專利名稱：緩沖盤間距調(diào)節(jié)裝置及用該緩沖盤傳送半導(dǎo)體器件的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測(cè)試半導(dǎo)體器件的裝置。本發(fā)明尤其涉及一種在對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn) 行測(cè)試的測(cè)試分選機(jī)中使用緩沖盤來傳送半導(dǎo)體器件的裝置。
背景技術(shù)：
一般地，在測(cè)試半導(dǎo)體器件(諸如易失性或非易失性存儲(chǔ)器、系統(tǒng)大規(guī)模集成 (LSI)器件等)的工作特性以后，會(huì)裝運(yùn)該半導(dǎo)體器件。測(cè)試分選機(jī)將半導(dǎo)體器件傳送到測(cè)試室中以測(cè)試該半導(dǎo)體器件。具體地，半導(dǎo)體 器件通過緩沖盤(buffer tray)從用戶盤(customer tray)傳送至測(cè)試盤(test tray)。 此外，已在該測(cè)試室中測(cè)試過的半導(dǎo)體器件通過緩沖盤從測(cè)試盤傳送至用戶盤。該測(cè)試分選機(jī)包括用于在該測(cè)試盤與該用戶盤之間傳送半導(dǎo)體器件的拾取器系 統(tǒng)。第6，761，526號(hào)、第7，000，648號(hào)、第7，023，197號(hào)等美國(guó)專利揭露了該拾取器系統(tǒng)的 例子。近來，為了縮短傳送半導(dǎo)體器件所需的時(shí)間，該拾取器系統(tǒng)采用多個(gè)拾取器。此 夕卜，該拾取器系統(tǒng)采用間距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)以使該拾取器之間的間距與該測(cè)試盤的間距或該用戶 盤的間距相等。然而，由于該間距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的重量隨著拾取器數(shù)量的增加而增加，加快半導(dǎo) 體器件的傳送速度受到了限制。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種調(diào)節(jié)緩沖盤間距的裝置，以加快對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行 測(cè)試的測(cè)試分選機(jī)中半導(dǎo)體器件的傳送速度。本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種使用緩沖盤傳送半導(dǎo)體器件的裝置，所述緩沖盤 能夠調(diào)節(jié)對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試分選機(jī)中的間距。技術(shù)方案根據(jù)本發(fā)明一個(gè)方面，一種調(diào)節(jié)緩沖盤間距的裝置，所述緩沖盤包括多個(gè)用于容 納半導(dǎo)體器件的單元緩沖盤，所述裝置包括導(dǎo)向件，其沿所述緩沖盤的間距方向?qū)λ鼍?沖盤進(jìn)行導(dǎo)向；靠近所述緩沖盤的間距調(diào)節(jié)板，所述間距調(diào)節(jié)板可沿垂直于所述緩沖盤的 間距方向的方向移動(dòng)，并且具有沿不同方向延伸的多個(gè)軌跡，以調(diào)節(jié)所述單元緩沖盤之間 的間距；及多個(gè)連接件，其沿所述軌跡可移動(dòng)地設(shè)置且連接至所述單元緩沖盤，以通過移動(dòng) 所述間距調(diào)節(jié)板來調(diào)節(jié)所述單元緩沖盤之間的所述間距。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述間距調(diào)節(jié)裝置還包括基板，并且所述導(dǎo)向件包括設(shè)在所 述基板上并且沿所述間距方向延伸的導(dǎo)軌，以及多個(gè)可移動(dòng)地連接至所述導(dǎo)軌以支撐所述 單元緩沖盤的球形滑塊。
