專利名稱：基板收納容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種收納半導(dǎo)體晶片或掩模玻璃并進(jìn)行加工、搬運(yùn)、輸送等
的基feL收納容器。
背景技術(shù)：
如圖14中部分地示出，收納薄的、圓形半導(dǎo)體晶片W等的以往的M 收納容器構(gòu)成為，具備容器本體，整列收納垂直地立起的多張半導(dǎo)體晶片 W;以及蓋體20，拆裝自如地嵌合在該容器本體的開口的上部二覆蓋保護(hù)多 張半導(dǎo)體晶片W的上部，在該蓋體20的頂板內(nèi)表面設(shè)置有保持各半導(dǎo)體晶 片W的保持件30A,該保持件30A有效地保持脆弱的半導(dǎo)體晶片W以免其污 染或損傷等(專參照利文獻(xiàn)l、 2、 3、 4)。
如圖14所示，保持件30A具備從蓋體20的內(nèi)表面向收納于容器本體中 的半導(dǎo)體晶片W的周緣部上端方向直線地水平伸長、沿多張半導(dǎo)體晶片W的 整列方向排列的可撓性的多個彈性保持片38，使半導(dǎo)體晶片W的周緣部接觸 保持在各彈性保持片38的頂端部的凹陷的保持槽39中，在基板收納容器的 搬運(yùn)時或輸送時防止半導(dǎo)體晶片W的晃蕩或滑動，這些38、 39具有抑制隨 著晃蕩或滑動而產(chǎn)生顆粒而有助于清潔化的功能。
這樣的保持件30A隨著蓋體20嵌合并被按壓在容器本體的開口的上部， 彈性保持片38與各半導(dǎo)體晶片W的周緣部上部接觸而逐漸地向上方撓曲， 并在使保持力作用在各半導(dǎo)體晶片W上的狀態(tài)下保持。此時，彈性保持片38 在與半導(dǎo)體晶片w的周緣部上端開始接觸時，保持槽39的頂端部39a部分 地接觸，隨著向上方撓曲保持槽39的整個區(qū)域39b接觸，接觸結(jié)束時保持 槽39的根部側(cè)的末端部39c接觸。
專利文獻(xiàn)1:日本特公平7-66939號公報
專利文獻(xiàn)2:日本特開2005-5396號/>報
專利文獻(xiàn)3:日本特開2000-281171號y〉報
專利文獻(xiàn)4:日本特開2003-258079號乂^報
以往的基板收納容器，在如上所述地彈性保持片38與上述半導(dǎo)體晶片 W的周緣部上端開始接觸時，彈性保持片38的保持槽39的頂端部39a接觸，隨著向上方撓曲保持槽39的整個區(qū)域39b接觸，接觸結(jié)束時保持槽39的根 部側(cè)的末端部39c接觸，因此，從保持槽39的頂端部39a至末端部39c的 整個區(qū)域39b在半導(dǎo)體晶片W的周緣部上相對地移動并接觸，大量地摩擦。 由此，具有在每次設(shè)置蓋體20時導(dǎo)致半導(dǎo)體晶片W的污染的問題。
并且，以往的基板收納容器中，在蓋體20的頂板上單配列有多個彈性 保持片38，各彈性保持片38、保持槽39的與半導(dǎo)體晶片W非接觸的背面?zhèn)?成角為大致直角，因此，保持件30A的彈性保持片38經(jīng)由保持槽39保持半 導(dǎo)體晶片W時，有時彈性保持片38向斜上方撓曲而與相鄰接的其他彈性保 持片38嵌合而干涉。
該干涉的結(jié)果為，存在在從容器本體取下蓋體20時，撓曲的彈性保持 片38在與相鄰接的彈性保持片38干涉的狀態(tài)下不回復(fù)到原來的位置、給半 導(dǎo)體晶片W的保持帶來障礙而招致半導(dǎo)體晶片W晃蕩、滑動、損傷、污染的 問題。該問題在半導(dǎo)體晶片W的收納張數(shù)少、保持半導(dǎo)體晶片W的彈性保持 片38和不保持半導(dǎo)體晶片W的彈性保持片38鄰接的情況下表現(xiàn)得顯著。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問題而提出，其目的在于提供一種使保持件相對于^tl 的接觸區(qū)域減少、能夠降4tt板的污染的Ul收納容器。并且，提供一種抑 制撓曲的彈性片與相鄰接的其他彈性片的干涉、能夠防止基板的晃蕩、滑動、 損傷、污染的基板收納容器。
