專利名稱：用于傳輸襯底架的傳輸封裝件的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明的實施例涉及傳輸襯底架的傳輸固定裝置和封裝。 背暈技術(shù)
在用以形成顯示板和半導體的襯底生產(chǎn)期間，襯底架可以用于保持一 批襯底。例如，如晶片處理舟(boat)之類的襯底架具有一系列垂直定位 的狹槽，每個該狹槽都能夠保持半導體晶片。圖1中圖示了能夠?qū)雽w 晶片保持在沉積室中的示例性襯底架10。該襯底架10包括數(shù)個石墨盤 20，該石墨盤20由間隔件30分開并通過金屬桿40保持在一起，該金屬桿 40通過間隔件30連接到基板50和頂板60上。架部件20、 30、 40和50 可以用如碳化硅之類的陶瓷涂覆，以保護它們免于受到沉積環(huán)境影響，并 防止來自襯底架10的污染物進入襯底處理室。襯底架IO可以放置在沉積 室中，如化學汽相沉積(CVD)室，用于將如多晶硅、非晶硅或二氧化硅 之類的材料沉積在襯底疊層上。在該處理中，含硅氣體導入到CVD室 中，并且產(chǎn)生等離子體，同時襯底架IO轉(zhuǎn)動和受熱。當示例性襯底架用 于說明這種架時，應當理解的是，在如物理汽相沉積室(PVD)、蝕刻室 和注入室之類的其它襯底處理設備或方法中使用的襯底架也可以使用。
在使用中，在幾個處理循環(huán)之后，對架IO進行清潔或修理，以去除 積聚的處理沉積物。例如，在典型的CVD處理中，沉積在襯底上的CVD 材料也沉積在襯底架IO上。在數(shù)個CVD處理循環(huán)之后，CVD材料層堆積 在襯底架10上。如果沉積物從襯底架上剝離，則沉積物的這種堆積層可 能污染CVD室和襯底。因此，周期性地從襯底架IO上去除沉積材料，以修理和清潔襯底架，用于在下一處理循環(huán)中使用。
通常，襯底架被封裝和運輸?shù)窖b置外(off-site)的清潔設備，用于清 潔或修理架10。然而，對架10的傳輸具有幾個問題。首先，組裝的襯底 架較重，經(jīng)常在大約50至100磅之間，而且易碎，這使得難以對它進行 不破碎地運輸。同時，架IO對周圍環(huán)境非常敏感，并在暴露到空氣中時 能夠受到蝕刻或腐蝕。同時，形成在架10上的沉積物可以是對操縱者有 毒或有害的。于是，在運送到清潔地點之前，通常在襯底架10上沉積包 括不摻雜硅的薄密封層，以保護操縱者免于暴露到架上的沉積物。然后， 襯底架10包裹到空氣緩沖的"氣泡包裹"中，并放置到用于運輸?shù)哪举|(zhì) 板條箱中。由于襯底架10非常易碎，所以必須在一個位置進行傳輸，即 其縱軸在垂直方向；否則，襯底架的易碎部件能夠碎裂或斷裂。所有這些 傳輸問題的解決方法都增加了清潔和修理架10的成本。
在傳輸?shù)角鍧嵉攸c的過程中，包括襯底架10的板條箱可能受到移民 或執(zhí)法人員的檢査。為了進行檢査，執(zhí)法人員通常打開板條箱并去除氣泡 包裹，以確認板條箱中不包括違禁品。在檢査之后，襯底架IO重新封裝 并傳輸?shù)角鍧嵉攸c。在清潔地點處，襯底架在酸浴池中放置幾個小時，以 去除沉積材料層。到現(xiàn)在為止，襯底架10是組裝的，因為沉積材料層將 襯底架的部件膠合在一起，并且襯底架在不損傷部件的情況下無法拆卸。 在第一次酸浴之后，沉積層去除并且襯底架的部件變?yōu)?脫膠的"。然 后，將襯底架IO拆卸，再次進行清潔，并在大約40(TC下烘干大約十
(10)個小時。 一旦干燥之后，將拆卸整理的部件封裝并運回消費地點， 在消費地點處，襯底架10重新組裝并準備使用。
在上述傳輸和修理過程期間，大比率的襯底架10受到不可修復的損 害。例如，當襯底架10封裝時，即包裹在氣泡包裹中并放置在板條箱 中、打開封裝或重新封裝時，例如在消費地點、在檢査期間和在清潔地 點，襯底架10的部件上的碳化硅涂層可以很容易地碎裂或斷裂，使得部 件無法使用。如果板條箱在傳輸期間傾斜或跌落，則易碎的部件能夠破裂 或碎裂。在重新組裝襯底架方面，當通常沒有經(jīng)驗和不熟練的實驗技術(shù)人 員重新組裝襯底架時，襯底架10可能在消費地點受到損傷。除了損傷襯底架之外，當部件破裂或碎裂時，操縱者和/或檢査人員可能暴露在薄密 封層下面的有毒材料。
