專利名稱：一種半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直透鏡制作裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種準(zhǔn)直透鏡制作裝置，特別涉及能夠改變準(zhǔn)直透鏡
直透鏡制作裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體激光器作為一種小型高可靠性的光源，具有體積小、重量輕、 壽命長、功耗低、可直接調(diào)制等優(yōu)點(diǎn)，因此廣泛應(yīng)用在光通訊、光存儲、 激光加工、激光手術(shù)等領(lǐng)域。
但是，半導(dǎo)體激光器由于其特殊的有源區(qū)波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，其出射光束在平
行于結(jié)平面的發(fā)散角在10° -20°范圍，而垂直于結(jié)平面的發(fā)散角在30° _60°范圍，因此，其發(fā)出的激光波面不是平面波，也不是球面波，而是像 散橢圓高斯光束，其出射光束的截面是橢圓。這就給半導(dǎo)體激光器的準(zhǔn)直 帶來了困難，必須分別對兩個方向上的光束進(jìn)行準(zhǔn)直。
目前常見的半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直方法主要有球面單透鏡法、組合球面透 鏡法、組合柱面透鏡法等等。球面單透鏡法是采用單個球面透鏡對半導(dǎo)體 激光器出射光束進(jìn)行準(zhǔn)直，由于只有單個透鏡，使準(zhǔn)直系統(tǒng)體積小、重量 輕、裝調(diào)方便，且反射面較少，光束能量利用率較高；但是球面單透鏡無 法實(shí)現(xiàn)對兩個方向上光束的同時準(zhǔn)直，因此得到的光束仍然是橢圓形，準(zhǔn) 直效果差。組合球面透鏡法是采用兩片或兩片以上的球面透鏡，每片或每 組透鏡分別對垂直于結(jié)(快軸)方向和平行于結(jié)(慢軸)方向的光束進(jìn)行 準(zhǔn)直；這種方法可以實(shí)現(xiàn)對兩方向光束的同時準(zhǔn)直，能得到圓形截面的出 射光束。組合柱面透鏡法的原理與組合球面透鏡法類似，柱面透鏡1和柱 面透鏡2正交放置，利用柱面透鏡1準(zhǔn)直快軸方向光束，柱面透鏡2準(zhǔn)直 慢軸方向光束，由于柱面鏡或光楔類元件在一個方向的放大率為1,而另一 個方向的放大率具有增大或減小的效果，因此與球面組合透鏡法相比，裝調(diào)較為方便，能得到較好的光束準(zhǔn)直效果。例如中國專利公開號CN1553243，
公開日2004年12月08日，名稱為"采用微透鏡陣列對實(shí)現(xiàn)大功率半導(dǎo)體 激光束準(zhǔn)直的方法"的專利，該實(shí)用新型涉及一種采用微透鏡陣列對實(shí)現(xiàn) 大功率半導(dǎo)體激光束準(zhǔn)直的方法，正交連續(xù)微透鏡中的兩柱面微透鏡分別 對垂直結(jié)方向(快軸方向)和平行結(jié)方向(慢軸方向)的光束進(jìn)行準(zhǔn)直?？燧S 方向采用單一柱面鏡實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)直；慢軸方向采用多個柱面透鏡排列起來形成 線陣，每一個微透鏡和一個發(fā)光區(qū)一一對應(yīng)，分別對每一個發(fā)光區(qū)的光束 進(jìn)行準(zhǔn)直。該實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了對大功率半導(dǎo)激光器光束的準(zhǔn)直和消〗象散， 從而得到能量集中，發(fā)散角小，準(zhǔn)直度高的激光光束。該實(shí)用新型所涉及 的半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直方法就屬于組合柱面透鏡法。
