專利名稱：薄膜型光伏組件的制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種光伏組件，尤其是一種薄膜型光伏組件的制造裝 置，以全自動(dòng)的方式，多個(gè)間隔放置的玻璃基片豎直地被裝入固定沉積室 件件的沉積房間，從而縮減生產(chǎn)光伏組件的勞動(dòng)成本，同時(shí)保證具有時(shí)間 效率。
背景技術(shù)：
研究表明能源價(jià)格上漲導(dǎo)致世界將經(jīng)歷全球能源危機(jī)，尤其是原油和 天然氣。為了確保未來有充足的能源，必須發(fā)展可替代能源。例如風(fēng)能就是 一種可替代能源。太陽能電力系統(tǒng)被認(rèn)為是最環(huán)保的能源，并且可以降低未 來能源危機(jī)的影響。
太陽能電力系統(tǒng)也是光電系統(tǒng)，光電技術(shù)發(fā)展與十九世紀(jì)五十年代。 光電技術(shù)可以利用太陽的多余能量，并且非常環(huán)保。光電技術(shù)應(yīng)用廣泛，從 小商品到大型的太陽能電力系統(tǒng)。
光電系統(tǒng)包括太陽能電池，可以將太陽能轉(zhuǎn)換為電能，其中每一個(gè)太 陽能電池包括多個(gè)相互連接的太陽能板來收集太陽能。每一個(gè)太陽能板，也叫做光伏組件，是回火玻璃做的玻璃基片經(jīng)過沉積過程后形成的。玻璃制成 的太陽能板的成本相比較傳統(tǒng)基片比較低。然而光伏組件的生產(chǎn)方法相對(duì)復(fù) 雜，費(fèi)時(shí)，并且成本高。
傳統(tǒng)的光伏組件的制造方法較高的勞動(dòng)力成本，操作者必須手動(dòng)將玻 璃基片一個(gè)一個(gè)地放入沉積室件。每一個(gè)玻璃基片是一個(gè)具有兩個(gè)邊和兩個(gè) 相對(duì)的玻璃表面的玻璃板。操作者必須把水平放置的玻璃基片放置為豎直方 向，這樣在裝載如沉積房間的之前，豎直的玻璃基片為有間隔的設(shè)置。每一 個(gè)玻璃基片豎直的設(shè)置，從而沉積材料可以有效的沉積在每一個(gè)玻璃基片的 玻璃表面上。換句話說，在沉積過程中，玻璃基片不能平放在沉積房間內(nèi)。
生產(chǎn)過程的主要問題是在沉積房間內(nèi)如何不接觸玻璃表面就能夠有間 隔的并且豎直的支撐起玻璃基片。沉積材料沉積在玻璃基片的玻璃表面上， 玻璃基片的玻璃表面和其它物體的接觸都會(huì)導(dǎo)致光伏組件的不完美。換句話 說，玻璃基片只能通過外邊緣來支撐。
生產(chǎn)過程的另外一個(gè)問題是RF電極放置在沉積房間之外。非晶硅加載
到RF電極上，其中RF電極與玻璃基片連接轉(zhuǎn)移至預(yù)熱爐，這樣RF電極和 玻璃基片在沉積過程之前同時(shí)被預(yù)熱。
生產(chǎn)過程的另外一個(gè)問題是如何將玻璃基片裝入沉積房間。在每個(gè)沉 積過程中，有36到48個(gè)玻璃基片裝入沉積房間。操作者一個(gè)一個(gè)地將玻 璃基片裝入沉積房間，非常的耗時(shí)。事實(shí)上， 一次裝載玻璃基片的重量和電極的總重量為350公斤，這樣玻璃基片的傳送非常困難。更重要的是，玻璃
基片必須是豎直放置，這樣避免在沉積房間內(nèi)的傳送期間震動(dòng)從而打碎玻璃 基片。此外當(dāng)玻璃基片一個(gè)一個(gè)地移動(dòng)至沉積房間時(shí)，微粒落入玻璃表面對(duì) 導(dǎo)致光伏組件不夠完美。
生產(chǎn)過程的另外一個(gè)問題是玻璃基片必須被無塵清洗，并且在裝入沉 積房間前預(yù)熱到預(yù)定的溫度。在清洗步驟中，有間隔的玻璃基片手動(dòng)平放， 然后玻璃基片被放入預(yù)熱間預(yù)熱。因此，操作者需要將沉積房間的水平方向 的玻璃基片豎直放置。值得指出的是當(dāng)玻璃基片從預(yù)熱室被傳送到沉積室件 時(shí)，由于不同的室溫，每一個(gè)玻璃基片的溫度會(huì)下降。換句話說，在傳送期 間，玻璃基片的預(yù)熱能量會(huì)丟失，并且微粒落入玻璃表面對(duì)導(dǎo)致光伏組件不
此外，在沉積歩驟后，玻璃基片手動(dòng)一個(gè)一個(gè)地從沉積室件內(nèi)卸載到 冷卻室內(nèi)。因此，整個(gè)生產(chǎn)線從清洗到冷卻都是手動(dòng)完成的。因此光伏組件 的生產(chǎn)成本很高，并且非常耗時(shí)。
新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的一個(gè)主要目的是提供是一種薄膜型光伏組件的制造裝 置，其中，光伏組件的生產(chǎn)線是全自動(dòng)的，從而縮減生產(chǎn)光伏組件的勞動(dòng)成本。本實(shí)用新型的另一個(gè)目的是提供是一種薄膜型光伏組件的制造裝置， 其中，間隔設(shè)置的玻璃基片全自動(dòng)地豎直裝入固定沉積室件件的沉積房間 內(nèi)，從而降低光伏組件的勞動(dòng)力和提高實(shí)效。換句話說，玻璃基片被自動(dòng) 從一個(gè)室件轉(zhuǎn)移至另一個(gè)室件，從而減少轉(zhuǎn)移時(shí)間。
本實(shí)用新型的另一個(gè)目的是提供是一種薄膜型光伏組件的制造裝置， 其中，間隔設(shè)置的玻璃基片以一種穩(wěn)定的方式被豎直裝入沉積房間，從而 防止玻璃基片被打碎。
本實(shí)用新型的另一個(gè)目的是提供是一種薄膜型光伏組件的制造裝置， 其中，固定沉積室件件有一個(gè)門，在沉積過程中玻璃基片通過這個(gè)門裝入 沉積房間，并且在沉積過程后，玻璃基片通過這個(gè)門從沉積房間卸載，從 而減少固定沉積室件占用的空間，并且加快整個(gè)沉積過程。
本實(shí)用新型的另一個(gè)目的是提供是一種薄膜型光伏組件的制造裝置， 其中，每一個(gè)玻璃基片豎直的由外周邊緣支撐，被裝入沉積房間，從而在 沉積過程中將玻璃基片的玻璃表面最大化。
