專利名稱：有機(jī)el顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及包括有機(jī)電致發(fā)光(下文中稱為"有機(jī)EL")元件的 顯示裝置，更具體地說，涉及密封結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
近年來，自身發(fā)光的有機(jī)EL顯示裝置作為平板顯示器已經(jīng)受到 關(guān)注。在將圖像顯示在有機(jī)EL顯示裝置中的區(qū)(顯示區(qū))中，布置 多個有機(jī)EL顯示元件，每一有機(jī)EL顯示元件具有夾在第一電極與 第二電極之間的有機(jī)層，并且有機(jī)EL元件充當(dāng)像素并且發(fā)射光以顯 示圖像。有機(jī)EL元件極易受濕氣和氧所影響。當(dāng)濕氣或氧從外部滲 透到有機(jī)EL元件中時(shí)，有機(jī)EL元件可能劣化，導(dǎo)致生成:f皮稱為暗 點(diǎn)的不發(fā)光部分。
作為用于防止?jié)駳夂脱鯊耐獠繚B透到有機(jī)EL元件的結(jié)構(gòu)，曰本 專利公開No.2003-282240 (專利文獻(xiàn)1)公開了一種結(jié)構(gòu)，其中，包 括樹脂保護(hù)膜109和無機(jī)保護(hù)膜110的保護(hù)膜覆蓋有機(jī)EL元件，如 圖6所示。根據(jù)專利文獻(xiàn)1,樹脂保護(hù)膜109覆蓋有機(jī)EL元件以及 有機(jī)EL元件周圍的襯底的表面，并且無機(jī)保護(hù)膜110覆蓋樹脂保護(hù) 膜109、其邊緣以及樹脂保護(hù)膜109周圍的襯底的表面。在這種結(jié)構(gòu) 中，由于可能作為濕氣的滲透路徑的樹脂保護(hù)膜109沒有暴露在外部， 因此可以防止?jié)駳獾臐B透，并且可以防止有機(jī)EL元件劣化。
更進(jìn)一步地，在頂部發(fā)射類型有機(jī)EL顯示裝置中，提供由樹脂 材料構(gòu)成的平坦化膜104，以對襯底與有機(jī)EL元件之間所布置的像 素電路102的不規(guī)則之處進(jìn)行平坦化，從而可以防止待堆疊的層斷開 (參見圖7)。由于平坦化膜104也具有保護(hù)像素電路102和外圍電 路103的功能，因此也從顯示區(qū)連續(xù)地在外圍電路103上形成平坦化膜104。當(dāng)以粘接劑702來對玻璃襯底701和具有這種結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL 顯示裝置進(jìn)行密封時(shí)，濕氣可能從外部通過平坦化膜104滲透到顯示 區(qū)，導(dǎo)致有機(jī)EL元件的劣化。
為了解決這個問題，日本專利公開No.2005-164818(專利文獻(xiàn)2 ) 公開了一種技術(shù)，其中，用于分割平坦化膜104的區(qū)域B被布置在顯 示區(qū)的外圍周圍，從而防止?jié)駳獾臐B透，如圖7所示。
因?yàn)榭梢詼p少生產(chǎn)成本和步驟數(shù)量，所以如下結(jié)構(gòu)適合于大規(guī)模 生產(chǎn)，在所述結(jié)構(gòu)中，為了防止?jié)駳鉂B透到有機(jī)EL元件中，布置樹 脂保護(hù)膜和無機(jī)保護(hù)膜從而保護(hù)有機(jī)EL元件。然而，當(dāng)在具有基本 上布置在襯底的整個表面上的平坦化膜的頂部發(fā)射類型有機(jī)EL顯示 裝置中使用這種保護(hù)膜時(shí)，在根據(jù)專利文獻(xiàn)l的結(jié)構(gòu)中，濕氣從外部 通過平坦化膜滲透到有機(jī)EL元件。
甚至在如專利文獻(xiàn)2中那樣在平坦化膜中提供分割區(qū)域的情況 下，如果樹脂保護(hù)膜109的端部位于圖8所示的分割區(qū)域B外部的平 坦化膜104上，則從平坦化膜104進(jìn)入的濕氣通過樹脂保護(hù)膜109滲 透到顯示區(qū)。
