專利名稱：具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的處理室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明公開(kāi)了一種具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的處理室。
背景技術(shù)：
處理室是已知的。然而，它們存在著各種缺點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明用于解決現(xiàn)有技術(shù)中的各種缺點(diǎn)。
為此，本發(fā)明提供一種具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的處理室，其 包括室本體；形成于室本體的壁中的門縫，基片由此裝載入室本 體和從室本體中卸載；至少一個(gè)內(nèi)門，所述內(nèi)門可旋轉(zhuǎn)地安裝在門 縫的相對(duì)開(kāi)口中的內(nèi)開(kāi)口處以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口；以及旋轉(zhuǎn)所述 至少 一 個(gè)內(nèi)門以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口的門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
優(yōu)選地，還包括止動(dòng)件，其限制所述至少一個(gè)內(nèi)門在關(guān)閉方向 上的旋轉(zhuǎn)并且確定所述至少一個(gè)內(nèi)門的關(guān)閉位置。
優(yōu)選地，所述至少一個(gè)內(nèi)門安裝為在內(nèi)開(kāi)口關(guān)閉時(shí)與室本體的 內(nèi)壁處于相同的平面中。
優(yōu)選地，還包括形成于室本體中的連接通路，其連接室本體外 面和門縫，其中門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括安裝在室本體外面的動(dòng)力源，以及 動(dòng)力傳遞設(shè)備，所述動(dòng)力傳遞設(shè)備通過(guò)連接通路將動(dòng)力從動(dòng)力源傳
遞到所述至少一個(gè)內(nèi)門以便打開(kāi)和關(guān)閉所述至少一個(gè)內(nèi)門。
優(yōu)選地，所述至少一個(gè)內(nèi)門部分地或整體地包括網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)。
優(yōu)選地，還包括形成于室本體中的連接通路，其連接室本體外 面和門縫，其中門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括安裝在室本體外面的動(dòng)力源，以及 動(dòng)力傳遞設(shè)備，所述動(dòng)力傳遞設(shè)備通過(guò)連接通路將動(dòng)力源的動(dòng)力傳 遞到所述至少一個(gè)內(nèi)門以便打開(kāi)和關(guān)閉所述至少一個(gè)內(nèi)門。
優(yōu)選地，還包括形成于室本體中的連接通路，其連接室本體外 面和門縫，其中門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括安裝在室本體外面的動(dòng)力源，以及 動(dòng)力傳遞設(shè)備，所述動(dòng)力傳遞設(shè)備通過(guò)連接通路將動(dòng)力源的動(dòng)力傳 遞到所述至少一個(gè)內(nèi)門以便打開(kāi)和關(guān)閉所述至少一個(gè)內(nèi)門。
優(yōu)選地，動(dòng)力源包括馬達(dá)。
優(yōu)選地，動(dòng)力傳遞設(shè)備包括螺桿，其通過(guò)馬達(dá)在向前/倒轉(zhuǎn) 方向上旋轉(zhuǎn)并且具有位于其外周上的外螺紋；可動(dòng)塊，其擰緊至螺 桿以與螺桿形成螺旋副；以及操作線，其插入連接通路中并且在其 相反端部結(jié)合至所述至少一個(gè)內(nèi)門和可動(dòng)塊。
優(yōu)選地，還包括布置在連接通路內(nèi)的密封元件。
優(yōu)選地，動(dòng)力傳遞設(shè)備包括螺桿，其通過(guò)馬達(dá)在向前/倒轉(zhuǎn) 方向上旋轉(zhuǎn)并且具有位于其外周上的外螺紋；可動(dòng)塊，其擰緊至螺 桿以與螺桿形成螺旋副；以及操作線，其插入連接通路中并且在其 相反端部借助于連桿結(jié)合至所述至少一個(gè)內(nèi)門和可動(dòng)塊，所述連桿 與所述至少一個(gè)內(nèi)門和可動(dòng)塊中的至少一個(gè)相結(jié)合。
優(yōu)選地，還包括布置在連接通路內(nèi)的密封元件。
優(yōu)選地，所述至少一個(gè)內(nèi)門包括至少兩個(gè)可旋轉(zhuǎn)地安裝在內(nèi)開(kāi) 口中的內(nèi)門。優(yōu)選地，所述至少兩個(gè)內(nèi)門在其相對(duì)端部處可旋轉(zhuǎn)地安裝在內(nèi) 開(kāi)口中。
優(yōu)選地，門驅(qū)動(dòng)裝置包括至少兩個(gè)馬達(dá)。
優(yōu)選地，所述至少兩個(gè)馬達(dá)嵌在室本體的壁中。
優(yōu)選地，還包括安裝在門縫的相對(duì)開(kāi)口中的外開(kāi)口處的門閥。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的 處理室，其包括室本體；形成于室本體的壁中的門縫，基片由此 裝載和卸載；至少一個(gè)內(nèi)門，其一端可旋轉(zhuǎn)地安裝在門縫的相對(duì)開(kāi) 口中的內(nèi)開(kāi)口中以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口；以及旋轉(zhuǎn)所述至少一個(gè)內(nèi) 門以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口的門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中所述至少一個(gè)內(nèi)門安 裝為在內(nèi)開(kāi)口關(guān)閉時(shí)與室本體的內(nèi)壁處于相同的平面中，并且其中 所述至少一個(gè)內(nèi)門部分地或整體地包括網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)。