在本發(fā)明中，為了解決上述問題，在能夠整列收納多張基板的容器本體 和其蓋體之間，夾有保持基板的保持件，其特征在于，
保持件包含可撓性的多個彈性片，從蓋體的內(nèi)側(cè)向收納于容器本體中 的基板方向延伸，沿多張基板的整列方向排列；以及保持槽片，形成在彈性 片上，接觸保持基板的周緣部，使這些彈性片和保持槽片隨著從蓋體的內(nèi)側(cè) 向著基板方向而逐漸彎曲而朝向基板的寬度方向外側(cè)，使對于基板周緣部的 保持槽片的接觸保持區(qū)域減少。
此外，能夠?qū)⑷萜鞅倔w形成為上部開口的大致箱形，在其內(nèi)部拆裝自如 地嵌入至少上部開口的盒，在該盒的兩側(cè)壁內(nèi)表面上分別并排地形成基板用 的整列支承槽。
并且，能夠具備與基&的周緣部大致相對置的一對彈性片，該一對彈性 片沿多張基板的整列方向配列，使各彈性片從蓋體的內(nèi)表面突出而在其頂端部形成保持槽片，使這些彈性片和保持槽片彎曲成大致半圓弧形而朝向基板 的寬度方向外側(cè)。
并且，保持件包含干涉避免面，該干涉避免面形成在彈性片和保持槽片 的至少任一方上，借助該干涉避免面，能夠避免相鄰接的多個彈性片及/或 保持槽片彼此的干涉。
并且，在彈性片的與相鄰接的其他彈性片相對置的兩對置面中，在一方 的對置面上形成凹部，在另一方的對置面上形成凸部，使這些凹部和凸部的 至少一部分傾斜而作為干涉避免面，能夠使用凹部和凸部將相鄰接的多個彈 性片位置對合。
并且，在保持槽片的與相鄰接的其他保持槽片相對置的兩對置面中，在 一方的對置面上形成凹部，在另一方的對置面上形成凸部，使這些凹部和凸 部的至少一部分傾斜而作為干涉避免面，能夠使用凹部和凸部將相鄰接的多 個保持槽片位置對合。
并且，可以使干涉避免面以110° ~175°的鈍角傾斜。
并且，可以使干涉避免面以135。
-160°的鈍角傾斜。
并且，優(yōu)選將容器本體形成為正面開口的大致箱形，在其兩側(cè)壁的內(nèi)表 面上，分別并排形成基fcl用的整列支承槽，
具備與基板的周緣部大致相對置的一對彈性片，將該一對彈性片沿多張 基板的整列方向排列并安裝在安裝板上，且將該安裝板設(shè)置在蓋體的內(nèi)表面 上，在各彈性片的頂端部形成保持槽片。
這里，在本發(fā)明的范圍中的基板中，包含至少單個多個的半導(dǎo)體晶片(口 徑150咖、200mm、 300mm、 450咖類型等)、液晶基板、玻璃基板、化合物晶 片、碳晶片、掩模玻璃等。容器本體可以是將多張基板直接整列收納的類型， 也可以是經(jīng)由盒間接地整列收納的類型。
蓋體和保持件可以一體構(gòu)成，也可以是拆裝自如的分體構(gòu)成?；宓闹?緣部和保持槽片的接觸點最好是點接觸或線接觸而為大致一定?；宓闹芫?部和保持槽片的接觸點即使從初始接觸點隨著將蓋體嵌合在容器本體上而 彈性片撓曲而變位，基板上的接觸點也基本不變化。這一方面，保持槽片側(cè) 的接觸點由于保持槽片的變位而移動至最終的接觸點，但該接觸點的移動范 圍最好是從初始接觸點在± 1. 5咖的范圍內(nèi)。
保持槽片可以具備凹陷的導(dǎo)向槽部，形成在彈性片的頂端部；以及最 深槽部，在該導(dǎo)向槽部上凹陷地形成，保持從導(dǎo)向槽部的斜面上導(dǎo)向來的基
6板的周緣部。并且，干涉避免面只要是能夠避免相鄰接的多個彈性片及/或
保持槽片彼此的干涉，可以是傾斜面、C面、R面、彎曲面。