本實(shí)用新型的另一個(gè)目的是提供是一種薄膜型光伏組件的制造裝置，
其中，當(dāng)玻璃基片被裝入沉積房間內(nèi)的時(shí)候，玻璃基片被自動(dòng)與RF電極 對(duì)齊，從而將沉積材料沉積到玻璃表面上。本實(shí)用新型的另一個(gè)目的是提供是一種薄膜型光伏組件的制造裝置， 其中，RF電極固定的設(shè)置在沉積房間內(nèi)，當(dāng)玻璃基片被裝入的時(shí)候，與玻
璃基片排列起來。因此，相比較傳統(tǒng)的生產(chǎn)方法，RF電極可以自由移動(dòng)和 玻璃電極一起被預(yù)熱。
本實(shí)用新型的另一個(gè)目的是提供是一種薄膜型光伏組件的制造裝置， 其中，沉積房間有一個(gè)熱源，可以維持RF電極在最佳溫度，從而在沉積 過程中，減少RF電極的預(yù)熱時(shí)間。
為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種薄膜型光伏組件的制造裝 置，包括一個(gè)固定的沉積房間件， 一個(gè)或多個(gè)轉(zhuǎn)移路軌， 一個(gè)光伏組件制 造件，其中固定的沉積房間件可以讓一個(gè)或多個(gè)玻璃基片以直立的方式通 過，每個(gè)玻璃基片有兩個(gè)側(cè)部的外邊緣和一個(gè)由所述的轉(zhuǎn)移路軌引導(dǎo)的底 部外邊緣；光伏組件制造件以沉積過程，將玻璃基片制成光伏組件，該轉(zhuǎn) 移路軌讓光伏組件以直立的方式卸載，固定的沉積房間件還包括引導(dǎo)組件 導(dǎo)向器，排列在轉(zhuǎn)移路軌的一個(gè)開放端來引導(dǎo)所訴的玻璃基片，進(jìn)入導(dǎo)向 器有兩個(gè)擴(kuò)大的進(jìn)口和一個(gè)延長的進(jìn)入槽，延長的進(jìn)入槽連通地延伸在兩 個(gè)進(jìn)口之間。
本實(shí)用新型薄膜型光伏組件的制造裝置，進(jìn)一步說明，包括 一個(gè)固 定的沉積房間件，固定的沉積房間件包括一個(gè)或多個(gè)轉(zhuǎn)移路軌，和一個(gè)光伏 組件制造件，其中固定的沉積房間件可以讓一個(gè)或多個(gè)玻璃基片以直立的方式通過，每一個(gè)所述的玻璃基片有兩個(gè)側(cè)部的外邊緣和一個(gè)由所述的轉(zhuǎn)移路 軌引導(dǎo)的底部外邊緣；光伏組件制造件以沉積過程，將玻璃基片制成光伏組 件，轉(zhuǎn)移路軌讓光伏組件以直立的方式卸載。固定的沉積房間件還包括一個(gè) 引導(dǎo)組件，讓所述的玻璃基片與所述的轉(zhuǎn)移路軌排列地接合起來。
本實(shí)用新型薄膜型光伏組件的制造裝置進(jìn)一步包括一個(gè)進(jìn)入導(dǎo)向器排 列在轉(zhuǎn)移路軌的一個(gè)開放端來引導(dǎo)所訴的玻璃基片裝入所述的沉積房間，其 中所述的進(jìn)入導(dǎo)向器有兩個(gè)擴(kuò)大的進(jìn)口和一個(gè)延長的進(jìn)入槽，延長的進(jìn)入槽 連通地延伸在兩個(gè)進(jìn)口之間，并且當(dāng)所述的玻璃基片裝入所述的沉積房間的 時(shí)候設(shè)置起來，所述的玻璃基片的所述的底部外邊緣引導(dǎo)滑入所述的相應(yīng)的 進(jìn)口，然后引導(dǎo)滑入所述的進(jìn)入槽，從而引導(dǎo)所述的玻璃基片的所述的底部 外邊緣與所述的轉(zhuǎn)移路軌排列起來，當(dāng)所述的光伏組件從所述的沉積房間內(nèi) 卸載的時(shí)候，所述的光伏組件的所述的底部外邊緣被引導(dǎo)滑入另一個(gè)所述的 進(jìn)口，然后被引導(dǎo)滑入所述的進(jìn)入槽。其中所述的進(jìn)入槽的寬度至少比所述 的玻璃基片的厚度要寬，并且每一個(gè)進(jìn)口的寬度朝向進(jìn)入槽逐漸減少。其中 轉(zhuǎn)移路軌包括多個(gè)轉(zhuǎn)移輪以有間隔排列設(shè)置，其中每一個(gè)轉(zhuǎn)移輪旋轉(zhuǎn)在所述 的底部外邊緣支撐所述的玻璃基片。其中每兩個(gè)相鄰的所述的轉(zhuǎn)移輪之間的 距離比所述的玻璃基片質(zhì)心和所述的側(cè)部的外邊緣的距離要短，從而當(dāng)所述 的玻璃基片的所述的底部外邊緣在所述的轉(zhuǎn)移導(dǎo)軌上滑動(dòng)的時(shí)候，穩(wěn)定的支
撐所述的豎直的玻璃基片。其中每一個(gè)所述的轉(zhuǎn)移輪有一個(gè)u形的橫截面，
形成兩個(gè)定位墻和其間的一個(gè)滑動(dòng)槽，其中所述的豎直的玻璃基片的所述的底部外邊緣沿每一個(gè)所述的轉(zhuǎn)移輪的所述的滑動(dòng)槽滑動(dòng)，從而可以被轉(zhuǎn)移。 其中固定的沉積房間件包括一個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述的轉(zhuǎn)移輪由一個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)產(chǎn) 生功來推動(dòng)所述的轉(zhuǎn)移輪旋轉(zhuǎn)，從而將所述的玻璃基片裝載入所述的沉積房 間內(nèi)，并且將所述的光伏組件從所述的沉積房間內(nèi)卸載。