因此，在上述結(jié)構(gòu)中，在有機(jī)EL元件的發(fā)光特性方面很難獲得 足夠的可靠性。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種有機(jī)EL顯示裝置，包括襯底；驅(qū)動電路，其 被布置在所述襯底上；平坦化膜，其包含樹脂材料，并且覆蓋所述驅(qū) 動電路；多個有機(jī)EL元件，其被布置在所述平坦化膜上，所述有機(jī) EL元件中的每一個包括有機(jī)化合物層，所述有機(jī)化合物層夾在第一 電極與第二電極之間；樹脂保護(hù)膜，其至少覆蓋所述多個有機(jī)EL元 件；以及無機(jī)保護(hù)膜，其至少覆蓋所述樹脂保護(hù)膜。所述平坦化膜具 有分割區(qū)域，所述分割區(qū)域?qū)⑺銎教够し指畛刹贾糜兴鲇袡C(jī)EL 元件的區(qū)域及其外圍區(qū)域。所述樹脂保護(hù)膜的端部位于所述分割區(qū)域 或布置了所述有機(jī)EL元件的區(qū)域中而離開所述外圍區(qū)域中的平坦化膜；以及所述無機(jī)保護(hù)膜覆蓋所述樹脂保護(hù)膜的端部，并且進(jìn)一步延 伸到所述分割區(qū)域。
根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置，由于所述樹脂保護(hù)膜的端部位 于所述平坦化膜的分割區(qū)域中或者位于布置了有機(jī)EL元件的區(qū)域中 而離開所述外圍區(qū)域中的平坦化膜，因此有可能隔離可能成為濕氣的 滲透路徑的樹脂材料。結(jié)果，可以防止?jié)駳鈴耐獠客ㄟ^所述平坦化膜 和所述樹脂保護(hù)膜滲透到所述顯示區(qū)，并且因此，有可能生產(chǎn)高度可 靠的有機(jī)EL顯示裝置，其中，減少了由于濕氣而導(dǎo)致的有機(jī)EL元 件的劣化。
結(jié)合附圖從以下示例性實(shí)施例的描述，本發(fā)明的進(jìn)一步的特征將 變得清楚。
圖1A是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例和示例1的有機(jī)EL顯示裝置的平 面圖，圖1B是沿著圖1A的線IB-IB取得的截面圖。
圖2是根據(jù)本發(fā)明示例2的有機(jī)EL顯示裝置的截面圖。
圖3是根據(jù)本發(fā)明示例3的有機(jī)EL顯示裝置的截面圖。
圖4是根據(jù)本發(fā)明示例4的有機(jī)EL顯示裝置的截面圖。
圖5是根據(jù)本發(fā)明示例5的有機(jī)EL顯示裝置的平面圖。
圖6是根據(jù)專利文獻(xiàn)1的現(xiàn)有技術(shù)有機(jī)EL顯示裝置的截面圖。
圖7是根據(jù)專利文獻(xiàn)2的現(xiàn)有技術(shù)有機(jī)EL顯示裝置的截面圖。
圖8是根據(jù)比較性示例1的參考有機(jī)EL顯示裝置的截面圖。
具體實(shí)施例方式
將參照圖1A和圖1B逐個組件地描述本發(fā)明實(shí)施例，然后將描 述其生產(chǎn)方法。圖1A是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的有機(jī)EL顯示裝置的平 面圖，圖1B是沿著圖1A的線IB-IB取得的截面圖。有機(jī)EL顯示裝 置具有顯示區(qū)A。 (襯底)作為襯底，使用以玻璃等構(gòu)成的絕緣襯底101，在襯底101上布 置驅(qū)動電路。術(shù)語"驅(qū)動電路"表示用于驅(qū)動有機(jī)EL元件的像素電 路102和用于驅(qū)動像素電路102的外圍電路103中的兩個或任一個。 當(dāng)像素電路102和外圍電路103被布置在襯底101上時(shí)，這兩個電路 都經(jīng)由線路(未示出)而電連接到彼此。作為驅(qū)動電路102，可以合 適地使用具有由多晶硅(下文中稱為"p-Si")、非晶硅(下文中稱 為"a-Si")等等所構(gòu)成的TFT的有源矩陣電路。 (平坦化膜)
如在此所采用的那樣，短語"平坦化膜"包括這樣的膜其覆蓋 下層膜上的表面不規(guī)則，以提供均勻、平坦、界面間的表面，在該表 面上可以層疊附加層，從而抑制所述附加層的分層或剝離。平坦化膜 104由樹脂材料(例如丙烯酸樹脂(acrylic resin)或聚酰亞胺樹脂 (polyimide resin))構(gòu)成，其被布置在驅(qū)動電路的表面上。在顯示區(qū)A 中，平坦化膜104作用在于，對主要由于像素電路102導(dǎo)致的襯底的 表面上的不規(guī)則進(jìn)行平坦化，從而可以防止待堆疊的層斷開。在顯示 區(qū)A外部，平坦化膜104作用在于，保護(hù)外圍電路103不經(jīng)受電極的 蝕刻的工藝等。
