專利名稱：靜電夾具和具有該靜電夾具的設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種靜電夾具，尤其是涉及在制造液晶顯示器(LCD)面板 過程中的襯底組裝工藝中吸引襯底的靜電夾具。
背景技術(shù)：
可以使用多種不同的設(shè)備來(lái)組裝襯底。對(duì)于用來(lái)在處理過程中在這些設(shè) 備中保持和固定襯底的各種器件所進(jìn)行的改進(jìn)，可以改進(jìn)組裝工藝和最終襯 底的整體質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種靜電夾具，包括基底部，所述基 底部包括具有彈性恢復(fù)力的彈性部分；以及設(shè)置在所述基底部的上表面上面 的靜電力發(fā)生部，其中，所述靜電力發(fā)生部包括絕緣層、電極層和介電層。
根據(jù)本發(fā)明的另 一個(gè)方面，提供了 一種用于襯底組裝設(shè)備的靜電夾具， 所述襯底組裝設(shè)備用于組裝平板顯示器面板的襯底，所述靜電夾具包括具 有彈性部分的基底部；以及結(jié)合于所述基底部的靜電力發(fā)生部，其中，所述 基底部的彈性部分吸收施加在其上的外力，使得所述外力不被傳遞給所述靜 電力發(fā)生部。


下面將參照附圖詳細(xì)地描述實(shí)施例。附圖中，類似附圖標(biāo)記表示類似元 件，其中，
圖1是顯示腔室變形以及由于腔室變形造成襯底變形的剖視圖； 圖2顯示的是由于圖1所示襯底變形造成平整度變差；圖3是本申請(qǐng)包含并概括性描述的襯底組裝設(shè)備的剖視圖； 圖4是圖3所示襯底組裝設(shè)備的一個(gè)示例性靜電夾具的剖視圖； 圖5是圖3所示襯底組裝設(shè)備的另一個(gè)示例性靜電夾具的剖視圖； 圖6是圖3所示襯底組裝設(shè)備的另一個(gè)示例性靜電夾具的剖視圖；以及 圖7是一個(gè)襯底的剖視圖，其中，利用本申請(qǐng)包含并概括性描述的襯底 組裝設(shè)備的靜電夾具，該襯底中的變形減少了。
具體實(shí)施例方式
靜電夾具是在一件半導(dǎo)體或者LCD制造設(shè)施的真空腔室中在其上放置 例如玻璃或者晶片襯底的部件。靜電夾具利用靜電力夾持襯底。更具體地說(shuō)， 靜電夾具利用可在位于電極和襯底之間的介電層中產(chǎn)生的約翰遜-拉貝克 (Johnsen-Rahbeck )力和庫(kù)倫力來(lái)吸引襯底。靜電夾具總的可以分為聚酰亞 胺靜電夾具和陶瓷靜電夾具。
靜電夾具可包括基底部和設(shè)在基底部上表面上的靜電力發(fā)生部。靜電力 發(fā)生部可包括絕緣層、電極層和介電層。待吸引的物體，例如襯底，可放置 在靜電力發(fā)生部的介電層上。當(dāng)電壓施加到電極層時(shí)，在介電層面對(duì)襯底的 一側(cè)產(chǎn)生正電荷，而在介電層的另一側(cè)產(chǎn)生負(fù)電荷。于是，電能在正、負(fù)電 荷之間起作用，因此吸引襯底。
靜電夾具可以用在襯底制造工藝。例如，在制造LCD的情況中，在單獨(dú) 制造了薄膜晶體管(TFT)襯底和濾色器(CF)襯底之后，這兩個(gè)襯底會(huì)被 結(jié)合起來(lái)，然后將液晶材料注入到襯底之間。
這些襯底的組裝或者結(jié)合可以由襯底組裝設(shè)備進(jìn)行，這種襯底組裝設(shè)備 具有里面可以產(chǎn)生真空的、包括上、下腔室的腔室。為了分別將這兩個(gè)待組 裝的襯底吸31到上腔室的上板和下腔室的下板，靜電夾具可用作這種襯底吸 引裝置。
在襯底組裝工藝中，重要的是要對(duì)齊上、下襯底，使得能夠維持上、下 襯底之間不變的間隔，保持襯底平行以及維持平整度，因?yàn)檫@影響到這種組 裝工藝所得到的產(chǎn)品的質(zhì)量。為了在襯底組裝設(shè)備中維持上、下襯底間的間 隔和平行度，可以使用Z軸精密對(duì)準(zhǔn)儀對(duì)準(zhǔn)各襯底的中心標(biāo)記點(diǎn)。這種精密 對(duì)準(zhǔn)裝置還可以提高平行度。如果合適，也可以使用其他系統(tǒng)。
