專利名稱：載氣系統(tǒng)以及基片載物臺到裝載埠的聯(lián)接的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實施方案涉及一種基片栽物臺與一種加載端口的聯(lián)接以及對基 片載物臺的清潔吹塵。
2. 相關(guān)研究的筒要說明
目前的基片載物臺諸如，例，用于承載半導(dǎo)體基片的前開口式晶 片盒(FOUPs)由如聚碳酸酯材料，聚乙烯材料以及類似的聚合材料制 成。這些材料具有一種比，例如惰性氣體如氮氣或氬氣分子大的分子 結(jié)構(gòu)。因此，這種載物臺材料可能不足以保持其中的惰性氣體，惰性 氣體會通過載物臺外殼擴(kuò)散直至載物臺喪失所有的氣體?？梢圆捎妹?度大的材料制作載物臺，密度大的材料具有一種比該種氣體分子小的 分子結(jié)構(gòu)，但不希望增加載物臺的重量而密度大的材料會增加載物臺 的重量。在基片加工過程中，會利用氣體來控制基片局部的環(huán)境，然 而基片可能有一些材料淀積在其上，而這些淀積的材料容易受到水汽 或氧氣的影響。目前的氣體吹塵系統(tǒng)依賴于存儲槽，存儲槽與車間內(nèi) 的氣源相連，吹塵系統(tǒng)不斷得向載物臺內(nèi)輸送氣體以補(bǔ)償泄漏氣體。 也可采用沿著基片載物臺運動的分離的氣體容器。
并且，傳統(tǒng)的基片載物臺通過載物臺底部的功能特性向工具定位 或?qū)?zhǔn)與裝載埠形成機(jī)械聯(lián)接。對于前開口式載物臺，載物臺門打開 以獲取基片，該門位于栽物臺的一側(cè)并且垂直于載物臺底部表面。該 門的定位與閂鎖功能特性與相應(yīng)的裝栽埠特性相匹配。這就在基片載 物臺上形成了兩個平面，這兩個平面分別與匹配的裝載埠對準(zhǔn)。當(dāng)載 物臺不在機(jī)械公差范圍內(nèi)或者裝載埠沒有被正確得調(diào)整，這種配置就 會破壞接口的質(zhì)量。此外，由于保持兩種平面之間關(guān)系的復(fù)雜性，生 產(chǎn)每一個部件的成本會增加。美國專利號5, 895, 191提供了一種傳統(tǒng)
基片載物臺的一個示例，該示例公開了一種有角度的密封表面，這種有角度的密封表面形成了一種契形門，該門可以通過一種移動的單一 垂直軸移除，并且對于對此載物臺的定位依賴于栽物臺的底部表面。
一種局部于載物臺的氣體吹塵系統(tǒng)以及一種減少載物臺對準(zhǔn)自由 度和獲取基片開門自由度的裝載埠聯(lián)接是十分有利的。

發(fā)明內(nèi)容
在一個實施方案中，提供了一種對基片載物臺加壓的方法。此方 法包含對一種腔室加壓以及通過從腔室向栽物臺釋放氣體在載物臺內(nèi) 維持一種壓力的方法。這種腔室與載物臺以及/或者載物臺內(nèi)的基片晶 舟是一個單位結(jié)構(gòu)。
在另一實施方案中說明了一種傳送系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含一種基片輸 運載物臺，該栽物臺具有一種承載和攜帶基片的套子，該套子基本上 將基片與外界大氣隔離，該套子具有至少一個可承載基片的腔室，一 種與外界大氣不同的腔室氣體以及一種與該套子連接的便攜式氣源， 因此該氣源與套子可以作為一個單元移動，此氣源可以維持氣體的供 應(yīng)并且可以從氣源向至少一個腔室排放氣體，從而使腔室的大氣保持 在一個預(yù)先確定的氣壓上。
在一個實施方案中，提供了一種基片載物臺向一種端口聯(lián)接的方 法。此方法包含栽物臺至少一個上部定位特性與此埠至少相應(yīng)的一個 定位特性相咬合，旋轉(zhuǎn)載物臺以及此栽物臺至少一個下部定位特性與 此埠相應(yīng)的至少一個下部定位特征相咬合的方法。
附圖簡介
以下的說明書與附圖解釋了本實施方案前述特點以及其它特征，
其中


圖1， 1A以及1B為依照本發(fā)明一個實施方案中示例性的氣體系統(tǒng) 的示意圖2為依照本發(fā)明一實施方案中一晶圓廠的示意圖。
圖3A-C顯示了依照本發(fā)明一個實施方案中的一種系統(tǒng)。
圖4顯示了依照本發(fā)明一個實施方案中的另一系統(tǒng)。
