專利名稱：用以存放半導體組件或光罩的存放裝置及其過濾裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用以存放半導體組件或光罩的存放裝置，特別是 有關于一種具有過濾裝置的用以存放半導體組件或光罩的存放裝置。
背景技術：
近代半導體科技發(fā)展迅速，其中光學微影技術(Optical Lithography) 扮演重要的角色，只要是關于圖形pattern定義，皆需依賴光學微影技術。 光學微影技術在半導體的應用上，是將設計好的線路制作成具有特定形狀 可透光的光罩。利用曝光原理，則光源通過光罩投影至硅晶圓silicon wafer可曝光顯示特定圖案。然而，由于任何附著于光罩或半導體組件上 的塵埃顆粒如微粒、粉塵或有機物都會造成投影成像的質量劣化，用于產 生圖形的光罩必須保持絕對潔凈，而被投射的硅晶圓或者其它半導體組件 投射體亦必須保持絕對清靜，因此在一般的晶圓制程中，都提供無塵室 clean room的環(huán)境以避免空氣中的顆粒污染。然而，目前的無塵室也無法 達到絕對無塵狀態(tài)。
因此，現代的半導體制程皆利用抗污染的光罩存放裝置進行光罩的保 存與運輸，以使光罩保持潔凈；也利用抗污染的半導體組件存放裝置進行半導體組件的保存與運輸，以使半導體組件保持潔凈。光罩存放裝置是在 半導體制程中用于存放光罩，以利光罩在機臺之間的搬運與傳送，并隔絕 光罩與大氣的接觸，避免光罩被雜質污染而產生變化；而半導體組件存放
裝置是在半導體制程中用于存放半導體組件，以利半導體組件在機臺之間 的搬運與傳送，并隔絕半導體組件與大氣的接觸，避免半導體組件被雜質 污染而產生變化。因此，在先進的半導體廠中，通常會要求該種用以存放
半導體組件或光罩的存放裝置的潔凈度要符合機械標準接口 Standard Mechanical Interface; SMIF，也就是說保持潔凈度在Class 1以下。故， 在用以存放半導體組件或光罩的存放裝置中充入氣體便是目前解決的手 段之一。
然而，為了進一步提升產品的良率及降低制造的成本，除了達到潔凈 度的標準要求之外，還要克服因為外來氣體對于光罩的污染。這樣的外來 氣體除了大氣以外，還有兩個來源，其一是源自于高分子材料所制成的放 裝置本身所釋出的氣體outgasing，其二是源自于殘留在光罩或半導體組 件表面的微量化學溶液所產生的揮發(fā)氣體。這些非期望氣體會對光罩或半 導體組件的表面產生霧化作用，使得光罩或半導體組件無法再使用而必須 報廢的窘境，使得制造成本增加。在存放裝置中充入氣體是目前解決光罩 或半導體霧化的手段之一，其中如何保持充入氣體的潔凈度，是一個重要 的議題。
有鑒于此，本實用新型所提供的具有過濾裝置的用以存放半導體組件 或光罩的存放裝置，乃針對現有加以改良。
實用新型內容
本實用新型的主要目的在于提供一種具有過濾裝置的用以存放半導 體組件或光罩的存放裝置，可用來過濾空氣中的微塵，以避免光罩或半導 體組件受到污染。
為解決現有的問題，本實用新型提供一種具有過濾裝置的用以存放半 導體組件或光罩的存放裝置。此種存放裝置是由第一蓋體與第二蓋體組合 而成，形成一內部空間可容納光罩或半導體組件，此種存放裝置的第二蓋 體設有至少一孔，用以連通用該存放裝置的內部空間以及外部空間，以及 一過濾裝置置于該孔。該過濾裝置是由過濾件以及固定件所構成。根據本 發(fā)明一較佳實施例，該過濾裝置可再包含第一部分、第二部分、固定件與 過濾件，其中該第一部分具有通孔與卡制機構，第二部分具有通孔與嚙合 機構，過濾件置于第一部分或第二部分上，并且由固定件固定過濾件。
本實用新型的再一 目的在于提供一種具有過濾裝置的用以存放半導 體組件或光罩的存放裝置，可用來過濾空氣中的微塵，以保持該用以存放 半導體組件或光罩的存放裝置內的潔凈度。