然而，這種工藝并沒有提供由于襯底變形而產(chǎn)生的對(duì)襯底整個(gè)表面平整度進(jìn)行的調(diào)整。更具體地說(shuō)，施加到襯底的不均勻應(yīng)力可能造成襯底變形。 而且，待處理襯底越大，變形可能越差，因而平整度變得越差。因?yàn)榍皇疑?的負(fù)載造成腔室下陷而使得應(yīng)力改變，而且因?yàn)樵谝r底組裝工藝中腔室內(nèi)產(chǎn) 生真空時(shí)的壓力差造成應(yīng)力改變，所以，非均勻應(yīng)力施加到襯底上。如果沒 有某些手段來(lái)防止腔室變形，那么，變形就會(huì)傳遞到襯底，導(dǎo)致襯底變形和 組裝后襯底質(zhì)量惡化。
由于腔室負(fù)載造成的變形是靜態(tài)變形，所以，這種變形可以通過調(diào)整初 始設(shè)定值進(jìn)行處理。但是，壓力差造成的變形是動(dòng)態(tài)變形，因此，消除這種 變形會(huì)更困難。尤其是，發(fā)生在上腔室內(nèi)的動(dòng)態(tài)變形可能比發(fā)生在下腔室內(nèi) 的動(dòng)態(tài)變形更嚴(yán)重，其中下腔室可以固定到并由此由基底框架支承。下文中， 為討論方便，由于空氣壓力差造成的變形將針對(duì)上腔室詳細(xì)描述。
上述的襯底組裝工藝在里面已經(jīng)產(chǎn)生了真空的腔室中進(jìn)行。這時(shí)，由于 腔室內(nèi)、外壓力差造成了腔室內(nèi)、外產(chǎn)生擠壓力。這種擠壓力造成腔室的中 心部分下陷而變形。這種變形被傳遞給腔室里面，也傳遞給機(jī)械緊固到腔室 的靜電夾具。最終，變形傳遞給靜電夾具保持的襯底，造成襯底下陷。
圖1示出了上面討論的由腔室變形造成的襯底變形。如圖1所示，當(dāng)腔
室IO被抽真空而在腔室10內(nèi)產(chǎn)生真空時(shí)，由于里面和外面之間大氣壓力差，
擠壓力從腔室外面向腔室里面作用。在圖l所示的例子中，擠壓力造成腔室
l()的中心部分彎曲而變形。這種變形影響了由襯底支承20吸引到腔室IO的 襯底P,使襯底P的中心部分也彎曲而變形。
圖2示出了變形前的襯底P (用虛線表示)和變形后的同一襯底P'(用 實(shí)線表示)。如圖2所示，變形前襯底P的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記中心點(diǎn)X不同于變形后 襯底P'的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記中心點(diǎn)X'。這表示了襯底的平整度受到了怎樣不好的影響。
當(dāng)如圖2所示平整度下降并在組裝中將兩個(gè)襯底壓在一起時(shí)，兩個(gè)襯底 之間的間隔是不規(guī)則的。在圖2所示的例子中，襯底中心部分之間的間隔小 于襯底邊緣部分之間的間隔。也就是說(shuō)，襯底間的間隔是不均勻的，于是使 組裝后襯底的質(zhì)量劣化。
現(xiàn)在將參照?qǐng)D3~7來(lái)討論本申請(qǐng)包含并概括性描述的靜電夾具和具有 該靜電夾具的襯底組裝設(shè)備。
如圖3所示，襯底組裝設(shè)備可以包括內(nèi)部安放上襯底P1的上腔室11和 內(nèi)部安放下襯底P2的下腔室12。下腔室12可固定到基底框架(未示出)，上腔室1 1可由移動(dòng)裝置40升高和降低。
上靜電夾具21可設(shè)置在上腔室11內(nèi)，以將上襯底P1安放在里面。下靜 電夾具22可設(shè)在下腔室12內(nèi)，以將下襯底P2安放在里面。上靜電夾具21 可安裝在設(shè)于上腔室11內(nèi)的上板31上，下靜電夾具22可安裝在設(shè)于下腔室 12內(nèi)的下板32上。上、下靜電夾具21、 22可各自包括多個(gè)銷311、 321,這 些銷可以經(jīng)上、下板31、 32可縮回地伸出。