根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述間距調(diào)節(jié)板設(shè)在所述基板與所述單元緩沖盤之間。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述基板具有孔。所述單元緩沖盤和所述間距調(diào)節(jié)板分別設(shè)在所述基板的上表面和下表面。所述連接件通過所述孔連接所述單元緩沖盤和所述間距調(diào) 節(jié)板。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述間距調(diào)節(jié)板具有多個(gè)用作軌跡的槽，并且其中所述連接 件的端部設(shè)在所述槽中。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述連接件包括從所述單元緩沖盤延伸出的連接軸，以及連 接至所述連接軸的端部以與所述槽的內(nèi)表面形成接觸的輥?zhàn)?。根?jù)本發(fā)明實(shí)施例，用作所述軌跡的多個(gè)導(dǎo)軌設(shè)在所述間距調(diào)節(jié)板上，多個(gè)球形 滑塊連接至所述導(dǎo)軌。所述單元緩沖盤通過所述連接件連接至所述球形滑塊。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述間距調(diào)節(jié)裝置還包括使得所述間距調(diào)節(jié)板沿垂直于所述 間距方向的方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，各所述單元緩沖盤具有多個(gè)排列成一列的插槽以容納所述半 導(dǎo)體器件，并且所述間距方向垂直于所述插槽的列方向。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，各所述單元緩沖盤具有多個(gè)排列成多列的插槽以容納半導(dǎo)體 器件，并且所述間距方向垂直于所述插槽的列方向。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，一種在盤之間傳送半導(dǎo)體器件以用于測(cè)試所述半導(dǎo)體器 件的裝置，包括緩沖盤，其包括多個(gè)單元緩沖盤以容納所述半導(dǎo)體器件；間距調(diào)節(jié)部，其 調(diào)節(jié)所述單元緩沖盤之間沿所述緩沖盤的行方向的X間距；及拾取器系統(tǒng)，其將所述半導(dǎo) 體器件從第一盤傳送至所述緩沖盤。其中所述間距調(diào)節(jié)部包括導(dǎo)向件，其沿所述緩沖盤的 行方向?qū)λ鰡卧彌_盤進(jìn)行導(dǎo)向；靠近所述緩沖盤的間距調(diào)節(jié)板，所述間距調(diào)節(jié)板可沿 所述緩沖盤的列方向移動(dòng)，并且具有沿不同方向延伸的多個(gè)軌跡，以調(diào)節(jié)所述單元緩沖盤 之間的X間距；及多個(gè)連接件，其沿所述軌跡可移動(dòng)地設(shè)置且連接至所述單元緩沖盤，以通 過移動(dòng)所述間距調(diào)節(jié)板來調(diào)節(jié)所述X間距。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述拾取器系統(tǒng)包括多個(gè)排列成行和列的拾取器，以拾取所 述半導(dǎo)體器件；及在所述第一盤與所述緩沖盤之間移動(dòng)所述拾取器的拾取器傳送部。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述拾取器系統(tǒng)的沿行方向的χ間距和沿列方向的y間距等 于所述第一盤的沿行方向的X間距和沿列方向的y間距。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述傳送裝置還包括將所述半導(dǎo)體器件從所述緩沖盤傳送至 第二盤的第二拾取器系統(tǒng)。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述第二拾取器系統(tǒng)包括多個(gè)排列成行和列的拾取器，以拾 取所述半導(dǎo)體器件。所述第二拾取器系統(tǒng)的χ間距和y間距等于所述第二盤的χ間距和y 間距，且所述緩沖盤的y間距等于所述第二盤的y間距。