專利名稱：襯底移送軸用支撐塊及利用該支撐塊的襯底移送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及襯底移送裝置，尤其涉及用于支撐襯底移送軸的支撐塊及利 用該支撐塊的襯底移送裝置，所述襯底移送軸用于移送平板顯示器等的襯底。
背景技術(shù)：
通常，如平板顯示器(Flat Panel Display: FPD)的各種襯底，需要經(jīng)過(guò) 例如蒸鍍、清洗、干燥、曝光、顯影、蝕刻等各種制造工藝。此時(shí)，襯底通 過(guò)襯底移送裝置被移送到各個(gè)制造工藝中，并且襯底連續(xù)向一側(cè)水平移動(dòng)， 以用于在特定工藝中對(duì)移送中的襯底進(jìn)行各種處理。
襯底移送裝置使用多個(gè)襯底移送軸，而所述襯底移送軸利用軸承可旋轉(zhuǎn) 地設(shè)置在支撐塊上。為了使襯底移送軸的旋轉(zhuǎn)更加流暢，同時(shí)為了防止由于 磨損而縮短壽命，應(yīng)向軸承周期性地供給潤(rùn)滑液。在現(xiàn)有技術(shù)中，為了供給 潤(rùn)滑液使用朝軸承噴射潤(rùn)滑液的方式，或使用軸承的 一部分浸在設(shè)于支撐塊 外側(cè)的潤(rùn)滑液供給箱內(nèi)的潤(rùn)滑液里而被驅(qū)動(dòng)的方式。
但是，如果釆取前者的方式，則需要另設(shè)潤(rùn)滑液供給管，這不僅不便于 進(jìn)行襯底移送裝置的維護(hù)作業(yè)，而且噴射到軸承的潤(rùn)滑液濺射到其他部位而 影響美觀。并且，如果采取后者，則需要在潤(rùn)滑液供給箱內(nèi)裝填潤(rùn)滑液，從 而使?jié)櫥旱南牧看?，而且在軸承上產(chǎn)生的異物不能向外部流出而殘留在 潤(rùn)滑液供給箱內(nèi)部，從而由于所述異物造成軸承的磨損加快，導(dǎo)致通過(guò)襯底 移送裝置移送的襯底被污染。
另外，圖1示出現(xiàn)有襯底移送裝置的一例。從圖1所示的襯底移送裝置 可以看出，襯底移送裝置主要具備襯底移送軸1和襯底移送框架2。沿著襯 底的移送方向在襯底處理槽(bath) 3并列設(shè)置多個(gè)襯底移送軸1,而且襯底 移送框架2可旋轉(zhuǎn)地分別支撐這種襯底移送軸1的兩端。尤其，襯底移送框 架2由主體2a和封蓋2b組成，而且在主體2a與封蓋2b之間具有與襯底移 送軸1接觸的軸承(未圖示)，從而可使襯底移送軸1流暢的旋轉(zhuǎn)。此外，在 襯底移送框架2設(shè)有用于分別向軸承供給潤(rùn)滑液的潤(rùn)滑液供給線2c。 在這種現(xiàn)有的襯底移送裝置中，襯底移送框架2長(zhǎng)度非常長(zhǎng)，相當(dāng)于襯
底的移送距離，為了制造襯底移送框架2制造商必須在主體2a直接加工形成 軸承固定槽和潤(rùn)滑液供給線2c。尤其，供給線2c必須加工成使?jié)櫥撼潭?于軸承固定槽的軸承流動(dòng)，并可向外排出使用后的潤(rùn)滑液的結(jié)構(gòu)。
但是，由于現(xiàn)有的襯底移送框架2的長(zhǎng)度非常長(zhǎng)，相當(dāng)于襯底的移送距 離，因此制造商不便利用槍鉆(gun drill)等工具直接加工軸承固定槽和潤(rùn)滑 液供給線2c,從而對(duì)于制造襯底移送框架2帶來(lái)很多困難。并且，完成制造 的襯底移送框架2也因其長(zhǎng)度過(guò)長(zhǎng)而不便于搬運(yùn)和保管，而且也不易于現(xiàn)場(chǎng) 設(shè)置。尤其，在布置(layout)襯底移送裝置所需的工程設(shè)備時(shí)，需要適當(dāng)長(zhǎng) 度的襯底移送框架，但是由于現(xiàn)有的襯底移送框架2的長(zhǎng)度是固定值，所以 導(dǎo)致不能精確地應(yīng)對(duì)工程設(shè)備的布置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問(wèn)題而提出的，其目的在于提供一種不需要另設(shè) 外部潤(rùn)滑液供給管，并且能夠以少量的潤(rùn)滑液降低軸承的磨損的襯底移送軸 用支撐塊。