優(yōu)選地，還包括形成于室本體中的連接通路，其連接室本體外 面和門縫，其中門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括安裝在室本體外面的動(dòng)力源，以及 動(dòng)力傳遞設(shè)備，所述動(dòng)力傳遞設(shè)備通過(guò)連接通路將動(dòng)力源的動(dòng)力傳 遞到所述至少一個(gè)內(nèi)門以便打開(kāi)和關(guān)閉所述至少一個(gè)內(nèi)門。
根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供一種具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的 處理室，其包括室本體；形成于室本體的壁中的門縫，基片由此 裝載和卸載； 一對(duì)內(nèi)門，其中一個(gè)內(nèi)門具有可旋轉(zhuǎn)地安裝的一端以 便打開(kāi)和關(guān)閉門縫的相對(duì)開(kāi)口中的內(nèi)開(kāi)口的一側(cè)，并且另一個(gè)內(nèi)門 具有可旋轉(zhuǎn)地安裝的一端以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口的另一側(cè)；以及旋 轉(zhuǎn)該對(duì)內(nèi)門以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口的門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
優(yōu)選地，該對(duì)內(nèi)門安裝為在內(nèi)開(kāi)口關(guān)閉時(shí)與室本體的內(nèi)壁處于 相同的平面中。
優(yōu)選地，該對(duì)內(nèi)門中的每個(gè)部分地或整體地包括網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)。
優(yōu)選地，門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括至少兩個(gè)馬達(dá)。 優(yōu)選地，所述至少兩個(gè)馬達(dá)嵌在室本體的壁中。


下面將參照附圖詳細(xì)描述實(shí)施例，其中同樣的附圖標(biāo)記涉及相 同的元件，并且其中
圖1是根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的處理室的橫截面視圖2是根據(jù)一個(gè)實(shí)施例具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的處理室的 視圖3和4是圖2所示門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的詳細(xì)剖視圖，圖3 示出了門縫打開(kāi)的狀態(tài)，圖4示出了門縫關(guān)閉的狀態(tài)；
圖5是在從圖4的箭頭"P"方向看時(shí)的正視圖6和7是圖3和4所示動(dòng)力傳遞設(shè)備的剖視圖，圖6示出了 門縫打開(kāi)的狀態(tài)，圖7示出了門縫關(guān)閉的狀態(tài)；
圖8是根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的處理室 的橫截視圖；和
圖9是在從圖8的箭頭"Q"方向看時(shí)的正視圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在將詳細(xì)參照實(shí)施例，其例子在附圖中示出。只要可能，同 樣的附圖標(biāo)記在全部附圖和描述中用來(lái)涉及相同或類似的部件，并 且省略重復(fù)性的描述。
為了制造顯示基片，比如液晶顯示(LCD)基片，需要蝕刻基 片的裝置。這種蝕刻裝置設(shè)計(jì)來(lái)在兩個(gè)其間已經(jīng)形成有強(qiáng)電場(chǎng)的電 極之間噴射特定反應(yīng)氣體。這將反應(yīng)氣體轉(zhuǎn)變?yōu)樵谥行誀顟B(tài)下具有
良好反應(yīng)性的等離子體，同時(shí)反應(yīng)氣體在電場(chǎng)之下釋放電子。等離 子體與部分氧化膜反應(yīng)，氧化膜已經(jīng)沉積在基片上并且未被光阻材 料覆蓋的部分暴露，從而蝕刻基片。蝕刻裝置可包括在其中可利用 等離子體處理基片的基片處理室、其中可存儲(chǔ)基片的負(fù)載鎖閉室、
以及定位在處理室和負(fù)載鎖閉室之間并且用作由此可裝載和卸載 基片的轉(zhuǎn)運(yùn)區(qū)域的傳遞室。
圖1示出了用于顯示基片的蝕刻裝置的處理室，比如LCD基 片。如圖1所示，處理室1可包括室本體5、門縫2，其形成于室 本體5的壁中以便與傳遞室相通、以及打開(kāi)和關(guān)閉門縫2的門閥4。 門縫2可用作基片3的通路并且可以在水平方向上很長(zhǎng)。門閥4可 關(guān)閉以便在裝載和卸載基片3時(shí)允許基片3穿過(guò)門縫2。 一旦裝載 或卸載了基片3，門閥4可關(guān)閉以使得在處理室1的內(nèi)部14形成 真空。
然而，如圖1所示，上述處理室被采用為使得門閥4安裝在處 理室1外面以便打開(kāi)和關(guān)閉門縫2。為此，在關(guān)閉時(shí)，門閥4關(guān)閉 門縫2相對(duì)的開(kāi)口 2a和2b中的外側(cè)開(kāi)口 2a。因此，在蝕刻基片時(shí)， 處理室1的內(nèi)部14在空間上與門縫2相通。于是，其中形成等離 子體的空間除了處理室1的內(nèi)部14的空間之外還包括門縫2的空 間。于是，等離子體有差異地分布(也就是，其朝著門縫2更集中)， 并且因而，基片3也被有差異地蝕刻。
