專利名稱：安裝方法及結(jié)構(gòu)體、電子設(shè)備及其制造方法、發(fā)光二極管顯示器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及安裝方法、安裝結(jié)構(gòu)體、電子設(shè)備的制造方法、電 子設(shè)備、發(fā)光二極管顯示器的制造方法以及發(fā)光二極管顯示器。
背景技術(shù)：
從畫面均 一性的觀點來看，通常要求顯示器中每個像素的位置
精度約為像素間距的1/100。因此，在通過在基^反上安裝諸如發(fā)光 二極管的自發(fā)光元件而制造的顯示器中，要求約1/100像素間距的 安裝位置的精度。例如，在具有40英寸對角線的全高清(HD)全 色顯示器中，由于屏幕水平方向上的l象素數(shù)為1920且屏幕垂直方 向上的像素數(shù)為1080,所以像素間距達到0.461 mm且安裝位置的 要求精度達到士 0.005 mm (5 pm)。在這種情況下，所要安裝的發(fā) 光元件的^:量達到1920xl080x (用于構(gòu)成一個j象素的紅(R)、綠 (G)和藍(B)三種顏色的發(fā)光元件的^:量)，即，約2百萬x(用 于構(gòu)成一個〗象素的R、 G和B三種顏色的發(fā)光元件的凄t量)。為了 在40英寸的基板上以士 0.005 mm的位置精度安裝如此巨大數(shù)量的 發(fā)光元件，要求開發(fā)非常高精度的安裝裝置。此外，當通過形成尺 寸小于畫面尺寸的發(fā)光元件陣列來制造大屏幕顯示器并且在移動
位置的同時在基板上順序安裝發(fā)光元件陣列(即，執(zhí)行逐步安裝) 時，針對首先形成的發(fā)光元件陣列的間距差來要求安裝位置的更高
7精度。例如，當間距差為土 0.002 mm時,要求安裝位置精度為土 0.003 mm。從安裝裝置的成本和生產(chǎn)量的角度來看，造成相當大的困難。
已經(jīng)提出了一種用于合成元件的制造方法，其中，在基板上形 成凸起部，在凸起部上滴下液體粘合劑，使得該液體粘合劑由于表 面張力而浸潤擴張為半J求狀態(tài)，將構(gòu)件置于液體粘合劑上，從而使 接觸角分布變均勻的力將作用于構(gòu)件且對準構(gòu)件，并且為了固定構(gòu) 件而向構(gòu)件照射紫外線(參考JP-A-2005-14141 )。 然而， JP-A-2005-14141既沒有7>開也沒有暗示包《1舌以下特4正的發(fā)明形 成由其粘度可被控制的材料制成的物體保持層；將物體保持層中包 括物體安裝區(qū)域的第 一部分的粘度控制為可使物體移動的粘度，并 將物體保持層中第 一部分外側(cè)的第二部分的粘度控制為不能使物 體移動的粘度；在第一部分中安裝物體之后，將第一部分的粘度控 制為使可使物體移動的粘度。

發(fā)明內(nèi)容
不僅當安裝發(fā)光元件時，而且通常當以微米級的位置精度安裝 ^:小物體時，會出現(xiàn)安裝困難。
本發(fā)明試圖解決的問題是提供一種安裝方法以及具有4艮據(jù)該 安裝方法而安裝在其中的物體的安裝結(jié)構(gòu)體，其中，當在基板上安 裝諸如元件的物體(尤其是微小物體)時，可以以高位置精度容易 且可靠地安裝物體。
本發(fā)明試圖解決的另 一 問題是基于上述安裝方法提供電子設(shè) 備的制造方法以及電子設(shè)備。
本發(fā)明試圖解決的又 一 問題是基于上述安裝方法提供發(fā)光二 極管顯示器的制造方法以及發(fā)光二極管顯示器。
8為了解決上述問題，第一發(fā)明是安裝方法，其特征在于，該安
裝方法包括
在基板上形成由其粘度可被控制的材料制成的物體保持層的 步驟；
將物體保持層中包括用于物體的安裝區(qū)域的第 一部分的粘度 控制為使物體移動的粘度、并將物體保持層中第 一部分外側(cè)的第二 部分的粘度控制為不能使物體移動的粘度的步驟；
在第一部分中安裝至少一個物體的步驟；以及
在將物體安裝在第一部分中之后，將第一部分的粘度控制為使 物體不可移動的粘度的步驟。
第二發(fā)明是安裝結(jié)構(gòu)體，其特征在于，通過執(zhí)行至少以下步驟 來制造安裝結(jié)構(gòu)體
在基板上形成由其粘度可被控制的材料制成的物體保持層的 步驟；
將物體保持層中包括用于物體的安裝區(qū)域的第一部分的粘度 控制為使物體可移動的粘度、并將物體保持層中第 一部分外側(cè)的第 二部分的粘度控制為使物體不可移動的粘度的步驟；
在第一部分中安裝至少一個物體的步驟；以及
在將物體安裝在第一部分中之后，將第一部分的粘度控制為使 物體不可移動的粘度的步驟。在第 一和第二發(fā)明中，第 一部分顯示出使物體可移動的粘度的 狀態(tài)對應(yīng)于第一部分具有4吏物體可自然移動的這種流動性的狀態(tài)， 而第二部分或第 一部分顯示出^f吏物體不可移動的粘度的狀態(tài)對應(yīng) 于第二部分或第一部分幾乎不具有流動性(幾乎硬化)且物體不能 自然移動的狀態(tài)。
將要安裝在第一部分中的物體的數(shù)量通常為一個。在某些情況 下，可以安裝多個物體。物體可以是相同的類型或者也可以是不同 的類型?？紤]在第一部分中嵌入并安裝一個物體的情況，由于第一 部分具有流動性，所以物體周圍的第一部分膨脹。此時，在基板表 面的內(nèi)部，如果物體的重心偏離第一部分的重心時，與基才反表面平 行的、與物體側(cè)面接觸的第一部分的表面張力分量的合力作用于物 體。合力定位于第一部分的重心。合力用作驅(qū)動力，使得物體朝向 第一部分的重心自動地(自然地)移動。因此，合力變小。在基板 表面的內(nèi)部，當物體的重心與第一部分的重心一致時，合力變成零， 并且物體的移動停止。只要將物體嵌入并安裝在第一部分中，物體 的重心就可以自動定4立于第一部分的重心。即，物體可以自發(fā)i也與 第一部分對準(自對準)。為了在較短的時間內(nèi)實現(xiàn)自發(fā)對準，可
i正明下面的，支法是有效的在將物體安裝在第一部分中之后，在將 第 一部分的粘度控制為使物體不可移動的粘度之前，降低第 一部分 的粘度。為了更有效地實現(xiàn)自發(fā)對準，當在第一部分中安裝物體時， 第一部分相對于物體的側(cè)面(端面)的4妄觸角應(yīng)該優(yōu)選等于或小于 90。。具體地，當降低第一部分的粘度以在較短的時間內(nèi)實現(xiàn)自發(fā)對 準時，這種一犬態(tài)下第一部分相對于物體的側(cè)面(端面)的4妾觸角應(yīng) 該優(yōu)選為等于或小于90。。為促進自發(fā)對準，可以向基板施加超聲 振動等。如果多個物體被嵌入并安裝在第一部分中，則上述合力根 據(jù)位置而作用于每個物體。在第一部分的重心周圍自動(自然)地 排列物體。在這種情況下，物體可以彼此相互接觸并進入聚集狀態(tài)。