該方法的不足之處在于采用多片透鏡組合的方式，體積較大，重量 較重，成本較高，多片透鏡的安裝調(diào)試?yán)щy，且光束能量在光學(xué)面上的反 射及光學(xué)元件對能量的吸收隨著透鏡數(shù)量的增多而增大，因此能量利用率 較低。而且，在實(shí)際生產(chǎn)中，每個半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品的發(fā)散角參數(shù)不可能 完全一樣，總是存在誤差，因此用同一參數(shù)的準(zhǔn)直系統(tǒng)不能最好地實(shí)現(xiàn)對 每個半導(dǎo)體激光器的準(zhǔn)直，不能為每個半導(dǎo)體激光器量身定做準(zhǔn)直系統(tǒng)。

實(shí)用新型內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直透鏡或透鏡組體積大、成本高、裝調(diào) 困難、能量利用率不高等問題，本實(shí)用新型提供一種工藝簡單、體積小、 制造成本低、免裝調(diào)，能量利用率高，且能為每個半導(dǎo)體激光器量身定做 準(zhǔn)直透鏡的一種半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直透鏡制作裝置。
實(shí)現(xiàn)上述目的的結(jié)構(gòu)設(shè)計方案是這樣的
一種半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直透鏡制作裝置包括主框架、二維微調(diào)臺l、環(huán)形 紫外光源2、電極6、注射器14、光斑檢測攝像機(jī)8和面形檢測光路；
所述主框架由底部的方形底板16,左部的左側(cè)板9，后部的后側(cè)板IO 組成，左側(cè)板9下部設(shè)有反光鏡孔；主框架中部設(shè)有二維微調(diào)臺1, 二維微 調(diào)臺1上設(shè)有環(huán)形紫外光源2, 二維微調(diào)臺1中部設(shè)有半導(dǎo)體激光器3，半 導(dǎo)體激光器3位于環(huán)形紫外光源2中央，半導(dǎo)體激光器3的出光窗口位于
5頂面，準(zhǔn)直透鏡4位于半導(dǎo)體激光器3的出光窗口；
所述環(huán)形紫外光源2環(huán)壁下部均布設(shè)有兩個以上的門形缺口，環(huán)壁內(nèi) 側(cè)面均布設(shè)有三個以上紫外發(fā)光二極管；左側(cè)板9的反光鏡孔位于環(huán)形紫 外光源2環(huán)壁下部左側(cè)的門形缺口處，
所述二維微調(diào)臺1右部設(shè)有白光光源15,白光光源15位于環(huán)形紫外光 源2環(huán)壁下部右側(cè)的門形缺口處，與白光光源15對應(yīng)在左側(cè)板9的反光鏡 孔外側(cè)設(shè)有反光鏡5,反光鏡5的上方設(shè)有鏡頭17，鏡頭17連接著面形檢 測攝像機(jī)18,面形檢測攝像機(jī)18安裝在左側(cè)板9外側(cè)上部；
所述面形檢測光路由所述的白光光源15、反光鏡5、鏡頭17和面形檢 測攝像機(jī)18組成，且白光光源15、反光鏡5、鏡頭17和面形檢測攝像機(jī) 18的光軸位于同一個垂直面內(nèi)；