換言之，當(dāng)處理室1的內(nèi)部14被分為兩個(gè)部分門縫部分和 相對(duì)部分(即在圖1中看相對(duì)于中心線的左右兩側(cè))，門縫2部分 上的等離子體空間增寬門縫2的空間。因此，在總體上看時(shí)，等離 子體空間不可避免地左右不對(duì)稱。于是，在蝕刻基片3時(shí)等離子體 可朝著門縫2集中。
圖2是示出根據(jù)一個(gè)實(shí)施例具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置70的處
理室10的視圖。如圖2所示，具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置70的處理 室10,根據(jù)一個(gè)實(shí)施例可包括室本體50，其中限定了可利用等 離子體蝕刻基片30的空間54,并且在其一個(gè)壁中形成門縫52，基 片30可通過(guò)門縫52裝載和卸載；以及門閥60。門縫打開(kāi)和關(guān)閉 裝置70在室本體50內(nèi)打開(kāi)和關(guān)閉室本體50的門縫52。門閥60 在室本體50外打開(kāi)和關(guān)閉室本體50的門縫52。
圖3和4是圖2所示門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置70的詳細(xì)剖視圖。 圖3示出了門縫52打開(kāi)的狀態(tài)，圖4示出了門縫52關(guān)閉的狀態(tài)。
如圖3和4所示，門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置70可包括打開(kāi)和關(guān)閉 門縫52的內(nèi)門75、打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)門75的門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)80、以及防 止內(nèi)門75不必要地關(guān)閉的止動(dòng)件90。內(nèi)門75可以是安裝在門縫 52的相對(duì)開(kāi)口 52a和52b中的內(nèi)開(kāi)口 52b上的板，其與室本體50 的內(nèi)部54相接觸，以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口 52b。
內(nèi)門75可通過(guò)鉸鏈機(jī)構(gòu)H結(jié)合至內(nèi)開(kāi)口 52b以便可繞著其下 端旋轉(zhuǎn)。而且，在關(guān)閉時(shí)，內(nèi)門75的尺寸適合于內(nèi)開(kāi)口 52b。因 而，當(dāng)內(nèi)門75朝著室本體50的內(nèi)部54旋轉(zhuǎn)時(shí)，可打開(kāi)內(nèi)開(kāi)口 52b。 相反，當(dāng)內(nèi)門75朝著室本體50的外面旋轉(zhuǎn)時(shí)，可關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口 52b。
內(nèi)門75在旋轉(zhuǎn)以關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口 52b時(shí)可安裝至與室本體50的內(nèi) 壁54a相同的平面中，從而與室本體50的內(nèi)壁54a—起用作平的 壁。內(nèi)門75在內(nèi)開(kāi)口 52b關(guān)閉時(shí)可安裝為相對(duì)于室本體50的內(nèi)壁 54a沒(méi)有高度差。也就是，當(dāng)內(nèi)開(kāi)口52b關(guān)閉時(shí)，內(nèi)門75可安裝為 使得其面對(duì)室本體50內(nèi)部54的內(nèi)表面75a與內(nèi)壁54a—致。而且， 內(nèi)門75可在其下端提供有凸起72,在關(guān)閉時(shí)其可朝著室本體50 外面突出預(yù)定的長(zhǎng)度。
圖5是在圖4的箭頭"P"的方向上看時(shí)的正視圖。如圖5所示，內(nèi)門75可部分地或整體地由金屬網(wǎng)74構(gòu)成。在這個(gè)實(shí)施例中， 內(nèi)門70具有網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)，以減少其重量。
門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)80可使得內(nèi)門75繞著鉸鏈機(jī)構(gòu)H旋轉(zhuǎn)預(yù)定的角度 以打開(kāi)和關(guān)閉門縫52的內(nèi)開(kāi)口 52b。門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)80可包括產(chǎn)生動(dòng) 力的動(dòng)力源81、以及傳遞動(dòng)力源81的動(dòng)力以使內(nèi)門75旋轉(zhuǎn)的動(dòng) 力傳遞設(shè)備82。動(dòng)力源可以是安裝在室本體50外面的馬達(dá)81。
動(dòng)力傳遞設(shè)備82可用來(lái)將馬達(dá)81的動(dòng)力通過(guò)線性連接通路53 傳遞到內(nèi)門72，通路53可形成于室本體50中以在空間上將門縫 52與室本體50的外面相連接。動(dòng)力傳遞設(shè)備82可包括螺桿83、 可動(dòng)塊84以及操作線85。
螺桿83可以是線性桿，其可安裝在室本體50下以便正好布置 在內(nèi)門75下面。螺桿83可豎直地安裝在室本體50下面以便可旋 轉(zhuǎn)。而且，螺桿83可沿著其長(zhǎng)度在其外周上具有外螺紋，并且可 借助于馬達(dá)81在向前/倒轉(zhuǎn)方向上旋轉(zhuǎn)。