圖5為依照本發(fā)明一個實施方案中一種方法的圖解；并且。
圖6為依照本發(fā)明一個實施方案中另一方法的一個圖解。
具體實施例方式
圖1為依照本發(fā)明一實施方案中一種氣體系統(tǒng)的示意圖。盡管將參照附圖表示和下面將要描述的實施方案對本發(fā)明的各個方面進(jìn)行說 明，需要指出的是發(fā)明的這些方面可用許多其它實施方案形式具體化。 此外，本發(fā)明可以采用任何適宜尺寸，形狀或任何適宜種類的元素或 材料實現(xiàn)。
由圖1可見，該圖表示了一種基片載物臺100。此基片載物臺可以 是一種底部開口式栽物臺100， 一種前開口式晶片盒(FOUP)(如，側(cè)面 開口 )(參見圖1A中的參照物100')，或任何其它適宜的基片傳送裝置。 可配置載物臺100攜帶，例如，半導(dǎo)體晶圓，平板顯示器的平板，光 罩/光掩膜或任何其它適宜的基片或材料。此半導(dǎo)體晶圓可以是，例如， 200mm， 300mm， 450mm或任何其它適宜尺寸的晶圓。此基片載物臺100 可以是一種諸如自動化物料處理輸運系統(tǒng)的傳送系統(tǒng)280的一部分， 此傳送系統(tǒng)可以分布于例如，整個制造車間(FAB) 200，將載物臺100 傳送到FAB內(nèi)的各個站臺210-270。
此載物臺可具有一種外殼110和/或門(圖1中未顯示門)，外殼 和/或門可由任何適宜的材料如一種聚合材料制成.此聚合材料可包括 但不限于聚碳酸酯材料，聚乙烯材料及類似的材料。此外殼100可具 有一種腔室或內(nèi)腔160,這種腔室或內(nèi)腔所攜帶的基片或工件l20能夠 與腔室160外界的大氣隔離。圖1所示的此載物臺100的形狀僅為一 種示例，在其它實施方案中，栽物臺可具有任何其它適宜的形狀。所 示的載物臺100為一種底部開口的載物臺，此栽物臺可能在腔室160 內(nèi)容納晶舟130用以在載物臺內(nèi)支撐基片120。在其它方案中，此栽物 臺可能不具有晶舟。
此基片晶舟130通常具有縱深的支撐，縱深的支撐與其上分布的 基片支撐架125提供一排或堆棧的支撐力，或者如圖所示，晶舟具有 支撐架為一片或多片基片提供獨立的支撐。在其它實施方案中，此栽 物臺可具有為更多或更少基片提供支撐的支撐架。此晶舟130可能也 包括一種基座140，下面將會描述這種配置。此晶舟130可被安裝或以 其它方式附著在載物臺結(jié)構(gòu)上。在其它實施方案中，此栽物臺100可 能不具備晶舟；此基片的支撐也可能是一個整體，或者與栽物臺結(jié)構(gòu) 形成一個單位構(gòu)造。
在所示的實施方案中，此基座140可能包含一種氣腔150或其它 任何適宜形狀和/或任何其他適宜尺寸的中空容積，該氣腔或中空容積與基座140為一個整體或形成一個單位構(gòu)造。在其它實施方案中，此 腔室150可以位于晶舟的任何位置。例如，此腔室150可與晶舟的任 何適宜部分形成一個整體，晶舟的適宜部分可以為，例如晶舟的側(cè)邊， 晶舟的背面和晶舟的頂部。在其它實施方案中，此腔室150可與載物 臺的任何適宜部分形成一個整體，該載物臺的適宜部分可以是此栽物 臺的門，頂部，底部或側(cè)邊。
參照圖1A,圖1A顯示了另一個實施方案中的載物臺100，。在此 實施方案中，所示的載物臺為一種側(cè)邊或前端裝載式載物臺(例如， FOUP類型的載物臺)。此載物臺100，可基本與載物臺100相似。此載 物臺100，可具有一種外殼110，， 一種門145， 一種腔體160以及任何 適宜的基片支撐?？膳渲么溯d物臺100，攜帶任何適宜的基片120，任 何適宜的基片可為例如如上所述的基片。在其它實施方案中，此載物 臺110，可容納一種基本與上述晶舟130類似的晶舟。在此示例中，此 腔室150可合并入此載物臺100，的門145。在其它實施方案中，此腔 室150可合并入或附著于此栽物臺100，任何適宜的部分。