本發(fā)明的另一目的在于，提供一種構(gòu)成制造容易且搬運(yùn)和保管及現(xiàn)場(chǎng)設(shè) 置容易的襯底移送框架的襯底移送軸用支撐塊。
本發(fā)明的又一目的在于，利用所述支撐塊能夠根據(jù)襯底移送距離容易調(diào) 整長(zhǎng)度的襯底移送裝置。
為了解決上述第一個(gè)目的，本發(fā)明提供一種襯底移送軸用支撐塊，其包 含主體和封蓋，所述主體包含軸承安裝槽，以用于安裝可旋轉(zhuǎn)地支撐襯底 移送軸的軸^c;潤(rùn)滑液注入口，以用于/人外部注入潤(rùn)滑液；沿著襯底移送軸 的排列方向貫通形成的潤(rùn)滑液供給通道，其與所述潤(rùn)滑液注入口連通；分支 通道，以用于將所述潤(rùn)滑液供給通道連通至所述軸承安裝槽；潤(rùn)滑液排出口， 以用于從所述軸承安裝槽排出潤(rùn)滑液。所述封蓋用于在軸承安裝于所述軸承 安裝槽的狀態(tài)下與所述主體結(jié)合而蓋住軸承安裝槽。
為了解決上述第一及第二個(gè)目的，本發(fā)明公開一種襯底移送軸用支撐塊， 其包含主體和封蓋，所述主體支撐一個(gè)襯底移送軸，其包含用于安裝軸承 的軸承安裝槽，所述軸承可旋轉(zhuǎn)地支撐襯底移送軸；沿著所述襯底移送軸的 排列方向貫通形成的潤(rùn)滑液供給通道，以用于從外部供給潤(rùn)滑液；分支通道，
以用于將所述潤(rùn)滑液供給通道連通至所述軸承安裝槽；潤(rùn)滑液排出口，以用 于從所述軸承安裝槽排出潤(rùn)滑液；分別在沿著所述襯底移送軸的排列方向的 兩端部形成的結(jié)合部。所述封蓋用于在軸承安裝于所述軸承安裝槽的狀態(tài)下 與所述主體結(jié)合而蓋住軸承安裝槽。
為了解決上述第三個(gè)目的，本發(fā)明公開一種襯底移送裝置，其包含由 為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的第二目的而提供的支撐塊構(gòu)成并沿著襯底移送方向設(shè)置的一 系列的第一支撐塊；根據(jù)安裝于所述第一支撐塊的軸承安裝槽的軸承可旋轉(zhuǎn) 地設(shè)置于第一支撐塊的襯底移送軸；與所述襯底移送軸的端部相連接的驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)，以用于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)襯底移送軸。
根據(jù)本發(fā)明，用于向支撐襯底移送軸的軸承供給潤(rùn)滑液的通道被埋設(shè)在 襯底移送軸用支撐塊的內(nèi)部，從而不必另設(shè)外部潤(rùn)滑油供給管，因此改善了 其美觀性，且更容易維護(hù)及維修襯底移送裝置。
并且，根據(jù)本發(fā)明，用于潤(rùn)滑軸承的潤(rùn)滑液的量較少，而且所使用的潤(rùn) 滑液全部被回收而可對(duì)襯底移送軸的驅(qū)動(dòng)部位重復(fù)使用，從而有利于節(jié)約成 本。
并且，根據(jù)本發(fā)明，獨(dú)立的個(gè)體單位支撐塊通過(guò)相互連接的結(jié)構(gòu)而形成 襯底移送框架時(shí)，相對(duì)于獨(dú)立的一體結(jié)構(gòu)的現(xiàn)有技術(shù)，不僅在形成潤(rùn)滑液供 給線等的加工及制造方面非常有利，而且在搬運(yùn)和保管及現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置也變得更 力口容易。
并且，根據(jù)本發(fā)明，襯底移送裝置的整個(gè)長(zhǎng)度根據(jù)支撐塊的結(jié)合數(shù)量而 決定，從而可根據(jù)所需的襯底移送距離容易調(diào)整襯底移送裝置的長(zhǎng)度。因此， 本發(fā)明的襯底移送裝置非常有利于布置制造襯底的工程設(shè)備。


