專利名稱：洗邊機(jī)及洗邊機(jī)的固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種洗邊機(jī)，且特別是涉及一種洗邊機(jī)的固定裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體技術(shù)里， 一般會在晶片上形成多層的膜層。以鍍層為例，如果 要在晶片上形成銅層，會先以化學(xué)電鍍(無電電鍍)法在晶片上全面形成一層
銅層作為種子層(seed layer),再利用電鍍法(有電電鍍)，以種子層為基礎(chǔ)鍍 上銅。此時，因為晶片邊緣作為有電電鍍的通電路徑，例如需連接至電極， 所以邊緣的種子層不會往上長，因而在電鍍完成時，會在晶片上的邊緣留下 一圈較低的種子層。為了去除晶片的邊緣部分的膜層，在半導(dǎo)體領(lǐng)域里發(fā)展 出了洗邊機(jī)(Edge bevel Removal machine, EBR machine)。
洗邊機(jī)的動作一般是由旋轉(zhuǎn)(spin)、沖洗(rinse)和干燥(dry)三種動作組合 而成，所以也稱為萬走l爭沖洗干》喿才幾(spin rinse dry machine, SRD machine)。 其動作為在旋轉(zhuǎn)晶片的同時，朝晶片的中心噴純水，而朝晶片的邊緣噴溶 液，這個溶液包含了可以沖蝕邊緣膜層的化學(xué)物質(zhì)，由此，晶片中心受到純 水的保護(hù)，只有晶片邊緣的膜層被沖蝕掉。
洗邊機(jī)中的固定裝置需要在晶片旋轉(zhuǎn)時固定住晶片，因而與晶片接觸的 部分屬于易磨損的部分，常有更換的必要。
又，因為常需要更換固定裝置中的磨損部分，還需要注意零件在多次的 拆裝固定裝置之后，仍需符合一定的精度要求。
實用新型內(nèi)容
有鑒于對上述洗邊機(jī)的固定裝置的要求，本實用新型的目的就是在于提 供一種洗邊機(jī)的固定裝置，適用于與洗邊機(jī)的旋轉(zhuǎn)臂相連接，固定裝置包括 以卡榫連接方式連接至旋轉(zhuǎn)臂的第一固定部，及樞接至旋轉(zhuǎn)臂且具有可上下 回動自由度的第二固定部。第一固定部包括載臺部、支撐部以及阻擋部。支 撐部固定于載臺部上，阻擋部與載臺部相連并高于支撐部。第二固定部，包括第 一 夾持部及第二夾持部，第 一 夾持部與第二夾持部以卡榫連接的方式相 固定，且由第一夾持部樞接至旋轉(zhuǎn)臂。當(dāng)旋轉(zhuǎn)臂旋轉(zhuǎn)至一預(yù)定速度時，第二 固定部的第二夾持部適于向上回動而夾持待洗物體，而當(dāng)旋轉(zhuǎn)臂未旋轉(zhuǎn)至預(yù) 定速度時，第 一 固定部的阻擋部適用于擋止待洗物體。
上述第 一 固定部的支撐部可以點接觸的方式接觸待洗物體。第 一 固定部 的支撐部的材質(zhì)可為耐磨耗材質(zhì)。阻擋部的材質(zhì)可為耐磨耗材質(zhì)。上述載臺 部、支撐部、阻擋部可為一體成形。
上述第 一 固定部和旋轉(zhuǎn)臂的卡榫連接方式，例如使旋轉(zhuǎn)臂與第 一 固定部 之一具有第 一滑槽，且旋轉(zhuǎn)臂與第 一 固定部之另 一具有與第 一滑槽對應(yīng)的第
一凸部。也可再包括第一螺栓固定旋轉(zhuǎn)臂與第一固定部。第一滑槽供旋轉(zhuǎn)臂
或第一固定部滑入，并通過鎖入第一螺栓固定旋轉(zhuǎn)臂與第一固定部，且第一
滑槽的滑入的方向、鎖入第 一螺栓的方向不受到第二固定部的干擾。
上述第二固定部中的第一夾持部、第二夾持部的卡榫連接方式，例如第