在圖1B所示的另一方案中，此腔室可為一種可移除模塊150，，這 種可移除模塊可通過一種聯(lián)接器155與此載物臺100，，連接。此可移 除模塊150，可附著于此載物臺100，，任何所希望的部分。在其它實 施方案中，此腔室150或模塊150，可以合并入此晶舟。在一個實施方 案中，此模塊150，可被移除和/或更換為腔室換氣，或者在模塊與載 物臺100，，連接的時候，對模塊150，換氣。此聯(lián)接可為任何適宜形 式的聯(lián)接，適宜形式的聯(lián)接包括但不限于快速開關(guān)聯(lián)接器或螺紋管箍。 此可移除的模塊150，可附著與栽物臺100，，任何適宜的部分，適宜 的部分可為例如載物臺的頂部，底部或者載物臺的側(cè)邊。在一實施方 案中，此可移除模塊150'可附著于一種接口表面(接口表面例如，載 物臺的任何表面，該表面與例如， 一種加工工具的任何適宜組件相接 口或咬合)并且該可移除模塊可以用作載物臺100，，與此接口或咬合 裝置之間的接口。需要指出的是在此實施方案中，此腔室150可用于 吹塵清潔載物臺或者對工具加載互鎖。
此腔室150可由一種分子結(jié)構(gòu)比腔室中氣體分子小的材料制成，
這種材料可以阻止氣體通過腔室墻壁泄漏至外界大氣，如圖2所示。 此腔室150可由例如， 一種金屬或一種聚合材料構(gòu)成。此腔室150也可具有薄橫截面的墻壁，通過這種結(jié)構(gòu)的墻壁來減小大密度材料所導(dǎo) 致的重量的增加。在其它實施方案中，此腔室材料的橫截面可為任何 適宜結(jié)構(gòu)的橫截面。在其它實施方案中，由于晶舟或載物臺可能裝備 有由大密度材料制成的襯墊，此腔室可由相同材料構(gòu)成。
此腔室150可通過一種止回閥與載物臺的內(nèi)腔160或搶100連接。 這種止回閥可調(diào)節(jié)栽物臺100內(nèi)的壓力并且防止栽物臺IOO被過度加 壓。在其它實施方案中，此腔室150可以任何適宜的方式與此栽物臺 的內(nèi)腔相連，例如，腔室150通過一種電子控制閥、任何適宜的調(diào)節(jié) 閥或直接與載物臺內(nèi)腔連接。
此氣腔150可用任何適宜的方式被充氣或換氣。例如，參見圖2 所示的基片加工區(qū)域或制造車間200, —種工具240， 250的裝載埠可 與一室或中央式的氣體容器單元270相連，因此當(dāng)此載物臺100被置 于裝載埠之上時，裝載埠上的輸氣管與此腔室之間適宜的接頭或管件 相互咬合。例如，連接到載物臺的凈化管可以用來對裝栽埠上的載物 臺進(jìn)行吹塵凈化。此接頭可以為任何適宜類型的聯(lián)接器，例如，氣壓 激活聯(lián)接器或快速開關(guān)聯(lián)接器。當(dāng)腔室仍在裝栽埠上時，可通過接頭 對此腔室150充氣至一個預(yù)先確定的壓力.在其它方案中，可通過對 腔室內(nèi)部加壓對此腔室150補(bǔ)充氣體。由圖2可見，當(dāng)，例如，載物 臺100置于一種嵌套位置210， 220， 230之上或之中時，此腔室150可 被充氣。嵌套位置諸如一種緩沖器，載物臺儲存器或倉儲。此嵌套位 置210-230可以連接到任何適宜的氣源諸如一室或中央式的氣源270。 當(dāng)載物臺100被放置入或放置在嵌套位置210-230上時，此氣體可通 過任何適宜的接頭或管件傳送入腔室150。此嵌套位置210-230可放置 在例如FAB 200內(nèi)的任何適宜位置。此腔室也可在一被戰(zhàn)略性放置的 補(bǔ)充站260中被補(bǔ)充氣體。此補(bǔ)充站260也可被連接到一種中央氣源， 如此一室氣源270。此戰(zhàn)略性放置的補(bǔ)充站260可以放置在FAB內(nèi)的任 何適宜位置，這些適宜位置包括但不限于存儲區(qū)域的一個出口或入口， 倉儲或加工灣開口的周邊區(qū)域?？稍O(shè)置此補(bǔ)充站210-260通過腔室150 為載物臺IOO提供遠(yuǎn)程維護(hù)。
例如，此載物臺IOO與加壓腔室150可在一延長的時間段內(nèi)被儲 存或傳送而無需連接到氣源，從而減少了貫穿FAB 200的輸氣管的數(shù) 量。由于此氣腔150以及可在嵌套位置或被戰(zhàn)略性放置的補(bǔ)充站中對氣腔150補(bǔ)充氣體，補(bǔ)充站260的數(shù)量也可被減少。此外，除了載物 臺100可在一段更長的時間段內(nèi)被存儲或輸運，由于此載物臺內(nèi)部不 再是其自身的氣體存儲倉庫，腔室150可更精準(zhǔn)得控制載物臺內(nèi)部160 內(nèi)的氣體壓力。例如，當(dāng)載物臺100被傳送或存儲時，無需再對載物 臺100施加更高的氣壓以確保載物臺100具有足夠的氣體。由于對栽 物臺100內(nèi)的氣壓有了更精準(zhǔn)的控制，在栽物臺100內(nèi)可獲得更精準(zhǔn) 的溫度控制?？捎汕皇业某叽?，載物臺中的密封質(zhì)量以及載物臺的材 料來延長對腔室150充氣的時間間隔。
