專利名稱：耐熱性和耐化學(xué)性的酸保護(hù)涂料和旋涂的熱塑性粘合劑的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明概括地涉及能用于形成保護(hù)涂層和載體晶片粘合劑的新穎組合物。
背景技術(shù)：
使晶片(基片)變薄被用來散熱并有助于集成電路(IC)的電氣操作。較厚的基 片會使電容增加，需要較厚的傳輸線，同樣也需要較大的IC覆蓋區(qū)。基片變薄增加了阻抗， 而電容降低了阻抗，造成傳輸線的厚度減小，同樣也減小了 IC尺寸。因此，基片變薄促進(jìn)了 IC小型化。 幾何限制是對進(jìn)行基片變薄的另一個(gè)剌激因素。在基片的背面蝕刻通孔能促進(jìn)正 面的接觸。為能采用常用的干蝕刻技術(shù)來形成通孔，應(yīng)用一些幾何限制。對厚度小于100 m 的基片，采用干蝕刻方法能形成直徑30-70 m的通孔，干蝕刻方法在可接受的時(shí)間內(nèi)產(chǎn)生 最少量的蝕刻后殘余物。對厚基片，需要較大直徑的通孔。形成較大直徑的通孔需要較長 的干蝕刻時(shí)間，并產(chǎn)生較大量的蝕刻后殘余物，因此顯著降低了產(chǎn)量。較大的通孔還需要較 大量的較高成本的金屬化。因此，對進(jìn)行背面處理，能以較低成本更快速地處理薄的基片。
薄基片也更容易進(jìn)行切割和劃線為IC。越薄的基片進(jìn)行穿透和切割的材料量越 小，因此需要進(jìn)行的工作量也越小。無論采用哪種方法(鋸開、劃線和折斷，或激光切割)， 由較薄基片都更容易切割出IC。大多數(shù)的半導(dǎo)體晶片是在正面操作后變薄的。為能容易 加工，在晶片的正常全尺寸厚度，如600-700ym時(shí)對晶片進(jìn)行處理(即，正面器件)。完成 后，可以使晶片變薄至100-150ym厚。在有些情況(如，當(dāng)使用諸如砷化鎵(GaAs)的混合 基片用于高功率器件時(shí))，厚度可以減小至25 ii m。 通過使晶片表面與含有液體漿料的硬而平的旋轉(zhuǎn)水平盤板接觸，使基片進(jìn)行機(jī)械 變薄。所述漿料可含有磨料介質(zhì)和化學(xué)蝕刻劑(如氨、氟化物，或它們的組合)。磨料提供 "粗的"基片去除即變薄，同時(shí)化學(xué)蝕刻促進(jìn)亞微米級的"磨光"。晶片保持與介質(zhì)接觸，直 到去除一定量的基片，達(dá)到目標(biāo)厚度。 對厚度大于或等于300 ii m的晶片，使用真空吸盤或某些機(jī)械固定器件的工具將 晶片固定就位。當(dāng)晶片厚度減小到小于300 ii m時(shí)，在使晶片進(jìn)一步變薄和處理期間很難或 不可能保持對晶片的固定和處理的控制。在某些情況，可以制造機(jī)械器件來固定和束縛變 薄的晶片，但是，晶片將面臨許多問題，尤其當(dāng)這些處理可能改變時(shí)。為此，將晶片安裝在單 獨(dú)的剛性(載體)基片上。這種基片成為固定平臺，用于進(jìn)一步變薄和變薄后的處理。載體 基片由諸如以下的材料構(gòu)成蘭寶石，石英，特定的玻璃，和硅，其厚度一般為1000 ym?；?片的選擇將取決于各種材料間熱膨脹系數(shù)(CLTE)的匹配接近程度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明通過概括地提供能用作粘合劑和保護(hù)涂層的新穎組合物而解決了這些問 題。 更詳細(xì)地，本發(fā)明的組合物包含分散或溶解于溶劑體系的烴樹脂和橡膠。本文所
5用"橡膠"是用來包括所有天然和合成的橡膠以及彈性體。 以組合物的總重量為100重量％為基準(zhǔn)，烴樹脂量在組合物中的含量優(yōu)選為約 10-40重量％ ，更優(yōu)選為約25-35重量％ ，最優(yōu)選為約29-33重量％ 。按固體基準(zhǔn)，烴樹脂的 含量優(yōu)選為約65-95重量％，更優(yōu)選為約75-95重量％，最優(yōu)選為約80-90重量％。
