專利名稱：周壁設(shè)有從動件的晶圓承載裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種承載裝置，特別是一種周壁設(shè)有從動件的晶圓承載裝置。
背景技術(shù)：
太陽能為極重要的替代能源，通過轉(zhuǎn)換太陽光能為電能，提供人類潔凈無 污染的能源，光-電轉(zhuǎn)換的重要部件即為太陽能電池晶圓，其外觀如圖l所示， 常見外觀如圖l所示的矩形薄片狀，還有的產(chǎn)品具有四個角落呈倒角的型態(tài)， 無論如何，太陽能已為人類實現(xiàn)能源新希望。
太陽能電池晶圓制造過程中，在攜行復(fù)數(shù)晶圓時，需利用合適的容器裝載，
如圖2所示，為常見的承載器2，于承載器2上方預(yù)置一片保護版10后，即可 迭放太陽能電池晶圓1?，F(xiàn)有的技術(shù)方案中，如圖2所示，太陽能電池晶圓1 置入承載器2時，并無適當機制確保太陽能電池晶圓1能穩(wěn)定、逐片且以接近 水平姿態(tài)置入，對薄且脆弱又造價不低的太陽能電池晶圓1,具有碰損風險。
一旦承載器2裝載太陽能電池晶圓l后，搬運將是另一問題，裝滿太陽能 電池晶圓1的承載器2重達十數(shù)公斤，然如現(xiàn)有的設(shè)計并無適當著力點方便搬 運，操作人員將面臨一定的風險。又如需進行太陽能電池晶圓1包裝時，需將 太陽能電池晶圓1成迭取出，操作難度較大，并且取出時容易摔壞太陽能電池 晶圓，因此，現(xiàn)有的承載器2亟待改善。
因此，需要一種承載裝置，可以穩(wěn)定的容納晶圓，并且方便操作人員搬運， 而且在晶圓取出時方便可靠
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供一種周壁設(shè)有從動件的晶圓承載裝置，旨在解 決承載裝置收納晶圓穩(wěn)定，取出晶圓方便可靠的問題。
本實用新型是這樣實現(xiàn)的， 一種周壁設(shè)有從動件的晶圓承載裝置，用來迭
置復(fù)數(shù)晶圓，所述的承載裝置包括基座、周壁和從動件，其中
所述基座包括固定框，以及位于所述的固定框中央、并可相對所述固定框
上下移動的頂高架；
所述周壁設(shè)置于所述固定框周緣，其尺寸與所述晶圓對應(yīng)；
所述從動件設(shè)置于所述周壁，隨所述頂高架升降，沿所述頂高架移動方向 相對所述周壁升降。
所述周壁包括復(fù)數(shù)個底部與所述固定框形成有間隔穿孔的直立柱，所述,人 動件為復(fù)數(shù)條分別套接環(huán)繞于所述直立柱的皮帶。
所述皮帶具有兩分別被固定于所述頂高架的端部。
所述周壁設(shè)置有一個可供所述晶圓移出的側(cè)向缺口 ，所述承載裝置還包括 封閉或者開啟所述側(cè)向缺口的門扇，所述門扇通過樞軸設(shè)置于所述固定框上， 所述門扇更包括控制所述門扇與所述周壁配合或者分離的卡固件。
所述周壁側(cè)向缺口的側(cè)邊設(shè)置有對應(yīng)所述門扇的卡槽，所述卡固件為對應(yīng) 所述卡槽的卡^r。
所述周壁還設(shè)置有一組手把。
本實用新型克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，采用與頂高架連動的從動件，頂高架可 穩(wěn)定且緩步提供升降機能，使晶圓迭置更安全穩(wěn)定，并設(shè)置有可開合的門扇， 使迭置的晶圓取出更加便利，承載裝置周壁兩側(cè)的把手更便利于安全搬運，有 效的提升了測試質(zhì)量與測試效率。


圖1是現(xiàn)有太陽能電池晶圓的外觀立體示意圖2是現(xiàn)有太陽能電池晶圓與承載器的外觀立體示意圖；圖3是本實用新型第一實施例提供的承載裝置處于搬移位置的外觀立體示
意圖4是本實用新型第一實施例提供的承載裝置處于收納迭置太陽能電池晶 圓的立體示意圖5是本實用新型第一實施例中頂高架頂升的立體示意圖； 圖6是圖5的局部放大圖7是本實用新型第二實施例提供的承載裝置的立體示意圖。
