diǎn)高于185。C。
17. 如權(quán)利要求14所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，所述基 板材料選自玻璃、石英玻璃、硅晶圓、金屬或塑料。
18. 如權(quán)利要求14所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該干燥 固化步驟采用以下裝置中的至少一種 一種抽真空裝置、 一種加熱裝置及一 種曝光裝置。
19. 如權(quán)利要求18所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該曝光 裝置包括紫外光曝光照射裝置。
20. 如權(quán)利要求15所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該溶劑 為有機(jī)溶劑。
全文摘要
一種薄膜圖案層的制造方法，其包括以下步驟提供一個基板，所述基板具有多個擋墻，所述多個擋墻與所述基板限定有多個收容空間，每一個收容空間具有相互平行的第一側(cè)邊及第二側(cè)邊，第一側(cè)邊與第二側(cè)邊的距離為b；提供第一噴嘴，該第一噴嘴沿著第一路線移動，該第一路線位于一個待處理的收容空間的第一側(cè)邊與第二側(cè)邊之間，與該第一側(cè)邊平行，且距離為a；該第一噴嘴對該收容空間噴入墨水；提供第二噴嘴，該第二噴嘴沿著第二路線移動，該第二路線與該第一路線平行，該第二路線與該第一路線的距離c符合以下兩個關(guān)系式之一0＜c＜b-a，及0＜c＜a；該第二噴嘴對該收容空間噴入墨水；干燥固化收容空間的墨水而形成薄膜圖案層。
文檔編號H01L51/00GK101312115SQ200710107989
公開日2008年11月26日 申請日期2007年5月22日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月22日
發(fā)明者周景瑜, 廖義銘, 王宇寧, 黃繼震 申請人:Icf科技有限公司