一夾持部與第二夾持部之一具有第二滑槽，且使第一夾持部與第二夾持部之 另 一具有與第二滑槽對應(yīng)的第二凸部。也可再包括第二螺栓固定第 一夾持部
與第二夾持部。第二滑槽供第一夾持部或第二夾持部滑入，并通過鎖入第二 螺栓固定第一夾持部與第二夾持部，且第二滑槽的滑入的方向、鎖入第二螺 栓的方向不受到第一固定部的干擾。
根據(jù)本實用新型的特征，第一固定部是以卡榫方式連接至旋轉(zhuǎn)臂，安裝 及拆卸方^f更。
根據(jù)本實用新型的特征，第二固定部中負(fù)責(zé)和旋轉(zhuǎn)臂樞接的部分(第一 夾持部)，以及負(fù)責(zé)夾持待洗物體的部分(第二夾持部)被分成兩個元件再組合 固定，是以，更換第二夾持部時，不需拆卸第一夾持部，不會影響到樞接精 度，也不會因多次拆裝摳接的第 一夾持部而無故地磨耗了樞接的元件(例如 銷)。又，第一夾持部和第二夾持部是以卡榫連接方式相固定，安裝及拆卸 方便。
根據(jù)本實用新型的特征，第一部固定部和旋轉(zhuǎn)臂的固定方向、固定方式 不會受到樞接于旋轉(zhuǎn)臂上的第二固定部的干擾。因而損^J貞率不同的第 一 固 定部和第二固定可各自獨立拆裝，減少維修時間。
根據(jù)本實用新型的特征，支撐部是以點接觸的式接觸到待洗物體，所以 可以減少待洗物體和支撐部的磨擦力根據(jù)本實用新型的特征，使支撐部和阻擋部采用耐磨耗材質(zhì)，可以減少 更換的頻率。
更，本實用新型的目的在提供一種洗邊機(jī)，包括旋轉(zhuǎn)底座、多個旋轉(zhuǎn) 臂及上述的固定裝置。旋轉(zhuǎn)臂的一端是以卡榫連接的方式，等間隔地固定至 旋轉(zhuǎn)底座。其中旋轉(zhuǎn)臂的另一端以卡榫方式連接著第一固定部，且樞接著第 二固定部。
在旋轉(zhuǎn)底座與旋轉(zhuǎn)臂之一還可具有第三滑槽，且旋轉(zhuǎn)座與旋轉(zhuǎn)臂之另一 具有與第三滑槽對應(yīng)的第三凸部。更可包括第三螺栓固定旋轉(zhuǎn)底座與旋轉(zhuǎn)臂。
根據(jù)本實用新型的特征，旋轉(zhuǎn)臂是以卡榫方式連接至旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)底座，安 裝及拆卸方便。
本實用新型的優(yōu)點在于
1 .第一固定部是以卡榫方式連接至旋轉(zhuǎn)臂，安裝及拆卸方便。
2. 第二固定部中負(fù)責(zé)和旋轉(zhuǎn)臂樞接的部分(第 一 夾持部)，以及負(fù)責(zé)夾持 待洗物體的部分(第二夾持部)被分成兩個元件再組合固定，所以，更換第二 夾持部時，不需拆卸第一夾持部，不會影響到樞接精度，也不會因多次拆裝 摳接的第一夾持部而無故地磨耗了樞接的元件(例如銷)。又，第一夾持部和 第二夾持部是以卡榫連接方式相固定，安裝及拆卸方便。
3. 第一部固定部和旋轉(zhuǎn)臂的固定方向、固定方式不會受到樞接于旋轉(zhuǎn)臂 上的第二固定部的干擾。因而損耗頻率不同的第一固定部和第二固定可各自 獨立拆裝，減少維修時間。
4. 支撐部是以點接觸的式接觸到待洗物體，所以可以減少待洗物體和支 撐部的磨擦力。
5 .使支撐部和阻擋部采用耐磨耗材質(zhì)，可以減少更換的頻率。 6.旋轉(zhuǎn)臂是以卡榫方式連接至旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)底座，安裝及拆卸方便。 為讓本實用新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特 舉較佳實施例，并配合所附附圖，作詳細(xì)說明如下。