根據(jù)本發(fā)明，將基板收納在基板收納容器中時，若借助蓋體覆蓋收納基 板的容器本體的開口部，使保持件的彈性片經(jīng)由保持槽片而與基板的周緣部
干涉，則保持件的彈性片向蓋體的內(nèi)側(cè)撓曲，能夠使保持力作用在基板上， 收納基板。
此時，彈性片和保持槽片彎曲，保持槽片的頂端部朝向1^L的寬度方向 外側(cè)，基板上的接觸點即使在彈性片撓曲之后，也僅在大致垂直位置移動而 幾乎不變化，保持槽片的接觸點止于在到保持槽片的曲率變小時的接觸點的 小區(qū)域中變位。這樣，基板上的接觸點幾乎不變化，因此能夠?qū)殡S著接觸 的基板的污染或損傷限制在極小的范圍中。
并且，保持槽片其頂端部向外歪曲而在大致中間部與基板切線狀地接 觸，但僅在初始接觸點、和在其附近的保持狀態(tài)的接觸點的狹小范圍中接觸， 因此不會在大范圍內(nèi)與基板接觸。由此，能夠減少伴l^板和保持槽片的接 觸的顆粒的產(chǎn)生。
并且，根據(jù)本發(fā)明，在撓曲的彈性片和相鄰接的彈性片要相互干涉時， 彈性片的干涉避免面不接觸而避免干涉，因此即^^復(fù)使用^L收納容器， 相鄰接的彈性片或保持槽片彼此也很少相互干涉。由此，即使從容器本體取 下蓋體，也能夠使撓曲的彈性片回復(fù)至原來的位置。
根據(jù)本發(fā)明，使保持件相對于基板的接觸區(qū)域減少，具有能夠減少基板 的污染的效果。
并且，若將容器本體形成為上部開口的大致箱形，在其內(nèi)部拆裝自如地 嵌入至少上部開口的盒，在該盒的兩側(cè)壁內(nèi)表面上分別并排地形成基板用的 整列支承槽，則即使例如容器本體污染，由于將基板收納在雙重構(gòu)造中，因 此也能夠確?；宓那鍧嵒?br> 并且，若具備與基板的周緣部大致相對置的一對彈性片，該一對彈性片 沿多張M的整列方向配列，使各彈性片從蓋體的內(nèi)表面突出而在其頂端部 形成保持槽片，使這些彈性片和保持槽片彎曲成大致半圓弧形而朝向基板的 寬度方向外側(cè)，則能夠使保持槽片與1^L的周緣部在以很小的面積接觸(點 接觸或線接觸等)，能夠使基板和保持槽片的接觸點的移動方向朝向彈性片 的整列方向以外的方向。由此，能夠避免保持槽片的接觸部分以外朝向相鄰 接的保持槽片方向移動而接觸，能夠抑制基板的滑動或污染。并且，根據(jù)本發(fā)明，借助干涉避免面，能夠避免相鄰接的多個彈性片及 或保持槽片彼此的干涉，因此具有能夠防止基板的晃蕩、滑動、損傷、污染 的效果。
并且，若使干涉避免面以110° ~175°的鈍角傾斜，則能夠防止撓曲 的彈性片與相鄰接的其他彈性片干涉，或良好地將位置偏離的基板修正位 置。


圖1是示意地示出本發(fā)明的基板收納容器的實施方式的分解立體說明圖。
圖2是示意地示出本發(fā)明的基fcl收納容器的實施方式的剖面說明圖。 圖3是示意地示出本發(fā)明的基板收納容器的實施方式中的蓋體的內(nèi)表
面和保持件的說明圖。
圖4是示意地示出本發(fā)明的基板收納容器的實施方式中的多個彈性片
和保持槽片的側(cè)面說明圖。
圖5是示意地示出本發(fā)明的基板收納容器的實施方式中的多個彈性片
和保持槽片的表面說明圖。
圖6是示意地示出本發(fā)明的^L收納容器的實施方式中的半導(dǎo)體晶片、
彈性片、及保持槽片的重要部分放大說明圖。
圖7是示意地示出本發(fā)明的基板收納容器的第2實施方式的說明圖。 圖8是示意地示出本發(fā)明的基&收納容器的第3實施方式的說明圖。 圖9是示意地示出本發(fā)明的基fel收納容器的第3實施方式中的保持件的
說明圖。
圖IO是示意地示出本發(fā)明的基板收納容器的第4實施方式的說明圖。 圖ll是示意地示出本發(fā)明的基仗收納容器的第5實施方式的整體立體 說明圖。
圖12是示意地示出本發(fā)明的基板收納容器的第5實施方式的剖面說明圖。
