專利名稱：接觸器及內(nèi)插器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及接觸在電路基板的圖案或半導(dǎo)體凸塊等被接觸物上的 接觸器、以及將這樣的接觸器安裝在絕緣體上的內(nèi)插器。
背景技術(shù)：
以往，對(duì)于形成在半導(dǎo)體晶片上的多個(gè)半導(dǎo)體芯片，進(jìn)行使接觸 器接觸在排列于該半導(dǎo)體芯片上的半導(dǎo)體凸塊等端子(被接觸物)上 而測(cè)量電氣特性的探測(cè)測(cè)試。
作為這樣的接觸器，已知有例如導(dǎo)電性橡膠、所謂的探測(cè)針(pogo pin)、通過沖切加工制作的沖壓彈簧、電鑄管的環(huán)形彈簧等接觸器。 在探測(cè)測(cè)試中，例如使用將這樣的接觸器安裝到絕緣體上的內(nèi)插器。
作為這樣的接觸器，提出了例如通過沖切加工制作的、連結(jié)了獨(dú) 立的兩個(gè)環(huán)的接觸器(例如參照專利文獻(xiàn)l)。在該專利文獻(xiàn)l中提出 的接觸器具有高彈性，并且是低彈簧常數(shù)、低電阻且低自感。
此外，提出了例如通過MEMS( Micro Electro Mechanical System; 微機(jī)電系統(tǒng))工序制作的連接體(接觸器)(例如參照專利文獻(xiàn)2)。 在該專利文獻(xiàn)2中提出的接觸器具有 一端接觸在半導(dǎo)體凸塊上的第1 接觸部、從相對(duì)于笫1接觸部的一端的另一端連續(xù)延伸的具有C形狀 的連結(jié)部、連結(jié)在連結(jié)部的一端上而具有凸形狀的支撐部、和從支撐 部的一端連續(xù)延伸的具有O形狀且插入在電路基板中的第2接觸部。 并且，由于該接觸器是通過MEMS工序形成的，所以能夠進(jìn)行微細(xì)加
工，特別是，能夠?qū)佑|在半導(dǎo)體凸塊上的第1接觸部的一端進(jìn)行通 過沖切加工難以實(shí)現(xiàn)的微細(xì)加工。
專利文獻(xiàn)1美國(guó)專利第5573435號(hào)說(shuō)明書專利文獻(xiàn)2日本特表2006-514289號(hào)>^報(bào)
但是，由導(dǎo)電性橡膠構(gòu)成的接觸器具有耐久性較差的缺點(diǎn)。此外， 由探測(cè)針或環(huán)形彈簧構(gòu)成的接觸器有接觸可靠性較差的缺點(diǎn)。此外， 由沖壓彈簧構(gòu)成的接觸器因?yàn)樵谖⒓?xì)加工方面存在極限，所以難以實(shí) 現(xiàn)更小型化，有在向絕緣體的高密度安裝及高速信號(hào)方面較差的缺點(diǎn)。此外，在專利文獻(xiàn)1中提出的接觸器由于兩個(gè)環(huán)獨(dú)立，所以在將 該接觸器安裝到絕緣體上的內(nèi)插器中，變位量相對(duì)較小，并且為高接 觸壓力。為了實(shí)現(xiàn)大變位量和低接觸壓力，需要使環(huán)變小，但難以將 連結(jié)獨(dú)立的兩個(gè)環(huán)的形狀的結(jié)構(gòu)小型化。此外，該接觸器的獨(dú)立的兩 個(gè)環(huán)的連結(jié)構(gòu)造是將分離的一端嵌入到中央部中的構(gòu)造，所以如果該 接觸器受到橫向負(fù)栽，則連結(jié)有可能脫離。此外，該接觸器由于是通 過沖切加工制作的，所以具有在向絕緣體的高密度安裝及高速信號(hào)方 面較差的缺點(diǎn)。
此外，在專利文獻(xiàn)2中提出的接觸器在將該接觸器安裝到絕緣體 上的內(nèi)插器中，由于變位量?jī)H依存于懸臂梁狀的連結(jié)部，所以為了得 到較大的變位量(得到規(guī)定的彈簧載荷)而需要使接觸器的厚度為例 如100Mm以上等，來(lái)將其加厚。但是，為了通過MEMS工序形成具 有100jum的厚度的接觸器，已知需要約10小時(shí)的析出。接觸器是消 耗品，需要定期的更換，所以在需要使厚度變厚的專利文獻(xiàn)2中提出 接觸器中，成本變得很高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述情況，目的是提供一種具有高耐久性、接觸可靠 性較高、能夠進(jìn)行向絕緣體的高密度安裝、能夠?qū)?yīng)于高速信號(hào)的接 觸器以及具備這樣的接觸器的內(nèi)插器。
達(dá)到上述目的的本發(fā)明的接觸器的特征在于，具備 彈簧部，形成為通過被推壓而彈性變形的無(wú)端環(huán)狀； 一對(duì)觸點(diǎn)，在上述彈簧部的環(huán)的離開大致半周的位置上分別向外 方突出，分別接觸在對(duì)置的各被接觸物上而受到推壓。
在本發(fā)明的接觸器中，彈簧部是受推壓而彈性變形的結(jié)構(gòu)，具有 向外方突出的一對(duì)觸點(diǎn)，所以該一對(duì)觸點(diǎn)在接觸在例如電路基板的圖 案或半導(dǎo)體凸塊等被接觸物上而受到推壓時(shí)，即使是低栽荷即低接觸 壓力也能夠得到較高的集中應(yīng)力。因此，即使在被接觸物的表面上形 成有臟污(污染物)或絕緣皮膜，也能夠通過該高集中應(yīng)力、由一對(duì) 觸點(diǎn)將它們破壞，得到與被接觸物良好的接觸電阻。此外，本發(fā)明的 接觸器是與變位量?jī)H依存于懸臂梁狀的連結(jié)部的以往的接觸器形狀不 同的、近似于兩端固定的梁的形狀，所以能夠不使接觸器的厚度變厚 而得到比該以往的接觸器大的變位量。進(jìn)而，在本發(fā)明的接觸器中，