光伏組件制造件還包括 一個(gè)軸臂，并具有一個(gè)軸端沿軸，和一個(gè)推 動(dòng)端，軸端沿軸支撐在所述的沉積房間內(nèi)，軸端沿軸和推動(dòng)端向所述的光伏 組件的相應(yīng)的側(cè)部外邊緣延伸，讓沿軸從橫向方向移動(dòng)所述的軸臂到縱向方 向，這樣所述的軸臂的推動(dòng)端可以推動(dòng)所述的光伏組件的所述的側(cè)部外邊緣 推出所述的沉積房間。其中，固定的沉積房間件還包括第一固定室件，在 第一固定室件內(nèi)，所述的玻璃基片保持直立方式，玻璃基片底部外邊緣沿所 述的轉(zhuǎn)移路軌被支撐；和第一室件移動(dòng)件，讓轉(zhuǎn)移路軌端對(duì)端的排列起來， 這樣所述的玻璃基片可以通過轉(zhuǎn)移路軌從所述的第一固定室件裝載到光伏組 件制造件。其中，轉(zhuǎn)移路軌的兩個(gè)相應(yīng)的端之間的距離要比所述的玻璃基片 的質(zhì)心和所述的相應(yīng)的側(cè)部外邊緣之間的距離要短，這樣所述的玻璃基片穩(wěn) 定地從一個(gè)所述的轉(zhuǎn)移路軌滑動(dòng)到另一個(gè)所述的轉(zhuǎn)移路軌，來轉(zhuǎn)移所述的玻 璃基片到光伏組件制造件。其中，所述的第一固定室件是一個(gè)預(yù)熱裝置，在 所述的玻璃基片被轉(zhuǎn)移至所述的光伏組件制造件之前，所述的玻璃基片被所 述的預(yù)熱裝置預(yù)熱。光伏組件制造件還可包括一個(gè)RF電極裝，在這個(gè)位置 上，當(dāng)所述的玻璃基片裝入所述的光伏組件制造件的時(shí)候，所述的RF電極
與所述的玻璃基片排列起來；和固定的沉積房間件將所述的RF電極預(yù)熱。本實(shí)用新型薄膜型光伏組件的制造裝置還包括一機(jī)械裝載裝置，機(jī)械 裝載裝置自動(dòng)將所述的玻璃基片從水平位置轉(zhuǎn)換至直立方式，在所述的玻璃 基片裝載到所述的第一固定室件之前，保持所述的玻璃基片的直立方式。
本實(shí)用新型薄膜型光伏組件的制造裝置包括第二制造室件，與所述的 光伏組件制造件排列成一行，在這個(gè)位置上，所述的沉積房間的所述的轉(zhuǎn)移 路軌與所述的第二個(gè)室的轉(zhuǎn)移路軌端對(duì)端的排列起來；和將所述的光伏組件 的所述的側(cè)部的外邊緣從所述的沉積房間引導(dǎo)至所述的第二制造室件。其 中，所述的第二制造室件是一個(gè)冷卻緩沖裝置。
本實(shí)用新型薄膜型光伏組件的制造裝置包括一種制造薄膜型光伏組件 的方法，包括(a)以一種全自動(dòng)的方式，通過引導(dǎo)豎直的玻璃基片的底部 外邊緣沿轉(zhuǎn)移路軌運(yùn)動(dòng)，滑動(dòng)地將至少一個(gè)豎直的玻璃基片裝載到一個(gè)固 定的沉積房間中；(b)通過一個(gè)沉積過程，在沉積房間內(nèi)，將玻璃基片制成 光伏組件；和(c)以一種全自動(dòng)的方式，通過引導(dǎo)光伏組件的底部外邊緣 沿轉(zhuǎn)移路軌運(yùn)動(dòng)，滑動(dòng)地從沉積房間內(nèi)卸載光伏組件。
本實(shí)用新型優(yōu)點(diǎn)是光伏組件的生產(chǎn)線是全自動(dòng)的，從而縮減生產(chǎn)光伏 組件的勞動(dòng)成本；降低光伏組件的勞動(dòng)力和提高實(shí)效；間隔設(shè)置，減少轉(zhuǎn) 移時(shí)間，以一種穩(wěn)定的方式被豎直裝入沉積房間，從而防止玻璃基片被打 碎，在沉積過程中將玻璃基片的玻璃表面最大化，相比較傳統(tǒng)的生產(chǎn)方法，RF電極可以自由移動(dòng)和玻璃電極一起被預(yù)熱，過程中維持RF電極在 最佳溫度，減少RF電極的預(yù)熱時(shí)間。
本實(shí)用新型的這些目的，特點(diǎn)，和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)在下面的具體實(shí)施方式
， 附圖，和權(quán)利要求中詳細(xì)的揭露。
圖1是本實(shí)用新型沉積裝置的示意圖。
圖2是通過沉積裝置生產(chǎn)薄膜型光伏組件的方法流程圖。
圖3是沉積裝置機(jī)械裝載裝置的示意圖。
圖4是沉積裝置的基片轉(zhuǎn)移裝置的示意圖。
圖5是沉積裝置的基片轉(zhuǎn)移裝置的部分截面圖。
圖6是沉積裝置的基片轉(zhuǎn)移裝置的轉(zhuǎn)移路軌的前視圖。
圖7是生產(chǎn)光伏組件的生產(chǎn)步驟的框圖。
圖8是玻璃基片沿進(jìn)入導(dǎo)向器導(dǎo)入相應(yīng)的轉(zhuǎn)移導(dǎo)軌的示意圖。
圖9是軸臂推動(dòng)玻璃基片的示意圖。
圖10是光伏組件從沉積室件件被轉(zhuǎn)移至冷卻緩沖室件的示意圖。
具體實(shí)施方式
參考圖1至圖7，圖1至圖7顯示了本實(shí)用新型最佳實(shí)施方式的一個(gè) 沉積裝置，其中該沉積裝置包括一個(gè)機(jī)械裝載裝置10， 一個(gè)固定的沉積室 件20， 一個(gè)預(yù)熱室件30， 一個(gè)冷卻緩沖室件40，和一個(gè)傳送裝置50，其 中該傳送裝置可控制地將預(yù)熱室件30和冷卻緩沖室件40轉(zhuǎn)移至與沉積室 件20排列起來。
傳送裝置50包括一個(gè)傳送軌道51和一個(gè)操作控制裝置52，該操作控 制裝置可以控制每一個(gè)預(yù)熱室件30和冷卻緩沖室件40沿傳送軌道51滑 動(dòng)，從而傳送每一個(gè)預(yù)熱室件30和冷卻緩沖室件40與沉積室件20連通。 如圖1所示，沉積室件20放置在預(yù)熱室件30和冷卻緩沖室件40之間，并 且與傳送軌道51相鄰，所以每一個(gè)預(yù)熱室件30和冷卻緩沖室件40可以移 動(dòng)，從而與沉積室件20排列起來。
根據(jù)本實(shí)用新型的最佳實(shí)施方式，本實(shí)用新型的沉積裝置可以用于通 過沉積過程在玻璃基片60上制造薄膜型光伏組件60，。所以玻璃基片60， 最好為矩形，有一個(gè)底部的外邊緣61，頂部的外邊緣62，兩個(gè)側(cè)部的外邊 緣63，和兩個(gè)玻璃表面64。
本實(shí)用新型還提供了一個(gè)通過沉積裝置生產(chǎn)薄膜型光伏組件60'的過 程，該過程包括以下步驟。(1) 無塵清洗玻璃基片60，并且將玻璃基片60沿水平方向放置 在盒子71里面。
