專利名稱：顯示裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及顯示裝置及其制造方法。
背景技術(shù)：
液晶顯示裝置通常構(gòu)成為用影像顯示部外緣形成的密封材料來(lái)粘貼 上下一對(duì)基板，并在其內(nèi)部封入液晶。作為高精度控制這些基板間的間隔
(面板間隙(panel gap))的方法，在一個(gè)基板上形成柱形隔墊(spacer) 的技術(shù)是眾所周知的。
在液晶顯示裝置的面板(panel)內(nèi)，如果柱形隔墊的設(shè)置密度低，則 對(duì)于施加在面板上的外力，柱形隔墊容易變形。因此，面板間隙產(chǎn)生變化， 發(fā)生顯示不勻(non-uniformity)。另一方面，如果柱形隔墊的設(shè)置密度高， 則在低溫環(huán)境下，面板間隙就不能跟隨液晶的體積縮小而減小。因此，會(huì) 發(fā)生面板內(nèi)壓力下降而液晶發(fā)泡的、所謂低溫發(fā)泡現(xiàn)象。
針對(duì)這樣的問(wèn)題，在專利文獻(xiàn)1 (日本特開2002 - 341354號(hào)公報(bào))(傳 統(tǒng)技術(shù)1 )中公開了形成不同高度的兩種柱形隔墊的方法。圖12是傳統(tǒng)技 術(shù)1的液晶顯示裝置的剖視圖。在圖12中，陣列基板110和濾色片(color filter)基板120配置成彼此相對(duì)。然后，在該兩基板之間，夾持液晶130。
陣列基板110中在基板111上設(shè)有圖案層112。在圖案層112中隔著 絕緣膜分別形成用于形成顯示區(qū)域的像素電極、掃描信號(hào)線及圖像信號(hào) 線。濾色片基板120中在基板121上設(shè)有著色層123。在著色層123上， 形成ITO等透明的對(duì)置電極124。然后，在對(duì)置電極124上，設(shè)置不同高 度的第一柱形隔墊125和第二柱形隔墊126。
第一柱形隔墊125決定與相對(duì)的陣列基板110之間的面板間隙。另一 方面，第二柱形隔墊126的高度比第一柱形隔墊125低，不保持與陣列基 板110之間的面板間隙。若面板上施加較強(qiáng)外力而第一柱形隔墊125變形， 則第二柱形隔墊126就會(huì)用于與陣列基板110之間的間隙(gap)保持。 另外，在陣列基板110及濾色片基板120的彼此相對(duì)的面上，分別形成取 向膜119、 129。另外，在專利文獻(xiàn)l中，公開了使相同高度的柱形隔墊相對(duì)于總膜厚
不同的兩處區(qū)域的方法(傳統(tǒng)技術(shù)2)。圖13是傳統(tǒng)技術(shù)2的液晶顯示裝 置的剖視圖。在圖13中，傳統(tǒng)技術(shù)2的陣列基板110的圖案層112上設(shè) 有臺(tái)階部113。臺(tái)階部113中形成有膜厚厚的圖案層112。另外，濾色片 基板120上設(shè)有相同高度的第一柱形隔墊127和第二柱形隔墊128。
第一柱形隔墊127形成在與臺(tái)階部113相對(duì)的區(qū)域。因而，面板間隙 取決于臺(tái)階部113和相對(duì)的第一柱形隔墊127。第二柱形隔墊128配置成 與未設(shè)置臺(tái)階部113的區(qū)域相對(duì)，不保持與陣列基板110之間的面板間隙。 若面板上施加較強(qiáng)外力而第一柱形隔墊127變形，則第二柱形隔墊128就 會(huì)用于與陣列基板110之間的間隙保持。
這樣，在傳統(tǒng)技術(shù)l、 2中，在通常情況下，第一柱形隔墊125、 127 保持面板間隙。另外，被施加較強(qiáng)外力時(shí)，不僅第一柱形隔墊125、 127 保持面板間隙，而且第二柱形隔墊126、 128也保持面板間隙。從而，能 夠抑制面板間隙的進(jìn)一步變動(dòng)，并可改善顯示不勻。
但是，在傳統(tǒng)技術(shù)1、 2中，需要設(shè)置大致2倍于通常數(shù)目的柱形隔 墊。因此，成為在柱形隔墊的形成或者摩擦(rubbing)等工序中，導(dǎo)致成 品率降低的因素。
另外，為了避免低溫發(fā)泡，在通常情況下，涉及間隙保持的第一柱形 隔墊125、 127的直徑最好在10nm以下。這是因?yàn)楫?dāng)直徑越大時(shí)，第一柱 形隔墊125、 127越難以變形，但同時(shí)帶來(lái)以下問(wèn)題的緣故。即，直徑在 lOpm以下的較細(xì)的第一柱形隔墊125、 127,它的緊貼強(qiáng)度會(huì)降低。而且， 直徑在10nm以下的較細(xì)的第一柱形隔墊125、 127,容易形成為其底面的 尺寸小于頂面的倒三角形狀。因而，在摩擦或者清洗等工序中，笫一柱形 隔墊125、 127剝離的風(fēng)險(xiǎn)(risk)變高。如果大多數(shù)的第 一柱形隔墊125、 127被剝離，就會(huì)成為例如點(diǎn)缺陷不合格或者間隙不合格。因此，會(huì)惡化 液晶顯示裝置的顯示品質(zhì)，并且會(huì)降低成品率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問(wèn)題構(gòu)思而成，其目的在于提供抑制成品率降低的同 時(shí)顯示品質(zhì)優(yōu)越的顯示裝置及其制造方法。
本發(fā)明的顯示裝置，包括第一基板；配置在所述第一基板對(duì)面的第 二基板；夾持在所述第一基板和所述第二基板之間的顯示材料；以及在所述第 一基板的所述第二基板側(cè)的面上形成的、保持所述第 一基板和所述第 二基板之間的基板間隔的柱形隔墊，在所述第二基板上與所述柱形隔墊相
對(duì)的部位，或者在所述柱形隔墊的頂面，設(shè)有高度0.3nm以下的臺(tái)階部， 在所述柱形隔墊的頂面中所述臺(tái)階部的最高的一級(jí)所占的比例為1/2以 下。
依據(jù)本發(fā)明，能夠提供抑制成品率降低的同時(shí)顯示品質(zhì)優(yōu)越的顯示裝 置及其制造方法。


圖1是本實(shí)施方式的液晶顯示裝置的剖視圖。 圖2是放大實(shí)施方式1的柱形隔墊及其周邊的剖面示意圖。 圖3是示意性地表示圖2的陣列基板的俯視圖。 圖4是放大實(shí)施方式2的柱形隔墊及其周邊的剖面示意圖。 圖5是示意性地表示圖4的陣列基板的俯視圖。 圖6是放大實(shí)施方式3的柱形隔墊及其周邊的剖面示意圖。 圖7是示意性地表示圖6的陣列基板的俯視圖。 圖8是;^丈大實(shí)施方式4的柱形隔墊及其周邊的剖面示意圖。 圖9是示意性地表示圖8的陣列基板的俯視圖。 圖10是放大實(shí)施方式5的柱形隔墊及其周邊的剖面示意圖。 圖ll是示意性地表示圖IO的陣列基板的俯視圖。 圖12是傳統(tǒng)技術(shù)1的液晶顯示裝置的剖視圖。 圖13是傳統(tǒng)技術(shù)2的液晶顯示裝置的剖視圖。 (符號(hào)說(shuō)明)