10例如，4吏物體可移動的第一部分的粘度在1 Pa's ~ 10000 Pa-s 范圍內(nèi)。然而，本發(fā)明不僅限于該粘度。如果降低第一部分的粘度 以在較短的時間內(nèi)實現(xiàn)自發(fā)對準，則降低后的粘度例如在0.001 Pa-s 10 Pa.s范圍內(nèi)。然而，本發(fā)明不僅限于該粘度。作為基準， 在室溫下 K的粘度為0.001 Pa-s。
通常，第一部分被形成為被第二部分所圍繞。如果在第一部分 中嵌入并安裝一個物體，則為了4吏物體在第一部分的重心處精確定 位，第 一部分的平面形狀和物體的平面形狀應(yīng)該優(yōu)選為;f皮此類似。 第一部分的平面形狀優(yōu)選為旋轉(zhuǎn)對稱，或者更具體地，為圓形或等 邊多邊形(等邊三角形、正方形、五角形或六角形)，或者為變形 圓或多邊形。第一部分的平面形狀也不必一定是旋轉(zhuǎn)對稱，也可以 是線對稱或點對稱。另外，第一部分的平面形狀可以不具有對稱性。
圖l示出了以下狀態(tài)在基板上形成由其粘度可被控制的材料 制成的物體保持層；將物體保持層中包括用于物體的安裝區(qū)域的第 一部分的粘度控制為使物體可移動的粘度，并將物體保持層中第一 部分外側(cè)的第二部分的粘度控制為使物體不可移動的粘度；以及在 第一部分中嵌入并安裝至少一個物體。首先形成的物體保持層的厚 度為tl，第一部分的面積為Sl,物體的底面面積為S2，物體的高 度為t2，并且安裝在第一部分中的物體底面高度和物體保持層的表 面高度之間的差為d。此時，優(yōu)選地，乂人由第一部分的表面張力所 產(chǎn)生的朝向第 一 部分的重心移動物體的足夠大的力應(yīng)該起作用的 只見點來看，應(yīng)該建立1<S1/S2<100,更優(yōu)選地建立1<S1/S2<10，或 者更優(yōu)選i也建立1<S1/S2<5。如圖2所示，嵌入第一部分的物體的 那部分體積為S2.d,并且由于物體排出第一部分而在物體周圍升高 的第一部分的那部分體積也為S2.d。在圖3中，由虛線表示的區(qū)域 的體積一皮表示為(S1-S2).(t2-d)。優(yōu)選地，從由第一部分的表面張 力所產(chǎn)生的朝向第一部分的重心移動物體的足夠大的力應(yīng)該起作
ii用的觀點來看，應(yīng)該建立(S1 - S2)'(t2-d) > S2.d。當區(qū)域變形時， 建立Sl.d<(Sl -S2)-t2。
由其粘度可被控制的材料制成的物體保持層基本上可以由任 意材料制成，只要可以根據(jù)諸如光(具體地，紫外線)、輻射(X 射線等)或電子束的照射、或者熱、壓力、電場或磁場的施加的任 何方法控制其粘度即可。例如，可容易形成且其粘度可容易被控制 的物體保持層為樹脂層，或者更具體地為由光敏樹脂、熱固性樹脂 或熱塑性樹脂制成的層。作為光敏樹脂，可以采用已知的光敏樹脂。 具體地，例如，可以采用其曝光部分由于光交耳關(guān)反應(yīng)而變成弱可溶 性的諸如聚肉桂酸乙烯酯(polycinnamic acid vinyl，聚乙烯醇肉桂 酸酯)或聚乙烯-疊氮芐叉(polyvinyl azidobenzal)的化合物、其曝 光部分由于光聚合反應(yīng)變成弱可溶性的諸如丙烯酰胺的負性 (negative )化合物、或者諸如o-重氮醌酚醛樹脂的重氮醌基團通 過光解作用制造羧酸并變得容易溶解的正性(positive)化合物。作 為熱固性樹脂，可以采用已知的熱固性樹脂。具體地，例如，可以 采用環(huán)氧樹脂、酚醛樹脂、脲醛樹脂、三氯氰胺樹脂、不々包和聚酯 樹脂、聚氨酯樹脂或聚酰亞胺。作為熱塑性樹脂，可以采用已知的 熱塑性樹脂。具體地，例如，可以采用聚乙烯、聚苯乙烯、聚氯乙 歸或聚酰亞胺。例如，當采用由光敏樹脂制成的樹脂層時，在具有 流動性的狀態(tài)下形成樹脂層之后，如果使光選擇性地照射第二部 分，則可以固化第二部分。此外，當采用由熱固性樹脂制成的樹脂 層時，在具有流動性的狀態(tài)下形成樹脂層之后，如果通過照射光來 選才奪性地加熱第二部分，則可以固化第二部分。當采用由熱塑性樹 脂制成的樹脂層時，在不具有流動性的狀態(tài)下形成樹脂層之后，如 果通過照射光選擇性地加熱第 一部分，則熔化第 一部分以具有流動 性。除上述材料以外，例如，其粘度可^皮控制的材料可以是壓敏樹 脂層(例如，丙烯酸樹脂層)、金屬(單質(zhì)金屬或合金)或玻璃?；旧希惭b在第一部分中的物體基本上可以是任意一種物 體。無論物體具有什么形狀、尺寸、材料、功能或用途，并且無論 物體是生物還是非生物，物體典型地是具有任意功能或用途的元 件。例如，該元件是發(fā)光元件(發(fā)光二極管、半導(dǎo)體激光器、電致
發(fā)光(EL)元件等)、光接收元件(光電二級管、CCD傳感器、 MOS傳感器等)或電子元件(IC芯片等)。除半導(dǎo)體元件(發(fā)光元 件、光接收元件、電子轉(zhuǎn)移元件等)之外，元件還包括諸如壓電元 件、熱電元件、光學(xué)元件(采用非線性光學(xué)晶體的二次諧波生成元 件)、電介質(zhì)元件(包括鐵電元件)和超導(dǎo)元件的各種元件。安裝 在第 一部分中的物體可以是微d、部件或者是將在例如各種微機電 系統(tǒng)(MEMS)(例如光學(xué)編碼器)中所采用的元件。物體或元件 的尺寸(芯片尺寸)不限于任意特定的尺寸。物體或元件通常是比 較小的，或者更具體地具有例如小于等于lmm、例如小于等于300 ^im或例如小于等于100 1^m的尺寸。然而，尺寸不〗又限于這些值。
安裝在基板上的物體的數(shù)量可以是單個或多個?；诨宓挠?途或其功能來確定物體的數(shù)量、種類、配置及間隔。