(2) 通過機(jī)械裝載裝置10自動(dòng)將玻璃基片60從水平方向轉(zhuǎn)換到 直立方向。最好將玻璃基片60從水平方向轉(zhuǎn)換到豎直方 向。
(3) 自動(dòng)將豎直方向的玻璃基片60裝載到一個(gè)轉(zhuǎn)移車72上，從 而玻璃基片60可以固定在豎直方向。
(4) 將豎直方向的玻璃基片滑動(dòng)地從轉(zhuǎn)移車72上裝載到預(yù)熱室 件30，從而玻璃基片60可以在預(yù)熱室30預(yù)熱到一個(gè)最佳 的溫度。
(5) 將預(yù)熱室件30沿傳送軌道51移動(dòng)，與沉積室件20排列起 來。
(6) 全自動(dòng)地將豎直方向的玻璃基片裝載到沉積室件20的沉積 房間21。
(7) 通過沉積過程將豎直方向的玻璃基片60在沉積房間21內(nèi)沉 積，形成光伏組件60'。
16(8) 將冷卻緩沖室件40沿傳送軌道51移動(dòng)到與沉積室件20排列起來。
(9) 全自動(dòng)地將光伏組件60'從沉積房間21卸載到冷卻緩沖室件40。
在步驟(1)中，玻璃基片60是水平方向平放著，并且由盒子71支撐。所以，盒子71可以有間隔的支撐水平方向放置的兩個(gè)或多個(gè)玻璃基片60，這樣水平方向放置的玻璃基片60通過清洗步驟被清洗。值得指出的是，在清洗步驟前，玻璃基片60表面涂有一層SNO2。
機(jī)械裝載裝置IO包括一個(gè)機(jī)械裝載臂11和一個(gè)機(jī)械控制器12，在歩驟(2)中，該機(jī)械控制器可控制機(jī)械裝載臂11自動(dòng)從盒子71中舉起玻璃基片60，并且自動(dòng)地將玻璃基片從水平方向轉(zhuǎn)換到豎直方向。所以，機(jī)械控制器12將玻璃基片60全自動(dòng)地從盒子71轉(zhuǎn)移至轉(zhuǎn)移車72，這樣，操作者不需要手動(dòng)移動(dòng)玻璃基片，防止手部與玻璃表面64接觸，從而避免任何微粒掉落到玻璃表面64上。
在步驟(3)中，通過一個(gè)基片轉(zhuǎn)移裝置80，豎直方向的玻璃基片60全自動(dòng)地裝載到轉(zhuǎn)移車72上。所以轉(zhuǎn)移車72可以支撐兩個(gè)或多個(gè)有間隔放置的豎直方向的玻璃基片60。在步驟(4)中，轉(zhuǎn)移車72與預(yù)熱室30的入口處排列起來，可以從入口處將豎直方向的玻璃基片60滑動(dòng)地從轉(zhuǎn)移車72裝載到預(yù)熱室30。所以，當(dāng)兩個(gè)或多個(gè)玻璃基片60裝載到轉(zhuǎn)移車72，所有的玻璃基片60同時(shí)轉(zhuǎn)移到預(yù)熱室30。 一旦玻璃基片60豎直地放置在預(yù)熱室30中，玻璃基片60被預(yù)熱，直到玻璃基片60達(dá)到最佳溫度。
玻璃基片60被預(yù)熱后，預(yù)熱室30沿傳送軌道51移動(dòng)，在歩驟(6)與沉積室件20排列成行。所以當(dāng)預(yù)熱室件30移動(dòng)到沉積室件，和其門對(duì)門的排列以來的時(shí)候，沉積室件20是固定的。此外，在步驟(6)后，預(yù)熱室30移回原位置，裝載下一個(gè)玻璃基片60，從而縮短制造的時(shí)間。
在歩驟(7)中，豎直方向的玻璃基片60放置在沉積房間21，在沉積房間中，RF電極與玻璃基片60排列以來，通過沉積過程將沉積材料沉積到玻璃表面64上。將沉積材料沉積到玻璃表面64上，形成一個(gè)薄膜層，從而形成了光伏組件60，。所以，玻璃基片60的沉積過程是等離子增強(qiáng)化學(xué)汽相沉積(PE-CVD)過程。值得指出的是玻璃基片60和光伏組件60，相同，玻璃基片60是沉積過程前的板，而光伏組件60'是沉積過程之后的板。換句話說，光伏組件60'具有相同的一個(gè)底部的外邊緣61，頂部的外邊緣62，兩個(gè)側(cè)部的外邊緣63，和兩個(gè)玻璃表面64。
所以，沉積室件20包括多個(gè)分隔墻22豎直并有間隔地設(shè)置在沉積房間21中，形成多個(gè)沉積隔間221。其中，每一個(gè)分隔墻22夾在兩個(gè)相鄰的玻璃基片60的相應(yīng)的兩個(gè)玻璃表面64之間。換句話說，當(dāng)豎直方向的玻璃基片60放入沉積房間21中，玻璃基片60其中的一個(gè)玻璃表面64與分隔墻22的其中的一個(gè)側(cè)面相重疊。因此，當(dāng)玻璃基片60豎直放置在沉積房間21中相應(yīng)的沉積隔間221中，并且與相應(yīng)的分隔墻22排列起來，沉積材料沉積在相應(yīng)的玻璃基片60的玻璃表面64上，形成一層薄膜。
此外，步驟(7)還包括以下步驟
(7.1) 將沉積房間21抽成真空，于一個(gè)預(yù)定的真空門限上。
(7.2) 設(shè)定沉積房間21的沉積溫度，與一個(gè)預(yù)定的溫度門限上。
在歩驟(8)中，當(dāng)玻璃基片60在沉積房間21通過沉積過程后，冷卻緩沖室件40沿傳送軌道51移動(dòng)，與沉積室件20門對(duì)門排列起來。然后，在歩驟(9)中，豎直方向的光伏組件60'從沉積室件20卸載到冷卻緩沖室件40中。值得指出的是，在步驟(7)的沉積過程中，冷卻緩沖室件40就移動(dòng)至沉積室件，與沉積室件排列以來，從而縮短整個(gè)過程的制造時(shí)間。
此外，沉積室件20有一個(gè)入口，在步驟(6)中，通過這個(gè)入口，玻璃基片60從預(yù)熱室30被放入沉積房間21，并且玻璃基片60通過同樣的入口 ，從沉積房間21卸載到冷卻緩沖室件40中。
在步驟(9)之后，本實(shí)用新型的制造過程還包括以下步驟(10) 通過機(jī)械裝載裝置10，在光伏組件60'冷卻到預(yù)定的溫度
后，自動(dòng)將玻璃基片60從冷卻緩沖室件40的豎直方向轉(zhuǎn)換到水平方向。
(11) 激光切割光伏組件60，成預(yù)定的大小和形狀。