于是，期望能夠有效地將襯底架10從無塵室傳輸?shù)角鍧嵒蜓b置外設
備，進行清潔或修理。也期望在封裝、打開封裝和傳輸過程期間使襯底架
10的斷裂最小化。還期望在不損傷部件的情況下，有效地清潔架10。還
期望在處理和傳輸期間，保護操縱者免于暴露在架上的沉積物。 發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供一種用于傳輸襯底架的傳輸封裝件，其在 傳輸過程中可以緩沖、固定和保護襯底架。
本實用新型提供一種用于傳輸襯底架的傳輸封裝件，所述傳輸封裝件
包括容器，包括硬箱體；所述箱體內(nèi)部的泡沫塊，所述泡沫塊包括切割 部分，該切割部分具有其形狀對應于傳輸外殼的外部形狀的內(nèi)部輪廓，所 述傳輸外殼為具有繞其向外和橫向延伸的凸緣的圓柱形狀。
在上述方案中，所述襯底架可以被傳輸封裝件緩沖、固定和保護，由 此降低損壞率。


對于下面的描述、所附權(quán)利要求和說明本發(fā)明的示例的附圖，本發(fā)明 的這些特征、方面和優(yōu)點將變得更加容易理解。然而，應當理解的是，每 個特征都基本可以在本發(fā)明中，而不僅僅是在特殊附圖的內(nèi)容中使用，并 且本發(fā)明包括這些特征的任意組合，其中
圖1 (現(xiàn)有技術(shù))是襯底架的實施例的透視圖2是用于圖1的襯底架的傳輸固定裝置的實施例的透視圖3是圖2的傳輸固定裝置的透視圖，它封閉圖l的襯底架；
圖4是圖2的傳輸固定裝置的分解透視圖5是本發(fā)明的另一版本所述傳輸固定裝置的實施例的透視圖6是封閉傳輸固定裝置的外殼的實施例的透視圖，也示出了在內(nèi)部
具有泡沫以容納外殼的硬箱體；圖7是所示外殼的另一實施例的透視圖，它封閉傳輸固定裝置，并示 出了用于結(jié)合外殼的托盤的緊固件的細節(jié)；
圖8是所示外殼的又一實施例的透視圖，它封閉傳輸固定裝置；
圖9是具有排氣端口和清掃用氣體端口的外殼的實施例的剖視側(cè)視
圖10A是圖9的外殼的排氣端口耦合裝置的剖視側(cè)視圖；及 圖10B是排氣端口耦合裝置的另一實施例的剖視側(cè)視圖； 圖11是圖9的外殼的清掃用氣體端口的剖視側(cè)視圖；及 圖12A和12B是適合于傳輸外殼的硬箱體的透視側(cè)視圖。
具體實灘方式
包括傳輸固定裝置的傳輸封裝可以用于將襯底架10從一個室傳輸?shù)?另一個室或從一個設備傳輸?shù)搅硪粋€設備，如圖1中所示。例如，傳輸封 裝可以用于將在沉積室中使用之后的架IO傳輸?shù)胶线m的設備中，用于清 潔或修理。該傳輸封裝在運送和處理器間起到用于傳輸固定裝置的保護性 容器的作用，并也可以用于此處說明的固定裝置之外的其他固定裝置。在 修理過程期間，例如封裝和打開封裝、在酸或其他清潔浴中和在干燥烘箱 或爐中，傳輸固定裝置也可以用于保持易碎的架10。該傳輸固定裝置可以 用于將襯底架IO保持在傳輸封裝中，或用于將架IO傳輸至同一建筑中的 另一個房間。在經(jīng)過本領域技術(shù)人員熟知的適當修改的情況下，傳輸封裝 和固定裝置也都可以用于傳輸除了此處說明的示例性架10之外的其它 架。于是，本發(fā)明的范圍不應當局限于此處所述的傳輸封裝、固定裝置和 架的說明性實施例。
在圖2中圖示了用于保持襯底架10的示例性傳輸固定裝置200。在一 個版本中，襯底架10由傳輸固定裝置200封閉和保護。該傳輸固定裝置 200可以重新使用并也可以用于將完全拆卸的襯底架IO返還給用戶。傳輸 固定裝置200包括頂部端板210a和底部端板210b，它們通過數(shù)個支柱220 彼此連接。端板210a、 210b和支柱220形成限定襯底架10的機殼，如圖 3中所示。端板210a、 210b和支柱220可以用化學惰性的非金屬材料和耐高溫材料制造，如聚四氟乙烯PTFE (商業(yè)上稱為Teflon ),從而傳輸固 定裝置200能夠經(jīng)受清潔或修理處理，并也可以用于返回經(jīng)過修理和重新 裝配的襯底架10。
