專利名稱：液晶顯示裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示裝置及其制造方法。
技術(shù)背景近年來，液晶顯示裝置的高清晰化技術(shù)的開發(fā)不斷推進(jìn)，并一直要 求高功能化、高附加值化、低成本化。特別是對(duì)低成本化的要求升高，在便攜式電話或數(shù)字照相機(jī)(digital camera)等小型液晶顯示裝置中， 作為成本削減對(duì)策之一，在1塊母板(mother substrate)上配置盡可能 多的面板(panel)的研究變得必不可少。為了使對(duì)于1塊母板的面板取得面數(shù)增加，極力減少各面板間的多 余的空間(space)是有效的。進(jìn)而通過使各面板間的間隔在上下左右方 向上均為零，就能夠確保來自1塊基板的最大面板取得面數(shù)。但是，在液晶顯示裝置中，有將背光源(backlight)配置于其背面 以進(jìn)行圖像顯示的透射型液晶顯示裝置、以及通過在基板上配置反射板 而利用反射板表面反射周圍的光從而進(jìn)行圖像顯示的反射型液晶顯示 裝置。該透射型液晶顯示裝置在周圍光為直射陽光等非常明亮的光的情 況下，因?yàn)轱@示光比周圍光暗淡所以存在難以確認(rèn)顯示的問題。此外， 反射型液晶顯示裝置在周圍光暗淡的情況下存在可視性(visibility)極 低的缺點(diǎn)。為了解決這些問題，提出有一種使光的一部分透射并使光的一部分 反射的半透射型液晶顯示裝置。在半透射型液晶顯示裝置中，為了得到 良好的散射特性，在絕緣膜上設(shè)置有表面具有凹凸圖形(pattern)的有機(jī) 膜(專利文獻(xiàn)1 )。例如，通過旋涂(spin coat)在絕緣膜上涂敷有機(jī)膜 之后，以光刻工藝(photolithography process )在有機(jī)膜的表面進(jìn)行凹部 構(gòu)圖(patterning)，在有機(jī)膜的表面形成凹凸圖形。因此，有機(jī)膜膜厚 為3 4pm左右，比起作為其它結(jié)構(gòu)要素的金屬膜等變得非常厚。該有機(jī)膜雖然在顯示區(qū)域內(nèi)構(gòu)圖為規(guī)定的形狀，但是在以往，在顯 示區(qū)域的外側(cè)即在框緣區(qū)域內(nèi)并不構(gòu)圖而是全面地形成。但是，在l塊 母板上配置多個(gè)面板的取得多面的情況下，面板切斷線上的有機(jī)膜成為障礙，使切斷精度下降。此外，通過有機(jī)膜形成在框緣整個(gè)區(qū)域上，從而會(huì)產(chǎn)生FPC端子的粘著強(qiáng)度下降、讀取安裝用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(alignment mark)變得困難等問題。因此，在面板切斷線上、FPC端子粘著部以及 安裝用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記周邊，除去有機(jī)膜。進(jìn)而近年來，如前述那樣，為了使面板取得面數(shù)為最大限度的目的， 各面板間的間隔以上下左右均為零的方式配置。這時(shí)，作為密封圖形的 配置，使用使密封圖形(seal pattern)的一部分溢出至鄰接面板的方法。 一般來說，在密封圖形中，形成液晶注入口的注入口密封圖形從包圍顯 示區(qū)域的框緣狀的密封框突出地設(shè)置。通過將該注入口密封圖形的 一部 分向鄰接面板溢出配置，在考慮了密封圖形的位置精度或面板切斷時(shí)導(dǎo) 致的錯(cuò)位(displacement)等的基礎(chǔ)上，能夠確保容易注入液晶的注入口 。 在此，將該注入口密封圖形稱為密封圖形的角(horns)。密封圖形的角 由于空間制約而配置在FPC端子粘著部以及安裝用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的附近。而 且，為了防止密封圖形的剝離等，在密封圖形的角周邊也除去有機(jī)膜。圖ll是表示框緣區(qū)域42內(nèi)的有機(jī)膜8的構(gòu)圖形狀的圖。再有，為 了便于說明，在圖11中將在以后的面板粘合工序中形成的密封圖形11 以虛線標(biāo)出。在圖11中，在與設(shè)置了注入口的密封框的邊鄰接的面板 切斷線10上以及其周邊除去了有機(jī)膜8，有機(jī)膜除去范圍(area)沿切 斷線形成為條紋(stripe)狀(有機(jī)膜除去范圍13)。而且，以從沿著 切斷線的條紋狀的有機(jī)膜除去范圍13延伸的形式，除去FPC端子粘著 部上的有機(jī)膜(有機(jī)膜除去范圍14)。同樣地，密封圖形的角部以及其 周邊的有機(jī)膜從沿著切斷線的條紋狀的有機(jī)膜除去范圍13延伸而被矩 形形狀地除去(有機(jī)膜除去范圍16)。進(jìn)而，在安裝用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記以及其 周邊將有機(jī)膜除去(有機(jī)膜除去范圍15)。這樣，在框緣區(qū)域42中，密封圖形的角12區(qū)域的有機(jī)膜除去范圍 16延伸設(shè)置到面板切斷線IO的有機(jī)膜除去范圍13中，從上面看有機(jī)膜 8^:凸形狀地除去。專利文獻(xiàn)1:日本專利申請(qǐng)公開2004-294805號(hào)公報(bào)但是，當(dāng)在框緣區(qū)域42設(shè)置這樣凸形狀的有機(jī)膜除去范圍時(shí)，在 后續(xù)的工序中，在通過旋涂來涂敷抗蝕劑(resist)時(shí)有時(shí)會(huì)發(fā)生涂敷斑 (non-uniformity)。如圖12所示，該涂敷斑17以凸形狀的有機(jī)膜除去 范圍的角落(corner)部，即設(shè)置于密封圖形的角12區(qū)域的矩形形狀的有機(jī)膜除去范圍的角落部為起點(diǎn)放射狀地發(fā)生。此外，該涂敷斑17不是停留在框緣區(qū)域42內(nèi)，而是還遍及顯示區(qū)域41而寬范圍地發(fā)生。在此，使用圖13對(duì)涂敷斑17的發(fā)生機(jī)理(mechanism )進(jìn)行說明。 圖13 (a)是將有機(jī)膜除去范圍的凸形狀部分放大的示意圖，表示密封 圖形的角12區(qū)域中的有機(jī)膜8的構(gòu)圖形狀。圖13 (b)是圖13 (a)的 D-D剖面圖。再有，為了便于說明，在圖13 (a)中將在以后的面板粘 合工序中形成的密封圖形11以虛線標(biāo)出。在將顯示區(qū)域41內(nèi)的有機(jī)膜 8構(gòu)圖為規(guī)定形狀時(shí)，同時(shí)形成框緣區(qū)域42的有機(jī)膜除去范圍。