所述左側(cè)板9內(nèi)側(cè)壁上部設(shè)有左側(cè)板電動平移臺7，左側(cè)板電動平移臺 7上設(shè)有光斑檢測纟i/f象機(jī)8;所述后側(cè)板10前側(cè)壁上部設(shè)有后側(cè)板電動平 移臺11，后側(cè)板電動平移臺11上通過支架12設(shè)有可左右轉(zhuǎn)動的電動轉(zhuǎn)臺 13,電動轉(zhuǎn)臺13位于二維微調(diào)臺1的上方，電動轉(zhuǎn)臺13上設(shè)有電極6和 注射器14,且電極6和注射器14垂直位于二維微調(diào)臺l上方，電極6位于 光斑檢測攝像機(jī)8的下方；所述電極6呈圓柱筒形，電極6的軸向中心線 到電動轉(zhuǎn)臺13轉(zhuǎn)動中心線的距離和注射器14軸向中心線到電動轉(zhuǎn)臺13轉(zhuǎn) 動中心線的距離相等；且所述的半導(dǎo)體激光器3、電極6、光斑檢測攝像機(jī) 8三者的軸向中心線重合。
所述電極6由上部的絕緣塑料圓筒和圓筒底部的導(dǎo)電玻璃粘合而成， 導(dǎo)電玻璃為橢圓形，且長軸方向與半導(dǎo)體激光器3的慢軸方向一致，導(dǎo)電 玻璃的上表面設(shè)有氧化銦錫鍍層；電極6接0-5500V電壓。
所述準(zhǔn)直透鏡4材料為經(jīng)紫外光照射能固化的光敏膠。
所述環(huán)形紫外光源2的環(huán)壁內(nèi)側(cè)均布設(shè)有3-8個紫外發(fā)光二極管，發(fā) 光波長365nm。
所述二維;徵調(diào)臺1在水平面兩個方向每個方向的移動分辨率為0.001 一O. lmm，每個方向的移動行程為5-30mm。所述左側(cè)板電動平移臺和后側(cè)板電動平移臺的型號均為GCD-104100M 的電控平移臺，4亍程100mm,分辨率0. OOlmm。 本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的有益效果是
1、 采用電場操控液滴透鏡面形技術(shù)，利用電極和半導(dǎo)體激光器外殼形 成的電場，使準(zhǔn)直透鏡的面形能夠隨電場作用而改變，從自然狀態(tài)下的球 面變化為兩個方向曲率不同的非球面，從而制作非球面的準(zhǔn)直透4fe,實(shí)現(xiàn) 對半導(dǎo)體激光器兩個方向光束的同時準(zhǔn)直。
2、 采用單透鏡，體積小，重量輕，能量利用率高；在半導(dǎo)體激光器的 出光窗口上直接滴液滴制作準(zhǔn)直透鏡，免裝調(diào)，且工藝簡單，成本低；透 鏡表面由液滴表面張力和電場作用力相互作用平衡形成，表面光潔度高。
3、 采用實(shí)時檢測技術(shù)，在電場操控準(zhǔn)直透鏡面形的同時，實(shí)時檢測半 導(dǎo)體激光器出射光束截面的光斑圖像，面形檢測光路實(shí)時檢測準(zhǔn)直透鏡的 面形圖像，并圖像處理分析，評價出射光束的準(zhǔn)直狀態(tài)；并采用紫外光固 化技術(shù)，在檢測到出射光束已準(zhǔn)直時，將透鏡固化得到為該半導(dǎo)體激光器 量身定做的固體準(zhǔn)直透鏡。


圖1為本實(shí)用新型的等軸測視圖2為本實(shí)用新型的主3見圖3為本實(shí)用新型的控制電路示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖，通過實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。 實(shí)施例
參見圖1、圖2, —種半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直透鏡制作裝置包括主框架、二 維微調(diào)臺l、環(huán)形紫外光源2、電極6、注射器14、光斑檢測攝像機(jī)8和面 形才金測光路；