在一個版本中，底部端板210b包括防撞擊滑板230，它防止襯底架 10在裝載和卸載過程期間從固定裝置200上滑脫。當架10具有突出的末 端部分(未示出)時，端板210a、 210b也可以具有形狀如肋板、島狀物、 臺面或隆起物的升高的緩沖器(也未示出)，該緩沖器位于面對架10的 表面232上，以防止襯底架10和端板210a、 210b之間的接觸。當裝載和 卸載襯底架10時，該升高的緩沖器也幫助將架10保持在垂直位置處。該 升高的緩沖器可以耦合到、或整體形成在端板210a、 210b的表面上。
每個端板210a、 210b都可以包括加強結(jié)構(gòu)240，如滑塊、支架或角 板，以增強端板210a、 210b的剛性并提供其他功能，如用于提起和保持傳 輸固定裝置200的裝置。例如，加強結(jié)構(gòu)240可以包括孔243，該孔能夠 起到用于連接把手或其他承載帶的手指孔或裝置的作用。類似于升高部分 230，加強結(jié)構(gòu)240可以耦合到、或整體形成于端板210a、 210b上。而 且，端板210a、 210b能夠提供開口 250，以利于清潔溶液(即，酸)在襯 底架IO的部件上流動。
耦合端板210a、 210b的支柱220a-c定位使得，襯底架IO牢固地保持 在支柱220a-c之間，如圖3中所示。在一個版本中，端板210a、 210b為 三角形，并具有足夠尺寸，以支承襯底架10。三角形需要較少的材料，以 提供同樣的支撐，并占用較少空間，從而允許在一個容器中運送更多端板 210a、 210b。
參照圖4，當端板210a、 210b為三角形時，端板210a、 210b具有頂 端212a-f，并且支柱220a-c可以結(jié)合到三角形端板210a、 210b的頂端 212a-f上，以使得支柱220a-c之間的空間最大化。三角形頂部和底部端板 210a、 210b也可以在它們的頂端212a-f處具有狹槽214a-f，以容納支柱 220a-c。然而，在端板210a、 210b不為三角形的版本中，狹槽214a-f可以 位于拐角和/或邊緣處。
如圖所示，在本版本中，每個支柱220a、 220b、 220c都分別由一對結(jié)合的條帶222a-b、 222c-d和222e-f制成。每個條帶222a、 222c、 222e都具 有與其他條帶222b、 222d、 222f的內(nèi)部表面224b、 224d、 224f接觸的內(nèi) 部表面224a、 224c、 224e。每個條帶222a-f也都分別沿著內(nèi)部邊緣228a-f 具有縱向凹槽226a-f。當縱向凹槽226a-f彼此對準時，它們結(jié)合形成內(nèi)部 溝槽，加強桿232可以定位在該內(nèi)部溝槽中。在一個版本中，加強桿232 對支柱220進行加強，并可以是不銹鋼桿。由于加強桿232至少部分由溝 槽封閉，所以它得到保護免于受到修理過程期間使用的腐蝕性溶液蝕刻。 為了確保該保護，條帶222可以通過常規(guī)惰性耐熱密封劑結(jié)合，如陶瓷或 環(huán)氧密封劑。
如圖所示，每個條帶222都具有內(nèi)部縱向邊緣228a-f，該邊緣面對固 定裝置200的內(nèi)部，即朝向襯底架IO。該縱向邊緣228可以是窄的(如圖 所示)或?qū)挼?未示出)。在一個版本中，縱向邊緣228a-f沿著結(jié)合的縱 向邊緣222b容納適應性緩沖器234a-c。通過使內(nèi)部縱向邊緣228成杯形， 適應性緩沖器234被牢固連接。在一個版本中，緩沖器234可以經(jīng)過用高 溫硅酮密封劑密封的不銹鋼螺釘連接。于是，簡化了緩沖器234的維護和 更換。在另一版本中，縱向邊緣228可以基本是平直的，并且適應性緩沖 器234通過化學惰性的耐熱粘合劑連接到縱向邊緣228上。在一個版本 中，適應性緩沖器234可以是聚合體管，如在開放末端密封的低硬度計橡 膠、彈性體條帶、或由另一適應性非吸收性化學惰性材料制成的條帶。在 另一版本中，緩沖器234能夠包括隆起物或其他紋理構(gòu)造，以固定盤20。 在另一版本中，緩沖器234可以是保持和緩沖襯底架10的氣動的氣囊。 具有支柱220和適應性緩沖器234的固定裝置200固定、保護和緩沖襯底 架10，尤其是石墨盤20。 一旦襯底架10固定地裝載到傳輸固定裝置200 中，則支柱220a-c上的適應性緩沖器234a-c允許襯底架10在不損傷其部 件的情況下放置在任意位置，例如水平地。