10 陣列基板；11 基板；12 掃描信號(hào)線；13 圖像信號(hào) 線；14 TFT; 15 絕緣膜；16 像素電極；19 取向膜；20 對(duì) 置基板；21 基板；22 遮光層；23 著色層；24 對(duì)置電極； 25、 26 柱形隔墊；26a 突起部；26b 基部；27 柱形隔墊； 27a 突起部；27b 基部；29 取向膜；30 液晶；31、 32 偏 振片；34 密封材料；35 控制基板；37 端子；110 陣列基 板；111 基板；112 圖案層；113 臺(tái)階部；119 取向膜；120 濾色片基板；121 基板；123 著色層；124 對(duì)置電極；125、 126、 127、 128 柱形隔墊；129 取向膜；130 液晶；131 分離圖
6案；132 延伸圖案；151、 152 絕緣膜；171 臺(tái)階部；171a 凸 部；171b 基部；172 臺(tái)階部；172a 凸部；172b 基部；173 臺(tái)階部；173a 凸部；173b 基部。
具體實(shí)施方式
實(shí)施方式1首先，使用圖1,就本實(shí)施方式的顯示裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖1是本實(shí)施 方式的液晶顯示裝置的剖視圖。針對(duì)本實(shí)施方式的顯示裝置，以具有薄膜 晶體管(TFT: Thin Film Transistor )的有源矩陣(active matrix )型液晶顯 示裝置為例進(jìn)行說(shuō)明，但也可用TFT以外的開關(guān)(switching)元件。另夕卜， 也可以為無(wú)源矩陣(passive matrix)型液晶顯示裝置。還有，本發(fā)明并不 限于液晶顯示裝置。即，只要是在陣列基板和對(duì)置基板之間設(shè)有液晶或者 顆?；蛘咭后w等的顯示材料的顯示裝置就可適用。圖1中，在本實(shí)施方式的液晶顯示裝置中，陣列基板10和對(duì)置基板 20彼此相對(duì)地配置。而且，具有在與粘貼這兩個(gè)基板的密封材料34之間 形成的空間封入液晶30的結(jié)構(gòu)。密封材料34形成為框狀，以包圍液晶顯 示裝置的顯示區(qū)域。陣列基板10中，隔著絕緣膜15在基板11上分別形成用于形成顯示 區(qū)域的像素電極16、掃描信號(hào)線(未圖示)及圖像信號(hào)線(未圖示)。多 條掃描信號(hào)線(柵極(gate)布線)平行設(shè)置。同樣地，多條圖像信號(hào)線 (源極(source)布線)平行設(shè)置。掃描信號(hào)線和圖像信號(hào)線形成為互相 交叉。掃描信號(hào)線和圖像信號(hào)線交叉。由鄰接的掃描信號(hào)線和圖像信號(hào)線 包圍的區(qū)域成為像素。因而，像素在顯示區(qū)域內(nèi)矩陣(matrix)狀排列。 在該像素的大致整個(gè)區(qū)域上形成有像素電極16。在掃描信號(hào)線和圖像信號(hào)線的交叉點(diǎn)附近，形成開關(guān)元件即TFT14。 TFT14在顯示區(qū)域內(nèi)以陣列狀排列。TFT14具備利用與圖像信號(hào)線相同的 層形成的漏(drain)電極及源電極。源電極和漏電極經(jīng)由半導(dǎo)體層連接。 經(jīng)由該TFT14,圖像信號(hào)線和像素電極16連接。因而，利用掃描信號(hào)使 TFT14成為導(dǎo)通(on)狀態(tài)，從而顯示信號(hào)從圖像信號(hào)線供給到像素電極 16。在本實(shí)施方式中，例如，可釆用底柵極(bottom gate)型TFT14。在像素電極16上，層疊了使液晶30取向的取向膜19。即，在陣列基 板10的與液晶30相接的面上，層疊了使液晶30取向的取向膜19。在基板ll的外側(cè)粘貼偏振片31。另外，在陣列基板10上，設(shè)有從外部接受要 供給TFT14的信號(hào)的端子37。對(duì)置基板20在與基板21的陣列基板10相對(duì)的面上，形成有由顏料 或者鉻(chrome)等金屬構(gòu)成的用于遮光的遮光層22。然后，填充遮光層 22之間地形成由顏料或者染料構(gòu)成的著色層23。著色層23例如是R(紅)、 G (綠)、B (藍(lán))的濾色片。在顯示區(qū)域的大致整個(gè)面，進(jìn)一步覆蓋遮光 層22及著色層23地形成對(duì)置電極24。對(duì)置電極24在與陣列基板10的像 素電極16之間產(chǎn)生電場(chǎng)，從而驅(qū)動(dòng)液晶30。在對(duì)置電極24上形成有柱形隔墊(未圖示)。柱形隔墊是柱形的突 起物，可將陣列基板10和對(duì)置基板20的面板間隙保持均勻。在顯示區(qū)域 內(nèi)，多個(gè)柱形隔墊以規(guī)定間隔配置。本實(shí)施方式中，特征在于柱形隔墊的 形狀或者設(shè)置部位等，對(duì)此在下面作詳細(xì)說(shuō)明。另外，層疊取向膜29，使 之覆蓋對(duì)置電極24及柱形隔墊。還有，在基板21的外側(cè)粘貼了偏振片32。陣列基板10和對(duì)置基板20通過(guò)密封材料34來(lái)粘合。基板ll、 21可 采用玻璃(glass)基板、石英玻璃等透明的絕緣基板。密封材料34可釆 用例如光固化性及熱固化性的丙烯(acrylic)系樹脂或者環(huán)氧(epoxy)系 樹脂、或者紫外線固化性的樹脂。另外，本實(shí)施方式的液晶顯示裝置包括 產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)信號(hào)的控制基板35;將控制基板35電連接到端子37的FFC (柔 性扁平電纜Flexible Flat Cable ) 36;作為光源的背光單元(backlight unit) (未圖示)等。在這種液晶顯示裝置中，若由控制基板35被輸入電信號(hào)，則在像素 電極16及對(duì)置電極24上施加驅(qū)動(dòng)電壓。從而，配合驅(qū)動(dòng)電壓而液晶30 的分子方向改變。背光單元發(fā)射的光經(jīng)由陣列基板10、液晶30及對(duì)置基 板20，向外部透射或者被遮斷，從而在液晶顯示裝置上顯示圖像等。即， 通過(guò)按每個(gè)像素改變驅(qū)動(dòng)電壓，能夠顯示所希望的影像。還有，液晶顯示裝置的動(dòng)作沖莫式(mode)可采用TN( Twisted Nematic) 模式、STN (Super Twisted Nematic)模式、鐵電液晶模式等。另外，也可 以是將設(shè)于對(duì)置基板20上的對(duì)置電極24配置在陣列某板10側(cè)，在與像 素電極16之間對(duì)液晶30施加橫向電場(chǎng)的橫電場(chǎng)方式的液晶顯示裝置。接著，使用圖2及圖3，就本實(shí)施方式的柱形隔墊進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖 2是放大實(shí)施方式1的柱形隔墊及其周邊的剖面示意圖。