當在基板上安裝多個物體時，在與物體配置相對應(yīng)的配置中， 在物體保持層中形成第一部分。在這種情況下，優(yōu)選地，第一部分 之間的距離比物體保持層的厚度大0.1倍以上。物體的配置，即， 第一部分的配置可以是規(guī)則的或不規(guī)則的。例如，可以將多個第一 部分組成一組，并且可以循環(huán)重復(fù)這種《且。在這種情況下，不同物 體或元件可以安裝在每組的多個第一部分中，或者相同的物體或元 件可以安裝在其中。具體地，例如，當通過在基板上安裝多個發(fā)紅 光的發(fā)光二級管、多個發(fā)綠光的發(fā)光二級管和多個發(fā)藍光的發(fā)光二 級管來制造顯示器等時，例如，將三個第一部分分為一組，并循環(huán) 重復(fù)這種組。在這種情況下，在每組的三個第一部分中安裝發(fā)紅光 的發(fā)光二級管、發(fā)綠光的發(fā)光二級管和發(fā)藍光的發(fā)光二級管。
13此外，在將#:安裝在基板上的所有物體分別#皮安裝在第一部分 中之后，物體可以整體地自動對準。在將^皮安裝在基斧反上的所有物 體一皮全部安裝在第一部分中時，物體可以整體地自發(fā)乂t準。在分開 并多次重復(fù)安裝(逐步安裝或逐步轉(zhuǎn)移)將被安裝在基板上的所有 物體時，物體可以整體地自發(fā)對準。在將^皮安裝在基板上的多種物
體,皮安裝在第一部分中時，物體可以整體地自發(fā)對準。
如果需要，則在物體被安裝在第一部分中并將第一部分的粘度 控制為使物體不可移動的粘度之后，可以實現(xiàn)將第 一部分中至少包 括物體的區(qū)域的粘度控制為使物體可移動的粘度的步驟。在這種情 況下，例如，如果發(fā)現(xiàn)由于某種原因而使完成其安裝的物體的位置 偏離預(yù)定安裝位置，則可以對位置進行微調(diào)，使得物體可以高精度 地定位于預(yù)定安裝位置。在這種情況下，選擇粘度被控制為使物體 可移動的粘度的第 一部分中的區(qū)域，將生成使物體移動至預(yù)定安裝 位置的力。
此外，如果需要，則在執(zhí)行物體被安裝在由其粘度可被控制的 材料制成的物體保持層的第 一部分中并將第 一部分的粘度控制為
使物體不可移動的粘度的步驟之后，可以重復(fù)l丸行以下步驟在上
述物體保持層上再次形成由其粘度可被控制的材料制成的物體保
持層；物體被安裝在物體保持層的第一部分中；以及將第一部分的 粘度控制為〗吏物體不可移動的粘度。因此，可以立體地安裝物體。
安裝結(jié)構(gòu)體基本上可以具有任意用途和功能，并且例如為發(fā)光 二級管顯示器、發(fā)光二級管背光、發(fā)光二級管照明裝置、EL顯示 器或電子設(shè)備。
第三發(fā)明是電子設(shè)備的制造方法，其特征在于，該制造方法包
括
14在基板上形成由其粘度可被控制的材料制成的元件保持層的
步驟；
將元件保持層中包括用于元件的安裝區(qū)域的第一部分的粘度 控制為使元件可移動的粘度、并將元件保持層中第一部分外側(cè)的第 二部分的粘度控制為〗吏元件不可移動的粘度的步驟；
在第一部分中安裝至少一個元件的步驟；以及
在將元件安裝在第 一部分中之后，將第 一部分的粘度控制為使 元件不可移動的粘度的步驟。
第四發(fā)明為電子設(shè)備，其特征在于，通過至少執(zhí)行以下步驟來 制造電子設(shè)備
在基板上形成由其粘度可被控制的材料制成的元件保持層的 步驟；
將元件保持層中包括用于元件的安裝區(qū)域的第 一 部分的粘度 控制為使元件可移動的粘度、并將元件保持層中第 一部分外側(cè)的第 二部分的粘度控制為〗吏元件不可移動的粘度的步驟；
在第一部分中安裝至少一個元件的步驟；以及
在將元件安裝在第一部分中之后，將第一部分的粘度控制為使 物體不可移動的粘度的步驟。
電子設(shè)備基本上可以是任意的電子設(shè)備，并且可以是便攜式的 或固定的。具體實例為便攜式移動電話、移動i殳備、機器人、個人 計算機、車載設(shè)備和各種家用電器在第三和第四發(fā)明中，除上述內(nèi)容以外，只要性質(zhì)不矛盾，就 可以用元件保持層、用于元件的安裝區(qū)域和元件來分別代替物體保 持層、用于物體的安裝區(qū)域和物體。建立與第一發(fā)明和第二發(fā)明相
對應(yīng)的描述。
第五發(fā)明是發(fā)光二級管顯示器的制造方法，該發(fā)光二級管顯示 器具有安裝在基板上的多個發(fā)紅光的發(fā)光二級管、多個發(fā)綠光的發(fā) 光二級管和多個發(fā)藍光的發(fā)光二級管，其特征在于，該制造方法包
括
在基板上形成由其粘度可被控制的材料制成的元件保持層的
步驟；
將元件保持層中包括用于發(fā)光二極管的安裝區(qū)域的第一部分 的粘度控制為使發(fā)光二極管可移動的粘度、并將元件保持層中第一 部分外側(cè)的第二部分的粘度控制為使發(fā)光二極管不可移動的粘度 的步-驟；
在第一部分中安裝至少一個發(fā)光二極管的步驟；以及
在將發(fā)光二極管安裝在第一部分中之后，將第一部分的粘度控 制為使發(fā)光二極管不可移動的粘度的步驟。
第六發(fā)明是發(fā)光二級管顯示器，該發(fā)光二級管顯示器具有安裝 在基板上的多個發(fā)紅光的發(fā)光二級管、多個發(fā)綠光的發(fā)光二級管和 多個發(fā)藍光的發(fā)光二級管，其特征在于，通過至少執(zhí)行以下步驟來 制造發(fā)光二極管顯示器
在基板上形成由其粘度可被控制的材料制成的元件保持層的 步驟；
16將元件保持層中包括用于發(fā)光二極管的安裝區(qū)域的第 一部分的粘度控制為使發(fā)光二極管可移動的粘度、并將元件保持層中第一部分外側(cè)的第二部分的粘度控制為使發(fā)光二極管不可移動的粘度
的步-驟；
在第一部分中安裝至少一個發(fā)光二才及管的步驟；以及
在將發(fā)光二極管安裝在第 一部分中之后，將第 一部分的粘度控制為使發(fā)光二極管不可移動的粘度的步驟。
在第五發(fā)明和第六發(fā)明中，作為發(fā)紅光的發(fā)光二級管、發(fā)綠光的發(fā)光二級管和發(fā)藍光的發(fā)光二級管，可以采用例如應(yīng)用III-V族氮化物化合物半導(dǎo)體的二極管。作為發(fā)紅光的發(fā)光二級管，可以采用例如應(yīng)用AlGalnP半導(dǎo)體的二級管。
在第五發(fā)明和第六發(fā)明中，除上述內(nèi)容之外，只要性質(zhì)不矛盾，就可以用元件保持層、用于發(fā)光二級管的安裝區(qū)域和發(fā)光二級管分別代替物體保持層、用于物體的安裝區(qū)域和物體。建立與第一發(fā)明和第二發(fā)明相對應(yīng)的描述。