圖13是示意地示出本發(fā)明的基fcl收納容器的第5實施方式中的蓋體和 保持件的說明圖。
圖14是表示以往的基板收納容器的蓋體、半導(dǎo)體晶片、及保持件的關(guān) 系的重要部分放大說明圖。附圖標(biāo)記說明
1
2側(cè)壁 6齒
7整列支承槽 7A整列支承槽 10容器本體 10A容器本體 20蓋體 20A蓋體 30保持件 31彈性片 32凹部 33凸部 34保持槽片 35導(dǎo)向槽部 36最深槽部 37干涉避免面 40安裝板
W半導(dǎo)體晶片( )
具體實施例方式
下面，參照

本發(fā)明的適當(dāng)?shù)膶嵤┓绞?，如圖1至圖6所示，本 實施方式中的基板收納容器具備容器本體10，能夠?qū)⒍鄰埌雽?dǎo)體晶片W 經(jīng)由盒1整列收納；蓋體20，經(jīng)由密封墊圈拆裝自如地嵌合在該容器本體 IO的開口的上部，在密封狀態(tài)下覆蓋、保護(hù)多張半導(dǎo)體晶片W;以及保持件 30，夾在這些容器本體10和蓋體20之間，彈發(fā)地保持各半導(dǎo)體晶片W。
多張半導(dǎo)體晶片W以例如13張、25張、或26張的張數(shù)整列收納在盒1 中，以豎直立起的狀態(tài)沿盒1的前后方向(圖2的里方向)并排地配列為一 列。各半導(dǎo)體晶片W由例如薄的、圓形的、切片的口徑150咖的類型構(gòu)成， 在周緣部的一部分上選捧性地形成有定位用的定位面或切口 。
9盒l(wèi)、容器本體IO、蓋體20、保持件30使用例如聚丙烯、聚乙烯、聚 碳酸酯、環(huán)埽烴共聚物、聚丁烯對酞酸鹽樹脂等熱塑性樹脂構(gòu)成的成形材料 噴射成形。這些成形材料中，從辨認(rèn)把握半導(dǎo)體晶片W的觀點看，最好采用 半透明的聚丙烯或透明的聚碳酸酯。
如圖1或圖2所示，盒l(wèi)形成為半透明，并具備左右一對側(cè)壁2，隔 著半導(dǎo)體晶片W的直徑以上的間隔相對置；正面大致H字狀的正面板3，架 設(shè)并連結(jié)在該一對側(cè)壁2的前端部之間；背面板4，架設(shè)并連結(jié)在該一對側(cè) 壁2的后端部之間，在容器本體10內(nèi)從上方拆裝自如地嵌合而被收納。該 盒l(wèi)為了能夠使半導(dǎo)體晶片W突起而向上方滑動，上下部分別開口的大致方 筒狀，開口寬的上部成為半導(dǎo)體晶片W用的出入口 5。
各側(cè)壁2彎曲形成為隨著從上方朝向下方而逐漸向內(nèi)側(cè)彎曲的截面大 致〈字狀，在內(nèi)表面上，以既定間距在前后方向上并排設(shè)置有多個大致梳齒 狀的頂端細(xì)的齒6，該多個齒6之間的間隙劃分形成為半導(dǎo)體晶片W插入用 的整列支承槽7。
如圖1或圖2所示，容器本體IO形成為上部開口的半透明的上方開口 盒，在內(nèi)部兩側(cè)，相對設(shè)置有一對對置部11，對盒l(wèi)的兩側(cè)壁2的彎曲的下 部隔開間隙而相對對置，具有作為外裝用的外箱的功能。維持氣密性的環(huán)形 密封墊圏能夠嵌合在該容器本體10的開口的上部周緣。該密封墊圈使用例 如硅橡膠、氟橡膠或聚酯類、聚烯烴類、聚苯乙烯等各種熱塑性彈性材料等， 成形為彈性的平面大致框形。并且，在容器本體10的兩側(cè)壁的上部，分別 形成有凹陷的蓋體20用的卡止槽12。
如圖l至圖3所示，蓋體20形成為中空的半透明的截面大致帽形或截 面大致倒U形，在兩側(cè)部分別一體形成有卡止在容器本體10的卡止槽12中 的可撓性的卡止片21，具有覆蓋、保護(hù)盒1和多張半導(dǎo)體晶片W的大致上半 部分的功能。