另外，圖3是示 意性地表示圖2的陣列基板10的俯視圖。另外，圖3中，為了方便說(shuō)明而用虛線標(biāo)記設(shè)于對(duì)置基板20上的柱形隔墊的外形。在圖2及圖3中， 就陣列基板10中掃描信號(hào)線12形成于圖像信號(hào)線之下時(shí)的情況進(jìn)行說(shuō) 明。與圖1同樣地、在圖2中，陣列基板10和對(duì)置基板20彼此相對(duì)地配 置。然后，在這兩個(gè)基板之間，夾持液晶30。對(duì)置基板20中在基板21上 設(shè)有著色層23。在著色層23上，形成有ITO等透明的對(duì)置電極24。然后， 在對(duì)置電極24上，設(shè)有柱形隔墊25。柱形隔墊25具有柱形的形狀。例如， 四角柱形、圓錐梯形、四角錘梯形等，都可作為柱形隔墊25的形狀適用， 但在本實(shí)施方式中采用圓柱形。陣列基板10在基板11上設(shè)有掃描信號(hào)線12。覆蓋掃描信號(hào)線12地、 在基板11的整個(gè)面上形成絕緣膜151。絕緣膜151例如為柵極絕緣膜。在 該絕緣膜151上，未圖示的部位設(shè)有圖像信號(hào)線。圖像信號(hào)線還在未圖示 的部位，隔著絕緣膜151設(shè)置成與掃描信號(hào)線12交叉。在本實(shí)施方式中， 用與圖像信號(hào)線相同的層來(lái)形成的島狀的分離圖案131,設(shè)置在掃描信號(hào) 線12上。分離圖案131從圖像信號(hào)線相分離地形成，例如如圖3所示， 具有圓形形狀。分離圖案131的形狀并無(wú)特別地限定。在這里，分離圖案131形成在柱形隔墊25對(duì)面配置的位置上。具體 地說(shuō)，在圖3所示的俯視圖中，比柱形隔墊25側(cè)面還內(nèi)側(cè)的區(qū)域內(nèi)，形 成有分離圖案131。即，分離圖案131不會(huì)從柱形隔墊25的與陣列基板 IO相對(duì)一側(cè)的對(duì)置面(頂面)溢出，而被包圍在內(nèi)。分離圖案131最好配 置成包含柱形隔墊25頂面的中心點(diǎn)。另外，分離圖案131的面積，在下 述的臺(tái)階部171的凸部171a成為柱形隔墊25頂面面積的1/2以下的范圍 內(nèi)決定。在分離圖案131及圖像信號(hào)線上，再形成絕緣膜152,且該絕緣膜152 形成在基板11的整個(gè)面上。絕緣膜152例如為層間絕緣膜。另外，在陣 列基板10及對(duì)置基板20的與液晶30相接側(cè)的面上，分別設(shè)有取向膜19、 29。另外，雖在圖2及圖3中未作圖示，但如圖1所示，像素電極16適 當(dāng)?shù)匦纬稍谂湎蚰?9與絕緣膜152之間。這時(shí)，絕緣膜152及取向膜19 設(shè)置成覆蓋分離圖案131，并形成臺(tái)階部171。臺(tái)階部171由設(shè)置在分離 圖案131上的凸部171a和設(shè)置在它以外區(qū)域的基部171b構(gòu)成。即，在陣 列基板10上與柱形隔墊25相對(duì)的區(qū)域中，陣列基板10上的總膜厚在凸 部171a比基部171b厚，成為與柱形隔墊25相對(duì)的區(qū)域中最高的一級(jí)。還有，凸部171a和基部171b之間的邊界，如圖3所示，比分離圖案131 大一圈。因而，柱形隔墊25在該一部分區(qū)域中與臺(tái)階部171的凸部171a相對(duì)， 并決定陣列基板10與對(duì)置基板20之間的面板間隙。另一方面，與臺(tái)階部 171的基部171b相對(duì)的區(qū)域的柱形隔墊25,不保持與陣列基板IO之間的 面氺反間隙。若面板上被施加了外力，則與凸部171a相對(duì)的區(qū)域的柱形隔墊25上 發(fā)生彈性變形，減小面板間隙。若對(duì)面板施加的外力增強(qiáng)，則在臺(tái)階部171 的基部171b中產(chǎn)生的柱形隔墊25與陣列基板IO之間的間隙逐漸變窄。 當(dāng)所施加外力的程度使得該間隙消失時(shí)，與基部171b相對(duì)的柱形隔墊25 也用于保持間隙。從而，利用柱形隔墊25的大致整個(gè)頂面來(lái)保持間隙， 因此抑制了面板間隙的進(jìn)一步變動(dòng)。在液晶顯示裝置中，若局部的面板間隙變動(dòng)超過(guò)0.3|im，則作為不能 —皮容許級(jí)別的顯示不勻而^皮分辨出。因而，在與柱形隔墊25頂面相對(duì)的 區(qū)域設(shè)置的臺(tái)階部171的高度最好大于Opm、且在0.3pm以下。即，凸部 171a與基部171b的高度差在0.3pm以下。例如，在本實(shí)施方式中，圖像 信號(hào)線利用膜厚0.25nm的薄膜來(lái)形成，從而設(shè)置了 0.25pm的臺(tái)階部171。這時(shí)，臺(tái)階部171的凸部171a所占的面積，需要在柱形隔墊25頂面 面積的l/2以下。這是因?yàn)樵谥胃魤|25頂面中，若與凸部171a相對(duì)的 區(qū)域大于它以外的與基部171b相對(duì)的區(qū)域，則在低溫環(huán)境下，面板間隙 不能跟隨液晶30的體積縮小。另外，還有面板內(nèi)的壓力下降而液晶發(fā)泡 (低溫發(fā)泡)的原因。因而，分離圖案131的面積在形成柱形隔墊25頂 面面積的1/2以下的凸部171a的范圍內(nèi)決定。在本實(shí)施方式中，凸部171a 不會(huì)從柱形隔墊25的頂面溢出，而^皮包圍在內(nèi)。凸部171a最好配置成包 含柱形隔墊25頂面的中心。接著，就本實(shí)施方式的液晶顯示裝置的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。首先，在 基板11上依次形成掃描信號(hào)線12、圖像信號(hào)線及像素電極16等多個(gè)電極。 這些電極通過(guò)>知的成膜、光刻(Photolithography)法、蝕刻(etching)、 除去抗蝕劑(resist)的工序，被構(gòu)圖(patterning)。另外，利用光刻法形 成構(gòu)成TFT14的半導(dǎo)體層。在這些電極之間，將絕緣膜15成膜在基板11 的整個(gè)面上。在形成掃描信號(hào)線12時(shí)，同時(shí)形成TFT14的柵電極。另夕卜， 在形成圖像信號(hào)線時(shí)，同時(shí)形成分離圖案131。這時(shí)，最好在隔著絕緣膜15的掃描信號(hào)線12上，設(shè)置分離圖案131。而且，與圖像信號(hào)線同時(shí)形 成與TFT14的半導(dǎo)體層連接的源電極及漏電極。這樣在形成多個(gè)電極的基板11上，通過(guò)轉(zhuǎn)印等方法來(lái)形成取向膜19。 例如，作為取向膜19，采用高分子材料的聚酰亞胺(Polyimide)薄膜等有 機(jī)薄膜。接著，加熱固化取向膜19,然后對(duì)該取向膜實(shí)施取向處理(摩擦 處理)，使得與液晶30的接觸面受一個(gè)方向微小(micro)的傷。