圖1是依照本實用新型實施例的洗邊機(jī)的立體圖2是依照本實用新型實施例的洗邊機(jī)的固定裝置中的第 一 固定部的立體圖3是圖2的右側(cè)視圖； 圖4是圖2前3見圖5是旋轉(zhuǎn)臂與第一固定部連接的一端的立體圖； 圖6是依照本實用新型實施例的洗邊機(jī)的固定裝置中的第二固定部的立 體分解圖7是依照本實用新型實施例的洗邊機(jī)的固定裝置安裝于旋臂上的安裝 完成圖(從旋轉(zhuǎn)的離心方向往中心看過去)；
圖8、圖9是洗邊機(jī)在運作時固定裝置的動作示意圖，其中圖8為旋轉(zhuǎn) 底座處于低速旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)，圖9為旋轉(zhuǎn)底座處于高速旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)。
主要元件符號說明
100旋轉(zhuǎn)底座
200旋轉(zhuǎn)臂
300固定裝置
310第一固定部
312載臺部
314支撐部
316阻擋部
320第二固定部
330第一夾持部
340第二夾持部
200b、 310b、 330b凸部
150螺栓
345、 350螺孔
100s、 200s、 340s滑槽
200h、 330h樞接孔
500待洗物體
具體實施方式
請參照圖1,其繪示出依照本實用新型實施例的一種洗邊才幾(其中各個液 體噴頭已省略)的立體圖。本實用新型的洗邊機(jī)包括旋轉(zhuǎn)底座100、多個旋轉(zhuǎn)臂200、多個固定 裝置300、中心噴頭(未圖示)及邊緣噴頭(未圖示)。因為中心噴頭及邊緣噴頭 為本領(lǐng)域人員所現(xiàn)有，在此予以省略。
洗邊機(jī)的運作方式筒述如下先將待洗物體，例如晶片(未附圖)置于固 定裝置300之間，接著中心噴頭(未圖示)噴出純水，旋轉(zhuǎn)底座100旋轉(zhuǎn)帶動 旋轉(zhuǎn)臂200,此時由固定裝置300保持著待洗物體不致因離心力而脫出，跟 著由邊緣噴頭(未附圖)噴出溶液，再加快轉(zhuǎn)速，最后甩干待洗物體。
以下詳細(xì)介紹各元件及其動作。
圖1中是以3個旋轉(zhuǎn)臂200為例，旋轉(zhuǎn)臂200的一端是以卡榫連接的方 式，等間隔地固定至旋轉(zhuǎn)底座100。卡榫連接方式，舉例而言，是使旋轉(zhuǎn)底 座100與旋轉(zhuǎn)臂200之一具有滑槽，且使旋轉(zhuǎn)座100與旋轉(zhuǎn)臂200之另 一具 有與該滑槽對應(yīng)的凸部，亦即利用外形的凹凸配合來連接兩者，不需限定哪 一方為凸或哪一方為凹。
在圖1的例示中，旋轉(zhuǎn)底座IOO具有滑槽100s，例如為楔形，也可為其 他形狀，而旋轉(zhuǎn)臂200的一端則具有與滑槽100s形狀對應(yīng)的凸部200b。本 領(lǐng)域人員應(yīng)知，把滑槽形成在旋轉(zhuǎn)臂上而把凸部形成在旋轉(zhuǎn)底座上亦可。除 了利用形狀配合來固定兩者之外，更可再利用螺栓150固定旋轉(zhuǎn)底座100與 旋轉(zhuǎn)臂200。
旋轉(zhuǎn)臂200的另一端以卡榫方式連接著第一固定部310,并樞接著第二 固定部320。我們將第一固定部310與第二固定部320合稱為固定裝置300。 [固定裝置300]
固定裝置300包括第一固定部310和第二固定部320。 [第一固定部310]