可動(dòng)塊84可螺旋至螺桿83以便與螺桿83形成螺旋副。在螺 桿83向前/倒轉(zhuǎn)地旋轉(zhuǎn)(或者按照螺桿83的旋轉(zhuǎn)方向)時(shí)，可動(dòng) 塊84沿著螺桿83上下運(yùn)動(dòng)。
操作線85可借助于可動(dòng)塊84沿著螺桿83上下運(yùn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)力 而使內(nèi)門75旋轉(zhuǎn)，從而打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口 52b。操作線85可在其 相反端部分別連接至內(nèi)門75和可動(dòng)塊84。
而且，尤其，操作線85可連接至內(nèi)門75的凸起72。操作線 85可具有剛性。可選地，操作線85還可包括包圍其外表面的護(hù)套。 而且，操作線85可插入穿過(guò)室本體50的連接通路53，然后連接 至內(nèi)門75和可動(dòng)塊84。如上所述，當(dāng)可動(dòng)塊84向下運(yùn)動(dòng)時(shí)，操 作線85使內(nèi)門75旋轉(zhuǎn)以關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口52b。盡管附圖中未示出，不
過(guò)包圍操作線85的波紋管可安裝在室本體50和可動(dòng)塊84之間以 防止操作線85妨礙其周圍物和改善其外觀。
馬達(dá)81能以下述方式致動(dòng)，即，防止可動(dòng)塊84過(guò)度地向上運(yùn) 動(dòng)以致于負(fù)載過(guò)度(即，馬達(dá)持續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿83而不管內(nèi)開(kāi)口 52a 完全打開(kāi)或關(guān)閉的狀態(tài))。當(dāng)然，這可以利用例如傳感器或控制設(shè) 備來(lái)實(shí)現(xiàn)。
止動(dòng)件90可限制上述可由門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)80關(guān)閉的內(nèi)門75的旋 轉(zhuǎn)。止動(dòng)件90可用來(lái)確定內(nèi)門75的關(guān)閉位置，并且因而，允許門 縫52的內(nèi)開(kāi)口 52b由內(nèi)門75準(zhǔn)確地關(guān)閉。止動(dòng)件卯可實(shí)施為至 少一個(gè)凹陷或凸起，其可形成于內(nèi)開(kāi)口 52處以便在內(nèi)門75關(guān)閉內(nèi) 開(kāi)口 52b時(shí)與內(nèi)門75的上端相接觸。
止動(dòng)件卯的位置和構(gòu)造可以改變。例如，止動(dòng)件卯可實(shí)施為 環(huán)，其可安裝在螺桿83上以使得當(dāng)內(nèi)開(kāi)口 82b完全關(guān)閉時(shí)可動(dòng)塊 84不再向下運(yùn)動(dòng)。止動(dòng)件90的功能，如上所述，可通過(guò)控制馬達(dá) 81的致動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)。無(wú)論如何，止動(dòng)件90可提供來(lái)對(duì)內(nèi)門75的旋 轉(zhuǎn)施加物理限制，從而防止故障，并且改進(jìn)操作可靠性。
附圖標(biāo)記S表示密封元件，其可安裝在連接通路53中以在門 縫52的內(nèi)開(kāi)口 52關(guān)閉時(shí)維持氣密狀態(tài)。密封元件S可通過(guò)堵塞連 接通路53來(lái)允許室本體50的內(nèi)部54保持在真空環(huán)境下以使得操 作線85的操作不受阻礙。
下面將描述這里公開(kāi)的根據(jù)本發(fā)明的處理室的操作。
為了關(guān)閉門縫52，當(dāng)門縫52的內(nèi)開(kāi)口 52b打開(kāi)時(shí)，內(nèi)門75 降低，并且動(dòng)力傳遞設(shè)備82的可動(dòng)塊84維持升高狀態(tài)。在此狀態(tài) 下，馬達(dá)81可被致動(dòng)。然后，螺桿83通過(guò)馬達(dá)81的旋轉(zhuǎn)而轉(zhuǎn)動(dòng)。 與螺桿83擰緊的可動(dòng)塊84沿著螺桿83向下運(yùn)動(dòng)。由于可動(dòng)塊84
的運(yùn)動(dòng)方向可由螺桿83的旋轉(zhuǎn)方向決定，馬達(dá)81可在一個(gè)方向上 旋轉(zhuǎn)螺桿83以使得可動(dòng)塊84向下運(yùn)動(dòng)。在可動(dòng)塊84向下運(yùn)動(dòng)時(shí)， 操作線85被拉動(dòng)。此時(shí)，內(nèi)門75繞著鉸鏈結(jié)構(gòu)H旋轉(zhuǎn)，并且豎直 地站立。當(dāng)內(nèi)門75變得與止動(dòng)件卯相接觸并且內(nèi)開(kāi)口 52b關(guān)閉時(shí)， 馬達(dá)81的致動(dòng)被停止。
這樣，當(dāng)內(nèi)門52b由內(nèi)門75關(guān)閉時(shí)，室本體50的內(nèi)部54與 門縫52隔離。于是，室本體50的內(nèi)部54兩側(cè)地對(duì)稱(參見(jiàn)圖2)。 而且，當(dāng)內(nèi)開(kāi)口52b關(guān)閉時(shí)，內(nèi)門75與室本體50的內(nèi)壁54a處于 相同的平面中。因而，室本體50的內(nèi)壁54a中沒(méi)有高度差。于是， 在蝕刻基片30時(shí)，等離子體的分布是均勻的。
為了打開(kāi)門縫52,和門縫52關(guān)閉時(shí)不同，馬達(dá)81致動(dòng)以使得 螺桿83在相反方向上旋轉(zhuǎn)，并且從而可動(dòng)塊84向上運(yùn)動(dòng)。此時(shí)， 可以為剛性的操作線85被可動(dòng)塊84的升高力所推壓，從而推壓內(nèi) 門75。于是，內(nèi)門75被旋轉(zhuǎn)，并且因而門縫52的內(nèi)開(kāi)口 52b被 打開(kāi)。
