專利名稱：薄膜太陽能電池模塊及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于 一種薄膜太陽能電池模塊及其制造方法，且特別是有關(guān) 于 一種能夠在工藝中對(duì)薄膜太陽能電池模塊進(jìn)行檢測(cè)的薄膜太陽能電池模 塊及其制造方法。
背景技術(shù)：
太陽能是一種具有永不耗盡且無污染的能源，在解決目前石化能源所面 臨的污染與短缺的問題時(shí)， 一直是最受矚目的焦點(diǎn)。其中，又以太陽能電池 模塊可直接將太陽能轉(zhuǎn)換為電能，而成為目前相當(dāng)重要的研究課題。由于薄
膜太陽能電池(thin film solar cell)具有低成本、容易大面積生產(chǎn)，且模塊化工 藝簡單等優(yōu)點(diǎn)，因此薄膜太陽能電池的研發(fā)乃成為新的發(fā)展方向。
隨著薄膜太陽能電池的大型化，如要維持高轉(zhuǎn)換效率電池的制作，對(duì)于 工藝的穩(wěn)定度與均勻度要求相當(dāng)高，這是因?yàn)楸∧ぬ柲茈姵啬K是以串聯(lián) 結(jié)構(gòu)為主。在串聯(lián)的電池中，當(dāng)其中一顆電池發(fā)生不良而使得該顆電池的電 流量大幅降低時(shí)，由于電池模塊所產(chǎn)生的電流會(huì)受到電流量最小的電池所決 定，因而使得整個(gè)電池模塊的發(fā)電效率會(huì)隨之大幅的下降。因此，在工藝中 對(duì)薄膜太陽能電池模塊進(jìn)行線上的檢測(cè)乃至于進(jìn)行除錯(cuò)具有相當(dāng)?shù)闹匾浴?br> 關(guān)于薄膜太陽能電池模塊的檢測(cè)，在US6，228,662、 US6，365，825中提出 一種檢測(cè)方法，此方法是對(duì)由基底/透明電極/光電轉(zhuǎn)換層/金屬電極所構(gòu)成的 薄膜太陽能電池模塊，利用兩根探針或是陣列式探針與薄膜太陽能電池模塊
中的孔洞而產(chǎn)生短路，進(jìn)而通過破壞孔洞中的金屬或使其氧化以進(jìn)行修復(fù)。 然而，上述的先前技術(shù)是通過將探針與薄膜太陽能電池模塊中的金屬電 極接觸以進(jìn)行檢測(cè)，其功能僅只能檢查太陽電池元件于不照光時(shí)的性質(zhì)，藉 以了解是否有短路發(fā)生，但當(dāng)薄膜太陽能電池模塊的不良原因是來自于透明 電極時(shí)，對(duì)于已形成基底/透明電極/光電轉(zhuǎn)換層/金屬電極結(jié)構(gòu)的薄膜太陽能 電池模塊而言，先前的技術(shù)并無法對(duì)其中的透明電極進(jìn)行有效的檢測(cè)，并且亦無法檢測(cè)出發(fā)生不良的透明電極，以及無法確實(shí)了解元件真正的光電轉(zhuǎn)換特性。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于上述的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種薄膜太陽能電池模塊， 能夠?qū)Ρ∧ぬ柲茈姵啬K中連接基板的電極進(jìn)行電性檢測(cè)。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種薄膜太陽能電池模塊的制造方法，能夠 沿用現(xiàn)有的薄膜太陽能電池模塊的工藝技術(shù)。
本發(fā)明提出 一種薄膜太陽能電池模塊的制造方法。首先在基板上形成第 一電極材料層。接著移除部分第一電極材料層，以形成可將第一電極材料層
分隔成相互平行的多條第一帶狀電極的多條第一x方向開口。然后形成光電
轉(zhuǎn)換材料層以覆蓋基板以及第 一帶狀電極。其后移除部分光電轉(zhuǎn)換材料層， 以于第一帶狀電極上方形成平行于第一x方向開口的多條第二x方向開口，
并使光電轉(zhuǎn)換材料層形成為光電轉(zhuǎn)換層。之后形成第二電極材料層以覆蓋光 電轉(zhuǎn)換層、第一帶狀電極與基板。然后移除部分第二電極材料層以形成曝露
出光電轉(zhuǎn)換層表面的平行于第一 X方向開口的多條第三X方向開口，以使
第二電極材料層形成多條第二帶狀電極，并于第二電極材料層與光電轉(zhuǎn)換層
中的X方向的兩端部附近，沿Y方向移除部分第二電極材料層與部分光電 轉(zhuǎn)換層，以至少于兩端部各形成一條曝露出第一帶狀電極表面的Y方向開 口 。