烴樹脂的平均分子量Mw優(yōu)選為約300-10， 000道爾頓，更優(yōu)選約500-5， 000道爾 頓，最優(yōu)選約800-2， 000道爾頓。Mw/Mn優(yōu)選約為1. 5_2. 5，更優(yōu)選約為1.7-2. 3，最優(yōu)選 約為1.8-2.1。優(yōu)選的烴樹脂的軟化點(diǎn)(環(huán)球軟化點(diǎn))優(yōu)選至少約為IO(TC，更優(yōu)選為約 115-15(TC，最優(yōu)選為約130-145°C。此外，優(yōu)選烴樹脂的190°C的布魯克菲爾德粘度為約 2， 500-3， 500厘泊，優(yōu)選為約2， 800-3， 200厘泊，最優(yōu)選為約2， 900-3， 100厘泊。
合適的烴樹脂包括如選自下組的松香鵬烯松香(terpene rosin)、松香、木松香， 以及它們的混合物。優(yōu)選的烴樹脂可按名稱Eastotac從EastmanChemical Company購得。
以組合物的總重量為100重量％為基準(zhǔn)，橡膠在組合物中的含量優(yōu)選為約1-7重 量％，更優(yōu)選為約3-7重量％，最優(yōu)選為約5-6重量％。按照固體基準(zhǔn)，橡膠含量優(yōu)選為約 4-20重量％，更優(yōu)選為約10-18重量％，最優(yōu)選為約14-16重量％。 優(yōu)選的橡膠的門尼粘度(ML(1+4)125°C ;按照IS02S9/ASTM D 1646測定)為約 40-70MU，優(yōu)選為約45-65MU，最優(yōu)選為約50-60MU。橡膠的Mw優(yōu)選為約250， 000-600， 000道 爾頓，更優(yōu)選為約400， 000-500， 000道爾頓，Mn優(yōu)選為約50， 000-350， OOO道爾頓，更優(yōu)選為 約100， 000-200， 000道爾頓。Mw/Mn優(yōu)選為約l-4，更優(yōu)選為約1. 3-3，最優(yōu)選為約2_2. 5。
最優(yōu)選的橡膠包含乙烯和丙烯的重復(fù)單體。以橡膠總重量為100重量％為基準(zhǔn)， 橡膠中乙烯單體量優(yōu)選為約40-70重量％ ，更優(yōu)選為約40-60重量％ ，最優(yōu)選為約40-50重 量％。以橡膠總重量為100重量％為基準(zhǔn)，橡膠中丙烯單體量優(yōu)選為約35-65重量％，更優(yōu) 選為約35-55重量％，最優(yōu)選為約35-45重量％。 更優(yōu)選橡膠還包含少量非共扼二烯(如，乙叉降冰片烯單體)。以橡膠總重量為 100重量％為基準(zhǔn)，橡膠中非共扼二烯量優(yōu)選為約1-10重量％，更優(yōu)選為約2-6重量％，最 優(yōu)選為約2-3重量％。 最優(yōu)選的橡膠是乙烯_丙烯三元共聚物，也稱作乙烯_丙烯_ 二烯單體或EP匿。 優(yōu)選的乙烯_丙烯三元共聚物由Lanxess按BUNA EP名銷售。 以組合物總重量為100重量％為基準(zhǔn)，組合物應(yīng)包含約40-95重量％的溶劑體系， 優(yōu)選為50-90重量％的溶劑體系，最優(yōu)選為約60-70重量％的溶劑體系。優(yōu)選地，大部分的 溶劑體系包含單一的溶劑。更具體地，以溶劑體系的總重量為100重量％為基準(zhǔn)，優(yōu)選單一 溶劑占溶劑體系的至少約94重量％，更優(yōu)選至少為約96重量％，最優(yōu)選至少為約99. 5重 量％。此外，溶劑體系的閃點(diǎn)應(yīng)低于約IO(TC，優(yōu)選約為45-100°C。 優(yōu)選的溶劑體系包含芳族烴和脂族烴。優(yōu)選的脂族烴包括約C「C^更優(yōu)選約 C廠CM，最優(yōu)選約Ce-C^的那些脂族烴。更優(yōu)選脂族烴是烯烴，最優(yōu)選a-烯烴。這樣的一種 溶劑是l-十二碳烯。 優(yōu)選的芳族烴是約C6_C16，更優(yōu)選約C8_C12，最優(yōu)選約C8_C1Q的芳族烴。最優(yōu)選的芳 族烴包括選自下組的那些三甲苯、二甲苯、枯烯、甲苯、乙苯、氯苯、二氯苯、氟化芳族化合 物、蒎烯、a-苧烯、l，3，5-三甲基苯，以及它們的混合物。優(yōu)選的芳族化合物是由?？怂擅?孚化學(xué)公司(Exxon Mobil ChemicalCo.)按Aromatic 100或Aromatic 150名銷售。