為了將豎直方向的玻璃基片60裝入轉(zhuǎn)移車72，預(yù)熱室30，沉積室件20，和冷卻緩沖室件40，本實(shí)用新型還包括一個(gè)基片轉(zhuǎn)移裝置80，將豎直方向的玻璃基片60從一個(gè)室轉(zhuǎn)移至另一個(gè)室。
如圖4所示，基片轉(zhuǎn)移裝置80還包括至少一個(gè)轉(zhuǎn)移路軌81設(shè)置在每一個(gè)轉(zhuǎn)移車72，預(yù)熱室30，沉積室件20和冷卻緩沖室件40內(nèi)，其中玻璃基片60的底部外邊緣61可沿轉(zhuǎn)移路軌81滑動(dòng)。基片轉(zhuǎn)移裝置80還包括一個(gè)推臂82和一個(gè)轉(zhuǎn)移控制器83，該轉(zhuǎn)移控制器可以控制推臂82來推動(dòng)玻璃基片60的一個(gè)側(cè)部的外邊緣63，從而可滑動(dòng)地推動(dòng)玻璃基片60沿轉(zhuǎn)移路軌81從一個(gè)室到另一個(gè)室。
值得指出的是，玻璃基片60的頂部的外邊緣62可沿另一個(gè)轉(zhuǎn)移路軌81滑動(dòng)。換句話說，玻璃基片60的頂部的外邊緣62和底部外邊緣61可分別沿上轉(zhuǎn)移路軌81和下轉(zhuǎn)移路軌81滑動(dòng)。
如圖5所示，當(dāng)預(yù)熱室件30與沉積室件20排列起來，預(yù)熱室30的轉(zhuǎn)移路軌81與沉積室件20的轉(zhuǎn)移路軌81端對(duì)端排列起來。換句話說，預(yù)熱室件30的轉(zhuǎn)移路軌81的一端與沉積室件20的轉(zhuǎn)移路軌81的一端排列起 來。因此，當(dāng)玻璃基片60被推臂82推動(dòng)的時(shí)候，通過轉(zhuǎn)移路軌81，豎直 方向的玻璃基片60滑動(dòng)地從預(yù)熱室30被轉(zhuǎn)移到沉積室件20。
所以，推臂82橫向延伸，與一個(gè)或多個(gè)玻璃基片60的側(cè)部的外邊緣 63相接觸，從而通過推臂82的運(yùn)動(dòng)，多于一個(gè)的玻璃基片60可以同時(shí)從 預(yù)熱室件30裝入沉積室件20。此外，當(dāng)兩個(gè)或以上的豎直方向的玻璃基 片60可以從一個(gè)房間轉(zhuǎn)移至另一個(gè)房間的時(shí)候，兩個(gè)或以上有間隔的轉(zhuǎn)移 路軌81可以同時(shí)轉(zhuǎn)移豎直方向的玻璃基片60。
如圖5和圖6所示，轉(zhuǎn)移路軌81包括多個(gè)轉(zhuǎn)移輪811有間隔的放置， 并且可以自由旋轉(zhuǎn)，其中多個(gè)轉(zhuǎn)移輪811排列起來在底部外邊緣61形成一 個(gè)邊緣支撐體來支撐玻璃基片60。換句話說，轉(zhuǎn)移輪811同時(shí)旋轉(zhuǎn)將豎直 方向的玻璃基片60從一個(gè)房間轉(zhuǎn)移至另一個(gè)房間。為了轉(zhuǎn)移兩個(gè)或多個(gè)玻 璃基片60，轉(zhuǎn)移路軌81的轉(zhuǎn)移輪811可旋轉(zhuǎn)的連接多個(gè)支撐軸812。
如圖6所示，每一個(gè)轉(zhuǎn)移輪811有一個(gè)U形的橫截面，形成兩個(gè)定位 墻和其間的一個(gè)滑動(dòng)槽，其中豎直方向的玻璃基片60的底部外邊緣61沿 滑動(dòng)槽滑動(dòng)，從而可以被轉(zhuǎn)移。所以，轉(zhuǎn)移輪811被排列起來形成一個(gè)滑 動(dòng)的平臺(tái)，在底部外邊緣61支撐玻璃基片60。
當(dāng)預(yù)熱室件30與沉積室件20排列起來的時(shí)候，轉(zhuǎn)移路軌81之間的縫 隙形成了。更重要的是，基片轉(zhuǎn)移裝置80用來使豎直方向的玻璃基片60通過兩個(gè)轉(zhuǎn)移路軌81之間的縫隙。所以，當(dāng)玻璃基片60呈豎直狀態(tài)的時(shí) 候，玻璃基片60有一個(gè)質(zhì)心M。玻璃基片60質(zhì)心和側(cè)部的外邊緣63的距 離比兩個(gè)轉(zhuǎn)移路軌81端部之間的距離要長(如轉(zhuǎn)移路軌81之間的縫 隙)。因此當(dāng)玻璃基片60從一個(gè)室滑動(dòng)到另一個(gè)室的時(shí)候，玻璃基片可以 穩(wěn)定地從一個(gè)轉(zhuǎn)移路軌81滑動(dòng)至另一轉(zhuǎn)移路軌81，從而防止玻璃基片60 在兩個(gè)轉(zhuǎn)移路軌81之間的縫隙間掉落。
同樣地，每兩個(gè)相鄰的轉(zhuǎn)移輪811之間的距離比玻璃基片60質(zhì)心和側(cè) 部的外邊緣63的距離要短。因此玻璃基片60可以沿轉(zhuǎn)移輪811滑動(dòng)。
所以，當(dāng)玻璃基片60從預(yù)熱室30轉(zhuǎn)移到沉積室件20的時(shí)候，在預(yù)熱 室，推臂82推動(dòng)玻璃基片60的側(cè)部的外邊緣63，從而使玻璃基片60通 過轉(zhuǎn)移路軌81從預(yù)熱室30轉(zhuǎn)移到沉積室件20。換句話說，玻璃基片60 的一個(gè)側(cè)部的外邊緣63是一個(gè)推動(dòng)邊緣，方便推臂82推動(dòng)。既然轉(zhuǎn)移路 軌81與玻璃基片60的底部外邊緣61銜接，并且推臂82在側(cè)部的外邊緣 63推動(dòng)玻璃基片60，豎直方向的玻璃基片60的玻璃表面64不與推臂接 觸，從而防止在沉積過程中任何微粒落到玻璃基片60的玻璃表面64上。