主框架由底部的方形底板16,左部的左側(cè)板9，后部的后側(cè)板10組成， 左側(cè)板9下部開設(shè)有反光鏡孔；主框架中部安裝有二維微調(diào)臺1, 二維微調(diào) 臺1在水平面兩個方向每個方向的移動分辨率為0. OOl — O. lmm，每個方向的移動行程為5-30mm,例如大恒新紀(jì)元科技股份有限公司型號為 GCM-U0302BM的二維平移臺，每個方向的移動分辨率0. Ol咖，行程25mm; 二維微調(diào)臺1上安裝有環(huán)形紫外光源2, 二維微調(diào)臺1中部安裝有半導(dǎo)體激 光器3,半導(dǎo)體激光器3位于環(huán)形紫外光源2中央，半導(dǎo)體激光器3的出光 窗口位于頂面；準(zhǔn)直透鏡4位于半導(dǎo)體激光器3的出光窗口，準(zhǔn)直透鏡4 由光敏膠經(jīng)紫外光照射固化而成。
環(huán)形紫外光源2環(huán)壁下部均布開設(shè)有四個門形缺口，環(huán)壁內(nèi)側(cè)面均布 安裝有3-8個紫外發(fā)光二極管；紫外發(fā)光二極管發(fā)光波長365 nm,可以調(diào) 整每個紫外發(fā)光二極管的俯仰角，使其發(fā)出的光束集中照射在準(zhǔn)直透鏡4 上，環(huán)形紫外光源2開啟時可以將準(zhǔn)直透鏡4固化成為固體透鏡。左側(cè)板9 的反光鏡孔位于環(huán)形紫外光源2環(huán)壁下部左側(cè)的門形缺口處，
二維微調(diào)臺l右部安裝有白光光源15，白光光源15位于環(huán)形紫外光源 2環(huán)壁下部右側(cè)的門形缺口處，與白光光源15對應(yīng)在左側(cè)板9的反光鏡孔 外側(cè)安裝有反光鏡5，反光鏡5的上方安裝有鏡頭17,鏡頭17連接著面形 檢測攝像機(jī)18,面形;險測攝像機(jī)18安裝在左側(cè)板9外側(cè)上部；
面形檢測光路由所述的白光光源15、反光鏡5、鏡頭17和面形檢測攝 像機(jī)18組成，且白光光源15、反光鏡5、鏡頭17和面形4企測攝像機(jī)18的 光軸位于同一個垂直面內(nèi)；面形檢測光路由白光光源15照明，經(jīng)俯仰角可 調(diào)的反光鏡5,用鏡頭17將準(zhǔn)直透鏡4的側(cè)面輪廓在面形檢測攝像頭18上 成像，這樣可以檢測準(zhǔn)直透鏡4在電場中的變形情況，也可以監(jiān)視電極6 和準(zhǔn)直透鏡4之間的間距。
左側(cè)板9內(nèi)側(cè)壁上部安裝有左側(cè)板電動平移臺7,左側(cè)板電動平移臺7 上安裝有光5趕檢測攝像機(jī)8，左側(cè)板電動平移臺7可以帶動光斑檢測攝像機(jī) 8在垂直方向移動，使光斑檢測攝像機(jī)8可以檢測半導(dǎo)體激光器3出射光束 在光軸方向不同位置的截面光斑圖像，從而判斷半導(dǎo)體激光器3出射光的 準(zhǔn)直狀態(tài)；后側(cè)板10前側(cè)壁上部安裝有后側(cè)板電動平移臺ll,左側(cè)板電動 平移臺7和后側(cè)板電動平移臺ll選用大恒新紀(jì)元科技股份有限公司型號為 GCD-104100M的電控平移臺，行程100mm，分辨率0. OOlmm;后側(cè)板電動平移臺11上通過支架12安裝有可左右轉(zhuǎn)動的電動轉(zhuǎn)臺13,電動轉(zhuǎn)臺13位于 二維獨(dú):調(diào)臺l的上方，電動轉(zhuǎn)臺13上安裝有電極6和注射器14，且電極6 和注射器14垂直位于二維孩吏調(diào)臺1上方，電極6位于光斑檢測攝像機(jī)8的 下方；電極6呈圓柱筒形，電極6由上部的絕緣塑料圓筒和圓筒底部的導(dǎo) 電玻璃粘合而成，導(dǎo)電玻璃為橢圓形，且長軸方向與半導(dǎo)體激光器3的慢 軸方向一致，導(dǎo)電玻璃的上表面設(shè)有氧化銦錫鍍層；電極6接0-5500V電 壓。電極6的軸向中心線到電動轉(zhuǎn)臺13的轉(zhuǎn)動中心線的距離和注射器14 軸向中心線到電動轉(zhuǎn)臺13的轉(zhuǎn)動中心線的距離相等；通過調(diào)整二維微調(diào)臺 1,可以精密調(diào)整半導(dǎo)體激光器3在水平面上的位置，使半導(dǎo)體激光器3、 電極6、光斑4企測攝像機(jī)8三者的中心線重合。