在另一實施方案中， 一種壓力傳感器170(參見圖1中的示例)可 以合并入此載物臺或此載物臺的一部分從而監(jiān)控載物臺150中內(nèi)腔 160的壓力。在其它實施方案中，此壓力傳感器可以位于任何適宜的位 置，如與腔室150連接或者在腔室150中?？蔀榇藟毫鞲衅?70裝 配適宜的通信系統(tǒng)，該通信系統(tǒng)可以向一種適宜的控制器發(fā)出信號。 也可為此傳感器170配備一種安放在栽物臺IOO之上的適宜的指示器。 此壓力傳感器可測量載物臺100中的壓力以及/或者腔室150中的壓 力，并且當(dāng)壓力下降到預(yù)先確定的壓力水平之下時，該傳感器可向例 如，操作員或者自動化物料處理系統(tǒng)(AHMS)的監(jiān)控電腦發(fā)出適宜的警 報。操作員可向此AHMS發(fā)出指令或者此監(jiān)控電腦可向AHMS發(fā)出指令， 指揮AHMS系統(tǒng)將此載物臺IOO從其當(dāng)前的位置取回，當(dāng)前的位置如暫 候區(qū)或存儲位置，AHMS將取回的載物臺IOO放置在如吹凈槽上對此腔 室150重新充氣。在其它實施方案中，此氣腔可被手動充氣或以其它 適宜的方式被充氣。并且，此載物臺的壓力傳感器170可定期向控制 器發(fā)送信號，此信號允許控制器預(yù)測何時需要換氣充氣并且可計劃安 排載物臺相應(yīng)的移動。
在運轉(zhuǎn)過程中，此載物臺100被放置于一種裝載埠或網(wǎng)槽站中， 因此此腔室150與一種氣源管道相連接。此腔室150被加壓到一個預(yù) 先確定的壓力水平(圖5，方框500 )。此腔室150可保持此壓力，可 通過，例如釋放腔室內(nèi)的加壓氣體由止回閥(或其它適宜的閥或聯(lián)接) 進(jìn)入載物臺100的內(nèi)腔160(圖5，方框510)。載物臺內(nèi)腔160中壓力 的降低可能由載物臺存儲或傳送過程中氣體通過載物臺密封或墻壁的 泄漏造成。
現(xiàn)參見圖3A-3B，圖中顯示了一種基片栽物臺300與一種加工站380相接。此基片載物臺可為任何適宜類型的載物臺，如一種基本與先 前描述的栽物臺100相類似的載物臺或者一種不具有一種整體氣腔的 栽物臺。在此實施方案中，所示的載物臺300為一種前開口式或側(cè)邊 開口式載物臺，然而在其它實施方案中，此載物臺可以為任何適宜類 型的基片載物臺?；蜉d物臺加載卸載的方向可基本平行于晶圓的 平面。此加工站380可以為任何適宜類型的加工站，例如i殳備前端自 動化模組或一種自動化組合設(shè)備。此加工工具可具有多個基片加工腔 室并且多個基片晶舟升降機(jī)與加工腔室相連。在其它方案中，此加工 工具可具有任何適宜的配置。此載物臺和加工站的接口可沿著一個單 一的接口平面分布。
由圖3A可見，可配置此栽物臺與一種懸吊式搬運系統(tǒng)320 —起^f吏 用。在其它方案中，可配置此載物臺以任何適宜的方式傳送，如由傳 送帶傳送或由手動控制或機(jī)器人控制的傳送車傳送。在此示例方案中， 此載物臺300包括一種外殼303和一種門體330。
圖3A所示的門330具有一種契形形狀(由門一側(cè)看去)，但是在其 它方案中，此門330可具有任何適宜的形狀。門330與外殼303之間 的接口可包括一種密封，該密封將晶舟300的內(nèi)部與外部大氣隔離。 并且，當(dāng)此載物臺與加工站或工具380埠(例如一種裝栽埠模塊370 ) 相接時，此載物臺門與基座均可具有一密封接口，分別將載物臺門330 與埠門340密封，栽物臺面304與此埠370密封(參見密封表面310)。 在此實施方案中，所示的此密封表面310以及此栽物臺面304與此載 物臺門330之間的接口相對于盒開具/裝栽機(jī)到工具標(biāo)準(zhǔn)界面(BOLTS) 平面371形成一定的角度。在其它方案中，此密封表面310與栽物臺 面/門界面可有任何適合的方向，例如與BOLTS平面371平行或垂直。