如圖8所示，基片轉(zhuǎn)移裝置80還包括至少一個(gè)進(jìn)入導(dǎo)向器85排列在 轉(zhuǎn)移路軌81的一個(gè)開放端來引導(dǎo)豎直方向的玻璃基片60裝入沉積室件 20。如圖8所示，進(jìn)入導(dǎo)向器85有兩個(gè)擴(kuò)大的進(jìn)口 851和一個(gè)延長的進(jìn)入 槽852，該延長的進(jìn)入槽852連通地延伸在兩個(gè)進(jìn)口 851之間。所以，進(jìn)入槽852與轉(zhuǎn)移路軌81排列在一起，其中進(jìn)入槽852的寬度至少比玻璃基 片60的厚度要寬，以至于玻璃基片60可以通過進(jìn)入導(dǎo)向器85的進(jìn)入槽 852滑動(dòng)至轉(zhuǎn)移路軌81。此外，每一個(gè)進(jìn)口 851的寬度朝向進(jìn)入槽852逐 漸減少，以至于當(dāng)玻璃基片60進(jìn)入沉積室件20的時(shí)候，玻璃基片60的底 部外邊緣61首先滑入相應(yīng)的進(jìn)口 851，然后滑動(dòng)到進(jìn)入槽852，從而沿轉(zhuǎn) 移路軌81滑動(dòng)。換句話說，如果玻璃基片60與轉(zhuǎn)移路軌81有輕微的錯(cuò) 位，進(jìn)入導(dǎo)向器85可以修正玻璃基片60和轉(zhuǎn)移路軌81之間的錯(cuò)位，從而 將玻璃基片60沿轉(zhuǎn)移路軌81滑動(dòng)。同樣，當(dāng)光伏組件60，從沉積室件20 裝入冷卻緩沖室件40的時(shí)候，光伏組件60'的底部外邊緣61，首先滑入相 反的進(jìn)口 851，然后滑動(dòng)到進(jìn)入槽852。換句話說，進(jìn)入導(dǎo)向器85的第一 個(gè)進(jìn)口 851可以調(diào)節(jié)玻璃基片60的排列，從而使其可以裝入沉積室件 20，同時(shí)當(dāng)進(jìn)入導(dǎo)向器85的相反的第二個(gè)進(jìn)口 851可以調(diào)節(jié)光伏組件60， 的排列，從而從沉積室件20出來。
此外，進(jìn)入導(dǎo)向器85還設(shè)置在每一個(gè)預(yù)熱室30和冷卻緩沖室件40中 與轉(zhuǎn)移路軌81排列起來，從而進(jìn)入導(dǎo)向器85可以引導(dǎo)玻璃基片60精確的 排列從一個(gè)室轉(zhuǎn)移至另一個(gè)室。最佳地， 一對(duì)進(jìn)入導(dǎo)向器85在每一個(gè)沉積 室件20，預(yù)熱室件30和冷卻緩沖室件40與上轉(zhuǎn)移路軌81和下轉(zhuǎn)移路軌 81分別排列，從而引導(dǎo)玻璃基片60和光伏組件60，從一個(gè)房間轉(zhuǎn)移至另一 個(gè)房間。如圖6所示，基片轉(zhuǎn)移裝置80還包括一個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)84，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 由轉(zhuǎn)移控制器83控制，從而驅(qū)動(dòng)推臂82推動(dòng)玻璃基片60。如圖6所示， 該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)84包括一個(gè)傳動(dòng)裝置841， 一個(gè)循環(huán)鏈條842，其中該循環(huán)鏈 條842鏈接傳動(dòng)裝置841和推臂82，和與傳動(dòng)裝置841連接的一個(gè)電機(jī) 843，可以驅(qū)動(dòng)推臂82來裝載或卸載。最佳地，推臂82在水平方向上運(yùn) '動(dòng)，從而穩(wěn)定地推動(dòng)豎直方向的玻璃基片60。
值得指出的是，步驟(4)中豎直方向的玻璃基片60在轉(zhuǎn)移車72和預(yù) 熱室件30之間，和步驟(6)中預(yù)熱室30和沉積室件20之間的轉(zhuǎn)移應(yīng)用 同樣的基片轉(zhuǎn)移裝置80結(jié)構(gòu)，從而光伏組件60'的生產(chǎn)線可以減少勞動(dòng)力 來降低勞動(dòng)成本。
所以，既然分隔墻22設(shè)置在沉積室件20中，推臂82不能將玻璃基片 60推出沉積室件20。因此，基片轉(zhuǎn)移裝置80還包括一個(gè)轉(zhuǎn)移系統(tǒng)86轉(zhuǎn)移 光伏組件60'從沉積室件20至冷卻緩沖室件40。如圖9所示，轉(zhuǎn)移系統(tǒng)86 包括一個(gè)軸臂861將光伏組件60，推出沉積房間21，和一個(gè)推動(dòng)端8612， 其中當(dāng)軸臂861從橫向位置至縱向位置軸向旋轉(zhuǎn)的時(shí)候，軸臂861的推動(dòng) 端8612推動(dòng)光伏組件60'相應(yīng)的側(cè)部的外邊緣63，從而滑動(dòng)地轉(zhuǎn)移光伏組 件60'至冷卻緩沖室件40。最佳地，軸臂861的橫向位置是豎直位置。
如圖IO所示，軸臂861的長度應(yīng)該足夠長，來推動(dòng)光伏組件60'的一 個(gè)側(cè)部的外邊緣63，直到光伏組件60'的另一個(gè)側(cè)部的外邊緣63到達(dá)冷卻緩沖室件40的轉(zhuǎn)移路軌81上。換句話說，當(dāng)軸臂861沿軸旋轉(zhuǎn)至縱向位 置，光伏組件60，的側(cè)部的外邊緣63與冷卻緩沖室件40的轉(zhuǎn)移路軌81接 合。因此，在通過沉積過程形成光伏組件60'之后，沉積室件20的軸臂 861可以推動(dòng)光伏組件60'的另一個(gè)側(cè)部的外邊緣63，從而推動(dòng)玻璃基片 60沿轉(zhuǎn)移路軌81從沉積室件20進(jìn)入冷卻緩沖室件40。換句話說，推臂 82的推動(dòng)邊推動(dòng)的就是光伏組件60'的另一個(gè)側(cè)部的外邊緣63。值得指出 的是，轉(zhuǎn)移路軌81與光伏組件60'的底部外邊緣61接合，推臂82推動(dòng)的 是光伏組件60'的側(cè)部的外邊緣63，所以光伏組件60'的玻璃表面64沒有 與外界接觸，并且保持光伏組件60，在直立方向上，從而在沉積過程后放置 任何微粒落在光伏組件60'的玻璃表面64上。