圖6和7是示出圖3和4所示動(dòng)力傳遞設(shè)備的另一實(shí)施例的剖 視圖。更具體地，圖6示出了門縫52打開(kāi)的狀態(tài)，圖7示出了門 縫52關(guān)閉的狀態(tài)。
圖6和7所示動(dòng)力傳遞設(shè)備82a與圖3和4所示動(dòng)力傳遞設(shè)備 82的不同之處僅在于，線性操作桿86和連桿87替代了操作線85。 類似于操作線85，操作桿86插入穿過(guò)室本體50的連接通路53， 并且其下端結(jié)合至可動(dòng)塊84。
連桿87將操作桿86的上端與內(nèi)門75相結(jié)合。連桿87將操作 桿86 (可被可動(dòng)塊84沿著連接通路54升高)的運(yùn)動(dòng)力傳遞至內(nèi) 門75以使得內(nèi)門75被旋轉(zhuǎn)?？?7s (通過(guò)該孔，連桿87可由鉸鏈
與操作桿86相結(jié)合)可具有槽形狀。當(dāng)然，連桿87可以改變；也 就是，連桿87可具有任何構(gòu)造，只要內(nèi)門75可通過(guò)操作桿86的 旋轉(zhuǎn)而轉(zhuǎn)動(dòng)。而且，動(dòng)力傳遞設(shè)備82a的結(jié)構(gòu)可以改變；例如，螺 桿83可安裝在水平方向而非在豎直方向以使得操作桿86和可動(dòng)塊 84可結(jié)合。
圖8是根據(jù)另一第二實(shí)施例具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置120的處 理室100的橫截視圖。圖9是在圖8的箭頭"Q"方向上看時(shí)的正 視圖。
如圖8和9所示，根據(jù)本實(shí)施例具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置170 的處理室IOO與前述實(shí)施例相同，除了內(nèi)門175和門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)180 的構(gòu)造之外。
類似于前述實(shí)施例的內(nèi)門75，本實(shí)施例的內(nèi)門175打開(kāi)和關(guān)閉 門縫52的內(nèi)開(kāi)口 52b。然而，與前述實(shí)施例中設(shè)計(jì)為具有一單個(gè) 打開(kāi)和關(guān)閉門的內(nèi)門75不同，本實(shí)施例的內(nèi)門175可包括上門 175a，其可打開(kāi)和關(guān)閉門縫52的內(nèi)開(kāi)口 52b的上部；下門175b， 其可安裝在上門175a的下面并且打開(kāi)和關(guān)閉門縫52的內(nèi)開(kāi)口 52b 其余的下部。
上門175a可由鉸鏈機(jī)構(gòu)Hl結(jié)合至內(nèi)開(kāi)口 52b以便可繞著其上 端旋轉(zhuǎn)。下門175b可由鉸鏈機(jī)構(gòu)H2結(jié)合至內(nèi)開(kāi)口 52b以便可繞著 其下端旋轉(zhuǎn)。而且，上門175a和下門175b可裝備有金屬網(wǎng)174以 便部分地或整體地具有網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)。
同時(shí)，本實(shí)施例的內(nèi)門175可在朝著室本體50的內(nèi)部54旋轉(zhuǎn) 時(shí)可打開(kāi)內(nèi)開(kāi)口 52b。相反，內(nèi)門175可在朝著室本體50的外面 旋轉(zhuǎn)時(shí)可關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口 52b。內(nèi)門175在關(guān)閉時(shí)可安裝成與室本體50 的內(nèi)壁54a在相同的平面中。
本實(shí)施例的門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)180可用來(lái)旋轉(zhuǎn)上門175a和下門175b 以打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口 52b,并且可包括兩個(gè)馬達(dá)。馬達(dá)可埋在室本 體50的壁中以使得其軸可借助于例如結(jié)合件分別直接結(jié)合至上門 175a和下門175b的鉸鏈機(jī)構(gòu)HI和H2。
盡管已經(jīng)為了示例性的目的描述了示例性實(shí)施例，但是本領(lǐng)域 的熟練人員將理解到，在不偏離本發(fā)明如所附權(quán)利要求所公開(kāi)的范 圍和精神之下，各種變型、增加和替換都是可能的。
作為一個(gè)例子，在這里公開(kāi)實(shí)施例的描述中，內(nèi)門可安裝為朝 著室本體的內(nèi)部向下旋轉(zhuǎn)。然而，內(nèi)門可設(shè)計(jì)為以相反方向旋轉(zhuǎn)以 打開(kāi)和關(guān)閉。在此情況下，可進(jìn)行適合的結(jié)構(gòu)變化以避免可通過(guò)門 縫裝載和卸載的基片和內(nèi)門之間的干擾。
而且，在這里公開(kāi)實(shí)施例的門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的描述中，作為動(dòng)力源 的馬達(dá)可安裝在室本體外面，并且馬達(dá)的動(dòng)力可由動(dòng)力傳遞設(shè)備傳 遞至位于室本體內(nèi)的內(nèi)門。然而，馬達(dá)也可設(shè)計(jì)為嵌在室本體的壁 中，或者可安裝在室本體的外面以使得其軸可直接與鉸鏈機(jī)構(gòu)相結(jié) 合。另外，在一個(gè)實(shí)施例的門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的描述中，馬達(dá)可嵌在室本 體的壁中。然而，馬達(dá)可安裝在室本體外面。