在此示例方案中，如圖3B及3C所示，此載物臺面304與裝載埠 面372 (如，此栽物臺/裝載埠界面)裝備有載物臺定位特性將載物臺 300與裝載埠370對準(zhǔn)。此載物臺的定位特性可與載物臺/埠門界面在 同一平面上(如，密封表面310)以消除載物臺聯(lián)接到端口的過約束并 減少載物臺300與埠370之間的任何偏移，例如由利用傳統(tǒng)載物臺定 位方法(如載物臺的底部與載物臺/埠接口之間的對準(zhǔn))維持多接口表 面之間的對準(zhǔn)造成的偏移。
在此實施方案中，此栽物臺面304裝配有定位特性，定位特性例如，置放臺的定位梢如上部槽或凹陷301或者下部槽或凹座302。此埠 面372裝備有相應(yīng)的定位特性例如互補(bǔ)置放臺定位梢如用于與上部凹 座301相咬合的上部凸起或卡梢390，以及用于與下部凹座302咬合的 下部凸起或卡梢302以確定栽物臺在埠面上重復(fù)確定的位置。在其它 方案中，這些卡梢可以在栽物臺面，凹陷可以在埠面。在另外一些實 施方案中，可以采用任何適宜的咬合裝置作為定位特性，例如鉤和環(huán)， L型別梢和凹座，球窩接頭，或其它任何沒有對界面有過約束的聯(lián)接， 這點將在以下描述。此定位特性可位于載物臺面304和此埠面372之 上，因此此載物臺門330和埠門340被移除或打開時不會干擾定位特 性，此密封表面310或者此載物臺門330以及埠門340之間的配合。 例如，此栽物臺的定位特性可能在載物臺面304的外圍，如沿著載物 臺門330的框架或邊緣。類似地，此裝載埠370的定位特性可在埠門 的框架或邊緣上。此載物臺，載物臺門，埠框架以及埠門之間的界面 可類似于2006年11月3日提交的美國專利申請?zhí)?1/556, 584; 2007 年4月18日提交的11/803， 077; 2007年5月11日提交的11/803, 077 以及2007年8月13日提交的11/891， 835中所描述的界面，這些專 利申請在此以引用的形式全部并入本文。
可設(shè)置此定位特性390, 395， 301， 302穩(wěn)定地承載載物臺300并可 將栽物臺與此埠370對準(zhǔn)。例如，此槽或凹座301, 302可具有一種v 型槽或凹型形狀，因此此埠面372相應(yīng)的梢390， 395可被導(dǎo)向，例如 此凹座301， 302的中心線，從而獲得此梢與凹座之間的一種可重復(fù)的 對準(zhǔn)。類似地，此梢390， 395可具有一種相應(yīng)的槽型或凸型結(jié)構(gòu)與凹 座301， 302相匹配。在其它實施方案中，此凹座301， 302以及梢390， 395可具有任何適宜的形狀，如圓錐型或球型，以^使載物臺300在埠 370上具有可重復(fù)性的擺放位置。
由圖3C可見，如上所述的梢和凹座的三套定位特性396A， 396B， 397A可用來確定載物臺在埠370上的位置并牢牢地固定住載物 臺。在此實施方案中，兩套上部定位特性396A, 396B與一套下部定位 特性397A形成了一個三角形，可將載物臺與埠370對準(zhǔn)并被保持在這 一位置上。在其它方案中，可以使用更多或更少的定位特性來構(gòu)成栽 物臺與埠之間的置放臺定位梢。例如，方案可能有兩套上部定位特性
和兩套下部定位特性， 一套上部定位特性和兩套下部定位特性， 一套上部定位特性和一套下部定位特性等等。在其它實施方案中，可采用 任何適宜數(shù)目的上部和下部定位特性。在另一些實施方案中，可將不 同類型的定位特性相結(jié)合，例如，鉤環(huán)與球窩接頭結(jié)合以及/或梢與槽 結(jié)合。在另一些方案中，此密封表面或其它任何適宜的功能塊可為此 定位特性帶來附加的旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定性。可參照加工站的晶圓傳送平面確定 此置放臺定位梢的定位特性，同時允許一種與自動化物料處理輸運系 統(tǒng)自由無礙的接口，對埠裝載卸載載物臺自由無礙的接口，該接口可