在具有上述構(gòu)成的本發(fā)明中，當物體被安裝在第一部分中時，如果物體的重心在基板表面內(nèi)部偏離第 一部分的重心，則與基板表面平行的第一部分的表面張力分量的合力作用于物體。該合力用作驅(qū)動力，使得物體朝向第一部分的重心移動。隨著物體的重心接近第一部分的重心，該合力逐漸減小，并且當物體的重心與第一部分的重心一致時，其變成零。因此， 一旦物體4皮安裝在第一部分中，物體可以高精度地自動定位于第一部分的重心。即，物體可以自發(fā)地與第一部分對準。
17

圖1是用于說明根據(jù)本發(fā)明的安裝方法的截面圖2是用于說明根據(jù)本發(fā)明的安裝方法的截面圖3是用于說明根據(jù)本發(fā)明的安裝方法的截面圖4是用于說明根據(jù)本發(fā)明第一實施例的安裝方法的截面圖5包括用于說明根據(jù)本發(fā)明第一實施例的安裝方法的截面圖和平面圖6包括用于^i明才艮據(jù)本發(fā)明第一實施例的安裝方法的截面圖和平面圖7包括用于il明才艮據(jù)本發(fā)明第一實施例的安裝方法的截面圖和平面圖8包括示出微發(fā)光二級管根據(jù)本發(fā)明第一實施例的安裝方法被安裝在光敏樹脂層中的狀態(tài)以及自發(fā)對準微發(fā)光二級管的狀態(tài)的附圖^齊4戈照片；
圖9包括示出在本發(fā)明的第二實施例中《鼓發(fā)光二極管通過逐步轉(zhuǎn)移(stepped transfer )被安裝在光敏樹脂層中的狀態(tài)以及自發(fā)對準樣i發(fā)光二極管的狀態(tài)的平面圖10是示出根據(jù)本發(fā)明第三實施例的微發(fā)光二級管的截面圖11包括用于說明根據(jù)本發(fā)明第四實施例的用于元件的安裝方法的截面18圖12包括用于說明才艮據(jù)本發(fā)明第四實施例的用于元件的安裝方法的截面圖；以及
圖13是用于說明才艮據(jù)本發(fā)明第四實施例的用于元件的安裝方法的截面圖。
具體實施例方式
下面將參照附圖描述本發(fā)明的實施例。在實施例的所有附圖中，相同或?qū)?yīng)的部件分配相同的參照^:字。
首先，將描述根據(jù)本發(fā)明第一實施例的用于元件的安裝方法。
圖4~圖7示出了4艮據(jù)第一實施例的用于元件的安裝方法。
在第一實施例中，如圖4所示，在基板11上首先形成由其粘度可被控制的材料所制成的元件保持層12?？梢証4居任意方法來形成物體保持層12。具體地，例如，可以通過例如涂覆(旋涂等)或印刷(接觸印刷法、壓印法、絲網(wǎng)印刷、凹印、膠印等)形成元件保持層。例如，元件保持層12由光4文樹脂或熱固化樹脂制成。然而，本實施例不僅限于樹脂。在剛剛形成元件保持層12之后，元件保持層12處于未固化狀態(tài)，但是具有當元件被嵌入并安裝在元件保持層12中時足夠低而使元件移動的粘度，并且還具有流動性。
此后，如圖5(A)所示，將元件保持層12中包括用于元件的安裝區(qū)域的第一部分12a的粘度控制為可使將被安裝的元件自然移動的粘度，并選擇性地固化元件保持層12中第一部分12a外側(cè)的第二部分12b的粘度，由此將其控制為不能使元件自然移動的粘度。例如，當元件保持層12由光敏樹脂制成時，可以通過在根據(jù)所采用光敏樹脂的曝光條件下將諸如紫外線的光或電子束選擇性地照射第二部分12b，并由此曝光第二部分12b來實現(xiàn)固化。當元件保持層12由熱固性樹脂制成時，可以通過在根據(jù)所采用熱固性樹脂的曝光條件下將諸如紫外線的光或電子束選擇性地照射第二部分12b，并由此將第二部分12b加熱至等于或高于固化溫度的溫度來實現(xiàn)固化。圖5 (B)是示出該狀態(tài)的平面圖。如圖5 (B)所示，第一部分12a的平面形狀為圓形。在圖5中，-f又示出了一個第一部分12a。當安裝多個元件時，形成多個第一部分12a。
此后，如圖6 (A)所示，具有圓柱形狀的元件13^皮嵌入并安裝在元件保持層12的第一部分12a中。圖6 (B)是示出該狀態(tài)的平面圖。元件13應(yīng)該^又#1安裝在第一部分12a的范圍內(nèi)。即4吏此時的安裝精度較低，也不會存在問題。這里，W"殳元件13的重心d與第一部分12a的重心Co偏離了 △。當元件13凈皮安裝在第一部分12a中時，在反映元件13的重心d偏離第一部分12a的重心C0的事實的同時，與基纟反表面平4于的第一部分12a的表面張力分量顯示出相對于元件13的重心d的不對稱分布。結(jié)果，與基板表面平行的表面張力的分量的合力F作用于元件13，使得元件13朝向第一部分12a的重心Co慢慢移動。隨著元件13的重心Q接近第一部分12a的重心Co，合力F逐漸減少。在元件13的重心d與第一部分12a的重心C。一致的時刻，合力F變成零，并且元件13的移動停止。在過去一定時間之后，如圖7所示，元件13的重心d與第一部分12a的重心Co—致。即，元件13自動地與第一部分12a的重心C。對準。通過第一部分12a的粘度、與基板表面平行的第一部分12a的表面張力分量的合力的大小、安裝時元件13的重心d與第一部分12a的重心C。偏離的大小A、元件13的質(zhì)量和第一部分12a的溫度來確定直到元4牛13的重心d與第一部分12a的重心C0一致所需要的時間。為了縮短該時間，優(yōu)選地，在通過以適當?shù)臏囟燃訜峄?1來4呆持固化第二部分12b的狀態(tài)的同時，降4氐第一部分12a的粘度，使得元件13可以移動得更多。
20如上所述，在元ff 13定4立于第一部分12a的重心Cq的狀態(tài)下，固化第一部分12a。例如，當元件保持層12由光壽文樹脂制成時，可以通過卩夸光照射于第一部分12a以曝光第一部分12a來實J見固4匕。當元件保持層12由熱固性樹脂制成時，可以通過將光照射于第一部分12a/人而以等于或高于固化溫度的溫度加熱第一部分12a來實現(xiàn)固化。結(jié)果，元件13穩(wěn)固鎖定在固化第一部分12a的重心C0，從而完成安裝。
如上所述，才艮據(jù)第一實施例，元件13可以自動且容易地以高位置精度自發(fā)地與第一部分12a的重心Co對準。例如，即^f吏要求所完成元件13表現(xiàn)的位置精度為土 1.5 |um，但元件13的安裝位置的初始精度也可以與土7(am—樣^f氐。因此，當在相同的基才反上形成多個元件13時，由安裝裝置所提供的形成位置的精度或安裝位置的精度都可以很低。由于處理成本的降低，所以可以實現(xiàn)元件13制造成本的降低和安裝裝置成本的降低。此外，當在基板11上安裝多個元件13時，如果在處于未固化狀態(tài)或者例如為未固化^f脂的元件保持層12中嵌入并安裝元件13,則由于元件13具有相互聚集的性質(zhì)，所以擔心元件13的位置精度會比通過安裝裝置的安裝位置的精度更差。在第一實施例中，由于一個元件13被嵌入并安裝在元件保持層12中處于未固化狀態(tài)的第一部分12a中，所以基本上可以防止元件13的聚集。