保持件30如圖2至圖6所示，具有可撓性的多個彈性片31，從蓋體20 的頂板內(nèi)表面向容器本體10的半導(dǎo)體晶片W方向伸長、沿多張半導(dǎo)體晶片W 的整列方向排列；保持槽片34,形成在各彈性片31上，保持半導(dǎo)體晶片W 的周緣部上端；以及多個干涉避免面37,形成在各彈性片31和保持槽片34 上，在蓋體20的頂板內(nèi)表面的中央部附近一體成形。
如圖2、圖3、圖6所示，多個彈性片31具備呈大致八字形而對半導(dǎo)體 晶片W的周緣部上端隔開間隔地相對置的左右一對彈性片31,該一對彈性片
1031在多張半導(dǎo)體晶片W的整列方向上以既定的間距配列。各彈性片31形成 為例如細(xì)長的彈性線條，在蓋體20的頂板內(nèi)表面一體形成，其撓曲量大的 自由端部即頂端部的表面上一體形成保持槽片34，該一體化了的彈性片31 和保持槽片34逐漸彎曲為大致半圓弧形而保持槽片34的頂端部指向半導(dǎo)體 晶片W的徑方向外側(cè)。
彈性片31的與相鄰接的其他保持槽片34相對置的兩對置面中，在一方 的對置面的保持槽片34側(cè)形成有具有導(dǎo)向功能的凹部32，在另一方的對置 面的保持槽片34側(cè)形成有與凹部32接近的凸部33,這些相互不同的凹部 32和凸部33相對置，使相鄰接的多個彈性片31或保持槽片34位置對合， 具有使半導(dǎo)體晶片W的周緣部上端在保持槽片34上適當(dāng)?shù)厍逗媳３值墓δ堋?br> 如圖4或圖5所示，各保持槽片34具備導(dǎo)向槽部35，在彈性片31 的頂端部一體形成，截面大致U字形、大致V字形、或截面大致"字形；以 及最深槽部36,在該導(dǎo)向槽部25的中央凹陷地形成，嵌合保持從導(dǎo)向槽部 35的斜面上導(dǎo)向來的半導(dǎo)體晶片W的周緣部上端，截面大致半圓形，該保持 槽片具有使對于半導(dǎo)體晶片W的周緣部的接觸點總是大致一定的功能。
干涉避免面37通過將從各彈性片31至保持槽片34的凹部32和凸部 33的角部分別在厚度方向上傾斜地切去而傾斜形成，避免相鄰接的多個彈性 片31或保持槽片34彼此的干涉。該干涉避免面37以110° ~175° 、更好 的是135° ~160°的鈍角傾斜，除了凹部J2和凸部33的角部，也適宜形成 在其附近部。
干涉避免面37的傾斜角度在110° ~175°的范圍，是因為在不到110 °時，有可能無法防止撓曲的彈性片31與相鄰接的彈性片31嵌合干涉。相 反地，在超過175°時，不能可靠地使位置偏離的半導(dǎo)體晶片W進(jìn)行位置修 正。若干涉避免面37的傾斜角度在135° ~160°的適當(dāng)?shù)姆秶?，則即使 撓曲的彈性片31與相鄰接的彈性片31嵌合，也能夠使彈性片31滑動而防 止嵌合，能夠可靠地使位置偏離的半導(dǎo)體晶片W進(jìn)行位置修正。
在上述中，將半導(dǎo)體晶片W適當(dāng)?shù)厥占{在基板收納容器中時，將蓋體 20從上方嵌合按壓在收納半導(dǎo)體晶片W的容器本體10上，使保持件30的彈 性片31經(jīng)由保持槽片34而嵌合在各半導(dǎo)體晶片W的周緣部上端，則該保持 件30的彈性片31向蓋體20的頂板內(nèi)表面?zhèn)葥锨?，使保持力從上方作用?各半導(dǎo)體晶片W上，能夠定位并適當(dāng)?shù)厥占{。
借助各彈性片31及保持槽片34^ta在半導(dǎo)體晶片W上而撓曲時的反力得到作用在半導(dǎo)體晶片W上的保持力，此時半導(dǎo)體晶片W和保持槽片34的 接觸點也變化。下面，根據(jù)圖6說明該接觸點的變化的詳細(xì)情況。
此外，本來，半導(dǎo)體晶片W的位置不變化，蓋體20的保持件30的位置 向與半導(dǎo)體晶片W接近的方向變位，但在圖6中，考慮到說明的筒易化，示 出了將蓋體20的保持件30的位置固定，使得半導(dǎo)體晶片W開始與保持件30 接觸的狀態(tài)和接近并保持的狀態(tài)不重合。