與FAB地面對準(zhǔn)。
在此實施方案中，利用載物臺300的重心305施加力預(yù)加載聯(lián)接 器獲得上述的機(jī)械穩(wěn)定的條件。在其它實施方案中，可由任何適宜的 方法獲得維持機(jī)械穩(wěn)定條件的力，適宜的方法如利用彈簧，導(dǎo)杠，杠 桿，直線驅(qū)動器或旋轉(zhuǎn)型驅(qū)動器以及類似的裝置作用于晶舟。
此方案中，此上部梢390可在下部梢395與下部凹座302咬合前， 與上部凹座301咬合。由上部凹座301中的上部梢390產(chǎn)生的反作用 力F2和F3與載物臺300重心305上的重力共同作用產(chǎn)生一種力矩My 引起栽物臺繞著上部梢390與上部凹座之間的咬合點旋轉(zhuǎn).此力矩My 也可影響上部梢與上部凹座的閉鎖或咬合。此繞著上部咬合點的旋轉(zhuǎn) 或力矩My可促使下部凹座302與下部梢395咬合，因此在載物臺300 上產(chǎn)生的反作用力Fl及F4可阻止載物臺300進(jìn)一步得旋轉(zhuǎn)。在此實 施方案中，上部和下部定位特性之間的咬合將載物臺300保持在裝載 端口 370上。例如，可使用一種具有垂直支撐的彈簧減少在載物臺上 產(chǎn)生的力或者由定位特性產(chǎn)生的力，并且在允許如前所述的定位特性 預(yù)裝載的同時為載物臺提供部分垂直支撐力。
在運行過程中， 一種傳送設(shè)備，如懸吊式搬運系統(tǒng)320，降低載物 臺300到裝栽埠370 (圖6，方框600 )。此懸吊式搬運系統(tǒng)320可充分 得與裝栽埠對準(zhǔn)從而使栽物臺300的上部凹座301基本與裝載埠370 的上部梢390對準(zhǔn)。由于上部凹座301與上部梢390咬合，此載物臺 的重力迫使凹座與梢對準(zhǔn)(例如，此凹座的縱向中心線與此梢的縱向 中心線對準(zhǔn))(圖6，方框610)。在載物臺300重心305上的載物臺重 量引起載物臺300繞著上部凹座301與上部梢390之間的咬合點旋轉(zhuǎn)， 這使得下部凹座302與下部梢咬合從而在栽物臺300與裝栽埠370之 間形成一種機(jī)械穩(wěn)定的掛載或聯(lián)接條件(圖6，方框620， 630 )。當(dāng)栽
12物臺300與裝載埠370聯(lián)接在一起時，此密封表面310可阻止栽物臺 300以及/或裝載埠370外的大氣進(jìn)入栽物臺300以及/或裝載埠370 的內(nèi)部。此裝栽埠門340也可具有一種密封，該密封防止任何可能陷 在裝載埠門340與載物臺門330之間的大氣泄漏或進(jìn)入栽物臺300以 及/或裝載埠370。
此埠門340可通過一種適當(dāng)?shù)穆?lián)接器與載物臺門330咬合以將載 物臺門330從載物臺300上移除(如打開門)以便裝置，如一種位于 裝栽埠370之內(nèi)的一種傳送裝置，獲取基片120。適當(dāng)?shù)穆?lián)接器例如一 種機(jī)械或固體聯(lián)接器。該栽物臺門330的契形形狀或其他有角度的形 狀以及載物臺300與裝載埠370之間有角度的咬合表面304， 372可允 許裝載埠門的開具360沿著與運動350基本垂直的軸移除/安裝載物臺 門330 (圖6，方框640)。
現(xiàn)參照圖4，圖4顯示了依照本發(fā)明另一實施方案中的一種載物臺 /裝載埠界面。除非特別指出，此載物臺300，與裝載埠370基本與上 述載物臺裝載埠類似。在此實施方案中，安裝在或附著于栽物臺300， 的載物臺門340，相對于栽物臺300，的上部和下部表面420，410成一 定角度。在這一實施方案中，此門330，成一定角度因此門330，朝向 載物臺300，的底部410。在其它實施方案中，可設(shè)置此栽物臺與載物 臺門使載物臺門朝向載物臺的頂部或側(cè)邊。此有角度的門可以為載物 臺到裝載埠以及埠門的密封提供一種連續(xù)并基本平整的表面。