(實例)
采用玻璃基板作為基板11,并如下所述在玻璃基板上安裝具有圓柱形的、直徑為20 nm且高度為12 )um的微發(fā)光二級管作為元件13。
首先，使用薄膜金屬等在玻璃基板上的預(yù)定位置預(yù)先形成對準標記。此后，通過執(zhí)行旋涂在玻璃基板上涂覆并形成3,5 pm厚度的光敏樹脂層作為元件保持層12。
此后，諸如接觸對準器或步進器(縮小的投影曝光裝置)的曝光裝置用于將每個對準標記作為基準以150 pm x 150 )iim的間距向玻璃基4反上除30 )^m直徑的區(qū)域(第一部分12a )之外的光每丈樹脂層的區(qū)域照射紫外線。因此，光敏樹脂層被曝光。此時，相對于對準標i己的^f立置4青度為士 1 jum。因此，30 )nm直徑的圓形第一部分12a外側(cè)的第二部分12b一皮固化(暫時固化)。
另一方面，如下所述形成微發(fā)光二級管。首先，在通過使用已知技術(shù)在藍寶石基板上順序生長構(gòu)成發(fā)光二級管結(jié)構(gòu)的n型GaN層、活性層和p型GaN層之后，以截錐形對這些層進行圖樣化，并順序形成p側(cè)電極、端面保護層等以形成微發(fā)光二級管陣列。此后，根據(jù)包括將藍寶石基板的p側(cè)電極側(cè)通過其與另 一基板之間的暫時粘合層而固定至另 一基板的步驟以及從藍寶石基板的背側(cè)選擇性地照射例如由受激準分子激光器發(fā)射的激光束的步驟的已知激光選擇轉(zhuǎn)印方法，以150 |um x 150 |Lim的間距在具有形成于其上的弱粘性硅橡膠的中繼基板上安裝微發(fā)光二級管陣列(例如，參考JP畫A畫2002-311858 、 JP-A-2002-314052 、 JP畫A-2004畫273596 和JP-A-2004-281630)。樣t發(fā)光二級管具有直徑為20 |am且高度為12l^rii的圓柱形狀。所安裝微發(fā)光二級管的相對位置的精度為土 2 )Lim。
此后，通過將形成在玻璃基板上的每個對準標記作為基準，每個微發(fā)光二級管均從中繼基板被嵌入并安裝在玻璃基板上光敏樹脂層的直徑為30 pm的圓形第一部分12a中。這時，相對于對準標記的安裝位置精度為土7jam。在這種狀態(tài)下，第一部分12a的粘度^f氐到約1 Pa's ~約10000 Pa's的范圍內(nèi)，并且第一部分12a具有充分的流動性。圖8 (A)示出了這種狀態(tài)的光學(xué)顯孩支照片。在圖8(A)中，標注為"(j)30^im的未固化區(qū)域"的圓形部分表示第一部
22分12a,并且標注為"LED (|) 20 iam"的圓表示樣吏發(fā)光二級管。如圖 8 (A)所示，微發(fā)光二級管的重心顯著偏離第一部分12a的重心。
此后，具有安裝在第一部分12a中的纟敬發(fā)光二級管的玻璃基板 被加熱至80。C。由于加熱的原因，在保持固化第二部分12b的狀態(tài) 的同時，第一部分12a的粘度大大降^f氐到0.001 Pa's ~ 10 Pa's的范 圍并且其流動性大大增加。這時，安裝在每個第一部分12a中的樹: 發(fā)光二一及管朝向第一部分12a的重心移動。在/人加熱至8(TC開始過 去三分鐘之后，樣i發(fā)光二才及管的重心幾乎與第一部分12a的重心一 致。因此，可以實現(xiàn)自發(fā)對準以將士 7 pm的位置精度改善為士 1.5 ldm。圖8 (B)示出了這種狀態(tài)的光學(xué)顯微照片。
此后，使用紫外線對光^:樹脂層進^f亍完全曝光，并完全固化第 一部分12a和第二部分12b。因此，樣i發(fā)光二極管被穩(wěn)固地鎖定在 第一部分12a中。
接下來，將描述本發(fā)明的第二實施例。
在第二實施例中，將描述使用第一實施例的安裝方法通過將發(fā) 紅光的微發(fā)光二級管、發(fā)綠光的微發(fā)光二級管和發(fā)藍光的微發(fā)光二 級管安裝在基板11上來制造^f鼓發(fā)光二^l管顯示器的方法。
首先，使用薄膜金屬等在諸如玻璃基板的透明基板11上的預(yù)定 4立置預(yù)先形成對準標i己。
此后，通過執(zhí)行旋涂等在基板11上形成光敏樹脂層作為由其粘 度可被控制的材料制成的元件保持層12。例如，光敏樹脂層的厚度 為3.5 |am。
23此后，諸如接觸對準器或步進器的曝光裝置用于將每個對準標
記作為基準以150 )Lim x 150 |um間距向除35 |um直徑的區(qū)域(第一 部分12a)之外的區(qū)域照射紫外線以曝光光每文樹脂層。此時，相對 于對準標記的位置精度為士 1 pm。
此后，為了以150 !im x 150 pm的間3巨在具有形成于其上的弱 粘性硅橡膠的中繼基板上安裝具有圓柱形的直徑為20 nm且高度為 12 pm的樣t發(fā)光二極管，執(zhí)行激光選擇轉(zhuǎn)印等。這時，孩i發(fā)光二級 管的相對位置精度為士2ium。因此，在一個中繼基板上安裝每種顏 色為160x120=19200個的微發(fā)光二極管。制造其上安裝有紅色、綠 色和藍色中的每一種顏色的微發(fā)光二極管的16個中繼基板來為每 種顏色做準備。
此后，通過將基板11上的每個對準標記作為基準，孩史發(fā)光二極 管從中繼基板被嵌入并安裝在玻璃基板上光敏樹脂層的直徑為35 )am的圓形第一部分12a中。這時，相對于對準標記的安裝位置賴-度為±7 pm。在這種狀態(tài)下，第一部分12a的粘度低到在約1 Pa's ~ 約10000 Pa-s的范圍內(nèi)，并且第一部分12a具有充分的;危動4生。 <吏 用4x4中繼基板通過偏移光敏樹脂層上的位置來重復(fù)執(zhí)行轉(zhuǎn)移(逐 步轉(zhuǎn)移)，并對紅色、綠色和藍色的三種顏色的孩i發(fā)光二極管進一 步重復(fù)執(zhí)行該轉(zhuǎn)移。圖9 (A)示出了這種狀態(tài)下的部分基板11。 在圖9(A)中，參考標號30表示發(fā)紅光的微發(fā)光二極管，參考標 號40表示發(fā)綠光的微發(fā)光二極管，參考標號50表示發(fā)藍光的微發(fā) 光二極管。