在上述薄膜太陽能電池模塊的制造方法中，于移除部分光電轉(zhuǎn)換材料層 的步驟中，第二 X方向開口的長度小于第一 X方向開口的長度，并且光電 轉(zhuǎn)換材料層的X方向的兩端部于Y方向互相連接。
在上述薄膜太陽能電池模塊的制造方法中，第一、第二、第三X方向開 口以及Y方向開口是利用激光切割方式制備。
在上述薄膜太陽能電池模塊的制造方法中，第一電極材料層為透明導(dǎo)電 氧化物層，且透明導(dǎo)電氧化物層的材料包括氧化鋅、二氧化錫、氧化銦錫或 氧化銦。
在上述薄膜太陽能電池模塊的制造方法中，光電轉(zhuǎn)換材料層為單層結(jié)構(gòu) 或堆疊層結(jié)構(gòu)，并且，光電轉(zhuǎn)換材料層的組成材料為P型半導(dǎo)體、本征半導(dǎo) 體或N型半導(dǎo)體材料。在上述薄膜太陽能電池模塊的制造方法中，光電轉(zhuǎn)換材料層包括硅，且 硅的結(jié)晶方式為非結(jié)晶硅、單晶硅或多晶硅。
在上述薄膜太陽能電池模塊的制造方法中，第二電極材料層為金屬層或 金屬與透明電極組合而成，并且金屬層的材料包括鋁、銀、銅、鉬或其合金，
且透明電極其材料包括氧化鋅(ZnO)、 二氧化錫(Sn02)、氧化銦錫(indium tin oxide ， 1丁0)或氧化銦(111203)。
本發(fā)明另提出一種薄膜太陽能電池模塊，包括第一電極、第二電極以及 光電轉(zhuǎn)換層。第一電極配置在基板上，并且第一電極是由沿X方向延伸且平 行排列的多條第一帶狀電極組成。第二電極配置在第一電極上方，且第二電 極是由沿X方向延伸且平行排列的多條第二帶狀電極組成。光電轉(zhuǎn)換層配置 于第一電極與第二電極之間，并且光電轉(zhuǎn)換層是由沿X方向延伸且平行排列
的多條帶狀光電轉(zhuǎn)換材料層組成。其中于第二電極與光電轉(zhuǎn)換層中的x方向
的兩端部附近至少各具有一條曝露出第一電極表面的Y方向開口。
在上述薄膜太陽能電池模塊中，光電轉(zhuǎn)換層的X方向的兩端部于Y方 向互相連接。
在上述薄膜太陽能電池模塊中，第一電極為透明導(dǎo)電氧化物層，且透明 導(dǎo)電氧化物層的材料包括氧化鋅、二氧化錫、氧化銦錫或氧化銦。
在上述薄膜太陽能電池模塊中，光電轉(zhuǎn)換層為單層結(jié)構(gòu)或堆疊層結(jié)構(gòu)， 并且，光電轉(zhuǎn)換材料層的組成材料為P型半導(dǎo)體、本征半導(dǎo)體或N型半導(dǎo)體材料。
在上述薄膜太陽能電池模塊中，光電轉(zhuǎn)換材料層包括硅，且硅的結(jié)晶方 式為非結(jié)晶硅、單晶硅或多晶硅。
在上述薄膜太陽能電池模塊中，第二電極為金屬層或金屬與透明電極組 合而成，并且金屬層的材料包括鋁、銀、銅、鉬或其合金，且透明電極其材 料包括氧化鋅、二氧化錫、氧化銦錫或氧化銦。
本發(fā)明的薄膜太陽能電池模塊形成有暴露出第一電極的Y方向開口 ，因 此本發(fā)明可對(duì)薄膜太陽能電池模塊中連接基板的第 一 電極(透明電極)進(jìn)行各 種的電性一企測(cè)。
而且，在本發(fā)明的薄膜太陽能電池模塊中，由于光電轉(zhuǎn)換層的X方向的 兩端部于Y方向?yàn)榛ハ噙B接，而暴露出第一電極的Y方向開口將第二電極 與光電轉(zhuǎn)換層在X方向的最末兩端部分別形成一阻擋層，能夠阻擋水氣與氧氣的進(jìn)入。
此外，由于本發(fā)明的薄膜太陽能電池模塊僅通過對(duì)激光切割工藝做些許 的更動(dòng)即可達(dá)成，因此能夠沿用現(xiàn)有的薄膜太陽能電池的工藝，具有容易制 造，幾乎不會(huì)增加制造成本等優(yōu)點(diǎn)。
為讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較 佳實(shí)施例并詳細(xì)說明如下。


圖1至圖6所示為依照本發(fā)明的一實(shí)施例所繪示的薄膜太陽能電池模塊
的制造方法的流程示意圖。其中，圖1至圖6的子圖(a)是繪示俯視示意圖， 子圖(b)和(e)是繪示沿剖面線I-I，的剖面示意圖，子圖(c)和(f)是繪示沿剖面線
n-n，的剖面示意圖，子圖(d)是繪示沿剖面線in-nr的剖面示意圖。
圖7為對(duì)本發(fā)明的薄膜太陽能電池模塊進(jìn)行一種電性檢測(cè)的示意圖。其