6
在一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式中，本發(fā)明組合物基本上不含(優(yōu)選完全不含)表面活性 劑。在此實(shí)施方式中，以組合物總重量為100重量％為基準(zhǔn)，組合物包含小于約0. 5重量％， 優(yōu)選小于約0. 1重量％，更優(yōu)選約0重量％的表面活性劑。 在另一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式中，本發(fā)明的組合物基本上不含(優(yōu)選完全不含)染料
和生色團(tuán)。在此實(shí)施方式中，以組合物總重量為100重量％為基準(zhǔn)，組合物包含小于約0. 5
重量％，優(yōu)選小于約0. 1重量％，最優(yōu)選為約0重量％的染料和生色團(tuán)。 在特別優(yōu)選的實(shí)施方式中，本發(fā)明的組合物主要由分散或溶解于溶劑體系的烴樹
脂和橡膠組成。在此實(shí)施方式中，烴樹脂、橡膠和溶劑體系可以是前面所述的類型和量。 在其他實(shí)施方式中，組合物包含許多任選的組分，包括表面活性劑、染料和生色團(tuán)。 本發(fā)明的組合物可以通過簡單混合烴樹脂、橡膠和其他組分與溶劑體系形成，優(yōu) 選同時(shí)加熱至約90-10(TC，持續(xù)約45-100小時(shí)，優(yōu)選同時(shí)保持基本上恒定的溫度。在此 時(shí)間之后，去除熱源，使溶液冷卻，同時(shí)優(yōu)選再進(jìn)行15-25小時(shí)攪拌。可任選對混合物進(jìn)行 過濾(優(yōu)選過濾至平均粒度約為4. 0-6. 0 ii m)，產(chǎn)生最終的組合物。最終組合物的37. 8°C 時(shí)的布魯克菲爾德粘度應(yīng)約為900-1， 800厘泊，優(yōu)選約為1， 000-1， 500厘泊，最優(yōu)選為約 1， 100-1， 200厘泊。因此，組合物于室溫條件是可流動的。 當(dāng)組合物用作保護(hù)涂層如防酸涂層時(shí)，將組合物簡單地施涂在基片上，包括微 電子基片，如選自下組的那些基片硅、鋁、鎢、硅化鎢、砷化鎵、鍺、鉭、亞硝酸鉭、SiGe、 低k介電層、介電層(如，氧化硅、氮化硅)，離子注入層。優(yōu)選的施涂方法包括以約 500-3， OOOrpm(更優(yōu)選為約1， 300-1， 500rpm)的旋轉(zhuǎn)速度，以約4， 500-5， 000rpm/秒的加速 度旋涂組合物，旋涂時(shí)間約為15-45秒。 施涂后，在約60-120。C，優(yōu)選約80-100。C，最優(yōu)選約90-100。C對基片(如，在熱板 上)進(jìn)行烘烤，烘烤時(shí)間約為60-240秒，更優(yōu)選為約100-200秒。涂覆后的基片可以任選 在約120-25(TC進(jìn)行二次烘烤。烘烤后的膜厚度通常約為0. 1-40 y m，優(yōu)選約為5-30 y m，更 優(yōu)選為約10-20 ii m，最優(yōu)選為約14-16 ii m。 當(dāng)該組合物用作粘合劑時(shí)，采用對保護(hù)涂層所述的相同條件，將組合物施涂在相 同類型的基片(正面的表面或器件表面)。但是，應(yīng)理解，可以改變施涂步驟，以達(dá)到特定厚 度。然后，按照上面所述對組合物進(jìn)行烘烤，這樣使溶劑蒸發(fā)，產(chǎn)生平滑均勻的涂層。