分割平坦化膜104的分割區(qū)域B被布置在顯示區(qū)A的外圍中的 且未提供有驅(qū)動電路的區(qū)域中。因此，由分割區(qū)域B將平坦化膜104 分割為布置了有機(jī)EL元件的區(qū)域(即包括顯示區(qū)的區(qū)域)及其外圍 區(qū)域。分割區(qū)域B防止?jié)駳鈴耐獠客ㄟ^平坦化膜104滲透到顯示區(qū)A， 由此防止有機(jī)EL元件的劣化。下文中，為了簡化解釋，布置了有機(jī) EL元件的區(qū)域中的平坦化膜被稱為顯示區(qū)中的平坦化膜(或顯示區(qū) 平坦化膜)。
例如，分割區(qū)域B可以被提供在像素電路102與外圍電路103 之間?？梢杂蔑@示區(qū)中的平坦化膜覆蓋像素電路102以及某些外圍電 路103，并且可以用外圍區(qū)域中的平坦化膜(或外圍區(qū)平坦化膜)覆 蓋其余外圍電路103。
當(dāng)將外圍電路布置成在顯示區(qū)的外圍的一部分周圍而不是在顯示區(qū)的整個外圍周圍時(shí)，無需將平坦化膜布置成在顯示區(qū)的整個外圍 周圍的外圍區(qū)域中，而是可以將平坦化膜僅布置在布置了外圍電路的 部分。換句話說，當(dāng)將外圍區(qū)平坦化膜布置成在顯示區(qū)的一部分外圍 周圍時(shí)，也將分割區(qū)域布置成在顯示區(qū)的外圍的一部分周圍。
在顯示區(qū)中的平坦化膜104中，對于每一像素電路提供接觸孔 112，該接觸孔112用于電連接第一電極105和像素電路102，以下將 描述第一電極105。 (第一電極)
通過接觸孔112連接到像素電路102的第一電極105形成在用于 每一有機(jī)EL元件的平坦化膜上。對于第一電極105，可以使用用于 有機(jī)EL元件的電極的已知材料(例如Al、 Ag、 Au、 ITO、 IZO或 ZnO)。
根據(jù)需要，可以在有機(jī)EL元件之間提供元件隔離膜106。元件 隔離膜106防止將成為沉積層的有機(jī)化合物層被由于第一電極的厚度 而導(dǎo)致的分階部分所斷開，并且還定義有機(jī)EL元件的發(fā)光區(qū)域。絕 緣材料被合適地用作用于元件隔離膜106的材料。具體地說，合適地 使用樹脂材料(例如丙烯酸樹脂或聚酰亞胺樹脂)。 (有機(jī)化合物層)
包括發(fā)光層的有機(jī)化合物層107被布置在第一電極105上。除了 發(fā)光層之外，有機(jī)化合物層107還可以包括其它功能層(例如空穴注 入層、空穴傳送層、電子傳送層、電子注入層)。對于有機(jī)化合物層 107中的各個層，可以使用已知的材料。 (第二電極)
第二電極108被布置在有機(jī)化合物層107上，并且由此，每一有 機(jī)EL元件包括被夾在一對電極之間的有機(jī)化合物層107。用于第一 電極105的相同材料可以用于第二電極108。為了提取有機(jī)EL元件 中所生成的光，要求第一電極105和第二電極108中的至少一個是透 明的。作為布置在光提取側(cè)的電極，可以使用透明導(dǎo)電膜、由金屬薄 膜構(gòu)成的半透過(semi-transmissive)導(dǎo)電膜或其中層疊所述膜的膜。(保護(hù)膜)
包括樹脂保護(hù)膜109和無機(jī)保護(hù)膜110的保護(hù)膜被布置在第二電 極108上。
通過歷經(jīng)使用傳統(tǒng)光刻等的多個圖案成形步驟以及真空膜沉積 步驟來生成有機(jī)EL顯示裝置。因?yàn)樵谶@些步驟中生成的蝕刻殘留物 以及與真空裝置的內(nèi)壁分離的膜的粘附，所以在其中布置了有機(jī)EL
元件的顯示區(qū)的表面上生成不規(guī)則。不規(guī)則的高度取決于生成方法、 真空裝置等等，并且在很多情況下是5nm或更少。如果顯示區(qū)的這種 表面僅受無機(jī)保護(hù)膜所保護(hù)，則當(dāng)無機(jī)保護(hù)膜的厚度小時(shí)，不規(guī)則未 被完全覆蓋，并且在無機(jī)保護(hù)膜中出現(xiàn)缺陷，導(dǎo)致濕氣滲透。如果形 成具有大于不規(guī)則的高度的厚度的無機(jī)保護(hù)膜，以充分覆蓋不規(guī)則， 則膜應(yīng)力增加，并且容易出現(xiàn)裂縫，導(dǎo)致形成無機(jī)保護(hù)膜所需的時(shí)間 以及生產(chǎn)成本增加。