參照圖2和4，頂部端板210a和底部端板210b通過支柱220彼此連 接。至少其中一個端板210a、 210b包括繞著至少一個狹槽214設置的數(shù)對 鉸接塊242 (圖2)。鉸接塊242可以耦合到、或整體形成在端板210a、 210b上。 一對鉸接塊242具有面對的側(cè)壁，該側(cè)壁包括與支柱220中的孔221對準的開口241。當對準時，銷244插過開口 241和孔221，以將支柱 220經(jīng)過鉸接塊242保持在板210a上，如圖4中所示。在一個版本中，每 個銷244也可以耦合到手柄246上，該手柄246允許銷244很容易地插入 或去除，并也防止銷244不可逆地滑脫。而且，手柄246可以經(jīng)過尼龍帶 包裹(未示出)固定到加強結(jié)構(gòu)240上，該尼龍袋包裹例如插過加強結(jié)構(gòu) 240和手柄246中的孔。類似于端板210a、 210b和支柱220,銷244和手 柄246也可以用化學惰性的耐熱材料制造，如PTFE (Teflon )。優(yōu)選 地，銷244用Tefloi^制成，它也提供低摩擦和低磨損的鉸接軸，如下面解 釋的那樣。
在一個版本中，銷244起到鉸接的作用，使得如果去除將支柱220的 一端連接到一個端板上(例如底部端板210b)的銷244，則支柱220能夠 繞著將支柱220的另一端連接到頂部端板210a上的銷244轉(zhuǎn)動。這打開并 允許很容易地接觸傳輸固定裝置200的內(nèi)部。支柱220的一個或兩個末端 可以以這種方式鉸接。另外， 一個或多個支柱220可以鉸接，而其他支柱 固定地連接到端板210a、 210b上。
由于傳輸固定裝置200優(yōu)選地由非金屬、化學惰性和清潔材料制成， 所以襯底架10可以直接從沉積室放置在傳輸固定裝置200中。為了有利 于此，僅通過去除將支柱220連接到頂部端板210a上的銷244并向外轉(zhuǎn)動 支柱220以允許襯底架10下降到傳輸固定裝置200的底部端板210b上， 可以完全去除其中一個端板，例如頂部端板210a。這樣，支柱220可以封 閉并重新連接到頂部端板210a上。
在傳輸固定裝置200的另一版本中，端板210a、 210b被分別成形作為 架IO頂部的頂部支承框架710a和襯底架IO底部的底部支承框架710b， 如圖5中所示。每個支承框架710a、 710b都包括平的中心輪轂712和從該 輪轂712的中心徑向延伸的數(shù)個平的臂714。在兩個相鄰臂714之間形成 的角度取決于平的臂714的數(shù)量。在一個版本中，三(3)個平的臂714 在水平面中彼此以120°等距離間隔開。每個臂714都包括用于容納和固 定剛性支柱220的狹槽716。盡管圖5中未示出，但是每個臂714也可以 包括上述鉸接塊242，以將支柱220固定到支承框架710a、 710b上。傳輸固定裝置200提供剛性支撐，從而襯底架10不會受到扭轉(zhuǎn)力或 法向力，當架10傳輸?shù)叫蘩碓O備和從修理設備傳輸時，該扭轉(zhuǎn)力或法向 力能夠?qū)е滤鼣嗔?。而且，由于傳輸固定裝置200由化學惰性、非金屬并 耐熱的材料制成，所以傳輸固定裝置200可以與襯底架10 —起放置在清 潔溶液中和在高溫下烘干，而不損傷自己、襯底架10、酸浴池或烘箱。因 此，在修理過程期間，傳輸固定裝置200可以用于保護襯底架10，直到襯 底架IO準備拆卸為止。而且，在襯底架IO的部件已經(jīng)由熟練的技術(shù)人員 完全清潔干燥并重新組裝之后，傳輸固定裝置200可以重新用于將完全修 理和組裝的襯底架IO傳輸給用戶。由于襯底架10以組裝狀態(tài)返回，所以 減小了實驗室工作人員在試圖重新組裝部件時弄碎襯底架IO可能性。
