專利名稱：基座的制造方法及使用該方法的基座的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制造基座的方法，該基座用于支承和加熱用于液晶面板 太陽能電池中的單晶硅片及其相似物，并且，特別涉及一種用于安裝在真空 室內(nèi)的液晶顯示器件的基座的制造方法，其中，在該真空室中，諸如液晶顯 示器件的陣列襯底或彩色村底等透明玻璃襯底的表面，在氣體環(huán)境中進行真 空沉積，從而加熱或冷卻安裝于其上的玻璃襯底，其中，該基座以鋁制成， 并可用以密封其中嵌入的加熱器。
背景技術(shù)：
通常，液晶顯示器件是通過在陣列襯底和彩色襯底之間注入液晶并利用 其液晶特性用以實現(xiàn)精確視覺表現(xiàn)效果的非發(fā)光器件。陣列襯底與彩色襯底 各自.以這樣的方式制成，透明玻璃或其相似物所制成的透明玻璃襯底歷經(jīng)多 次的薄膜沉積、圖案化與蝕刻工藝。這里，在將氣相的反應(yīng)材料和原材料導(dǎo) 入工藝室以進行沉積工藝的情形下，該工藝室中配備有 一種包括嵌入加熱器 的基座，以便將安裝于基座上的透明玻璃襯底加熱到適合該透明玻璃襯底的 沉積的溫度。在這樣的基座中，由于液晶顯示器件已經(jīng)歷了連續(xù)幾代，因此 透明玻璃襯底的尺寸越來越大。
圖1示意性地示出根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的一種基座的結(jié)構(gòu)。
參照圖1，傳統(tǒng)的基座由基座主體100、加熱器101和支架106組成。
基座主體100由嵌入凹槽102和加熱器101組成，其中嵌入凹槽102可 為任意枝狀圖案且用以在其中容納加熱器101，且加熱器101具有與嵌入凹 槽102相對應(yīng)的圖案且嵌入該嵌入凹槽102中，用以控制基座的溫度。此外， 支架106安裝在基座的上表面，用于液晶顯示器件的透明玻璃襯底107安裝 在支架106上。
在將加熱器安裝到基座上的傳統(tǒng)方法中，其中基座被用作對液晶皋示器 件所使用的透明玻璃襯底進行真空沉積的加熱板，圖2和圖3示出了在基座中嵌入加熱器的方法。
如圖2和圖3所示，為了將加熱器101嵌入到鋁合金材料所制成的基座 主體100的底部，形成任意枝狀圖案的嵌入凹槽102，加熱器101容納于該 嵌入凹槽102內(nèi)，并且隨后將密封蓋103裝配到基座主體100中，以密封地 固定住加熱器101。
然而，該傳統(tǒng)方法存在以下問題。如圖4所示，存在密封蓋103與加熱 器101之間以及加熱器101與基座主體IOO之間產(chǎn)生間隙IIO的問題。更具 體地，如圖4所示，加熱器101從加熱芯線101a散出熱量，熱量再經(jīng)加熱護 套101b傳送到基座主體100。然而，由于存在間隙IIO而使位于加熱器101 中心的加熱芯線101a所產(chǎn)生的熱量無法充份地被傳送到該基座主體100，因 此存在以下問題，整個基座的溫度均勻性降低，并且加熱器101的溫度分布 也變得局部不均勻，從而導(dǎo)致加熱芯線101a提早破裂。因此，由于在陣列襯 底、彩色襯底及其相似物的制造中產(chǎn)生瑕疵品的風(fēng)險增高，存在產(chǎn)品質(zhì)量和 產(chǎn)率降低的問題。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明是為了克服現(xiàn)有技術(shù)所產(chǎn)生的上迷問題而提出，并且本發(fā) 明的目的在于通過消除基座主體與加熱器之間以及密封蓋與加熱器之間的間 隙用以改善基座整體的溫度均勻性，從而改善透明玻璃襯底的可加工性及產(chǎn) 率，并能夠大規(guī)4莫生產(chǎn)用于液晶顯示器件的高質(zhì)量透明玻璃襯底。
本發(fā)明的一方面提供了一種制造基座的方法，包括以下步驟(a)制備 具有一個或多個突出部分的基座頂蓋；(b)制備具有與基座頂蓋的突出部分 相對應(yīng)的凹槽的基座主體；以及(c)通過鍛造將基座頂蓋裝配到基座主體， 其中，各突出部分和各凹槽中的至少一個在鍛造過程中產(chǎn)生塑性變形，因此 能互相緊密地配合，其中，各突出部分與各凹槽中的至少一個的剖面形狀會 局部改變，使得從插入方向看時，突出部分與凹槽具有不同的剖面面積。
根據(jù)本發(fā)明的制造基座的方法，基座頂蓋與基座主體通過鍛造而彼此接 合，并且從插入方向觀看時，基座頂蓋的突出部分與凹槽中的至少一個的剖 面形狀會局部改變，從而使突出部分與凹槽中的至少一個在鍛造期間產(chǎn)生塑 性變形。因此，不需過度的壓力，基座頂蓋與基座主體之間就能通過塑性變
ii形而實現(xiàn)緊密地配合，從而可以解決由于基座頂蓋與基座主體間的裂縫或空 隙而降低熱傳遞所導(dǎo)致的問題的實質(zhì)部分。


圖l是示意性示出傳統(tǒng)基座結(jié)構(gòu)的透視圖2是示出將加熱器嵌入傳統(tǒng)鋁合金基座主體內(nèi)的方法的透視圖；.
圖3是示出傳統(tǒng)基座的加熱器或冷卻器件所嵌入?yún)^(qū)域的剖視圖4是示出傳統(tǒng)基座的加熱器或冷卻器件嵌入?yún)^(qū)域的照片，以及與該照 片對應(yīng)的剖4見圖5是示出根據(jù)本發(fā)明第一實施例的基座的制造方法的剖視圖6是示出根據(jù)本發(fā)明第二實施例的基座的制造方法的剖視圖7是示出根據(jù)本發(fā)明第三實施例的基座的制造方法的剖視圖8是示出根據(jù)本發(fā)明第四實施例的基座的制造方法的剖視圖9是示出根據(jù)本發(fā)明第五實施例的基座的制造方法的剖視圖10是示出根據(jù)本發(fā)明第六實施例的基座的制造方法的剖視圖11是示出根據(jù)本發(fā)明第七實施例的基座的制造方法的剖視圖12是示出根據(jù)本發(fā)明第八實施例的基座的制造方法的剖視圖13是示出根據(jù)本發(fā)明第九實施例的基座的制造方法的剖視圖；.
圖14是示出根據(jù)本發(fā)明第十實施例的基座的制造方法的剖視圖15是示出根據(jù)本發(fā)明第十一實施例的基座的制造方法的剖視圖16是示出根據(jù)本發(fā)明第十二實施例的基座的制造方法的剖視圖17是示出根據(jù)本發(fā)明第十三實施例的基座的制造方法的剖視圖18是示出根據(jù)本發(fā)明第十四實施例的基座的制造方法的剖^L圖19是示出根據(jù)本發(fā)明第十五實施例的基座的制造方法的剖視圖20是示出根據(jù)本發(fā)明第十六實施例的基座的制造方法的剖視圖21是示出根據(jù)本發(fā)明第十七實施例的基座的制造方法的剖視圖22是示出根據(jù)本發(fā)明第十八實施例的基座的制造方法的剖視圖；圖23是示出根據(jù)本發(fā)明第十九實施例的基座的制造方法的剖視圖； 圖24是示出根據(jù)本發(fā)明第二十實施例的基座的制造方法的剖視圖； 圖25是示出根據(jù)本發(fā)明第二十一實施例的基座的制造方法的剖視圖； 圖26是示出根據(jù)本發(fā)明第二十二實施例的基座的制造方法的剖視圖； 圖27是示出根據(jù)本發(fā)明第二十三實施例的基座的制造方法的剖視圖；以
及
.圖28是依次示出如圖27所示的基座的制造方法的處理步驟的剖視圖。
具體實施例方式
根據(jù)本發(fā)明的基座制造方法的最佳方式包括制備具有一個或多個突出 部分的基座頂蓋，制備具有與基座頂蓋的突出部分相對應(yīng)的凹槽的基座主體， 以及通過鍛造將基座頂蓋裝配到基座主體，其中，各突出部分和各凹槽中的 至少一個會在鍛造過程中產(chǎn)生塑性變形，因此能互相緊密的配合。這里，各 突出部分與各凹槽中的至少一個的剖面形狀會局部改變，使得從插入方向看 時，突出部分與凹槽具有不同的剖面面積。進一步地，優(yōu)選地在至少一個凹 槽嵌入加熱器。當從縱向觀看時，優(yōu)選地，凹槽的剖面面積往其中間深度位 置逐漸增大。
此外，優(yōu)選地，各該凹槽的剖面面積往其底部逐漸增大，且各該凹槽的 側(cè)面設(shè)有一波紋部或圓形凹陷部。
下面將參照附圖詳細說明本發(fā)明的優(yōu)選實施例。
第一實施例
如圖5所示，在根據(jù)本發(fā)明第一實施例的基座的制造方法中，制備具有 一個或多個突出部分301形成于其上的基座頂蓋300 (見圖5 (a)),.制備 基座主體310,該基座主體310具有形成于其上的一個或多個容納凹槽303 以與基座頂蓋300的突出部分301相對應(yīng)(見圖5 (b))，并且隨后通過鍛 造工藝，基座頂蓋300與基座主體310相互配合。此時，突出部分301與容 納凹槽303其中一個會至少局部改變，因此從鍛造方向觀看時，突出部分301 與容納凹槽303具有彼此不同的剖面面積(A, A，)，因而在鍛造工藝中， 突出部分301與容納凹槽303可通過塑性變形而緊密地相互配合(見圖5(c))。在這種情況下，不言而,地，突出部分301可與基座頂蓋300—體 成型，也可單獨形成。
更具體地，由于容納凹槽303被構(gòu)造成從縱向觀看時，在其中間深度位 置的剖面面積(A，)變大，因此突出部分301在進行鍛造工藝時，通過塑性 變形而被緊密地裝配到容納凹槽303內(nèi)。經(jīng)歷塑性變形后的突出部分301的 形狀有助于使突出部分301能被安全地裝配到容納凹槽303中的鎖定效果。
此外，為了作為基座用， 一個或多個容納凹槽303中設(shè)有嵌入的加熱器 315，并且突出部分301的端部形成為具有與加熱器315對應(yīng)的凹端表面。