具體是， 以光刻工藝對(duì)有機(jī)膜8構(gòu)圖之后，通過干法刻蝕(dry etching)除去露 出的絕緣膜7。即，在有機(jī)膜除去范圍中除去有機(jī)膜8以及絕緣膜7， 在有機(jī)膜除去范圍和有機(jī)膜除去范圍周邊之間形成有3~4^m以上的臺(tái) 階差。此外，如圖13 (b)所示，有機(jī)膜除去范圍的側(cè)面相對(duì)于基板1 成為大致垂直、或急陡的錐形(taper)形狀。因此，有機(jī)膜除去范圍的 凸形狀部分通過高且陡的側(cè)壁被3方向包圍。而且，在有機(jī)膜除去范圍形成后，作為后續(xù)工序例如利用金屬膜形 成反射電極或透明電極等。具體是，將金屬膜成膜，在其上以旋涂來涂 敷用于對(duì)金屬膜構(gòu)圖的抗蝕劑。此時(shí)，因?yàn)橥ㄟ^高且陡的側(cè)壁被3方向 包圍，所以在有機(jī)膜除去范圍的凸形狀部分(特別是角落部)，在旋涂 中抗蝕劑容易滯留。當(dāng)抗蝕劑積存成為飽和狀態(tài)時(shí)，滯留的抗蝕劑從凸 形狀的角落部像被扒出那樣地排出，使放射狀的涂敷斑17發(fā)生。雖然在沒有涂敷斑17的部分中，抗蝕劑的膜厚大致均一地涂敷， 但在這樣的涂敷斑17發(fā)生的部分中，抗蝕劑的膜厚不均一。即，在涂 敷斑17的部分中，形成有膜厚比沒有涂敷斑17的部分厚或薄的抗蝕劑。 當(dāng)抗蝕劑的膜厚厚時(shí)，有時(shí)應(yīng)被除去的區(qū)域卻沒有被除去而殘留下來。 因此，在涂敷斑17的部分中，抗蝕劑不能構(gòu)圖為所希望的形狀。進(jìn)而， 由于經(jīng)由這樣的抗蝕劑圖形來進(jìn)行金屬膜的刻蝕(etching)，所以在涂 敷斑17的部分不能得到規(guī)定的形狀。在使用這樣的面板的顯示裝置中， 存在發(fā)生顯示斑等并會(huì)招致顯示品質(zhì)或成品率下降的問題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是為了解決上述這樣的問題而做出的，其目的是提供一種顯 示品質(zhì)優(yōu)越的液晶顯示裝置及其制造方法。涉及本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法在經(jīng)由切斷線矩陣(matrix) 狀地配置有多個(gè)面板的母板上，形成具有跨過上述切斷線的液晶注入口 密封圖形的密封圖形，在上述切斷線上對(duì)上述母板進(jìn)行切斷，切斷成每 個(gè)上述面板，其中該方法具備下述工序在上述母板上涂敷有機(jī)膜；對(duì) 上述有機(jī)膜進(jìn)行構(gòu)圖，形成沿著上述切斷線設(shè)置并具有與上述有機(jī)膜的 邊界線成為曲線而寬度變寬地形成的寬幅部的有機(jī)膜除去區(qū)域；在上述 進(jìn)行了構(gòu)圖的有機(jī)膜上涂敷感光性樹脂；在上述母板上形成包圍上述面 板的顯示區(qū)域的密封圖形，將上述液晶注入口密封圖形形成在鄰接的上 述面板的上述寬幅部；以及在上述切斷線上對(duì)上述母板進(jìn)行切斷，以便 分離上述液晶注入口密封圖形。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供顯示品質(zhì)優(yōu)越的液晶顯示裝置及其制造方法。


圖1是表示涉及實(shí)施方式1的TFT陣列基板的結(jié)構(gòu)的正面圖。圖2是表示涉及實(shí)施方式1的半透射型液晶顯示裝置的TFT陣列基板的一個(gè)結(jié)構(gòu)例的剖面圖。圖3是表示涉及實(shí)施方式1的面板配置的平面圖。圖4是表示涉及實(shí)施方式1的密封圖形的配置的圖。圖5是表示涉及實(shí)施方式1的在有機(jī)膜的框緣區(qū)域內(nèi)的構(gòu)圖形狀的示意圖。圖6是表示涉及實(shí)施方式1的在密封圖形的角區(qū)域中的有機(jī)膜構(gòu)圖 形狀的平面圖。圖7是表示涉及實(shí)施方式2的在密封圖形的角區(qū)域中的有機(jī)膜構(gòu)圖 形狀的平面圖。圖8是表示涉及實(shí)施方式3的在密封圖形的角區(qū)域中的有機(jī)膜構(gòu)圖 形狀的平面圖。圖9是表示涉及實(shí)施方式4的在密封圖形的角區(qū)域中的有機(jī)膜構(gòu)圖 形狀的平面圖和剖面圖。圖10是表示涉及實(shí)施方式5的在密封圖形的角區(qū)域中的有機(jī)膜構(gòu) 圖形狀的平面圖和剖面圖。圖11是表示在框緣區(qū)域內(nèi)的有機(jī)膜的構(gòu)圖形狀的示意圖。圖12是表示起因于框緣區(qū)域內(nèi)的有機(jī)膜的構(gòu)圖形狀的在后續(xù)工序 的涂敷斑的圖。圖13是表示涉及現(xiàn)有技術(shù)的在密封圖形的角區(qū)域中的有機(jī)膜的構(gòu) 圖形狀的平面圖和剖面圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施方式1首先，使用圖1對(duì)涉及本發(fā)明的液晶顯示裝置進(jìn)行說明。圖l是表 示使用于液晶顯示裝置中的TFT陣列(array)基板結(jié)構(gòu)的正面圖。關(guān)于 該液晶顯示裝置的整體結(jié)構(gòu)，在以下敘述的第1 第5實(shí)施方式是通用的。涉及本發(fā)明的液晶顯示裝置具備具有絕緣性的基板1?；?例如 是TFT陣列基板等的陣列基板。在基板1設(shè)置有顯示區(qū)域41和以包圍 顯示區(qū)域41的方式設(shè)置的框緣區(qū)域42。在該顯示區(qū)域41中，形成有多 條柵極(gate)布線(掃描信號(hào)線)43和多條源極(source)布線(顯 示信號(hào)線)44。多條柵極布線43平行地設(shè)置。同樣地，多條源極布線 44平行地設(shè)置。柵極布線43和源極布線44以互相交叉的方式形成。柵 才及布線43和源4及布線44正交。以鄰接的4冊(cè)4及布線43和源才及布線44包 圍的區(qū)域成為像素47。因此，在基板l中，像素47呈矩陣狀地排列。進(jìn)而，在基板1的框緣區(qū)域42中，設(shè)有掃描信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路45和顯 示信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路46。 4冊(cè)極布線43/人顯示區(qū)域41到框緣區(qū)域42延伸設(shè) 置。而且，柵極布線43在基板1的端部連接至掃描信號(hào)驅(qū)動(dòng)電if各45。 