5由于彈簧部形成為無(wú)端環(huán)狀，所以與通過將分離的一端嵌入到中央部 而將兩個(gè)環(huán)連結(jié)的以往的接觸器不同，沒有受到橫向負(fù)載而連結(jié)脫離 的問題，能夠維持接觸器的構(gòu)造及功能。因而，根據(jù)本發(fā)明的接觸器， 具有較高的耐久性，并且接觸可靠性較高。
此外，本發(fā)明的接觸器在該接觸器的制造時(shí)可以采用例如以往周 知的、組合了光刻和電鑄的微細(xì)加工技術(shù)。這樣制作的接觸器非常小， 所以能夠?qū)⒃摻佑|器高密度安裝在殼體上。而且，根據(jù)非常小的接觸 器，電氣長(zhǎng)度變短，所以能夠流過高速信號(hào)。進(jìn)而，通過應(yīng)用這樣的
微細(xì)加工技術(shù)，能夠?qū)⒔佑|器的觸點(diǎn)末端形成為數(shù)Mm的微細(xì)半徑的圓 弧狀，即使是低的接觸壓力也能獲得更高的集中應(yīng)力，接觸可靠性高。 此外，本發(fā)明的接觸器在該接觸器的制造時(shí)可以采用例如以往周 知的組合了光刻和Ni合金電鑄的微細(xì)加工技術(shù)。這樣制造的由Ni合 金(例如Hv450 Hv600)構(gòu)成的接觸器的耐磨性較強(qiáng)，具有較高的耐 久性。
這里，本發(fā)明的接觸器優(yōu)選的是，上述一對(duì)觸點(diǎn)各自的末端部分 形成為半徑30ym以下、更優(yōu)選為l()Mm以下的圓弧狀。這是因?yàn)椋?在沖切加工中半徑50jLim是制造極限。
這樣的優(yōu)選方案可以通過以往以來(lái)周知的、組合了光刻和電鑄的 微細(xì)加工技術(shù)實(shí)現(xiàn)。并且，根據(jù)這樣的優(yōu)選方案，由于接觸器的觸點(diǎn) 末端很尖銳，所以即使是較低的接觸壓力也能夠得到更高的集中應(yīng)力。 結(jié)果，能夠得到與被接觸物良好的接觸電阻，接觸可靠性很高。
此外，本發(fā)明的接觸器優(yōu)選的是，上述接觸器具有50ym以下的 厚度、更優(yōu)選地具有30jum以下的厚度。這是因?yàn)?，如果?0Mm以 下的厚度則通過大致1小時(shí)以內(nèi)的電鑄加工能夠形成，但如果要形成 超過50 pm的厚度則所需時(shí)間將顯著增加。
這樣的優(yōu)選方案可以通過以往以來(lái)周知的、組合了光刻和電鑄的 微細(xì)加工技術(shù)實(shí)現(xiàn)。這里，本發(fā)明的接觸器如上所述，即使是低載荷 即低接觸壓力也能夠得到較高的集中應(yīng)力，所以不需要較大的栽荷。 此外，本發(fā)明的接觸器如上所述，能夠得到比變位量?jī)H依存于懸臂梁 狀的連結(jié)部的以往接觸器大的變位量。因此，不需要將接觸器的厚度 加厚為例如100Mm以上等。因而，沖艮據(jù)這樣的優(yōu)選方案，能夠以低成 本制造接觸器。此外，本發(fā)明的接觸器優(yōu)選的是，上述彈簧部在配置上述一對(duì)觸 點(diǎn)的兩個(gè)位置的中間部分上具有向相互接近的方向縮腰的縮腰部。
根據(jù)這樣的具有縮腰部的接觸器，能夠利用該縮腰部將接觸器更 高密度地安裝到絕緣體上。
此外，本發(fā)明的接觸器優(yōu)選的是，上述彈簧部具有下述截面形狀 將該彈簧部的環(huán)形狀用連結(jié)上述一對(duì)觸點(diǎn)的直線二分割時(shí)， 一側(cè)與另 一側(cè)相互不同。
在這樣的優(yōu)選方案中，當(dāng)一對(duì)觸點(diǎn)接觸在被接觸物上而受到推壓 時(shí)，彈簧部的上述一側(cè)與上述另一側(cè)歪曲而變形。由此， 一對(duì)觸點(diǎn)相 對(duì)于被接觸物摩擦接觸。因而，根據(jù)這樣的優(yōu)選方案，即使在被接觸 物的表面上形成有臟污(污染物)或絕緣皮膜，也能夠通過一對(duì)觸點(diǎn) 的摩擦接觸將它們可靠地破壞、得到與被接觸物更好的接觸電阻，接 觸可靠性很高。
進(jìn)而，本發(fā)明的接觸器優(yōu)選的是，上述彈簧部具有下述形狀將 該彈簧部的環(huán)形狀用連結(jié)上述一對(duì)觸點(diǎn)的直線二分割時(shí)， 一側(cè)與另一
側(cè)不對(duì)稱。
在這樣的優(yōu)選方案中，當(dāng)一對(duì)觸點(diǎn)接觸在被接觸物上而受到推壓 時(shí)，彈簧部的上述一側(cè)與上述另一側(cè)歪曲而變形，由此， 一對(duì)觸點(diǎn)相 對(duì)于被接觸物摩擦接觸。因而，根據(jù)這樣的優(yōu)選方案，即使在被接觸 物的表面上形成有臟污(污染物)或絕緣皮膜，也能夠通過一對(duì)觸點(diǎn) 的摩擦接觸將它們可靠地破壞、得到與被接觸物更好的接觸電阻，接 觸可靠性很高。
此外，達(dá)到上述目的的本發(fā)明的內(nèi)插器中的第1內(nèi)插器的特征在 于，具備
接觸器，具備彈簧部和一對(duì)觸點(diǎn)，該彈簧部形成為通過被推壓而 彈性變形的無(wú)端環(huán)狀，該一對(duì)觸點(diǎn)在該彈簧部的環(huán)的離開大致半周的 位置上分別向外方突出并分別接觸在對(duì)置的各被接觸物上而受到推 壓；