請參照圖2~圖4,其中圖2為依照本實用新型實施例的洗邊機(jī)的固定裝 置中的第一固定部的立體圖，圖3為圖2的右側(cè)^f見圖，圖4為圖2的前視圖。
第一固定部310,具有載臺部312、支撐部314以及阻擋部316,大致呈 L字形，其中載臺部312屬L字形中的略水平部分，而阻擋部316屬L字形 中的略直立部分。支撐部314略呈錐狀，固定于載臺部312上，阻擋部316 與載臺部312相連并高于支撐部314。
支撐部314用以接觸并支撐待洗物體，雖然上述以錐形為例，但對于形狀并沒有特別限定，只是考量到減少支撐部314與待洗物體接觸的磨擦力， 可使其接觸方式為點接觸方式。例如使支撐部314具有一弧狀表面，用以接
觸并支撐待洗物體，其接觸方式為點接觸方式。且考量到支撐部314會因接 觸待洗物體而磨耗，支撐部314的材質(zhì)可采耐磨耗材質(zhì)，例如為聚醚醚酮 (PEEK)。
當(dāng)旋轉(zhuǎn)底座100帶動旋轉(zhuǎn)臂200旋轉(zhuǎn)至預(yù)定速度以下(例如為1500rpm) 時，第 一 固定部310的阻擋部316適用于擋止待洗物體受離心力引影響而脫 離。同樣的考量到阻擋部316會因接觸待洗物體而磨耗，阻擋部的材質(zhì)可采 耐磨耗材質(zhì)，例如為聚醚醚酮.(PEEK)。
在第一固定部310中，至少在支撐部314及阻擋部316采用耐磨耗材質(zhì) 即可，也可以將載臺部312、支撐部314、阻擋部316—體成形，全采用耐 磨耗材質(zhì)亦可。此處雖然將第一固定部310例示為略L字形，但本領(lǐng)域人員 應(yīng)知載臺部312的作用在連接支撐部314與阻擋部316，其形狀自可作適當(dāng) 的變化。
再請參照圖5,其繪示出旋轉(zhuǎn)臂與第一固定部連接的一端的立體圖。
第一固定部310，是以卡榫連接的方式連接至旋轉(zhuǎn)臂200,舉例而言， 是使旋轉(zhuǎn)臂200與第一固定部310之一具有滑槽，且使旋轉(zhuǎn)臂200與第一固 定部310之另 一具有與滑槽對應(yīng)的凸部。亦即利用外形的凹凸配合來連接兩 者，不需限定哪一方為凸或哪一方為凹。
在圖2及圖5的例示中，旋轉(zhuǎn)臂200與第一固定部310連接的一端是呈 被切去一個矩形體的形狀，并留下一小段矩形體，在留下的部分里具有滑槽 200s,例如為楔形，亦可為其他形狀，而固定部310則具有與滑槽200s形狀 對應(yīng)的凸部310b。本領(lǐng)域人員應(yīng)知，把滑槽形成在第一固定部310上而把凸 部形成在旋轉(zhuǎn)臂200上亦可。除了利用形狀配合來固定兩者之外，更可再利 用螺栓來固定第一固定部310與旋轉(zhuǎn)臂200，因而在第一固定部310上具有 螺孔350。螺孔350是供螺栓從第一固定部310與旋轉(zhuǎn)臂200連接的相對側(cè) 鎖入的，以固定旋轉(zhuǎn)臂200與第一固定部310。
旋轉(zhuǎn)臂200和第一固定部310的安裝方式是具有滑槽的一方供另一方 滑入，再鎖入螺栓固定兩者。在本例中滑槽200s供第一固定部310的凸部 310b滑入，并通過鎖入螺栓(未附圖)固定旋轉(zhuǎn)臂200與第一 固定部310。[第二固定部]
再請參照圖6,其繪示依照本實用新型實施例的洗邊機(jī)的固定裝置中的 第二固定部的立體分解圖。