源極布線44也同樣地從顯示區(qū)域41到框緣區(qū)域42延伸設(shè)置。而且， 源極布線44在基板1的端部與顯示信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路46連接。在掃描信號(hào) 驅(qū)動(dòng)電路45的附近，連接有外部布線48。此外，在顯示信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路 46的附近,連接有外部布線49。外部布線48、 49例如是FPC (Flexible Printed Circuit:柔性印刷電路)等的布線基板。來自外部的各種信號(hào)經(jīng)由外部布線48、 49供給到掃描信號(hào)驅(qū)動(dòng)電 路45、以及顯示信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路46。掃描信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路45基于來自外部 的控制信號(hào)，對(duì)柵極布線43供給柵極信號(hào)(掃描信號(hào))。根據(jù)該柵極 信號(hào)，柵極布線43被依次選擇。顯示信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路46基于來自外部的 控制信號(hào)、或顯示數(shù)據(jù)(data)對(duì)源極布線44供給顯示信號(hào)。由此，能夠向各像素47供給對(duì)應(yīng)于顯示數(shù)據(jù)的顯示電壓。再有，掃描信號(hào)驅(qū)動(dòng) 電路45和顯示信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路46并不局限于在基板1上配置的結(jié)構(gòu)。例 如通過TCP ( Tape Carrier Package:帶載封裝)連接驅(qū)動(dòng)電路也可。在像素47內(nèi)，形成有至少1個(gè)TFT50。 TFT50被配置在源極布線 44和柵極布線43的交叉點(diǎn)附近。例如，該TFT50對(duì)像素電極供給顯示 電壓。即，通過來自柵極布線43的柵極信號(hào)，使作為開關(guān)(switching) 元件的TFT50導(dǎo)通(on)。由此，從源極布線44對(duì)連接在TFT50的漏 (drain)電極上的像素電極施加顯示電壓。而且，在像素電極與對(duì)置電 極之間，產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于顯示電壓的電場(chǎng)，再有，在基板l的表面形成有取 向膜(未圖示)。進(jìn)而，在基板1上對(duì)置地配置有對(duì)置基板。對(duì)置基板例如是濾色器 (color filter)基板，配置于可視側(cè)。在對(duì)置基板上，形成有濾色器、黑 矩陣(black matrix) (BM)、對(duì)置電極以及取向膜等。再有，對(duì)置電 極也有配置在基板1一側(cè)的情況。而且，在基板1與對(duì)置基板之間夾持 有液晶層。即，液晶被導(dǎo)入至基板1與對(duì)置基板之間。進(jìn)而，在基板1 與對(duì)置基板的外側(cè)的面上設(shè)置有偏振片以及相位延遲片等。此外，在液 晶顯示面板的可視側(cè)相反側(cè)，配設(shè)有背光源單元(backlight unit)等。根據(jù)像素電極和對(duì)置電極之間的電場(chǎng)從而驅(qū)動(dòng)液晶。即，基板間的 液晶的取向方向變化。由此，通過液晶層的光的偏振狀態(tài)變化。即，通 過偏振片變?yōu)榫€偏振光的光根據(jù)液晶層其偏振狀態(tài)變化。具體是，來自 背光源單元的光根據(jù)陣列基板側(cè)的偏振片變成線偏振光。而且，該線偏 振光通過液晶層，由此偏振狀態(tài)變化。因此，根據(jù)偏振狀態(tài)，通過對(duì)置基板側(cè)的偏振片的光量變化。即， 從背光源單元透射液晶顯示面板的透射光中，通過可^L側(cè)的偏振片的光 的光量變化。液晶的取向方向根據(jù)被施加的顯示電壓而變化。因此，通 過控制顯示電壓，就能夠使通過可視側(cè)的偏振片的光量變化。即，通過 按每個(gè)像素改變顯示電壓，就能顯示所希望的圖像。接著，參照?qǐng)D2對(duì)用于半透射型液晶顯示裝置中的TFT陣列基板的 剖面結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖2是表示涉及本實(shí)施方式的半透射型液晶顯示裝 置的TFT陣列基板的一個(gè)結(jié)構(gòu)例的剖面圖。在圖2中，在基板l上通過 第1電極膜形成有柵極電極2以及輔助電容電極3。柵極絕緣膜4以覆 蓋這些柵極電極2以及輔助電容電極3的方式通過第1絕緣膜形成。在柵極絕緣膜4上設(shè)有半導(dǎo)體層5,進(jìn)而在其上通過第2金屬膜形成有源 極、漏極電極6。以覆蓋源極、漏極電極6的方式形成有絕緣膜7。在絕緣膜7上設(shè)有有機(jī)膜8。在像素電極的反射部中，在有機(jī)膜8 的表面形成有凹凸圖形。再有，在像素電極的透射部中，有機(jī)膜8、柵 極絕緣膜4以及絕緣膜7被除去。而且，在這些之上設(shè)有像素電極9。 作為像素電極9，在透射部設(shè)有ITO等的透明電極9a,在反射部進(jìn)而在 其上形成有鉻(chrome)等的反射電極9b。這樣，在顯示區(qū)域41內(nèi)將 有機(jī)膜8構(gòu)圖為規(guī)定的形狀。這樣的液晶顯示裝置一般是將配置在1塊母板上的多個(gè)面板切斷從 而形成。圖3是表示母板內(nèi)的面板配置的平面圖。如圖3所示，各面板 19以上下左右的間隔為零的方式配置在母板100上。由此，多個(gè)面板 19經(jīng)由切斷線矩陣狀地排列。使用圖4對(duì)這時(shí)的密封圖形的配置進(jìn)行說 明。圖4是表示密封圖形的配置的圖，是將圖3的A區(qū)域放大了的圖。 在圖4中，形成有密封圖形11,該密封圖形11具有包圍顯示區(qū)域41的 框狀的密封圖形、以及從框狀的密封圖形突出設(shè)置的液晶注入口密封圖 形。在此，將液晶注入口密封圖形稱為密封圖形的角12。密封圖形的角 12以3爭(zhēng)過切斷線10的方式配置，溢出至鄰接的面^反19而形成。由此， 在面板19的框緣區(qū)域42中，在與設(shè)置有液晶注入口的基板的端邊對(duì)置 的端邊上形成有密封圖形的角12。