在本發(fā)明中，在形成無機(jī)保護(hù)膜之前，以樹脂保護(hù)膜109來至少 覆蓋有機(jī)EL元件的表面，以通過在所述不規(guī)則處上形成均勻界面間 表面來對表面上的不規(guī)則進(jìn)行平坦化。以等于或大于生產(chǎn)步驟中所生 成的不規(guī)則的高度的厚度來形成樹脂保護(hù)膜109?？紤]到由于普通生 產(chǎn)步驟和生產(chǎn)成本而導(dǎo)致的不規(guī)則的高度，樹脂保護(hù)膜109的厚度典 型地可以是5pm至30|im。
樹脂保護(hù)膜109的端部111位于平坦化膜104的分割區(qū)域B中或 布置了有機(jī)EL元件的區(qū)域中，而離開外圍區(qū)域中的平坦化膜。如果 樹脂保護(hù)膜109的端部111與分割區(qū)域B的外部外圍對應(yīng)，或者位于 分割區(qū)域B的外側(cè)，則通過平坦化膜104從外部進(jìn)入的濕氣繞過無機(jī) 保護(hù)膜110，并且通過樹脂保護(hù)膜109滲透到顯示區(qū)A，從而導(dǎo)致有 才幾EL元件的劣化。
更進(jìn)一步地，當(dāng)外圍區(qū)域中的平坦化膜僅被布置在顯示區(qū)中的平 坦化膜的外圍的 一部分周圍時(shí)，必須控制樹脂保護(hù)膜以便在未提供外 圍區(qū)域中的平坦化膜的部分中不會擴(kuò)展到襯底的端部。這樣的原因是 為了以無機(jī)保護(hù)膜安全地覆蓋樹脂保護(hù)膜的表面，并且防止?jié)駳馔ㄟ^樹脂保護(hù)膜而滲透。
由于在沒有大的不規(guī)則的情況下樹脂保護(hù)膜109的表面是期望地 平滑的，因此合適地使用可以通過液體形式施加于襯底并且然后可以 被硬化以形成固體的材料。所述材料的具體示例包括基于聚烯烴的樹 月旨(po!yolefin-based resin )、 聚酸樹月旨(a polyether resin )、 環(huán)氧 樹月旨(an epoxy resin )、 丙蹄酸樹月旨和娃樹月旨(silicone resin )。
接下來，以無機(jī)保護(hù)膜IIO覆蓋至少樹脂保護(hù)膜109的表面，從 而防止?jié)駳鉂B透到有機(jī)EL元件。樹脂保護(hù)膜109的表面是平滑且平 坦的，并且因此可以由無機(jī)保護(hù)膜110以大約0.5|im至3|am的厚度來 覆蓋，以防止?jié)駳獾臐B透。對于無機(jī)保護(hù)膜110，可以使用具有低濕 氣滲透性的材料(例如氮化珪(silicon nitride )、氧化珪(silicon oxide) 或其混合物)。
如圖4所示，在形成樹脂保護(hù)膜109之前，可以將由具有高機(jī)械 強(qiáng)度的材料所構(gòu)成的無機(jī)基膜(base film) 402布置在顯示區(qū)中的第 二電極108上。當(dāng)布置無機(jī)基膜402時(shí)，有可能防止在對用于樹脂保 護(hù)膜109的材料進(jìn)行硬化期間的硬化收縮以及在硬化之后的膜應(yīng)力被 傳遞到顯示區(qū)中所堆疊的層，并且可以防止膜分離。更進(jìn)一步地，與 未提供無機(jī)基膜402的情況相比較，可以增加用于樹脂保護(hù)膜的材料 的硬化收縮和膜應(yīng)力的可允許的范圍，并且可以增加可用于樹脂保護(hù) 膜的樹脂材料的選擇數(shù)量。
作為用于無機(jī)基膜402的材料，可以使用氧化鋁(aluminum oxide)、氮化硅、氧化硅等等。由于無機(jī)基膜402不需要阻擋濕氣的 功能，因此無機(jī)基膜402的厚度可以是0.1pm至lpin。 (生產(chǎn)方法)
以下將描述用于生產(chǎn)根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的有機(jī)EL顯示裝置的方法。
可以通過共同的方法將TFT和驅(qū)動電路形成在由玻璃等構(gòu)成的 絕緣襯底上。
在空氣中由旋涂器(spin coater)將光敏丙烯酸樹脂施加于被提
9供有驅(qū)動電路的襯底的整個表面，之后加熱硬化，由此獲得平坦化膜