此后，具有安裝在上述第一部分12a中的孩t發(fā)光二級管的玻璃 基板一皮加熱至80。C。由于加熱的原因，在4呆持固化第二部分12b的 一犬態(tài)的同時，第一部分12a的粘度大大降4氐到0.001 Pa's 10 Pa-s 的范圍內(nèi)并且其流動性大大增加。這時，安裝在第一部分12a中的 每個孩吏發(fā)光二才及管均朝向第一部分12a的重心移動。在/人加熱至80。C開始過去三分鐘之后，樣i發(fā)光二極管的重心幾乎與第一部分12a 的重心一致。因此，實現(xiàn)了自發(fā)對準以將土7ium的位置精度改善為 土1.5)iim。此外，在這個時刻逐步轉(zhuǎn)移邊界消失。圖9(B)示出了 這種狀態(tài)。
此后，為了完全固化第一部分12a和第二部分12b， -使用紫外 線對光敏樹脂層進行完全曝光。因此，微發(fā)光二極管被穩(wěn)固地鎖定 在第一部分12a中。
此后，對每個纟鼓發(fā)光二纟及管進行配線并由此連4妄至驅(qū)動IC。
如上所述，可以制造具有像素間距為150(am、微發(fā)光二級管的 位置精度為土 1.5 pm、 4象素凌史量為640xRGBx480且對角線為4.7英
寸的無源型微發(fā)光二級管顯示器。
才艮據(jù)第二實施例，與第一實施例類似，發(fā)紅光的孩l發(fā)光二級管 30、發(fā)綠光的微發(fā)光二級管40和發(fā)藍光的微發(fā)光二級管50可以以 高位置精度而容易地排列在基板11上。因此，可以改善顯示畫面 的均勻性。此外，當通過逐步轉(zhuǎn)移制造尺寸大于諸如其上形成微發(fā) 光二級管30、 40和50的藍寶石基板的生長基板的尺寸的微發(fā)光二 才及管顯示器時，逐步轉(zhuǎn)移邊界可以消失。這有助于改善顯示畫面的 均勻性。例如，即使當在完成顯示器時要求微發(fā)光二極管30、 40 和50的位置精度為土 1.5 jum時，孩丈發(fā)光二極管30、 40和50的安裝 位置的原始精度也可以低到士7 iam。因此，當在相同的基板上形成 多個微發(fā)光二極管30、 40和50時，形成位置精度或由安裝裝置提 供的安裝位置精度可以4交低。因此，由于處理成本的降低，可以實 現(xiàn)微發(fā)光二極管30、 40和50的制造成本或安裝裝置成本的降低。 最終，可以實現(xiàn)樣丈發(fā)光二極管顯示器制造成本的降低。
25接下來，將描述本發(fā)明的第三實施例。在第三實施例中，描述 優(yōu)選用在根據(jù)第二實施例的微發(fā)光二極管顯示器中的微發(fā)光二極管。
圖IO示出了微發(fā)光二極管。
如圖10所示，在微發(fā)光二極管中，通過n型半導(dǎo)體層61、 n 型半導(dǎo)體層上的活性層62以及活性層上的p型半導(dǎo)體層63來形成 發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)。例如，n型半導(dǎo)體層61、活性層62和p型半導(dǎo) 體層63總體上具有圓形平面形狀。端面(側(cè)面)64相對于n型半 導(dǎo)體層61的底面傾^l"角度e。沿n型半導(dǎo)體層61、活性層62和p 型半導(dǎo)體層63的直徑方向的截面形狀為梯形(e < 90°)、矩形(e =90°)或倒梯形(0>90。)。例如，在p型半導(dǎo)體層63上形成圓形 p側(cè)電極65。例如，在n型半導(dǎo)體層61的底面的一部分上形成圓 形n側(cè)電極66。在n型半導(dǎo)體層61的底面上環(huán)繞n側(cè)電極66形成 透明絕緣層67。從n側(cè)電極66和透明絕緣層67開始一直到端面 64的高度中間形成絕纟彖層68, 4吏其覆蓋端面64。在絕纟彖層68上一 直到高于p側(cè)電極65的位置形成絕緣層69。在p側(cè)電極65上的部 分絕纟彖層69中形成4妄觸通孔70。 4妄觸通孔70用于〗吏配線與p側(cè)電 極65接觸。
根據(jù)需要對應(yīng)地選擇n型半導(dǎo)體層61、活性層62和p型半導(dǎo) 體層63所采用的半導(dǎo)體。具體地，例如，將選才奪GaN系半導(dǎo)體或 者AlGalnP系半導(dǎo)體。
當樣t發(fā)光二極管例如為GaN系發(fā)光二才及管時，下文將描述尺寸 和材津牛的具體實例。n型半導(dǎo)體層61為n型GaN層，并且其厚度 侈'W口為2600nm。侈'W口， 5舌寸生層62的厚度為200 nm。 p型半導(dǎo)體層 63為p型GaN層，并且其厚度例如為200 nm。例如，活性層62 具有由InGaN阱層和GaN勢壘層組成的多量子阱(MQW )結(jié)構(gòu)。
26當GaN系發(fā)光二4及管發(fā)藍光時，InGaN阱層的In組分例如為0.17。 當GaN系發(fā)光二極管發(fā)綠光時，In組分例如為0.25。，殳設(shè)發(fā)光二 才及管結(jié)構(gòu)的最大直徑，即，n型GaN層61的底面直徑為a,例如a 表示20 |um。當用作n型半導(dǎo)體層61的n型GaN層61的厚度為 2600 nm且用作活性層62和p型半導(dǎo)體層63的p型GaN層的厚度 分別為200 nm時，發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)的總厚度達到2600 + 200 + 200 =3000 nm = 3 |dm。在這種情況下，々i設(shè)發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)的總厚度
(高度)為b，發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)的縱4黃比被表示為b/a=3/20=0.15。 例如，6為50。。例如，通過具有Ag/Pt/Au結(jié)構(gòu)的金屬多層膜形成 p ,l!電才及65。 Ag月莫的厚度例:i口為50 nm， Pt月莫的厚度伊W口為50 nm， 并且Au膜的厚度例如為2000 nm?？赏ㄟ^由Ag制成的單層膜形成 p側(cè)電極65。例如，通過具有Ti/Pt/Au結(jié)構(gòu)的金屬層疊膜形成n側(cè) 電極66。 Ti膜和Pt膜的每一個的厚度均為50nm,并且Au膜的厚 度例如為2000賺。
在孩i發(fā)光二才及管中，在才喿作期間乂人活性層62發(fā)出的光4皮端面 64反射并從n型半導(dǎo)體層61的底面提取到外部，或者直接送至n 型半導(dǎo)體61的底面并照原樣纟是耳又到外部。
