專利名稱：一種快速重復(fù)定位裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種快速、重復(fù)定位裝置，它用于將工件按一導(dǎo) 軌移動，并快速定位，也可以將工件重復(fù)定位。它用在生產(chǎn)中，如在 集成電路制造中硅片傳輸系統(tǒng)相對于主框架的快速定位、維護過程中 的重復(fù)定位。
背景技術(shù)：
在傳統(tǒng)的定位裝置中，普遍采用工裝進行調(diào)節(jié)定位和定位銷定 位，工裝定位不足之處在于 一是不夠快速，影響效率；二是需要工 裝，費用高。定位銷定位不足之處在于 一是重復(fù)定位困難，二是不 能夠調(diào)節(jié)，精度不高。實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種快速重復(fù)定位裝置，主要解決現(xiàn) 有工裝定位裝置不夠快速和定位銷定位裝置重復(fù)定位困難精度不高 的技術(shù)問題，使得工件的定位快速，維護工程中工件能夠重復(fù)定位。 為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的技術(shù)方案為 一種快速重復(fù)定位裝置，其特征在于它包括安裝在不動工件上長導(dǎo)軌和安裝在運動工件上的可沿著長導(dǎo)軌滑動的滾輪，兩個短導(dǎo)軌及導(dǎo)軌座安裝在不動工件底面靠邊的位置，具有與短導(dǎo)軌相匹配凹槽 的定位滾輪固定在運動工件的底部位置，調(diào)平螺釘在運動工件的中間 位置，調(diào)平螺釘?shù)恼{(diào)節(jié)裝置在運動工件的邊上； 一定位銷部件固定在 不動工件上，定位銷孔固定在運動工件上。兩個短導(dǎo)軌中間高兩端低，用螺釘固定在導(dǎo)軌座上。 該定位銷部件包括一連桿機構(gòu)和一圓柱銷，圓柱銷的 -端有一定 的錐度，另一端跟連桿機構(gòu)連接，連桿機構(gòu)一端具有手柄。 藉由上述結(jié)構(gòu)，使本實用新型具有如下優(yōu)點本實用新型采用的定位滾輪的凹槽掛接定位和定位銷定位，定位 快速，精度高，重復(fù)性好，在定位過程中，調(diào)節(jié)螺釘可以調(diào)節(jié)工件的 水平，凹槽掛接定位和定位銷定位依靠零件的加工精度，不需要人工 調(diào)節(jié)，減少了人為的誤差，整個定位過程簡單，不需要工裝，大大提 高了工作效率，降低了費用。


圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1的局部剖視圖。圖3是圖1的仰視圖。圖4是本實用新型中短導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5是本實用新型在工作中的短導(dǎo)軌與滑塊的組合圖。圖6是本實用新型中定位銷部件的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中l(wèi)一導(dǎo)軌座； 4一長導(dǎo)軌； 7 —調(diào)節(jié)裝置； IO —定位銷部件; 103 —手柄。2 —定位滾輪；5 —滾輪；8 —運動工件；IOI—連桿機構(gòu);3 —短導(dǎo)軌； 6 —調(diào)平螺釘; 9一不動工件; 102 —圓柱銷;具體實施方式