接著，使用圖5以及圖6對(duì)框緣區(qū)域42內(nèi)的有機(jī)膜8的構(gòu)圖形狀 進(jìn)行說明。圖5是表示框緣區(qū)域42內(nèi)的有機(jī)膜8的構(gòu)圖形狀的示意圖。 圖6是將在密封圖形的角12區(qū)域中的有機(jī)膜除去范圍放大記述的平面 圖。再有，為了說明方便，在圖5以及圖6中將在后面的面板粘合工序 中形成的密封圖形11用虛線標(biāo)出。在圖5中，與在圖11表示的現(xiàn)有技術(shù)同樣地，設(shè)置為框緣狀的密 封框的4條邊中，沿著與設(shè)置有注入口的邊鄰接的面板切斷線10,形成 有條紋狀的有機(jī)膜除去范圍(有機(jī)膜除去范圍13)。而且，在安裝用對(duì) 準(zhǔn)標(biāo)記以及其周邊，有機(jī)膜被除去(有機(jī)膜除去范圍15)。此外，以從 沿著切斷線的條紋狀的有機(jī)膜除去范圍13延伸的形式，除去FPC端子 粘著部上的有機(jī)膜(有機(jī)膜除去范圍14)。進(jìn)而如在圖6放大表示的那 樣，在本實(shí)施方式中除去了有機(jī)膜的切口圖形(slit pattern )以包圍密封 圖形的角12區(qū)域的方式形成為-字型("-"-shaped)(有機(jī)膜除去范圍161),延伸設(shè)置到條紋狀的除去范圍。形成有機(jī)膜除去范圍161的3字型的切口圖形的寬度優(yōu)選越細(xì)越好,在這里形成為寬度大約是5nm的切口圖形。在-字型的切口圖形的內(nèi)側(cè) 有機(jī)膜不被除去而殘留。即，在擴(kuò)張為矩形形狀的開口部設(shè)置有島狀的 分離圖形20。矩形形狀的分離圖形20從顯示區(qū)域41的有機(jī)膜8分離。 分離圖形20在有機(jī)膜除去范圍161和切斷線IO之間形成。此外，分離 圖形20的3條邊被3字型的有機(jī)膜除去范圍161所包圍，剩下的一條 邊被有機(jī)膜除去范圍13所包圍。密封圖形的角12以橫切切斷線10的 方式設(shè)置，密封圖形的角12部前端被配置在分離圖形20上。接著，對(duì)涉及本實(shí)施方式1的液晶顯示裝置的制造方法進(jìn)行說明。 首先，在基板l上成膜第1電極膜。例如可以使用鉻、鉬(molybdenum )、 鉭(tantalum)、鈦(titanium)、鋁(aluminum)、銅或?qū)@些孩i量地 添加了其它物質(zhì)的合金、或由這些層疊而成的膜。接著通過光刻工藝對(duì) 柵極電極2、以及輔助電容電極3進(jìn)行構(gòu)圖。接著，以覆蓋柵極電極2、 以及輔助電容電極3的方式形成柵極絕緣膜4。在柵極絕緣膜4上形成 半導(dǎo)體層5。作為半導(dǎo)體層5使用非晶硅(amorphous silicon)或多晶硅 (poly silicon)等的膜對(duì)形成TFT的部分進(jìn)行構(gòu)圖。進(jìn)而以濺射 (sputtering)等的方法成膜第2金屬膜，以光刻工藝構(gòu)圖以形成源極、 漏極電極6。接著通過等離子體CVD形成絕緣膜7。接著形成有機(jī)膜8。在本實(shí)施方式中在框緣區(qū)域42內(nèi)以如下方式形 成具有有機(jī)膜除去范圍的有機(jī)膜8。首先，在絕緣膜7上通過旋涂來涂 敷有機(jī)膜8。有機(jī)膜8是公知的感光性有機(jī)膜，例如使用JSR制PC335 或PC405。有機(jī)膜8以3 ~4pm左右的膜厚涂敷。接著，通過光刻工藝 對(duì)有機(jī)膜8構(gòu)圖。由此，在顯示區(qū)域41內(nèi)有機(jī)膜8被構(gòu)圖為所希望的 形狀，并且在框緣區(qū)域42內(nèi)除去具有機(jī)膜除去范圍的有機(jī)膜8。具體是， 沿著面板切斷線10有機(jī)膜8被條紋狀地除去(有機(jī)膜除去范圍13), 與該條紋狀的有機(jī)膜除去范圍相鄰接地將有機(jī)膜8除去為3字型(有機(jī) 膜除去范圍161)。此外，除去FPC端子粘著部、安裝用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記周邊 的有機(jī)膜8 (有機(jī)膜除去范圍14、 15)。之后，通過干法刻蝕來除去露 出的絕緣膜7以及柵極絕緣膜4。在有機(jī)膜8形成后，形成像素電極9。以濺射等方法成膜ITO、Sn02、 IZO等透明導(dǎo)電膜。接著在透明導(dǎo)電膜上通過旋涂來涂敷抗蝕劑(感光性樹脂)，通過光刻工藝形成抗蝕劑圖形。以該抗蝕劑圖形作為掩模(mask)將透明導(dǎo)電膜刻蝕成透明電極9a等的形狀。進(jìn)而，以濺射等 的方法成膜成為反射電極9b的金屬薄膜。而且，在金屬薄膜上通過旋 涂來涂敷抗蝕劑，通過光刻工藝形成抗蝕劑圖形。以該抗蝕劑圖形作為 掩模將金屬薄膜刻蝕成反射電極9b等的形狀?；蛘撸枚嗉?jí)曝光通 過1次光刻工藝來形成透明電極9a和反射電極9b。特別是由于在多級(jí) 曝光中抗蝕劑的膜厚控制很重要，所以在通過旋涂來涂敷抗蝕劑時(shí)需要 使涂敷斑不發(fā)生。經(jīng)過以上的工序完成TFT陣列基板。在這樣制造的TFT陣列基板和濾色器等的對(duì)置基板上形成取向膜。 而且，對(duì)該取向膜，在與液晶的接觸面上在一個(gè)方向上施加f武以微小(micro )傷痕的取向處理(摩擦(mbbing)處理)。接著，涂敷密封(seal) 材料并與對(duì)置基板粘合。在TFT陣列基板上，以密封圖形的角12部前 端配置在-字型的有機(jī)膜除去范圍161內(nèi)側(cè)的分離圖形20上的方式形 成密封圖形11,并與對(duì)置基板重合?；蛘?，在對(duì)置基板上形成密封圖形 11,以密封圖形的角12部前端配置在分離圖形20上的方式與TFT陣列 基板重合也可。以液晶盒間隙(cell gap)成為規(guī)定值的方式加壓并同時(shí)使密封圖形 11固化之后，沿著切斷線10切斷成各面板19。因?yàn)槊芊鈭D形的角12 以;潢切切斷線10的方式形成，所以;波分離。由此，在切斷后的面i119 上，在與設(shè)置有注入口的端邊對(duì)置的端邊上，密封圖形的角12的一部 分，即與密封圖形11相同的密封材料殘留。接著，使用真空注入法等 從液晶注入口注入液晶。或者，切斷成棒(stick)狀，對(duì)多個(gè)面板19 進(jìn)行液晶注入也可。液晶通過2個(gè)角之間，注入到框狀的密封圖形內(nèi)。 而且，在2個(gè)角之間充填封裝用樹脂，封裝液晶注入口。這樣，完成本 實(shí)施方式的液晶顯示裝置。如上所述，在本實(shí)施方式中-字型的有機(jī)膜除去范圍161延伸設(shè)置 到有機(jī)膜除去范圍13中而形成。