為了同時(shí)轉(zhuǎn)移兩個(gè)或多個(gè)光伏組件60'從沉積房間21至冷卻緩沖室件 40，兩個(gè)或多個(gè)軸臂861同時(shí)使用，推動(dòng)光伏組件60'的側(cè)部的外邊緣 63，從而滑動(dòng)地將光伏組件60'轉(zhuǎn)移至冷卻緩沖室件40。
如前所述，轉(zhuǎn)移輪811有間隔的設(shè)置在沉積房間21內(nèi)，形成轉(zhuǎn)移路軌 81。轉(zhuǎn)移系統(tǒng)86還包括一個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)862驅(qū)動(dòng)軸臂861，可以沿軸運(yùn)動(dòng)并 且驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)移輪811旋轉(zhuǎn)。換句話說，推臂82推動(dòng)光伏組件60，的側(cè)部的外 邊緣63，同時(shí)轉(zhuǎn)移輪811旋轉(zhuǎn)來驅(qū)動(dòng)光伏組件60，的底部外邊緣61，從而 將光伏組件60'轉(zhuǎn)移至冷卻緩沖室件40。因此，在最初的轉(zhuǎn)移過程中，光 伏組件60'由軸臂861引導(dǎo)，來推動(dòng)側(cè)部的外邊緣63，并且通過轉(zhuǎn)移輪811 的自旋轉(zhuǎn)完成。當(dāng)軸臂861沿軸運(yùn)動(dòng)至縱向方向，光伏組件60'的側(cè)部的外邊緣63與冷卻緩沖室件40的轉(zhuǎn)移路軌81接合的時(shí)候，光伏組件60'通過 轉(zhuǎn)移輪811的自旋轉(zhuǎn)被轉(zhuǎn)移。
在步驟(7)之前，本實(shí)用新型還包括一個(gè)步驟，保持沉積室件20的 沉積房間21的RF電極的溫度，這樣，當(dāng)豎直方向的玻璃基片60導(dǎo)入沉積 房間21與RF電極排列起來的時(shí)候，玻璃基片60通過沉積過程被沉積，從 而縮短RF電極的預(yù)熱時(shí)間。為了縮短制造時(shí)間，RF電極在沉積房間21內(nèi) 預(yù)熱，同時(shí)玻璃基片60在預(yù)熱室30內(nèi)預(yù)熱，并且轉(zhuǎn)移至沉積室件20。因 此，當(dāng)玻璃基片60轉(zhuǎn)移至沉積房間21的時(shí)候，玻璃基片60的沉積過程立 即開始。
因此，RF電極固定地設(shè)置在沉積房間21內(nèi)，和傳統(tǒng)操作步驟相比， 這樣操作者不需要和玻璃基片60—起傳送RF電極。為了保持沉積房間21 內(nèi)的RF電極的溫度，沉積室件20包括一個(gè)沉積房間熱源，可以在沉積房 間21內(nèi)預(yù)熱RF電極。
根據(jù)本實(shí)用新型的最佳實(shí)施方式，多個(gè)玻璃基片60可以同時(shí)自動(dòng)地通 過生產(chǎn)線傳送，同時(shí)加快整個(gè)過程和縮減勞動(dòng)成本。換句話說，玻璃基片 60通過機(jī)械裝載裝置10自動(dòng)的從水平方向轉(zhuǎn)換至豎直方向，并且在不同 的室內(nèi)轉(zhuǎn)移。
通過上述實(shí)施例，本實(shí)用新型的目的已經(jīng)被完全有效的達(dá)到了。熟悉 該項(xiàng)技藝的人士應(yīng)該明白本實(shí)用新型包括但不限于附圖和上面具體實(shí)施方式
中描述的內(nèi)容。任何不偏離本實(shí)用新型的功能和結(jié)構(gòu)原理的修改都將包 括在權(quán)利要求書的范圍中。
權(quán)利要求1. 一種薄膜型光伏組件的制造裝置，其特征在于，包括一個(gè)固定的沉積房間件，該固定的沉積房間件包括一個(gè)或多個(gè)轉(zhuǎn)移路軌，和一個(gè)光伏組件制造件，其中該固定的沉積房間件可以讓一個(gè)或多個(gè)玻璃基片以直立的方式通過，每一個(gè)所述的玻璃基片有兩個(gè)側(cè)部的外邊緣和一個(gè)由所述的轉(zhuǎn)移路軌引導(dǎo)的底部外邊緣；該光伏組件制造件以沉積過程，將玻璃基片制成光伏組件，該轉(zhuǎn)移路軌讓光伏組件以直立的方式卸載。
2. 如權(quán)利要求1所述的薄膜型光伏組件的制造裝置，其特征在于，該 固定的沉積房間件還包括一個(gè)引導(dǎo)組件，讓所述的玻璃基片與所述的轉(zhuǎn)移路 軌排列地接合起來。
3. 如權(quán)利要求2所述的薄膜型光伏組件的制造裝置，其特征在于，包 括一個(gè)進(jìn)入導(dǎo)向器排列在轉(zhuǎn)移路軌的一個(gè)開放端來引導(dǎo)所訴的玻璃基片裝入 所述的沉積房間，其中所述的進(jìn)入導(dǎo)向器有兩個(gè)擴(kuò)大的進(jìn)口和一個(gè)延長的進(jìn) 入槽，該延長的進(jìn)入槽連通地延伸在兩個(gè)進(jìn)口之間，并且當(dāng)所述的玻璃基片 裝入所述的沉積房間的時(shí)候設(shè)置起來，所述的玻璃基片的所述的底部外邊緣 引導(dǎo)滑入所述的相應(yīng)的進(jìn)口，然后引導(dǎo)滑入所述的進(jìn)入槽，從而引導(dǎo)所述的 玻璃基片的所述的底部外邊緣與所述的轉(zhuǎn)移路軌排列起來，當(dāng)所述的光伏組 件從所述的沉積房間內(nèi)卸載的時(shí)候，所述的光伏組件的所述的底部外邊緣被 弓1導(dǎo)滑入另一個(gè)所述的進(jìn)口 ，然后被引導(dǎo)滑入所述的進(jìn)入槽。
4. 如權(quán)利要求3所述的薄膜型光伏組件的制造裝置，其特征在于，其 中所述的進(jìn)入槽的寬度至少比所述的玻璃基片的厚度要寬，并且每一個(gè)進(jìn)口 的寬度朝向進(jìn)入槽逐漸減少。
5. 如權(quán)利要求1所述的薄膜型光伏組件的制造裝置，其特征在于，其 中該轉(zhuǎn)移路軌包括多個(gè)轉(zhuǎn)移輪以有間隔排列設(shè)置，其中每一個(gè)轉(zhuǎn)移輪旋轉(zhuǎn)在 所述的底部外邊緣支撐所述的玻璃基片。