電動轉(zhuǎn)臺13實(shí)現(xiàn)電極6和 注射器14在準(zhǔn)直透鏡4正上方位置的切換，注射器14或電極6由后側(cè)板 電動平移臺11帶動實(shí)現(xiàn)在垂直方向上的移動，使注射器14可以方便準(zhǔn)確 地將液滴滴在半導(dǎo)體激光器3的出光窗口上，或者調(diào)整電極6和半導(dǎo)體激 光器3之間的間距，從而調(diào)整兩者之間的電場，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)直透鏡4面形的調(diào) 整。
半導(dǎo)體激光器3外殼接地，電極6接高電壓，電極6的電壓范圍為0 -5500V可調(diào)；電極6和半導(dǎo)體激光器3外殼形成的電場可以操控準(zhǔn)直透鏡 4的面形，使其成為快軸方向和慢軸方向曲率不同的非球面透鏡，從而實(shí)現(xiàn) 對兩個方向發(fā)散角不同的半導(dǎo)體激光器光束的準(zhǔn)直。
參見圖3，圖3是本實(shí)用新型的控制電路示意圖。圖3中7是左側(cè)板 電動平移臺，11是后側(cè)^1電動平移臺，13是電動轉(zhuǎn)臺，14是注射器，100 是光電限位傳感器，8是光斑檢測攝像機(jī)，18是面形檢測攝像機(jī)，6是電極， 200是AT89S52單片機(jī)，300是圖像采集卡，400是高壓電源，500是主控 計算機(jī)，600是終端顯示器。
由主控計算機(jī)500控制整套裝置的運(yùn)行。AT89S52單片機(jī)200發(fā)出驅(qū)動 信號，控制各部件運(yùn)動。光電限位傳感器IOO安裝在左側(cè)板電動平移臺7、 后側(cè)板電動平移臺11、電動轉(zhuǎn)臺13和注射器14上，作為各部件移動或轉(zhuǎn) 動的零點(diǎn)和終點(diǎn)，由AT89S52單片才幾200處理光電限位傳感器100的信號，防止各部件碰撞。由圖像采集卡300實(shí)時采集光斑檢測攝像機(jī)8和光斑檢 測攝像機(jī)18的圖像信息，傳給主控計算機(jī)500進(jìn)行圖像處理，并在終端顯 示器600上顯示圖像。由主控計算機(jī)500控制高壓電源400,向電極6施加 高電壓，操控準(zhǔn)直透鏡4的面形。
其操作過程是，用注射器14將光敏膠滴在半導(dǎo)體激光器3的出光窗口 上形成準(zhǔn)直透鏡4，利用電極6和半導(dǎo)體激光器3外殼形成的電場操控準(zhǔn)直 透鏡4的面形，使準(zhǔn)直透鏡4的面形由球面變?yōu)榉乔蛎?。同時，由光斑檢 測攝像機(jī)8實(shí)時檢測半導(dǎo)體激光器3出射光束的準(zhǔn)直狀態(tài)，面形檢測光路 實(shí)時檢測準(zhǔn)直透鏡4的面形，在檢測到半導(dǎo)體激光器3的出射光已經(jīng)到達(dá) 準(zhǔn)直狀態(tài)時，開啟環(huán)形紫外光源2將準(zhǔn)直透鏡4固化，得到為該半導(dǎo)體激 光器3量身定做的單個非球面的準(zhǔn)直透鏡。
當(dāng)要制作一個半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直透鏡時，(這里整句刪除)首先，電動 轉(zhuǎn)臺13將注射器14轉(zhuǎn)動至半導(dǎo)體激光器3的正上方，后側(cè)板電動平移臺 11再將注射器14向下移動，并用二維微調(diào)臺1微調(diào)半導(dǎo)體激光器3在水平 面上的位置，使注射器14將液滴準(zhǔn)確地滴在半導(dǎo)體激光器3的出光窗口的 中央形成準(zhǔn)直透鏡4;接著，電動轉(zhuǎn)臺13切換注射器14和電極6的位置， 使電極6轉(zhuǎn)動至準(zhǔn)直透鏡4正上方，此時高壓電源400向電極6施加電壓， 