殼體，具有形成有狹縫的一對(duì)板體，上述一對(duì)觸點(diǎn)中的一個(gè)及另 一個(gè)觸點(diǎn)，包括上述彈簧部的分別相鄰于該一個(gè)及另一個(gè)觸點(diǎn)的部分 在內(nèi)，分別從該狹縫突出。
本發(fā)明的內(nèi)插器中的第1內(nèi)插器由于是具備本發(fā)明的接觸器的安裝構(gòu)造，所以與該接觸器的優(yōu)點(diǎn)同樣，具有較高的耐久性，接觸可靠 性較高，能夠進(jìn)行高密度安裝，能夠?qū)?yīng)于高速信號(hào)。
此外，達(dá)到上述目的的本發(fā)明的內(nèi)插器中的第2內(nèi)插器的特征在 于，具備
接觸器，具備彈簧部和一對(duì)觸點(diǎn)，該彈簧部形成為通過被推壓而 彈性變形的無(wú)端環(huán)狀，該一對(duì)觸點(diǎn)在該彈簧部的環(huán)的離開大致半周的 位置上分別向外方突出并分別接觸在對(duì)置的各被接觸物上而受到推 壓，上述彈簧部在配置上述一對(duì)觸點(diǎn)的兩個(gè)位置的中間部分上具有向 相互接近的方向縮腰的縮腰部；
殼體，具有板狀的支撐體，該支撐體具有與上述縮腰部在連結(jié)上 述一對(duì)觸點(diǎn)的方向上的尺寸相對(duì)應(yīng)的厚度并且具有供該縮腰部進(jìn)入的 貫通孔。
本發(fā)明的內(nèi)插器中的第2內(nèi)插器由于是具備本發(fā)明的接觸器的安 裝構(gòu)造，所以與該接觸器的優(yōu)點(diǎn)同樣，具有較高的耐久性，接觸可靠 性較高，能夠進(jìn)行高密度安裝，能夠?qū)?yīng)于高速信號(hào)。此外，由于該 第2內(nèi)插器的接觸器具有縮腰部，所以能夠利用該縮腰部將接觸器更 高密度地安裝到殼體上。
此外，達(dá)到上述目的的本發(fā)明的內(nèi)插器中的第3內(nèi)插器的特征在 于，具備
接觸器，具備彈簧部和一對(duì)觸點(diǎn)，該彈簧部形成為通過被推壓而 彈性變形的無(wú)端環(huán)狀，該一對(duì)觸點(diǎn)在該彈簧部的環(huán)的離開大致半周的 位置上分別向外方突出并分別接觸在對(duì)置的各被接觸物上而受到推 壓，上述彈簧部在配置上述一對(duì)觸點(diǎn)的兩個(gè)位置的中間部分上具有向 相互接近的方向縮腰的縮腰部；
殼體，具有板狀的支撐體，該支撐體的厚度比上述縮腰部在連結(jié)
上述一對(duì)觸點(diǎn)的方向上的尺寸厚且比上述一對(duì)觸點(diǎn)間的距離薄，且該 支撐體具有貫通孔和在表面及背面上分別平行于該表面及背面貫穿該
貫通孔而延伸的狹縫，上述縮腰部進(jìn)入到上述貫通孔的中央部分中， 上述一對(duì)觸點(diǎn)中的一個(gè)及另一個(gè)觸點(diǎn)，包括上述彈簧部的分別相鄰于 該一個(gè)及另一個(gè)觸點(diǎn)的部分在內(nèi)，分別在上述表面及背面從各狹縫突 出。
本發(fā)明的內(nèi)插器中的第3內(nèi)插器由于是具備本發(fā)明的接觸器的安裝構(gòu)造，所以與該接觸器的優(yōu)點(diǎn)同樣，具有較高的耐久性，接觸可靠 性較高，能夠進(jìn)行高密度安裝，能夠?qū)?yīng)于高速信號(hào)。此外，由于該
第3內(nèi)插器的接觸器具有縮腰部，所以能夠利用該縮腰部將接觸器更 高密度地安裝到殼體上。此外，根據(jù)該第3內(nèi)插器，安裝在殼體上的 接觸器的姿勢(shì)借助狹縫而穩(wěn)定。
這里，本發(fā)明的內(nèi)插器中的第1內(nèi)插器或笫3內(nèi)插器更優(yōu)選的是， 上述殼體具有矩形形狀，二維地排列有多個(gè)上述接觸器，上述狹縫是 相對(duì)于上述殼體的矩形形狀的邊傾斜地延伸的狹縫。
根據(jù)這樣的優(yōu)選方案，能夠?qū)⒔佑|器更高密度地安裝在殼體上。
根據(jù)本發(fā)明，能夠提供具有較高的耐久性、接觸可靠性較高、能 夠進(jìn)行向絕緣體的高密度安裝、能夠?qū)?yīng)于高速信號(hào)的接觸器、以及 具備這樣的接觸器的內(nèi)插器。


圖l是表示關(guān)于本發(fā)明的內(nèi)插器的第1實(shí)施方式的外觀立體圖。 圖2是表示關(guān)于本發(fā)明的內(nèi)插器的第1實(shí)施方式的俯視圖。 圖3是表示關(guān)于本發(fā)明的內(nèi)插器的第1實(shí)施方式的正視圖。 圖4是表示關(guān)于本發(fā)明的內(nèi)插器的第1實(shí)施方式的右側(cè)視圖。 圖5是第2實(shí)施方式的內(nèi)插器的殼體的安裝接觸器的部分的放大 剖視圖。
圖6是第3實(shí)施方式的內(nèi)插器的殼體的安裝接觸器的部分的放大 剖視圖。
圖7是第4實(shí)施方式的內(nèi)插器的殼體的安裝接觸器的部分的放大 剖視圖。
圖8是第5實(shí)施方式的內(nèi)插器的殼體的安裝接觸器的部分的放大 剖視圖。
圖9是第6實(shí)施方式的內(nèi)插器的殼體的安裝接觸器的部分的放大 剖一見圖。
圖IO是第7實(shí)施方式的內(nèi)插器的俯視圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。