本實用新型的有益效果是，所提供的用以存放半導體組件或光罩的存 放裝置及其過濾裝置，可用來過濾空氣中的微塵，以避免光罩或半導體組 件受到污染。


圖1:本實用新型用以存放半導體組件或光罩的存放裝置的示意圖； 圖2A至圖2D:本實用新型用以存放半導體組件或光罩的存放裝置設置過濾件與固定件的示意圖3A至圖3D:本實用新型用以存放半導體組件或光罩的存放裝置與 過濾件及固定件的設置示意圖4A至圖4C:本實用新型用以存放半導體組件或光罩的存放裝置中 固定件與過濾件的關是示意圖5A至圖5D:本實用新型用以存放半導體組件或光罩的存放裝置與 過濾裝置配置示意圖6:本實用新型過濾裝置的分解圖7A至圖7F:本實用新型過濾裝置中固定件與過濾件的示意圖； 圖8A至圖8C:本實用新型過濾裝置中過濾件、固定件與第一部分的 示意圖9A至圖9F:本實用新型過濾裝置中第一部分與第二部分的支撐部 的示意圖。
主要組件符號說明
1過濾裝置 2第一部分 21卡制機構 22支撐部 3第二部分 31嚙合機構 32支撐部4過濾件
5固定件 51孔隙
52 n字型角
53 T字型角 6第一蓋體
7第二蓋體 71本體 72板件 A， A， 孔 H，H' 通孔
具體實施方式
由于本實用新型揭露一種具有過濾裝置的用以存放半導體組件或光 罩的存放裝置的結構，其中所利用到的一些光罩或半導體組件或存放裝置 的詳細制造或處理過程，是利用現有技術來達成，故在下述說明中，并不 作完整描述。而且下述內文中的圖式，亦并未依據實際的相關尺寸完整繪 制，其作用僅在表達與本實用新型特征有關的示意圖。
請先參閱圖1，此是本實用新型的用以存放半導體組件或光罩的存放 裝置的示意圖，此存放裝置是由一第一蓋體6與一第二蓋體7組合而成， 形成一內部空間可容納光罩或半導體組件，而在第二蓋體7上包含有至少 一孔A，用以連通該存放裝置的內部空間以及外部空間。接著請參閱圖2A至圖2D，在本存放裝置的第二蓋體7包含有本體71 與板件72，本體71設置一孔A，在板件72相對于本體71的處亦設有一 孔A'，本體71的孔A與板件72的孔A'相連通，以供空氣流通，在板 件72上設置過濾件4，覆蓋該孔A'，以過濾流通空氣的雜質，接著，再 設固定件5于過濾件4上，并與板件72相連接，以達到固定過濾件4的 效果，當然該固定件5需設置至少一個孔隙51，以使空氣流通。圖2A是 各組件的示意圖，圖2B是組件組合后的示意圖，其中，固定件5是以延 伸的『n』字型角52卡設于板件72上，然而，如圖2C與圖2D所示，固 定件5亦得以『T』字型角53卡設于板件72上。
此外，請參閱圖3A至圖3D，板件72亦得延伸至本體71的孔A中， 以形成一使空氣流通的孔。其中，圖3A、圖3B圖所示的實施方式，固定 件5是以『n』字型角52卡設于板件72上；又如圖3C、圖3D所示，板 件72延伸至本體71的孔A中，而固定件5是以『T』字型角53卡設于板 件72上。
不論板件72是否延伸至本體71，或固定件5是以何種方式卡設于板 件72上，固定件5與板件72及過濾件4的相對關是有多種實施方式，如 圖4A至圖4C所示固定件5可包覆于板件72上，達到固定過濾件4的 效果，如圖4A所示；或可卡設于板件72，如圖4B與圖4C所示；而固定 件5可大致覆蓋該過濾件4，如圖4A與圖4B所示，或者亦可僅框住該過 濾件4，如圖4C所示，端視使用的需要。
接著請再參閱圖5A至圖5D，此是具有過濾裝置的用以存放半導體組 件或光罩的存放裝置的其它實施方式。其中，第二蓋體7具有至少一孔A，過濾裝置1與第二蓋體7的孔A結合，過濾裝置1是由第一部分2、第二 部分3、過濾件4與固定件5所組合而成。在圖5A所示的實施方式中，固 定件5是單獨的組件，設置于第一部分2或第二部分3 (本圖未顯示設置 于第二部分3的實施態(tài)樣)上，用以固定過濾件4，其設置的剖面圖如圖 5B所示；然而在圖5C所示的實施方式中，固定件5為一板件，大致覆蓋 在第二蓋體7面對內部空間的表面上，相對應于過濾件4的位置處設置有 至少一個孔隙51，以供空氣流通，圖5D為該種實施方式的剖面圖。