中，圖7(a)是繪示俯視示意圖，圖7(b)是繪示沿剖面線in-in，的剖面示意圖。
圖8為對(duì)本發(fā)明的薄膜太陽能電池模塊進(jìn)行另一種電性檢測(cè)的示意圖。 其中，圖8(a)是繪示俯視示意圖，圖8(b)是繪示沿剖面線III-m，的剖面示意圖。
主要元件符號(hào)說明
100:薄膜太陽能電池模塊
101:電池
102:基板
104:第一電極材料層
104a:第一電極
104b:第一X方向開口
106:光電轉(zhuǎn)換材料層
賜a:光電轉(zhuǎn)換層
106b:第二x方向開口
108:第二電極材料層
108a:第二電極
108b:第三X方向開口
108c:Y方向開口110、 112、 114、 116:探針
具體實(shí)施例方式
圖1至圖6為依照本發(fā)明的一實(shí)施例所繪示的薄膜太陽能電池模塊的制 造方法的流程示意圖。其中，圖1至圖6的子圖(a)是繪示俯視示意圖，子圖 (b)和(e)是繪示沿剖面線I-I，的剖面示意圖，子圖(c)和(f)是繪示沿剖面線n-n，
的剖面示意圖。子圖(d)是繪示沿剖面線m-ni ，的剖面示意圖。
首先，請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D6(a)、圖6(b)、圖6(c)與圖6(d),本實(shí)施例的薄膜 太陽能電池模塊100具有在Y方向彼此串聯(lián)的多顆電池101。薄膜太陽能電 池模塊100包括基板102以及配置于其上方的第一電極104a、第二電極108a 與光電轉(zhuǎn)換層106a。其中，第一電極104a例如是透明電極，其直接配置在 基板102上，并由沿X方向延伸且平行排列的多條第一帶狀電極所組成。第 二電極108a例如是金屬電極，其配置在第一電極104a上方，并由沿X方向 延伸且平行排列的多條第二帶狀電極所組成。而且，第一帶狀電極104a、第 二帶狀電極108a是以平行位移方式配置。另外，光電轉(zhuǎn)換層106a配置于第 一電極104a與第二電極108a之間，而光電轉(zhuǎn)換層106a是由平行排列的多 條帶狀光電轉(zhuǎn)換材料層所組成。
而且，請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D6，如圖6(a)與圖6(d)所示，其中于第二電極108a 與光電轉(zhuǎn)換層106a中的X方向的兩端部附近，至少各具有一條曝露出第一 電極104a表面的Y方向開口 108c。此外，如圖6(c)所示，其中光電轉(zhuǎn)換層 106a的X方向的兩端部于Y方向是互相連接的。
請(qǐng)參閱圖6(d)，由于本實(shí)施例的薄膜太陽能電池模塊具有暴露出第一電 極104a表面的Y方向開口 108c，因此能夠如同后述的對(duì)第一電極104a(透 明電極)進(jìn)行電性^r測(cè)。而且，由于光電轉(zhuǎn)換層106a的X方向的兩端部于Y 方向互相連接，而暴露出第一電極104a的Y方向開口 108c將第二電極108a 與光電轉(zhuǎn)換層106a在X方向的最末兩端部分別形成一阻擋層，從而能夠阻 擋水氣與氧氣的進(jìn)入。
以下，以圖1至圖6詳細(xì)說明本實(shí)施例的薄膜太陽能電池模塊100的制 造方法。
首先，請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)Dl(a)與圖l(b)，提供基板102。其中此基板102的 材料例如是玻璃或其他的透明材料。接著，在基板102上形成第一電極材料層104。第一電極材料層104例如是透明導(dǎo)電氧化物(transparent conductive oxide， TCO)薄膜,其材料例如是氧化鋅(ZnO)、 二氧化錫(Sn02)、氧化銦錫 (indium tin oxide， 1丁0)或氧化銦(111203)。第一電極材料層104的形成方法例 如是可利用化學(xué)氣相沉積法(CVD method)、賊鍍法(sputtering method)或其他
方法來制備。
然后，請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D2(a)與圖2(b),在第一電極材料層104中，形成可 將第一電極材料層104分隔成多條第一帶狀電極104a且相互平行的多條第 一X方向開口 104b。其中X方向開口 104b的形成方法，例如是利用激光切 割(laserscribing)工藝來移除部分第一電極材料層104而形成。