利用電場作用操控準(zhǔn)直透鏡4的面形；同時，光斑檢測攝像機(jī)8實(shí)時檢測 半導(dǎo)體激光器3的出射光斑圖像，由左側(cè)板電動平移臺7帶動光斑檢測攝 像機(jī)8在垂直方向上移動，使光斑檢測攝像機(jī)8可以檢測半導(dǎo)體激光器3 出射光束在光軸方向不同位置的截面光斑圖像，從而判斷半導(dǎo)體激光器3 出射光束的準(zhǔn)直狀態(tài)，并由面形檢測光路實(shí)時檢測準(zhǔn)直透鏡4面形的改變， 并監(jiān)視準(zhǔn)直透鏡4和電極6的間距防止微液滴由于電場作用過強(qiáng)而被吸至 電極6;如果光斑檢測4t(象機(jī)8檢測到的半導(dǎo)體激光器3的出射光束尚未到 達(dá)準(zhǔn)直狀態(tài)，則可以由后側(cè)板電動平移臺11改變電才及6與半導(dǎo)體激光器3 的間距或者由高壓電源400改變電極6的電壓來調(diào)整電場，從而調(diào)整準(zhǔn)直 透鏡4的面形，調(diào)整出射光束狀態(tài)；如果光斑檢測攝像機(jī)8檢測到半導(dǎo)體 激光器3的出射光束已經(jīng)到達(dá)準(zhǔn)直狀態(tài)，則開啟環(huán)形紫外光源2將準(zhǔn)直透鏡4固化，并由后側(cè)板電動平移臺11將電極6向上移動回初始位置；這樣， 為半導(dǎo)體激光器3量身定做的非球面準(zhǔn)直透鏡就制作完成了 。
權(quán)利要求1、一種半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直透鏡制作裝置，其特征在于包括主框架、二維微調(diào)臺(1)、環(huán)形紫外光源(2)、電極(6)、注射器(14)、光斑檢測攝像機(jī)(8)和面形檢測光路；所述主框架由底部的方形底板(16)，左部的左側(cè)板(9)，后部的后側(cè)板(10)組成，左側(cè)板(9)下部設(shè)有反光鏡孔；主框架中部設(shè)有二維微調(diào)臺(1)，二維微調(diào)臺(1)上設(shè)有環(huán)形紫外光源(2)，二維微調(diào)臺(1)中部設(shè)有半導(dǎo)體激光器(3)，半導(dǎo)體激光器(3)位于環(huán)形紫外光源(2)中央，半導(dǎo)體激光器(3)的出光窗口位于頂面，準(zhǔn)直透鏡(4)位于半導(dǎo)體激光器(3)的出光窗口；所述環(huán)形紫外光源(2)環(huán)壁下部均布設(shè)有兩個以上的門形缺口，環(huán)壁內(nèi)側(cè)面均布設(shè)有三個以上紫外發(fā)光二極管；左側(cè)板(9)的反光鏡孔位于環(huán)形紫外光源(2)環(huán)壁下部左側(cè)的門形缺口處；所述二維微調(diào)臺(1)右部設(shè)有白光光源(15)，白光光源(15)位于環(huán)形紫外光源(2)環(huán)壁下部右側(cè)的門形缺口處，與白光光源(15)對應(yīng)在左側(cè)板(9)的反光鏡孔外側(cè)設(shè)有反光鏡(5)，反光鏡(5)的上方設(shè)有鏡頭(17)，鏡頭(17)連接著面形檢測攝像機(jī)(18)，面形檢測攝像機(jī)(18)安裝在左側(cè)板(9)外側(cè)上部；所述面形檢測光路由所述的白光光源(15)、反光鏡(5)、鏡頭(17)和面形檢測攝像機(jī)(18)組成，且白光光源(15)、反光鏡(5)、鏡頭(17)和面形檢測攝像機(jī)(18)的光軸位于同一個垂直面內(nèi)；所述左側(cè)板(9)內(nèi)側(cè)壁上部設(shè)有左側(cè)板電動平移臺(7)，左側(cè)板電動平移臺(7)上設(shè)有光斑檢測攝像機(jī)(8)；所述后側(cè)板(10)前側(cè)壁上部設(shè)有后側(cè)板電動平移臺(11