相對于圖3A-3C，此栽物臺300，在栽物臺面304，可具有定位特 性，該定位特性基本與上述定位特性類似。相對于圖3A-3C，該裝載埠 也可在埠面372，具有類似上述的定位特性，該定位特性將載物臺與此 裝載埠對準(zhǔn)。例如，再次參見圖3B和3C，此載物臺界面304'可具有 類似上述的定位特性。此定位特性可具有任何適宜的設(shè)置，適宜的設(shè) 置例如可以為如上所述并如圖3C所示的三角型布局。在此實施方案中， 利用載物臺300的重心305施加力，該力預(yù)加載聯(lián)接器至如上所述和 如圖4所示的機(jī)械穩(wěn)定的條件。正如上文所指出，在其它實施方案中， 可由任何適宜的方法獲得維持機(jī)械穩(wěn)定條件的力，適宜的方法如利用 彈簧，導(dǎo)杠，杠桿，直線驅(qū)動器或旋轉(zhuǎn)型驅(qū)動器以及類似的裝置作用
于晶舟。
此裝載埠370可包括上部梢390，該上部梢390可在下部梢395與下部凹座302咬合前與上部凹座301咬合。此凹座301， 302可在載 物臺300，上任何適宜的位置，適宜的位置如載物臺接口 304，。由上 部凹座301中的上部梢390產(chǎn)生的反作用力F2和F3與載物臺300，重 心305上的重力共同作用可產(chǎn)生一個力矩My，力矩My引起載物臺繞著 上部梢390與上部凹座之間的咬合點旋轉(zhuǎn)。此力矩My也可影響上部杉f 與上部凹座的閉鎖或咬合。繞著咬合點的選擇或力矩My可促使下部凹 座與下部梢395咬合，從而使載物臺300，上的反作用力Fl和F4阻止 載物臺300，進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)。在此實施方案中，此上部和下部定位特性之 間的咬合將載物臺300，保持在裝載埠370上。如上所述，在其它方案 中，可使用一種實時的支撐力協(xié)助將載物臺300'保持在裝載埠370 上。
在運行過程中，此載物臺300，可被傳送至其聯(lián)接并經(jīng)由定位特性 對準(zhǔn)的裝栽埠，對準(zhǔn)的方式基本類似于上述圖3A-3C中的方式。然而 在此方案中，此載物臺門330，的開口不同于上述門的開口?？沙梢欢?角度得移除/安裝此載物臺門，下面將對此描述。此門有角度的路徑減 少了裝載埠的占地面積。
此埠門可通過一種適當(dāng)?shù)穆?lián)接器與栽物臺門330，咬合將載物臺門 330，從載物臺300，上移除(如，開門)以便裝置，如一種位于裝載 埠370之內(nèi)的一種傳送裝置，獲取基片120。適當(dāng)?shù)穆?lián)接器例如一種機(jī) 械或固體聯(lián)接器。該載物臺門330，有角度的配置以及載物臺300，與 裝載埠370之間有角度的咬合表面304，， 372，可允許裝載埠門開具沿 著與運動351成一種角度的軸移除/安裝載物臺門330，，從而使載物臺 門以基本垂直于載物臺門304，的方向被卸除(圖6，方框640)。在其 它實施方案中，此端口門開具可沿著一種運動的垂直路徑和與運動成 一定角度路徑的組合路徑移除/安裝載物臺門330，(參見圖4中路徑 352 )，利用這種組合路徑的方法，載物臺門將沿著成角度的路徑被移 除直至門330，與此載物臺/裝載埠面之間有足夠的空隙。當(dāng)此載物臺 門與裝載埠門從栽物臺/裝載埠界面上清除，此載物臺門可沿著與運動 的垂直路徑被傳送，從而允許裝置獲取載物臺內(nèi)的基片.在其它實施 方案中，可使用任何適宜的運動路徑移除/安裝載物臺門。
需要指出的是上述描述只是本發(fā)明的例證方案。應(yīng)用本發(fā)明中的 技術(shù)思想可以提出各種替代和修改方案。相應(yīng)得，提出的方案旨在包含所有這樣的附加權(quán)利要求范圍內(nèi)的替代，修改和變化方案。
所要求的權(quán)利要求是
權(quán)利要求
1.向基片載物臺加壓的一種方法包含向一種腔室加壓，該腔室與載物臺以及/或者載物臺內(nèi)的晶舟是一個單位構(gòu)造；以及通過從腔室中釋放氣體到載物臺維持此載物臺內(nèi)的壓力水平。
2. 權(quán)利要求l的方法，其中向腔室加壓包括向在一初始位置上的 腔室加壓并且方法進(jìn)一步包括移動基片載物臺到第二個位置，第二個 位置與初始位置分開，在此位置上，載物臺中的壓力由腔室遠(yuǎn)程維持。