6. 如權(quán)利要求5所述的薄膜型光伏組件的制造裝置，其特征在于，其 中每兩個(gè)相鄰的所述的轉(zhuǎn)移輪之間的距離比所述的玻璃基片質(zhì)心和所述的側(cè) 部的外邊緣的距離要短，從而當(dāng)所述的玻璃基片的所述的底部外邊緣在所述 的轉(zhuǎn)移導(dǎo)軌上滑動(dòng)的時(shí)候，穩(wěn)定的支撐所述的豎直的玻璃基片。
7. 如權(quán)利要求6所述的薄膜型光伏組件的制造裝置，其特征在于，其 中每一個(gè)所述的轉(zhuǎn)移輪有一個(gè)U形的橫截面，形成兩個(gè)定位墻和其間的一個(gè) 滑動(dòng)槽，其中所述的豎直的玻璃基片的所述的底部外邊緣沿每一個(gè)所述的轉(zhuǎn) 移輪的所述的滑動(dòng)槽滑動(dòng)，從而可以被轉(zhuǎn)移。
8. 如權(quán)利要求5所述的薄膜型光伏組件的制造裝置，其特征在于，其 中該固定的沉積房間件包括一個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述的轉(zhuǎn)移輪由一個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)產(chǎn) 生功來推動(dòng)所述的轉(zhuǎn)移輪旋轉(zhuǎn)，從而將所述的玻璃基片裝載入所述的沉積房 間內(nèi)，并且將所述的光伏組件從所述的沉積房間內(nèi)卸載。
9. 如權(quán)利要求5所述的薄膜型光伏組件的制造裝置，其特征在于，該光伏組件制造件還包括 一個(gè)軸臂，并具有一個(gè)軸端沿軸，和一個(gè)推動(dòng)端， 該軸端沿軸支撐在所述的沉積房間內(nèi)，該軸端沿軸和該推動(dòng)端向所述的光伏 組件的相應(yīng)的側(cè)部外邊緣延伸，讓沿軸從橫向方向移動(dòng)所述的軸臂到縱向方 向，這樣所述的軸臂的推動(dòng)端可以推動(dòng)所述的光伏組件的所述的側(cè)部外邊緣 推出所述的沉積房間。
10. 如權(quán)利要求1所述的制造薄膜型光伏組件的方法，其特征在于，其 中，該固定的沉積房間件還包括第一固定室件，在第一固定室件內(nèi)，所述 的玻璃基片保持直立方式，玻璃基片底部外邊緣沿所述的轉(zhuǎn)移路軌被支撐； 和第一室件移動(dòng)件，讓轉(zhuǎn)移路軌端對(duì)端的排列起來，這樣所述的玻璃基片可 以通過轉(zhuǎn)移路軌從所述的第一固定室件裝載到光伏組件制造件。
11. 如權(quán)利要求10所述的制造薄膜型光伏組件的方法，其特征在于， 其中，轉(zhuǎn)移路軌的兩個(gè)相應(yīng)的端之間的距離要比所述的玻璃基片的質(zhì)心和所 述的相應(yīng)的側(cè)部外邊緣之間的距離要短，這樣所述的玻璃基片穩(wěn)定地從一個(gè) 所述的轉(zhuǎn)移路軌滑動(dòng)到另一個(gè)所述的轉(zhuǎn)移路軌，來轉(zhuǎn)移所述的玻璃基片到光 伏組件制造件。
12. 如權(quán)利要求10所述的薄膜型光伏組件的制造裝置，其特征在于， 其中，所述的第一固定室件是一個(gè)預(yù)熱裝置，在所述的玻璃基片被轉(zhuǎn)移至所 述的光伏組件制造件之前，所述的玻璃基片被所述的預(yù)熱裝置預(yù)熱。12.如權(quán)利要求12所述的薄膜型光伏組件的制造裝置，其特征在于，還包括一機(jī)械裝載裝置該機(jī)械裝載裝置自動(dòng)將所述的玻璃基片從水平位置 轉(zhuǎn)換至直立方式，在所述的玻璃基片裝載到所述的第一固定室件之前，保持 所述的玻璃基片的直立方式。
13. 如權(quán)利要求1所述的薄膜型光伏組件的制造裝置，其特征在于，其中還包括第二制造室件，與所述的光伏組件制造件排列成一行，在這個(gè)位 置上，所述的沉積房間的所述的轉(zhuǎn)移路軌與所述的第二個(gè)室的轉(zhuǎn)移路軌端對(duì) 端的排列起來；和將所述的光伏組件的所述的側(cè)部的外邊緣從所述的沉積房間弓I導(dǎo)至所述的第二制造室件。
14. 如權(quán)利要求13所述的薄膜型光伏組件的制造裝置，其特征在于， 其中，所述的第二制造室件是一個(gè)冷卻緩沖裝置。
15. 如權(quán)利要求1所述的薄膜型光伏組件的制造裝置，其特征在于，其 中，光伏組件制造件還包括 一個(gè)RF電極裝，在這個(gè)位置上，當(dāng)所述的玻 璃基片裝入所述的光伏組件制造件的時(shí)候，所述的RF電極與所述的玻璃基 片排列起來；和固定的沉積房間件將所述的RF電極預(yù)熱。
專利摘要一種薄膜型光伏組件的制造裝置，包括一個(gè)固定的沉積房間件，一個(gè)或多個(gè)轉(zhuǎn)移路軌，一個(gè)光伏組件制造件，其中固定的沉積房間件可以讓一個(gè)或多個(gè)玻璃基片以直立的方式通過，每個(gè)玻璃基片有兩個(gè)側(cè)部的外邊緣和一個(gè)由所述的轉(zhuǎn)移路軌引導(dǎo)的底部外邊緣；光伏組件制造件以沉積過程，將玻璃基片制成光伏組件，該轉(zhuǎn)移路軌讓光伏組件以直立的方式卸載，固定的沉積房間件還包括引導(dǎo)組件導(dǎo)向器，排列在轉(zhuǎn)移路軌的一個(gè)開放端來引導(dǎo)所訴的玻璃基片，進(jìn)入導(dǎo)向器有兩個(gè)擴(kuò)大的進(jìn)口和一個(gè)延長的進(jìn)入槽，延長的進(jìn)入槽連通地延伸在兩個(gè)進(jìn)口之間。
文檔編號(hào)H01L31/18GK201298561SQ20082020781
公開日2009年8月26日 申請(qǐng)日期2008年7月28日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月27日
發(fā)明者周·喬瑟夫 申請(qǐng)人:周·喬瑟夫