需要 時(shí)可以施涂第二涂層并進(jìn)行烘烤。 烘烤后，將所需載體晶片(如，蘭寶石載體晶片、陶瓷、玻璃、石英、硅)與本發(fā)明組 合物的層接觸并壓向該層。通過在約80-25(TC，優(yōu)選約120-18(TC，更優(yōu)選約150-16(TC的 溫度進(jìn)行加熱，使載體晶片與本發(fā)明的粘合劑層粘合。該加熱優(yōu)選在約0. 1-40英寸汞柱， 優(yōu)選約18-30英寸汞柱，最優(yōu)選約20-25英寸汞柱的真空下進(jìn)行約1-5分鐘，優(yōu)選約2_3分鐘。 然后，對該晶片組件進(jìn)行隨后的使基片變薄。應(yīng)理解，基片可以變薄至厚度小于約 100 ii m，優(yōu)選小于約50 ii m，更優(yōu)選小于約25 y m。變薄后，可以進(jìn)行通常的背面處理，包括 光刻，通孔蝕刻和金屬化。 有利的是，本發(fā)明組合物的固化或干燥的膜或?qū)泳哂性S多非常合乎需要的性質(zhì)。 例如，所述膜對真空蝕刻法具有低的除氣作用。即，如果15微米厚的組合物膜在IO(TC烘烤
72分鐘，可以從膜去除溶劑，這樣，然后在20(TC烘烤30分鐘，導(dǎo)致膜厚度變化小于約5% ，優(yōu)
選小于約2 % ，更優(yōu)選小于約1 % ，甚至為0 % (稱為"膜收縮試驗(yàn)")。可以將固化或干燥的膜加熱至13(TC，而膜中沒有發(fā)生反應(yīng)。還可以使膜在IO(TC
與光刻的親水性化學(xué)試劑(如，N-甲基吡咯烷酮)接觸60分鐘而沒有發(fā)生反應(yīng)。 固化或者干燥的組合物也是耐酸和耐堿的。S卩，將厚15微米的組合物固化或干燥
層浸在酸(如，49%氫氟酸)或堿(如，30%氫氧化銨，20-40%氫氧化鉀)中至少45分鐘，
沒有發(fā)生酸或堿的去除，蝕刻，或損壞該組合物層。 雖然固化或干燥的組合物如上所述是耐化學(xué)性和耐熱性的，但是固化或干燥的組 合物可容易溶解于一些溶劑并可以用一些溶劑去除，這樣使所述組合物能很好用作載體晶 片的粘合劑。固化或干燥的組合物可以使用原來有機(jī)溶劑(在組合物固化或干燥之前是 該組合物的一部分)去除，以及使用非極性溶劑，如二甲苯、苯、苧烯(limonene)和如上所 述可被接受用作本發(fā)明組合物的一部分的任何其他溶劑。將該層置于溶解溶劑中，幾分鐘 內(nèi)該層開始軟化，浸在13(TC的溶解溶劑中2小時(shí)后，完全溶解(至少約98%，優(yōu)選至少約 99%，更優(yōu)選約100% )。
具體實(shí)施方式

實(shí)施例 下面的實(shí)施例給出本發(fā)明的優(yōu)選方法。但是，應(yīng)理解，這些實(shí)施例是以說明的方式
提供的，不應(yīng)作為對本發(fā)明總體范圍的限制。 實(shí)施例1 保護(hù)涂層的制備 在該方法中，將3， 250. 00克1_十二碳烯(Aldrich Chemical Co. ， Milwaukee, WI)加入12升的圓玻璃反應(yīng)器中，然后在該反應(yīng)器中加入262. 56克8皿3 ￡ T6250 (美 國俄亥俄州阿可隆LANXESS公司(LANXESS Corp. ，Akron，0H))和1， 487. 50克Eastotac H 142w(美國田納西州金斯波特的伊斯特曼化學(xué)公司(Eastman Chemical Co. ， Kingsport， TN))。連續(xù)攪拌反應(yīng)器中的試劑，同時(shí)將內(nèi)含物加熱至100°C。繼續(xù)攪拌并在10(TC的恒定 溫度下保持95小時(shí)35分鐘，直到獲得均勻的混合物。繼續(xù)攪拌，停止加熱，使混合物冷卻 至室溫。繪制稀釋曲線，以確定達(dá)到15微米厚度膜所需的％固體含量。然后，使用Meisner 過濾筒將該批料過濾至5. 0微米。過濾后該批料的粘度為1， 100厘泊。