接著，請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D3(a)與圖3(b),在基板102上方形成一層光電轉(zhuǎn)換 材料層106。此光電轉(zhuǎn)換材料層106會(huì)覆蓋住基板102與第一帶狀電極104a。 光電轉(zhuǎn)換層106可以是單層結(jié)構(gòu)或堆疊層結(jié)構(gòu)。光電轉(zhuǎn)換材料層106的組成 材料例如是P型半導(dǎo)體、本征半導(dǎo)體或N型半導(dǎo)體材料。并且光電轉(zhuǎn)換材料 層106包括硅，且硅的結(jié)晶方式例如是非結(jié)晶硅、單晶硅或多晶硅。光電轉(zhuǎn) 換材料層106的形成方法例如是可利用化學(xué)氣相沉積法或其他的方法來制 備。
之后，請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D4(a)、圖4(b)與圖4(c),移除部分光電轉(zhuǎn)換材料層 106，于第一帶狀電極104a上方形成平行于第一 X方向開口 104b的多條第 二X方向開口 106b，其中第二X方向開口 106b將光電轉(zhuǎn)換材料層106分隔 成多條帶狀光電轉(zhuǎn)換材料層106a。而且，上述所形成的第二X方向開口 106b 的長度短于第一X方向開口 104b的長度，以使得所形成的光電轉(zhuǎn)換層106a 的第二X方向的兩端于Y方向互相連接。上述第二X方向開口 106b的形成 方法，例如是利用激光切割工藝移除部分光電轉(zhuǎn)換材料層106而形成。
繼之，請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D5(a)、圖5(b)與圖5(c)，在基板102上方形成一層 第二電極材料層108。此第二電極材料層108例如是金屬層，其會(huì)覆蓋住光 電轉(zhuǎn)換層106a、第一帶狀電極104a與基板102。第二電極材料層108例如 是金屬層或金屬與透明電極組合而成的電極，其金屬層材料例如是鋁(A1)、 銀(Ag)、鉬(Mo)、銅(Cu)或其他適合的金屬或合金，而透明電極其材料例如 是氧化鋅(ZnO)、 二氧化錫(Sn02)、氧化銦錫(indium tin oxide， ITO)或氧化銦 (ln203)。第二電極材料層108的形成方法例如是可利用化學(xué)氣相沉積法、濺 鍍法或其他的方法來制備。隨后，請(qǐng)參照?qǐng)D6(a)、圖6(b)、圖《c)與圖6(d),于第二電極材料層108 中形成平行第一X方向開口 104b的多條第三X方向開口 108b,以使第二電 極材料層108成為多條帶狀電極108a，并于電極材料層108與光電轉(zhuǎn)換層 106a中的X方向的兩端部附近，沿Y方向移除部分電極材料層108與部分 光電轉(zhuǎn)換層106a，以至少于兩端部各形成一條曝露出第一帶狀電極104a表 面的Y方向開口 108c。其中，第三X方向開口 108b是通過移除部分第二電 極材料層108,直至曝露出光電轉(zhuǎn)換層106a表面而形成。在另一實(shí)例中，如 圖6(e)以及圖6(f)所示，開口 108b亦可以通過移除部分第二電極材料層108 以及部分光電轉(zhuǎn)換層106a,直至曝露出第一帶狀電極104a表面而形成。至 于Y方向開口 108c，則是通過沿Y方向移除第三X方向兩端部附近的部分 第二電極材料層108以及部分光電轉(zhuǎn)換層106a,直至曝露出第一帶狀電極 104a表面而形成。同樣地，第三X方向開口 108b與Y方向開口 108c可以 利用激光切割工藝以形成。在進(jìn)行上面的各個(gè)步驟之后，即可完成本實(shí)施例 的薄膜太陽能電池模塊100。
由上述圖1至圖6的工藝可知，本發(fā)明的薄膜太陽能電池模塊僅通過對(duì) 激光切割工藝做些許的變動(dòng)即可達(dá)成，因此能夠沿用現(xiàn)有的薄膜太陽能電池 的工藝，不需導(dǎo)入額外的新工藝技術(shù)與機(jī)臺(tái)。