首先，保持半導(dǎo)體晶片W時，各彈性片31和保持槽片34不單單是直線 形，而是以它們的頂端部和末端部從半導(dǎo)體晶片W的周緣部離開的方式彎曲 為大致半圓弧形，保持槽片34的頂端部指向半導(dǎo)體晶片W的半徑外方向(參 照圖6)，因此在初始接觸點中，能夠在半導(dǎo)體晶片W的周緣部上端使保持槽 片34的導(dǎo)向槽部35或最深槽部36點接觸、或短線接觸。
并且，即使在彈性片31撓曲并保持的狀態(tài)中，能夠使半導(dǎo)體晶片W和 保持槽片34的接觸點的移動方向僅在曲率半徑變小的上方向、換言之垂直 上方而不變。并且，對于保持槽片34的接觸點的移動，也能夠止于曲率變 小時的保持槽片34的切線狀的接觸點的小范圍中。
即，即使由于保持半導(dǎo)體晶片W而彈性片31壓縮而撓曲，半導(dǎo)體晶片 W的接觸點也不變，保持槽片34的接觸區(qū)域也能夠成為與半導(dǎo)體晶片W切線 狀地接觸的彎曲部的小范圍。具體地，從保持槽片34的頂端部到末端部， 接觸點不在保持槽片34的長度方向上連續(xù)地變化，而能夠限定在士1，5咖 的狹小范圍內(nèi)，該范圍是從初始接觸點、到彈性片31撓曲后的彎曲部的接 觸位置的變位。由此，能夠大幅度降低半導(dǎo)體晶片W和保持槽片34的摩擦。
由此，令半導(dǎo)體晶片W的周緣部和保持槽片34的接觸點為從初始接觸 點向蓋體20的內(nèi)側(cè)移動± 1. 5咖的小范圍，能夠使對于半導(dǎo)體晶片W的周緣 部的保持槽片34的接觸保持區(qū)域大幅度減少，因此，保持槽片34的整個區(qū) 域不在半導(dǎo)體晶片W的周緣部上相對移動接觸，不會摩擦而產(chǎn)生顆粒，能夠 期待有效地排除在每次設(shè)置蓋體20時導(dǎo)致半導(dǎo)體晶片W的污染的問題。
并且，收納半導(dǎo)體晶片W時，彈性片31和保持槽片34向彎曲半徑變小 的上方向撓曲，能夠避免保持槽片34的接觸部分以外向相鄰接的保持槽片 34方向移動而接觸，因此能夠?qū)崿F(xiàn)半導(dǎo)體晶片W的滑動、污染的防止。
并且，彈性片31或保持槽片34不僅向上方向，有時也向配列方向撓曲， 同時與相鄰接的彈性片31或保持槽片34嵌合，但彈性片31的傾斜的干涉 避免面37不接觸而避免嵌合，因此即使反復(fù)使用蓋體20,相鄰接的彈性片
1231或保持槽片34彼此也不干涉。由此，即使從容器本體IO取下蓋體20， 也能使撓曲的彈性片31可靠地回復(fù)到原來的位置，由此，能夠抑制防止給 半導(dǎo)體晶片W的適當(dāng)?shù)谋３謳碚系K、或伴隨半導(dǎo)體晶片W的晃蕩、旋轉(zhuǎn)的 滑動、損傷、污染等。
并且，各彈性片31的干涉避免面37不接觸而避免嵌合，因此無需確保 多個彈性片31之間的間距寬來避免嵌合，能夠以簡易的結(jié)構(gòu)容易地實現(xiàn)彈 性片31的低間距化。并且，在蓋體20的頂板內(nèi)表面上一體形成保持件30， 因此能夠大大期待部件數(shù)量的削減及清潔性的提高。
接著，圖7示出本發(fā)明的第2實施方式，在這種情況下，在彈性片31 的撓曲量大的頂端部的兩對置面上不是傾斜面，而通過形成不成角的C面， 形成多個干涉避免面37。其他部分與上述實施方式相同，因此省略說明。
即使在本實施方式中，也能夠期待與上述實施方式相同的作用效果，而 且，顯然能夠?qū)崿F(xiàn)干涉避免面37的形狀的多樣化。
接著，圖8示出本發(fā)明的第3實施方式，在這種情況下，包含彈性片 31的頂端部的全對置面不是傾斜面，而形成不成角的C面，從而形成多個干 涉避免面37。
