專利名稱：一種光阻供應(yīng)管路裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光阻供應(yīng)設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及--種光阻供應(yīng)管 路裝置。
背景技術(shù)：
在晶片生產(chǎn)過程中，光阻是很重要的原料之一。 一般來說，光阻的價(jià) 格都是比較昂貴的，因此在生產(chǎn)中應(yīng)當(dāng)避免光阻的浪費(fèi)。在當(dāng)前光阻管路設(shè)計(jì)情況下，每次換光阻過濾器(filter)時(shí)，光阻在充滿過濾器的過程中， 過濾器里面的空氣就會(huì)混合在光阻中，所以就要進(jìn)行排氣泡，在這個(gè)過程 中往往要消耗掉大量的光阻和工程師的時(shí)間，給半導(dǎo)體廠造成很多不必要 的成本損失。目前公知的光阻供應(yīng)管路裝置請參見圖1，其包括順序連接 的光阻瓶(resist bottle)101，泵102，過濾器103和噴嘴104，光阻瓶101 中通有氮?dú)?N2)，以形成正壓，泵102從光阻瓶101中抽吸光阻，送入過 濾器103過濾，然后將光阻送到噴嘴104，此時(shí)如果光阻中有氣泡的話， 氣泡就會(huì)直接經(jīng)由噴嘴104噴到晶片上，而如果過濾器103中有氣泡，則 光阻經(jīng)過濾波器103時(shí)便會(huì)攜帶這些氣泡，再經(jīng)過后面的管路直接到達(dá)噴 嘴104，這些氣泡對于注入情況和涂布情況有很不利的影響。因此，目前急需一種可排氣泡的光阻供應(yīng)管路裝置，特別是一種不需 在過濾器更換過程中進(jìn)行排氣泡處理的光阻供應(yīng)管路裝置，以增加產(chǎn)品的 優(yōu)良率與減少制造成本。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提出一種改進(jìn)的光阻供應(yīng)管路裝置，其通過增 加少量的設(shè)備和很低的成本解決了光阻供應(yīng)管路中的氣泡問題。
為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種光阻供應(yīng)管路裝置，包括依次 順序連接的光阻瓶，過濾器和噴嘴，其中，在過濾器與噴嘴之間的管路中安裝一緩沖罐(buffertank)，其位置高于噴嘴的位置，緩沖罐上方裝有排氣 裝置，如果管路中含有氣泡，由于重力作用氣泡會(huì)自動(dòng)浮出光阻，停留在 緩沖罐中光阻液面的上方，并最終通過排氣裝置排出，不含氣泡的光阻會(huì) 經(jīng)管路流到噴嘴。緩沖罐安裝或放置于其外部的移動(dòng)裝置，緩沖罐隨移動(dòng)裝置移動(dòng)，通 過改變緩沖罐與噴嘴的高度差改變光阻噴出的速度。緩沖罐內(nèi)安裝有液位傳感器，如果光阻超出預(yù)定容量的可變化范圍， 則光阻液面的高度會(huì)過高或過低，液位傳感器會(huì)發(fā)信號(hào)給機(jī)臺(tái)，機(jī)臺(tái)便會(huì)本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于在過濾器后加入緩沖罐，可以去除光阻中 的氣泡，保證光阻的注入情況和涂布情況。其另一優(yōu)點(diǎn)在于可通過改變緩 沖罐的位置而改變光阻注入的分配率。同時(shí)，本實(shí)用新型裝置簡單，易于 實(shí)現(xiàn)，特別是不需在過濾器更換過程中進(jìn)行排氣泡處理，節(jié)省了因排氣泡 的過程而消耗的光阻和工作人員的時(shí)間，增加了產(chǎn)品的優(yōu)良率與減少制造 成本。為讓本實(shí)用新型之上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文 特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說明如下。
圖1為公知的光阻供應(yīng)管路裝置的示意圖。圖2為本實(shí)用新型的光阻供應(yīng)管路裝置的原理圖。圖3為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的光阻供應(yīng)管路裝置的示意圖。
具體實(shí)施方式
由于本實(shí)用新型的技術(shù)特征著重于對光阻供應(yīng)管路裝置中過濾器與 噴嘴之間的管路的改進(jìn)，因此以下所說明的僅以光阻供應(yīng)管路裝置中的過
濾器、緩沖罐、噴嘴及其周邊相關(guān)的器件為主，其余與緩沖罐無關(guān)的器件 茲不贅述。本實(shí)用新型的光阻供應(yīng)管路裝置的原理如圖2所示，在過濾器103和 噴嘴104之間加裝一個(gè)緩沖罐20，光阻從過濾器103中出來之后先經(jīng)過緩 沖罐20，如果管路中含有氣泡，由于重力作用氣泡會(huì)自動(dòng)浮出光阻，停留 在緩沖罐20中光阻液面的上方，并最終通過排氣裝置排出，由于緩沖罐 20與噴嘴104之間有一個(gè)高度差H，最終不含氣泡的光阻會(huì)經(jīng)管路流到噴 嘴104。此時(shí)流入噴嘴104的光阻中沒有氣泡或氣泡低至可忽略的數(shù)量， 對注入情況和涂布情況都不會(huì)產(chǎn)生影響。本發(fā)明一較佳實(shí)施例的光阻供應(yīng)管路裝置如圖3所示，在光阻瓶101 中通有氮?dú)?