在一個版本中，傳輸固定裝置200放置在外殼800a中，以形成傳輸封 裝802，該傳輸封裝在運送期間進一步保護傳輸固定裝置200和襯底架 10。在一個實施例中，如圖6中所示，外殼800a包括圓柱形的第一和第二 托盤850、 860，當組裝在一起時，它們彼此相對和面對，以在它們之間形 成空腔。此處所述外殼800a只是本發(fā)明所述的示例性實施例，并不應當用 于限制本發(fā)明的范圍。例如，托盤也可以成形為矩形盒子狀，或者甚至成 形為半球形拱頂。托盤850、 860用在傳輸期間足以承受外部撞擊的剛性 材料制成。托盤850、 860也可以包括如肋板之類的加強特征，以硬化其 結(jié)構(gòu)。托盤850、 860優(yōu)選地具有光滑的、彈性的和非粒狀表面，當與傳 輸固定裝置200的表面摩擦時，該表面不釋放單個的顆粒。優(yōu)選地，托盤 850、 860的表面是連續(xù)的、不間斷的和無孔的，并沒有在封裝和打開傳輸 固定裝置200時能夠剝離的單個顆粒。在一個版本中，例如，托盤850、 860的光滑和彈性表面能夠具有小于10微英寸的均方根粗糙度。托盤 850、 860的表面也應當是可清洗的，從而在將外殼800a導入到粒子控制 環(huán)境中之前可以將污染物消除。
組裝的一對托盤850、 860起到封閉固定裝置200和襯底架10的自立 容器的作用，甚至能夠具有內(nèi)置把手(未示出)，以將固定裝置200直接 傳輸?shù)叫蘩憝h(huán)境中或傳輸?shù)絻艋抑?。組裝的這對托盤850、 860在密封 和穩(wěn)定環(huán)境下也能夠在凈化室中存儲一段時間，并且只在襯底架10需要在處理室中馬上使用時打開，從而進一步減少襯底架10在托盤850、 860 中的任何污染。
托盤850、 860可以包括連續(xù)的圓周凸緣852a、 852b，該圓周凸緣繞 著托盤850、 860的外周邊緣形成。密封襯墊(未示出)可以放置在托盤 凸緣852a、 852b之間，以提供組裝的托盤850、 860之間的緊密密封，從 而保護襯底架10和傳輸固定裝置200免于受到污染物污染。圓周凸緣 852a、 852b減小了密封兩個托盤850、 860所需要的氣密密封的長度。同 樣，當從頂部托盤850提升，以提供接觸在外殼800a中的傳輸固定裝置 200和架10時，圓周凸緣852a、 852b允許外殼垂直定位。當固定裝置200 和架10放置到外殼中或從外殼中去除需要保持在垂直定向時，本版本是 有利的。
優(yōu)選地，至少外殼800a的一部分由剛性材料制成，該材料也是透光 的，以允許可視檢査保持在內(nèi)部的襯*架10。如本說明書中所使用的那 樣，透光指的是允許至少某些波長的光通過該材料的材料，如透明的、半 透明的、渾濁的或部分不透明的材料。例如，合適的透光材料能夠具有至 少大約20°%的可見光透射率。外殼800a也可以進行表面拋光，以增強透 射光和觀察的清晰性。外殼800a也可以完全由透光材料制成，或者只有外 殼的一部分可以用透光材料制成，如窗口。在不打開密封的情況下，檢査 人員應當能夠可視地檢查箱柜中的內(nèi)部內(nèi)容物。例如，在一個版本中，只 有一個或多個托盤850、 860用透光材料制成，然而兩個托盤850、 860的 整體也可以用透光材料制成。而且，外殼800a可以包括說明內(nèi)容物性質(zhì)和 與打開外殼800a相關(guān)的潛在危險的標記。這種標記可以設置在外殼800a 的透光材料的內(nèi)表面上。
合適的透光剛性材料是熱定型熱塑性塑料聚合體，如高密度聚乙烯， 例如基于聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、乙二醇改性-聚對苯二甲酸乙二 醇酯(PETG)、定向聚對苯二甲酸乙二醇酯(O-PET)或者聚萘二甲酸乙 二醇酯(PEN)或其彼此的混合物或與其它樹脂的混合物。優(yōu)選地，透光 剛性材料是可模注的熱塑性塑料，它在受熱時軟化，形成模注形狀，如聚 對苯二甲酸乙二醇酯一乙二醇(PETG)，如由Palram， Ramat Yohanan，Israel制造的PAL-G片。托盤850、 860可以使用常規(guī)塑料模注技術(shù)用熱塑 性塑料材料的單個毛坯片模注成單個整體件。該毛坯片可以利用常規(guī)熱定 型技術(shù)和如真空輔助模、空氣輔助模、機械活塞輔助?；?qū)夏Ｖ惖脑O 備熱定型成熱固薄壁托盤。單模也可以用于制作托盤，并且模注托盤的各 部分可以切除，切除的托盤組裝形成具有三個或多個不同部分的外殼，如 圖9中所示。