作為參考，鍛造裝配或鍛造焊接長久以來一直被用于鋼材或熟鐵的接合 工藝。更具體地，通過去除兩種金屬表面上形成的氧化層而被清潔的兩種金 屬，被加熱到適當溫度，并且當這兩種金屬彼此重疊時被擊打。因此,.兩種 金屬通過它們之間的金屬成分的擴散而被彼此接合。通過利用上述現(xiàn)象，將 彼此重疊并被加熱到高溫的金屬進行強力壓鍛，從而接合的工藝，被稱為鍛 造焊接。
上述鍛造焊接是能讓金屬牢固地接合的可靠工藝。然而，由于突出部分 與容納凹槽利用集中壓鍛而彼此配合，且具有彼此之間界定的空間，所以裝 配操作需要過大的壓力。因此，這種過大的壓力導(dǎo)致裝配的金屬之間由于變 形而形成間隙及其相似物，并且間隙使得傳熱效率的減損。
相應(yīng)地，為了克服上述問題，本發(fā)明提供突出部分與容納凹槽，其中突 出部分和容納凹槽中至少任意一個的剖面形狀局部改變，從而使從突出部分 的插入方向觀看時，突出部分與容納凹槽具有彼此不同的剖面面積。因此， 突出部分與凹槽能夠很容易地緊密配合，并且也能獲得如同鎖定的鎖具般的 "鎖定效果"。
作為進一步的參考，本文所稱"塑性變形，，(plastic deformation)指固 體對象的輪廓由于受到外力而變形且永久保持該變形狀態(tài)的現(xiàn)象。盡管施加 外力能使固體對象變形，但只要此變形在固體對象的彈性P艮度內(nèi)，那么當外 力消除后，固體對象就會恢復(fù)其原始形狀。因此，為能實現(xiàn)永久變形，所施 加的外力必須超過彈性限度。
也就是說，為了實現(xiàn)塑性變形，就必須施加大于彈性限度的力。..通常，有不同的工藝可根據(jù)對象所需的最終形狀而引起變形。具體地， 板件的生產(chǎn)涉及滾軋工藝，管件的生產(chǎn)涉及擠壓、拉拔和滾軋工藝，而線材 的生產(chǎn)涉及拉拔和拉絲工藝。此外，具有復(fù)雜形狀的對象的生產(chǎn)還涉及鍛壓 等等。
由于本發(fā)明所用的基座通常是以諸如鋁之類的金屬而制成，所以基座上 的某區(qū)域在鍛造時會變形，并在受到超過一定力量的壓力后，產(chǎn)生塑性變形。
通過應(yīng)用這種原理，如圖5(c)所示，突出部分301與容納凹槽303中至少 一個的剖面形狀會局部變形，以使突出部分301與容納凹槽303彼此具有不 同的剖面面積(A， A，)，從而提供進行塑性變形的空間。因此，不需施加 過高的力量，并且待裝配的金屬之間產(chǎn)生的排斥力被減低，從而實現(xiàn)將變形 減至最低程度的效果。因此，可以提供熱傳導(dǎo)和熱傳導(dǎo)效率極佳的基座。
第二實施例
如圖6所示，根據(jù)本發(fā)明第二實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這樣 的方式，通過鍛造工藝將突出部分301裝配到底部擴大的容納凹槽304內(nèi)。 由千本實施例中除了上述組件外，其余組件均與第一實施例中所述組件相同， 所以在此省略其詳細描述。
更詳細地，如圖6所示，突出部分301與容納凹槽304中的至少一個的 剖面形狀會局部改變，因此彼此具有不同的剖面面積(A， A，)。圖6所示 的裝配工藝中，當突出部分301通過鍛造工藝而被裝配到底部擴大的容納凹 槽304時，突出部分301因外部壓力而變形，并因此與容納凹槽304緊密地 配合。
第三實施例
如圖7所示，根據(jù)本發(fā)明第三實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這樣 的方式，容納凹槽305的剖面形狀被局部改變以在側(cè)表面具有波紋部分。由 于本實施例中除了上述組件外，其余組件均與第一實施例中所述組件相同， 所以在此省略其詳細描述。
更詳細地，如圖7所示，容納凹槽305的側(cè)表面具有波紋部分，因此使 從插入方向觀看時，突出部分301與容納凹槽305彼此具有不同的剖面面積 (A, A，)，因此由于變形而能夠緊密地配合。相應(yīng)地，由于突出部分與容
15納凹槽間像螺栓與螺帽的旋合一樣彼此緊密配合，因此能實現(xiàn)更穩(wěn)固和安全 的酉己合。
第四實施例
如圖8所示，根據(jù)本發(fā)明第四實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這樣 的方式，容納凹槽306的剖面形狀凈皮局部改變，其側(cè)表面具有圓形凹陷部分。 由于本實施例中除了上述組件外，其余組件均與第一實施例中所述組件相同， 所以在此省略其詳細描述。
更詳細地，如圖8所示，容納凹槽306的側(cè)表面具有圓形凹陷部分，因 此從插入方向觀看時，突出部分301與容納凹槽306彼此具有不同的剖面面 積(A, A，)，因此，由于進行鍛造裝配時較低壓力下的變形而能夠緊密地 配合。于是，突出部分與凹槽能夠?qū)崿F(xiàn)更穩(wěn)固和安全的配合。
如上所述，突出部分301與容納凹槽306中至少一個的剖面形狀^i局部 變形，因此彼此具有不同的剖面面積(A， A，)，從而在兩者之間提供用于 進行塑性變形的空間。相應(yīng)地，采取任意提供用以進行塑性變形的空間的方 式，突出部分與容納凹槽可彼此配合。
第五實施例
如圖9所示，根據(jù)本發(fā)明第五實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這樣 的方式，將帶狀加熱器316嵌入容納凹槽內(nèi)，并在突出部分302的一端設(shè)有 帶狀凹槽。由于本實施例中除了上述組件外，其余組件均與第一實施例中所 述組件相同，所以在此省略其詳細描述。
更詳細地，如圖9所示，當帶狀加熱器316被嵌入容納凹槽303中時， 突出部分302的端部優(yōu)選地形成為具有帶狀凹槽。特別地，突出部分302的 帶狀凹槽被構(gòu)造成該帶狀凹槽的入口端的面積大于加熱器316的面積，因此， 由于塑性變形而能夠容易地進行鍛造裝配。
當突出部分302的帶狀凹槽的入口端的面積被構(gòu)造成這樣的方式，該面 積大于加熱器316的面積時，并且突出部分302包圍住加熱器316時，外力 被均勻地施加到加熱器316的整個表面，從而能實現(xiàn)沒有變形、裂縫或空隙 的牢固配合。
第六實施例如圖IO所示，根據(jù)本發(fā)明第六實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這樣
的方式，制備底面具有一個或多個容納凹槽332的基座主體330，加熱器335 嵌入在一個或多個容納凹槽332中，通過鍛造工藝將尺寸與容納凹槽332相 對應(yīng)的頂蓋340裝配到容納凹槽332中，其中頂蓋340和容納凹槽332具有 不同的剖面面積，并通過塑性變形彼此緊密地配合。
本發(fā)明的第六實施例提供一種將頂蓋裝配到在基座主體330底面上形成 的容納凹槽中的方法，其中加熱器335被嵌入到容納凹槽332中，并鳥頂蓋 340通過鍛造工藝單獨地裝配到容納凹槽332中。更詳細地，通過鍛造工藝 將頂蓋單獨裝配到容納凹槽中的方法的優(yōu)點在于，可以降低在同時將基座頂 蓋上形成的一個或多個突出部分與基座主體彼此配合的情形下會出現(xiàn)的不穩(wěn) 定性和確保高精確性所需的負擔。此外，如閨IO所示，頂蓋340與容納凹槽 332其中一個的剖面形狀被局部改變以具有彼此不同的剖面面積，因此確保 可衫成一個用于使頂蓋與凹槽通過塑性變形而彼此配合的空間。換句話說， 當從插入方向XSL看時，容納凹槽332的剖面面積大于頂蓋340的剖面面積， 且容納凹槽332在接近其中間深度的部分變寬。另外，頂蓋340先被插入容 納凹槽332中的一端優(yōu)選地形成為具有對應(yīng)加熱器335的凹陷表面，并且該 頂蓋末端的剖面面積或曲率半徑與加熱器335的曲率半徑不同，從而可通過 塑性變形進行鍛造裝配。
因此，當頂蓋340被插入局部擴大的容納凹槽332中，并且對頂蓋施加 超出一定力量的壓力時，頂蓋會變形，從而由于塑性變形而與容納凹槽332 緊密地配合。由于緊密配合，確保了頂蓋與主體之間的鎖定效果，并且使用 小的力量就可輕易使頂蓋與主體彼此配合，從而提供堅固的配合而極大地降 低非預(yù)期的變形和空隙的發(fā)生。
第七實施例
參照圖11，示出了根據(jù)本發(fā)明第七實施例的利用金屬合金層制造基座的 方法。由于本實施例中除了上述組件外，其余組件均與第六實施例中所述組 件相同，所以在此省略其詳細描述。
更詳細地，如圖11所示，頂蓋340被薄薄地涂上一層與基座主體330 的材料不同的金屬材料350 (圖11 (a))。被涂覆的頂蓋340被用作一個標 準的頂蓋。容納凹槽332被局部地形成為具有大于頂蓋340的剖面面積(A)的剖面面積(A，)，并且在容納凹槽332中設(shè)有嵌入的加熱器335。通過鍛 造工藝，頂蓋被裝配到其中嵌入加熱器的容納凹槽。在鍛造工藝期間，當預(yù) 定溫度的熱從外面被施加于頂蓋340和容納凹槽332時(圖U (b)),頂 蓋340與容納凹槽332之間形成金屬合金層352 (圖11 (c))。
在頂蓋340與容納凹槽332之間形成金屬合金層352的原因是該金屬合 金層阻止了氧化層的形成，否則，該氧化層則會在頂蓋340與容納凹槽332 之間形成，從而防止了接觸表面被侵蝕而導(dǎo)致裝配整體的損壞。此外，由于 金屬合金層352僅形成薄薄一層，所以頂蓋及容納凹槽之間可能形成的細微 間隙或空隙在加熱期間被金屬合金層352填補，從而更進一步強化其間的牢 固配合。
在這種情況下，基座主體330是由鋁材料制成，并且涂層由鋅材料形成， 從而提供了鋁-鋅金屬合金層。金屬合金層352也可改用鎳、鉻及其類似的金 屬來替代鋅(Zn)而形成。也就是說，本領(lǐng)域技術(shù)人員顯而易見的是，任何 金屬材料均能用來形成金屬合金層，只要該金屬材料與基座的材料不同，并 且能確保減低氧化層的形成和易于在低溫條件下形成合金即可。