干涉避免面37在彈性片31的全對置面以外，只要是在圖9中粗線所示 的彈性片31的區(qū)域，也能夠適當(dāng)?shù)匦纬?。其他部分與上述實施方式相同， 因此省略說明。
即使在本實施方式中，也能夠期待與上述實施方式相同的作用效果，而 且，顯然能夠?qū)崿F(xiàn)干涉避免面37的位置及形狀的多樣化。
接著，圖10示出本發(fā)明的笫4實施方式，因此，在這種情況下，在保 持槽片34的表面上不是傾斜面，而通過適當(dāng)?shù)匦纬蒖面或彎曲面，形成光 滑的多個干涉避免面37。其他部分與上述實施方式相同，因此省略說明。
即使在本實施方式中，也能夠期待與上述實施方式相同的作用效果，而 且，顯然能夠?qū)崿F(xiàn)干涉避免面37的位置及形狀的多樣化。
接著，圖11至圖13示出本發(fā)明的第5實施方式，在這種情況下，將基 板收納容器或容器本體IOA形成為正面開口的前方開口盒，在其兩側(cè)壁的內(nèi) 表面上下方向上，分別并排形成口徑300mm類型的半導(dǎo)體晶片W用的整列支 承槽7A，對置保持半導(dǎo)體晶片W的周緣部頂端的保持件30的左右一對彈性 片31在多個半導(dǎo)體晶片W的整列方向、換言之在上下方向上配列，并在安 裝板40內(nèi)一體形成，將該安裝板40拆裝自如地安裝在作為蓋體20A的內(nèi)表面即里面的中央部，使各彈性片31從蓋體20A的內(nèi)表面?zhèn)认蛉萜鞅倔w10A 的背面?zhèn)确较蛏陨詢A斜地突出，在其頂端部一體地膨出形成塊形的保持槽片 34。
蓋體20A與蓋體20不同，成形為橫長的矩形，內(nèi)置有在對于容器本體 10A的嵌合時上鎖的上鎖機(jī)構(gòu)。并且，安裝板40使用既定的成形材料形成為 縱長的框形，在內(nèi)部兩側(cè)，多個彈性片31在上下方向上并排地配列。其他 部分與上述實施方式相同，因此省略說明。
即使在本實施方式中，也能夠期待與上述實施方式相同的作用效果，而 且，顯然在上部開口型基長收納容器之外，前方開口型的基板收納容器中也 可以使用保持件30從而提高通用性。
此外，在上述實施方式中，使用上下部開口的盒l(wèi)，從下方將半導(dǎo)體晶 片W上突，有助于半導(dǎo)體晶片W的取出的自動化，但并不限定于此，也可以 使用僅上部開口的盒l(wèi)。并且，也可以將環(huán)形密封墊圈嵌合在蓋體20的周緣 部。并且，也可以經(jīng)由粘結(jié)帶將拆裝自如的蓋體20嵌合在容器本體10的開 口部上。
并且，在上述實施方式中，從彈性片31到保持槽片34配設(shè)了凹部32、 凸部33、干涉避免面37，但只要能夠期待與上i^目同的作用效果，也能夠 適當(dāng)?shù)刈兏疾?2、凸部33、干涉避免面37的位置等。例如，也可以在各 彈性片31的與相鄰接的彈性片31對置的兩對置面中，在一方的對置面上形 成凹部32，在另一方的對置面上形成凸部33,使這些相對置的凹部32和凸 部33的角部或其附近分別傾斜而作為干涉避免面37，使用凹部32和凸部 33，使相鄰接的多個彈性片31或半導(dǎo)體晶片W位置對合。
同樣地，也可以在各保持槽片34的與相鄰接的保持槽片34對置的兩對 置面中，在一方的對置面上形成凹部32，在另一方的對置面上形成凸部33, 使這些相對置的凹部32和凸部33的角部或其附近分別傾斜而作為干涉避免 面37,使用凹部32和凸部33，使相鄰接的多個保持槽片34或半導(dǎo)體晶片W 位置對合。并且，凹部32或凸部33的個數(shù)能夠根據(jù)需要適當(dāng)?shù)卦黾?。并且?干涉避免面37并不特別限定為傾斜面、C面、R面、彎曲面。并且，能夠使 安裝板40在蓋體2OA的里面中央部一體化。
權(quán)利要求