第二固定部320，略呈雙翼狀(在此僅為舉例，形狀并不受限)，包括第 一夾持部330及第二夾持部340。第一夾持部330與第二夾持部340以卡榫 連接的方式相固定，舉例而言，是使第一夾持部330與第二夾持部340之一 具有滑槽，且使第一夾持部330與第二夾持部340之另一具有與滑槽對應(yīng)的 凸部。亦即利用外形的凹凸配合來連接兩者，不需限定哪一方為凸或哪一方 為凹。
在圖6的例示中，第二夾持部340的一端具有滑槽340s,例如為楔形， 也可為其他形狀，而第一夾持部330則具有與滑槽340s形狀對應(yīng)的凸部 330b。本領(lǐng)域人員應(yīng)知，把滑槽形成在第一夾持部330上而把凸部形成在第 二夾持部340上亦可。除了利用形狀配合來固定兩者之外，更可再利用螺栓 (未圖示)來固定第一夾持部330與第二夾持部340，因而在第二夾持部340 上具有螺孔345,且在第一夾持部上具有與螺孔345對應(yīng)的螺孔(未圖示)。 螺孔345是供螺栓(未附圖)從第二夾持部340往第一夾持部330鎖入，以固 定第一夾持部330與第二夾持部340。
第一夾持部330和第二夾持部340的安裝方式是具有滑槽的一方供另 一方滑入，再鎖入螺栓固定兩者。在本例中滑槽340s供第一夾持部330的 凸部330b滑入，并通過鎖入螺栓(未附圖)固定第一夾持部330與第二夾持部 340。
此外，第一夾持部330還具有一樞接孔330h,旋轉(zhuǎn)臂200具有樞接孔 200h。把兩樞接孔330h、 200h對準(zhǔn)，再利用銷(pin),把第一夾持部330樞 接至旋轉(zhuǎn)臂200。是以第二固定部320通過第 一 夾持部330樞接至旋轉(zhuǎn)臂200 ， 而具有可上下回動的自由度。
當(dāng)旋轉(zhuǎn)底座100帶動旋轉(zhuǎn)臂200旋轉(zhuǎn)達(dá)一預(yù)定速度時(例如為1500rpm), 因為離心力的關(guān)系，第二固定部320會以樞接處(即樞接孔330h)為中心往上 回動，此時第二固定部320的第二夾持部330適于夾持待洗物體。
請再參照圖7,其繪示固定裝置安裝于旋臂上的安裝完成圖(從旋轉(zhuǎn)的離 心方向往中心看過去)。用于固定第一固定部310和旋轉(zhuǎn)臂200的螺栓為360，而用于固定第二 固定部320中的第一夾持部330和第二夾持部340的螺栓為355。
根據(jù)本創(chuàng)造的特征，螺栓360和螺栓355的鎖入方向及鎖入方式互不干 擾。亦即第一固定部310安裝到旋轉(zhuǎn)臂200的方式，或自旋轉(zhuǎn)臂200拆卸下 來的方式，不會受到第二固定部320的干擾。且第二固定部中的第二夾持部 340安裝到第一夾持部330的方式，或自第一夾持部330拆卸下來的方式， 不會受到第一固定部310的干擾。
又，第一固定部310安裝至旋轉(zhuǎn)臂200或自旋轉(zhuǎn)臂200拆卸的方式，不 會受到第二固定部320與旋轉(zhuǎn)臂200的樞接方式的影響。
是以，根據(jù)本實用新型的特征，在安裝完成固定裝置300之后，可依維 修或其他需要各自拆卸第一固定部、第二固定部。尤其是針對磨損頻率較高 的第一固定部、第二固定部中的第二夾持部可以獨立地更換。在不動到第二 固定部與旋轉(zhuǎn)臂的樞接的狀況下，就可以直接更換第二夾持部。
請再參照圖8、圖9，其繪示洗邊機(jī)在運作時固定裝置的動作示意圖， 其中圖8為旋轉(zhuǎn)底座處于低速旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)，圖9為旋轉(zhuǎn)底座處于高速旋轉(zhuǎn)的 狀態(tài)。