利用裝 上尼龍(nylon)系摩擦布的輥(roller)等，進(jìn)行摩擦處理。經(jīng)過(guò)如上工序， 在分離圖案131上形成凸部171a，并形成具有臺(tái)階部171的陣列基板10。在另一基板21上，通過(guò)光刻法來(lái)形成遮光層22。遮光層22可采用含 顏料的樹脂或者鉻等金屬。通過(guò)光刻法形成著色層23,使之從遮光層22 上開始掩埋遮光層22之間。著色層23可采用由顏料或者染料構(gòu)成的感光 性樹脂。另外，將對(duì)置電極24形成在基板21的大致整個(gè)面上，使之覆蓋 遮光層22及著色層23。作為對(duì)置電極24,采用由ITO等構(gòu)成的透明導(dǎo)電 膜。在對(duì)置電極24上，涂敷構(gòu)成為柱形隔墊25的光刻膠(Photoresist)。 然后，利用公知的光刻法，將光刻膠進(jìn)行構(gòu)圖，形成柱形隔墊25。這時(shí)， 在下述的面板粘貼工序中，在與陣列基板10的臺(tái)階部171相對(duì)的位置上， 事先形成柱形隔墊25。在這樣設(shè)置了柱形隔墊25的對(duì)置基板20上，與陣 列基板10同樣地形成取向膜29,并進(jìn)行摩擦處理。經(jīng)過(guò)如上工序，形成 具有柱形隔墊25的對(duì)置基板20。接著，在陣列基板10或者對(duì)置基板20的任一個(gè)基板上涂敷密封材料 34。在陣列基板10或者對(duì)置基板20的外周緣中，除了成為液晶注入口的 一部分外，形成框狀的密封材料34。然后，使形成有取向膜19、 29的面 彼此相對(duì)的狀態(tài)下，利用密封材料34來(lái)粘貼陣列基板10及對(duì)置基板20。 這時(shí)，粘貼陣列基板10和對(duì)置基板20,使得柱形隔墊25頂面位于可將臺(tái) 階部171的凸部171a包圍在內(nèi)的位置。爿t人而，柱形隔墊25與臺(tái)階部171 的凸部171a被對(duì)置地配置，并決定對(duì)置基板20與陣列基板10之間的面 板間隙。然后，向陣列基板10和對(duì)置基板20之間由密封材料34圍成的空間， 注入液晶30。具體地說(shuō)，將液晶注入口浸漬到液晶中，通過(guò)毛細(xì)管現(xiàn)象， 使液晶30注入到由陣列基板10、對(duì)置基板20及密封材料34圍成為空間 (汲上方式或者浸漬(dip)式)。然后，用封口材料來(lái)封住液晶注入口 ，通過(guò)固化封口材料來(lái)將液晶30密封在密閉空間內(nèi)。另外，在該汲上方式 之外，還可通過(guò)滴下液晶30，在由陣列基板IO、對(duì)置基板20及密封材料 34圍成的密閉空間密封液晶30 (滴下式或者分配(dispenser)式)。接著，在陣列基板10及對(duì)置基板20的外側(cè)粘貼偏振片31、 32。然后， 安裝控制基板35，安裝背光單元等。經(jīng)過(guò)以上工序，完成本實(shí)施方式的液 晶顯示裝置。這樣，在本實(shí)施方式中，通過(guò)在與柱形隔墊25相對(duì)的區(qū)域設(shè)置分離 圖案131來(lái)形成臺(tái)階部171。臺(tái)階部171的高度在0.3|im以下，且具有柱 形隔墊25頂面的1/2以下的面積。然后，使臺(tái)階部171的凸部171a被柱 形隔墊25的頂面包圍在內(nèi)地粘貼陣列基板10和對(duì)置基板20。即，在通常 情況下，保持面板間隙的凸部171a和在施加較強(qiáng)外力時(shí)用于保持面板間 隙的基部171b,與一個(gè)柱形隔墊25相對(duì)地配置。通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，無(wú)需形 成直徑在10nm以下的較細(xì)的柱形隔墊，因此可提高柱形隔墊的緊貼強(qiáng)度， 并可抑制剝離。因而，能夠提高液晶顯示裝置的顯示品質(zhì)。另外，由于無(wú) 需增加柱形隔墊的設(shè)置數(shù)目，能夠抑制成品率降低。另外，在低溫環(huán)境下，與臺(tái)階部171的凸部171a相對(duì)的區(qū)域的柱形 隔墊25彈性變形。因而，可跟隨液晶30的體積減少而使間隙減小，能夠 防止低溫發(fā)泡。當(dāng)面板上被施加較強(qiáng)外力時(shí)，不僅與凸部171a相對(duì)的區(qū) 域的柱形隔墊25保持間隙，而且與基部171b相對(duì)的區(qū)域的柱形隔墊25 也用于保持間隙。因而，可抑制面板間隙的進(jìn)一步變動(dòng)，并可改善顯示不 勻。還有，在柱形隔墊25周邊，液晶30的取向混亂，因而導(dǎo)致光泄漏。 在本實(shí)施方式中，柱形隔墊25配置成不會(huì)從掃描信號(hào)線12上溢出。因而， 將臺(tái)階部171及分離圖案131形成在掃描信號(hào)線12上。這樣，可通過(guò)在 成為像素的開口部以外區(qū)域配置柱形隔墊25來(lái)防止光泄漏導(dǎo)致的顯示品 質(zhì)的降低。實(shí)施方式2根據(jù)圖4及圖5，就本實(shí)施方式的液晶顯示裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖4是放 大實(shí)施方式2的柱形隔墊及其周邊的剖面示意圖。另外，圖5是示意性地 表示圖4的陣列基板10的俯視圖。另外，在圖5中為了方便說(shuō)明，用虛 線標(biāo)記設(shè)于對(duì)置基板20上的柱形隔墊的外形。本實(shí)施方式中，柱形隔墊 25的設(shè)置部位與實(shí)施方式1不同，除此以外的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式1相同，因此省略其說(shuō)明。在圖4及圖5中，與圖1~圖3相同的結(jié)構(gòu)部分采用同一符號(hào)，并對(duì) 差異部分進(jìn)行說(shuō)明。圖4中，陣列基板10的基板11上設(shè)有掃描信號(hào)線12。 以覆蓋掃描信號(hào)線12的方式，在基板11的整個(gè)面上形成絕緣膜151。隔 著該絕緣膜151與掃描信號(hào)線12交叉地形成圖像信號(hào)線13。本實(shí)施方式 中，從圖像信號(hào)線13延伸的延伸圖案132設(shè)置在掃描信號(hào)線12上。延伸 圖案132從與掃描信號(hào)線12的交叉點(diǎn)附近開始延伸而形成，例如如圖5 所示，圖案前端部具有大致半圓形的形狀。延伸圖案132的形狀并無(wú)特別 限定。這里，延伸圖案132從圖像信號(hào)線13延伸到配置在柱形隔墊25對(duì)面 的位置而形成。即，在圖5所示的俯^L圖中，延伸圖案132形成為跨過(guò)柱 形隔墊25的端邊，延伸圖案132的一部分與柱形隔墊25重疊。與柱形隔 墊25重疊的延伸圖案132的面積，在下述的臺(tái)階部172的凸部172a為柱 形隔墊25頂面的面積的1/2以下的范圍內(nèi)決定。