接著請參閱圖6，此是圖5A或圖5B所示的實施方式中，過濾裝置1 的分解圖。此種過濾裝置1是由第一部分2、第二部分3、過濾件4與固 定件5所組合而成，在第一部分2中，具有一通孔H，而第二部分3亦具 有一通孔H，，當第一部分2與第二部分3相結合時，該二通孔HH'將結 合成一通孔，可使氣體通過；其中第一部分2具有卡制機構21，與第二部 分3的嚙合機構31相卡固，其型態(tài)如圖7A至圖7D所示；卡制機構21可 以是至少一對卡勾，如圖7A所示，或者如圖7B所示，是環(huán)狀卡勾；嚙合 機構31可以如圖7C所示，為至少一對槽體，或如圖7D所示，為環(huán)狀的 槽體。
不論卡制機構21為一對卡勾或環(huán)狀卡勾，嚙合機構31為至少一對槽 體或環(huán)狀槽體，卡制機構21與嚙合機構31均得互相卡固，其卡固的方式 可如圖7E所示，卡制機構21卡固于第二部分3面對通孔H的內圍，或者 如圖7F所示，卡制機構21卡固于第二部分3相對于內圍的外圍，只要卡 制機構21與嚙合機構31相卡固即可。
當第一部分2與第二部分3相結合后，過濾件4可覆蓋于第一部分2或第二部分3的通孔H上，當空氣通過通孔H時，過濾件4可過濾空氣中 的微塵；接著再以固定件5固定過濾件4于第一部分2或第二部分3上， 固定件5可包覆于第一部分2或第二部分3上，達到固定過濾件4的效果， 如圖8A所示；或可卡設于第一部分2或第二部分3上，如圖8B所示；而 固定件5可大致覆蓋該過濾件4，如圖8A或圖8B所示；或者亦可僅框住 該過濾件4，如第八C圖所示，端視使用的需要，當然，該固定件5具有 至少一個孔隙51，以便使空氣通過。
又，本過濾裝置l是置于用以存放半導體組件或光罩的存放裝置，故 為了達到更好的置放效果，過濾裝置1的第一部分2與第二部分3均可再 設置支撐部22、 32用以支撐于該存放裝置，第一部分2的支撐部22可設 計為環(huán)狀突緣(如圖9A所示)、至少一個突腳(如圖9B所示)或是至少 一個勾角(如圖9C所示)；第二部分3的支撐部32可設計為環(huán)狀突緣(如 圖9D所示)、至少一個突腳(如圖犯所示)或是至少一個勾角(如圖9F 所示)；該等支撐部的直徑，可大于第二蓋體的孔的直徑；不論何種設計， 其目的均在于使過濾裝置1設置于該存放裝置時有更好的固設效果。
以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并非用以限定本實用新 型的申請專利權利；同時以上的描述，對于熟知本技術領域的專門人士應 可明了及實施，因此其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神下所完成的等效改變 或修飾，均應包含在下述的申請專利范圍中。
權利要求1.一種過濾裝置，其特征在于，包含有一第一部分，具有一通孔與一卡制機構；一第二部分，具有一通孔與該第一部分的通孔對齊，及一嚙合機構與該第一部分的卡制機構相結合；一過濾件，置于該第一部分或第二部分上，覆蓋該通孔；以及一固定件，用以固定該過濾件。
2. 權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，該固定件卡設于或包覆 該第一部分或第二部分。
3. 權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，該固定件覆蓋或框住該 過濾件。