當(dāng)下襯底P2進(jìn)入下腔室12時(shí)，下銷321可向上運(yùn)動(dòng)以接收襯底P2。隨 后，下銷321可向下運(yùn)動(dòng)，而將下襯底P2放置在下靜電夾具22上。進(jìn)一步， 當(dāng)完成了組裝工藝而將上襯底P1和下襯底P2組裝成面板時(shí)，為了將面板傳 送到外面，下銷321可從下板32伸出，以向上移動(dòng)組裝后面^1。
攝像機(jī)70可與上腔室11 一同設(shè)置，以拍攝在上、下村底P1、 P2上指 示的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的圖像，因而確定襯底Pl、 P2是否定位于精確的組裝位置。 攝像機(jī)70可通過穿過上腔室11的孔71來(lái)拍攝對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的圖像。
進(jìn)一步，當(dāng)上、下腔室ll、 12相互緊密接觸而形成處理空間時(shí)，真空裝 置5(),例如渦輪分子泵('rMP)、千式泵或者合適的其他形式的泵，可以連 接到處理空間，以在內(nèi)部產(chǎn)生真空。
下面將參照?qǐng)D4 ~ 6描述可用作圖3所示襯底組裝設(shè)備的上或下靜電夾具 21或者22的靜電夾具。
圖4是圖3所示襯底組裝設(shè)備的示例性靜電夾具的剖視圖，其中靜電夾 具21/22的基底部80包括具有彈性的尿烷材料。
如圖4所示，靜電夾具21/22的基底部80可包括尿烷彈性層81。靜電力 發(fā)生部90可設(shè)置在基底部80的上表面。靜電力發(fā)生部90可包括用例如聚酰 亞胺膜制成的絕緣層91、用例如銅膜制成并在上面形成有電極94的電極層 92、以及用例如聚酰亞胺膜制成的介電層93。絕緣層91、電極層92和介電 層93可以使用例如粘性膜95相互貼在一起。
取決于待處理襯底的形狀，基底部80可具有各種形狀。例如，在LCD 面板制造工藝中，基底部80可具有矩形塊的形狀。按此方式制造的基底部 8()可結(jié)合到圖4所示的靜電力發(fā)生部90。雖然圖中沒有詳細(xì)地表示出對(duì)形成 于電極層92上的電極94進(jìn)行供電的方法，但是電極94可連接到直流電源設(shè) 備(沒有示出)。
圖4所示的靜電夾具21/22可以經(jīng)過各種緊固裝置緊固到腔室11/12內(nèi)的板31/32，并且多個(gè)銷通過孔可以穿過靜電夾具21/22形成，以容納所述的多 個(gè)銷311/321。
圖5是圖3所示襯底組裝設(shè)備的另一個(gè)示例性靜電夾具21/22的剖視圖。 如圖5所示，靜電夾具21/22的基底部80可具有雙層結(jié)構(gòu)，該雙層結(jié)構(gòu)具有 尿烷彈性層81和設(shè)在尿烷彈性層81上表面上的鋁層82。這樣，絕緣層91、 電極層92和介電層93按順序疊置在鋁層82的上表面上。鋁層82可加到靜 電夾具21/22的基底部80以更有效地保護(hù)靜電力發(fā)生部90不受基底部80變 形的影響。
圖6是圖3所示襯底組裝設(shè)備的另一個(gè)示例性靜電夾具21/22的剖視圖。 如圖6所示，靜電夾具21/22的基底部80可具有雙層結(jié)構(gòu)，該雙層結(jié)構(gòu)具有 鋁層82和設(shè)在鋁層82上表面上的尿烷彈性層81 。這樣，絕緣層91 、電極層 92和介電層93按順序疊置在尿烷彈性層81的上表面上。
下面將討論本申請(qǐng)包含并概括性描述的襯底組裝設(shè)備的操作和靜電夾具 的沖擊吸收功能。