，?dāng)然，光阻瓶101可以是任何形式的容納光阻的容器，不局 限于附圖中的瓶狀容器，而其中通入的氣體可以是氮?dú)饣蛉我环N合適的氣 體。光阻從光阻瓶101中被抽吸出來，經(jīng)過其他設(shè)備和泵102后流入過濾 器103。光阻在經(jīng)過濾器103過濾后流入緩沖罐20，如果管路中含有氣泡， 由于重力作用氣泡會(huì)自動(dòng)浮出光阻，停留在緩沖罐20中光阻液面的上方， 并最終通過排氣裝置排出，氣泡在更換過濾器103等過程中產(chǎn)生，氣泡內(nèi) 的氣體便是進(jìn)行更換過濾器103等操作時(shí)引入的氣體。最終緩沖罐20內(nèi) 不含氣泡的光阻通過其下方的管路流入噴嘴104，進(jìn)行光阻注入和涂布。 這樣，光阻內(nèi)的氣泡便不會(huì)到達(dá)后面的管路，在此實(shí)施例中，排氣裝置為 通氣閥302，當(dāng)然，排氣裝置可以是任何可排出氣體的裝置，例如排氣管， 排氣口等。在緩沖罐20中還可以裝有液位傳感器202，當(dāng)緩沖罐20內(nèi)光 阻容量超過預(yù)定容量或少于預(yù)定容量的容許變化范圍，也就是光阻液面的 高度過高或過低時(shí)，液位傳感器會(huì)發(fā)信號(hào)給機(jī)臺(tái)，機(jī)臺(tái)便會(huì)告警，這樣便 可以保證緩沖罐20內(nèi)的光阻液面高度在一個(gè)很小的范圍內(nèi)波動(dòng)，保證注 入光阻時(shí)噴出速度(dispense mte)的穩(wěn)定性。在緩沖罐20的外部有一移動(dòng) 裝置201，緩沖罐20安裝或放置于其上，隨移動(dòng)裝置201移動(dòng)，通過改變 緩沖罐20與噴嘴104的高度差H改變光阻注入的分配率。在此實(shí)施例中， 移動(dòng)裝置201下方為一個(gè)近似"L"形的支架，緩沖罐20置于支架的凹陷 處，當(dāng)然，只要可以帶動(dòng)緩沖罐20進(jìn)行各個(gè)方向的移動(dòng)，移動(dòng)裝置201可以是任何合適的裝置，其可以是自動(dòng)控制裝置或手動(dòng)控制裝置。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非因此限定本實(shí)用新型的 專利保護(hù)范圍，故凡運(yùn)用本實(shí)用新型的說明書及圖示內(nèi)容所謂的等效結(jié)構(gòu) 變化，或直接或間接運(yùn)用于其他相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域均同理皆包含于本實(shí)用新型 所涵蓋之范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種光阻供應(yīng)管路裝置，包括依次順序連接的光阻瓶，過濾器和噴嘴，其特征在于，在過濾器與噴嘴之間的管路中安裝緩沖罐，其位置高于噴嘴的位置，緩沖罐上方裝有排氣裝置，過濾器中的光阻經(jīng)管路流入緩沖罐，如果管路中含有氣泡，由于重力作用氣泡會(huì)自動(dòng)浮出光阻，停留在緩沖罐中光阻液面的上方，并最終通過排氣裝置排出，不含氣泡的光阻會(huì)經(jīng)管路流到噴嘴。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光阻供應(yīng)管路裝置，其特征在于，將上述緩 沖罐安裝或放置于其外部的移動(dòng)裝置，緩沖罐隨移動(dòng)裝置移動(dòng)，通過改變 緩沖罐與噴嘴的高度差改變光阻噴出的速度。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光阻供應(yīng)管路裝置，其特征在于，上述 緩沖罐內(nèi)安裝有液位傳感器，如果光阻超出預(yù)定容量的可變化范圍，則光 阻液面的高度會(huì)過高或過低，液位傳感器會(huì)發(fā)信號(hào)給機(jī)臺(tái)，機(jī)臺(tái)便會(huì)告警。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種光阻供應(yīng)管路裝置，包括依次順序連接的光阻瓶，過濾器和噴嘴，其中，在過濾器與噴嘴之間的管路中安裝緩沖罐，其位置高于噴嘴的位置，緩沖罐上方裝有排氣裝置，過濾器中的光阻經(jīng)管路流入緩沖罐，如果管路中含有氣泡，由于重力作用氣泡會(huì)自動(dòng)浮出光阻，停留在緩沖罐中光阻液面的上方，并最終通過排氣裝置排出，不含氣泡的光阻會(huì)經(jīng)管路流到噴嘴。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于可以去除光阻中的氣泡，保證光阻的注入情況和涂布情況，改變光阻噴出的速度，裝置簡單，易于實(shí)現(xiàn)，特別是不需在過濾器更換過程中進(jìn)行排氣泡處理，節(jié)省了因排氣泡的過程而消耗的光阻和工作人員的時(shí)間，增加了產(chǎn)品的優(yōu)良率與減少制造成本。
文檔編號(hào)H01L21/02GK201017172SQ20072000031
公開日2008年2月6日 申請日期2007年1月8日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月8日
發(fā)明者胡清強(qiáng), 陳曉琪, 魯旭光 申請人:和艦科技(蘇州)有限公司