使用靜態(tài)分配器(static dispense)，以1， 500rpm轉(zhuǎn)速，將該批料旋涂在氮化硅 基片上。加速度為5，000rpm/秒，旋涂時(shí)間為30秒。然后，不用真空將旋涂的基片在IO(TC 熱板上烘烤2分鐘。形成的涂層厚度為15微米。 然后，將200毫升48%氫氟酸加入一個(gè)小管中。將經(jīng)過涂覆并烘烤的基片浸在該
酸中。在室溫45分鐘內(nèi)，該涂層能保護(hù)該基片免受酸的破壞。 實(shí)施例2 制備旋涂的粘合劑 在該方法中，將3， 250. 00克a -苧烯加入12升的圓玻璃反應(yīng)器中。然后在該反 應(yīng)器中加入262. 46克Buna EP T6250 (美國俄亥俄州阿可隆LANXESS公司)禾P 1， 487. 50 克Eastotac H 142w (美國田納西州金斯波特的伊斯特曼化學(xué)公司)。連續(xù)攪拌反應(yīng)器中的試劑，同時(shí)將內(nèi)含物加熱至IO(TC。繼續(xù)攪拌并在IO(TC的恒定溫度下保持51小時(shí)45分 鐘。繼續(xù)攪拌，停止加熱，使內(nèi)含物達(dá)到室溫。繪制稀釋曲線，以確定達(dá)到15微米厚度膜所 需的％固體含量。進(jìn)一步稀釋該組合物，并進(jìn)行攪拌，直到獲得這種厚度的膜。然后，使用 Meisner過濾筒將2升的批料過濾至5. 0微米。該批料的其余部分不進(jìn)行過濾，儲存在玻璃 瓶中。 使用靜態(tài)布配器，以1， 500rpm轉(zhuǎn)速，將經(jīng)過濾的物料旋涂在硅基片上。加速度為 5，000rpm/秒，旋涂時(shí)間為30秒。然后，在不采用真空的條件下，將旋涂的晶片在IO(TC熱 板上烘烤2分鐘。然后，晶片的涂覆面向上放置在Dynatex粘合器(Dynatex bonder)中。 在該涂覆晶片的頂部放置穿孔的蘭寶石載體晶片與之接觸。在22英寸汞柱的真空，155°C 條件下，使蘭寶石晶片與該硅晶片粘合2分鐘。從粘合器中取出該晶片組件，然后使硅部分 變薄。
權(quán)利要求
一種用作粘合劑涂層或保護(hù)涂層的組合物，以所述組合物的總重量為100重量％為基準(zhǔn)，所述組合物包含分散或溶解在溶劑體系中的約10-40重量％的烴樹脂和約1-7重量％的橡膠，以所述溶劑體系的總重量為100重量％為基準(zhǔn)，所述溶劑體系包含至少約95重量％的單一溶劑。
2. 如權(quán)利要求1所述的組合物，其特征在于，所述組合物不含表面活性劑。
3. 如權(quán)利要求1所述的組合物，其特征在于，所述組合物不含染料和生色團(tuán)。
4. 如權(quán)利要求1所述的組合物，其特征在于，所述烴樹脂包括萜烯松香。
5. 如權(quán)利要求1所述的組合物，其特征在于，所述橡膠包含乙烯和丙烯的重復(fù)單體。
6. —種用作粘合劑涂層或保護(hù)涂層的組合物，以所述組合物的總重量為100重量％ 為基準(zhǔn)，所述組合物包含分散或溶解在溶劑體系中的約10-40重量％的烴樹脂和約1-7重 量％的橡膠，所述組合物不含表面活性劑。
7. 如權(quán)利要求6所述的組合物，其特征在于，所述組合物不含染料和生色團(tuán)。
8. 如權(quán)利要求6所述的組合物，其特征在于，所述烴樹脂包括萜烯松香。
9. 如權(quán)利要求6所述的組合物，其特征在于，所述橡膠包含乙烯和丙烯的重復(fù)單體。
10. —種用作粘合劑涂層或保護(hù)涂層的組合物，以所述組合物的總重量為100重量％ 為基準(zhǔn)，所述組合物包含分散或溶解在溶劑體系中的約10-40重量％的烴樹脂和約1-7重 量％的橡膠，所述組合物不含染料和生色團(tuán)。
11. 如權(quán)利要求10所述的組合物，其特征在于，所述烴樹脂包括萜烯松香。
12. 如權(quán)利要求IO所述的組合物，其特征在于，所述橡膠包含乙烯和丙烯的重復(fù)單體。