4. 權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，該固定件具有至少一孔隙。
5. 權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，該卡制機構為至少一卡勾。
6. 如權利要求5所述的過濾裝置，其特征在于，該嚙合部分為一槽體 或環(huán)狀槽體與該卡勾結合，使第一部分與第二部分卡固。
7. 如權利要求5所述的過濾裝置，其特征在于，該卡勾為至少一對或 環(huán)狀。
8. 如權利要求5所述的過濾裝置，其特征在于，該卡勾是卡固于該第 二部分面對該通孔的內圍或卡固于該第二部分的外圍。
9. 權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，該第一部分另包含有一 支撐部。
10. 權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，該第二部分另包含有 一支撐部。
11. 如權利要求9所述的過濾裝置，其特征在于，該第一部分的支撐 部為環(huán)狀突緣、至少一突腳或至少一勾角。
12. 如權利要求10的過濾裝置，其特征在于，該第二部分的支撐部為 環(huán)狀突緣、至少一突腳或至少一勾角。
13. —種存放裝置，用以存放半導體組件或光罩，其特征在于包含有 一第一蓋體；一第二蓋體，用以與該第一蓋體組合，形成一內部空間可容納半導體 組件或光罩，其中該第二蓋體具有至少一孔；以及一過濾裝置，設置于該第二蓋體，與該第二蓋體的孔結合，該過濾裝 置包含有 一第一部分，具有一通孔與一卡制機構；一第二部分，具有一通孔與該第一部分的通孔對齊，及一嚙合機構與該第一部分的卡制機構相結合；一過濾件，置于該第一部分或第二部分上，覆蓋該通孔；以及 一固定件，用以固定該過濾件。
14. 如權利要求13所述的存放裝置，其特征在于，該固定件為一板件， 覆蓋于該第二蓋體面對該內部空間的表面上。
15. 如權利要求13所述的存放裝置，其特征在于，該過濾裝置的第一 部分另包含有一支撐部，用以使該第一部分可卡設于該第二蓋體。
16. 如權利要求13所述的存放裝置，其特征在于，該過濾裝置的第二 部分另包含有一支撐部，用以使該第二部分可卡設于該第二蓋體。
17. 如權利要求13所述的存放裝置，其特征在于，該過濾裝置的第一 部分另包含有一支撐部，其支撐部的直徑大于該第二蓋體的孔的直徑。
18. 如權利要求13所述的存放裝置，其特征在于，該過濾裝置的第二 部分另包含有一支撐部，其支撐部的直徑大于該第二蓋體的孔的直徑。
19. 一種存放裝置，用以存放半導體組件或光罩，其特征在于包含有 —第一蓋體；一第二蓋體，用以與該第一蓋體組合，形成一內部空間可容納半導體 組件或光罩，其中該第二蓋體包含有-一本體，具有至少一孔；以及一板件，設于該本體上面對該內部空間，具有一孔對應于該本體的孔；一過濾件，設于該板件上，覆蓋該板件的孔；以及 一固定件，用以固定該過濾件于該板件上。
20. 如權利要求19所述的存放裝置，其特征在于，該板件是延伸至該 本體的孔。
21. 如權利要求19所述的存放裝置，其特征在于，該固定件卡設于或 包覆該板件。
專利摘要本實用新型提供一種具有過濾裝置的用以存放半導體組件或光罩的存放裝置。該存放裝置是由第一蓋體與第二蓋體組合而成，形成一內部空間可容納光罩或半導體組件，此種存放裝置的第二蓋體設有至少一孔，用以連通該存放裝置的內部空間以及外部空間，以及一過濾裝置覆蓋該孔。
文檔編號H01L21/67GK201163616SQ200720311769
公開日2008年12月10日 申請日期2007年12月24日 優(yōu)先權日2007年12月24日
發(fā)明者王勝弘 申請人:家登精密工業(yè)股份有限公司