1. 一種基板收納容器，在能夠整列收納多張基板的容器本體和其蓋體之間，夾有保持基板的保持件，其特征在于，保持件包含可撓性的多個彈性片，從蓋體的內(nèi)側(cè)向收納于容器本體中的基板方向延伸、沿多張基板的整列方向排列；以及保持槽片，形成在彈性片上，接觸保持基板的周緣部，使這些彈性片和保持槽片隨著從蓋體的內(nèi)側(cè)向著基板方向而漸漸彎曲而朝向基板的寬度方向外側(cè)，使對于基板周緣部的保持槽片的接觸保持區(qū)域減少。
2. 如權(quán)利要求1所述的J41收納容器，其特征在于，將容器本體形成 為上部開口的大致箱形，在其內(nèi)部拆裝自如地嵌入至少上部開口的盒，在該 盒的兩側(cè)壁內(nèi)表面上分別并排地形成Ul用的整列支承槽。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的基敗收納容器，其特征在于，具備與J4！ 的周緣部大致相對置的一對彈性片，將該一對彈性片沿多張基板的整列方向 配列，使各彈性片從蓋體的內(nèi)表面突出，在其頂端部形成保持槽片，使這些
4. 如權(quán)利要求1或2或3所述的基板:^容器，其特:在于，保持件 包含形成在彈性片和保持槽片的至少任一方上的干涉避免面，借助該干涉避 免面，能夠避免相鄰接的多個彈性片及/或保持槽片彼此的干涉。
5. 如權(quán)利要求1至4的任一項所述的基板收納容器，其特征在于，在 彈性片的與相鄰接的其他彈性片相對置的兩對置面中，在一方的對置面上形 成凹部，在另一方的對置面上形成凸部，使這些凹部和凸部的至少一部分傾 斜而作為干涉避免面，使用凹部和凸部將相鄰接的多個彈性片位置對合。
6. 如權(quán)利要求1至4的任一項所述的基板收納容器，其特征在于，在保持槽片的與相鄰接的其他保持槽片相對置的兩對置面中，在一方的對置面 上形成凹部，在另一方的對置面上形成凸部，4吏這些凹部和凸部的至少一部 分傾斜而作為干涉避免面，使用凹部和凸部將相鄰接的多個保持槽片位置對 合。
7. 如權(quán)利要求4或5或6所述的基板收納容器，其特征在于，使干涉 避免面以110° ~175°的鈍角傾斜。
8. 如權(quán)利要求1所述的M收納容器，其特征在于，將容器本體形成 為正面開口的大致箱形，在其兩側(cè)壁的內(nèi)表面上，分別并排形成J41用的整 列支承槽，具備與M的周緣部大致相對置的一對彈性片，將該一對彈性片沿多張 基板的整列方向配列并安裝在安裝板上，且將該安裝板設(shè)置在蓋體的內(nèi)表面 上，在各彈性片的頂端部形成保持槽片。
全文摘要
提供一種能夠使對于基板的保持件的接觸區(qū)域減少、將基板的污染減少等的基板收納容器。一種基板收納容器，在能夠整列收納多張半導(dǎo)體晶片(W)的容器本體(10)和蓋體(20)之間，夾有保持半導(dǎo)體晶片(W)的保持件(30)，其中保持件(30)包含可撓性的多個彈性片(31)，從蓋體(20)的頂板內(nèi)表面向收納于容器本體(10)中的半導(dǎo)體晶片(W)方向伸長，在多張半導(dǎo)體晶片(W)的整列方向上并排；以及保持槽片(34)，形成在各彈性片(31)的頂端部，接觸保持半導(dǎo)體晶片(W)的周緣部。使彈性片(31)和保持槽片(34)隨著從蓋體(20)的頂板內(nèi)表面?zhèn)认蛑雽?dǎo)體晶片(W)方向而漸漸彎曲而朝向半導(dǎo)體晶片(W)的半徑外方向外側(cè)，使對于半導(dǎo)體晶片(W)周緣部上端的保持槽片(34)的接觸保持區(qū)域減少。
文檔編號H01L21/67GK101536174SQ200780041408
公開日2009年9月16日 申請日期2007年10月26日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月7日
發(fā)明者三村博 申請人:信越聚合物株式會社