當(dāng)上襯底P1由襯底傳送機(jī)器人(沒有示出)傳送到相互間分隔開的上腔 室11和下腔室12之間的空間100內(nèi)時(shí)，設(shè)在上腔室11上的上銷311向下運(yùn) 動(dòng)并在上襯底P1上施加吸引力。上銷311向上運(yùn)動(dòng)，上襯底P1由于受上銷 3U的吸引也向上運(yùn)動(dòng)。然后，上襯底Pl接觸并附著于設(shè)在上板31上的靜 電夾具21，接著釋放來(lái)自上銷311的吸引力。
當(dāng)下襯底P2由襯底傳送機(jī)器人傳送到空間100內(nèi)時(shí)，下銷321向上運(yùn)動(dòng) 以在上面接收下襯底P2，而機(jī)器人移動(dòng)到外面。接著，下銷321向下運(yùn)動(dòng)， 并將下襯底P2安放并附著于下靜電夾具22。
上腔室U接著被移動(dòng)裝置40向下移動(dòng)， 一直到上腔室接觸下腔室12， 這樣就在上腔室11和下腔室12之間形成了一個(gè)密封的處理空間100。通過 真空裝置50的操作，密封的處理空間IOO可保持真空狀態(tài)。這時(shí)，上板31 向下運(yùn)動(dòng)，上襯底Pl被貼近下襯底P2定位。
上襯底Pl和下襯底P2的對(duì)準(zhǔn)被分解成使設(shè)在襯底Pl、 P2上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo) 記相互對(duì)齊的XYe軸對(duì)準(zhǔn)以及調(diào)整襯底Pl 、 P2之間間隔和平行度的Z軸對(duì) 準(zhǔn)。當(dāng)完成最終對(duì)準(zhǔn)時(shí)，上襯底P1被定位在下襯底P2上，使上、下襯底P1、 P2相互組裝起來(lái)。
襯底Pl和P2的這種初始的預(yù)組裝之后，終止對(duì)靜電夾具21和22的供
8電，因而上襯底P1被從靜電夾具21釋放，以與設(shè)在下面位置上的下襯底P2 進(jìn)行組裝。 .
接著，排空處理空間IO()并將襯底組裝設(shè)備放置成等待模式。雖然圖中 沒有示出，但是，從上腔室11供給N2氣，使上襯底P1和下襯底P2更牢固 地組裝在一起。
當(dāng)襯底P1和P2完全組裝好之后，上腔室ll和下腔室12被相互移開， 而且向上移動(dòng)下腔室11的下銷321，使襯底傳送機(jī)器人可將組裝后襯底傳送 出處理空間100。經(jīng)過這樣的工藝，組裝工藝完成。
在這個(gè)工藝中，本申請(qǐng)包含并概括性描述的靜電夾具可以吸收例如4齊壓 力等的沖擊，使得抽真空造成的腔室變形不會(huì)傳遞給襯底，于是保持了襯底 表面的平整度并顯著提高了組裝后襯底的質(zhì)量。
本申請(qǐng)包含并概括性描述的靜電夾具可包括在基底部中用彈性材料制成 的彈性層，于是利用彈性材料的彈性恢復(fù)力解決了腔室變形造成的傳遞給襯 底的非均勻應(yīng)力問題，由此改善了襯底的平整度，提高了組裝后襯底的質(zhì)量。
尤其是，彈性層可設(shè)在靜電夾具的基底部中，這樣襯底組裝設(shè)備中就不 再需要額外的裝置，由此實(shí)現(xiàn)了一種簡(jiǎn)單經(jīng)濟(jì)的結(jié)構(gòu)。
下面將討論本申請(qǐng)包含并概括性描述的、具有用彈性材料制成的層的靜 電夾具的特征。
外力造成的腔室10的變形可以是不變的但不是均勻的，并隨著位置改變 而不同。在例如如圖1所示沒有沖擊吸收裝置的情況下，如上所述，變形被 傳遞給襯底。作為對(duì)比，具有沖擊吸收裝置的襯底支承單元20，用來(lái)提供抵 消變形的彈性恢復(fù)力以及用來(lái)更均勻地分散外力。由此，在具有與腔室10 接觸的沖擊吸收裝置的襯底支承單元20的一個(gè)表面上，應(yīng)力分布可以是非均 勻的，而且該表面表現(xiàn)出隨著腔室10變形而變形。但是，對(duì)于與該表面相對(duì)、 附著著襯底的表面來(lái)說(shuō)，應(yīng)力分布變得基本均勻而且局部變形的影響可被減 少。結(jié)果，均勻的應(yīng)力可被施加到襯底P，這樣如圖7所示，襯底P能夠保 持初始的平整度。