有利地，外殼800a允許在不打開外殼或破壞密封的情況下可視檢査其 內(nèi)部內(nèi)容物。如果襯底架10斷裂或碎裂，則在如零件分配倉庫之類的中 間傳輸點處不打開外殼800a的情況下可以馬上發(fā)現(xiàn)該斷裂。期望在運送之 前在不打開和污染外殼的內(nèi)容物的情況下檢査具有封閉的封裝架10的傳 輸封裝802的狀態(tài)。在潛在不利環(huán)境中在不破壞密封的情況，外殼800a也 允許在通過邊界的國際傳輸期間海關(guān)官員根據(jù)更新的更加嚴格的海關(guān)檢驗 來檢査內(nèi)部內(nèi)容物，在該環(huán)境下可能導致架10在完成運輸之后完全廢 棄。外殼800a也允許易碎的襯底架10從凈化室安全地傳輸?shù)叫蘩碓O備， 反之亦然，同時保持與外部環(huán)境的良好氣密密封。
傳輸封裝802也可以包括硬箱體870，該箱體870用于封閉外殼800a
(或此處所述的任意其它外殼版本)，進行運輸，如圖6、 12A和12B中 所示的例子。箱體870包括具有內(nèi)部泡沫塊876的盒子874，該泡沫塊 876具有與外殼800a的外部形狀匹配的內(nèi)部輪廓或切割形狀，如圖6所 示。經(jīng)過輪廓加工的內(nèi)部泡沬塊876可以用彼此粘到一起形成所需切割形 狀的凈化室泡沫的單個塊制成。凈化室泡沫是高度壓縮的海綿狀聚乙烯泡 沫材料，如來自FP Technologies, Ventura, California的Zotefoam，s
"Plastazote LD-24"。凈化室泡沬通常具有多孔的開放分子結(jié)構(gòu)，例如具 有尺寸大約為10至IOO微米的孔。
通常，箱體870在凈化室外部打開，并且盛有將封閉架10從箱體870 上去除的傳輸固定裝置200的外殼800a，如果需要則進行清潔，然后載入 凈化室。由于陷入到泡沫塊876的孔中的氣體能夠排氣到凈化室環(huán)境中； 并且用于產(chǎn)生立體容器的泡沫塊之間的粘結(jié)層也能夠排氣或產(chǎn)生聚合污染 物顆粒，因此傳輸封裝不帶入凈化室。盒子874通常包括用剛性材料(如塑料或金屬片)制成的頂壁877、 側(cè)壁878和底壁879。合適的剛性塑料包括用模注聚丙烯制成的箱體，例 如由Hardigg Indus., South Deerfield, Massachusetts制作的。盒子874的壁 878、 879、 877也可以用金屬鑲邊883進行加強，例如鋁鑲邊。盒子874 也可以具有手柄880和輪子882，以利于封裝部件從運送車輛傳輸?shù)骄?生產(chǎn)設備或修修設備的凈化室，如圖12A和12B中所示。
現(xiàn)在將描述外殼800b的其他版本。在一個版本中，外殼800b包括凸 緣852a、 852b，該凸緣具有平行于圖7中所示縱軸和橫軸延伸的槽。托盤 850、 860的橫向凸緣852a、 852b可以包括數(shù)個孔855，螺釘或其他緊固件 856可以插過該孔，以將托盤850、 860彼此固定。由于外殼800b的長度 和寬度的組合距離大于圓周距離，所以橫向凸緣852a、 852b增大了凸緣密 封的接觸面積。同樣，橫向凸緣852a、 852b允許外殼在水平位置中去除， 提供內(nèi)部固定裝置200和架10的橫向接觸。
參照圖8，用于保持固定裝置200和架10的外殼800c的另一實施例 包括三個互鎖托盤，這三個托盤包括封閉固定裝置200的頂部托盤901、 中央托盤902和底部托盤903。每個托盤901-903都包括允許部分901-903 經(jīng)過緊固件(未示出)彼此結(jié)合的凸緣910。在本版本中，至少其中一個 圓周凸緣910也起到用于提升和移動帶有其內(nèi)容物的外殼800c的手柄的作 用。雙開外殼800c設置用于允許只打開頂部，以允許更容易接觸外殼的內(nèi) 容物。同樣，頂部能夠具有升高的加強條帶907，該條帶也起到支撐外殼 的底腳的作用。