圖7所示為對(duì)本發(fā)明的薄膜太陽能電池模塊進(jìn)行電性檢測(cè)的示意圖，其 中圖7(a)是繪示俯視示意圖，圖7(b)是繪示沿剖面線Ill-Ill'的剖面示意圖。 當(dāng)于生產(chǎn)線上完成圖1至圖6的工藝以制造出薄膜太陽能電池模塊100之后， 可以于生產(chǎn)線上進(jìn)行薄膜太陽能電池模塊100的電性檢測(cè)。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D7(a) 與圖7(b),將探針110與一端的開口 108c中的第一電極104a接觸，并將探 針112與另一端開口 108c中的第一電極104a接觸，藉此可以量測(cè)出在一個(gè) 電池101中的與基板102連接的第一電極104a的阻值分布情況。其中。該 探針110可電性連接正極或負(fù)極，探針112則電性連接探針110相對(duì)應(yīng)的電 極，以進(jìn)行量測(cè)。
圖8所示為對(duì)本發(fā)明的薄膜太陽能電池模塊進(jìn)行另 一種電性檢測(cè)的示意 圖，其中圖8(a)是繪示俯視示意圖，圖8(b)是繪示沿剖面線m-iir的剖面示 意圖。同樣的，此電性檢測(cè)可以于生產(chǎn)線上進(jìn)行。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D8(a)與圖8(b), 將探針114與開口 108c中的第一電極104a接觸，并將探針116與第二電極 108a接觸，藉此可以量測(cè)出在一個(gè)電池101中的第一電極104a與第二電極108a的接面電阻值。其中。該探針114可電性連接正極或負(fù)極，探針116則 電性連接探針114相對(duì)應(yīng)的電極，以進(jìn)行量測(cè)。
本發(fā)明的薄膜太陽能電池模塊IOO在經(jīng)由上述圖7、圖8的量測(cè)方法對(duì) 薄膜太陽能電池模塊IOO整體進(jìn)行電性檢測(cè)之后，可以在工藝中檢測(cè)出第一 電極的阻值均勻性、第一電極的阻值分布情況以及第一電極與第二電極的接 面電阻值等相關(guān)于第 一 電極的電特性，并能夠藉此檢測(cè)出其中具有問題的電 池，而具有問題的電池則能夠通過接續(xù)進(jìn)行的除錯(cuò)工藝來進(jìn)行修復(fù)或排除。
綜上所述，由于本發(fā)明的薄膜太陽能電池模塊IOO形成有暴露出第一電 極104a表面的Y方向開口 108c,因此本發(fā)明可對(duì)薄膜太陽能電池模塊100 中連接基板102的第一電極104a(透明電極)進(jìn)行各種的電性檢測(cè)。
再者，在本發(fā)明的薄膜太陽能電池模塊100中，由于光電轉(zhuǎn)換層106a 的X方向的兩端部于Y方向互相連接，而暴露出第一電極104a的Y方向開 口 108c將第二電極108a與光電轉(zhuǎn)換層106a在X方向的最末兩端部分別形 成一阻擋層，能夠阻擋水氣與氧氣的進(jìn)入。
本發(fā)明的薄膜太陽能電池模塊100僅通過對(duì)激光切割工藝做些許的更動(dòng) 即可達(dá)成，因此能夠沿用現(xiàn)有的薄膜太陽能電池的工藝，從而使得本發(fā)明的 薄膜太陽能電池模塊IOO具有容易制造，幾乎不會(huì)增加制造成本等優(yōu)點(diǎn)。
除此之外，本發(fā)明的薄膜太陽能電池模塊100所形成的Y方向開口 108c，能夠再裝填隔絕材料作為水氣與氧氣隔絕材料的固定位置，以利于后 續(xù)封裝的進(jìn)行。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何 熟習(xí)此技藝者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤飾， 因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種薄膜太陽能電池模塊的制造方法，包括在基板上形成第一電極材料層；移除部分所述第一電極材料層，以形成可將所述第一電極材料層分隔成相互平行的多條第一帶狀電極的多條第一X方向開口；形成光電轉(zhuǎn)換材料層，覆蓋所述基板以及所述第一帶狀電極；移除部分所述光電轉(zhuǎn)換材料層，于所述第一帶狀電極上方形成平行于所述第一X方向開口的多條第二X方向開口，并使所述光電轉(zhuǎn)換材料層形成為光電轉(zhuǎn)換層；形成第二電極材料層，覆蓋所述光電轉(zhuǎn)換層、所述第一帶狀電極與所述基板；以及移除部分所述第二電極材料層，以形成曝露出所述光電轉(zhuǎn)換層表面的平行于所述第一X方向開口的多條第三X方向開口，以使所述第二電極材料層形成多條第二帶狀電極，并于所述第二電極材料層與所述光電轉(zhuǎn)換層中的X方向的兩端部附近，沿Y方向移除部分所述第二電極材料層與部分所述光電轉(zhuǎn)換層，以至少于所述兩端部各形成一條曝露出所述第一帶狀電極表面的Y方向開口。