圖1、圖2是表示關(guān)于本發(fā)明的內(nèi)插器的第1實(shí)施方式的外觀圖。 圖l是從前面斜上方觀察內(nèi)插器1的立體圖。此外，在圖2中，(a)是俯視圖，(b )是正視圖，(c )是右側(cè)視圖。
此外，圖3是圖2所示的A-A線的放大剖視圖。此外，圖4是圖2 所示的B-B線的放大剖視圖。另外，在圖3中，為了說(shuō)明還圖示了電 路基板30的焊盤31及半導(dǎo)體凸塊40。
內(nèi)插器1由接觸器10、和安裝接觸器10的絕緣體的殼體20構(gòu)成。
接觸器10具備彈簧部11和一對(duì)觸點(diǎn)12 ( 121、 122 )。該接觸器 IO是關(guān)于本發(fā)明的接觸器的第1實(shí)施方式。接觸器lO是由例如Ni-Co 或NiMn等Ni合金(例如Hv450 ~ Hv600 )構(gòu)成的，通過以往已知的、 組合了光刻和電鑄的微細(xì)加工技術(shù)制造。因而，能夠使接觸器10的厚 度為50pm以下的厚度，這里為例如20Mm。由Ni合金構(gòu)成的接觸器 IO的耐磨損性較強(qiáng)，具有高耐久性。
接觸器10的彈簧部11形成為通過被推壓而彈性變形的無(wú)端環(huán)狀。 此外，該彈簧部11是在配置一對(duì)觸點(diǎn)12 (121、 122)的兩個(gè)位置的中 間部分具有向相互接近的方向縮腰的縮腰部111的葫蘆形狀。
接觸器10的一對(duì)觸點(diǎn)12 (121、 122)是在彈簧部11的環(huán)的距離 大致半周的位置上分別向外方突出而形成的。此外，該一對(duì)觸點(diǎn)12 (121、 122)各自的末端部分可以通過組合了光刻和電鑄的微細(xì)加工 技術(shù)形成為半徑30jLim以下的圓弧狀，這里為例如5jLim。并且，該一 對(duì)觸點(diǎn)12 (121、 122)分別接觸在對(duì)置的各被接觸物上而受到推壓。 被接觸物例如是電路基板30的焊盤31或半導(dǎo)體凸塊40等端子。
因而，根據(jù)第1實(shí)施方式的接觸器10，當(dāng)一對(duì)觸點(diǎn)12 (121、 122) 接觸在被接觸物上而受到推壓時(shí)，即使是低載荷即較低的接觸壓力， 也能夠得到較高的集中應(yīng)力。因此，即使在被接觸物的表面上形成有 臟污(污染物)或絕緣皮膜，也能通過該高集中應(yīng)力、由一對(duì)觸點(diǎn)12 (121、 122)將它們破壞，能夠得到與被接觸物的良好的接觸電阻。 此外，第1實(shí)施方式的接觸器IO是與變位量?jī)H依存于懸臂梁狀的連結(jié) 部的以往的接觸器形狀不同的、近似于兩端固定的梁的形狀，所以即 使不使接觸器IO的厚度變厚、例如為20Mm的厚度，也能夠得到比該 以往的接觸器大的變位量，并且能夠以低成本制造接觸器10。進(jìn)而， 第1實(shí)施方式的接觸器10由于彈簧部11形成為無(wú)端環(huán)狀，所以與通 過將分離的一端嵌入到中央部而將連個(gè)環(huán)連結(jié)的以往的接觸器不同， 沒有受到橫向負(fù)載而連結(jié)脫離的問題，能夠維持接觸器IO的構(gòu)造及功
10能。此外，接觸器IO通過組合了光刻和電鑄的微細(xì)加工技術(shù)將接觸器 10的觸點(diǎn)12 (121、 122)的末端非常尖銳地形成為例如5Mm的微細(xì) 半徑的圓孤狀，即使是較低的接觸壓力也能夠得到更高的集中應(yīng)力。 因而，根據(jù)第1實(shí)施方式的接觸器10，具有較高的耐久性，并且接觸 可靠性較高。
此外，第1實(shí)施方式的接觸器10由于是通過組合了光刻和電鑄的 微細(xì)加工技術(shù)制造的非常小的結(jié)構(gòu)，所以能夠?qū)⒔佑|器10高密度安裝 在殼體20上。此外，還可以利用縮腰部111將接觸器IO更高密度安裝 在殼體20上。此外，根據(jù)非常小的接觸器IO，電路長(zhǎng)度較短，所以能 夠流過高速信號(hào)。
殼體20具有比縮腰部111在連結(jié)一對(duì)觸點(diǎn)12 (121、 122 )的方向 上的尺寸厚、并且比一對(duì)觸點(diǎn)12 (121、 122)間的距離薄的厚度。此 外，該殼體20具有多個(gè)橫截面圓形的貫通孔21、和具有比接觸器10 的厚度稍大的間隙的狹縫22。狹縫22在殼體20的表面20a及背面20b 上分別平行于表面20a及背面20b、貫穿多個(gè)貫通孔21而延伸。接觸 器10通過下述方式安裝使接觸器10的縮腰部111進(jìn)入到貫通孔21 的中央部分，在表面20a及背面20b上，使一對(duì)觸點(diǎn)12(121、 122) 中的一個(gè)觸點(diǎn)121及另一個(gè)觸點(diǎn)122 (包括彈簧部11的、分別相鄰于 一個(gè)觸點(diǎn)121及另一個(gè)觸點(diǎn)122的部分)分別從各狹縫22突出。并且， 殼體20具有對(duì)安裝的接觸器10進(jìn)行支撐的板狀的支撐體23。
因而，第1實(shí)施方式的內(nèi)插器1具有較高的耐久性，接觸可靠性 較高，能夠進(jìn)行高密度安裝，能夠?qū)?yīng)于高速信號(hào)。此外，根據(jù)該內(nèi) 插器1,安裝在殼體20上的接觸器10的姿勢(shì)借助狹縫22而穩(wěn)定。