104。隨后，通過使用光刻來移除顯示區(qū)A的外圍中的平坦化膜104， 形成分割區(qū)域B。同時(shí)，形成接觸孔112，以用于每個像素電路102。 通過濺射來形成第一電極105。例如，形成Al和ITO的層疊膜， 并且通過光刻將層疊膜形成為與有機(jī)EL元件對應(yīng)的圖案。第一電極 105經(jīng)由在平坦化膜104中所形成的接觸孔112而電連接到對應(yīng)像素 電路102。
通過旋涂器將元件隔離膜106形成在整個襯底上，如在平坦化膜 104中那樣，并且然后通過光刻來執(zhí)行構(gòu)圖。在構(gòu)圖之后，在充分的 程度上執(zhí)行退火，從而減少平坦化膜和元件隔離膜中的濕氣含量。通 過充分地消除平坦化膜104和元件隔離膜106中所包含的濕氣，可以 防止?jié)駳鈴倪@些層滲透到稍后形成的有機(jī)EL元件。
可以通過氣相沉積、激光轉(zhuǎn)印方法、噴墨涂覆方法等等使用傳統(tǒng) 材料來形成有機(jī)化合物層107。當(dāng)對于每一有機(jī)EL元件以不同厚度 或使用不同材料通過氣相沉積來形成有機(jī)化合物層107時(shí)，可以使用 金屬掩膜。在形成有機(jī)化合物層107之后，直到形成無機(jī)保護(hù)膜IIO, 在如下氣氛中執(zhí)行生產(chǎn)步驟，在所述氣氛中，露點(diǎn)受到控制，從而在 所述步驟期間防止?jié)駳鉂B透到有機(jī)EL元件。
形成樹脂保護(hù)膜109，從而樹脂保護(hù)膜109的端部111位于顯示 區(qū)側(cè)上而離開平坦化膜104的分割區(qū)域B的外部外圍。為了將樹脂保 護(hù)膜109的端部定位到預(yù)定位置，可以采用以下方法，在該方法中， 使用能夠繪制圖案、絲網(wǎng)印刷等的分配器(dispenser)，并且以大于 由涂覆設(shè)備所實(shí)現(xiàn)的最小涂覆寬度的寬度預(yù)先形成分割區(qū)域B。隨著 分割區(qū)域B的寬度增加，得到的有機(jī)EL顯示裝置的框架增加。因此， 可期望地，使用具有高涂覆精度的涂覆設(shè)備，并且將分割區(qū)域B的寬 度設(shè)置在20jim至200fim。
作為對樹脂保護(hù)膜109的端部111進(jìn)行定位的另一方法，可以提 供端部定位結(jié)構(gòu)，其對樹脂保護(hù)膜的端部進(jìn)行定位，端部定位結(jié)構(gòu)可 以抵抗對于樹脂保護(hù)膜所施加的材料沿著涂覆表面擴(kuò)展，并且將擴(kuò)展阻止在預(yù)定位置處?？梢允褂貌?trench)、堤(bank)或其組合在 待形成樹脂保護(hù)膜109的區(qū)域的外部外圍中形成端部定位結(jié)構(gòu)，如圖 2的201、圖3的B31和圖4的B41所示。通過采用端部定位結(jié)構(gòu)， 可以使用如下的樹脂材料，該樹脂材料具有低粘度以使得在涂覆之后， 不能僅通過以分配器的繪制或印制而設(shè)置其擴(kuò)展端部位置。取決于樹 脂保護(hù)膜材料的粘度，可以使用多個端部定位結(jié)構(gòu)。
為了將樹脂保護(hù)膜的端部定位到未提供分割區(qū)域的部分中，可以 使用與分割區(qū)域相似的端部定位結(jié)構(gòu)。
如果使用構(gòu)成有機(jī)EL顯示裝置的材料(例如用于平坦化膜或元 件隔離膜的材料)中的任意一種，并且在對所述膜進(jìn)行構(gòu)圖的步驟中 同時(shí)形成端部定位結(jié)構(gòu)，則可以形成端部定位結(jié)構(gòu)，而不需要附加步 驟或材料。
當(dāng)使用樹脂材料形成端部定位結(jié)構(gòu)時(shí)，必須以無機(jī)保護(hù)膜來覆蓋 端部定位結(jié)構(gòu)的表面以及樹脂保護(hù)膜的表面，從而防止?jié)駳鈴耐獠窟M(jìn) 入。
通過加熱或者UV照射來硬化對于樹脂保護(hù)膜的所施加材料。 可以使用真空膜沉積方法(例如等離子體CVD或?yàn)R射)來形成 圖4所示的無機(jī)保護(hù)膜110和無機(jī)基膜401。 示例
以下將詳細(xì)描述本發(fā)明示例。 示例1
圖1A是根據(jù)示例1的有機(jī)EL顯示裝置的平面圖，圖1B是沿著 圖1A的線IB-IB取得的截面圖。