13. —種用作粘合劑涂層或保護(hù)涂層的組合物，以所述組合物的總重量為100重量％ 為基準(zhǔn)，所述組合物主要由分散或溶解在溶劑體系中的約10-40重量％的烴樹脂和約1-7 重量％的橡膠組成。
14. 一種使用組合物的方法，該方法包括以下步驟將所述組合物施涂在基片上，在該 基片上形成組合物的層，以所述組合物的總重量為100重量％為基準(zhǔn)，所述組合物包含分 散或溶解在溶劑體系中的約10-40重量％的烴樹脂和約1-7重量％的橡膠，以所述溶劑體 系的總重量為100重量％為基準(zhǔn)，所述溶劑體系包含至少約95重量％的單一溶劑。
15. 如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，所述基片是微電子基片。
16. 如權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于，所述基片選自下組硅、鋁、鴇、硅化鴇、砷 化鎵、鍺、鉭、亞硝酸鉭、SiGe、低k介電層、介電層和離子注入層。
17. 如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，所述方法還包括在約60-12(TC對所述層 進(jìn)行烘烤的步驟。
18. 如權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，進(jìn)行膜收縮試驗(yàn)時(shí)，所述層在烘烤后的膜 厚度變化小于約5%。
19. 如權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，所述層在烘烤后是耐酸的。
20. 如權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，將烘烤后的所述層浸入13(TC的非極性溶 劑中2小時(shí)后，所述層至少約98 %發(fā)生溶解。
21. —種使用組合物的方法，該方法包括以下步驟將所述組合物施涂在基片上，在該 基片上形成組合物的層，以所述組合物的總重量為100重量％為基準(zhǔn)，所述組合物包含分 散或溶解在溶劑體系中的約10-40重量％的烴樹脂和約1-7重量％的橡膠，所述組合物不含表面活性劑。
22. 如權(quán)利要求21所述的方法，其特征在于，所述基片是微電子基片。
23. 如權(quán)利要求22所述的方法，其特征在于，所述基片選自下組硅、鋁、鎢、硅化鎢、砷 化鎵、鍺、鉭、亞硝酸鉭、SiGe、低k介電層、介電層和離子注入層。
24. 如權(quán)利要求21所述的方法，其特征在于，所述方法還包括在約60-12(TC對所述層 進(jìn)行烘烤的步驟。
25. 如權(quán)利要求24所述的方法，其特征在于，進(jìn)行膜收縮試驗(yàn)時(shí)，所述層在烘烤后的膜 厚度變化小于約5%。
26. 如權(quán)利要求24所述的方法，其特征在于，所述層在烘烤后是耐酸的。
27. 如權(quán)利要求24所述的方法，其特征在于，將烘烤后的所述層浸入13(TC的非極性溶 劑中2小時(shí)后，所述層至少約98%發(fā)生溶解。
28. —種使用組合物的方法，該方法包括以下步驟將所述組合物施涂在基片上，在該 基片上形成組合物的層，以所述組合物的總重量為100重量％為基準(zhǔn)，所述組合物包含分 散或溶解在溶劑體系中的約10-40重量％的烴樹脂和約1-7重量％的橡膠，所述組合物不 含染料和生色團(tuán)。
29. 如權(quán)利要求28所述的方法，其特征在于，所述基片是微電子基片。
30. 如權(quán)利要求29所述的方法，其特征在于，所述基片選自下組硅、鋁、鴇、硅化鴇、砷 化鎵、鍺、鉭、亞硝酸鉭、SiGe、低k介電層、介電層和離子注入層。
31. 如權(quán)利要求28所述的方法，其特征在于，所述方法還包括在約60-12(TC對所述層 進(jìn)行烘烤的步驟。
32. 如權(quán)利要求31所述的方法，其特征在于，進(jìn)行膜收縮試驗(yàn)時(shí)，所述層在烘烤后的膜 厚度變化小于約5%。