圖1是示出現(xiàn)有襯底移送裝置的一例的立體圖2是示出本發(fā)明的支撐塊的第一實(shí)施例的分解投影立體圖3是示出圖2的支撐塊和襯底移送軸的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部的主要部分的剖視
圖4是示出本發(fā)明的支撐塊的第二實(shí)施例和襯底移送軸的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部的 主要部分的剖視圖5是示出本發(fā)明的支撐塊的第三實(shí)施例的分解立體圖； 圖6是圖5的支撐塊的主體的主視圖； 圖7是圖5的支撐塊的主體的側(cè)面剖視圖； 圖8是示出構(gòu)成圖5的第三實(shí)施例的主體的變形例的主視圖； 圖9是示出利用了本發(fā)明所提供的支撐塊的襯底移送裝置的立體圖。 附圖主要符號(hào)說(shuō)明20、 lll為主體，21、 llla為軸承安裝槽，22、 llld 為潤(rùn)滑液排出口， 23為潤(rùn)滑液注入口， 24、 lllb為潤(rùn)滑液供給通道，25、 lllc 為分支通道，26為潤(rùn)滑液回收引導(dǎo)結(jié)構(gòu)，30、 112為封蓋，llle、 lllf為結(jié) 合部。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。但是，以下實(shí)施例的
為各種形態(tài)，并且本發(fā)明所要保護(hù)的范圍并不限定于以下所述的實(shí)施例。
圖2是示出本發(fā)明的支撐塊的第一實(shí)施例的分解投影立體圖，圖3是示 出圖2的支撐塊和襯底移送軸的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部的主要部分的剖視圖。
如圖2及圖3所示的本實(shí)施例的支撐塊包含主體20，具有用于安裝軸 承10的軸承安裝槽21,所述軸承10用于可旋轉(zhuǎn)地支撐襯底移送軸40,且其 內(nèi)部形成有用于朝所述軸承安裝槽21供給潤(rùn)滑液的通道；封蓋30,以用于 與所述主體20結(jié)合而蓋住軸承安裝槽21。以此所述支撐塊形成襯底移送框
恕不。
所述軸承安裝槽21具有側(cè)面部的臺(tái)階比中央部高的呈半圓形的底部，在 其臺(tái)階低的中央部安裝軸承10。并且，在軸承安裝槽21的臺(tái)階較高的側(cè)面 部的一部分形成有可排出潤(rùn)滑液的潤(rùn)滑液排出口 22。具有如上結(jié)構(gòu)的軸承安 裝槽21,在中央部的槽中固定軸承10的外輪，而在軸承安裝槽21的側(cè)面露 出軸承10的滾珠，以使軸承10更加牢固地被固定。這種結(jié)構(gòu)使供給潤(rùn)滑液 和排出所使用的潤(rùn)滑液變得更加容易。
在主體20內(nèi)部形成的通道包含潤(rùn)滑液注入口 23,其露在主體20側(cè)面； 潤(rùn)滑液供給通道24,其一部分連接于所述潤(rùn)滑液注入口 23,且沿著主體20 的長(zhǎng)度方向，即沿著在襯底移送裝置中襯底移送軸40所排列的方向形成在主 體20內(nèi)部的中央；使?jié)櫥汗┙o通道24與軸承安裝槽21連通的分支通道 25，其一側(cè)連接于潤(rùn)滑液供給通道24,另一側(cè)連接于所述軸承安裝槽21的
臺(tái)階稍高的側(cè)面部的側(cè)面。
在這種結(jié)構(gòu)中，在軸承10插入到軸承安裝槽21的狀態(tài)下，用其底面具
有插入軸承的插入口的封蓋30蓋住并裝配到下側(cè)的主體20時(shí)，軸承10會(huì)被
牢固地固定。
在如上所述的狀態(tài)下，從外部通過(guò)潤(rùn)滑液注入口 23注入潤(rùn)滑液時(shí)，潤(rùn)滑 液經(jīng)過(guò)潤(rùn)滑液供給通道24和分支通道25而供給到軸承安裝槽21。