首先，在玻璃襯底上形成具有由p-Si構(gòu)成的TFT的驅(qū)動電路， 其尺寸是長度100mm、寬度100mm以及厚度0.5mm。在顯示區(qū)A 中形成多個像素電路102，并且在外圍區(qū)域中形成用于驅(qū)動像素電路 102的外圍電路103，從而環(huán)繞顯示區(qū)A。接下來，由旋涂器將作為用 于平坦化膜的材料的光致抗蝕劑類型的紫外線可硬化丙烯酸樹脂應(yīng)用 于驅(qū)動電路上，將具有接觸孔112和驅(qū)動區(qū)域B的圖案的光掩膜放置在其上，并且以1，800mW的照度來執(zhí)行曝光。使用顯影器來執(zhí)行顯影， 其后在200。C進(jìn)行后烘烤。由此，獲得具有接觸孔112以及分割區(qū)域 B的具有2jim厚度的平坦化膜104。通過在從距顯示區(qū)A的外部外圍 的距離為350jum的位置以200nm寬度的延伸的部分處移除平坦化膜 來形成分割區(qū)域B。由此，將平坦化膜分割為顯示區(qū)中的平坦化膜和 外圍區(qū)域中的平坦化膜。
接下來，通過在100nm厚度的Al層上進(jìn)行濺射來沉積具有50nm 厚度的IZO層，以形成第一電極層。在襯底上的疊層的整個表面上形 成第一電極層之后，通過光刻來執(zhí)行構(gòu)圖，以在與像素電路102對應(yīng) 的位置處形成第一電極105。第一電極105經(jīng)由接觸孔112電連接到 對應(yīng)像素電路102。
由旋涂器以1.6pm的厚度在平坦化膜104和第一電極105上施加 聚酰亞胺樹脂，并且然后通過光刻來移除在各個像素的發(fā)光區(qū)域和顯 示區(qū)A外部的區(qū)域中所形成的聚酰亞胺樹脂，由此獲得元件隔離膜 106。
在l(T2Pa的壓力和150°C的氣氛中，對被提供有元件隔離膜106 等的村底等加熱達(dá)10分鐘，并且然后在顯示區(qū)A中的每個第一電極 105上形成有機(jī)化合物層107。作為有機(jī)化合物層107，通過電阻加熱 氣相沉積方法對由已知有機(jī)材料構(gòu)成的空穴傳送層、發(fā)光層、電子傳 送層和電子注入層按此順序進(jìn)行沉積。
隨后，在離開分割區(qū)域B的外部外圍的、顯示區(qū)側(cè)上的區(qū)域的整 個表面上通過濺射以50nm的厚度形成由IZO構(gòu)成的第二電極108。
接下來，在-60。C的露點(diǎn)溫度的氮?dú)夥罩校┘泳哂?,000 mPa's 的粘度的熱固環(huán)氧樹脂，從而使用能夠精確繪制圖案的分配器(由 Musashi Engineering公司所制造的SHOT MINI SL )來覆蓋有機(jī)EL 元件。當(dāng)執(zhí)行施加從而由分配器噴嘴所繪制的軌跡的外圍是沿著在分 割區(qū)域B的寬度方向上的中心線時(shí)，有可能將所施加的環(huán)氧樹脂的端 部定位到具有20(Him寬度的平坦化膜的分割區(qū)域內(nèi)部，而離開外圍區(qū) 域中的平坦化膜。通過在真空環(huán)境中在100°C加熱達(dá)15分鐘而對所施加的環(huán)氧樹脂進(jìn)行硬化，并且由此，形成具有30pm厚度的樹脂保 護(hù)膜109。
更進(jìn)一步地，使用SiH4氣體、N2氣體和H2氣體，通過等離子體 CVD來形成由氮化硅構(gòu)成的無機(jī)保護(hù)膜110。以lnm的厚度來形成無 機(jī)保護(hù)膜，從而覆蓋被提供有有機(jī)EL元件的襯底的整個表面。
所得到的有機(jī)EL顯示裝置經(jīng)受60°C溫度和90%濕度的儲存測 試。根據(jù)儲存測試結(jié)果(甚至在l，OOO小時(shí)之后)，沒有觀測到暗點(diǎn)。
示例2
圖2是根據(jù)示例2的有機(jī)EL顯示裝置的截面圖。
示例2與示例1的不同之處在于，樹脂保護(hù)膜109的端部位于平 坦化膜中布置有有機(jī)EL元件的區(qū)域中，形成用于對樹脂保護(hù)膜的端 部進(jìn)行定位的端部定位結(jié)構(gòu)201，端部定位結(jié)構(gòu)201由用于元件隔離 膜的材料構(gòu)成，以及對于樹脂保護(hù)膜使用具有低粘度的材料。如示例 l那樣形成由與圖1A和圖1B相同的標(biāo)號所表示的組件。