如第8圖所示，在旋轉(zhuǎn)底座靜止時，待洗物體500，例如為晶片，被放 置于多個固定裝置310之間，并受到第一固定部310的支撐部314所支撐。 接著旋轉(zhuǎn)底座開始低速旋轉(zhuǎn)，此時第二固定部320因自重而下垂，待洗物體 500受到第一固定部310的阻擋部316的擋止便不會因離心力而脫出。
如第9圖所示，當(dāng)旋轉(zhuǎn)底座加速至一預(yù)定速度時，例如為1500rpm，第 二固定部320因受到離心力的影響，往上回動，此時便由第二固定部320的 第二夾持部340扣夾住待洗物體500，防止待洗物體500脫出。
根據(jù)本實用新型的特征，至少具有下列優(yōu)點
1. 第一固定部是以卡榫方式連接至旋轉(zhuǎn)臂，安裝及拆卸方便。
2. 第二固定部中負(fù)責(zé)和旋轉(zhuǎn)臂樞接的部分(第 一 夾持部)，以及負(fù)責(zé)夾持 待洗物體的部分(第二夾持部)被分成兩個元件再組合固定，是以，更換第二 夾持部時，不需拆卸第一夾持部，不會影響到樞接精度，也不會因多次拆裝
摳接的第一夾持部而無故地磨耗了樞接的元件(例如銷)。又，第一夾持部和 第二夾持部是以卡榫連接方式相固定，安裝及拆卸方便。3. 第 一部固定部和旋轉(zhuǎn)臂的固定方向、固定方式不會受到樞接于旋轉(zhuǎn)臂 上的第二固定部的干擾。因而損耗頻率不同的第一固定部和第二固定可各自 獨立拆裝，減少維修時間。
4. 支撐部是以點接觸的式接觸到待洗物體，所以可以減少待洗物體和支 撐部的磨擦力。
5. 使支撐部和阻擋部采用耐磨耗材質(zhì)，可以減少更換的頻率。
6. 旋轉(zhuǎn)臂是以卡榫方式連接至旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)底座，安裝及拆卸方便。
權(quán)利要求1. 一種洗邊機(jī)的固定裝置，適用于與洗邊機(jī)的旋轉(zhuǎn)臂相連接，其特征在于，該固定裝置包括第一固定部，以卡榫連接的方式連接至該旋轉(zhuǎn)臂，該第一固定部包括一載臺部，一支撐部以及一阻擋部，該支撐部固定于該載臺部上，該阻擋部與該載臺部相連并高于該支撐部；第二固定部，樞接至該旋轉(zhuǎn)臂，具有可上下回動的自由度，且該第二固定部包括一第一夾持部及第二夾持部，該第一夾持部與該第二夾持部以卡榫連接的方式相固定，且由該第一夾持部樞接至該旋轉(zhuǎn)臂，當(dāng)該旋轉(zhuǎn)臂旋轉(zhuǎn)至一預(yù)定速度時，該第二固定部的該第二夾持部適于向上回動而夾持一待洗物體，而當(dāng)該旋轉(zhuǎn)臂未旋轉(zhuǎn)至該預(yù)定速度時，該第一固定部的阻擋部適用于擋止該待洗物體。
2. 如權(quán)利要求1所述的洗邊機(jī)的固定裝置，其特征在于，該第一固定部 的支撐部以點接觸的方式接觸該待洗物體。
3. 如權(quán)利要求2所述的洗邊機(jī)的固定裝置，其特征在于，該第一固定部 的支撐部具有一弧狀表面，用以接觸該待洗物體。
4. 如權(quán)利要求2所述的洗邊機(jī)的固定裝置，其特征在于，該笫一固定部 的支撐部的材質(zhì)為耐磨耗材質(zhì)。
5. 如權(quán)利要求1所述的洗邊機(jī)的固定裝置，其特征在于，該阻擋部的材 質(zhì)為耐磨耗材質(zhì)。
6. 如權(quán)利要求4或5所述的洗邊機(jī)的固定裝置，其特征在于，該耐磨耗 材質(zhì)包括聚醚醚酮。
7. 如權(quán)利要求1所述的洗邊機(jī)的固定裝置，其特征在于，該載臺部、該 支撐部、該阻擋部是一體成形。