根據(jù)以上描述所構(gòu)建的基座的制造方法，突出部分或頂蓋與容納凹槽其 中 一個的剖面形狀,皮局部改變，從而當/人插入方向觀看時具有彼此不同的剖 面面積，因此，突出部分或頂蓋與容納凹槽都能通過其間因塑性變形所形成 的空間而容易地彼此緊密配合，從而提供更牢固和更穩(wěn)定的裝配狀態(tài)。因此， 當裝配的部分經(jīng)歷諸如線性焊接或硬釬焊之類的其它工藝時，就不需提供用 以保持該裝配狀態(tài)所需的支承壓力，從而提供簡化制造工藝和降低生產(chǎn)成本 的優(yōu)點。
第八實施例
如圖12所示，根據(jù)本發(fā)明第八實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這樣 的方式，制備基座頂蓋360，基座頂蓋360具有一個或多個形成于其上的突 出部分362 (圖12(a))，制備具有一個或多個與基座頂蓋360的突出部分 362相對應(yīng)的容納凹槽372的基座主體370，其中各容納凹槽372具有形成于 其側(cè)面的冷卻通道377，用以使冷卻劑從其中流過，在相應(yīng)的容納凹槽372 的底部嵌入加熱器375 (圖12 (b)),以及將基座頂蓋360及基座主體370 通ii鍛造工藝彼此配合。在這種情況下，突出部分362與容納凹槽372其中一個的剖面形狀被局部改變，以使得從插入方向觀看時，突出部分362與容 納凹槽372彼此具有不同的剖面面積(A, A，)，從而通過鍛造工藝使突出 部分與容納凹槽之間由于塑性變形而實現(xiàn)緊密配合(圖12(c))。這里， 不言而喻，突出部分362可與基座頂蓋360—體成型，或者也可單獨形成。
更具體地，當從縱向觀看時，由于容納凹槽372的剖面面積(A，)在中 間深度的地方擴大，所以在通過鍛造工藝將突出部分362裝配到容納凹槽372 中時，利用突出部分的塑性變形而使突出部分362與容納凹槽372緊密地配 合。已塑性變形的突出部分362能產(chǎn)生一種使突出部分緊密地裝配到容納凹 槽372中的鎖定效果。
此外，優(yōu)選地，突出部分362的強度或硬度與容納凹槽372不同。其原 因在于如果突出部分362與容納凹槽372具有彼此不同的強度或硬度，則突 出部分或容納凹槽可更易于在鍛造工藝期間進行塑性變形。為了使突出部分 362和容納凹槽372具有不同的強度或硬度，突出部分和容納凹槽的金屬材 料可經(jīng)受不同的熱處理。
再如圖12所示，加熱器375被嵌入到容納凹槽372的底部，同時容納凹 槽372具有在其側(cè)面形成的用以提供冷卻通道377的溝槽。其后，突出部分 與容納凹槽通過鍛造工藝產(chǎn)生的塑性變形而彼此緊密地配合。因此，可以避 免執(zhí)行傳統(tǒng)的另外形成冷卻通道的復(fù)雜工藝。此外，由于加熱器的嵌入與冷 卻通道377的形成是同時進行，所以具有制造工藝被進一步簡化并且生產(chǎn)成 本被顯著降低的優(yōu)點。另外，由于容納凹槽372具有形成于其側(cè)面部分的溝 槽形冷卻通道377,并且突出部分與容納凹槽通過塑性變形而彼此緊密地配
加牢固。進一步地，由于冷卻通道377能容易地形成于靠近加熱器375的地 方，.因此提高了冷卻效率。
第九實施例
如圖13所示，根據(jù)本發(fā)明第九實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這樣 的方式，容納凹槽372具有在其側(cè)面形成的冷卻通道377，且隨后將冷卻管 379嵌入到冷卻通道377中。由于本實施例中除了上述組件外，其余組件均 與第八實施例中所述組件相同，所以在此省略其詳細描述。更詳細地，如圖13所示，本實施例是在容納凹槽372的側(cè)面形成冷卻通 道377，且隨后將冷卻管379嵌入到冷卻通道377中的工藝。換句話說，為 了在基座頂蓋360的突出部分裝配的鍛造工藝期間，避免出現(xiàn)冷卻通道377 被堵塞或局部變窄的情況，因此將冷卻管379嵌入冷卻通道中，從而使冷卻 劑能穩(wěn)定地流動。在此實施例中，冷卻管379可嵌入到所有的冷卻通道337 中，或者可以固定的間隔而間歇地嵌入到冷卻通道377中。
第十實施例
如圖14所示，根據(jù)本發(fā)明第十實施例的基座的制造方法，凈皮設(shè)計成這樣 的方式，具有擴大的底部的容納凹槽373與突出部分362通過鍛造工藝彼此 配合。由于本實施例中除了上述組件外，其余組件均與第八實施例中所述組 件相同，所以在此省略其詳細描述。
更詳細地，如圖14所示，突出部分362與容納凹槽373其中一個的剖面 形狀被局部改變，因此突出部分與容納凹槽具有彼此不同的剖面面積(A， A，)'。剖面面積向其底部增大的容納凹槽373與突出部分362通過鍛造工藝 而彼此配合。進行鍛造時，突出部分362因外部壓力而塑性變形，因此可緊 密地裝配到容納凹槽373內(nèi)。
在圖14所示的方法中，由于冷卻通道377是在嵌入加熱器375的同時形 成于容納凹槽373的側(cè)面，因此能通過簡單的工藝來實現(xiàn)冷卻配置，并且可 以因工藝的筒化而產(chǎn)生減少制造時間和生產(chǎn)成本的效果。這里，突出部分362 和容納凹槽373可以各種不同的形狀形成，只要突出部分362與容納凹槽373 具有彼此不同的剖面面積(A， A，)從而提供彼此間用以進行塑性變形的空 間即可。
第十一實施例
如圖15所示，根據(jù)本發(fā)明第十一實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這 樣的方式，容納凹槽373具有在其側(cè)面形成的三角形橫剖面的冷卻通道378。 由于本實施例中除了上述組件外，其余組件均與第八實施例中所述組件相同， 所以在此省略其詳細描述。
更詳細地，如圖15所示，突出部分362與容納凹槽373其中之一的剖面 形狀被改變，從而使它們具有彼此不同的剖面面積(A， A，)，以確保彼此間用以進行塑性變形的空間。突出部分362與加熱器375接觸的端部凈皮構(gòu)造 成具有凹陷表面，且加熱器375的曲率半徑(r)與該端部的凹陷表面的曲率 半徑(R)不同，因此，使其可通過鍛造工藝產(chǎn)生的塑性變形而實現(xiàn)緊密地 配合。
此外，與突出部分362對應(yīng)的容納凹槽373具有在其側(cè)面形成的冷卻通 道378,各個冷卻通道378具有三角形的橫剖面，因此，基座頂蓋360與基 座主體370可因鍛造工藝產(chǎn)生的塑性變形而彼此緊密地配合。由于緊密配合， 突出部分與容納凹槽被牢固地接合，因而能容易地形成冷卻通道378。.本領(lǐng) 域技術(shù)人員顯而易見的是，根據(jù)設(shè)計與工藝的條件，冷卻通道能以各種不同 的形狀形成。
在此實施例中，突出部分362的端部的曲率半徑(R)設(shè)定為大于加熱 器375的曲率半徑(r)。曲率半徑之間存在這種差異的原因在于，通過鍛造 工藝使突出部分362與加熱器375接觸時，使突出部分362在圍繞加熱器375 時產(chǎn)生塑性變形，并使壓力能被均勻地施加到加熱器375的圓形表面。
換句話iJL，由于外部壓力是4皮均勻地施加到加熱器375的圓形表面，因 此可以防止對加熱器375施加局部或不均勻的鍛造壓力而引起的變形，或由 于接觸表面之間不平整而形成的空隙。當然，即使突出部分的凹陷表面的曲 率半徑小于或等于加熱器的曲率半徑，也能夠由于塑性變形而實現(xiàn)緊密地配合。
優(yōu)選地，加熱器375具有不平整的表面。為加熱器設(shè)置不平整表面的原 因在于，當突出部分362因塑性變形而緊密地裝配到容納凹槽中時，彼此之 間的接觸面積增大，從而提高熱傳導(dǎo)效率。不言而喻，加熱器375可具有任 意結(jié)構(gòu)的表面，只要能增加加熱器375的接觸面積即可。
優(yōu)選地，加熱器375的制造材料與基座主體370的制造材料相同，或者 加熱器375的制造材料與基座主體370的制造材料具有相同的熱膨脹系數(shù)。 如果加熱器375的制造材料或熱膨脹系數(shù)與基座主體370的不同，則隨著加 熱溫度的增高，加熱器375與基座主體370的膨脹程度會不同，因此在接觸 表面會產(chǎn)生空隙，從而降低熱傳導(dǎo)效率。
第十二實施例如圖16所示，根據(jù)本發(fā)明第十二實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這 樣的方式，制備具有一個或多個在其底面形成的容納凹槽392的基座主體 380;將加熱器385嵌入到一個或多個容納凹槽中，各容納凹槽392具有在其 側(cè)面形成的冷卻通道395,并且尺寸與容納凹槽392相對應(yīng)的頂蓋3卯通過 鍛造工藝裝配到容納凹槽中，其中，當從插入方向觀看時，頂蓋340與容納 凹槽392具有不同的剖面面積。
如圖16所示，本發(fā)明的第十二實施例提供一種將頂蓋390裝配到在基座 主體380上形成的容納凹槽392中的方法，在基座主體380中，加熱器385 被嵌入到容納凹槽392的底部，并且冷卻通道395在容納凹槽392的側(cè)面形 成。此實施例與其它實施例的不同之處在于頂蓋390必須通過鍛造工藝而單 獨地裝配到容納凹槽392內(nèi)。也就是說，這種通過鍛造工藝把頂蓋單獨裝配 到容納凹槽內(nèi)的方法的優(yōu)點在于，可以降低在一次將一個或多個形成于基座 頂蓋的突出部分與基座主體的容納凹槽彼此配合的情形下可能發(fā)生的不穩(wěn)定 性與必須確保高度精確性所需的負擔。