通過以下方法來形成用于對樹脂保護(hù)膜的端部進(jìn)行定位的端部 定位結(jié)構(gòu)201，在該方法中，在對元件隔離膜106進(jìn)行構(gòu)圖的過程中， 在顯示區(qū)A與分割區(qū)域B的內(nèi)部外圍之間，留下用于元件隔離膜的材 料，其具有50|Lim的寬度，從而環(huán)繞顯示區(qū)A。將第一電極材料留在 區(qū)域C中，在區(qū)域C處，將移除顯示區(qū)A外部的元件隔離膜106。區(qū) 域C中的第一電極材料充當(dāng)蝕刻停止膜202，以用于防止當(dāng)用于元件 隔離膜的材料經(jīng)受構(gòu)圖時(shí)平坦化膜104被過度蝕刻。
作為用于樹脂保護(hù)膜的材料，施加具有1，500 mPa.s的粘度的熱 固環(huán)氧樹脂，從而在顯示區(qū)A側(cè)上覆蓋延伸到離開用于對樹脂保護(hù)膜 進(jìn)行定位的端部定位結(jié)構(gòu)201有l(wèi)mm的位置處的區(qū)域。所施加的環(huán) 氧樹脂因其低粘度而沿著涂覆的表面擴(kuò)展，但不擴(kuò)展超過端部定位結(jié) 構(gòu)201。有可能將樹脂保護(hù)膜的端部定位到分割區(qū)域的內(nèi)部而離開外 圍區(qū)域中的平坦化膜。更進(jìn)一步地，因?yàn)檩^低粘度，所以樹脂保護(hù)膜 的厚度是20iam，這小于示例l。
所得到的有機(jī)EL顯示裝置經(jīng)受60°C溫度和90%濕度的儲存測試。根據(jù)儲存測試結(jié)果(甚至在l，OOO小時(shí)之后)，沒有觀測到暗點(diǎn)。 示例3
圖3是根據(jù)示例3的有機(jī)EL顯示裝置的截面圖。 示例3與示例2的不同之處在于，形成平坦化膜的兩個分割區(qū)域， 將顯示區(qū)側(cè)的分割區(qū)域B31用作用于樹脂保護(hù)膜的端部定位結(jié)構(gòu)。如 示例2那樣形成由與圖2相同的標(biāo)號所表示的組件。
以70lam的間隔形成平坦化膜的兩個分割區(qū)域B31和B32，每一 分割區(qū)域的寬度是10(Him。所施加的用于樹脂保護(hù)膜的材料在位于顯 示區(qū)側(cè)上的分割區(qū)域B31處停止，并且不擴(kuò)展到分割區(qū)域B32。有可 能將樹脂保護(hù)膜的端部定位到分割區(qū)域的內(nèi)部而離開外圍區(qū)域中的平 坦化膜。
所得到的有機(jī)EL顯示裝置經(jīng)受60°C溫度和卯％濕度的儲存測 試。根據(jù)儲存測試結(jié)果(甚至在l，OOO小時(shí)之后)，沒有觀測到暗點(diǎn)。 示例4
圖4是根據(jù)示例4的有機(jī)EL顯示裝置的截面圖。
示例4與示例3的不同之處在于，使用用于元件隔離膜的材料來 形成分隔物401,從而在寬度方向上分割平坦化膜的分割區(qū)域，將顯 示區(qū)側(cè)上的分割區(qū)域B41用作用于樹脂保護(hù)膜的端部定位結(jié)構(gòu)，并且 在顯示區(qū)中形成無機(jī)基膜402。
通過形成無機(jī)基膜402，有可能防止在對樹脂保護(hù)膜109的材料 進(jìn)行硬化期間的收縮剪切力以及硬化之后的膜應(yīng)力被傳遞到無機(jī)基膜 402之下所堆疊的層，并且可以防止膜分離。如示例2中那樣形成由 與圖1A和圖1B相同的標(biāo)號所表示的組件。
以50|im寬度使用元件隔離膜的材料來形成分隔物401，從而環(huán) 繞顯示區(qū)A，并且對分割區(qū)域B進(jìn)行分割。
作為無機(jī)基膜402，使用SiH4氣體、N2氣體和H2氣體，以0.2nm 厚度，通過等離子CVD來形成氮化硅膜，從而覆蓋提供有第二電極 108提供顯示區(qū)。
所得到的有機(jī)EL顯示裝置經(jīng)受60°C溫度和90%濕度的儲存測試。根據(jù)儲存測試結(jié)果(甚至在l，OOO小時(shí)之后)，沒有觀測到暗點(diǎn)。 示例5
圖5是根據(jù)示例5的有機(jī)EL顯示裝置的平面圖。
示例5與示例1的不同之處在于，外圍電路僅被布置在顯示區(qū)A 的外圍的一部分周圍。因此，外圍區(qū)域中的平坦化膜104被布置在顯 示區(qū)A的外圍的一部分周圍。如示例1那樣形成由與圖1A和圖IB 相同的標(biāo)號所表示的組件。