通過將有機(jī)膜8除去為這樣的形狀， 從而使密封圖形的角12區(qū)域的有機(jī)膜除去范圍的面積變小。即，在后 續(xù)工序中通過旋涂來涂敷抗蝕劑(感光性樹脂)時(shí)，由于在該有機(jī)膜除 去范圍內(nèi)滯留的抗蝕劑的量變少，所以能夠防止涂敷斑的發(fā)生。例如， 能夠防止在對(duì)像素電極9的金屬薄膜或透明導(dǎo)電膜構(gòu)圖時(shí)的發(fā)生在抗蝕 劑圖形上的涂敷斑。因此，在使用了這樣的面板的顯示裝置中防止了顯示斑的發(fā)生，所以能夠提高顯示品質(zhì)，提高成品率。實(shí)施方式2使用圖7對(duì)本實(shí)施方式的框緣區(qū)域42內(nèi)的有機(jī)膜8的構(gòu)圖形狀進(jìn) 行說明。圖7是表示涉及本實(shí)施方式的有機(jī)膜除去范圍形狀的平面圖， 放大記載了密封圖形的角12區(qū)域中的有機(jī)膜除去范圍。在本實(shí)施方式 中，密封圖形的角12區(qū)域中的有機(jī)膜除去范圍的形狀與實(shí)施方式1不 同，由于除此以外的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式1相同，所以省略說明。再有，為 了便于說明，在圖7中將在后面的面板粘合工序中形成的密封圖形11 以虛線標(biāo)出。在圖7中，沿著與設(shè)置了注入口的密封框的邊鄰接的面板切斷線10, 形成有條紋狀的有機(jī)膜除去范圍13。而且，以從沿著面板切斷線 10的條紋狀的有機(jī)膜除去范圍13延伸的形式，密封圖形的角12部以及 其周邊的有機(jī)膜以擴(kuò)張為圓弧狀的方式被除去(有機(jī)膜除去范圍162)。 有機(jī)膜除去范圍162在密封圖形的2個(gè)角之間變成寬度最寬。而且，隨 著從2個(gè)角的中間離開，寬度變窄。由此，有機(jī)膜除去范圍162的邊界 線通過圓弧狀的曲線形成。有機(jī)膜除去范圍162的外周端擴(kuò)張成圓弧狀 而形成寬幅部。密封圖形的角12以橫切切斷線10的方式設(shè)置，在成為 該寬幅部的位置即有機(jī)膜除去范圍162內(nèi)配置有密封圖形的角12部前 端。接著，對(duì)涉及本實(shí)施方式的液晶顯示裝置的制造方法進(jìn)行說明。在 本實(shí)施方式中，只是有機(jī)膜8的形成工序與實(shí)施方式1不同，由于除此 之外的工序與實(shí)施方式1相同，所以省略其說明。在涂敷了有機(jī)膜8之 后，通過光刻工藝進(jìn)行構(gòu)圖。此時(shí)，使用具有與實(shí)施方式1不同的圖形 的光掩才莫(photomask)。由此，在框緣區(qū)域42中形成有與實(shí)施方式1 不同形狀的有機(jī)膜除去范圍。之后，通過干法刻蝕除去露出的絕緣膜7。 而且，在經(jīng)過各種后續(xù)工序之后的面板粘合工序中，以密封圖形的角12 部前端配置在圓弧狀的有機(jī)膜除去范圍162內(nèi)側(cè)的方式形成密封圖形11。 在面板粘合之后，沿著切斷線10切斷成各面板19。因?yàn)槊芊鈭D形 的角12以對(duì)黃切切斷線10的方式形成，所以在切斷后的面板19中在與 設(shè)置有注入口的端邊對(duì)置的端邊上，密封圖形的角12的一部分、即與 密封圖形ll相同的密封材料殘留。如上所述，在本實(shí)施方式中，圓弧狀的有機(jī)膜除去范圍162延伸設(shè)置到條紋狀的有機(jī)膜除去范圍13中而形成。通過將有機(jī)膜8除去為這 樣的形狀，從而使在密封圖形的角12區(qū)域的有機(jī)膜除去范圍沒有形成角落部。即，在后續(xù)工序中通過旋涂來涂敷抗蝕劑時(shí)，在該有機(jī)膜除去 范圍中抗蝕劑變得很難滯留，能夠防止涂敷斑的發(fā)生。例如，能夠防止在對(duì)像素電極9的金屬薄膜或透明導(dǎo)電膜構(gòu)圖時(shí)的在抗蝕劑圖形上發(fā)生 的涂敷斑。因此，在使用了這樣的面板的顯示裝置中防止了顯示斑的發(fā) 生，所以能夠提高顯示品質(zhì)，提高成品率。此外，由于在密封圖形的角 12正下方?jīng)]有形成有機(jī)膜8,所以能夠防止密封圖形的剝離。 實(shí)施方式3使用圖8對(duì)在本實(shí)施方式的框緣區(qū)域內(nèi)的有機(jī)膜構(gòu)圖形狀進(jìn)行說 明。圖8是表示涉及本實(shí)施方式的有機(jī)膜除去范圍的形狀的平面圖，放 大記載了密封圖形的角12區(qū)域中的有機(jī)膜除去范圍。在本實(shí)施方式中， 密封圖形的角12區(qū)域中的有機(jī)膜除去范圍的形狀與實(shí)施方式1、2不同， 由于除此以外的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式1、 2相同，所以省略說明。再有，為 了便于說明，在圖8中將在后面的面板粘合工序中形成的密封圖形11 以虛線標(biāo)出。在圖8中，沿著與設(shè)置了注入口的密封框的邊鄰接的面板切斷線 10,形成有條紋狀的有機(jī)膜除去范圍13。而且，以從沿著面板切斷線 10的條紋狀的有機(jī)膜除去范圍13延伸的形式，在2處將有機(jī)膜以擴(kuò)張 為凸形狀的方式除去(有機(jī)膜除去范圍163)。即，密封圖形的角12有 2根，只有各個(gè)角以及其周邊的有機(jī)膜8被寬度較寬地除去，形成有有 機(jī)膜除去范圍163。因此，本實(shí)施方式的有機(jī)膜除去范圍163,比在圖 13所示的現(xiàn)有技術(shù)的有機(jī)膜除去范圍16其寬度尺寸變小。在凸形狀的 有機(jī)膜除去范圍中，在一方的有機(jī)膜除去范圍和另一方的有機(jī)膜除去范 圍之間，有機(jī)膜8不被除去而殘留。即，在2個(gè)角之間配置有有機(jī)膜8。 設(shè)置于顯示區(qū)域41中的有機(jī)膜8延伸到2個(gè)角之間。在圖8中，有機(jī) 膜除去范圍163具有矩形形狀。密封圖形的角12以橫切切斷線10的方 式設(shè)置，在各有機(jī)膜除去范圍163中1個(gè)1個(gè)地配置有密封圖形的角12 部前端。接著，對(duì)涉及本實(shí)施方式的液晶顯示裝置的制造方法進(jìn)行說明。在 本實(shí)施方式中，只有有機(jī)膜8的形成工序與實(shí)施方式1、 2不同，由于 除此之外的工序與實(shí)施方式1、 2同樣，所以省略其說明。在涂敷了有機(jī)膜8之后，通過光刻工藝進(jìn)行構(gòu)圖。此時(shí)，使用具有與實(shí)施方式l、 2 不同的圖形的光掩模。由此，在框緣區(qū)域42中形成有與實(shí)施方式1、 2 不同形狀的有機(jī)膜除去范圍。之后，通過干法刻蝕除去露出的絕緣膜7。 