在此實施例中，頂蓋390與容納凹槽392被構(gòu)造成頂蓋與容納凹槽其中 一個的剖面形狀被局部改變以具有彼此不同的剖面面積，從而提供可進行鍛 造工藝引起的塑性變形的空間。更詳細地，如果從插入方向觀看時，容納凹 槽392的剖面面積大于頂蓋3卯的剖面面積，并且容納凹槽392 ^f皮構(gòu)造成其 剖面面積朝向中間深度位置增大。此外，頂蓋390先被插入容納凹槽392中 的端部形成為具有與加熱器385對應(yīng)的凹陷表面，且頂蓋390該端的剖面面 積或曲率半徑與加熱器385的曲率半徑不同或相等，以便于因塑性變形而實 現(xiàn)緊密配合。
因此，當頂蓋3卯^f皮插入局部擴大的容納凹槽392中，并且對頂蓋施加 超出一定力量的壓力時，頂蓋390會變形，從而因塑性變形而與容納凹槽392 緊密地配合。由于該緊密配合，因此能確保頂蓋與主體之間的鎖定效果，并 且用較低的力量就可容易地將頂蓋390與主體380彼此配合，從而提供牢固 的配合，同時顯著減少非預(yù)期的變形及空隙。
此外，由于容納凹槽392形成為在其側(cè)面局部具有冷卻通道395，所以 當頂蓋3卯利用塑性變形而被緊密地裝配到容納凹槽392時，會自動地形成 具有導(dǎo)管形狀的冷卻通道395。因此，本實施例具有可輕易通過牢固的配合而在靠近加熱器處形成傳統(tǒng)技術(shù)需個別形成的冷卻通道的優(yōu)點。第十三實施例
如圖17所示，根據(jù)本發(fā)明第十三實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這樣的方式，容納凹槽形成為在其側(cè)面具有冷卻通道395，并隨后將冷卻管397置于冷卻通道395中。由于本實施例中除了上述組件外，其余組件均與第十二實施例中所述組件相同，所以在此省略其詳細描述。
更詳細地，利用因鍛造工藝所產(chǎn)生的塑性變形而將頂蓋390緊密裝配到基座主體380的容納凹槽392中，以此形成冷卻通道395的期間，冷卻通道395可能被堵塞或局部變窄。為避免冷卻通道被堵塞或變窄，將冷卻管397布置在冷卻通道中，以確保冷卻劑可在其中穩(wěn)定和均勻地流動。
第十四實施例
如圖18所示，根據(jù)本發(fā)明第十四實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這樣的方式，額外設(shè)有金屬合金層399。由于本實施例中除了上述組件外，其余組件均與第十 一 實施例中所述組件相同，所以在此省略其詳細描述。
更詳細地，如圖18所示，頂蓋390被薄薄地涂覆金屬材料398 (圖18(a)),該金屬材料398與基座主體380的材料不同。被涂覆的頂蓋390被用作標準的頂蓋。容納凹槽392形成為具有局部的剖面面積(A，)大于頂蓋390的剖面面積(A)，并且也形成為在容納凹槽392的側(cè)面具有溝槽，以提供冷卻通道395。加熱器385被嵌入到容納凹槽392的底部。其后，通過鍛造工藝，將頂蓋3卯裝配到容納凹槽392中。在鍛造工藝期間，當從外部將預(yù)定溫度的熱量施加到頂蓋3卯和容納凹槽392時(圖18 (b)),在頂蓋3卯與容納凹槽392之間形成金屬合金層399 (圖18 (c))。
在頂蓋390與容納凹槽392之間形成金屬合金層399的原因在于，該金屬合金層能阻止氧化層的形成，其中氧化層可能會在頂蓋390及容納凹槽392之間未形成金屬合金層的情況下產(chǎn)生，從而防止了接觸表面被侵蝕導(dǎo)致的裝配完整性的降低。此外，由于金屬合金層399僅形成薄薄一層，并且由于頂蓋與容納凹槽之間可能形成的細微間隙或空隙在加熱期間由此金屬合金層399填補，因此，其間的牢固配合被進一步增強。
在此例中，基座主體380是由鋁材料制成，并且涂層是利用鋅(Zn)材料成，從而提供了鋁-鋅金屬合金層399。金屬合金層399也可用鎳、鉻及類似金屬來替代鋅(Zn)而形成。也就是說，本領(lǐng)域技術(shù)人員顯而易見的是，任何材料均能用來形成此金屬合金層，只要該材料與基座的材料不同，并且能
確保降低氧化層的形成和易于在低溫條件下形成合金即可。
根據(jù)按照以上描述所構(gòu)建的基座的制造方法，頂蓋與容納凹槽其中一個的剖面形狀^^局部改變以具有在從插入方向觀看時與另一個不同的剖面面積，從而使頂蓋與容納凹槽可通過彼此間所形成的空間，利用塑性變形而容易地彼此緊密配合，因此提供更牢固和穩(wěn)定的裝配狀態(tài)。因此，當裝配的部分經(jīng)歷諸如線性焊接或硬釬焊之類的其它工藝時，就不需提供用以保持該裝配狀態(tài)所需的支承壓力，從而實現(xiàn)簡化制造工藝和降低生產(chǎn)成本的巨大優(yōu)點。此外，由于冷卻通道在容納凹槽的側(cè)面并且頂蓋是利用鍛造工藝所產(chǎn)生的塑性變形而被緊密裝配到容納凹槽中，因此可在嵌入加熱器時，容易地在靠近加熱器的地方設(shè)置冷卻器件。
第十五實施例
如圖19所示，根據(jù)本發(fā)明第十五實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這樣的方式，制備基座頂蓋500，該基座頂蓋500具有一個或多個形成于其上的突出部分510(圖19(a))，制備具有一個或多個與該基座頂蓋500的突出部分510相對應(yīng)的容納凹槽610的基座主體600，其中務(wù)容納凹槽610的具有在其側(cè)面形成的冷卻通道650,以4更讓冷卻劑從中流過，在各容納凹槽610的底部嵌入加熱器615(圖19(b))，以及通過鍛造工藝將基座頂蓋500及基座主體600彼此配合。在此例中，突出部分510與容納凹槽610其中一個的剖面形狀被局部改變，以便在從插入方向觀看時，突出部分510與容納凹槽610具有彼此不同的剖面面積(A， A，)，從而通過鍛造工藝使突出部分與容納凹槽之間因塑性變形實現(xiàn)緊密配合(圖19(c))。這里，不言而喻，.突出部分510可與基座頂蓋500—體成型，或者也可單獨形成。.
其后，將彼此配合的基座頂蓋500與基座主體600放置到一個保持真空環(huán)境的真空室700中，并通過外接的電源550啟動加熱器615以進行硬釬焊(圖19 (d))，從而制得具有高熱傳導(dǎo)效率的堅固的基座。
詳細地，當從縱向觀看時，由于容納凹槽610的剖面面積(A，)在中間深度位置擴大，所以當通過鍛造工藝將突出部分510裝配到容納凹槽610內(nèi)時，.通過突出部分的塑性變形，突出部分510與容納凹槽610精準且緊密的 配合。已塑性變形的突出部分510能產(chǎn)生使突出部分510緊密裝配到容納凹 槽610內(nèi)的鎖定效果。
如圖19所示，加熱器615被嵌入到容納凹槽610的底部，同時凹槽也設(shè) 有在容納凹槽610的側(cè)面形成的冷卻通道650。其后，通過鍛造工藝，突出 部分與容納凹槽因塑性變形而彼此緊密配合。因此，可以避免執(zhí)行傳統(tǒng)的需 要另外形成冷卻通道的復(fù)雜工藝。此外，由于加熱器的嵌入與冷卻通道的形 成是同時進行，所以具有制造工藝被進一步簡化和生產(chǎn)成本被顯著降低的優(yōu) 點。
.另外，由于容納凹槽610的部分側(cè)面上形成溝槽形冷卻通道650，.并且 突出部分與容納凹槽通過塑性變形而彼此緊密地配合，因此所生成的裝配結(jié) 構(gòu)與粘合上下板件或嵌入冷卻通道的傳統(tǒng)工藝比較更為牢固。此外，由于冷 卻通道650能靠近加熱器615容易地形成，因此提高了冷卻效率。
如圖19 (d)所示，由于硬釬焊是在基座主體600與基座頂蓋500通過 塑性變形而彼此緊密配合之后的真空環(huán)境中進行，所以提高了填料金屬的濕 潤性。而且，由于基座主體的加熱器和頂蓋是利用嵌入到基座主體600內(nèi)的 加熱器615實現(xiàn)，而不是利用熔爐，因此不會因發(fā)生氧化而出現(xiàn)燉化狀態(tài)， 使用便宜的設(shè)備即可有效地完成基座主體與基座頂蓋接合的工藝。
.在利用鍛造的傳統(tǒng)裝配工藝中，由于在熔爐中加熱基座時，裝配是通過 壓鍛設(shè)備對基座進行壓鍛的工藝來完成的，因此需要重型和昂貴的裝配。與 傳統(tǒng)工藝相反，由于根據(jù)本發(fā)明的工藝是通過塑性變形而使基座頂蓋500緊 密裝配到基座主體600中的方式而實現(xiàn)的，所以這種工藝會因具有鎖定效果 的穩(wěn)定裝配而不需要額外的支承壓力。此外，在對已裝配的表面進行的硬4f 焊工藝中，傳統(tǒng)的硬釬焊工藝是利用大型的加熱設(shè)備在外部執(zhí)行的。相反的， 本發(fā)明的工藝是以這樣的方式執(zhí)行的，將已彼此裝配的基座頂蓋與基座主體 放置在真空室700中，并且利用經(jīng)連接線617連接到外接電源550的加熱器 615對基座頂蓋和基座主體進行加熱，從而可容易地執(zhí)行已裝配表面的硬釬 焊。
硬釬焊是通過在兩種基本金屬之間應(yīng)用填料金屬并將這兩種基本金屬加 熱到450。C或更高的溫度，以使其接合的技術(shù)，其中由于溫度低于基本金的熔點，因此基本金屬不會被破壞。
更詳細地，硬釬焊是利用具有液相線溫度在450°C或以上的填料金屬將 兩種基本金屬加熱到低于固相線溫度的溫度，從而使兩種基本金屬接合的方 式來實現(xiàn)。
作為參考，使用填料金屬的接合方法可被廣義分類為焊接(welding)， 硬釬焊(brazing)和軟釬焊(soldering)。在某些情況下，焊接在韓語中被 稱為"YONGJOP，，，硬釬焊在韓語中被稱為"KYONGNAPTEM"，并且軟 釬焊在韓語中被稱為"YONNAPTEM"。