8. 如權(quán)利要求1所述的洗邊機(jī)的固定裝置，其特征在于，該旋轉(zhuǎn)臂與該 第 一 固定部之一具有一第 一滑槽，且該旋轉(zhuǎn)臂與該第 一固定部之另 一具有與 該第 一滑槽對應(yīng)的 一第 一 凸部。
9. 如權(quán)利要求8所述的洗邊機(jī)的固定裝置，其特征在于，還包括一第一 螺栓固定該旋轉(zhuǎn)臂與該第 一 固定部。
10. 如權(quán)利要求9所述的洗邊機(jī)的固定裝置，其特征在于，該第一滑槽供該旋轉(zhuǎn)臂或該第 一 固定部滑入，并通過鎖入該第 一螺栓固定該旋轉(zhuǎn)臂與該第 一固定部，且該第一滑槽的滑入的方向、鎖入該第一螺栓的方向不受到該第二固定部的干"^L。
11. 如權(quán)利要求1所述的洗邊機(jī)的固定裝置，其特征在于，該第一夾持部與該第二夾持部之一具有一第二滑槽，且該第一夾持部與該第二夾持部的另 一具有與該第二滑槽對應(yīng)的一第二凸部。
12. 如權(quán)利要求11所述的洗邊機(jī)的固定裝置，其特征在于，還包括一第 二螺栓固定該第一夾持部與該第二夾持部。
13. 如權(quán)利要求12所述的洗邊機(jī)的固定裝置，其特征在于，該第二滑槽 供該第一夾持部或該第二夾持部滑入，并通過鎖入該第二螺栓固定該第一夾 持部與該第二夾持部，且該第二滑槽的滑入的方向、鎖入該第二螺栓的方向 不受到該第一固定部的干擾。
14. 一種洗邊機(jī)，包括 旋轉(zhuǎn)底座；多個旋轉(zhuǎn)臂，該些旋轉(zhuǎn)臂的一端是以卡榫連接的方式，等間隔地固定至 該旋轉(zhuǎn)底座；以及其特征在于，該洗邊機(jī)還包括 多個如權(quán)利要求1所述的固定裝置，其中該些旋轉(zhuǎn)臂的另 一端以卡榫方式連接著該第 一 固定部，且該另 一端 樞接著該第二固定部。
15. 如權(quán)利要求14所述的洗邊機(jī)，其特征在于，該旋轉(zhuǎn)底座與該旋轉(zhuǎn)臂 之一具有一第三滑槽，且該旋轉(zhuǎn)座與旋轉(zhuǎn)臂之另一具有與該第三滑槽對應(yīng)的 一第三凸部。
16. 如權(quán)利要求15所述的洗邊機(jī)，其特征在于，還包括一第三螺栓固定 該旋轉(zhuǎn)底座與該旋轉(zhuǎn)臂。
專利摘要本實用新型公開一種洗邊機(jī)及洗邊機(jī)的固定裝置。洗邊機(jī)的固定裝置適用于與洗邊機(jī)的旋轉(zhuǎn)臂相連接，固定裝置包括以卡榫連接的方式連接至旋轉(zhuǎn)臂的第一固定部及樞接至旋轉(zhuǎn)臂而具有可上下回動自由度的第二固定部。第一固定部包括載臺部、支撐部以及阻擋部，支撐部固定于載臺部上，阻擋部與載臺部相連并高于該支撐部。第二固定部包括以卡榫方式相連接固定的第一夾持部及第二夾持部，且由第一夾持部樞接至旋轉(zhuǎn)臂。當(dāng)旋轉(zhuǎn)臂旋轉(zhuǎn)至一預(yù)定速度時，第二夾持部適于向上回動而夾持待洗物體，而當(dāng)旋轉(zhuǎn)臂未旋轉(zhuǎn)至預(yù)定速度時，阻擋部適用于擋止待洗物體。
文檔編號H01L21/67GK201307587SQ20082020828
公開日2009年9月9日 申請日期2008年9月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月10日
發(fā)明者戴志釗, 林政均, 鄭锜彪, 陳柏元 申請人:聯(lián)華電子股份有限公司