這里公開(kāi)的實(shí)施例提供了具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的處理室， 該門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置利用至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)門來(lái)打開(kāi)和關(guān)閉室本體 內(nèi)側(cè)的室本體門縫，從而防止在蝕刻基片時(shí)室本體內(nèi)部在空間上與 門縫相連接，以及防止等離子體由于朝著門縫集中而不均勻地分 布。
這里公開(kāi)的實(shí)施例還提供了具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的處理 室，其中在門縫被門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置所關(guān)閉時(shí)至少一個(gè)門與室本 體的內(nèi)壁一致而沒(méi)有高度差，從而維持在蝕刻基片時(shí)等離子體更均
勻的分布。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的處理室提供為包 括室本體，其一個(gè)壁中形成有由此裝載和卸載基片的門縫；內(nèi)門， 其一端可旋轉(zhuǎn)地安裝在門縫的相對(duì)開(kāi)口中的內(nèi)開(kāi)口中以便打開(kāi)和 關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口 ；以及旋轉(zhuǎn)內(nèi)門以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口的門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。 處理室還可包括止動(dòng)件，其限制內(nèi)門在關(guān)閉方向上的旋轉(zhuǎn)，并且因 而確定內(nèi)門的關(guān)閉位置。
內(nèi)門可安裝為在內(nèi)開(kāi)口關(guān)閉時(shí)處于與室本體的內(nèi)壁相同的平 面中。而且，內(nèi)門可部分地或整體地具有網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)。
室本體可包括連接室本體外面和門縫的連接通路，并且門驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)可包括安裝在室本體外面的動(dòng)力源，以及將動(dòng)力源的動(dòng)力通過(guò) 連接通路傳遞到內(nèi)門以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)門的動(dòng)力傳遞單元或設(shè)備。 動(dòng)力源可包括馬達(dá)。
動(dòng)力傳遞設(shè)備可包括螺桿，其可通過(guò)馬達(dá)和其外周上的外螺 紋在向前/倒轉(zhuǎn)方向上旋轉(zhuǎn)、可動(dòng)塊，其可擰緊至螺桿以與螺桿形 成螺旋副、以及操作線，其可插入連接通路并且可在其相反端部結(jié) 合至內(nèi)門和可動(dòng)塊。
可選地，動(dòng)力傳遞單元可包括螺桿，其可通過(guò)馬達(dá)在向前/ 倒轉(zhuǎn)方向上旋轉(zhuǎn)并且其可具有位于其外周上的外螺紋、可動(dòng)塊，其 可擰緊至螺桿以與螺桿形成螺旋副、以及操作線，其可插入連接通 路并且可在其相反端部借助于連桿結(jié)合至內(nèi)門和可動(dòng)塊，所述連桿 與內(nèi)門和可動(dòng)塊中的至少一個(gè)相結(jié)合。
根據(jù)另一實(shí)施例，具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的處理室提供為包 括室本體，其一個(gè)壁中形成有由此裝載和卸載基片的門縫； 一對(duì) 內(nèi)門，其中之一具有可旋轉(zhuǎn)地安裝的一端以便打開(kāi)和關(guān)閉門縫的相
對(duì)開(kāi)口中的內(nèi)開(kāi)口的一側(cè)，并且其另一個(gè)具有可旋轉(zhuǎn)地安裝的一端
以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口的另一側(cè)；以及旋轉(zhuǎn)內(nèi)門以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi) 開(kāi)口的門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。內(nèi)門可安裝為在內(nèi)開(kāi)口關(guān)閉時(shí)與室本體的內(nèi)壁 處于相同的平面中。而且，每個(gè)內(nèi)門可部分地或整體地具有網(wǎng)眼結(jié) 構(gòu)。
根據(jù)具有根據(jù)這里公開(kāi)實(shí)施例的門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的這種 處理室，至少一個(gè)內(nèi)門可安裝在門縫的相對(duì)開(kāi)口中的內(nèi)開(kāi)口中(門 縫可用作基片的通路)，并且因而內(nèi)開(kāi)口可由內(nèi)門打開(kāi)和關(guān)閉。因 此，當(dāng)內(nèi)開(kāi)口關(guān)閉時(shí)，室本體的內(nèi)部可在空間上與門縫隔開(kāi)。從而， 在蝕刻基片時(shí)，可防止等離子體朝著門縫集中。而且，等離子體可 均勻地分布。
另外，內(nèi)門可安裝為在關(guān)閉時(shí)與室本體的內(nèi)壁一致，以使得形 成等離子體的空間可準(zhǔn)確地對(duì)稱，并且因而，等離子體可均勻地分 布。而且，這種對(duì)稱結(jié)構(gòu)使得電極和地面之間的距離恒定。這就動(dòng) 力而言是有利的。