這三種接合技術(shù)之間的不同處在于軟釬焊是在450°C或更低的溫度使用 填料金屬進行接合，而焊接與硬釬焊則是在450。C或更高的溫度進行的。其 中，焊接與硬釬焊之間的差別在于焊接是在等于或高于待接合的基本金屬熔 點的溫度下進行的，然而硬釬焊則是利用填料金屬通過加熱到低于待接合基 本金屬熔點的溫度進行的，而不會使基本金屬受損。
在硬釬焊中，當填料金屬達到硬釬焊溫度時，在填料金屬熔融并滲透到 兩種基本金屬之間的情況下，可實現(xiàn)理想的硬釬焊。在這種情況下，兩種基 本金屬與填料金屬之間的親和度可用濕潤性表示。此外，使填料金屬流入兩
種基本金屬之間的釬縫間隙中的現(xiàn)象可稱為毛細管作用。
此時，重力可對填料金屬產(chǎn)生作用。然而，硬釬焊的主要原理通過這樣 的事實進行介紹，當基本金屬被加熱并利用供應(yīng)到其間的填料金屬而彼此接 合時，填料金屬因其自身的濕潤性而熔融并緊密地接觸基本金屬，并且隨后 填料金屬在基本金屬之間流動。
.如果填料金屬與待接合基本金屬之間的濕潤性不佳，就無法實現(xiàn)基本金 屬之間的接合。若是基本金屬之間的釬縫間隙過大，該釬縫間隙就無法用填 料金屬完全填補，導(dǎo)致接合不完全。
一般來說，基本金屬在硬釬焊期間如因長時間留在大氣中而使其處于燉 化狀態(tài)，或是基本金屬與空氣中的氧鍵合從而形成氧化物時，液態(tài)金屬就會 變得難以濕潤。
此外，在對金屬進行硬釬焊時，優(yōu)選地使用助焊劑或在還原性氣氛或真 空氣氛，諸如保護氣體中對基本金屬加熱，以抑制氧化物的形成，從而改善
26填料金屬的濕潤性。通過濕潤性的改善，填料金屬能夠因毛細管作用而容易 地在基本金屬之間流動。在此例中，主要是惰性氣體被用作保護氣體。
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如圖20所示，根據(jù)本發(fā)明第十六實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這 樣的方式，在容納凹槽的側(cè)面形成冷卻通道650，并且隨后在冷卻通道中進 一步嵌入冷卻管655。由于本實施例中除了上述組件外，其余組件均與第十 五實施例中所述組件相同，所以在此省略其詳細描述。
如圖20所示，根據(jù)本實施例，在將頂蓋500裝配到基座主體600以提供 冷卻通道650的鍛造工藝期間，為避免出現(xiàn)冷卻通道650被堵塞或局部變窄 的情況，而將冷卻管655嵌入到冷卻通道中，使得冷卻劑可穩(wěn)定和均勻的流 動。在此實施例中，可將冷卻管655嵌入到所有的冷卻通道650內(nèi)，或以固 定間隔而間歇地嵌入到冷卻通道650內(nèi)。
第十七實施例
如圖21所示，根據(jù)本發(fā)明第十七實施例的基座的制造方法，被設(shè)計為這 樣的方式，通過鍛造工藝將具有擴大底部的容納凹槽611與突出部分510彼 此酉己合。由于本實施例中除了上述組件外，其余組件均與第十五實施例中所 述組件相同，所以在此省略其詳細描述。
如圖21所示，突出部分510與容納凹槽611其中之一的剖面形狀被局部 改變，從而使突出部分與容納凹槽具有彼此不同的剖面面積(A, A，)。具 有剖面面積朝著底部增大的容納凹槽611與突出部分510通過鍛造工藝彼此 配合。進行這鍛造時，突出部分510受到外部壓力而被塑性變形，從而被緊 密地裝配到容納凹槽611內(nèi)。
由于冷卻通道650是在嵌入加熱器615的同時形成于容納凹槽611的側(cè) 面，因此能通過簡單的工藝來實現(xiàn)冷卻措施，并且因工藝的簡化而可以實現(xiàn) 減少制造時間和生產(chǎn)成本的效果。
這里，突出部分510和容納凹槽611可形成為各種不同的形狀，只要突 出部分510和容納凹槽611具有彼此不同的剖面面積(A, A，)，從而能提 供彼此間用以進行塑性變形的空間即可。
此外，優(yōu)選地，突出部分510具有與容納凹槽6U不同的強度或硬度。其原因在于具有彼此不同的強度或硬度的突出部分和容納凹槽，不是突出部
分就是容納凹槽能更易于在鍛造工藝期間塑性變形。為使突出部分510和容 納凹槽611具有不同的強度或硬度，突出部分和容納凹槽的金屬材料可經(jīng)受 不同的熱處理。
第十八實施例
如圖22所示，根據(jù)本發(fā)明第十八實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這 樣的方式，在容納凹槽610的側(cè)面形成具有三角形橫剖面的冷卻通道651。 由于本實施例中除了上述組件外，其余組件均與第十五實施例中所述組件相 同，所以在此省略其詳細描述。
如圖22所示，突出部分510和容納凹槽610其中之一的剖面形狀被改變， 從而使它們具有彼此不同的剖面面積(A， A，)，用以確保彼此間用以進行 塑性變形的空間。突出部分510與加熱器615接觸的一端被構(gòu)造成具有凹陷 表面，并且加熱器615的曲率半徑(r)與該端的凹陷表面的曲率半徑(R) 不同，從而使其可因鍛造工藝產(chǎn)生的塑性變形而緊密地配合。
此外，與突出部分510對應(yīng)的容納凹槽610具有在其側(cè)面形成的冷卻通 道651,各該冷卻通道的橫剖面為三角形，從而使基座頂蓋500與基座主體 600因鍛造工藝產(chǎn)生的塑性變形而彼此緊密地配合。通過緊密裝配，突出部 分與容納凹槽能夠牢固地接合，因此能易于形成冷卻通道651。本領(lǐng)域技術(shù) 人員顯而易見的是，根據(jù)設(shè)計和工藝的條件，冷卻通道可形成為各種不同的 形狀。
在此實施例中，優(yōu)選地，加熱器615的曲率半徑(r)與突出部分510的 曲率半徑(R)彼此不同。例如，突出部分510的端部的曲率半徑(R)可設(shè) 置為大于加熱器615的曲率半徑(r)。曲率半徑之間要存在這種差異的原因 在于，使突出部分510在圍繞加熱器615時產(chǎn)生塑性變形，并使壓力能被均 勻地施加到加熱器615的圓形表面。
換句話說，由于外部壓力是被均勻地施加到加熱器615的圓形表面，因 此可以防卓因鍛造壓力^皮局部或不均勻地施加到加熱器615而引起變形，或 接觸表面之間不平整而導(dǎo)致空隙的形成。
優(yōu)選地，加熱器615具有不平整的表面。為加熱器615提供不平整表面的原因在于，當突出部分510因塑性變形而緊密地裝配到容納凹槽610中時， 彼此之間的接觸的表面面積增加，從而提高熱傳導(dǎo)效率。不言而喻，加熱器 615可具有任何結(jié)構(gòu)的表面，只要能增加加熱器615的接觸的表面面積即可。
優(yōu)選地，加熱器615的制造材料與基座主體600相同，或與基座主體600 的制造材料具有相同的熱膨脹系數(shù)。如果加熱器615由與基座主體600術(shù)同 的材料制造或者具有與基座主體600不同的熱膨脹系數(shù)，則隨著加熱溫度的 升高，加熱器615與基座主體600的膨脹程度便會不同，從而在接觸表面產(chǎn) 生空隙，因而降低傳熱效率。
根據(jù)本發(fā)明，在因塑性變形而實現(xiàn)緊密配合后，使用外接電源啟動嵌入 到容納凹槽610中的加熱器615以進行硬釬焊，以達到完美的緊密配合。
第十九實施例
如圖23所示，根據(jù)本發(fā)明第十九實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這 樣的方式，制備具有一個或多個形成于其底面的容納凹槽750的基座主體 700，加熱器815嵌入到一個或多個容納凹槽750中，各容納凹槽750具有在 其側(cè)面形成的冷卻通道850，以及通過鍛造工藝將尺寸與容納凹槽750相對 應(yīng)的頂蓋800裝配到容納凹槽750中，其中，當從插入方向觀看時，頂蓋800 與容納凹槽750具有不同的剖面面積。
本發(fā)明的第十九實施例提供一種將頂蓋800裝配到在基座主體700中形 成的容納凹槽750中的方法，其中加熱器815被嵌入到容納凹槽750的底部， 并且冷卻通道850在容納凹槽750的側(cè)面形成。此實施例與其它實施例的不 同之處在于頂蓋800必須通過鍛造工藝而單獨地裝配到容納凹槽750中。也 就是說，通過鍛造工藝將頂蓋單獨裝配到容納凹槽中的方法的優(yōu)點在于，可 以減低在同時將一個或多個在基座主體上形成的突出部分與基座主體的容納 凹槽彼此配合的情形下可能發(fā)生的不穩(wěn)定性與確保高度精確性所需的負擔。
如圖23所示，頂蓋800與容納凹槽750被構(gòu)造成這樣的方式，頂蓋與容 納凹槽其中之一的剖面形狀被局部改變以具有彼此不同的剖面面積，從而提 供可進行鍛造工藝引起的塑性變形的空間。更詳細地，當從插入方向觀看時， 容納凹槽750的剖面面積大于頂蓋800的剖面面積，并且容納凹槽750被構(gòu) 造成其剖面面積向其中間深度位置增大。此外，頂蓋800先4皮插入容納凹槽750內(nèi)的一端形成為具有與加熱器815對應(yīng)的凹陷表面，并且頂蓋該端的剖 面面積或曲率半徑與加熱器815的曲率半徑不同或相同，從而因塑性變形而 實現(xiàn)緊密配合。
因此，當頂蓋800被插入局部擴大的容納凹槽750中，并且超出一定力 量的壓力施加到頂蓋時，頂蓋800發(fā)生變形，從而由于塑性變形而與容納凹 槽750緊密地配合。通過緊密配合，確保了頂蓋與主體之間的"鎖定效果"， 并且只需很小的力量就可容易地使頂蓋與主體彼此配合，從而提供牢固的配 合，同時非預(yù)期的變形和空隙被顯著減低。
此外，由于容納凹槽750具有在其側(cè)面局部形成的冷卻通道850，所以 當頂蓋800利用塑性變形而被緊密地裝配到容納凹槽750中時，具有導(dǎo)管形 狀的冷卻通道850通過塑性變形而自動形成。因此，本實施例的優(yōu)點在于， 過去單獨形成的冷卻通道，能夠容易地通過牢固的配合而在靠近加熱器處形 成。.