)，后側(cè)板電動平移臺(11)上通過支架(12)設(shè)有可左右轉(zhuǎn)動的電動轉(zhuǎn)臺(13)，電動轉(zhuǎn)臺(13)位于二維微調(diào)臺(1)的上方，電動轉(zhuǎn)臺(13)上設(shè)有電極(6)和注射器(14)，且電極(6)和注射器(14)垂直位于二維微調(diào)臺(1)上方，電極(6)位于光斑檢測攝像機(jī)(8)的下方；所述電極(6)呈圓柱筒形，電極(6)的軸向中心線到電動轉(zhuǎn)臺(13)轉(zhuǎn)動中心線的距離和注射器(14)軸向中心線到電動轉(zhuǎn)臺(13)轉(zhuǎn)動中心線的距離相等；且所述的半導(dǎo)體激光器(3)、電極(6)、光斑檢測攝像機(jī)(8)三者的軸向中心線重合。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直透鏡制作裝置，其特 征在于所述電極(6)由上部的絕緣塑料圓筒和圓筒底部的導(dǎo)電玻璃粘合而 成，導(dǎo)電玻璃為橢圓形，且長軸方向與半導(dǎo)體激光器(3)的慢軸方向一致， 導(dǎo)電玻璃的上表面設(shè)有氧化銦錫鍍層；電極(6)接0-5500V電壓。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直透鏡制作裝置，其特 征在于所述準(zhǔn)直透鏡(4)材料為經(jīng)紫外光照射能固化的光敏膠。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直透鏡制作裝置，其特 征在于所述環(huán)形紫外光源(2)的環(huán)壁內(nèi)側(cè)均布設(shè)有3-8個紫外發(fā)光二極管， 發(fā)光波長365nm。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直透鏡制作裝置，其特0. OOl — O. lmm,每個方向的移動4亍程為5-30mm。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直透鏡制作裝置，其特GCD-104100M的電控平移臺,行程100mm，分辨率0, OOlmni。
專利摘要本實(shí)用新型涉及能夠改變準(zhǔn)直透鏡面形的一種半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直透鏡制作裝置，解決了現(xiàn)有準(zhǔn)直透鏡或透鏡組體積大、成本高、裝調(diào)困難、能量利用率低等問題。本實(shí)用新型包括二維微調(diào)臺、環(huán)形紫外光源、電極、注射器、光斑檢測攝像機(jī)和面形檢測光路；半導(dǎo)體激光器位于環(huán)形紫外光源中央，且二者位于二維微調(diào)臺上；環(huán)形紫外光源環(huán)壁內(nèi)側(cè)面均布設(shè)有三個以上紫外發(fā)光二極管；面形檢測光路由白光光源、反光鏡、鏡頭和面形檢測攝像機(jī)組成；電極和注射器垂直位于二維微調(diào)臺上方，且半導(dǎo)體激光器、電極、光斑檢測攝像機(jī)三者的軸向中心線重合。本實(shí)用新型工藝簡單，成本低；在半導(dǎo)體激光器的出光窗口上直接滴液滴制作準(zhǔn)直透鏡，免裝調(diào)，且體積小，重量輕，能量利用率高。
文檔編號H01S5/00GK201332219SQ20082021130
公開日2009年10月21日 申請日期2008年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月17日
發(fā)明者丁志中, 姚海濤, 王克逸, 詹珍賢 申請人:中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)