2. 如權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中所述移除 部分所述光電轉(zhuǎn)換材料層的步驟中，所述第二 X方向開口的長度小于所述第 一 X方向開口的長度，并且所述光電轉(zhuǎn)換材料層的X方向的兩端部于Y方 向互相連接。
3. 如權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中所述第一、 第二、第三X方向開口以及所述Y方向開口是利用激光切割方式制備。
4. 如權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中所述第一 電極材料層為透明導(dǎo)電氧化物層，所述透明導(dǎo)電氧化物層的材料包括氧化 鋅、二氧化錫、氧化銦錫或氧化銦。
5. 如權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中所述光電 轉(zhuǎn)換材料層為單層結(jié)構(gòu)或堆疊層結(jié)構(gòu)。
6. 如權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中所述光電 轉(zhuǎn)換材料層的組成材料為P型半導(dǎo)體、本征半導(dǎo)體或N型半導(dǎo)體材料。
7. 如權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中所述光電轉(zhuǎn)換材料層包括硅，且硅的結(jié)晶方式為非結(jié)晶硅、單晶硅或多晶硅。
8. 如權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中所述第二電極材料層為金屬層或金屬與透明電極組合而成的電極。
9. 如權(quán)利要求8所述的薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中所述金屬層的材料包括鋁、銀、銅、鉬或其合金，且所述透明電極層的材料包括氧化鋅、二氧化錫、氧化銦錫或氧化銦。
10. —種薄膜太陽能電池模塊，包括第一電極，配置在基板上，所述第一電極是由沿X方向延伸且平行排列的多條第一帶狀電極組成；第二電極，配置在所述第一電極上方，且所述第二電極是由沿X方向延伸且平行排列的多條第二帶狀電極組成；以及光電轉(zhuǎn)換層，配置于所述第一電極與所述第二電極之間，且所述光電轉(zhuǎn)換層是由沿X方向延伸且平行排列的多條帶狀光電轉(zhuǎn)換材料層組成，其中于所述第二電極與所述光電轉(zhuǎn)換層中的X方向的兩端部附近至少各具有一條曝露出所述第一電極表面的Y方向開口。
11. 如權(quán)利要求IO所述的薄膜太陽能電池模塊，其中所述光電轉(zhuǎn)換層的X方向的兩端部于Y方向互相連"l妾。
全文摘要
一種薄膜太陽能電池模塊，至少包括第一電極、第二電極以及光電轉(zhuǎn)換層。第一電極配置在基板上，并且第一電極是由沿X方向延伸且平行排列的多條第一帶狀電極組成。第二電極配置在第一電極上方，且第二電極是由沿X方向延伸且平行排列的多條第二帶狀電極組成。光電轉(zhuǎn)換層配置于第一電極與第二電極之間，并且光電轉(zhuǎn)換層是由沿X方向延伸且平行排列的多條帶狀光電轉(zhuǎn)換材料層組成。其中于第二電極與光電轉(zhuǎn)換層中的X方向的兩端部附近至少各具有一條曝露出第一電極表面的Y方向開口。
文檔編號(hào)H01L21/82GK101494193SQ20081000376
公開日2009年7月29日 申請(qǐng)日期2008年1月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月22日
發(fā)明者陳頤承 申請(qǐng)人:財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院