作為用于靜電夾具的基底部80中的彈性材料，優(yōu)選的材料是當(dāng)解除外力 時(shí)具有優(yōu)異的形狀恢復(fù)力而且不會(huì)傳遞局部變形的影響。進(jìn)一步，優(yōu)選的材 料是能夠抵御在制造工藝中出現(xiàn)的各種污染源并具有良好的可加工性。作為 這樣的一種材料，優(yōu)選的材料例如是用尿烷材料制成的橡膠。根據(jù)襯底的變
9形特征、使用條件和其他類似因素，其他材料也會(huì)適合用作彈性材料。
提供了一種襯底組裝設(shè)備的靜電夾具，該夾具具有沖擊吸收裝置，該沖 擊吸收裝置能夠減少變形從腔室到襯底的傳遞。
這種沖擊吸收裝置可以通過使用可彈性變形的彈性材料制造靜電夾具的 基底部而得到，無(wú)需對(duì)襯底組裝設(shè)備增加額外裝置。另外的方式是，可以通 過向靜電夾具的基底部增加彈性材料來(lái)得到?jīng)_擊吸收裝置。
本申請(qǐng)包含并概括性描述的靜電夾具可以包括具有彈性材料層的基底部 以及設(shè)在基底部上表面上、具有絕緣層、電極層和介電層的靜電力發(fā)生部。
在本說(shuō)明書中所談到的"一個(gè)實(shí)施例"、"實(shí)施例"、"示例性實(shí)施例"、 "特定實(shí)施例"、"替換性實(shí)施例"等等，指的是結(jié)合該實(shí)施例描述的具體 特征、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)包括在本申請(qǐng)概括性描述的至少一個(gè)實(shí)施例中。在說(shuō)明 書中任何地方出現(xiàn)這種表述不是一定都指的是該同一個(gè)實(shí)施例。進(jìn)一步，結(jié) 合任一實(shí)施例描述一個(gè)具體特征、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)時(shí)，所要主張的是結(jié)合其他 實(shí)施例來(lái)實(shí)現(xiàn)這種特征、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)，落在本領(lǐng)域技術(shù)人員的范圍內(nèi)。
盡管參照本發(fā)明的多個(gè)解釋性實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述，但是，應(yīng)該 理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計(jì)出很多其他的修改和實(shí)施方式，這些修改和 實(shí)施方式將落在本申請(qǐng)公開的原則范圍和精神之內(nèi)。更具體地說(shuō)，在本申請(qǐng) 公開、附圖和權(quán)利要求的范圍內(nèi)，可以對(duì)主題組合布局的組成部件和/或布局 進(jìn)行多種變型和改進(jìn)。除了對(duì)組成部件和/或布局進(jìn)行的變型和改進(jìn)外，對(duì)于 本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，其他的用途也將是明顯的。
10
權(quán)利要求
1. 一種靜電夾具，包括基底部，所述基底部包括具有彈性恢復(fù)力的彈性部分；以及設(shè)置在所述基底部的上表面上面的靜電力發(fā)生部，其中，所述靜電力發(fā)生部包括絕緣層、電極層和介電層。
2. 如權(quán)利要求1所述的靜電夾具，其中，所述絕緣層位于所述基底部的 上表面上面，所迷電極層位于所述絕緣層的上表面上面，所述介電層位于所 述電極層的上表面上面，使得所述介電層暴露的上表面構(gòu)成襯底接收表面。
3. 如權(quán)利要求1所述的靜電夾具，其中，所述基底部的彈性部分吸收施 加在其上面的外力，使得所述力不被傳遞給所述靜電力發(fā)生部。
