專利名稱：板狀物暫放裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種板狀物的暫放裝置，特別是一種可調(diào)整為批次暫放二板 狀物或三板狀物的暫放裝置。
背景技術：
半導體基板或液晶基板等制造由多數(shù)的處理制程或檢査制程所組成，在各制程中為了制程的便利， 一般會將多數(shù)片的基板收藏于卡匣(cassette)中，以便將卡 匣依次運送至處理裝置或檢査裝置，并藉由基板運送機器人的承載臂自卡匣內(nèi)逐片 取出基板，進行所需的制程處理或檢査處理，其中當基板運送機器人自卡匣內(nèi)逐片 取出基板且尚未進行進一步處理時，會先將基板暫時放置于一暫存臺上，以利用暫 存臺上由數(shù)個承載架所建構出的承載區(qū)域暫時承載基板。隨著基板尺寸的改變，基板在卡匣內(nèi)的配置可為兩列或三列配置，因此基板 運送機器人批次取出且運送兩片基板或三片基板時，暫存臺亦需對應區(qū)隔出二承載 區(qū)或三承載區(qū)；然而在習知的暫存臺中，承載架固定于暫存臺上，每一暫存臺所建 構的承載區(qū)大小固定，因此需具備有多臺各自具有二承載區(qū)或三承載區(qū)的暫存臺， 以隨時依據(jù)不同的卡匣做更換，在制程上具有更換繁瑣且成本高的缺失。因此若能提出一種在同一暫存臺中，可隨時調(diào)整承載區(qū)的大小以批次放置二 板狀物或三板狀物的板狀物暫放裝置，即為本實用新型的目標。實用新型內(nèi)容為了解決上述問題，本實用新型目的之一提出一種板狀物暫放裝置，藉由一 傳動機構調(diào)整一對具有多個第一承載爪的第一側(cè)板，及一對具有多個第二、第三承 載爪的第二側(cè)板的位置，使第一、第二側(cè)板可區(qū)隔出二承載區(qū)或三承載區(qū)，進而藉 由第一、第二及第三承載爪批次承載二板狀物或三板狀物，以具備有簡化制程且降 低成本的優(yōu)點。本實用新型目的之一提供板狀物暫放裝置，其具有較高的承載強度，將可大幅改善大尺寸基板放置于承載爪上的安全疑慮。為了達到上述目的，本實用新型一實施例的板狀物暫放裝置包含 一本體， 其內(nèi)部設置一傳動機構；二第一側(cè)板平行且間隔設置并與傳動機構連接，二第一側(cè) 板的相對表面分別延設多個間隔排列的第一承載爪；二第二側(cè)板平行設置于二第一 側(cè)板之間，且與傳動機構連接，二第二側(cè)板具有彼此面對的二內(nèi)側(cè)面，及分別與二 第一側(cè)板面對的二外側(cè)面，二內(nèi)側(cè)面分別延設有相對且偏置排列的多個第二承載 爪，每一第二側(cè)板上形成有多個開槽；以及多個第三承載爪間隔排列設置于二第二 側(cè)板的二外側(cè)面，以與第一承載爪相對；其中，二第二側(cè)板受傳動機構驅(qū)動進行一 第一作動及一第二作動其中之一，第一作動使二第二側(cè)板相互遠離一間隔后停止， 第二作動使二第二側(cè)板彼此位移靠近以并排結合，且每一第二側(cè)板上的每一第二承 載爪分別相互穿設過另一第二側(cè)板上的每一開槽。


圖1所示為本實用新型一實施例板狀物暫放裝置的一作動狀態(tài)結構示意圖。圖2所示為本實用新型一實施例板狀物暫放裝置的另一作動狀態(tài)結構示意圖。圖3所示為本實用新型一實施例板狀物暫放裝置應用于一暫存臺示意圖。圖4所示為本實用新型一實施例板狀物暫放裝置放置基板的應用示意圖。圖5所示為本實用新型一實施例板狀物暫放裝置放置基板的另一應用示意圖。主要元件符號說明:10板狀物暫放裝置12本體14、14，第一側(cè)板16、16，第二側(cè)板161、161'內(nèi)側(cè)面162、162'外側(cè)面18、18，第一承載爪20、20，第二承載爪22、22，開槽24、24，第三承載爪30、30,第一承載區(qū)40 第二承載區(qū)50、 50' 第三承載區(qū) 60 暫存臺 62 基板具體實施方式