第二十實施例
如圖24所示，根據(jù)本發(fā)明第二十實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這 樣的方式，將加熱器815嵌入到一個或多個容納凹槽中，且各容納凹槽具有 在其側(cè)面形成的冷卻通道850，再將冷卻管855置于冷卻通道850中，并通 過鍛造工藝將尺寸與容納凹槽對應(yīng)的頂蓋800裝配到容納凹槽中，其中，當 從插入方向觀看時，頂蓋800與容納凹槽具有不同的剖面面積。由于本實施 例中除了上述組件外，其余組件均與第十九實施例中所述組件相同，所以在 此省略其詳細描述。
更詳細地，在利用鍛造工藝所產(chǎn)生的塑性變形而將頂蓋800緊密地裝配 到基座主體700的容納凹槽750中，以形成冷卻通道850的期間，冷卻通道 850可能被堵塞或局部變窄。為避免冷卻通道發(fā)生這樣的堵塞或變窄，冷卻 管855被布置在冷卻通道850中以確保冷卻劑在其中穩(wěn)定和均勻的流動。在 因塑性變形而緊密地配合后，嵌入到容納凹槽750中的加熱器被啟動以進行 硬釬焊，從而實現(xiàn)牢固和穩(wěn)定的緊密配合。因此，能夠容易地制造出具有高 熱傳導(dǎo)效率的基座。
第二十一實施例如圖25所示，根據(jù)本發(fā)明第二十一實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成 這樣的方式，另外提供金屬合金層811。由于本實施例中除了上述組件外， 其余組件均與第十九實施例中所述組件相同，所以在此省略其詳細描述。
更詳細地，如圖25所示，頂蓋800薄薄地涂覆與基座主體700的材料不 同的金屬材料810 (圖25 (a))。被涂覆的頂蓋800被用作標準的頂蓋。容 納凹槽750形成為具有局部的剖面面積(A，)大于頂蓋800的剖面面積(A)， 并且在容納凹槽750的側(cè)面形成凹陷，以設(shè)置冷卻通道850。加熱器815被 嵌入到容納凹槽750的底部。其后，通過鍛造工藝，將頂蓋800裝配到容納 凹槽750中。在進行鍛造工藝期間，當預(yù)定溫度的熱量從外部被應(yīng)用到頂蓋 800和容納凹槽750時(圖25 (b))，在頂蓋800與容納凹槽750之間形成 金屬合金層811 (圖25 (c))。
其后，如圖25 (c)所示，通過啟動經(jīng)連接線817連接到外接電源950 的加熱器815，在保持高度真空環(huán)境(大約l(rs托)的真空室900中進行硬 釬焊，從而能夠容易地實現(xiàn)牢固和穩(wěn)定的接合而無需支承壓力。此外，硬釬 焊也可替換為在充滿諸如惰性氣體的保護氣體的真空室900中進行。因此， 由于無需昂貴的或大型真空設(shè)備即可防止已裝配表面的氧化，所以可以降低 生,成本和實現(xiàn)易于進行的硬釬焊工藝。
在頂蓋800和容納凹槽750之間形成金屬合金層811的原因在于，該金 屬合金層阻止頂蓋800與容納凹槽750之間形成氧化層，否則，該氧化層則 會在頂蓋800與容納凹槽750之間形成，從而防止接觸表面受到侵蝕而導(dǎo)致 裝配的完整性被破壞。此外，由于金屬合金層811是薄薄地形成一層，所以 頂蓋與容納凹槽之間可能形成的細微間隙或空隙在加熱期間由此金屬合金層 811填充，因此其間的牢固配合被進一步強化。
在此例中，基座主體700是由鋁材料制成，并且涂層是利用鋅(Zn)材 料形成，因而提供了鋁-鋅金屬合金層。金屬合金層811也可利用鎳、鉻或類 似64金屬替代鋅而形成。也就是說，本領(lǐng)域技術(shù)人員顯而易見的是，任何材 料均能用來形成金屬合金層，只要該材料與基座的材料不同，且能確保減低 氧化層的形成和在低溫條件下易于形成合金即可。
根據(jù)按照以上描述構(gòu)建的基座的制造方法，頂蓋與容納凹槽其中一個的 剖面形狀被局部改變，以便當從插入方向觀看時，具有與另一個不同的剖面面積，從而使頂蓋與容納凹槽都能夠因塑性變形而通過彼此間所形成的空間容易地彼此緊密配合，因而提供更牢固和穩(wěn)定的裝配狀態(tài)。
另外，由于不需要再提供保持裝配狀態(tài)所需的支承壓力，并且通過利用
外接的電源950啟動嵌入到容納凹槽中的加熱器815，而在高度真空環(huán)境中進行硬釬焊，因此具有簡化制造工藝和降低生產(chǎn)成本的極大優(yōu)點。此外，由于容納凹槽具有在其側(cè)面形成的冷卻通道，并且頂蓋是通過塑性變形而被裝配到容納凹槽中，所以可以在嵌入加熱器的同時，容易地在靠近加熱器的地方設(shè)置冷卻器件。第二十二實施例
如圖26所示，根據(jù)本發(fā)明第二十二實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這樣的方式，在基座主體201的底部形成嵌入凹槽203，在基座主體201的嵌入凹槽203中容納加熱器，并且第一頂蓋213和第二頂蓋215 ^f皮緊密地插入嵌入凹槽203的上部空間，用以密封地封閉嵌入凹槽203，如圖26(a)所示。其后，利用摩擦攪拌焊(FSW)工具221沿著第二頂蓋215與基座主體201之間的邊界進行摩擦攪拌焊，用以結(jié)合(integrate)第二頂蓋215與基座主體201。在本發(fā)明的第二十二實施例中，摩擦攪拌焊是沿著第二頂蓋215與基座主體201之間的邊界進行的，并且焊縫225與連接器210平行并向著加熱器210而形成，如圖26所示。
這里使用的術(shù)語"摩擦攪拌焊"是指一種工藝，在該工藝中，使用具有臺肩的旋轉(zhuǎn)圓筒狀FSW工具，并且從該FSW工具突出的針快速旋轉(zhuǎn)，因而在該針與基本金屬之間產(chǎn)生機械摩擦，從而塑化并焊接金屬。焊接的工藝可簡要描述如下。即，待焊接的金屬對象首先相互對接并隨后被固定在支承板件上，且快速旋轉(zhuǎn)的圓筒狀的針在該針對準金屬對象之間的接合處時，也與金屬對象相接觸。由于此接觸摩擦，因此摩擦熱迅速生成，以引發(fā)金屬對象的塑化。然后，針緩慢地進入到接合處，直到臺肩與金屬對象的表面相接觸。此時，被放置在針周圍和圓筒狀工具的臺肩下方的大多數(shù)塑化的金屬，形成圓柱。影響此方法的因素可包括針的旋轉(zhuǎn)速度、臺肩相對于針的直徑的尺寸、移動針所需的力以及針的移動速度。
隨后，針相對于對象沿著接合線移動。隨著旋轉(zhuǎn)著的針的移動，塑化的金屬由于機械攪拌和針的表面輪廓所引起的鍛造動作而被從針向后擠壓，被圓筒狀工具的臺肩所施加的壓力從上方壓制。當針扎進端部表面期后，金屬被壓碎、加熱并隨后被塑化。因此，當針沿著接合線向后移動時，金屬只在向后的方向被擠壓。也就是說，摩擦攪拌焊方法以這樣的方式進行，沿著接合線壓碎金屬，去除氧化層，以及攪拌塑化金屬，從而形成焊接部分，其中該塑化金屬位于針的后部、并且處于圓筒狀工具的臺肩下方、并且金屬在該處開始固化。在此例中，由于金屬被加熱到低于其熔點的溫度，因此摩擦攪拌焊方法屬于固相焊接法。
摩擦攪拌焊因消除了諸如電弧焊之類的熔焊法中產(chǎn)生的缺陷而為業(yè)內(nèi)所知。在熔焊中，金屬被熔化以形成焊接熔池，焊接熔池被冷卻，從而形成焊接部分。在這種情況下，熔焊存在形成空隙、裂紋以及產(chǎn)生焊煙的風(fēng)險。而且，在金屬合金的情況下，由于金屬合金成份的蒸發(fā)而導(dǎo)致的差異損耗，焊接的金屬的合成物改變?yōu)榕c原始金屬合金的成份不同的合成物。此外，在金屬難以焊接的情況下，例如鋁，則焊接可能需要用于焊接的保護氣體。與熔焊相反，摩擦攪拌焊的優(yōu)點在于，無需填料金屬和某些熔焊所需的其它消耗材料，并且與氣體保護金屬極電弧焊相比具有出色的焊接強度和持久性。
第二十三實施例
如圖27所示，根據(jù)本發(fā)明第二十三實施例的基座的制造方法，被設(shè)計成這樣的方式，通過在具有與基座250的嵌入凹槽252的空間相對應(yīng)的形狀的鑄件261中嵌入加熱器251而制備集成的加熱器260,集成連接器260被用作加熱器以及密封蓋，并且集成的加熱器260被裝配和嵌入到嵌入凹槽252中。
圖28示出了圖27所述的基座的制造工藝的連續(xù)步驟。
如圖28 (a)所示，制備具有與基座250的嵌入凹槽252相同的凹槽的鑄模262,在鑄模262中布置加熱器支架263,并且在加熱器支架263上放置加熱器251。
隨后，熔化的鋁(Al)或鋁合金264被倒入鑄模262中并隨后凝固，從而形成集成的加熱器260，在該集成的加熱器260中，加熱器支架263、加熱器251和鑄件261集成于一體，如圖28 (b)所示。盡管示出的加熱器支架是具有半圓的剖面形狀，加熱器支架也可以具有能夠在鑄造成型工藝期間支承加熱器的任何形狀。如圖28 (b)所示，集成的加熱器260從鑄模302中取出，集成的加熱器260的多余部分利用精密加工被去除，如28(c)所示。其后，如圖27所示，這樣制備出的集成的加熱器260插入基座的嵌入凹槽252中，從而完成在嵌入凹槽252中嵌入加熱器而不在其間產(chǎn)生間隙。