接著，對(duì)關(guān)于本發(fā)明的內(nèi)插器的笫2實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
另外，以下說(shuō)明的第2實(shí)施方式是將作為上述第1實(shí)施方式的內(nèi) 插器1的結(jié)構(gòu)要素的接觸器10替換為與該接觸器10不同形狀的接觸 器50的結(jié)構(gòu)。
以下，對(duì)于與第1實(shí)施方式的要素相同的要素賦予相同的標(biāo)號(hào)而 省略說(shuō)明，僅對(duì)與第1實(shí)施方式的不同點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。
圖5是在第2實(shí)施方式的內(nèi)插器2的殼體20上安裝了接觸器50 的部分的放大剖視圖。
內(nèi)插器2由接觸器50、和安裝接觸器50的絕緣體的殼體20構(gòu)成。接觸器50具備彈簧部51和一對(duì)觸點(diǎn)52 ( 521、 522 )。該接觸器 50是關(guān)于本發(fā)明的接觸器的第2實(shí)施方式。
接觸器50的彈簧部51形成為通過被推壓而彈性變形的無(wú)端環(huán)狀。 此外，該彈簧部51是大致葫蘆形狀，在配置一對(duì)觸點(diǎn)52 (521、 522 ) 的兩個(gè)位置的中間部分具有向相互接近的方向縮腰的縮腰部511，而上 下的環(huán)具有箭頭形狀。
接觸器50的一對(duì)觸點(diǎn)52 (521、 522)是在彈簧部51的環(huán)的距離 大致半周的位置上分別向外方突出而形成的。此外，該一對(duì)觸點(diǎn)52 (521、 522 )分別接觸在對(duì)置的各被接觸物上而受到推壓。
如果是安裝有這樣的大致葫f形狀的接觸器50的內(nèi)插器2,也與 第1實(shí)施方式的內(nèi)插器1同樣，具有較高的耐久性，并且接觸可靠性 較高，能夠進(jìn)行高密度安裝，能夠?qū)?yīng)于高速信號(hào)。
接著，對(duì)關(guān)于本發(fā)明的內(nèi)插器的第3實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
另外，以下說(shuō)明的第3實(shí)施方式是將作為上述第1實(shí)施方式的內(nèi) 插器1的結(jié)構(gòu)要素的接觸器10替換為與該接觸器10不同形狀的接觸 器60的結(jié)構(gòu)。
以下，對(duì)于與第1實(shí)施方式的要素相同的要素賦予相同的標(biāo)號(hào)而 省略說(shuō)明，僅對(duì)與第1實(shí)施方式的不同點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。
圖6是在第3實(shí)施方式的內(nèi)插器3的殼體20上安裝了接觸器60 的部分的放大剖視圖。
內(nèi)插器3由接觸器60、和安裝接觸器60的絕緣體的殼體20構(gòu)成。
接觸器60具備彈簧部61和一對(duì)觸點(diǎn)62 ( 621、 622 )。該接觸器 60是關(guān)于本發(fā)明的接觸器的第3實(shí)施方式。
接觸器60的彈簧部61形成為通過被推壓而彈性變形的無(wú)端環(huán)狀。 此外，彈簧部61的環(huán)形狀是在用連結(jié)一對(duì)觸點(diǎn)62 (621、 622)的直線 二分割時(shí)一側(cè)與另一側(cè)不對(duì)稱的形狀。此外，該彈簧部61是在配置一 對(duì)觸點(diǎn)62 ( 621、 622 )的兩個(gè)位置的中間部分具有向相互接近的方向 縮腰的縮腰部611的葫，形狀。
接觸器60的一對(duì)觸點(diǎn)62 (621、 622 )是在彈簧部61的環(huán)的距離 大致半周的位置上分別向外方突出而形成的。此外，該一對(duì)觸點(diǎn)62 (621、 622)分別接觸在對(duì)置的各被接觸物上而受到推壓。
彈簧部的環(huán)形狀為非對(duì)稱形狀的笫3實(shí)施方式的內(nèi)插器3，在一對(duì)觸點(diǎn)62 ( 621、 622)接觸在被接觸物上而受到推壓時(shí)，彈簧部61的一 側(cè)和另一側(cè)歪曲而變形。由此， 一對(duì)觸點(diǎn)62 ( 621、 622 )相對(duì)于被接 觸物沿水平方向移動(dòng)而摩擦接觸。因而，根據(jù)第3實(shí)施方式的內(nèi)插器3， 即使在被接觸物的表面上形成有臟污(污染物)或絕緣皮膜，也能通 過一對(duì)觸點(diǎn)62 ( 621、 622)的摩擦接觸將它們可靠地破壞，能夠得到 與被接觸物更良好的接觸電阻，接觸可靠性很高。此外，該內(nèi)插器3 與第1實(shí)施方式的內(nèi)插器1同樣，具有較高的耐久性，能夠進(jìn)行高密 度安裝，能夠?qū)?yīng)于高速信號(hào)。
接著，對(duì)關(guān)于本發(fā)明的內(nèi)插器的第4實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。 另外，以下說(shuō)明的第4實(shí)施方式是將作為上述第1實(shí)施方式的內(nèi) 插器1的結(jié)構(gòu)要素的接觸器10替換為與該接觸器10不同形狀的接觸 器70的結(jié)構(gòu)。