33. 如權(quán)利要求31所述的方法，其特征在于，所述層在烘烤后是耐酸的。
34. 如權(quán)利要求31所述的方法，其特征在于，將烘烤后的所述層浸入13(TC的非極性溶 劑中2小時(shí)后，所述層至少約98 %發(fā)生溶解。
35. 以下部件的組合 具有表面的基片；以及與所述基片表面相鄰的固化或干燥的層，所述層由組合物形成，該組合物包含分散或 溶解于溶劑體系的烴樹脂和橡膠，以所述溶劑體系的總重量為100重量％為基準(zhǔn)，所述溶 劑體系包含至少約95重量％的單一溶劑。
36. 如權(quán)利要求35所述的組合，其特征在于，所述基片是微電子基片。
37. 如權(quán)利要求36所述的組合，其特征在于，所述基片選自下組硅、鋁、鎢、硅化鎢、砷 化鎵、鍺、鉭、亞硝酸鉭、SiGe、低k介電層、介電層和離子注入層。
38. 如權(quán)利要求35所述的組合，其特征在于，進(jìn)行膜收縮試驗(yàn)時(shí)，所述層的膜厚度變化 小于約5%。
39. 如權(quán)利要求35所述的組合，其特征在于，所述層是耐酸的。
40. 如權(quán)利要求35所述的組合，其特征在于，將所述層浸入13(TC的非極性溶劑中2小 時(shí)后，所述層至少約98%發(fā)生溶解。
41. 以下部件的組合具有表面的基片；以及與所述基片表面相鄰的固化或干燥的層，所述層由組合物形成，該組合物包含分散或 溶解于溶劑體系的烴樹脂和橡膠，該組合物不含表面活性劑。
42. 如權(quán)利要求41所述的組合，其特征在于，所述基片是微電子基片。
43. 如權(quán)利要求42所述的組合，其特征在于，所述基片選自下組硅、鋁、鎢、硅化鎢、砷 化鎵、鍺、鉭、亞硝酸鉭、SiGe、低k介電層、介電層和離子注入層。
44. 如權(quán)利要求41所述的組合，其特征在于，進(jìn)行膜收縮試驗(yàn)時(shí)，所述層的膜厚度變化 小于約5%。
45. 如權(quán)利要求41所述的組合，其特征在于，所述層是耐酸的。
46. 如權(quán)利要求41所述的組合，其特征在于，將所述層浸入13(TC的非極性溶劑中2小 時(shí)后，所述層至少約98%發(fā)生溶解。
47. 以下部件的組合 具有表面的基片；以及與所述基片表面相鄰的固化或干燥的層，所述層由組合物形成，該組合物包含分散或 溶解于溶劑體系的烴樹脂和橡膠，該組合物不含染料和生色團(tuán)。
48. 如權(quán)利要求47所述的組合，其特征在于，所述基片是微電子基片。
49. 如權(quán)利要求48所述的組合，其特征在于，所述基片選自下組硅、鋁、鎢、硅化鎢、砷 化鎵、鍺、鉭、亞硝酸鉭、SiGe、低k介電層、介電層和離子注入層。
50. 如權(quán)利要求47所述的組合，其特征在于，進(jìn)行膜收縮試驗(yàn)時(shí)，所述層的膜厚度變化 小于約5%。
51. 如權(quán)利要求47所述的組合，其特征在于，所述層是耐酸的。
52. 如權(quán)利要求47所述的組合，其特征在于，將所述層浸入13(TC的非極性溶劑中2小 時(shí)后，所述層至少約98%發(fā)生溶解。
全文摘要
提供用作保護(hù)涂層和/或粘合劑的新型組合物。該組合物包含分散或溶解于溶劑體系的烴樹脂(如萜烯松香)和橡膠(如EPDM)。溶劑體系優(yōu)選是單一溶劑體系，該組合物優(yōu)選不含表面活性劑、染料和生色團(tuán)。組合物可以固化或干燥形成耐化學(xué)性和耐熱性，但是可在制備方法的適當(dāng)階段易于溶解和去除的層或膜。
文檔編號H01L21/304GK101790570SQ200780004575
公開日2010年7月28日 申請日期2007年1月26日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月6日
發(fā)明者J·C·穆爾, M·R·弗勒 申請人:布魯爾科技公司