在主體20側(cè)面的所述潤(rùn)滑液排出口 22的下側(cè)具有沿著主體20的長(zhǎng)度方 向延伸而形成的潤(rùn)滑液回收引導(dǎo)結(jié)構(gòu)26。潤(rùn)滑液回收引導(dǎo)結(jié)構(gòu)26優(yōu)選地朝 一個(gè)方向傾斜，以便從軸承安裝槽21經(jīng)過(guò)潤(rùn)滑液排出口 22排出的潤(rùn)滑液能 夠聚集到廢潤(rùn)滑液容器(未圖示)之中。
如上所述，流經(jīng)軸承10的潤(rùn)滑液通過(guò)潤(rùn)滑液排出口 22向主體22的側(cè)面 排出。即，優(yōu)選地潤(rùn)滑液排出口 22和分支通道25中間隔著軸7 、 10而相互面 對(duì)，且潤(rùn)滑液排出口 22位于襯底被移送的路徑側(cè)的主體20的內(nèi)側(cè)面，且分 支通道25位于主體20的外側(cè)面，這是為了防止由于通過(guò)潤(rùn)滑液排出口 22排 出的潤(rùn)滑液所導(dǎo)致的裝置美觀性的降低。并且，由于連接于襯底移送軸40的 從動(dòng)齒輪50和連接于驅(qū)動(dòng)軸60的主動(dòng)齒輪70及潤(rùn)滑液供給箱80位于主體 20的外側(cè)，因此，不便在主體20外側(cè)面設(shè)置所述潤(rùn)滑液回收引導(dǎo)結(jié)構(gòu)26。
如上所述的本發(fā)明的第一實(shí)施例，將潤(rùn)滑液供給到軸承的通道埋設(shè)在主 體20的內(nèi)部，因此外觀美麗，且容易維護(hù)裝置。并且使用后的潤(rùn)滑液可以被 收集而進(jìn)行凈化處理后可重復(fù)使用，因此是非常經(jīng)濟(jì)的。
圖4是將本發(fā)明的第二實(shí)施例所提供的支撐塊和襯底移送軸的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng) 部的主要部分對(duì)應(yīng)于圖3而示出的剖視圖。
本實(shí)施例中，流經(jīng)主體20'的軸承安裝槽21'的潤(rùn)滑液可排放到用于向 驅(qū)動(dòng)襯底移送軸40的主動(dòng)齒輪70和從動(dòng)齒輪50供給潤(rùn)滑液的潤(rùn)滑液供給箱 80。即，主體20'具有儲(chǔ)存潤(rùn)滑液的潤(rùn)滑液供給箱80，以用于潤(rùn)滑驅(qū)動(dòng)村底 移送軸40的主動(dòng)齒輪70和從動(dòng)齒輪50。并且，排出潤(rùn)滑液的潤(rùn)滑液排出口 22'朝著所述潤(rùn)滑液供給箱80呈開口狀，所述潤(rùn)滑液是流經(jīng)潤(rùn)滑液注入口 2 3'和潤(rùn)滑液供給通道24'及分支通道25'并在軸承安裝槽21'潤(rùn)滑軸承 IO后的潤(rùn)滑液。因此，從潤(rùn)滑液排出口 22'排出的潤(rùn)滑液流到潤(rùn)滑液供給箱 80,所述潤(rùn)滑液為了使主動(dòng)齒輪70和從動(dòng)齒輪50流暢地運(yùn)轉(zhuǎn)而起到潤(rùn)滑的 作用。
如上所述，用于潤(rùn)滑軸承10的潤(rùn)滑液，再次用于潤(rùn)滑主動(dòng)齒輪70和從
動(dòng)齒輪50的情況下，也不會(huì)發(fā)生從軸承10流出的異物再次流入到軸承10的 情況，從而防止了軸承10的急劇的磨損。所述主動(dòng)齒輪70及從動(dòng)齒輪50的 驅(qū)動(dòng)不會(huì)受到由軸承10流出的微細(xì)異物的影響。
圖5是示出本發(fā)明的支撐塊的第三實(shí)施例的分解立體圖，圖6和圖7分 別是圖5的支撐塊的主體的主視圖和側(cè)面剖視圖。下面通過(guò)參照這些附圖來(lái) 詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)施例。