在布置外圍區(qū)域中的平坦化膜的部分中，當(dāng)執(zhí)行施加從而由分配 器噴嘴所繪制的軌跡的外圍是沿著在分割區(qū)域B的寬度方向上的中心 線時(shí)，有可能將樹脂保護(hù)膜109的端部定位到具有200pm寬度的平坦 化膜的分割區(qū)域B內(nèi)部。在沒有布置外圍區(qū)域中的平坦化膜的部分中， 施加用于樹脂保護(hù)膜的材料，從而分配器噴嘴繪制的軌跡在離開顯示 區(qū)的平坦化膜的端部50(Han位置處。結(jié)果，有可能將樹脂保護(hù)膜109 的端部定位在襯底的端部內(nèi)側(cè)500|im處(在顯示區(qū)側(cè)上)。
所得到的有機(jī)EL顯示裝置經(jīng)受60。C溫度和90%濕度的儲存測 試。根據(jù)儲存測試結(jié)果(甚至在1，000小時(shí)之后)，沒有觀測到暗點(diǎn)。
比較性示例1
除了圖8所示樹脂保護(hù)膜109的端部111位于平坦化膜的分割區(qū) 域B外部之外，如示例1那樣生產(chǎn)有機(jī)EL顯示裝置。所得到的有機(jī) EL顯示裝置經(jīng)受60。C溫度和90%濕度的儲存測試達(dá)到l，OOO小時(shí)。 根據(jù)儲存測試結(jié)果，在大約20處觀測到暗點(diǎn)的擴(kuò)展。
雖然已經(jīng)參照示例性實(shí)施例描述了本發(fā)明，但應(yīng)理解，本發(fā)明不 限于所公開的示例性實(shí)施例。所附權(quán)利要求的范圍應(yīng)被給予最寬泛的 解釋，從而包括所有修改以及等同結(jié)構(gòu)和功能。
1權(quán)利要求
1. 一種有機(jī)EL顯示裝置，包括襯底；驅(qū)動電路，其被布置在所述襯底上；平坦化膜，其包含樹脂材料，并且覆蓋所述驅(qū)動電路；多個有機(jī)EL元件，其被布置在所述平坦化膜上，所述有機(jī)EL元件中的每一個包括有機(jī)化合物層，所述有機(jī)化合物層夾在第一電極與第二電極之間；樹脂保護(hù)膜，其至少覆蓋所述多個有機(jī)EL元件；無機(jī)保護(hù)膜，其至少覆蓋所述樹脂保護(hù)膜，其中，所述平坦化膜具有分割區(qū)域，所述分割區(qū)域?qū)⑺銎教够し指畛刹贾糜兴鲇袡C(jī)EL元件的區(qū)域及其外圍區(qū)域；所述樹脂保護(hù)膜的端部位于所述分割區(qū)域中或布置有所述有機(jī)EL元件的區(qū)域中而離開所述外圍區(qū)域中的平坦化膜；以及所述無機(jī)保護(hù)膜覆蓋所述樹脂保護(hù)膜的端部，并且進(jìn)一步延伸到所述分割區(qū)域。
2. 如權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL顯示裝置，進(jìn)一步包括端部定 位結(jié)構(gòu)，其對所述樹脂保護(hù)膜的端部進(jìn)行定位。
3. 如權(quán)利4求2所述的有機(jī)EL顯示裝置，其中，用于對所述樹 脂保護(hù)膜的端部進(jìn)行定位的所述端部定位結(jié)構(gòu)包含用于構(gòu)成布置有所 述有機(jī)EL元件的區(qū)域的材料中的任意一種。
4. 如權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL顯示裝置，其中，無機(jī)基膜被布 置在所述第二電極與所述樹脂保護(hù)膜之間。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種有機(jī)EL顯示裝置。以包括樹脂保護(hù)膜和無機(jī)保護(hù)膜的保護(hù)膜來對有機(jī)EL顯示裝置進(jìn)行密封。在所述有機(jī)EL顯示裝置中，平坦化膜具有分割區(qū)域，所述分割區(qū)域?qū)⑺銎教够し指顬椴贾糜兴鲇袡C(jī)EL元件的區(qū)域及其外圍區(qū)域。所述樹脂保護(hù)膜的端部位于所述分割區(qū)域中或布置有所述有機(jī)EL元件的區(qū)域中而離開所述外圍區(qū)域中的平坦化膜。所述無機(jī)保護(hù)膜覆蓋所述樹脂保護(hù)膜的端部，并且進(jìn)一步延伸到所述分割區(qū)域。
文檔編號H01L27/32GK101459193SQ200810185528
公開日2009年6月17日 申請日期2008年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月14日
發(fā)明者和泉望, 由德大介 申請人:佳能株式會社