延伸圖案132最好朝著與 柱形隔墊25頂面的中心點(diǎn)相對(duì)的陣列基板10上的位置，從圖像信號(hào)線13 開始延伸。在延伸圖案132及圖像信號(hào)線13上，還形成絕緣膜152,且該絕緣膜 152形成在基板11的整個(gè)面上。而且，其上還層疊取向膜19。這樣，在 延伸圖案132上，絕緣膜152及取向膜19設(shè)置成覆蓋延伸圖案132,從而 形成臺(tái)階部172。臺(tái)階部172由設(shè)于延伸圖案132上的凸部172a和設(shè)于它 以外區(qū)域的基部172b構(gòu)成。即，在與柱形隔墊25相對(duì)的陣列基板10上 的區(qū)域中，陣列甚板10上的總膜厚在凸部172a比基部172b厚，成為與 柱形隔墊25相對(duì)的區(qū)域中最高的一級(jí)。還有，如圖5所示，凸部172a和 基部172b之間的邊界比延伸圖案132大一圈。因而，柱形隔墊25在該一 部分區(qū)域中與臺(tái)階部172的凸部172a相對(duì)，決定陣列基板10與對(duì)置基板 20之間的面板間隙。另一方面，與臺(tái)階部172的基部172b相對(duì)的區(qū)域的 柱形隔墊25,不保持與陣列基板IO之間的面板間隙。與實(shí)施方式l同樣地、在本實(shí)施方式中，與柱形隔墊25相重疊的臺(tái) 階部172的凸部172a的面積，作成柱形隔墊25頂面面積的1/2以下。因 而，延伸圖案132的大小，在形成柱形隔墊25頂面的1/2以下面積的凸部 172a的范圍內(nèi)決定。另外，設(shè)置在與柱形隔墊25頂面相對(duì)的區(qū)域上的臺(tái) 階部172的高度，最好大于Opm,且在0.3pm以下。即，凸部172a與基13部172b的高度差在0.3pm以下。例如，與實(shí)施方式l同樣地、在本實(shí)施 方式中設(shè)置0.25(_im的臺(tái)階部172。這種結(jié)構(gòu)的液晶顯示裝置，形成延伸圖案132來(lái)取代實(shí)施方式1的分 離圖案131，并在陣列基板10上設(shè)置臺(tái)階部172。然后，可使臺(tái)階部172 的凸部172a與柱形隔墊25在柱形隔墊25頂面的1/2以下面積上重疊地粘 貼陣列基板10與對(duì)置基板20。除此以外的工序與實(shí)施方式1相同，因此 省略其說(shuō)明。因而，為了使凸部172a和柱形隔墊25在柱形隔墊25頂面 的l/2以下面積上重疊，需要預(yù)先考慮延伸圖案132的尺寸、柱形隔墊25 的位置等后形成。這樣，在本實(shí)施方式中，在與柱形隔墊25相對(duì)的區(qū)域中，使延伸圖 案132從圖像信號(hào)線13延伸而形成高度在0.3^m以下的臺(tái)階部172。然后， 使臺(tái)階部172的凸部172a在柱形隔墊25頂面的1/2以下面積上重疊地粘 貼陣列基板10和對(duì)置基板20。即，在通常情況下，保持面板間隙的凸部 172a和當(dāng)施加了較強(qiáng)外力時(shí)用于保持面板間隙的基部172b，與一個(gè)柱形 隔墊25相對(duì)地配置。凸部172a配置成橫切柱形隔墊25的端部。通過(guò)這 種結(jié)構(gòu)，與實(shí)施方式l同樣地、無(wú)需形成較細(xì)的柱形隔墊，因此能夠提高 柱形隔墊的緊貼強(qiáng)度，并可抑制剝離。因而，可提高液晶顯示裝置的顯示 品質(zhì)。另外，無(wú)需增加柱形隔墊的設(shè)置數(shù)目，因此能夠抑制成品率降低。另外，在低溫環(huán)境下，與臺(tái)階部172的凸部172a相對(duì)的區(qū)域的柱形 隔墊25彈性變形。因而，能夠跟隨液晶30的體積減少而使間隙減小，可 防止低溫發(fā)泡。當(dāng)面板上^L施加較強(qiáng)外力時(shí)，不僅與凸部172a相對(duì)的區(qū) 域的柱形隔墊25進(jìn)行間隙保持，而且與基部172b相對(duì)的區(qū)域的柱形隔墊 25也用于保持間隙。因而，可抑制面板間隙的進(jìn)一步變動(dòng)，并可改善顯示 不勻。實(shí)施方式3根據(jù)圖6及圖7，就本實(shí)施方式的液晶顯示裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖6是放 大實(shí)施方式3的柱形隔墊及其周邊的剖面示意圖。另外，圖7是示意性地 表示圖6的陣列基板10的俯視圖。另外，圖7中為了方便說(shuō)明，用虛線 標(biāo)記設(shè)于對(duì)置基板20上的柱形隔墊的外形。在本實(shí)施方式中，柱形隔墊 25的設(shè)置部位與實(shí)施方式1、 2不同，除此以外的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式1相同， 因此省略其說(shuō)明。在圖6及圖7中，與圖1~圖3相同的結(jié)構(gòu)部分采用同一符號(hào)，并對(duì)差異進(jìn)行說(shuō)明。圖6中，在陣列基板10的基板11上設(shè)有掃描信號(hào)線12。 絕緣膜151以覆蓋掃描信號(hào)線12的方式形成在基板11的整個(gè)面上。隔著 該絕緣膜151與掃描信號(hào)線12交叉地形成圖像信號(hào)線13。然后，在本實(shí) 施方式中，圖像信號(hào)線13與柱形隔墊25的一部分重疊地對(duì)置配置。具體 地說(shuō)，在圖7所示的俯視圖中，柱形隔墊25配置成跨過(guò)圖像信號(hào)線13的 端邊。在本實(shí)施方式中，不形成分離圖案131或者延伸圖案132。如圖7 所示，柱形隔墊25最好配置成橫切圖像信號(hào)線13和掃描信號(hào)線12交叉 的交叉部上的圖像信號(hào)線13的端邊。在圖像信號(hào)線13上，還形成絕緣膜152，且該絕緣膜152形成在基板 ll的整個(gè)面上。而且，其上還層疊取向膜19。如此，在圖像信號(hào)線13上， 絕緣膜152及取向膜19設(shè)置成覆蓋圖像信號(hào)線13,形成有臺(tái)階部173。 臺(tái)階部173由設(shè)置在圖像信號(hào)線13上的凸部173a和設(shè)置在它以外區(qū)域的 基部173b構(gòu)成。即，在與柱形隔墊25相對(duì)的陣列基板10上的區(qū)域中， 陣列基板10上的總膜厚在凸部173a厚于基部173b，成為在與柱形隔墊 25相對(duì)的區(qū)域中的最高的一級(jí)。還有，如圖7所示，凸部173a和基部173b 之間的邊界比圖像信號(hào)線13大一圈。因而，柱形隔墊25在其一部分區(qū)域 與臺(tái)階部173的凸部173a相對(duì)，決定陣列基板10與對(duì)置基板20之間的 面板間隙。另一方面，與臺(tái)階部173的基部173b相對(duì)的區(qū)域的柱形隔墊 25，不保持與陣列基板IO之間的面板間隙。與實(shí)施方式l同樣地、在本實(shí)施方式中，與柱形隔墊25重疊的臺(tái)階 部173的凸部173a的面積，在柱形隔墊25頂面面積的1/2以下。