以下，對(duì)于與第1實(shí)施方式的要素相同的要素賦予相同的標(biāo)號(hào)而 省略說(shuō)明，僅對(duì)與第1實(shí)施方式的不同點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。
圖7是在第4實(shí)施方式的內(nèi)插器4的殼體20上安裝了接觸器70 的部分的放大剖視圖。
內(nèi)插器4由接觸器70、和安裝接觸器70的絕緣體的殼體20構(gòu)成。
接觸器70具備彈簧部71和一對(duì)觸點(diǎn)72 (721、 722 )。該接觸器 70是關(guān)于本發(fā)明的接觸器的第4實(shí)施方式。
接觸器70的彈簧部71形成為通過被推壓而彈性變形的無(wú)端環(huán)狀。 此外，彈簧部71的環(huán)形狀是在用連結(jié)一對(duì)觸點(diǎn)72 ( 721、 722 )的直線 二分割時(shí)一側(cè)與另一側(cè)相互不同的截面形狀。此外，該彈簧部71是在 配置一對(duì)觸點(diǎn)72 ( 721、 722 )的兩個(gè)位置的中間部分具有向相互接近 的方向縮腰的縮腰部711的葫聲形狀。
接觸器70的一對(duì)觸點(diǎn)72 (721、 722)是在彈簧部71的環(huán)的距離 大致半周的位置上分別向外方突出而形成的。此外，該一對(duì)觸點(diǎn)72 (721、 722)分別接觸在對(duì)置的各被接觸物上而受到推壓。
彈簧部的環(huán)形狀為在用連結(jié)一對(duì)觸點(diǎn)72 ( 721、 722)的直線二分 割時(shí)的一側(cè)與另一側(cè)相互不同的截面形狀的第4實(shí)施方式的內(nèi)插器4 與第3實(shí)施方式的內(nèi)插器3同樣，在一對(duì)觸點(diǎn)72 ( 721、 722 )接觸在 被接觸物上而受到推壓時(shí)，彈簧部71的一側(cè)與另一側(cè)歪曲而變形。由 此， 一對(duì)觸點(diǎn)72 ( 721、 722)相對(duì)于^皮接觸物沿水平方向移動(dòng)而摩擦接觸。因而，根據(jù)第4實(shí)施方式的內(nèi)插器4，即使在被接觸物的表面上 形成有臟污(污染物)或絕緣皮膜，也能通過一對(duì)觸點(diǎn)72 (721、 722) 的摩擦接觸將它們可靠地破壞，能夠得到與被接觸物更良好的接觸電 阻，接觸可靠性很高。此外，該內(nèi)插器4與第1實(shí)施方式的內(nèi)插器1 同樣，具有較高的耐久性，能夠進(jìn)行高密度安裝，能夠?qū)?yīng)于高速信 號(hào)。
接著，對(duì)關(guān)于本發(fā)明的內(nèi)插器的第5實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
另外，以下說(shuō)明的第5實(shí)施方式是將作為上述第1實(shí)施方式的內(nèi) 插器1的結(jié)構(gòu)要素的接觸器10及殼體20替換為與該接觸器IO及殼體 20不同形狀的接觸器80及殼體210的結(jié)構(gòu)。
圖8是在第5實(shí)施方式的內(nèi)插器5的殼體210上安裝了接觸器80 的部分的放大剖視圖。
內(nèi)插器5由接觸器80、和安裝接觸器80的絕緣體的殼體210構(gòu)成。
接觸器80具備彈簧部81和一對(duì)觸點(diǎn)82 ( 821、 822 )。該接觸器 80是關(guān)于本發(fā)明的接觸器的第5實(shí)施方式。
接觸器80的彈簧部81形成為通過被推壓而彈性變形的無(wú)端環(huán)狀 的、圓形的結(jié)構(gòu)。
接觸器80的一對(duì)觸點(diǎn)82 (821、 822)是在彈簧部81的環(huán)的距離 大致半周的位置上分別向外方突出而形成的。此外，該一對(duì)觸點(diǎn)82 (821、 822)分別接觸在對(duì)置的各被接觸物上而受到推壓。
殼體210具有比一對(duì)觸點(diǎn)82 ( 821、 822)間的距離薄的厚度。此 外，殼體210具有形成有狹縫211的一對(duì)板體212，該狹縫211使一對(duì) 觸點(diǎn)82 (821、 822 )中的一個(gè)觸點(diǎn)821及另一個(gè)觸點(diǎn)822 (包括彈簧部 81的、分別相鄰于一個(gè)觸點(diǎn)821及另一個(gè)觸點(diǎn)822的部分)分別突出。 接觸器80進(jìn)入到狹縫211中，使一對(duì)觸點(diǎn)82 ( 821、 822 )中的一個(gè)觸 點(diǎn)821及另一個(gè)觸點(diǎn)822分別(包括彈簧部81的、分別相鄰于一個(gè)觸 點(diǎn)821及另一個(gè)觸點(diǎn)822的部分)從狹縫211突出而安裝。
如果是這樣的圓形狀的接觸器80安裝在具有形成了狹縫211的一 對(duì)板體212的殼體210上的內(nèi)插器5，也與第1實(shí)施方式的內(nèi)插器l同 樣，具有較高的耐久性，接觸可靠性較高，能夠進(jìn)行高密度安裝，能
夠?qū)?yīng)于高速信號(hào)。