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，所述傳送裝置還包括在所述第一盤和第二盤之間傳送所述緩 沖盤的緩沖傳送部。有益效果根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，可通過間距調(diào)節(jié)裝置使得緩沖盤的X間距等于測(cè)試盤或用 戶盤的X間距，所述間距調(diào)節(jié)裝置包括導(dǎo)向件、間距調(diào)節(jié)板及連接件。由此，在傳送半導(dǎo)體器件的時(shí)候無需調(diào)節(jié)拾取器系統(tǒng)的χ間距，從而縮短傳送半 導(dǎo)體器件所需的時(shí)間。此外，無需額外的裝置來調(diào)節(jié)該拾取器系統(tǒng)的X間距，從而來減少該 拾取器系統(tǒng)的重量以及增進(jìn)測(cè)試分選機(jī)的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。


圖1為示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體器件傳送裝置的示意圖；圖2及3為示出用于調(diào)節(jié)圖1所示緩沖盤的χ間距的間距調(diào)節(jié)部的示意平面圖；圖4及5為示出用于調(diào)節(jié)圖1所示緩沖盤的χ間距的間距調(diào)節(jié)部的示意仰視圖；圖6為示出圖1所述第一拾取器系統(tǒng)的示意立體圖；圖7為示出將半導(dǎo)體器件容納入緩沖盤之方法的示意圖；圖8為示出間距調(diào)節(jié)部的另一實(shí)施例的示意平面圖；圖9為示出圖8所示間距調(diào)節(jié)部的示意主視圖；圖10為示出圖2所示間距調(diào)節(jié)板的另一實(shí)施例的示意平面圖；圖11為示出緩沖盤的另一實(shí)施例的示意平面圖；圖12及13為示出使用圖11所示緩沖盤傳送半導(dǎo)體器件之方法的示意圖。結(jié)合示出本發(fā)明實(shí)施例的附圖，詳述本發(fā)明。然而，本發(fā)明可以以許多不同的形式 實(shí)現(xiàn)，并且不應(yīng)解釋為受在此提出的實(shí)施例的限制。更確切地，提出這些實(shí)施例以達(dá)成充分 及完整公開，并且使本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員完全了解本發(fā)明的范圍。附圖中，清楚起見，放 大了層和區(qū)域的尺寸和相對(duì)尺寸。
具體實(shí)施例方式圖1為示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體器件傳送裝置的示意圖。參見圖1，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體器件傳送裝置10可用于測(cè)試半導(dǎo)體器件的 測(cè)試分選機(jī)中。具體地，裝置10可用于在第一盤與第二盤之間傳送半導(dǎo)體器件，例如，測(cè)試 分選機(jī)中的用戶盤12和測(cè)試盤14之間。盡管圖中未示，裝置10可包括可移動(dòng)地設(shè)在用戶盤12和測(cè)試盤14之間的緩沖盤 20，以及用于在測(cè)試盤14和緩沖盤20之間傳送半導(dǎo)體器件的第一拾取系統(tǒng)30。此外，裝置 10包括用于在緩沖盤20與用戶盤12之間傳送半導(dǎo)體器件的第二拾取系統(tǒng)40。具體地，緩沖盤20沿y軸方向可移動(dòng)地設(shè)置，并且第一拾取系統(tǒng)30和第二拾取系 統(tǒng)40沿χ軸和y軸方向可移動(dòng)地設(shè)置。例如，緩沖盤20可由緩沖傳送部22使之移動(dòng)，而 第一拾取系統(tǒng)30和第二拾取系統(tǒng)40分別由第一拾取器傳送部32和第二拾取器傳送部42 使之移動(dòng)?？赏ㄟ^間距調(diào)節(jié)部100來調(diào)節(jié)緩沖盤20的行方向上的χ間距。圖2及3為示出用于調(diào)節(jié)圖1所示緩沖盤的χ間距的間距調(diào)節(jié)部的示意平面圖， 圖4及5為示出用于調(diào)節(jié)圖1所示緩沖盤的χ間距的間距調(diào)節(jié)部的示意仰視圖。