圖1所示為本實用新型一實施例板狀物暫放裝置的一作動狀態(tài)結構示意圖， 于本實施例中， 一板狀物暫放裝置10包括一本體12，其內(nèi)部設置一傳動機構(圖 中未示)，較佳者為伺服傳動機構或氣壓傳動機構；二第一側(cè)板14、 14'平行間 隔設置位于本體12底面二側(cè)，以及二第二側(cè)板16、 16'平行設置且位于二第一側(cè) 板14、 14'之間，又第一側(cè)板14、 14'及第二側(cè)板16、 16'的頂緣皆與傳動機構 連接；其中，二第一側(cè)板14、 14'的相對表面底緣分別水平延設有多個個間隔排 列且相對的第一承載爪18、 18，；每一第二側(cè)板16、 16，具有一內(nèi)側(cè)面161、 161， 及一外側(cè)面162、 162'，每一內(nèi)側(cè)面161、 161'面對另一第二側(cè)板16、 16'，每 一外側(cè)面162、 162'則面對相鄰的第一側(cè)板14、 14' ， 二內(nèi)側(cè)面161、 161'的底 緣分別水平延設有相對且偏置排列的多個第二承載爪20、 20'，又第二側(cè)板16、 16，上形成有多個開槽22、 22，，且一第二側(cè)板16、 16，上的每一開槽22、 22， 的位置分別對應另一第二側(cè)板16， 、 16上的第二承載爪20， 、20的位置；同時二 第二側(cè)板16、 16'的二外側(cè)面162、 162'的底緣分別設置有多個間隔排列的第三 承載爪24、 24'，以分別對應第一側(cè)板14、 14'上的第一承載爪18、 18'。接續(xù)上述說明，二第一側(cè)板14、 14'受傳動機構驅(qū)動左右略為位移，而二第 二側(cè)板16、 16'受傳動機構驅(qū)動進行一第一作動及一第二作動其中之一；當進行 第一作動時，請繼續(xù)參閱圖l， 二第二側(cè)板16、 16'相互遠離一間隔，使二第二側(cè) 板16、 16'與其鄰近的第一側(cè)板間14、 14'分別構成一第一承載區(qū)30、 30'，而 二第二側(cè)板16、 16'間則構成一第二承載區(qū)40，進而具有三個可承載的區(qū)域；另 一方面，當進行第二作動時，請參閱圖2， 二第二側(cè)板16、 16'彼此位移靠近，且 每一第二側(cè)板16、 16'上的第二承載爪20、 20，分別相互穿設過另一第二側(cè)板 16， 、 16上的開槽22， 、 22，使二第二側(cè)板16、 16，并排結合在一起，進而藉由 相互結合的第二側(cè)板16、 16'位于兩第一側(cè)板14、 14'的中間位置以區(qū)隔出二個 第三承載區(qū)50、 50，。其中，如圖1所示，當進行第一作動以構成二第一承載區(qū)30、 30'及一第二6承載區(qū)40時，在每一第一承載區(qū)30、 30'中藉由相對應的第一承載爪18、 18'及 第三承載爪24、 24'共同支撐所欲放置的板狀物，而在每一第二承載區(qū)40中則藉 由相對且偏置排列的第二承載爪20、 20'共同支撐所欲放置的板狀物，于一實施 例中，第一、第二承載區(qū)30、 30' 、 40中所放置的板狀物具有相同尺寸；另一方 面，當進行第二作動以構成二第三承載區(qū)50、 50'時，如圖2所示，在每一第三 承載區(qū)50、 50，中，除了利用相對應的第一承載爪18、 18，及第三承載爪24、 24， 承載板狀物之外，亦同時利用由開槽22、 22'穿設出的第二承載爪20、 20'共同 支撐板狀物，進而具有較高的承載強度。如圖3所示，于一實施例中，本實用新型的板狀物暫放裝置10與一暫存臺60 結合，以供暫時存放由基板運送機器人(圖中未示)從一卡匣(圖中未示)內(nèi)取出且批 次運送而來的二基板或三基板，二第一側(cè)板14、 14'及二第二側(cè)板16、 16'的作 動方式將依據(jù)卡匣內(nèi)基板配置的列數(shù)選擇進行第一作動或第二作動；其中基板可為 液晶面板、太陽能板或其他小尺寸且輕質(zhì)的板狀物。當卡匣內(nèi)的基板呈三列狀態(tài)配置且基板運送機器人批次運送三基板時，如圖4 所示，傳動機構驅(qū)動第一側(cè)板14、 14'及第二側(cè)板16、 16'移動以構成三個可承 載的區(qū)域(二第一承載區(qū)30、 30'與一第二承載區(qū)40)，以便藉由每一區(qū)的承載 爪各自暫時承載一基板62，其中較佳者，每一基板62的尺寸為12英寸至23英寸； 當卡匣內(nèi)的基板呈兩列狀態(tài)配置且基板運送機器人批次運送兩基板時，如圖5所 示，傳動機構驅(qū)動第一、第二側(cè)板14、 14' 、 16、 16'移動以構成二個可承載的 區(qū)域(第三承載區(qū)50、 50')，以便藉由每一區(qū)的承載爪各自暫時承載一基板62， 其中較佳者，每一基板62的尺寸為23英寸至32英寸。