本說(shuō)明書中涉及的"一個(gè)實(shí)施例"、"實(shí)施例"、"示例性實(shí)施 例"等意味著，結(jié)合實(shí)施例描述的具體特點(diǎn)、結(jié)構(gòu)或特征包括在本 發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例中。說(shuō)明書不同位置中這種句子的出現(xiàn)不是 必須都涉及相同實(shí)施例。而且，在結(jié)合任何實(shí)施例描述一個(gè)具體特 點(diǎn)、結(jié)構(gòu)或特征時(shí)，結(jié)合其它實(shí)施例來(lái)實(shí)現(xiàn)這種特點(diǎn)、結(jié)構(gòu)或特征 是在本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員的范圍之內(nèi)。
盡管已經(jīng)參照多個(gè)示例性實(shí)施例描述了本發(fā)明，但是應(yīng)當(dāng)理解 到，本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員能想到很多其它變型和實(shí)施例，這些都將 落入本公開(kāi)物原理的精神和范圍內(nèi)。更具體地，在說(shuō)明書、附圖和 所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)，組成部件和/或組合布置的各種變化和變 型都是可能的。除了組成部件和/或布置的變化和變型之外，替換
使用對(duì)于本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員而言也是很明顯的。
權(quán)利要求
1.一種具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的處理室，其包括室本體；形成于室本體的壁中的門縫，基片由此裝載入室本體和從室本體中卸載；至少一個(gè)內(nèi)門，所述內(nèi)門可旋轉(zhuǎn)地安裝在門縫的相對(duì)開(kāi)口中的內(nèi)開(kāi)口處以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口；以及旋轉(zhuǎn)所述至少一個(gè)內(nèi)門以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口的門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1的處理室，還包括止動(dòng)件，其限制所述至 少一個(gè)內(nèi)門在關(guān)閉方向上的旋轉(zhuǎn)并且確定所述至少一個(gè)內(nèi)門的關(guān) 閉位置。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1的處理室，其中所述至少一個(gè)內(nèi)門安裝為 在內(nèi)開(kāi)口關(guān)閉時(shí)與室本體的內(nèi)壁處于相同的平面中。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3的處理室，還包括形成于室本體中的連接 通路，其連接室本體外面和門縫，其中門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括安裝在室 本體外面的動(dòng)力源，以及動(dòng)力傳遞設(shè)備，所述動(dòng)力傳遞設(shè)備通過(guò) 連接通路將動(dòng)力從動(dòng)力源傳遞到所述至少一個(gè)內(nèi)門以便打開(kāi)和關(guān) 閉所述至少一個(gè)內(nèi)門。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1的處理室，其中所述至少一個(gè)內(nèi)門部分地 或整體地包括網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5的處理室，還包括形成于室本體中的連接 通路，其連接室本體外面和門縫，其中門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括安裝在室 本體外面的動(dòng)力源，以及動(dòng)力傳遞設(shè)備，所述動(dòng)力傳遞設(shè)備通過(guò) 連接通路將動(dòng)力源的動(dòng)力傳遞到所述至少一個(gè)內(nèi)門以便打開(kāi)和關(guān) 閉所述至少一個(gè)內(nèi)門。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1的處理室，還包括形成于室本體中的連接 通路，其連接室本體外面和門縫，其中門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括安裝在室 本體外面的動(dòng)力源，以及動(dòng)力傳遞設(shè)備，所述動(dòng)力傳遞設(shè)備通過(guò) 連接通路將動(dòng)力源的動(dòng)力傳遞到所述至少一個(gè)內(nèi)門以便打開(kāi)和關(guān) 閉所述至少一個(gè)內(nèi)門。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7的處理室，其中動(dòng)力源包括馬達(dá)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8的處理室，其中動(dòng)力傳遞設(shè)備包括螺桿，其通過(guò)馬達(dá)在向前/倒轉(zhuǎn)方向上旋轉(zhuǎn)并且具有位于其外 周上的外螺紋；可動(dòng)塊，其擰緊至螺桿以與螺桿形成螺旋副；以及操作線，其插入連接通路中并且在其相反端部結(jié)合至所述至 少一個(gè)內(nèi)門和可動(dòng)塊。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9的處理室，還包括布置在連接通路內(nèi)的 密封元件。