3. 權(quán)利要求l的方法，其中載物臺中壓力的維持包括調(diào)節(jié)從腔室 釋放到栽物臺的氣體量以及阻止載物臺的過壓。
4. 權(quán)利要求l的方法，進(jìn)一步包括 監(jiān)控載物臺以及/或者腔室內(nèi)的壓力； 如果壓力低于預(yù)先設(shè)定的水平，報警；并且指揮一種處理系統(tǒng)將載物臺從一個遠(yuǎn)離腔室補(bǔ)充氣站傳送到腔室補(bǔ)充氣站。
5. 權(quán)利要求4的方法，進(jìn)一步包括定期從載物臺向一種處理系統(tǒng)發(fā)送有關(guān)栽物臺以及/或者腔室內(nèi) 壓力的信號，控制器根據(jù)此信號可預(yù)測何時需要充氣。
6. —種基片傳送系統(tǒng)包括 一種基片輸運載物臺具有一種用于承載和攜帶基片的套子，該套子基本將基片與外界大氣 隔離，此套具有至少一個腔室，該腔室可以承栽基片并且腔室內(nèi)的氣 體不同于外界大氣；并且一種便攜式氣源，該氣源與此套連接，因此此氣源與此套可以作 為一個單元移動，此氣源可以保持一種氣體來源并且可以控制氣體從 氣源排放進(jìn)入至少一個腔室，因此腔室的氣體能夠保持在一個預(yù)先確 定的壓力水平上。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6,此系統(tǒng)中的套子形成另一腔室，該腔室由氣源構(gòu)成o
8. 根據(jù)權(quán)利要求6，系統(tǒng)中的便攜式氣源與此套具有可斷開的聯(lián)接。
9. 根據(jù)權(quán)利要求6，此系統(tǒng)進(jìn)一步包括一個初始位置，該位置用 于對便攜式氣源加壓，當(dāng)基片輸運載物臺位于第二個位置遠(yuǎn)離此初始 位置時，其中的便攜氣源可遠(yuǎn)程維持腔室中的大氣。
10. 根據(jù)權(quán)利要求6，系統(tǒng)進(jìn)一步包括 一種連接到基片輸運載物臺的壓力監(jiān)控單元；以及 一種可傳送基片輸運栽物臺的處理系統(tǒng)， 可設(shè)置此壓力監(jiān)控單元監(jiān)控至少一個腔室以及/或者此便攜式氣源內(nèi)的壓力； 當(dāng)氣壓低于預(yù)先設(shè)定的水平時，壓力監(jiān)控單元向處理系統(tǒng)的控制 器報警；并且此控制器可指揮處理系統(tǒng)將基片輸運栽物臺從一個遠(yuǎn)離此便攜式 氣源充氣站的位置傳送到一種便攜式氣源充氣站。
11. 基片栽物臺與埠聯(lián)接的一種方法包括 此載物臺的至少一個上部定位特性與此埠相應(yīng)的至少一個上部定位特性相咬合。旋轉(zhuǎn)載物臺；并且此載物臺的至少一個下部定位特性與此埠相應(yīng)的至少一個下部定 位特性相咬合。
12. 權(quán)利要求ll的方法，其中載物臺的重心影響預(yù)加載此載物臺 與埠咬合的定位特性形成一種機(jī)械穩(wěn)定的條件。
13. 權(quán)利要求ll的方法，其中載物臺的至少一個上部和至少一個 下部定位特性在載物臺門開口所在的載物臺表面。
14. 權(quán)利要求11的方法，進(jìn)一步包含沿著一種與盒開具/裝載機(jī) 到工具標(biāo)準(zhǔn)接口 (BOLTS)平面形成一定角度的路徑安裝或移除載物臺 門。
15. 權(quán)利要求14的方法，其中有角度的路徑符合載物臺門開口的 角度。
16. 權(quán)利要求14的方法，其中路徑包括一種雙向路徑。
全文摘要
對基片載物臺加壓的方法包含對一種腔室加壓以及通過從腔室向載物臺釋放氣體在載物臺內(nèi)維持一種壓力的方法。這種腔室與載物臺以及/或者載物臺內(nèi)的基片晶舟是一個單位構(gòu)造。
文檔編號H01L21/677GK101600637SQ200780041428
公開日2009年12月9日 申請日期2007年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月14日
發(fā)明者B·丹尼爾, F·威廉 申請人:布魯克斯自動化公司