而且，在經(jīng)過各種后續(xù)工序之后的面板粘合工序中，以密封圖形的角12 部前端分別配置在凸形狀的有機(jī)膜除去范圍163內(nèi)側(cè)的方式形成密封圖 形ll。在面板粘合之后，沿著切斷線IO切斷成各面板19。因?yàn)槊芊鈭D 形的角12以橫切切斷線10的方式形成，所以在切斷后的面板19中在 與設(shè)置有注入口的端邊對(duì)置的端邊上，密封圖形的角12的一部分、即 與密封圖形ll相同的密封材料殘留。如上所述，在本實(shí)施方式中，具有凸形狀的2個(gè)有機(jī)膜除去范圍163 延伸設(shè)置到條紋狀的有機(jī)膜除去范圍13中而形成。通過將有機(jī)膜8除 去為這樣的形狀，從而使密封圖形的角12區(qū)域的有機(jī)膜除去范圍面積 變小。即，在后續(xù)工序中通過旋涂來涂敷抗蝕劑時(shí)，由于在該有機(jī)膜除 去范圍內(nèi)滯留的抗蝕劑的量變少，所以能夠防止涂敷斑的發(fā)生。例如， 能夠防止在對(duì)像素電極9的金屬薄膜或透明導(dǎo)電膜構(gòu)圖時(shí)的在抗蝕劑圖 形上發(fā)生的涂敷斑。因此，在使用了這樣的面板的顯示裝置中防止了顯 示斑的發(fā)生，所以能夠提高顯示品質(zhì)，提高成品率。此外，由于在密封 圖形的角12正下方?jīng)]有形成有機(jī)膜8，所以能夠防止密封圖形的剝離。實(shí)施方式4使用圖9對(duì)本實(shí)施方式的在框緣區(qū)域內(nèi)的有機(jī)膜構(gòu)圖形狀進(jìn)行說 明。圖9(a)是表示涉及本實(shí)施方式的有機(jī)膜除去范圍的形狀的平面圖， 放大記載了在密封圖形的角12區(qū)域中的有機(jī)膜除去范圍。圖9 (b)是 圖9 (a)的B-B剖面圖。在本實(shí)施方式中，在框緣區(qū)域42中的有機(jī)膜 除去范圍的剖面形狀具有特征，與實(shí)施方式1~3、以及圖13所示的現(xiàn) 有技術(shù)的剖面形狀不同。由于除此以外的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式1-3同樣， 所以省略說明。再有，為了便于說明，在圖9 ( a )中將在后面的面板 粘合工序中形成的密封圖形11以虛線標(biāo)出。在圖9 (a)中，與圖13 (a)所示的現(xiàn)有技術(shù)同樣，矩形形狀的有 機(jī)膜除去范圍16延伸設(shè)置到條紋狀的有機(jī)膜除去范圍13中而形成。密 封圖形的角12以橫切切斷線10的方式設(shè)置，在該矩形形狀的有機(jī)膜除 去范圍16內(nèi)配置有密封圖形的角12部前端。在本實(shí)施方式中，有機(jī)膜 除去范圍的側(cè)面如圖9 (b)所示相對(duì)于基板成為緩和的錐形。即，形成有機(jī)膜除去范圍16的側(cè)面的有機(jī)膜8的端部具有緩和的錐角。此外，在有機(jī)膜8下設(shè)置的絕緣膜7的端部也成為反映了有機(jī)膜8的端部形狀 的緩和的錐角。例如，形成有機(jī)膜除去范圍16的側(cè)面的有機(jī)膜8以及 絕緣膜7的傾斜角為60度以下。接著，對(duì)涉及本實(shí)施方式的液晶顯示裝置的制造方法進(jìn)行說明。在 本實(shí)施方式中，只是有機(jī)膜8的形成工序與實(shí)施方式1 ~3不同，除此 之外的工序與實(shí)施方式1~3同樣，所以省略說明。在涂敷了有機(jī)膜8 之后，在本實(shí)施方式中使用具備切口圖形的掩模圖形(切口圖形掩模) 進(jìn)行曝光。在切口圖形掩模上，在開口部(曝光部)的外周上，曝光機(jī) 的分辨率以下的切口圖形以分辨率以下的間隔設(shè)置。使用這樣的切口圖 形掩^^莫， 一邊適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)曝光量一邊進(jìn)行曝光、顯影。由此，由于在開 口部的外周比開口部被照射的曝光量少，所以變成平緩的錐形形狀。之 后，通過干法刻蝕除去露出的絕緣膜7。這時(shí)，由于與露出的絕緣膜7 同時(shí)有機(jī)膜8也被除去，所以干法刻蝕后的絕緣膜7變成反映了干法刻 蝕前的有機(jī)膜8的錐形形狀的錐形形狀。而且，在經(jīng)過各種后續(xù)工序后的面板粘合工序中，以將密封圖形的 角12部前端配置在矩形形狀的有機(jī)膜除去范圍16內(nèi)側(cè)的方式形成密封 圖形11。在面板粘合后，沿著切斷線IO切斷成各面板19。因?yàn)槊芊鈭D 形的角12以橫切切斷線10的方式形成，所以在切斷后的面板19中在 與設(shè)置有注入口的端邊對(duì)置的端邊上，密封圖形的角12的一部分、即 與密封圖形ll相同的密封材料殘留。如上所述，在本實(shí)施方式中，矩形形狀的有機(jī)膜除去范圍16延伸 設(shè)置到條紋狀的有機(jī)膜除去范圍13中而形成。有機(jī)膜除去范圍16的側(cè) 面相對(duì)于基板具有緩和的錐形形狀。通過將有機(jī)膜8除去為這樣的形狀， 從而使密封圖形的角12區(qū)域的有機(jī)膜除去范圍16不被急陡的側(cè)壁所包 圍，該側(cè)壁平緩地連結(jié)至有機(jī)膜形成區(qū)域。即，在后續(xù)工序中通過旋涂 來涂敷抗蝕劑時(shí)，由于在該有機(jī)膜除去范圍16中抗蝕劑變得難以滯留， 所以能夠防止涂敷斑的發(fā)生。例如，能夠防止在對(duì)像素電極9的金屬薄 膜或透明導(dǎo)電膜構(gòu)圖時(shí)的在抗蝕劑圖形上發(fā)生的涂敷斑。因此，在使用 了這樣的面板的顯示裝置中防止了顯示斑的發(fā)生，所以能夠提高顯示品 質(zhì)，提高成品率。實(shí)施方式5使用圖10對(duì)本實(shí)施方式的在框緣區(qū)域內(nèi)的有機(jī)膜構(gòu)圖形狀進(jìn)行說明。圖10 (a)是表示涉及本實(shí)施方式的有機(jī)膜除去范圍的形狀的平面 圖，放大記載了在密封圖形的角區(qū)域中的有機(jī)膜除去范圍。圖10(b) 是圖10 (a)的C-C剖面圖。在本實(shí)施方式中，在框緣區(qū)域42中的有機(jī) 膜除去范圍的剖面形狀具有特征，與實(shí)施方式1-4、以及圖13所示的 現(xiàn)有技術(shù)的剖面形狀不同。由于除此以外的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式1~4相同， 所以省略說明。再有，為了便于說明，在圖10( a )中將在后面的面板 粘合工序中形成的密封圖形11以虛線標(biāo)出。在圖10 (a)中，與實(shí)施方式5以及圖13 (a)所示的現(xiàn)有技術(shù)相 同，矩形形狀的有機(jī)膜除去范圍16延伸設(shè)置到條紋狀的有機(jī)膜除去范 圍13中而形成。