本實(shí)施例的支撐塊IIO被區(qū)分為主體111和封蓋112，在一個(gè)支撐塊110 安裝有一個(gè)軸承(未圖示)的狀態(tài)下支撐一個(gè)襯底移送軸(未圖示)。主體 111其上端部具有用于安裝軸承的軸承安裝槽llla,封蓋112在所述安裝槽 llla安裝有軸承的狀態(tài)下通過(guò)蓋住軸承安裝槽llla來(lái)保護(hù)軸承。
為了給安裝于所述軸承安裝槽llla的軸承供給潤(rùn)滑液，主體111形成有 從外部通向軸承安裝槽llla的潤(rùn)滑液供給流路。潤(rùn)滑液供給流路由潤(rùn)滑液供 給通道lllb和分支通道lllc構(gòu)成，所述潤(rùn)滑液供給通道lllb用于與外部的 潤(rùn)滑液供給源(未圖示)連接，所述分支通道lllc用于將所述潤(rùn)滑液供給通 道lllb連通到軸承安裝槽llla。尤其，潤(rùn)滑液供給通道lllb的方向與在多 個(gè)襯底移送軸沿著襯底的移送方向并列排列時(shí)的排列方向 一致。這如同后述， 一系列的支撐塊110對(duì)應(yīng)襯底移送軸沿著襯底的移送方向被連接時(shí)，形成在 各自的單位支撐塊110的潤(rùn)滑液供給通道lllb以"一"字形狀連通，以使?jié)?滑液能夠順暢地供給。如上所述，潤(rùn)滑液供給通道lllb沿著襯底移送軸的排 列方向水平形成，因此分支通道lllc具有從潤(rùn)滑液供給通道lllb垂直延伸 至主體上端部的軸承安裝槽llla的結(jié)構(gòu)。
另夕卜，供給到軸承安裝槽llla而起到潤(rùn)滑作用之后應(yīng)排出的廢潤(rùn)滑液通 過(guò)形成在主體111的潤(rùn)滑液排出口 llld排出。即，潤(rùn)滑液排出口 llld設(shè)成 可從軸承安裝槽llla連通到主體111外，而且滯留在軸承安裝槽llla并起潤(rùn) 滑作用的潤(rùn)滑液通過(guò)潤(rùn)滑液排出口 llld排出，而被排出的廢潤(rùn)滑液通過(guò)另外 形成的通道(未圖示)被回收到潤(rùn)滑液箱而重復(fù)使用。尤其，潤(rùn)滑液排出口 llld優(yōu)選地形成在相比軸承安裝槽llla更低的位置，以使從軸承安裝槽llla 排出的潤(rùn)滑液不會(huì)漏到其他部位。
具有如上所述結(jié)構(gòu)的支撐塊110沿著襯底移送軸的排列方向配置相應(yīng)于 襯底的移送距離的數(shù)量，此時(shí)，為了可使支撐塊110互相結(jié)合而支撐塊110
之間的連接部位，即沿著襯底移送軸的排列方向的兩端部分別具有結(jié)合部
llle、 lllf。本實(shí)施例的結(jié)合部llle、 lllf,前者形成為凹部，后者形成為凸 部，從而使被結(jié)合的支撐塊110相互精確地對(duì)接。
在軸承安裝槽llla還可形成使?jié)櫥簻舻臏舨?retainer groove ) lllg。即，通過(guò)分支通道111c供給到軸承安裝槽llla的潤(rùn)滑液經(jīng)常有一部分 滯留在滯留槽(retainer groove) lllg,同時(shí)持續(xù)向軸承供給，借此，形成流 暢的潤(rùn)滑作用，且潤(rùn)滑液的供給量也比現(xiàn)有技術(shù)減少很多。
圖8是示出前述的第三實(shí)施例的主體的變形例的主視圖。
如上所述沿著襯底移送軸的排列方向以相應(yīng)于襯底的移送距離的數(shù)量配 置一系列的支撐塊110時(shí)，本變形例的支撐塊120位于襯底移送的開始部和 終止部。以下，為了方便說(shuō)明將前述的第三實(shí)施例的支撐塊110稱為第一支 撐塊，本變形例的支撐塊120稱為第二支撐塊。
第二支撐塊120在其結(jié)合部位具有對(duì)應(yīng)第一支撐塊110的凹凸結(jié)構(gòu)的凹 凸結(jié)構(gòu)，以用于在襯底移送的開始部和終止部分別與第一支撐塊110結(jié)合， 其相反側(cè)具有例如像階梯結(jié)構(gòu)的連接部120a。并且，如圖9所示，具有對(duì)應(yīng) 于所述連接部120a的連接部的端塊(end block) 130與第二支撐塊結(jié)合，從 而一系列的第一支撐塊110與第二支撐塊120及端塊130形成一個(gè)襯底移送 框架。此時(shí)，向第一支撐塊110與第二支撐塊120的潤(rùn)滑液供給通道的潤(rùn)滑 液的供給是根據(jù)從外部的潤(rùn)滑液供給源(未圖示)通過(guò)端塊130連接到第二 支撐塊120的潤(rùn)滑液供給通道(未圖示)的通常的供給管路(未圖示)而實(shí) 現(xiàn)。