由于在基座中密封地裝配加熱器的該方法是這樣的方式進行，制備集成于鑄件中加熱器而不讓加熱器與連接器頂蓋分離，因此，在加熱器與連接器頂蓋之間沒有間隙。
此外，由于集成的加熱器被制備成具有與基座的嵌入凹槽的空間相對應(yīng)的剖面形狀，并且該集成的加熱器被裝配和嵌入到基座的嵌入凹槽中，因此在嵌入凹槽中沒有間隙。
于是，基座與加熱器之間的間隙被消除。加熱器260能夠提供遍及整個基座的均勻的溫度，并因此可以透明玻璃襯底的可加工性和產(chǎn)率。
盡管為了全面地理解本發(fā)明，已經(jīng)參照特別組件、優(yōu)選實施例和附圖對本發(fā)明進行詳細的圖示和描述，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當理解的是，本發(fā)明不限于上述實施例，在以上描述的范圍內(nèi)，可以對其進行各種形式的變化和修改。
因此，本發(fā)明不限于上述實施例，并且附加權(quán)利要求和與權(quán)利要求等同的所有變形均落在本申請公開的原則范圍和精神之內(nèi)。工業(yè)應(yīng)用性
根據(jù)本發(fā)明的基座的制造方法，基座頂蓋與基座主體通過鍛造而彼此配合，并且利用鍛造時所產(chǎn)生的塑性變形，使基座頂蓋的突出部分緊密地裝配到基座主體的凹槽中。此外，由于突出部分與凹槽其中一個的剖面形狀被改變，因此當從插入方向觀看時，突出部分與凹槽具有彼此不同的剖面面積，而無需過高的壓力。另外，因為有這種通過塑性變形而實現(xiàn)的緊密的配合，所以可以大大減輕因基座頂蓋與基座主體之間產(chǎn)生裂紋或空隙所造成的熱傳導(dǎo)性能減損的問題。
此外，由于本發(fā)明提供一種易于在基座頂蓋與基座主體的裝配表面上形成合金層的方法，所以通過防止裝配表面氧化而發(fā)生的侵蝕，可以提供高效和高質(zhì)量的基座。
另外，由于基座頂蓋與基座主體之間更牢固和更穩(wěn)定地相互接合，所以在對接合部分進行額外的線性焊接或硬釬焊工藝時，無需提供用以保持接合狀態(tài)的支承壓力，從而簡化制造工藝并降低生產(chǎn)成本。
根據(jù)本發(fā)明的基座的制造方法，由于基座主體與基座頂蓋利用摩擦攪拌焊法而整體地彼此接合，所以可以完全地防止傳統(tǒng)熔焊中焊接部分的鋁合金層的凝固所產(chǎn)生的熱裂紋，從而提供了更高可靠性的基座產(chǎn)品。
根據(jù)本發(fā)明的基座的制造方法，由于加熱器是以這樣的方式構(gòu)建，與鑄件集成而無需單獨制備密封頂蓋和加熱器，并且鑄件被制成具有與基座主體的嵌入凹槽相對應(yīng)的剖面形狀，因此消除了基座主體與加熱器之間以及密封頂蓋與加熱器之間的間隙，從而提高了基座整體的溫度的均勻性。所以，可以提高透明玻璃襯底的可加工性和產(chǎn)率，并且能大批量地生產(chǎn)用于液晶顯示器件的高質(zhì)量的透明玻璃襯底。
3權(quán)利要求
1. 一種制造基座的方法，包括以下步驟制備具有一個或多個突出部分的基座頂蓋；制備具有與所述基座頂蓋的所述突出部分相對應(yīng)的凹槽的基座主體；以及通過鍛造將所述基座頂蓋裝配到所述基座主體中；其中，各所述突出部分與各所述凹槽中的至少一個在所述鍛造過程中塑性變形，從而使得彼此間能緊密配合；其中，各所述突出部分與各所述凹槽中的至少一個的剖面形狀被局部改變，從而在從插入方向觀看時，所述突出部分與所述凹槽具有不同的剖面面積。
2. 如權(quán)利要求l所述的方法，進一步包括在至少一個所述凹槽中嵌入加 熱器的步驟。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的方法，其中，在制備所述基座主體的步驟中， 當從縱向觀看時，所述凹槽的剖面面積朝向該凹槽的中間深度位置逐漸增大。
4. 如權(quán)利要求1或2所述的方法，其中，在制備所述基座主體的步驟中， 所述凹槽的剖面面積朝向該凹槽的底部逐漸增大。
5. 如權(quán)利要求1或2所述的方法，其中，在制備所述基座主體的步驟中， 各所述凹槽具有在其側(cè)面形成的波紋部分或圓形凹陷部分。
6. —種制造基座的方法，包括以下步驟制備基座頂蓋，所述基座頂蓋具有一個或多個突出部分，且各所述突出 部分具有凹陷的端部表面；制備基座主體，所述基座主體具有與所述基座頂蓋的所述突出部分相對 應(yīng)的凹槽，并且具有與所述凹陷的端部表面相對應(yīng)且嵌入到所述凹槽中的加 熱器；以及通過鍛造將所述基座頂蓋裝配到所述基座主體中，其中，各所述突出部 分在所述鍛造過程中塑性變形，從而與所述凹槽緊密配合；其中，當從插入方向觀看時，所述突出部分與所述凹槽具有不同的剖面 面積。
7. 如權(quán)利要求6所述的方法，其中，在制備所述基座主體的步驟中，所 述加熱器以管狀被嵌入到所述凹槽中。
8. 如權(quán)利要求7所述的方法，其中，在制備所迷基座頂蓋的步驟中，所 述凹陷的端部表面為凹弧形端部表面，且所述凹弧形端部表面的曲率半徑與 所述加熱器的曲率半徑不同。
9. 如權(quán)利要求7所述的方法，其中，在制備所述基座頂蓋的步驟中，所 述加熱器以碟形被嵌入到所述凹槽中。
10. 如權(quán)利要求7所述的方法，其中，在制備所述基座頂蓋的步驟中， 所述凹陷的端部表面的開口端大于形狀為碟形的所述加熱器。
11. 一種制造基座的方法，包括以下步驟制備基座主體，所述基座主體具有在其底部形成的一個或多個凹槽； 在所述凹槽內(nèi)嵌入至少一個加熱器； 制備與所述凹槽相對應(yīng)的頂蓋；以及通過鍛造將所述頂蓋裝配到所述凹槽中，其中，各所述頂蓋與各所述凹 槽中的至少一個在所述鍛造過程中塑性變形，從而使得彼此間能緊密配合；其中，各所述頂蓋與各所述凹槽中的至少一個的剖面形狀^t改變，從而 當從插入方向觀看時，所述頂蓋與所述凹槽具有不同的剖面面積。
12. 如權(quán)利要求ll所述的方法，其中，在嵌入所述加熱器的步驟中，當 從縱向觀看時，所述凹槽的剖面面積朝向該凹槽的中間深度位置逐漸增大。
13. 如權(quán)利要求11所述的方法，其中，在嵌入所述加熱器的步驟中，所 迷凹槽的剖面面積朝向該凹槽的底部逐漸增大。
14. 如權(quán)利要求ll所述的方法，其中，在嵌入所述加熱器的步驟中，所 述加熱器或冷卻器件以管狀被嵌入到所述凹槽中。
15.如權(quán)利要求14所述的方法，其中，所述頂蓋對應(yīng)于所述加熱器或所 述冷卻器件的端部表面的曲率半徑，與所述加熱器或所述冷卻器件的曲率半 徑相同或不同。
16. 如權(quán)利要求11所迷的方法，其中，裝配所述頂蓋的步驟包括 使用與所述基座主體的材料不同的金屬材料涂覆所述頂蓋；以及.通過鍛造將所述被涂覆的頂蓋裝配到所述凹槽內(nèi)，并且加熱裝配在一起 的所述基座主體和所述頂蓋。
17. 如權(quán)利要求16所述的方法，其中，所述頂蓋被涂覆選自由鋅(Zn)、 鎳(Ni)和鉻(Cr)所組成的組中的一種金屬。
18. —種基座，使用如權(quán)利要求1到17中的一種所述方法制造。
19. 一種制造基座的方法，包括以下步驟 制備具有一個或多個突出部分的基座頂蓋；制備基座主體，所述基座主體具有與所述突出部分相對應(yīng)的凹槽并且與 所述突出部分相配合；在所述凹槽中形成至少一個冷卻通道；以及通過鍛造將所述基座頂蓋裝配到所述基座主體中，其中，所述突出部分 在所述鍛造過程中塑性變形，從而緊密裝配到所述凹槽中；其中，當從插入方向觀看時，所述突出部分與所迷凹槽具有不同的剖面 面積、。
20. 如權(quán)利要求19所述的方法，其中，在形成所述冷卻通道的步驟中， 加熱器嵌入到所迷凹槽的底部，并且所述冷卻通道形成于所述凹槽的側(cè)面中。
21. 如權(quán)利要求20所述的方法，其中，在形成所述冷卻通道的步驟中， 所迷冷卻通道形成于所述凹槽相對的側(cè)面中。
22. 如權(quán)利要求19或20所述的方法，其中，形成所述冷卻通道的步驟 進一步包括在所述冷卻通道中嵌入冷卻管的步驟。
23. 如權(quán)利要求19或20所述的方法，其中，在制備所述基座主體的步 驟中，當從縱向觀看時，所述凹槽的剖面面積朝向該凹槽的中間深度位置逐 漸增大。
24. 如權(quán)利要求19或20所述的方法，其中，在制備所述基座主體的步 驟中，所述凹槽的剖面面積朝向該凹槽的底部逐漸增大。
25. 如權(quán)利要求19或20所述的方法，其中，所迷突出部分的端部具有凹弧形端部表面，并且所述凹弧形端部表面的曲率半徑與所述加熱器的曲率 半徑相同或不同。
26. 如權(quán)利要求19或20所述的方法，其中，在形成所述冷卻通道的步 驟中，所述冷卻通道形成于所述凹槽的內(nèi)側(cè)面中以具有三角形的剖面面積。
27. 如權(quán)利要求19或20所述的方法，其中，所述突出部分與所述凹槽 具有彼此不同的強度或硬度。