接著，對(duì)關(guān)于本發(fā)明的內(nèi)插器的第6實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。另外，以下說(shuō)明的第6實(shí)施方式是將作為上述第1實(shí)施方式的內(nèi) 插器1的結(jié)構(gòu)要素的接觸器10及殼體20替換為與該接觸器IO及殼體 20不同形狀的接觸器90及殼體220的結(jié)構(gòu)。
圖9是在第6實(shí)施方式的內(nèi)插器6的殼體220上安裝了接觸器90 的部分的放大剖視圖。
內(nèi)插器6由接觸器90、和安裝接觸器90的絕緣體的殼體220構(gòu)成。
接觸器90具備彈簧部91和一對(duì)觸點(diǎn)92 ( 921、 922)。該接觸器 90是關(guān)于本發(fā)明的接觸器的第6實(shí)施方式。
接觸器90的彈簧部91形成為通過被推壓而彈性變形的無(wú)端環(huán)狀 的、橢圓形狀的結(jié)構(gòu)。
接觸器90的一對(duì)觸點(diǎn)92 (921、 922 )是在彈簧部91的環(huán)的距離 大致半周的位置上分別向外方突出而形成的。并且，該一對(duì)觸點(diǎn)92 (921、 922)分別接觸在對(duì)置的各被接觸物上而受到推壓。
殼體220具有比一對(duì)觸點(diǎn)92 (921、 922)間的距離薄的厚度。此 外，殼體220具有形成有狹縫221的一對(duì)板體222，該狹縫221使一對(duì) 觸點(diǎn)92 (921、 922 )中的一個(gè)觸點(diǎn)921及另一個(gè)觸點(diǎn)922 (包括彈簧部 91的、分別相鄰于一個(gè)觸點(diǎn)921及另一個(gè)觸點(diǎn)922的部分)分別突出。 接觸器90進(jìn)入到狹縫221中，使一對(duì)觸點(diǎn)92 ( 921、 922)中的一個(gè)觸 點(diǎn)921及另一個(gè)觸點(diǎn)922分別(包括彈簧部91的、分別相鄰于一個(gè)觸 點(diǎn)921及另一個(gè)觸點(diǎn)922的部分)從狹縫221突出而安裝。
如果是這樣的橢圓形狀的接觸器90安裝在具有形成了狹縫221的 一對(duì)板體222的殼體220上的內(nèi)插器6，也與第1實(shí)施方式的內(nèi)插器l 同樣，具有較高的耐久性，接觸可靠性較高，能夠進(jìn)行高密度安裝， 能夠?qū)?yīng)于高速信號(hào)。
接著，對(duì)關(guān)于本發(fā)明的內(nèi)插器的第7實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
另外，以下說(shuō)明的第7實(shí)施方式是將作為上述第1實(shí)施方式的內(nèi) 插器1的結(jié)構(gòu)要素的殼體20替換為與該殼體20不同形狀的殼體230 的結(jié)構(gòu)。
以下，對(duì)于與第1實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)要素相同的結(jié)構(gòu)要素賦予相同 的標(biāo)號(hào)而省略說(shuō)明，僅對(duì)與第1實(shí)施方式的不同點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。 圖10是第7實(shí)施方式的內(nèi)插器7的俯視圖。
內(nèi)插器7由接觸器10、和安裝接觸器10的絕緣體的殼體230構(gòu)成。
15殼體230具有長(zhǎng)方體形狀，厚度比縮腰部111在連結(jié)一對(duì)觸點(diǎn)12 (121、 122)的方向上尺寸厚且比一對(duì)觸點(diǎn)12 (121、 122)間的距離 薄。此外，接觸器IO二維地排列多個(gè)，狹縫231是在殼體230的俯視 圖中相對(duì)于矩形形狀的邊傾斜地延伸的狹縫。
在這樣的殼體230上安裝有接觸器10的內(nèi)插器7能夠?qū)⒔佑|器10 更高密度地安裝到殼體230上。此外，該內(nèi)插器7與第1實(shí)施方式的 內(nèi)插器1同樣，具有較高的耐久性，能夠進(jìn)行高密度安裝，能夠?qū)?yīng) 于高速信號(hào)。
另外，上述各實(shí)施方式的接觸器除了能用于內(nèi)插器以外，也能夠 應(yīng)用到半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的測(cè)試插槽、或高密度基板間連接中。
此外，上述各實(shí)施方式的內(nèi)插器除了能用于例如測(cè)量電氣特性的 探測(cè)測(cè)試裝置以外，也可以應(yīng)用到例如醫(yī)療用的超聲波診斷裝置或 CT、 MRI、 NMR等的高密度安裝中。
此外，上述第1實(shí)施方式~第4實(shí)施方式的內(nèi)插器舉出殼體具有 多個(gè)貫通孔和狹縫的例子進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明中所說(shuō)的殼體也可以 是具有下述板狀的支撐體的結(jié)構(gòu)，該板狀的支撐體具有對(duì)應(yīng)于接觸器 的縮腰部在連結(jié)一對(duì)觸點(diǎn)的方向上的尺寸的厚度、并且具有供該縮腰 部進(jìn)入的貫通孔。
權(quán)利要求