密封圖形的角12以橫切切斷線10的方式設(shè)置，在該 矩形形狀的有機(jī)膜除去范圍16內(nèi)配置有密封圖形的角12部前端。在本 實(shí)施方式中，有機(jī)膜除去范圍16的側(cè)面如圖10 (b)所示那樣成為臺(tái)階 狀。例如，在圖10 (b)中在1級(jí)絕緣膜7上形成有3級(jí)的有機(jī)膜8。接著，對(duì)涉及本實(shí)施方式的液晶顯示裝置的制造方法進(jìn)行說明。在 本實(shí)施方式中，只是有機(jī)膜8的形成工序與實(shí)施方式1 ~4不同，除此 之外的工序與實(shí)施方式1~4相同，所以省略說明。在涂敷了有機(jī)膜8 之后，在本實(shí)施方式中使用半色調(diào)(halftone)掩模、灰色調(diào)(gray tone ) 掩模等的多灰度(gradation)曝光來進(jìn)行曝光。在這些掩模上，在遮光 部和曝光部之間的區(qū)域設(shè)置有中間曝光部。在半色調(diào)掩模的中間曝光部 上形成有過濾(filter)膜，使用于曝光的波長(zhǎng)區(qū)域(通常350 ~450nm) 的光的透射量減少。在灰色調(diào)掩模的中間曝光部上，為了利用光衍射現(xiàn) 象的同時(shí)減少曝光量，設(shè)置有曝光機(jī)分辨率以下的切口圖形。使用這樣 的掩模， 一邊適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)曝光量一邊進(jìn)行曝光、顯影。由此，由于在中 間曝光部被照射了比曝光部少比遮光部多的曝光量，所以在有機(jī)膜8圖 形的外周部上形成有膜厚薄的薄膜部。因此，形成有具有2級(jí)臺(tái)階狀的 有機(jī)膜8。例如當(dāng)使用在曝光部和遮光部之間設(shè)置有具有不同透射量特 性的2種中間曝光部(透射量66%的中間曝光部、透射量33%的中間曝 光部等)的掩模時(shí)，能夠如圖10 (b)那樣形成3級(jí)的有機(jī)膜8。之后，通過干法刻蝕除去露出的絕緣膜7。這時(shí)，由于與露出的絕 緣膜同時(shí)有機(jī)膜8也被除去，所以在干法刻蝕后成為進(jìn)而追加了 l級(jí)絕 緣膜的剖面形狀。而且，在經(jīng)過各種后續(xù)工序后的面板粘合工序中，以將密封圖形的角12部前端配置在矩形形狀的有機(jī)膜除去范圍16內(nèi)側(cè)的方式形成密封圖形11。在面板粘合后，沿著切斷線IO切斷成各面板19。 因?yàn)槊芊鈭D形的角12以橫切切斷線10的方式形成，所以在切斷后的面 板19中在與設(shè)置有注入口的端邊對(duì)置的端邊上，密封圖形的角12的一 部分、即與密封圖形11相同的密封材料殘留。如上所述，在本實(shí)施方式中，矩形形狀的有機(jī)膜除去范圍16延伸 設(shè)置到條紋狀的有機(jī)膜除去范圍13中而形成。有機(jī)膜除去范圍16的側(cè) 面具有臺(tái)階狀的形狀。通過將有機(jī)膜8除去為這樣的形狀，從而使密封 圖形的角12區(qū)域的有機(jī)膜除去范圍16不被高且陡的側(cè)壁所包圍，該側(cè) 壁臺(tái)階狀地連結(jié)至有機(jī)膜形成區(qū)域。即，在后續(xù)工序中通過旋涂來涂敷 抗蝕劑時(shí)，由于在該有機(jī)膜除去范圍16中抗蝕劑變得難以滯留，所以 能夠防止涂敷斑的發(fā)生。例如，能夠防止在對(duì)像素電極9的金屬薄膜或 透明導(dǎo)電膜構(gòu)圖時(shí)的在抗蝕劑圖形上發(fā)生的涂敷斑。因此，在使用了這 樣的面板的顯示裝置中防止了顯示斑的發(fā)生，所以能夠提高顯示品質(zhì)，提向成品率。再有，在上述實(shí)施方式4、 5中，例示性地說明了在密封圖形的角 區(qū)域中的有機(jī)膜除去范圍的形狀是與現(xiàn)有技術(shù)相同的矩形形狀的情況， 但其它的形狀也可，例如實(shí)施方式1 3那樣的形狀也可。在實(shí)施方式1~5中，雖然對(duì)具有TFT陣列基板的有源(active )矩 陣型液晶顯示裝置進(jìn)行了說明，但是無源(passive)矩陣型液晶顯示裝 置也可。雖然例示性地說明了在有機(jī)膜8的后續(xù)工序中涂敷的抗蝕劑在 用于其下形成的層的刻蝕的掩模之后被除去的情況，但不除去而直接構(gòu) 成液晶顯示裝置也可。此外，雖然說明了使用在有機(jī)膜8的后續(xù)工序中 涂敷的抗蝕劑的圖形而形成像素電極9的例子，但也能夠形成液晶顯示 裝置的像素電極9以外的結(jié)構(gòu)要素。此外，只要是使用了有機(jī)膜8的液 晶顯示裝置即可，并不一定必須是半透射型的。以上的說明對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不局限于 以上的實(shí)施方式。此外，本領(lǐng)域技術(shù)人員在本發(fā)明的范圍內(nèi)，能夠容易 地對(duì)以上的實(shí)施方式的各要素進(jìn)行變更、追加以及轉(zhuǎn)換。
權(quán)利要求
1.一種液晶顯示裝置，具有有機(jī)膜，形成在基板上；以及密封圖形，以在上述有機(jī)膜上包圍顯示區(qū)域的方式設(shè)置并具有注入液晶的液晶注入口密封圖形，其中，沿著上述基板的端邊設(shè)置有除去了上述有機(jī)膜的有機(jī)膜除去區(qū)域，在上述基板的與設(shè)置有上述液晶注入口的端邊對(duì)置的端邊上，上述有機(jī)膜除去區(qū)域具有寬度變寬的寬幅部，在上述寬幅部設(shè)置有與上述密封圖形相同密封材料的圖形，上述有機(jī)膜與上述有機(jī)膜除去區(qū)域的上述寬幅部的邊界線包含曲線。
2. —種液晶顯示裝置，具有有機(jī)膜，形成在基板上；以及密封圖 形，以在上述有機(jī)膜上包圍顯示區(qū)域的方式設(shè)置并具有注入液晶的液晶 注入口密封圖形，其中，沿著上述基板的端邊設(shè)置有除去了上述有機(jī)膜的有機(jī)膜除去區(qū)域， 在上述基板的與設(shè)置有上述液晶注入口的端邊對(duì)置的端邊上，上述 有機(jī)膜除去區(qū)域具有寬度變寬的寬幅部，在上述寬幅部設(shè)置有2個(gè)與上述密封圖形相同的密封材料， 在上述2個(gè)密封材料之間配置有上述有機(jī)膜。