圖9是具有如上所述結(jié)構(gòu)的襯底移送框架所適用的襯底移送裝置的立體圖。
如上所述，第一支撐塊110和第二支撐塊120及端塊130設(shè)成沿著襯底 移送軸的排列方向依次連接的結(jié)構(gòu)，在第一支撐塊110和第二支撐塊120上 分別設(shè)有根據(jù)安裝于軸承安裝槽llla的軸承可旋轉(zhuǎn)地被支撐的襯底移送軸 140。
并且，沿著支撐塊110、 120設(shè)有用于旋轉(zhuǎn)這些襯底移送軸140的驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)150。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)150與襯底移送軸140的端部連4妄而旋轉(zhuǎn)襯底移送軸140, 圖上所示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)150由驅(qū)動(dòng)軸151和支撐軸承152及齒輪153構(gòu)成。馬區(qū) 動(dòng)軸151的長(zhǎng)度對(duì)應(yīng)支撐塊110、 120的總連接長(zhǎng)度而形成，支撐軸承152固
定在從支撐塊110、 120中選擇的適合位置的支撐塊110、 120上可旋轉(zhuǎn)地支 撐驅(qū)動(dòng)軸151。并且，齒輪153設(shè)置在驅(qū)動(dòng)軸151上，其數(shù)量與支撐塊110、 120的數(shù)量一樣，而且所述齒輪153與形成在襯底移送軸140的齒輪嚙合， 由此使襯底移送軸140旋轉(zhuǎn)。并且，雖然在附圖中沒有示出，所述齒輪153 與如電機(jī)等動(dòng)力提供裝置連接而接受旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力。
在具有如上所述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的襯底移送裝置中，需要對(duì)應(yīng)襯底移送距 離來(lái)調(diào)整襯底移送裝置的長(zhǎng)度時(shí)，在具有相同結(jié)構(gòu)的第一支撐塊110中追加 或除去對(duì)應(yīng)長(zhǎng)度調(diào)整目標(biāo)的數(shù)量，便可容易地調(diào)整整個(gè)襯底移送裝置的長(zhǎng)度。
綜上所述，依據(jù)優(yōu)選實(shí)施例說(shuō)明了本發(fā)明，但是本發(fā)明并不限定于上述 實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思范圍的情況下，根據(jù)本領(lǐng)域的具有通常 知識(shí)的技術(shù)人員可進(jìn)行各種變形和修改。
權(quán)利要求
1、一種襯底移送軸用支撐塊，其包含主體和封蓋，所述主體包含軸承安裝槽，以用于安裝可旋轉(zhuǎn)地支撐襯底移送軸的軸承；潤(rùn)滑液注入口，以用于從外部注入潤(rùn)滑液；沿著襯底移送軸的排列方向貫通形成的潤(rùn)滑液供給通道，其與所述潤(rùn)滑液注入口連通；分支通道，以用于將所述潤(rùn)滑液供給通道連通至所述軸承安裝槽；潤(rùn)滑液排出口，以用于從所述軸承安裝槽排出潤(rùn)滑液，所述封蓋用于在軸承安裝于所述軸承安裝槽的狀態(tài)下與所述主體結(jié)合而蓋住軸承安裝槽。