參考圖2 5，可使得緩沖盤20的間距與測(cè)試盤14的間距或者用戶盤12的間距相等。緩沖盤20包括多個(gè)單元緩沖盤22。各單元緩沖盤22具有多個(gè)排列成一列以容納 半導(dǎo)體器件的多個(gè)插槽。此處，單元緩沖盤22可沿插槽的行方向(χ軸方向)排列。單元緩沖盤22可設(shè)在基板102上。具體地，單元緩沖盤22沿行方向可移動(dòng)地設(shè) 在基板102上，以沿行方向調(diào)節(jié)單元緩沖盤22之間的χ間距pi。例如，基板102上可設(shè)有 導(dǎo)向件以沿行方向?qū)卧彌_盤22進(jìn)行導(dǎo)向，S卩，沿χ間距方向。單元緩沖盤22可連接至導(dǎo)向件。如圖所示，多個(gè)第一導(dǎo)軌110可沿行方向設(shè)在基板102的上表面上。單元緩沖盤 22可安裝至多個(gè)連接至第一導(dǎo)軌110的球形滑塊(ball block) 112。間距調(diào)節(jié)板120可設(shè)在基板102的下表面上，以調(diào)節(jié)緩沖盤20的χ間距pi。間距 調(diào)節(jié)板120沿垂直于χ間距方向的方向，即沿緩沖盤20的列方向(y軸方向)，可移動(dòng)地設(shè) 在基板102的下表面上，并且具有多個(gè)沿不同方向延伸的軌跡。單元緩沖盤22通過多個(gè)連接件130與間距調(diào)節(jié)板120連接。具體地，該連接件形 成為可沿所述軌跡移動(dòng)，以通過移動(dòng)間距調(diào)節(jié)板120來調(diào)節(jié)單元緩沖盤22之間的χ間距 pi。例如，間距調(diào)節(jié)板120具有形成為扇形的多個(gè)槽122。可通過槽122之間沿列方向 的間隔變化來調(diào)節(jié)單元緩沖盤22的χ間距。連接件130包括多個(gè)從單元緩沖盤22向下延伸的連接軸132。連接軸132的端 部可設(shè)在槽122中。具體地，穿過基板102形成有孔104，并且連接軸132延伸穿過孔104。 此外，輥?zhàn)?34可連接至連接軸132的端部，以與槽122的內(nèi)表面形成接觸。沿y軸方向延伸的第二導(dǎo)軌124設(shè)在孔104的兩側(cè)，并且第二球形滑塊126連接 至第二導(dǎo)軌124。間距調(diào)節(jié)板120安裝在第二球形滑塊126上。驅(qū)動(dòng)部140設(shè)在基板102的下表面上，以沿列方向移動(dòng)間距調(diào)節(jié)板120。例如，基 板102的下表面上設(shè)有連接至間距調(diào)節(jié)板120的氣動(dòng)缸或液壓缸。或者，驅(qū)動(dòng)部140可包 括電動(dòng)機(jī)、滾珠絲杠、球形滑塊、直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向件等。通過驅(qū)動(dòng)部140使間距調(diào)節(jié)板120沿列方向移動(dòng)，由此連接件13沿槽122移動(dòng)。 從而，通過移動(dòng)間距調(diào)節(jié)板120來調(diào)節(jié)單元緩沖盤22之間的χ間距pi。具體地，使得單元 緩沖盤22之間的χ間距pi與用戶盤12之間的間距或者測(cè)試盤14之間的間距相等。如圖所示，盡管基板102的下表面上設(shè)有兩個(gè)間距調(diào)節(jié)板120和兩個(gè)驅(qū)動(dòng)部140， 可使用一個(gè)驅(qū)動(dòng)部140和一個(gè)間距調(diào)節(jié)板120來調(diào)節(jié)單元緩沖盤22之間的χ間距pi。此 夕卜，盡管圖中示出八個(gè)緩沖盤22，本發(fā)明的范圍不受緩沖盤22數(shù)量的限制。具體地，單元緩沖盤22之間的最大χ間距和最小χ間距由用戶盤12的間距和測(cè) 試盤14的χ間距決定。此外，單元緩沖盤22具有奇數(shù)列插槽之間的第一 χ間距以及偶數(shù) 列插槽和奇數(shù)列插槽之間的第二 χ間距。此處，第一 χ間距不同于第二 χ間距。