1、一種接觸器，其特征在于，具備彈簧部，形成為通過被推壓而彈性變形的無(wú)端環(huán)狀；一對(duì)觸點(diǎn)，在上述彈簧部的環(huán)的離開大致半周的位置上分別向外方突出，分別接觸在對(duì)置的各被接觸物上而受到推壓。
2、 如權(quán)利要求1所述的接觸器，其特征在于，上述一對(duì)觸點(diǎn)各自的末端部分形成為半徑30ym以下的圓弧狀。
3、 如權(quán)利要求1或2所述的接觸器，其特征在于，上述接觸器具有50jum以下的厚度。
4、 如權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的接觸器，其特征在于，上述彈簧部在配置上述一對(duì)觸點(diǎn)的兩個(gè)位置的中間部分上具有向相互接近的方向縮腰的縮腰部。
5、 如權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的接觸器，其特征在于，上述彈簧部具有下述截面形狀將該彈簧部的環(huán)形狀用連結(jié)上述一對(duì)觸點(diǎn)的直線二分割時(shí)， 一側(cè)與另一側(cè)相互不同。
6、 如權(quán)利要求l-4中任一項(xiàng)所述的接觸器，其特征在于，上述彈簧部具有下述形狀將該彈簧部的環(huán)形狀用連結(jié)上述一對(duì)觸點(diǎn)的直線二分割時(shí)， 一側(cè)與另一側(cè)不對(duì)稱。
7、 一種內(nèi)插器，其特征在于，具備接觸器，具備彈簧部和一對(duì)觸點(diǎn)，該彈簧部形成為通過被推壓而彈性變形的無(wú)端環(huán)狀，該一對(duì)觸點(diǎn)在該彈簧部的環(huán)的離開大致半周的位置上分別向外方突出并分別接觸在對(duì)置的各被接觸物上而受到推壓；殼體，具有形成有狹縫的一對(duì)板體，上述一對(duì)觸點(diǎn)中的一個(gè)及另一個(gè)觸點(diǎn)，包括上述彈簧部的分別相鄰于該一個(gè)及另一個(gè)觸點(diǎn)的部分在內(nèi)，分別從該狹縫突出。
8、 一種內(nèi)插器，其特征在于，具備接觸器，具備彈簧部和一對(duì)觸點(diǎn)，該彈簧部形成為通過被推壓而彈性變形的無(wú)端環(huán)狀，該一對(duì)觸點(diǎn)在該彈簧部的環(huán)的離開大致半周的位置上分別向外方突出并分別接觸在對(duì)置的各被接觸物上而受到推壓，上述彈簧部在配置上述一對(duì)觸點(diǎn)的兩個(gè)位置的中間部分上具有向相互接近的方向縮腰的縮腰部；殼體，具有板狀的支撐體，該支撐體具有與上述縮腰部在連結(jié)上述一對(duì)觸點(diǎn)的方向上的尺寸相對(duì)應(yīng)的厚度并且具有供該縮腰部進(jìn)入的貫通孔。
9、 一種內(nèi)插器，其特征在于，具備接觸器，具備彈簧部和一對(duì)觸點(diǎn)，該彈簧部形成為通過被推壓而彈性變形的無(wú)端環(huán)狀，該一對(duì)觸點(diǎn)在該彈簧部的環(huán)的離開大致半周的位置上分別向外方突出并分別接觸在對(duì)置的各被接觸物上而受到推壓，上述彈簧部在配置上述一對(duì)觸點(diǎn)的兩個(gè)位置的中間部分上具有向相互接近的方向縮腰的縮腰部；殼體，具有板狀的支撐體，該支撐體的厚度比上述縮腰部在連結(jié)上述一對(duì)觸點(diǎn)的方向上的尺寸厚且比上述一對(duì)觸點(diǎn)間的距離薄，且該支撐體具有貫通孔和在表面及背面上分別平行于該表面及背面貫穿該貫通孔而延伸的狹縫，上述縮腰部進(jìn)入到上述貫通孔的中央部分中，上述一對(duì)觸點(diǎn)中的一個(gè)及另 一個(gè)觸點(diǎn)，包括上述彈簧部的分別相鄰于該一個(gè)及另一個(gè)觸點(diǎn)的部分在內(nèi)，分別在上述表面及背面從各狹縫突出。
10、 如權(quán)利要求7或9所述的內(nèi)插器，其特征在于，上述殼體具有矩形形狀，二維地排列有多個(gè)上述接觸器，上述狹縫是相對(duì)于上述殼體的矩形形狀的邊傾斜地延伸的狹縫。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種接觸器及內(nèi)插器，該接觸器接觸電路基板的圖案和半導(dǎo)體凸塊等被接觸物，該內(nèi)插器將這樣的接觸器安裝在絕緣體上，本發(fā)明提供的接觸器及具有該接觸器的內(nèi)插器具有高耐久性，接觸可靠性較高，能夠進(jìn)行向絕緣體的高密度安裝，能夠?qū)?yīng)于高速信號(hào)。接觸器(10)具備彈簧部(11)和一對(duì)觸點(diǎn)(12(121、122))，彈簧部(11)形成為通過被推壓而彈性變形的無(wú)端環(huán)狀；一對(duì)觸點(diǎn)(12(121、122))在彈簧部(11)的環(huán)的離開大致半周的位置上分別向外方突出而形成，分別接觸在對(duì)置的各被接觸物上而受到推壓。
文檔編號(hào)H01R12/71GK101471500SQ20081019064
公開日2009年7月1日 申請(qǐng)日期2008年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月27日
發(fā)明者坂本克彥, 武正英一郎 申請(qǐng)人:泰科電子Amp株式會(huì)社