如圖9至11中所示外殼800d的又一版本也包括三個托盤952、 954和 956，但是它們以不同方式結(jié)合在一起。參照圖9，頂部托盤952包括外部 凸緣958，該外部凸緣958為平的，并與第二托盤954的內(nèi)部凸緣960配 合，該內(nèi)部凸緣960滑動到外部凸緣958中形成氣密密封。于是，外殼 800d的上結(jié)合點缺少向外延伸的凸緣。第二托盤954和第三托盤956通過 凸緣962和964結(jié)合，該凸緣從外殼向外和橫向延伸，并分別具有彎曲的 末端部分962a、 964a，該末端部分提供用于保持和移動外殼的把手。向外 延伸的凸緣962、 964允許至少三個人能夠同時提升外殼，如封裝重量超過75磅的當前OSHA規(guī)則所需要的那樣。通過使用例如沿著凸緣60°間 隔定位的六個直角轉(zhuǎn)彎緊固件951，分別在凸緣962、 964的扁平內(nèi)部部分 962b和964b處形成密封。另外，用與外殼800d相同材料制成的兩個加強 葉片953a、 953b可以環(huán)繞外殼800d的頂部和底部區(qū)域定位，以在這些區(qū) 域提供額外的強度。另外，托盤952、 954和956都可以用相同模具制 作，以節(jié)省生產(chǎn)成本，使如凸緣之類的部分切除，以形成如圖所示的三個 不同形狀。
在另一版本中，外殼也能夠具有凹陷的杯(cup) 974，以容納排氣端 口耦合裝置966,如圖IOB中所示。在本版本中，凹陷的杯974將尺寸加 工成安裝排氣端口耦合裝置966，從而耦合裝置966的頂部平面975與頂 壁967的頂表面976齊平。在外殼200的傳輸期間，凹陷的杯974保護耦 合裝置966并防止意外敲落型損傷。通過在常規(guī)模注裝置中與外殼同時模 注該杯來制作凹陷的杯974。在本版本中，夾緊的凸緣969接合安裝在頂 壁967的底表面977上的第一加強板972、和安裝在頂部托盤952的頂壁 967的頂表面976上的第二加強板973。
排氣端口耦合裝置966定位在頂部托盤952的頂壁967上。排氣端口 耦合裝置966足夠大，以允許常規(guī)Draeger氣體采樣管插入，該采樣管可 以用于篩選外殼中的氣體，例如用于探測有毒氣體。然而，其也不應當太 大，否則將從頂壁967突出太遠。圖10A示出了排氣端口耦合裝置966的 示例性實施例，該耦合裝置包括組件(i)適配器968，如NW-25適配 器；(ii)具有不銹鋼環(huán)的o形環(huán)密封件969; (iii)隔開板970;和 (vi)夾在組件頂部周圍的壓緊外殼971，所有這些都可從Nor-Cal products, Eureka, California獲得。通過將凸緣連接到晶片生產(chǎn)或整修設備 的典型"房屋"排氣洗滌系統(tǒng)上，排氣端口耦合裝置966允許將外殼中的 空氣或其他氣體泵出。壓緊凸緣969與一個或多個加強板972、 973配 合，該加強板在內(nèi)部安裝和粘結(jié)到頂部托盤952的頂壁967上。在內(nèi)部安 裝的板972、 973較厚和較堅固，以加強結(jié)合，并可以是例如厚度為大約2 至20毫米的與外殼相同材料的圓板(如聚對苯二甲酸乙二醇酯-乙二 醇)。通過使用如McMasterCarr517A2PETG粘結(jié)劑之類的粘結(jié)劑，排氣端口耦合裝置966的各個部件可以彼此粘結(jié)到一起，并粘結(jié)到凸緣969 上，以形成氣密密封。
清掃用氣體耦合裝置980定位在底部托盤956的側(cè)壁982上。清掃用 氣體耦合裝置980允許清掃用氣體從外部清掃氣體源(未示出)進入外 殼。典型的清掃用氣體包括非活性氣體，如氮氣或氬氣，并起到在外殼 200中提供惰性或非活性環(huán)境以保護架IO不暴露到外部環(huán)境中的作用。圖 10示出了清掃用氣體耦合裝置980的示例性實施例，該耦合裝置包括
(i)防旋轉(zhuǎn)支架981，它在標準使用下無法輕易移動，并通過螺釘983連 接；(ii)常規(guī)VCR型裝配件984; (iii)表面密封板和墊圈986;及