同時(shí)，盡管圖中未示，緩沖傳送部22可包括在基板102下沿y軸方向延伸的第三 導(dǎo)軌、連接至該第三導(dǎo)軌的第三球形滑塊、安裝在基板102的下表面上的球形螺母、穿過該 球形螺母的滾珠絲杠、及與該滾珠絲杠連接以提供旋轉(zhuǎn)力的電動(dòng)機(jī)。此外，基板102的下表 面可安裝有連接架，并且基板102可通過連接架連接至第三球形滑塊。圖6為示出圖1所述第一拾取器系統(tǒng)的示意立體圖。參考圖6，第一拾取器系統(tǒng)30包括多個(gè)排列成行和列的拾取器202。拾取器202 通過拾取器傳送部32可移動(dòng)地設(shè)置。盡管圖中未示，拾取器202可用于使用真空力拾取半 導(dǎo)體器件。各拾取器202可形成為沿垂直方向移動(dòng)，即，沿ζ軸方向。具體地，第一拾取器系統(tǒng)30包括多個(gè)拾取器單元200。各拾取器單元200包括多 個(gè)沿第一拾取器系統(tǒng)30的行方向排列的拾取器202。例如，各拾取器單元200包括沿行方 向(χ軸方向)延伸的托架204，并且拾取器202沿垂直方向安裝至托架204。
此外，第一拾取器系統(tǒng)30包括第一拾取器基座206，拾取器單元200沿第一拾取 器系統(tǒng)30的列方向(y軸方向)安裝至第一拾取器基座206。第一拾取器基座206連接至 第一拾取器傳送部32，以傳遞拾取器202。盡管圖中未示，第一拾取器傳送部32形成為沿 χ軸方向和y軸方向移動(dòng)拾取器202。例如，第一拾取器傳送部32可形成為使用直線電動(dòng) 機(jī)、滾珠絲杠、球形滑塊、直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向件等。第一拾取器系統(tǒng)30的沿行方向的χ間距和沿列方向的y間距等于測(cè)試盤14的沿 行方向的X間距和沿列方向的y間距。由此，第一拾取器系統(tǒng)30可通過一次操作從測(cè)試盤 14拾取多個(gè)半導(dǎo)體器件。例如，第一拾取器系統(tǒng)30可通過一次操作從測(cè)試盤14拾取64個(gè) 或32個(gè)半導(dǎo)體器件。在拾取半導(dǎo)體器件之后，通過第一拾取器傳送部32使得拾取器202在 緩沖盤20 的上方移動(dòng)。此處，通過間距調(diào)節(jié)部100使得緩沖盤20的X間距等于測(cè)試盤14的X間距。圖7為示出將半導(dǎo)體器件容納入緩沖盤之方法的示意圖。參考圖7，由于緩沖盤20的y間距不同于測(cè)試盤14的y間距，每次從第一拾取器 系統(tǒng)30進(jìn)入緩沖盤20的時(shí)候，半導(dǎo)體器件1依次容納一行。具體地，緩沖盤20以步進(jìn)方 式沿列方向移動(dòng)，即，沿y軸方向。當(dāng)緩沖盤20以步進(jìn)方式移動(dòng)時(shí)，將一行由第一拾取器系 統(tǒng)30的拾取器202保持的半導(dǎo)體器件1容納入緩沖盤20的插槽?；蛘?，第一拾取器系統(tǒng) 30以步進(jìn)的方式沿y軸方向移動(dòng)，并且半導(dǎo)體器件1同時(shí)容納入緩沖盤20。在半導(dǎo)體器件容納入緩沖盤20之后，使得緩沖盤20的χ間距等于用戶盤12的行 方向上的χ間距。此外，通過緩沖傳送部22將緩沖盤20移動(dòng)至靠近用戶盤12的位置。在緩沖盤20 的移動(dòng)期間，調(diào)節(jié)緩沖盤20的χ間距。或者，在移動(dòng)緩沖盤20之前或之后，調(diào)節(jié)緩沖盤20 的χ間距。調(diào)節(jié)緩沖盤20的χ間距并且移動(dòng)緩沖盤20之后，半導(dǎo)體器件1通過第二拾取器 系統(tǒng)40從緩沖盤20傳送至用戶盤12。此處，緩沖盤20的y間距等于用戶盤12的y間距。 由此，由一次操作從緩沖盤20拾取半導(dǎo)體器件1，并且由一次操作將半導(dǎo)體器件1容納入用 戶盤12。同時(shí)，第二拾取器系統(tǒng)40包括多個(gè)排列成行和列的拾取器。第二拾取器系統(tǒng)40 的χ間距和y間距等于用戶盤12的χ間距和y間距。由于第二拾取器系統(tǒng)類似于參考圖 6描述的第一拾取器系統(tǒng)30，因此不對(duì)其進(jìn)行詳細(xì)描述。