根據(jù)第三實施例，可以提供下面所述的各種優(yōu)點。具體地，如 對第二實施例的描述，由于可以以高位置精度排列孩i發(fā)光二極管， 所以可以排除針對位置偏離要對微發(fā)光二極管執(zhí)行的各種對策步驟。
具體地，傳統(tǒng)上，不采用根據(jù)第二實施例的安裝方法，而是改 善由安裝裝置提供的精度以實現(xiàn)土5 的位置精度。在第二實施例 中，由于可以實現(xiàn)士 1.5 |am的位置精度，所以可以大大簡化孩i發(fā)光 二極管的構(gòu)成及其制造方法。具體地，當位置精度為土5nm時，為 了抑制由《鼓發(fā)光二極管的位置偏離而引起的光提取效率的變化，必 須將由ITO墨料等制成的透明電極用于發(fā)光面?zhèn)鹊膎側(cè)電極66的
27配線。在第三實施例中，由于位置精度可以設(shè)為土 1.5 |um,所以即 使當采用可以容易形成的金屬配線作為n側(cè)電才及66的配線時，也 可以將提取效率的變化限制在可允許的范圍之內(nèi)。具體地，由于由 ITO墨料等制成的透明電極不需要被用于n側(cè)電極66的配線，所以 可以容易形成n側(cè)電才及66的配線。
此外，傳統(tǒng)上，為了保護n型半導(dǎo)體層61、活性層62和p型 半導(dǎo)體層63的端面64，通過樹脂層覆蓋端面64。如果在露出^f對脂 層和端面64之間的界面的狀態(tài)下對p側(cè)電才及65和n側(cè)電極66進 行配線，則由于樹脂層和端面64之間較差的粘著，會發(fā)生短^各或 任意其他故障。因此，傳統(tǒng)上，例如，必須將樹脂層形成為覆蓋整
個端面64并進一步覆蓋p側(cè)電極65的足夠厚度，并且必須在樹脂 層中形成將被用于使配線與端面"f妄觸的接觸通孔或等〗介物，使得不 會露出樹脂層和端面64之間的界面。此時，當孩i發(fā)光二極管的位 置精度為土 5 )Lim時，由于會露出樹脂層和端面64之間的界面的擔 心，所以必須強加接觸通孔的位置精度應(yīng)當為± 2 )Am且接觸通孔的 直徑應(yīng)當?shù)扔诨蛐∮? idm的這種嚴格限制。相反，根據(jù)第三實施 例，例如，當微發(fā)光二極管的位置精度為土 1.5 iam時，例如，可以 實現(xiàn)4妄觸通孔的位置偏離為土 3 pm且4妄觸通孔的直徑等于或小于 11 |um的i殳計?？梢苑浅Ｈ菀?也實觀/沒計。
如上所述，當微發(fā)光二極管的位置精度為土5 pm時，難以形成 具有± 2 |um位置精度和6 pm以下的通孔直徑的接觸通孔。作為選 擇結(jié)構(gòu)，在p側(cè)電極65上必須要形成突起。相反，根據(jù)第三實施 例，由于微發(fā)光二極管的位置精度可以被設(shè)置為例如士 1.5 iam,所 以可以容易地形成^妻觸通孔。最終，可以排除突起形成步驟。
接下來，將描述根據(jù)本發(fā)明第四實施例的用于元件的安裝方法。圖11~圖13示出了#4居第四實施例的用于元件的安裝方法。
在第四實施例中，首先，與第一實施例類4以，如圖11 (A)所 示，元件13被安裝在由其粘度可被控制的材料所制成的元件保持 層12的第一部分12a中，并自發(fā)對準。此后，固化第一部分12a。
此后，如圖11 (B)所示，與第一實施例類似，形成第二元件 保持層12以全部覆蓋元件13和元件^呆持層12。
此后，如圖12 (A)所示，與第一實施例類似，將第二保持層 12的第一部分12a的粘度控制為使將被安裝的元件可自然移動的粘 度，并選4奪性地固化元件保持層12的第二部分12b以具有4吏元件 不可自然移動的粘度。在圖12 (A)中，第二保持層12的第一部 分12a的位置與第一元件保持層12的第一部分12a的〗立置一致。 然而，這些4立置可以不互相一至丈。
此后，如圖12 (B)所示，元件14被嵌入并安裝在第二元件併: 持層12的第一部分12a中。元件14可以是與元件13相同的類型 或者可以是與元件13不同的類型。在過去一定時間之后，如圖13 所示，元件14自發(fā)i也與第一部分12a對準。此后，固4匕第一部分 12a。
如上所述，可以在兩個步驟中排列元件13和元件14。
將上述處理重復(fù)執(zhí)行期望的次數(shù)，從而可以在多個步驟中排列 多個元件。
根據(jù)第四實施例，可以容易地獲得以高位置精度三維地安裝具 有多個元件的安裝結(jié)構(gòu)體。
29至此已經(jīng)具體描述了本發(fā)明的實施例。本發(fā)明不限于上述實施 例，而是可以基于本發(fā)明的4支術(shù)思想進行各種改變。
例如，在第一至第三實施例中提出的數(shù)值、材料、構(gòu)成、結(jié)構(gòu)、
形狀、基板、原料和處理僅僅是實例。如果需要，可以采用不同凝: 值、材料、構(gòu)成、結(jié)構(gòu)、形狀、基板、原料和處理。
#4居本發(fā)明，當在基板上安裝諸如元件的物體，或者更具體地 安裝微小物體時，可以以高位置精度容易且可靠地完成安裝。 <吏用 該安裝方法，可以容易地實現(xiàn)各種高性能電子設(shè)備和高性能發(fā)光二
權(quán)利要求
1. 一種安裝方法，其特征在于，所述安裝方法包括在基板上形成由其粘度可被控制的材料制成的物體保持層的步驟；將所述物體保持層中包括用于物體的安裝區(qū)域的第一部分的粘度控制為使所述物體可移動的粘度、并將所述物體保持層中所述第一部分外側(cè)的第二部分的粘度控制為使所述物體不可移動的粘度的步驟；在所述第一部分中安裝至少一個物體的步驟；以及在將所述物體安裝在所述第一部分中之后，將所述第一部分的粘度控制為使所述物體不可移動的粘度的步驟。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的安裝方法，其特征在于，所述安裝方法 進一步包括在將所述物體安裝在所述第一部分中之后，在將 所述第 一部分的粘度控制為使所述物體不可移動的粘度之前 降低所述第 一部分的粘度的步驟。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的安裝方法，其特征在于，所述第一部分 被所迷第二部分圍繞。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的安裝方法，其特征在于，在所述第一部 分中安裝一個物體。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的安裝方法，其特征在于，所述第一部分 的平面形;)犬和所述物體的平面形4犬;f皮此類似。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的安裝方法，其特征在于，所述第一部分 的平面形狀為旋轉(zhuǎn)對稱。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的安裝方法，其特征在于，所述第一部分 的平面形狀為圓形或等邊多邊形。
8. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的安裝方法，其特征在于，假設(shè)所述第一 部分的面積為Sl且所述物體的底面面積為S2，建立 1<S1/S2<100。
9. 才艮據(jù)權(quán)利要求4所述的安裝方法，其特^正在于，奪i設(shè)所述第一 部分的面積為S1，所述物體的底面面積為S2，所述物體的高 度為t2，以及在所述物體安裝在所述第一部分中之后所述物體 的底面高度與所述物體保持層的表面高度之間的差為d,建立 Sl.d<(Sl - S2).t2。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的安裝方法，其特征在于，所述物體保持 層為樹脂層。
11. 根據(jù)權(quán)利要求IO所述的安裝方法，其特征在于，所述樹脂層由光敏樹脂、熱固性樹脂或熱塑性樹脂制成。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的安裝方法，其特征在于，所述安裝方法 進一步包括在將所述第一部分的粘度控制為使所述物體不可 移動的粘度之后，將所述第 一部分的粘度控制為使所述物體可 移動的粘度的步艱《。
13. —種安裝結(jié)構(gòu)體，其特征在于，通過至少執(zhí)行以下步驟來制造 所述安裝結(jié)構(gòu)體在基板上形成由其粘度可被控制的材料制成的物體保持 層的步驟；將所述物體保持層中包括用于物體的安裝區(qū)域的第一部 分的粘度控制為使所述物體可移動的粘度、并將所述物體保持 層中所述第 一部分外側(cè)的第二部分的粘度控制為使所述物體 不可移動的粘度的步驟；在所述第一部分中安裝至少一個物體的步驟；以及在將所述物體安裝在所述第一部分中之后，將所述第一部 分的粘度控制為使所述物體不可移動的粘度的步驟。
14. 一種電子設(shè)備的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括在基板上形成由其粘度可被控制的材料制成的元件保持 層的步驟；將所述元件保持層中包括用于元件的安裝區(qū)域的第 一部 分的粘度控制為使所述元件可移動的粘度、并將所述元件保持 層中所述第 一部分外側(cè)的第二部分的粘度控制為使所述元件 不可移動的粘度的步驟；在所述第一部分中安裝至少一個元件的步驟；以及在將所述元件安裝在所述第一部分中之后，將所述第一部 分的粘度控制為使所述元件不可移動的粘度的步驟。
15. —種電子i殳備，其特征在于，所述電子i殳備通過4丸行至少以下 步驟來制造在基板上形成由其粘度可被控制的材料制成的元件保持 層的步驟；將所述元件保持層中包括用于元件的安裝區(qū)域的第 一部 分的粘度控制為使所述元件可移動的粘度、并將所述元件保持 層中所述第 一部分外側(cè)的第二部分的粘度控制為使所述元件不可移動的粘度的步驟；在所述第一部分中安裝至少一個元件的步驟；以及在將所述元件安裝在所述第 一部分中之后，將所述第 一部 分的粘度控制為使所述元件不可移動的粘度的步驟。
16. —種發(fā)光二極管顯示器的制造方法，所述發(fā)光二極管顯示器具有安裝在基板上的多個發(fā)紅光的發(fā)光二級管、多個發(fā)綠光的發(fā) 光二級管和多個發(fā)藍光的發(fā)光二級管，其特征在于，所述制造方法包4舌在基板上形成由其粘度可被控制的材料制成的元件保持 層的步驟；將所述元件保持層中包括用于發(fā)光二極管的安裝區(qū)域的 第 一部分的粘度控制為使所述發(fā)光二極管可移動的粘度、并將 所述元件保持層中所述第 一部分外側(cè)的第二部分的粘度控制 為使所述發(fā)光二極管不可移動的粘度的步驟；在所述第一部分中安裝至少一個發(fā)光二極管的步驟；以及在將所述發(fā)光二極管安裝在所述第一部分中之后，將所 述第 一部分的粘度控制為使所述發(fā)光二極管不可移動的粘度的步-驟。
17. —種發(fā)光二極管顯示器，具有安裝在基板上的多個發(fā)紅光的發(fā) 光二級管、多個發(fā)綠光的發(fā)光二級管和多個發(fā)藍光的發(fā)光二級 管，其特征在于，所述發(fā)光二極管顯示器通過執(zhí)行至少以下步 艱纟來制造在基板上形成由其粘度可被控制的材料制成的元件保持層的步驟；將所述元件保持層中包括用于發(fā)光二極管的安裝區(qū)域的 第 一部分的粘度控制為使所述發(fā)光二極管可移動的粘度、并將 所述元件保持層中所述第 一部分外側(cè)的第二部分的粘度控制 為使所述發(fā)光二極管不可移動的粘度的步驟；在所述第一部分中安裝至少一個發(fā)光二極管的步驟；以及在將所述發(fā)光二極管安裝在所述第一部分中之后，將所 述第 一部分的粘度控制為使所述發(fā)光二極管不可移動的粘度的步-驟。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種安裝方法，當在基板上安裝諸如元件的物體，或者更具體地安裝微小物體時，可以通過以下步驟以高位置精度容易且可靠地完成安裝在基板(11)上形成由其粘度可被控制的材料制成的元件保持層(12)；將元件保持層(12)中包括用于元件的安裝區(qū)域的第一部分(12a)的粘度控制為使元件可自然移動的粘度，并將元件保持層(12)中第一部分(12a)外側(cè)的第二部分(12b)的粘度控制為使元件不可自然移動的粘度；以及在將一個元件(13)安裝在第一部分(12a)中之后，將第一部分(12a)的粘度控制為使元件(13)不可自然移動的粘度。
文檔編號H01L21/52GK101490828SQ20078002631
公開日2009年7月22日 申請日期2007年6月25日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月12日
發(fā)明者友田勝寬, 土居正人, 金光俊明, 高岸敏哉 申請人:索尼株式會社