另外， 設(shè)置在與柱形隔墊25頂面相對(duì)的區(qū)域上的臺(tái)階部173的高度，最好大于 Onm，且在0.3pm以下。即，凸部173a和基部173b的高度差在0.3pm以 下。例如，與實(shí)施方式1同樣地、本實(shí)施方式中設(shè)置0.25nm的臺(tái)階部173。這種結(jié)構(gòu)的液晶顯示裝置，不形成實(shí)施方式1的分離圖案131,通過(guò) 圖像信號(hào)線13來(lái)在陣列基板10上設(shè)置臺(tái)階部173。然后，可將陣列基板 10和對(duì)置基板20粘貼成在柱形隔墊25頂面的1/2以下面積上，使臺(tái)階部 173的凸部173a與柱形隔墊25重疊。除此以外的工序與實(shí)施方式1相同， 因此省略其說(shuō)明。因而，為了使凸部173a與柱形隔墊25在柱形隔墊25 頂面的1/2以下面積上重疊，需要預(yù)先考慮柱形隔墊25的位置、圖像信號(hào) 線13的尺寸及位置等后形成。這樣，在本實(shí)施方式中，在與柱形隔墊25相對(duì)的區(qū)域上，通過(guò)圖像信號(hào)線13來(lái)形成高度在0.3|iim以下的臺(tái)階部173。然后，將陣列基板10 和對(duì)置基板20粘貼成使臺(tái)階部173的凸部173a在柱形隔墊25頂面的1/2 以下面積上重疊。即，在通常情況下，保持面板間隙的凸部173a和當(dāng)施 加較強(qiáng)外力時(shí)用于保持面板間隙的基部173b,與一個(gè)柱形隔墊25相對(duì)地 配置。凸部173a配置成橫切柱形隔墊25的端部。通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，與實(shí)施 方式1同樣地、無(wú)需形成較細(xì)的柱形隔墊，因此能夠提高柱形隔墊的緊貼 強(qiáng)度，并可抑制剝離。因而，能夠提高液晶顯示裝置的顯示品質(zhì)。另外， 由于無(wú)需增加柱形隔墊的設(shè)置數(shù)目，可抑制成品率降低。
另外，在低溫環(huán)境下，與臺(tái)階部173相對(duì)的區(qū)域的柱形隔墊25彈性 變形。因而，可跟隨液晶30的體積減少而使間隙減小，并可防止低溫發(fā) 泡。當(dāng)面板上被施加較強(qiáng)外力時(shí)，不僅與凸部173a相對(duì)的區(qū)域的柱形隔 墊25進(jìn)行間隙保持，而且與基部173b相對(duì)的區(qū)域的柱形隔墊25也用于 保持間隙。因而，能夠抑制面板間隙的進(jìn)一步變動(dòng)，并可改善顯示不勻。 另外，因柱形隔墊25而液晶30的取向混亂，因此柱形隔墊25最好與掃 描信號(hào)線12上的臺(tái)階部173即掃描信號(hào)線12和圖像信號(hào)線13的交叉部 上的臺(tái)階部173相對(duì)地配置。
實(shí)施方式4
根據(jù)圖8及圖9，就本實(shí)施方式的液晶顯示裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖8是放 大實(shí)施方式4的柱形隔墊及其周邊的剖面示意圖。另外，圖9是示意性地 表示圖8的陣列基板10的俯視圖。另外，在圖9中為了方便說(shuō)明，用虛 線標(biāo)記設(shè)于對(duì)置基板20上的柱形隔墊的外形。在本實(shí)施方式中，柱形隔 墊的形狀及設(shè)置部位與實(shí)施方式1 ~3不同，除此以外的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式1 相同，因此省略其說(shuō)明。
在圖8及圖9中，與圖1~圖3相同的結(jié)構(gòu)部分采用相同的符號(hào)，對(duì) 差異部分進(jìn)行說(shuō)明。圖8中，在陣列基板10的基板11上設(shè)有掃描信號(hào)線 12。以覆蓋掃描信號(hào)線12的方式，在基板11的整個(gè)面上形成絕緣膜151。 在未圖示部位上，隔著該絕緣膜151與掃描信號(hào)線12交叉地形成圖像信 號(hào)線。在圖像信號(hào)線13上，還形成絕緣膜152,且該絕緣膜152形成在基 板ll的整個(gè)面上。而且，其上方層疊取向膜19。在本實(shí)施方式中，不形 成分離圖案131或者延伸圖案132。因而，這樣未設(shè)置其它層的圖案的掃 描信號(hào)線12上的區(qū)域中，不會(huì)形成臺(tái)階部，其總膜厚大致均勻。
在與該掃描信號(hào)線12相對(duì)的區(qū)域的對(duì)置基板20上，形成有柱形隔墊26。在圖9所示的俯視圖中，柱形隔墊26配置成不會(huì)從掃描信號(hào)線12溢 出，而^R包圍在內(nèi)。另外，在本實(shí)施方式中，柱形隔墊26由突起部26a 和其高度低于突起部26a的基部26b構(gòu)成。圖9中，比柱形隔墊26的一 半靠右側(cè)的區(qū)域上設(shè)有突起部26a，除此以外的區(qū)域上設(shè)有基部26b。在 本實(shí)施方式中，突起部26a設(shè)于柱形隔墊26的端部。因突起部26a而在柱 形隔墊26頂面產(chǎn)生臺(tái)階差。而且，如圖8所示，柱形隔墊26的剖面成為 臺(tái)階狀，突起部26a成為柱形隔墊26頂面中最高的一級(jí)。這時(shí)，為了防 止低溫發(fā)泡，柱狀隔墊26的突起部26a的頂面具有基部26b頂面的面積 以下的面積。即，突起部26a的頂面面積成為柱形隔墊26頂部的1/2以下 面積。另外，為了抑制顯示不勻，突起部26a和基部26b形成的臺(tái)階差最 好大于0pm，且在0.3nm以下。即，突起部26a與基部26b的高度差在0.3pm 以下。在本實(shí)施例中，形成例如0.2pm臺(tái)階差的柱形隔墊26。
因而，柱形隔墊26的突起部26a與陣列基板相對(duì)，決定陣列基板10 與對(duì)置基板20之間的面板間隙。另一方面，柱形隔墊26的基部26b不保 持與陣列基板10之間的面板間隙。若對(duì)面板上施加了外力，則在突起部 26a的柱形隔墊26產(chǎn)生彈性變形，使面板間隙減小。若對(duì)面板施加的外力 變強(qiáng)，則在基部26b中產(chǎn)生的對(duì)置基板20和陣列基板10之間的間隙逐漸 變窄。于是，當(dāng)施加的外力達(dá)到消除該間隙的程度時(shí)，基部26b的柱形隔 墊26也用于保持間隙。從而，可利用柱形隔墊26的幾乎整個(gè)頂面來(lái)保持 間隙，因此抑制了面板間隙的進(jìn)一步變動(dòng)。