如前所述，盡管用于將半導(dǎo)體器件1從測(cè)試盤14傳送至用戶盤12，所述方法以及 裝置10也可用于以相似但不相同的方式將半導(dǎo)體器件1從用戶盤12傳送至測(cè)試盤14。根據(jù)本發(fā)明的前述實(shí)施例，通過間距調(diào)節(jié)部100使得單元緩沖盤22之間的χ間距 與用戶盤12的χ間距或者測(cè)試盤14的χ間距相等。由此，無需調(diào)節(jié)用于傳送半導(dǎo)體器件的 第一、第二拾取器系統(tǒng)30和40的χ間距，以縮短在緩沖盤20和測(cè)試盤14或用戶盤12之 間傳送半導(dǎo)體器件所需的時(shí)間。此外，可減輕第一拾取器系統(tǒng)30和第二拾取器系統(tǒng)40的 重量，從而增進(jìn)該測(cè)試分選機(jī)的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性并且增加第一、第二拾取器系統(tǒng)30和40的拾取 器數(shù)量。圖8為示出間距調(diào)節(jié)部的另一實(shí)施例的示意平面圖，圖9為示出圖8所示間距調(diào) 節(jié)部的示意主視圖。
參考圖8及9，緩沖盤2設(shè)在基板302的上方。具體地，沿行方向(χ軸方向)延伸的第一導(dǎo)軌310設(shè)在基板302上。第一導(dǎo)軌310由多個(gè)設(shè)在基板302上的支撐件314支 撐。第一球形滑塊312可移動(dòng)地連接至第一導(dǎo)軌310，并且單元緩沖盤22安裝至第一球形 滑塊312。間距調(diào)節(jié)板320設(shè)在單元緩沖盤22和基板302之間，以調(diào)節(jié)單元緩沖盤22之間 的行方向上的χ間距。間距調(diào)節(jié)板320具有多個(gè)用作軌跡的槽322，并且間距調(diào)節(jié)板320沿列方向(y軸 方向)可移動(dòng)地設(shè)在基板302上。具體地，沿列方向延伸的第二導(dǎo)軌324設(shè)在基板302上， 并且間距調(diào)節(jié)板320通過第二球形滑塊326連接至第二導(dǎo)軌324。此外，驅(qū)動(dòng)部340設(shè)在基 板302上，以沿列方向移動(dòng)間距調(diào)節(jié)板320。單元緩沖盤22通過多個(gè)連接件330連接至間距調(diào)節(jié)板320。盡管圖中未詳示，連 接件330包括從單元緩沖盤222向下延伸的連接軸332。連接軸332的端部設(shè)在槽322中。 連接件330還包括連接至連接軸332的端部的輥?zhàn)?34。圖10為示出圖2所示間距調(diào)節(jié)板的另一實(shí)施例的示意平面圖。參考圖10，間距調(diào)節(jié)板420包括多個(gè)用作軌跡的第四導(dǎo)軌422。第四導(dǎo)軌422可 設(shè)置為扇形，并且可用于調(diào)節(jié)單元緩沖盤22的χ間距。 具體地，第四球形滑塊424連接至第四導(dǎo)軌422，并且單元緩沖盤22通過連接軸連 接至第四球形滑塊424。圖11為示出緩沖盤的另一實(shí)施例的示意平面圖。參考圖11，緩沖盤50包括多個(gè)單元緩沖盤52。各單元緩沖盤52包括排列成多列 的多個(gè)插槽54a和54b。例如，各單元緩沖盤52包括排列成兩列的多個(gè)插槽54a和54b。此 處，各單元緩沖盤52的插槽之間的第一 χ間距等于用戶盤或測(cè)試盤的χ間距。圖12及13為示出使用圖11所示緩沖盤傳送半導(dǎo)體器件之方法的示意圖。參考圖11 13，容納在測(cè)試盤14中的半導(dǎo)體器件1通過第一拾取器系統(tǒng)30的拾 取器202從測(cè)試盤14拾取出。此處，拾取器202之間的χ間距和y間距等于測(cè)試盤14的 χ間距和y間距。在拾取半導(dǎo)體器件1之后，第一拾取器系統(tǒng)30在緩沖盤50的上方移動(dòng)。此處，使 得緩沖盤50的單元緩沖盤52之間的第二 χ間距等于測(cè)試盤14的奇數(shù)列或者偶數(shù)列的插 槽之間的間隔。第一拾取器系統(tǒng)30的奇數(shù)列202a的拾取器在單元緩沖盤52的第一插槽 54a的上方移動(dòng)，然后使得由奇數(shù)列202a的插槽保持的半導(dǎo)體器件1容納在第一插槽54a 中。