4. 如權(quán)利要求1所述的靜電夾具，其中，所述基底部具有雙層結(jié)構(gòu)，所 述雙層結(jié)構(gòu)包括用彈性材料制成的彈性層和設(shè)在所述彈性層的表面上面、用 非彈性材料制成的非彈性層。
5. 如權(quán)利要求4所述的靜電夾具，其中，所述非彈性層位于所述彈性層 的上表面上面，所述絕緣層位于所述基底部的上表面上面，所述電極層位于 所述絕緣層的上表面上面，所述介電層位于所述電極層的上表面上面，使得 所述介電層暴露的上表面構(gòu)成襯底接收表面。
6. 如權(quán)利要求5所述的靜電夾具，其中，所述彈性層是用尿烷材料制成 的，所述非彈性層是用鋁制成的。
7. 如權(quán)利要求5所述的靜電夾具，其中，所述彈性層變形以吸收施加在 其上面的外力，而所述非彈性層保持其形狀不變，使得所述外力不被傳遞給 所述靜電力發(fā)生部。
8. 如權(quán)利要求4所述的靜電夾具，其中，所述彈性層位于所述非彈性層 的上表面上面，所述絕緣層位于所述基底部的上表面上面，所述電極層位于 所述絕緣層的上表面上面，所述介電層位于所速電極層的上表面上面，使得 所述介電層暴露的上表面構(gòu)成襯底接收表面。
9. 如權(quán)利要求7所述的靜電夾具，其中，所述彈性層是用尿烷材料制成 的，所述非彈性層是用鋁制成的。
10.如權(quán)利要求7所述的靜電夾具，其中，所述彈性層變形以吸收施加 在其上面的外力，而所述非彈性層保持其形狀不變，使得所述外力不被傳遞給所述靜電力發(fā)生部。
11. 一種用于襯底組裝設(shè)備的靜電夾具，所述襯底組裝設(shè)備用于組裝平板顯示器面板的襯底，所述靜電夾具包括 具有彈性部分的基底部；以及結(jié)合于所述基底部的靜電力發(fā)生部，其中，所述基底部的彈性部分吸收 施加在其上的外力，使得所述外力不被傳遞給所述靜電力發(fā)生部。
12. 如權(quán)利要求11所述的靜電夾具，其中，所述靜電力發(fā)生部包括 設(shè)在所述基底部的接收表面上面的絕緣層； 設(shè)在所述絕緣層上面的電極層；以及介電層，所述介電層設(shè)在所述電極層上面并具有形成襯底接收表面的暴 露表面。
13. 如權(quán)利要求12所述的靜電夾具，其中，所述基底部包括 用彈性材料制成的彈性層；以及 結(jié)合于所述彈性層并用非彈性材料制成的非彈性層。
14. 如權(quán)利要求13所述的靜電夾具，其中，所述彈性層位于所述非彈性 層上面，使得所述彈性層的上表面形成所述基底部的接收表面。
15. 如權(quán)利要求13所述的靜電夾具，其中，所述非彈性層位于所述彈性 層上面，使得所述非彈性層的上表面形成所述基底部的接收表面。
16. 如權(quán)利要求13所述的靜電夾具，其中，所述彈性層是用尿烷材料制 成的，所述非彈性層是用鋁制成的。
17. 如權(quán)利要求13所述的靜電夾具，其中，所述彈性層變形以吸收施加 在其上面的外力，而所述非彈性層保持其形狀不變，使得所述外力不被傳逸 給所述靜電力發(fā)生部。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種靜電夾具和具有該靜電夾具的設(shè)備。該靜電夾具可以在制造平板顯示器面板的襯底組裝工藝中吸引襯底。用彈性材料制成的彈性層可以設(shè)在靜電夾具的基底部中，防止由于外力造成的非均勻應(yīng)力分布在襯底上，因此保持襯底的平整度，提高組裝后襯底的質(zhì)量。該靜電夾具可包括設(shè)在基底部上表面上面的靜電力發(fā)生部，該靜電力發(fā)生部包括絕緣層、電極層和介電層?；撞靠稍O(shè)有用具有彈性恢復(fù)力的彈性材料制成的彈性層。
文檔編號(hào)H01L21/683GK101452870SQ20081017209
公開日2009年6月10日 申請(qǐng)日期2008年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月3日
發(fā)明者黃載錫 申請(qǐng)人:愛德牌工程有限公司