(iv)將組件保持在一起的螺母988，所有這些都可從Swagelok， Solon， Ohio獲得。內(nèi)部氣體導向板992將形狀加工成將流入的清掃用氣體向下朝 外殼800d的內(nèi)部的底部導向，如箭頭994所示，以防止清掃用氣體直接 碰撞在固定裝置200或架10上。將清掃用氣體直接吹到這些部件上能夠 去除顆粒和松脫的易碎涂層。外部安裝的加強板994設置用于加強該組 件。各個部件可以用如前所述的粘結(jié)劑密封。
本發(fā)明已經(jīng)參照其某些優(yōu)選版本進行了描述；然而，其他版本也是可 能的。例如，傳輸封裝802和傳輸固定裝置200可以用于其它類型的應 用，如本領域技術(shù)人員所知的那樣，例如傳輸其他易碎處理部件。傳輸固 定裝置200的其他構(gòu)造也可以用于適應處理部件的形狀和尺寸。例如，端 板210a、 210b的形狀可以加工成除了三角形或框架之外的形狀，例如方 形、六角形或者甚至圓形板或框架。外殼800a-800d也可以用其它材料制 作，或者具有由不透明材料環(huán)繞的透明材料的小窗口。箱體870也可以具 有其他形狀，例如圓柱形，并可以用鋼或其他金屬制作。因此，所附權(quán)利 要求的精神和范圍不應當局限于此處所含優(yōu)選版本的描述。
權(quán)利要求1.一種用于傳輸襯底架的傳輸封裝件，其特征在于，所述傳輸封裝件包括(a)容器，包括硬箱體；(b)所述箱體內(nèi)部的泡沫塊，所述泡沫塊包括切割部分，該切割部分具有其形狀對應于傳輸外殼的外部形狀的內(nèi)部輪廓，所述傳輸外殼為具有繞其向外和橫向延伸的凸緣的圓柱形狀。
2. 如權(quán)利要求1所述的傳輸封裝件，其特征在于，所述容器包括矩形盒子o
3. 如權(quán)利要求1所述的傳輸封裝件，其特征在于，所述泡沫塊包括粘到一起的多個泡沫片。
4. 如權(quán)利要求1所述的傳輸封裝件，其特征在于，所述泡沬塊包括尺 寸為IO微米至100微米的孔。
5. 如權(quán)利要求1所述的傳輸封裝件，其特征在于，還包括傳輸外殼， 所述傳輸外殼包括相對的一對托盤，每個托盤具有封閉末端和帶有圓周凸 緣的開放末端，所述托盤在所述圓周凸緣處接合，以限定所述傳輸外殼內(nèi) 部的空腔。
6. 如權(quán)利要求5所述的傳輸封裝件，其特征在于，所述托盤包括圓柱體。
7. 如權(quán)利要求5所述的傳輸封裝件，其特征在于，所述圓周凸緣從所 述外殼的相對的所述托盤向外和橫向延伸。
8. 如權(quán)利要求5所述的傳輸封裝件，其特征在于，還包括所述外殼的 所述空腔內(nèi)部的固定裝置，所述固定裝置包括-(i) 頂部端板和底部端板；(ii) 多個間隔開的支柱，其將所述頂部端板連接到所述底部端板 上，以將所述襯底架限定在它們之間，每個所述支柱都具有縱向內(nèi)部邊 緣；以及(iii) 多個適應性緩沖器，每個所述緩沖器都耦合到所述支柱的所述縱向內(nèi)部邊緣上。
9. 如權(quán)利要求8所述的傳輸封裝件，其特征在于，還包括所述第一圓 周凸緣和所述第二圓柱凸緣之間的密封墊圈，以在其間形成密封。
10. 如權(quán)利要求9所述的傳輸封裝件，其特征在于，所述外殼包括排 氣端口耦合裝置。
11. 如權(quán)利要求9所述的傳輸封裝件，其特征在于，所述外殼包括清 掃用氣體耦合裝置。
12. 如權(quán)利要求IO所述的傳輸封裝件，其特征在于，所述固定裝置的 所述頂部端板和所述底部端板為三角形，并且具有頂端，并且其中每個所 述支柱結(jié)合到所述頂端。
專利摘要本實用新型提供一種用于傳輸襯底架的傳輸封裝件，所述傳輸封裝件包括容器，包括硬箱體；所述箱體內(nèi)部的泡沫塊，所述泡沫塊包括切割部分，該切割部分具有其形狀對應于傳輸外殼的外部形狀的內(nèi)部輪廓，所述傳輸外殼包括具有繞其向外和橫向延伸的凸緣的圓柱形狀。
文檔編號H01L21/673GK201144053SQ20072014747
公開日2008年11月5日 申請日期2006年6月5日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月3日
發(fā)明者羅納爾·維恩·肖爾 申請人:應用材料公司