這種結(jié)構(gòu)的液晶顯示裝置，利用多色調(diào)曝光技術(shù)來(lái)形成柱形隔墊26。 具體地說(shuō)，在對(duì)置基板20的對(duì)置電極24上，涂敷光刻膠，該光刻膠成為 成柱形隔墊26。然后，利用具有曝光部、中間曝光部、及遮光部的光掩模 (photomask)，對(duì)該光刻膠進(jìn)行多色調(diào)曝光。在形成柱形隔墊26的基部 26b的區(qū)域的光掩模中，事先設(shè)置中間曝光部。這種光掩模已知的有半色 調(diào)(halftone)掩?；蚧译A(gray tone )掩模。在半色調(diào)掩模的中間曝光部 中，形成減少用于曝光的波長(zhǎng)區(qū)域(通常350 ~ 450nm)的光透射量的半 透射膜?；译A掩模的中間曝光部中，為了利用光衍射現(xiàn)象的同時(shí)減少曝光 量，設(shè)置曝光機(jī)的分辨率以下的條紋圖案(slit pattern )。
利用這種光掩才莫進(jìn)行曝光后，進(jìn)行顯像。從而，突起部26a及基部26b 同時(shí)被構(gòu)圖，形成具有臺(tái)階差的柱形隔墊26。另外，也可以不用多色調(diào)曝 光技術(shù)，而用2個(gè)光掩模進(jìn)行2次曝光來(lái)形成柱形隔墊26。另外，在本實(shí)施方式中，在陣列基板IO上不形成實(shí)施例1的分離圖案131。然后，可將 陣列基板10和對(duì)置基板20粘貼，使柱形隔墊26被未設(shè)置其它層的圖案 的掃描信號(hào)線12上的區(qū)域包圍在內(nèi)。除此以外的工序與實(shí)施方式1相同， 因此省略其說(shuō)明。
這樣，在本實(shí)施方式中，形成具有突起部26a及基部26b的柱形隔墊 26。突起部26a形成為與基部26b的高低差為0.3nm以下，且占柱形隔墊 26頂面的1/2以下的面積。將陣列基板10和對(duì)置基板20粘貼成使柱形隔 墊26被未設(shè)置其它層的圖案的掃描信號(hào)線12上的區(qū)域包圍在內(nèi)。即，在 通常情況下，保持面板間隙的突起部26a和當(dāng)施加了較強(qiáng)外力時(shí)用于保持 面板間隙的基部26b，包含于一個(gè)柱形隔墊26。通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，與實(shí)施方 式l同樣地，無(wú)需形成較細(xì)的柱形隔墊，可提高柱形隔墊的緊貼強(qiáng)度，并 可抑制剝離。因而，可提高液晶顯示裝置的顯示品質(zhì)。另外，由于無(wú)需增 加柱形隔墊的設(shè)置數(shù)目，可抑制成品率降低。
另外，在低溫環(huán)境下，突起部26a的柱形隔墊26彈性變形。因而， 可跟隨液晶30的體積減少而使間隙減小，能夠防止低溫發(fā)泡。當(dāng)面板上 被施加較強(qiáng)外力時(shí)，不僅突起部26a進(jìn)行間隙保持，而且基部26b的柱形 隔墊26也用于保持間隙。因而，可抑制面板間隙的進(jìn)一步變動(dòng)，可改善 顯示不勻。
實(shí)施方式5
根據(jù)圖10及圖11,就本實(shí)施方式的液晶顯示裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖IO是 放大實(shí)施的方式5的柱形隔墊及其周邊的剖面示意圖。另外，圖11是示 意性地表示圖10的陣列基板10的俯視圖。另外，圖ll中為了方便說(shuō)明， 用虛線標(biāo)記設(shè)于對(duì)置基板20上的柱形隔墊的外形。在本實(shí)施方式中，柱 形隔墊的形狀與實(shí)施方式4不同，除此以外的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式4相同，因 此省略其ijt明。
在圖IO及圖11中，與圖8及圖9相同的結(jié)構(gòu)部分采用相同的符號(hào)， 并對(duì)差異部分進(jìn)行說(shuō)明。與實(shí)施方式4同樣地、在與掃描信號(hào)線12相對(duì) 的區(qū)域的對(duì)置基板20上形成有柱形隔墊27。柱形隔墊27由突起部27a和 其高度低于突起部27a的基部27b構(gòu)成。在本實(shí)施方式中，如圖11所示， 在柱形隔墊27的中央部附近設(shè)有突起部27a。然后，在突起部27a的周圍， 即柱形隔墊27的外周部，設(shè)有基部27b。因突起部27a而在柱形隔墊27 頂面產(chǎn)生臺(tái)階差。然后，如圖IO所示，柱形隔墊27的剖面形成為臺(tái)階狀，突起部27a成為柱形隔墊27頂面中最高的一級(jí)。這時(shí)，為了防止低溫發(fā) 泡，柱形隔墊27的突起部27a的頂面具有基部27b頂面的面積以下的面 積。即，突起部27a的頂面成為柱形隔墊27頂部的1/2以下面積。另夕卜， 為了抑制顯示不勻，突起部27a和基部27b之間的膜厚差最好大于0pm， 且在0.3pm以下。即，突起部27a和基部27b的高度差在0.3pm以下。在 本實(shí)施方式中，例如形成設(shè)有0.2pm臺(tái)階差的柱形隔墊27。
這種結(jié)構(gòu)的液晶顯示裝置，與實(shí)施方式4同樣地、利用多色調(diào)曝光技 術(shù)來(lái)形成柱形隔墊27。從而，將突起部27a及基部27b同時(shí)被構(gòu)圖，形成 具有臺(tái)階差的柱形隔墊27。
這樣，在本實(shí)施方式中，形成具有突起部27a及基部27b的柱形隔墊 27。突起部27a形成為與基部27b之間的高低差在0.3pm以下，且占柱形 隔墊27頂面的1/2以下面積。將陣列基板10和對(duì)置基板20貼合成使柱形 隔墊27被未設(shè)置其它層的圖案的掃描信號(hào)線12上的區(qū)域包圍在內(nèi)。即， 在通常情況下，保持面板間隙的突起部27a和當(dāng)施加了較強(qiáng)外力時(shí)用于保 持面板間隙的基部27b，包含于一個(gè)柱形隔墊27中。通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，與實(shí) 施方式4同樣地、無(wú)需形成較細(xì)的柱形隔墊，因此可提高柱形隔墊的緊貼 強(qiáng)度，并可抑制剝離。因而，可提高液晶顯示裝置的顯示品質(zhì)。另外，由 于無(wú)需增加柱形隔墊的設(shè)置數(shù)目，可抑制成品率降低。
另外，在低溫環(huán)境下，突起部27a的柱形隔墊27彈性變形。因而， 可跟隨液晶30的體積減少而使間隙減小，可防止低溫發(fā)泡。當(dāng)面板上被 施加較強(qiáng)外力時(shí)，不僅突起部27a進(jìn)行間隙保持，而且基部27b的柱形隔 墊27也用于保持間隙。因而，可抑制面板間隙的進(jìn)一步變動(dòng)，并可改善 顯示不勻。