第一拾取器系統(tǒng)30沿行方向(χ軸方向)移動(dòng)，以使第一拾取器系統(tǒng)30的偶數(shù)列 202b的拾取器位于在單元緩沖盤52的第二插槽54b上方，然后使得由偶數(shù)列202b的插槽 保持的半導(dǎo)體器件1容納在第二插槽54b中。在半導(dǎo)體器件1容納在緩沖盤50之后，緩沖盤50通過緩沖傳送部移動(dòng)至靠近用 戶盤12的位置。使得緩沖盤50的第二 χ間距等于用戶盤12的奇數(shù)列或者偶數(shù)列的插槽 之間的間隔。此處，緩沖盤50的第一 χ間距等于用戶盤12的χ間距。此外，緩沖盤50的 y間距等于用戶盤12的y間距。由此，可通過第二拾取器系統(tǒng)40以一次操作從緩沖盤50拾取半導(dǎo)體器件1，并且以一次操作將半導(dǎo)體器件容納在用戶盤12中。工業(yè)可用性根據(jù)本發(fā)明的前述實(shí)施例，可通過間距調(diào)節(jié)部使得緩沖盤的χ間距等于測(cè)試盤或用戶盤的X間距。由此，在傳送半導(dǎo)體器件的時(shí)候無需調(diào)節(jié)拾取器系統(tǒng)的χ間距，從而縮短傳送半 導(dǎo)體器件所需的時(shí)間。此外，無需額外的裝置來調(diào)節(jié)該拾取器系統(tǒng)的X間距，從而來減少該 拾取器系統(tǒng)的重量以及增進(jìn)測(cè)試分選機(jī)的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。盡管業(yè)已描述了本發(fā)明的實(shí)施例，應(yīng)理解，并不應(yīng)將本發(fā)明限制為這些實(shí)施例，本 領(lǐng)域技術(shù)人員可在如后文權(quán)利要求書所要求保護(hù)的本發(fā)明的精神及范圍之內(nèi)對(duì)其作出各 種改變及修改。
權(quán)利要求
一種調(diào)節(jié)緩沖盤間距的裝置，所述緩沖盤包括多個(gè)用于容納半導(dǎo)體器件的單元緩沖盤，所述裝置包括導(dǎo)向件，其沿所述緩沖盤的間距方向?qū)λ鼍彌_盤進(jìn)行導(dǎo)向；靠近所述緩沖盤的間距調(diào)節(jié)板，所述間距調(diào)節(jié)板可沿垂直于所述緩沖盤的間距方向的方向移動(dòng)，并且具有沿不同方向延伸的多個(gè)軌跡，以調(diào)節(jié)所述單元緩沖盤之間的間距；及多個(gè)連接件，其沿所述軌跡可移動(dòng)地設(shè)置且連接至所述單元緩沖盤，以通過移動(dòng)所述間距調(diào)節(jié)板來調(diào)節(jié)所述單元緩沖盤之間的所述間距。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，還包括基板， 其中所述導(dǎo)向件包括設(shè)在所述基板上并且沿所述間距方向延伸的導(dǎo)軌；及 多個(gè)可移動(dòng)地連接至所述導(dǎo)軌以支撐所述單元緩沖盤的球形滑塊。
3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其中所述間距調(diào)節(jié)板設(shè)在所述基板與所述單元緩沖盤之間。
4.如權(quán)利要求2所述的裝置，其中所述基板具有孔，所述單元緩沖盤和所述間距調(diào)節(jié) 板分別設(shè)在所述基板的上表面和下表面，并且所述連接件通過所述孔連接所述單元緩沖盤 和所述間距調(diào)節(jié)板。
5.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述間距調(diào)節(jié)板具有多個(gè)用作軌跡的槽，并且其中 所述連接件的端部設(shè)在所述槽中。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置，其中所述連接件包括從所述單元緩沖盤延伸出的連接 軸，以及連接至所述連接軸的端部以與所述槽的內(nèi)表面形成接觸的輥?zhàn)印?br> 7.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中用作所述軌跡的多個(gè)導(dǎo)軌設(shè)在所述間距調(diào)節(jié)板上， 多個(gè)球形滑塊連接至所述導(dǎo)軌，并且所述單元緩沖盤通過所述連接件連接至所述球形滑 塊。