11. 根據(jù)權(quán)利要求8的處理室，其中動(dòng)力傳遞設(shè)備包括螺桿，其通過(guò)馬達(dá)在向前/倒轉(zhuǎn)方向上旋轉(zhuǎn)并且具有位于其外 周上的外螺紋；可動(dòng)塊，其擰緊至螺桿以與螺桿形成螺旋副；以及操作線，其插入連接通路中并且在其相反端部借助于連桿結(jié) 合至所述至少一個(gè)內(nèi)門和可動(dòng)塊，所述連桿與所述至少一個(gè)內(nèi)門 和可動(dòng)塊中的至少一個(gè)相結(jié)合。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11的處理室，還包括布置在連接通路內(nèi)的 密封元件。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1的處理室，其中所述至少一個(gè)內(nèi)門包括 至少兩個(gè)可旋轉(zhuǎn)地安裝在內(nèi)開(kāi)口中的內(nèi)門。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13的處理室，其中所述至少兩個(gè)內(nèi)門在其 相對(duì)端部處可旋轉(zhuǎn)地安裝在內(nèi)開(kāi)口中。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14的處理室，其中門驅(qū)動(dòng)裝置包括至少兩 個(gè)馬達(dá)。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15的處理室，其中所述至少兩個(gè)馬達(dá)嵌在 室本體的壁中。
17. 根據(jù)權(quán)利要求1的處理室，還包括安裝在門縫的相對(duì)開(kāi) 口中的外開(kāi)口處的門閥。
18. —種具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的處理室，其包括 室本體；形成于室本體的壁中的門縫，基片由此裝載和卸載；至少一個(gè)內(nèi)門，其一端可旋轉(zhuǎn)地安裝在門縫的相對(duì)開(kāi)口中的 內(nèi)開(kāi)口中以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口；以及旋轉(zhuǎn)所述至少一個(gè)內(nèi)門以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口的門驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)，其中所述至少一個(gè)內(nèi)門安裝為在內(nèi)開(kāi)口關(guān)閉時(shí)與室本體的內(nèi) 壁處于相同的平面中，并且其中所述至少一個(gè)內(nèi)門部分地或整體 地包括網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)。
19. 根據(jù)權(quán)利要求18的處理室，還包括形成于室本體中的連 接通路，其連接室本體外面和門縫，其中門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括安裝在 室本體外面的動(dòng)力源，以及動(dòng)力傳遞設(shè)備，所述動(dòng)力傳遞設(shè)備通過(guò)連接通路將動(dòng)力源的動(dòng)力傳遞到所述至少一個(gè)內(nèi)門以便打開(kāi)和 關(guān)閉所述至少一個(gè)內(nèi)門。
20. —種具有門縫打開(kāi)和關(guān)閉裝置的處理室，其包括 室本體；形成于室本體的壁中的門縫，基片由此裝載和卸載；一對(duì)內(nèi)門，其中一個(gè)內(nèi)門具有可旋轉(zhuǎn)地安裝的一端以便打開(kāi) 和關(guān)閉門縫的相對(duì)開(kāi)口中的內(nèi)開(kāi)口的一側(cè)，并且另一個(gè)內(nèi)門具有 可旋轉(zhuǎn)地安裝的一端以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口的另一側(cè)；以及旋轉(zhuǎn)該對(duì)內(nèi)門以便打開(kāi)和關(guān)閉內(nèi)開(kāi)口的門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
21. 根據(jù)權(quán)利要求20的處理室，其中該對(duì)內(nèi)門安裝為在內(nèi)開(kāi) 口關(guān)閉時(shí)與室本體的內(nèi)壁處于相同的平面中。
22. 根據(jù)權(quán)利要求20的處理室，其中該對(duì)內(nèi)門中的每個(gè)部分 地或整體地包括網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)。
23. 根據(jù)權(quán)利要求20的處理室，其中門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括至少兩 個(gè)馬達(dá)。
24. 根據(jù)權(quán)利要求23的處理室，其中所述至少兩個(gè)馬達(dá)嵌在 室本體的壁中。
全文摘要
提供了一種使用等離子體的用于蝕刻基片的蝕刻裝置的處理室，比如液晶顯示(LCD)基片。該處理室可包括室本體，其一個(gè)壁中形成有門縫；打開(kāi)和關(guān)閉門縫內(nèi)開(kāi)口的旋轉(zhuǎn)內(nèi)門；以及旋轉(zhuǎn)內(nèi)門的門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。在蝕刻基片時(shí)，內(nèi)門關(guān)閉以防止室本體內(nèi)部與門縫相通。從而，其中形成等離子體的空間可維持對(duì)稱，因此等離子體可均勻地分布在室本體內(nèi)部。
文檔編號(hào)H01L21/00GK101179010SQ200710181228
公開(kāi)日2008年5月14日 申請(qǐng)日期2007年10月25日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月10日
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