還有，在實(shí)施方式1 5中，以在著色層23上隔著對(duì)置電極24形成 柱形隔墊的場(chǎng)合作為示例進(jìn)行了說(shuō)明，但也可配置在遮光層22上。另外， 在與掃描信號(hào)線12相對(duì)的區(qū)域的對(duì)置基板20上形成了柱形隔墊，但并不 限于此。同樣地，在實(shí)施方式1~3中，關(guān)于臺(tái)階部，就通過(guò)圖像信號(hào)線 13或者與圖像信號(hào)線13相同層的圖案來(lái)形成的例子進(jìn)行了說(shuō)明，但也可 以通過(guò)構(gòu)成陣列基板10的圖像信號(hào)線13以外的掃描信號(hào)線12、半導(dǎo)體層 等層的圖案來(lái)形成。對(duì)于掃描信號(hào)線12、圖像信號(hào)線13、半導(dǎo)體層等， 在陣列基板10上形成的薄膜的層疊順序，也無(wú)特別限定。
而且，柱形隔墊不僅可設(shè)置在對(duì)置基板20上，而且也可設(shè)置在陣列基板10側(cè)。在這種場(chǎng)合，臺(tái)階部由構(gòu)成對(duì)置基板20的層來(lái)形成。為形成 臺(tái)階部而設(shè)置的圖案并不僅限于一層，可層疊多層圖案而形成臺(tái)階部。這 種圖案，只要能形成臺(tái)階部，其形狀并無(wú)限定。構(gòu)成臺(tái)階部的凸部的側(cè)面 也可以為錐(taper)形狀。同樣地，在柱形隔墊頂部形成的突起部，其形 狀也無(wú)限定。突起部的側(cè)面可為錐狀。
另外，在實(shí)施方式1~3中，就陣列基板的臺(tái)階部設(shè)有一個(gè)凸部的情 況進(jìn)行了說(shuō)明，但可設(shè)置多個(gè)。這時(shí)，將多個(gè)凸部(臺(tái)階)中最高一級(jí)所 占的面積設(shè)為柱形隔墊頂部面積的1/2以下，且從基部開始計(jì)的高度為 0.3nm以下。這里，基部設(shè)為與柱形隔墊相對(duì)的區(qū)域中與最高一級(jí)鄰接的 級(jí)。而且，在與柱形隔墊相對(duì)的區(qū)域中，最好將最低一級(jí)設(shè)為基部。同樣 地，在實(shí)施方式4、 5中，柱形隔墊上設(shè)置多個(gè)突起部也可。在多個(gè)突起 部(臺(tái)階)之中，將最高一級(jí)所占的面積設(shè)為柱形隔墊頂部面積的1/2以 下，且/人基部開始計(jì)的高度在0.3(nm以下。
以上的說(shuō)明只是用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式，本發(fā)明并不限于以上的 實(shí)施方式。另外，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠在本發(fā)明的范圍內(nèi)容易對(duì)以上實(shí)施 方式的各要素進(jìn)行變更、追加、變換。
權(quán)利要求
1. 一種顯示裝置，包括第一基板；配置在所述第 一基板對(duì)面的第二基板；夾持在所述第 一基板和所述第二基板之間的顯示材料；以及在所述第一基板的所述第二基板側(cè)的面上形成的、保持所述第一基板 和所述第二基板之間的基板間隔的柱形隔墊，其中，在與所述第二基板上的所述柱形隔墊相對(duì)的部位，或者在所述柱形隔 墊的頂面，設(shè)置高度在0.3pm以下的臺(tái)階部，在所述柱形隔墊的頂面之中， 所述臺(tái)階部的最高一級(jí)所占的比例在1/2以下。
2. 如權(quán)利要求1所述的顯示裝置，其特征在于 所述臺(tái)階部通過(guò)在構(gòu)成所述第二基板的層中至少一個(gè)層的圖案，形成在所述第二基板上。
3. 如權(quán)利要求2所述的顯示裝置，其特征在于 所述第二基板是具有掃描信號(hào)線及隔著絕緣膜與所述掃描信號(hào)線交叉的圖像信號(hào)線的陣列基板，所述臺(tái)階部通過(guò)從所述掃描信號(hào)線、所述圖像信號(hào)線、半導(dǎo)體層中的 至少一個(gè)分離的分離圖案來(lái)形成。
4. 如權(quán)利要求2所述的顯示裝置，其特征在于 所述第二基板是具有掃描信號(hào)線及隔著絕緣膜與所述掃描信號(hào)線交叉的圖像信號(hào)線的陣列基板，所述臺(tái)階部通過(guò)從所述掃描信號(hào)線、所述圖像信號(hào)線、半導(dǎo)體層中的 至少一個(gè)延伸的延伸圖案來(lái)形成。
5. 如權(quán)利要求2所述的顯示裝置，其特征在于 所述第二基板是具有掃描信號(hào)線及隔著絕緣膜與所述掃描信號(hào)線交叉的圖像信號(hào)線的陣列基板，所述臺(tái)階部由所述掃描信號(hào)線和所述圖像信號(hào)線的交叉部來(lái)形成。
6. 如權(quán)利要求1所述的顯示裝置，其特征在于所述臺(tái)階部由所述柱形隔墊的頂面上設(shè)置的突起部來(lái)形成。
7. —種在第 一基板和第二基板之間設(shè)有顯示材料的顯示裝置的制造 方法，包^"如下工序在所述第 一基板上形成柱形隔墊；在所述第二基板上形成多個(gè)薄膜，形成高度為0.3pm以下的臺(tái)階部； 使所述第 一 基板的形成有所述柱形隔墊的面和所述第二基板的形成 有所述臺(tái)階部的面相對(duì)，而且使所述柱形隔墊的頂面之中所述臺(tái)階部的最 高一級(jí)所占比例在1/2以下地對(duì)置配置，使所述對(duì)置配置的所述第一基板 和所述第二基板用密封材料來(lái)貼合。
8. —種在第 一基板和第二基板之間設(shè)有顯示材料的顯示裝置的制造 方法，包括如下工序在所述第一基板上，將具有高度為0.3nm以下的突起部的柱形隔墊，'使所述第二基板，^在所述第 一基板的形成有所述柱形隔墊的面?zhèn)葘?duì)置 配置，經(jīng)由密封材料貼合所述對(duì)置配置的所述第一基板和所述第二基板。
9. 如權(quán)利要求8所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于 在形成所述柱形隔墊的工序中，利用多色調(diào)曝光來(lái)形成具有所述突起部的所述柱形隔墊。
全文摘要
本發(fā)明提供一種抑制成品率降低的同時(shí)顯示品質(zhì)優(yōu)越的顯示裝置及其制造方法。本發(fā)明的顯示裝置包括對(duì)置基板(20)；配置在對(duì)置基板(20)對(duì)面的陣列基板(10)；夾持在對(duì)置基板(20)和陣列基板(10)之間的液晶(30)；以及在對(duì)置基板(20)的陣列基板(10)側(cè)的面上形成的、保持對(duì)置基板(20)和陣列基板(10)之間的基板間隔的柱形隔墊(25)，在與陣列基板(10)上的柱形隔墊(25)相對(duì)的部位，或者在柱形隔墊(25)的頂面，設(shè)置高度為0.3μm以下的臺(tái)階部(171)，在柱形隔墊(25)的頂面之中，臺(tái)階部(171)的最高的凸部(171a)所占的比例在1/2以下。
文檔編號(hào)H01L21/84GK101311799SQ200810109109
公開日2008年11月26日 申請(qǐng)日期2008年5月23日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月23日
發(fā)明者小山均 申請(qǐng)人:三菱電機(jī)株式會(huì)社