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型的進行詳細說明。該實施例 是本實用新型快速重復(fù)定位裝置應(yīng)用在集成電路制造中硅片傳輸系 統(tǒng)相對于主框架的快速定位、維護過程中的重復(fù)定位。請參閱圖1、 2， 3， 4， 5， 6，本實用新型的快速、重復(fù)定位裝 置，包括長導(dǎo)軌4，安裝在主框架9上，滾輪5安裝在硅片傳輸8的 側(cè)面，二短導(dǎo)軌3及導(dǎo)軌座1安裝在主框架9底面，靠邊的位置， 用螺釘固定，圓柱銷定位，定位滾輪2固定在硅片傳輸8上的底部位 置，調(diào)平螺釘6在硅片傳輸8的中間位置，調(diào)平螺釘?shù)恼{(diào)節(jié)裝置在硅 片傳輸8的邊上，便于手動調(diào)節(jié)。定位銷部件10固定在主框架9上， 包括一連桿機構(gòu)101和一圓柱銷102，圓柱銷102的一端有一定的錐 度，定位的時候便于進入定位銷孔ll，另一端跟連桿機構(gòu)101連接， 轉(zhuǎn)動連桿101的手柄102，定位銷能夠進出定位銷孔11進行定位， 定位銷孔11固定在運動工件8上。其工作過程是，首先將定位銷部件IO (圖6)置于非工作狀態(tài)， 讓滾輪5在長導(dǎo)軌4上滾動，緩慢推動硅片傳輸8，硅片傳輸8移動 時，必須保證定位滾輪2的凹槽在短導(dǎo)軌3上移動，定位滾輪2掛在 短導(dǎo)軌3上后，使得硅片傳輸8的一端離地后，轉(zhuǎn)動定位銷的手柄 103 (圖6)，插進定位銷101 (圖6)，進行X、 Y方向定位，調(diào)節(jié)調(diào) 節(jié)螺釘6的調(diào)節(jié)裝置7，使調(diào)節(jié)螺釘6著地，支撐硅片傳輸8，用水 平儀檢查硅片傳輸?shù)乃?。綜上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并非用來限定本實 用新型的實施范圍。即凡依本實用新型申請專利范圍的內(nèi)容所作的等 效變化與修飾，都應(yīng)為本實用新型的技術(shù)范疇。
權(quán)利要求1、一種快速重復(fù)定位裝置，其特征在于它包括安裝在不動工件(9)上長導(dǎo)軌(4)和安裝在運動工件(8)上的可沿著長導(dǎo)軌(4)滑動的滾輪(5)，兩個短導(dǎo)軌(3)及導(dǎo)軌座(1)安裝在不動工件(9)底面靠邊的位置，具有與短導(dǎo)軌(3)相匹配凹槽的定位滾輪(2)固定在運動工件(8)的底部位置，調(diào)平螺釘(6)在運動工件(8)的中間位置，調(diào)平螺釘(6)的調(diào)節(jié)裝置(7)在運動工件(8)的邊上；一定位銷部件(10)固定在不動工件(9)上，定位銷孔(11)固定在運動工件(8)上。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速重復(fù)定位裝置，其特征在于兩 個短導(dǎo)軌(3)中間高兩端低，用螺釘固定在導(dǎo)軌座(1)上。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的快速重復(fù)定位裝置，其特征在于 該定位銷部件(10)包括一連桿機構(gòu)(101)和一圓柱銷(102)，圓柱 銷(102)的一端有一定的錐度，另一端跟連桿機構(gòu)(101)連接，連 桿機構(gòu)(101) —端具有手柄(103)。
專利摘要一種快速重復(fù)定位裝置，它包括安裝在不動工件上長導(dǎo)軌和安裝在運動工件上的可沿著長導(dǎo)軌滑動的滾輪，兩個短導(dǎo)軌及導(dǎo)軌座安裝在不動工件底面靠邊的位置，具有與短導(dǎo)軌相匹配凹槽的定位滾輪固定在運動工件的底部位置，調(diào)平螺釘在運動工件的中間位置，調(diào)平螺釘?shù)恼{(diào)節(jié)裝置在運動工件的邊上；一定位銷部件固定在不動工件上，定位銷孔固定在運動工件上。藉由上述結(jié)構(gòu)主要解決現(xiàn)有工裝定位裝置不夠快速和定位銷定位裝置重復(fù)定位困難精度不高的技術(shù)問題，使得工件的定位快速，維護工程中工件能夠重復(fù)定位。
文檔編號H01L21/68GK201112369SQ20072007682
公開日2008年9月10日 申請日期2007年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月31日
發(fā)明者王春蘭, 袁志揚 申請人:上海微電子裝備有限公司