綜合上述，本實用新型藉由第一、第二側(cè)板的位移調(diào)整，可自由變化為批次 暫放二基板或三基板，以便在不需更換整個暫存臺的前提下可隨時對應卡匣內(nèi)的基 板的兩列或三列配置設計；將可改善習知技術中當卡匣內(nèi)的基板的配置不同時，需 整個更換暫存臺所造成的更換麻煩且高成本的缺失，具備有簡化制程且降低成本的 優(yōu)點；另一方面，當板狀物暫放裝置批次暫放二基板時，藉由二第二側(cè)板結合所穿 設過的第二承載爪的輔助，將可大幅提升大尺寸基板放置時的支撐強度，以改善安 全疑慮。以上所述的實施例僅為說明本實用新型的技術思想及特點，其目的在使熟習 此項技藝的人士能夠了解本實用新型的內(nèi)容并據(jù)以實施，當不能以之限定本實用新 型的專利范圍，即大凡依本實用新型所揭示的精神所作的均等變化或修飾，仍應涵蓋在本實用新型的專利范圍內(nèi)。
權利要求1.一種板狀物暫放裝置，用以存放至少一板狀物，其特征在于，該板狀物暫放裝置包含一本體，其內(nèi)部設置一傳動機構；二第一側(cè)板，平行且間隔設置并與該傳動機構連接，二該第一側(cè)板的相對表面分別延設多個間隔排列的第一承載爪；二第二側(cè)板，平行設置于二該第一側(cè)板之間，且與該傳動機構連接，二該第二側(cè)板具有彼此面對的二內(nèi)側(cè)面，及分別與二該第一側(cè)板面對的二外側(cè)面，二該內(nèi)側(cè)面分別延設有相對且偏置排列的多個第二承載爪，每一該第二側(cè)板上形成多個開槽；以及多個第三承載爪，間隔排列設置于二該第二側(cè)板的二該外側(cè)面，以與該第一承載爪相對，其中二該第二側(cè)板受該傳動機構驅(qū)動進行一第一作動及一第二作動其中之一，該第一作動使二該第二側(cè)板相互遠離一間隔，該第二作動使二該第二側(cè)板彼此位移靠近以并排結合，且每一該第二側(cè)板上的每一該第二承載爪分別相互穿設過另一該第二側(cè)板上的每一該開槽。
2. 如權利要求1所述的板狀物暫放裝置，其特征在于，進行該第一作動時， 每一該第二側(cè)板與其鄰近的該一第一側(cè)板間構成一第一承載區(qū)，而二該第二側(cè)板之 間構成一第二承載區(qū)。
3. 如權利要求2所述的板狀物暫放裝置，其特征在于，二該第一承載區(qū)與該 第二承載區(qū)具有相同的板狀物承載尺寸。
4. 如權利要求1所述的板狀物暫放裝置，其特征在于，進行該第二作動時， 每一該第一側(cè)板與其鄰近的該一第二側(cè)板間構成一第三承載區(qū)。
5. 如權利要求4所述的板狀物暫放裝置，其特征在于，二該第三承載區(qū)具有 相同的板狀物承載尺寸。
6. 如權利要求1所述的板狀物暫放裝置，其特征在于，二該第二側(cè)板并排結 合的位置位于二該第一側(cè)板之間的中央位置。
7. 如權利要求1所述的板狀物暫放裝置，其特征在于，該傳動機構為一伺服 傳動機構或一氣壓傳動機構。
8. 如權利要求1所述的板狀物暫放裝置，其特征在于，該板狀物為液晶面板 或太陽能板。
9. 如權利要求1所述的板狀物暫放裝置，其特征在于，該板狀物的尺寸為12 英寸至32英寸。
專利摘要一種板狀物暫放裝置，包括一傳動機構；二第二側(cè)板設置于二第一側(cè)板間且皆連接至傳動機構；二第一側(cè)板的相對表面分別設有多個第一承載爪，二第二側(cè)板的相對內(nèi)側(cè)面分別設有相對且偏置排列的多個第二承載爪，且每一第二側(cè)板上形成多個開槽，又二第二側(cè)板的外側(cè)面設置有多個第三承載爪；二第二側(cè)板可相互遠離一間隔，抑或可彼此位移靠近且每一第二側(cè)板上的第二承載爪分別相互穿設過另一第二側(cè)板上的開槽。藉由第一、第二側(cè)板的移動可建構二承載區(qū)或三承載區(qū)，以供置放二板狀物或三板狀物。
文檔編號H01L21/677GK201117645SQ20072019341
公開日2008年9月17日 申請日期2007年11月9日 優(yōu)先權日2007年11月9日
發(fā)明者梁敬文 申請人:盟立自動化股份有限公司