專利名稱：多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制造多晶硅薄膜太陽能電池用設(shè)備。
技術(shù)背景-現(xiàn)有的多晶硅薄膜太陽能電池制造設(shè)備中，對薄膜電池片進(jìn)行化學(xué) 氣體沉積處理的容器，其進(jìn)氣管處，采用固體密封形式，每次對薄膜電 池處理時，均需要重新裝密封件，操作麻煩，工作效率低，且固體密封 件易在高溫下發(fā)生泄露等現(xiàn)象，影響工作效果。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)合理，采用氣體密封方式進(jìn)行進(jìn)行 密封處理，工作效果好的多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備。 本發(fā)明的技術(shù)解決方案是一種多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備，包括設(shè)置在爐管中對薄膜電 池片進(jìn)行化學(xué)氣體沉積處理的容器，進(jìn)氣管通過容器上的開口伸入容器 中，其特征是在容器開口處近側(cè)，設(shè)置有向容器開口噴射高壓惰性氣 體的噴射裝置。容器開口處呈擴(kuò)大的喇叭口形。向容器開口噴射高壓惰性氣體的噴 射裝置包括套裝在進(jìn)氣管上的惰性氣體管，惰性氣體管的端部設(shè)置噴射 孔，且多個噴射孔沿惰性氣體管的圓周方向均勻布置。向容器開口噴射 高壓惰性氣體的噴射裝置為設(shè)置在容器開口部位壁上的惰性氣體孔。進(jìn)氣管主體為陶瓷管，陶瓷管外壁上包有鉑層。惰性氣體管是鉑材料的管 子。所述惰性氣體是氬氣。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理，采用高壓惰性氣體對薄膜電池片進(jìn)行化學(xué)氣體沉 積處理的容器開口處進(jìn)行密封，密封效果好，有效提高工作效率。


下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。 圖1是本發(fā)明一個實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示圖。
具體實(shí)施例方式一種多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備，包括設(shè)置在爐管1中對薄膜 電池片進(jìn)行化學(xué)氣體沉積處理的容器2，進(jìn)氣管3通過容器2上的開口4伸入容器2中，在容器2開口處近側(cè)，設(shè)置有向容器開口噴射高壓惰 性氣體的噴射裝置。容器開口處呈擴(kuò)大的喇叭口形。向容器開口噴射高 壓惰性氣體的噴射裝置包括套裝在進(jìn)氣管上的惰性氣體管5，惰性氣體 管5的端部設(shè)置噴射孔6，多個噴射孔6沿惰性氣體管5的圓周方向均 勻布置。進(jìn)氣管3主體為陶瓷管，陶瓷管外壁上包有鉑層。惰性氣體管 是鉑材料的管子。所述惰性氣體是氬氣。當(dāng)然，本發(fā)明還可以有其他合適實(shí)施例，例如向容器開口噴射高 壓惰性氣體的噴射裝置為設(shè)置在容器開口部位壁上的惰性氣體孔等形 式。
權(quán)利要求
1、一種多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備，包括設(shè)置在爐管中對薄膜電池片進(jìn)行化學(xué)氣體沉積處理的容器，進(jìn)氣管通過容器上的開口伸入容器中，其特征是在容器開口處近側(cè)，設(shè)置有向容器開口噴射高壓惰性氣體的噴射裝置。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備，其特 征是容器開口處呈擴(kuò)大的喇叭口形。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備， 其特征是向容器開口噴射高壓惰性氣體的噴射裝置包括套裝在進(jìn)氣管 上的惰性氣體管，惰性氣體管的端部設(shè)置噴射孔，且多個噴射孔沿惰性 氣體管的圓周方向均勻布置。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備， 其特征是向容器開口噴射高壓惰性氣體的噴射裝置為設(shè)置在容器開口 部位壁上的惰性氣體孔。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備， 其特征是進(jìn)氣管主體為陶瓷管，陶瓷管外壁上包有鉑層。
6、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備，其特征是惰性氣體管是鉑材料的管子。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備，其特征是所述惰性氣體是氬氣。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備，包括設(shè)置在爐管中對薄膜電池片進(jìn)行化學(xué)氣體沉積處理的容器，進(jìn)氣管通過容器上的開口伸入容器中，在容器開口處近側(cè)，設(shè)置有向容器開口噴射高壓惰性氣體的噴射裝置。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理，采用高壓惰性氣體對薄膜電池片進(jìn)行化學(xué)氣體沉積處理的容器開口處進(jìn)行密封，密封效果好，有效提高工作效率。
文檔編號H01L31/18GK101241955SQ20081001991
公開日2008年8月13日 申請日期2008年3月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月13日
發(fā)明者林 侯, 王漢飛, 群 班 申請人:江蘇林洋新能源有限公司;南通林洋新能源工程技術(shù)研究中心有限公司