3. —種液晶顯示裝置，具有有機(jī)膜，形成在基板上；以及密封圖 形，以在上述有機(jī)膜上包圍顯示區(qū)域的方式設(shè)置并具有注入液晶的液晶 注入口密封圖形，其中，沿著上述基板的端邊設(shè)置有除去了上述有機(jī)膜的有機(jī)膜除去區(qū)域， 上述有機(jī)膜具有與設(shè)置在上述顯示區(qū)域內(nèi)的上述有機(jī)膜分離設(shè)置 的島狀分離圖形，在上述分離圖形上設(shè)置有與上述密封圖形相同的密封材料。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的液晶顯示裝置，其中，上述有機(jī)膜除去區(qū) 域?yàn)閷挾?pm以下，并以包圍上述島狀分離圖形的方式而形成。
5. —種液晶顯示裝置，具有有機(jī)膜，形成在基板上；以及密封圖 形，以在上述有機(jī)膜上包圍顯示區(qū)域的方式設(shè)置并具有注入液晶的液晶 注入口密封圖形，其中，沿著上述基板的端邊設(shè)置有除去了上述有機(jī)膜的有機(jī)膜除去區(qū)域， 在上述基板的與設(shè)置有上述液晶注入口的端邊對(duì)置的端邊上，上述有機(jī)膜除去區(qū)域具有寬度變寬的寬幅部，在上述寬幅部設(shè)置有與上述密封圖形相同密封材料的圖形， 在上述有機(jī)膜與上述有機(jī)膜除去區(qū)域的上述寬幅部的邊界上，上述有機(jī)膜的端面形成為錐形狀或臺(tái)階狀。
6. —種液晶顯示裝置的制造方法，在經(jīng)由切斷線矩陣狀地配置有多 個(gè)面板的母板上，形成具有跨過上述切斷線的液晶注入口密封圖形的密 封圖形，在上述切斷線上對(duì)上述母板進(jìn)行切斷，切斷成每個(gè)上述面板，其中該方法具備下述工序在上述母板上涂敷有機(jī)膜；對(duì)上述有機(jī)膜進(jìn)行構(gòu)圖，形成沿著上述切斷線設(shè)置并具有與上述有 機(jī)膜的邊界線成為曲線而寬度變寬地形成的寬幅部的有機(jī)膜除去區(qū)域；在上述進(jìn)行了構(gòu)圖的有機(jī)膜上涂敷感光性樹脂；在上述母板上形成包圍上述面板的顯示區(qū)域的密封圖形，將上述液 晶注入口密封圖形形成在鄰接的上述面板的上述寬幅部中；以及在上述切斷線上對(duì)上述母板進(jìn)行切斷，使得分離上述液晶注入口密 封圖形。
7. —種液晶顯示裝置的制造方法，在經(jīng)由切斷線矩陣狀地配置有多 個(gè)面板的母板上，形成具有跨過上述切斷線的2個(gè)液晶注入口密封圖形 的密封圖形，在上述切斷線上對(duì)上述母板進(jìn)行切斷，切斷成每個(gè)上述面 板，其中該方法具備下述工序在上述母板上涂敷有機(jī)膜；對(duì)上述有機(jī)膜進(jìn)行構(gòu)圖，形成沿著上述切斷線設(shè)置并具有寬度變寬 地形成的寬幅部的有機(jī)膜除去區(qū)域；在上述進(jìn)行了構(gòu)圖的有機(jī)膜上涂敷感光性樹脂；在上述母板上形成包圍上述面板的顯示區(qū)域的密封圖形，將上述液 晶注入口密封圖形形成在鄰接的上述面板的上述寬幅部中，使得在2個(gè) 上述液晶注入口密封圖形之間配置有上述有機(jī)膜；以及在上述切斷線上對(duì)上述母板進(jìn)行切斷，使得分離上述液晶注入口密 封圖形。
8. —種液晶顯示裝置的制造方法，在經(jīng)由切斷線矩陣狀地配置有多 個(gè)面板的母板上，將具有跨過上述切斷線的液晶注入口密封圖形的密封 圖形以包圍顯示區(qū)域的方式形成，在上述切斷線上對(duì)上述母板進(jìn)行切斷，切斷成每個(gè)上述面板，其中該方法具備下述工序 在上述母板上涂敷有機(jī)膜；對(duì)上述有機(jī)膜進(jìn)行構(gòu)圖，并形成沿著上述切斷線設(shè)置的有機(jī)膜除 去區(qū)域、以及與上述有機(jī)膜除去區(qū)域鄰接并從上述顯示區(qū)域內(nèi)的上述有 機(jī)膜分離的島狀分離圖形；在上述進(jìn)行了構(gòu)圖的有機(jī)膜上涂敷感光性樹脂；在上述母板上形成包圍上述面板的顯示區(qū)域的密封圖形，將上述液 晶注入口密封圖形形成在鄰接的上述面板的上述島狀分離圖形上；以及在上述切斷線上對(duì)上述母板進(jìn)行切斷，使得分離上述液晶注入口密 封圖形。
9. 一種液晶顯示裝置的制造方法，在經(jīng)由切斷線矩陣狀地配置有多 個(gè)面板的母板上，形成具有跨過上述切斷線的液晶注入口密封圖形的密 封圖形，在上述切斷線上對(duì)上述母板進(jìn)行切斷，切斷成每個(gè)上述面板， 其中該方法具備下述工序在上述母板上涂敷有機(jī)膜；對(duì)上述有機(jī)膜進(jìn)行構(gòu)圖，形成沿著上述切斷線設(shè)置并具有寬度變寬 地形成的寬幅部的有機(jī)膜除去區(qū)域，在上述有機(jī)膜與上述寬幅部的邊界 上將上述有機(jī)膜的端面形成為錐形狀或臺(tái)階狀；在上述進(jìn)行了構(gòu)圖的有機(jī)膜上涂敷感光性樹脂；在上述母板上形成包圍上述面板的顯示區(qū)域的密封圖形，將上述液 晶注入口密封圖形形成在鄰接的上述面板的上述寬幅部中；以及在上述切斷線上對(duì)上述母板進(jìn)行切斷，使得分離上述液晶注入口密 封圖形。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的液晶顯示裝置的制造方法，其中，在對(duì) 上述有機(jī)膜進(jìn)行構(gòu)圖的工序中，利用具有切口圖形的切口圖形掩?；蚨?灰度曝光來進(jìn)行構(gòu)圖。
全文摘要
本發(fā)明提供一種顯示品質(zhì)優(yōu)越的液晶顯示裝置及其制造方法。本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法在經(jīng)由切斷線(10)矩陣狀地配置有多個(gè)面板(19)的母板(100)上形成具有跨過切斷線(10)的液晶注入口密封圖形的密封圖形(11)，在切斷線(10)上對(duì)母板(100)進(jìn)行切斷，其中具備下述工序涂敷有機(jī)膜(8)；對(duì)有機(jī)膜(8)進(jìn)行構(gòu)圖，形成沿著切斷線(10)設(shè)置并具有與有機(jī)膜(8)的邊界線成為曲線而寬度變寬地形成的寬幅部的有機(jī)膜除去區(qū)域；在有機(jī)膜(8)上涂敷感光性樹脂；將液晶注入口密封圖形形成在鄰接的面板(19)的寬幅部上；以及在切斷線(10)上對(duì)母板(100)進(jìn)行切斷，以便分離液晶注入口密封圖形。
文檔編號(hào)H01L27/12GK101266351SQ20081008336
公開日2008年9月17日 申請(qǐng)日期2008年3月13日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月13日
發(fā)明者上田精也 申請(qǐng)人:三菱電機(jī)株式會(huì)社