8.如權(quán)利要求1所述的裝置，還包括使得所述間距調(diào)節(jié)板沿垂直于所述間距方向的方 向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部。
9.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中各所述單元緩沖盤具有多個(gè)排列成一列以容納所述 半導(dǎo)體器件的插槽，并且所述間距方向垂直于所述插槽的列方向。
10.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中各所述單元緩沖盤具有多個(gè)排列成多列以容納半 導(dǎo)體器件的插槽，并且所述間距方向垂直于所述插槽的列方向。
11.一種在盤之間傳送半導(dǎo)體器件以用于測(cè)試所述半導(dǎo)體器件的裝置，包括 緩沖盤，其包括多個(gè)單元緩沖盤以容納所述半導(dǎo)體器件；間距調(diào)節(jié)部，其調(diào)節(jié)所述單元緩沖盤之間沿所述緩沖盤的行方向的x間距；及 拾取器系統(tǒng)，其將所述半導(dǎo)體器件從第一盤傳送至所述緩沖盤， 其中所述間距調(diào)節(jié)部包括導(dǎo)向件，其沿所述緩沖盤的行方向?qū)λ鰡卧彌_盤進(jìn)行導(dǎo)向； 靠近所述緩沖盤的間距調(diào)節(jié)板，所述間距調(diào)節(jié)板可沿所述緩沖盤的列方向移動(dòng)，并且 具有沿不同方向延伸、以調(diào)節(jié)所述x間距的多個(gè)軌跡；及多個(gè)連接件，其沿所述軌跡可移動(dòng)地設(shè)置且連接至所述單元緩沖盤，以通過移動(dòng)所述 間距調(diào)節(jié)板來調(diào)節(jié)所述所述X間距。
12.如權(quán)利要求11所述的裝置，其中所述拾取器系統(tǒng)包括 多個(gè)排列成行和列的拾取器，以拾取所述半導(dǎo)體器件；及在所述第一盤與所述緩沖盤之間移動(dòng)所述拾取器的拾取器傳送部。
13.如權(quán)利要求12所述的裝置，其中所述拾取器系統(tǒng)的沿行方向的x間距和沿列方向 的y間距等于所述第一盤的沿行方向的x間距和沿列方向的y間距。
14.如權(quán)利要求11所述的裝置，還包括將所述半導(dǎo)體器件從所述緩沖盤傳送至第二盤 的第二拾取器系統(tǒng)。
15.如權(quán)利要求14所述的裝置，其中所述第二拾取器系統(tǒng)包括多個(gè)排列成行和列的拾 取器，以拾取所述半導(dǎo)體器件，并且其中所述第二拾取器系統(tǒng)的x間距和y間距等于所述第二盤的x間距和y間距，且所述緩沖盤的1間距等于所述第二盤的1間距。
16.如權(quán)利要求14所述的裝置，還包括在所述第一盤和第二盤之間傳送所述緩沖盤的 緩沖傳送部。
全文摘要
通過間距調(diào)節(jié)裝置來調(diào)節(jié)用于容納半導(dǎo)體器件的多個(gè)單元緩沖盤之間的間距，所述裝置包括導(dǎo)向件、間距調(diào)節(jié)板和多個(gè)連接件。導(dǎo)向件沿間距方向?qū)卧彌_盤進(jìn)行導(dǎo)向，并且間距調(diào)節(jié)板靠近緩沖盤且可沿垂直于間距方向的方向移動(dòng)。間距調(diào)節(jié)板具有多個(gè)沿不同方向延伸的軌跡以調(diào)節(jié)單元緩沖盤之間的間距。連接件沿軌跡可移動(dòng)地設(shè)置，并且連接至單元緩沖盤，以通過移動(dòng)間距調(diào)節(jié)板來調(diào)節(jié)單元緩沖盤之間的間距。
文檔編號(hào)H01L21/68GK101836286SQ200780101286
公開日2010年9月15日 申請(qǐng)日期2007年8月23日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月22日
發(fā)明者孔根澤, 樸唱億, 李鎮(zhèn)煥 申請(qǐng)人:賽科隆股份有限公司