28.如權(quán)利要求20所述的方法，其中，所述加熱器具有不平整的表面。
29. —種制造基座的方法，包括以下步驟制備基座主體，所述基座主體具有在其底部形成的一個或多個凹槽； 在所述一個或多個凹槽內(nèi)形成加熱器； 制備與所述凹槽對應(yīng)的頂蓋；以及通過鍛造將所述頂蓋裝配到所述凹槽中，其中，各所述頂蓋與各所迷凹 槽中的至少一個在所述鍛造過程中塑性變形，從而使得彼此間能緊密配合；其中，各所述突出部分與各所述凹槽中的至少一個的剖面形狀#:改變，從而當從插入方向觀看時，所述突出部分與所述凹槽具有不同的剖面面積。
30. 如權(quán)利要求29所述的方法，其中，在形成所i^口熱器的步驟中，所 述加熱器在所述凹槽的底部形成，并且所述冷卻通道在所述凹槽的側(cè)面中形 成。
31. 如權(quán)利要求30所述的方法，其中，在形成所述加熱器的步驟中，所 述冷卻通道在所述凹槽的相對側(cè)面中形成。
32. 如權(quán)利要求29或30所述的方法，其中，形成所述加熱器的步驟進 一步包括在冷卻通道內(nèi)嵌入冷卻管的步驟。
33. 如權(quán)利要求29所述的方法，其中，在制備所述基座主體的步驟中， 當從縱向觀看時，所述凹槽的剖面面積朝向該凹槽的中間深度位置逐漸增大。
34. 如權(quán)利要求29所述的方法，其中，在制備所述基座主體的步驟中， 所述凹槽的剖面面積朝向該凹槽的底部逐漸增大。
35. 如權(quán)利要求29所述的方法，其中，所述頂蓋對應(yīng)于所述加熱器的端 部表面的曲率半徑，與所述加熱器的曲率半徑相同或不同。
36. 如權(quán)利要求29所述的方法，其中，裝配所述頂蓋的步驟包括. '使用與所述基座主體的材料不同的金屬材料涂覆所述頂蓋；以及通過鍛造將所述被涂覆的頂蓋裝配到所述凹槽內(nèi)，并且加熱裝配在一起 的所述基座主體和所述頂蓋。
37. 如權(quán)利要求36所述的方法，其中，所述頂蓋被涂覆選自由鋅(Zn)、 鎳(.Ni)和鉻(Cr)所組成的組中的一種金屬。
38. 如權(quán)利要求29所述的方法，其中，所述突出部分與所述凹槽具有彼 此不同的強度或硬度。
39. 如權(quán)利要求29所述的方法，其中，所述加熱器具有不平整的表面。
40. —種基座，使用如權(quán)利要求20或30的所述方法制造。
41. 一種制造基座的方法，包括以下步驟 制備具有一個或多個突出部分的基座頂蓋；制備基座主體，所述基座主體具有與所述突出部分相對應(yīng)的凹槽并且與 所述突出部分相配合；在所述凹槽中形成加熱器；通過鍛造將所述基座頂蓋裝配到所述基座主體中，其中，所述突出部分 在所述鍛造過程中塑性變形，從而緊密裝配到所述凹槽中；以及利用來自所述加熱器的熱量將所述基座頂蓋硬釬焊到所述基座主體； 其中，當從插入方向觀看時，所迷突出部分與所述凹槽具有不同的剖面 面積。
42. 如權(quán)利要求41所述的方法，其中所述硬釬焊步驟是在高度真空環(huán)境 中進行的。
43. 如權(quán)利要求41所述的方法，其中所述硬釬焊步驟是在保護氣體的環(huán) 境中進行的。
44. 如權(quán)利要求41所述的方法，進一步包括在所述凹槽的相對側(cè)面中形 成冷卻通道的步驟。
45. 如權(quán)利要求41所述的方法，其中，在制備所述基座主體的步驟中，當從縱向觀看時，所述凹槽的剖面面積朝向該凹槽的中間深度位置逐漸增大。
46. 如權(quán)利要求41所述的方法，其中，在制備所述基座主體的步驟中， 所述凹槽的剖面面積朝向該凹槽的底部逐漸增大。
47. 如權(quán)利要求41所述的方法，其中，所述突出部分的端部具有凹弧形 端部表面，并且所述凹弧形端部表面的曲率半徑與所述加熱器的曲率半徑相 同或不同。
48. 如權(quán)利要求41所述的方法，其中，所述突出部分與所述凹槽具有彼 此不同的強度或硬度。
49. 如權(quán)利要求41所述的方法，其中，所述加熱器具有不平整的表面。
50. —種制造基座的方法，所述方法包括下列步驟 制備基座主體，所述基座主體具有在其底部形成的一個或多個凹槽； 在所述一個或多個凹槽中形成加熱器； 制備與所述凹槽對應(yīng)的頂蓋；通過鍛造將所述頂蓋裝配到所述基座主體的所述凹槽中，其中，各所述 頂蓋與各所述凹槽中的至少一個在所迷鍛造過程中塑性變形，從而使得彼此 間能緊密配合；以及利用來自所述加熱器的熱量將所述基座頂蓋硬釬焊到所述凹槽；其中，各所述頂蓋與各所述凹槽中的至少一個的剖面形狀凈皮改變，從而 當從插入方向觀看時，所述突出部分與所述凹槽具有不同的剖面面積。
51. 如權(quán)利要求50所述的方法，其中，裝配所述頂蓋的步驟進一步包括 使用與所述基座主體的材料不同的金屬材料涂覆所述頂蓋的步驟。
52. 如權(quán)利要求51所述的方法，其中，所述頂蓋被涂覆選自由鋅(Zn)、 鎳(Ni)和鉻(Cr)所組成的組中的一種金屬。
53. 如權(quán)利要求50所述的方法，其中，所述硬釬焊步驟是在高度真空環(huán) 境中進行的。
54.如權(quán)利要求50所述的方法，其中，所述硬釬焊步驟是在保護氣體的 環(huán)境中進行的。
55.如權(quán)利要求50所述的方法，其中，在形成所述加熱器的步驟中，所述加熱器在所述凹槽的底部形成，并且冷卻通道在所述凹槽的側(cè)面中形成。
56.如權(quán)利要求50所述的方法，其中，在制備所述基座主體的步驟中， 當從縱向觀看時，所述凹槽的剖面面積朝向該凹槽的中間深度位置逐漸增大。
57.如權(quán)利要求50所述的方法，其中，在制備所述基座主體的步驟中， 所述凹槽的剖面面積朝向該凹槽的底部逐漸增大。
58. 如權(quán)利要求50*述的方法，其中，所述頂蓋的端部具有凹弧形端部 表面，并且所述凹弧形端部表面的曲率半徑與所述加熱器的曲率半徑相同或 不同。
59. 如權(quán)利要求50所述的方法，其中所述頂蓋與所述凹槽具有彼此不同 的強度或硬度。
60. 如權(quán)利要求50所述的方法，其中，所述加熱器具有不平整的表面。
61. —種基座，使用如權(quán)利要求41或49所述的方法制造。
62. —種基座，包括基座主體，所述基座主體具有在其底部形成的嵌入凹槽； 在所述嵌入凹槽中容納的加熱器；以及 緊密地插入所述嵌入凹槽的上部以密封所述嵌入凹槽的頂蓋； 其中，所述基座主體與所述頂蓋通過摩擦攪拌焊而彼此結(jié)合。
63. 如權(quán)利要求62所述的基座，其中，所述頂蓋包括 適于接觸所述加熱器的第一頂蓋；以及 適于接觸所述第一頂蓋并焊接到所述基座主體的第二頂蓋。
64. —種制造基座的方法，包括以下步驟 在于基座主體的底部形成的嵌入凹槽中布置加熱器；使用頂蓋密封地封閉所述設(shè)有所述加熱器的嵌入凹槽；以及 通過摩擦攪拌焊將所述頂蓋與所述基座主體結(jié)合。
65. —種制造基座的方法，包括以下步驟 在基座主體的底部形成嵌入凹槽，用以在其中嵌入加熱器； 鑄造鑄件，所述鑄件包括在其中設(shè)置的所述加熱器以對應(yīng)所述嵌入凹槽的空間；以及將所述鑄件裝配并嵌入到所述嵌入凹槽中。
66. 如權(quán)利要求65所述的方法，其中，所述方法包括以下步驟 制備具有與所述嵌入凹槽相同的凹槽的鑄模；在所述鑄模中布置加熱器支架，將所述加熱器放置在所述加熱器支架上， 并向所述鑄模中倒入熔化的鋁或鋁合金，隨后進行凝固；.從所述鑄模中去除包括在其中設(shè)置的所述加熱器的鑄件；加工所述鑄件的多余部分；以及將包括所述加熱器的所述鑄件裝配到所述嵌入凹槽中。
67. 如權(quán)利要求66所述的方法，其中，所述加熱器支架由鋁或鋁合金制成。
68. —種基座，在其底部具有嵌入凹槽用以在其中嵌入加熱器，其中， 所述基座包括在所述嵌入凹槽中裝配的鑄件，所述鑄件包括設(shè)于其中的所述 加熱器并且具有與所述嵌入凹槽的空間相對應(yīng)的形狀。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基座的制造方法，在將基座主體與頂蓋接合在一起的同時將加熱器嵌入其中。該方法包括制備具有一個或多個突出部分的基座頂蓋，制備具有與基座頂蓋的突出部分相對應(yīng)的凹槽的基座主體，以及通過鍛造將基座頂蓋裝配到基座主體中，其中，各突出部分與各凹槽中的至少一個在鍛造期間產(chǎn)生塑性變形，因此彼此間能緊密配合，其中，各突出部分與各凹槽中的至少一個的剖面形狀被局部改變，從而當從插入方向觀看時，突出部分與凹槽具有不同的剖面面積。
文檔編號H01L21/683GK101479841SQ200780024304
公開日2009年7月8日 申請日期2007年4月18日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月28日
發(fā)明者李永喆, 金文煥, 金鐘瑞 申請人:韓國世界中心科技有限公司