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底移送軸用支撐塊，其特征在于所述主體具 有潤(rùn)滑液回收引導(dǎo)結(jié)構(gòu)，以用于回收通過(guò)所述潤(rùn)滑液排出口排出的潤(rùn)滑液。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底移送軸用支撐塊，其特征在于所述主體具 有儲(chǔ)存潤(rùn)滑液的潤(rùn)滑液供給箱，以用于潤(rùn)滑驅(qū)動(dòng)襯底移送軸的齒輪，所述潤(rùn)滑液排出口朝所述潤(rùn)滑液供給箱開口 ，從而潤(rùn)滑液從潤(rùn)滑液排出 口排至潤(rùn)滑液供給箱。
4、 一種襯底移送軸用支撐塊，其包含主體和封蓋， 所述主體支撐一個(gè)襯底移送軸，其包含軸承安裝槽，以用于安裝可旋轉(zhuǎn)地支撐襯底移送軸的軸承；沿著所述襯底移送軸的排列方向貫通形成的潤(rùn) 滑液供給通道，以用于從外部供給潤(rùn)滑液；分支通道，以用于將所述潤(rùn)滑液 供給通道連通至所述軸承安裝槽；潤(rùn)滑液排出口，以用于從所述軸承安裝槽 排出潤(rùn)滑液；分別在沿著所述襯底移送軸的排列方向的兩端部形成的結(jié)合部，蓋住軸承安裝槽。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的村底移送軸用支撐塊，其特征在于所述軸承安 裝槽還形成有滯留槽，以用于使通過(guò)所述分支通道供給的潤(rùn)滑液滯留。
6、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的襯底移送軸用支撐塊，其特征在于所述潤(rùn)滑液 排出口位于相對(duì)所述軸承安裝槽更低的位置。
7、 一種襯底移送裝置，其包含由權(quán)利要求4所記載的結(jié)構(gòu)構(gòu)成并沿著 襯底移送方向設(shè)置的 一 系列的第 一 支撐塊；根據(jù)安裝于所述第 一 支撐塊的軸承安裝槽的軸承可旋轉(zhuǎn)地設(shè)在第 一 支撐 塊的襯底移送軸；及與所述襯底移送軸的端部相連接的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，以用于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)襯底移送軸。
8、根據(jù)權(quán)利要求7所述的襯底移送裝置，其特征在于還包含第二支撐 塊，其在襯底移送的開始部和終止部分別與所述第一支撐塊結(jié)合，并且在與 第一支撐塊結(jié)合部位的相反側(cè)具有連接部；及端塊，其具有與所述第二支撐塊的連接部相對(duì)應(yīng)的連接部，從而與所述 第二支撐塊結(jié)合。
全文摘要
本發(fā)明公開一種襯底移送軸用支撐塊及利用該支撐塊的襯底移送裝置。在本發(fā)明中，用于向支撐襯底移送軸的軸承供給潤(rùn)滑液的通道被埋設(shè)在襯底移送軸用支撐塊的內(nèi)部，從而不必另設(shè)外部潤(rùn)滑油供給管，因此改善了其美觀性，且更容易維護(hù)及維修襯底移送裝置。并且，獨(dú)立的個(gè)體單位支撐塊根據(jù)相互連接的結(jié)構(gòu)而形成襯底移送框架時(shí)，相對(duì)于獨(dú)立的一體結(jié)構(gòu)的現(xiàn)有技術(shù)，不僅在形成潤(rùn)滑液供給線等的加工及制造方面非常有利，而且在搬運(yùn)和保管及現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置也變得更加容易。
文檔編號(hào)H01L21/677GK101359587SQ20081014470
公開日2009年2月4日 申請(qǐng)日期2008年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月31日
發(fā)明者盧鎮(zhèn)成, 李在成 申請(qǐng)人:K.C.科技股份有限公司