具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，
以下結(jié)合附圖 及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應(yīng)當理解，此處所描述的具體 實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
請參考圖3及圖4所示，為本實用新型第一實施例，圖3是本實用新型第 一實施例提供的承載裝置在搬移位置、可取出承載的太陽能電池晶圓的外觀立 體示意圖；圖4則為本實用新型第一實施例提供的承載裝置處于收納迭置太陽 能電池晶圓的外觀立體示意圖。本實施例提供的承載裝置3包含基座4、周壁5 與從動件，從動件于本實施例中以皮帶6呈現(xiàn)。
基座4包括固定框42、并包括位于固定框42中央，可相對固定框42上下 移動的頂高架44，圖中的頂高架44處于貼近固定框42的位置。周壁5設(shè)置于 固定框42周緣、尺寸對應(yīng)如圖l所示的太陽能電池晶圓1。周壁5形成有一個 可供如圖1所示的太陽能電池晶圓I移出的側(cè)向缺口 56，周壁5設(shè)置有隨頂高 架44的升降，沿頂高架44移動方向相對周壁5升降的從動件；本實施例中， 從動件以皮帶6呈現(xiàn)。
本實施例中，周壁5包括復(fù)數(shù)個底部與固定框42形成有間隔穿孔52的直 立柱54，從動件即為復(fù)數(shù)條分別套接環(huán)繞于各直立柱54的皮帶6。承載裝置3 還包括門扇7，門扇7通過樞軸72設(shè)置于固定框42上，可以沿樞軸72轉(zhuǎn)動，
5門扇7還包括一個卡固件，本實施例中，卡固件為卡栓74，卡栓74配合圖3 中的卡槽58,即可控制所述門扇與所述周壁配合或者分離，實現(xiàn)門扇7開啟與 閉合的功能。承載裝置3還設(shè)置有一組手把8，可供操作人員搬運。
圖5更進一步說明皮帶6與頂高架44的連動機制，圖5中，承載裝置3 的頂高架44已沿垂直方向遠離固定框42,為確保頂高架44移動時保持水平， 復(fù)數(shù)皮帶6固定于頂高架44的端緣，即圖5中虛線框圓所示。將圖5虛線框圓 局部放大，如圖6所示，皮帶6具有兩分別被固定于頂高架44的端部62,兩 端部62通過螺釘64鎖固于頂高架44;頂高架44將成為皮帶6循環(huán)的一部分， 亦即將頂高架44與各條皮帶6連動，第一實施例中共有8條皮帶6，可同步與 頂高架44連動，非常穩(wěn)定。
第一實施例中，通過螺釘64鎖固于頂高架44頂面，具體應(yīng)用本實用新型 技術(shù)方案時可不在此限，例如位于門扇7的兩條皮帶，為方便門扇7開啟，可 反鎖皮帶端部于頂高架44底面，也可使得皮帶6與頂高架44連動。
如果受限于應(yīng)用環(huán)境如機臺的尺寸限制，為節(jié)省空間，如圖4中的手把8 也可暫時卸除，如圖7所示，即為本實用新型第二實施例，操作人員仍可通過 周壁的構(gòu)造搬運承載裝置3'。
綜上所述，本實用新型提供的技術(shù)方案中，頂高架與從動件的連動，可使 承載的太陽能電池晶圓平穩(wěn)的隨頂高架升降，門扇開啟后，使容納物取出更加 方便可靠，有效的克服了現(xiàn)有承載裝置的缺陷。
以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型， 凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應(yīng) 包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種周壁設(shè)有從動件的晶圓承載裝置，用來迭置復(fù)數(shù)晶圓，其特征在于，所述的承載裝置包括基座、周壁和從動件，其中所述基座包括固定框，以及位于所述的固定框中央、并可相對所述固定框上下移動的頂高架；所述周壁設(shè)置于所述固定框周緣，其尺寸與所述晶圓對應(yīng)；所述從動件設(shè)置于所述周壁，隨所述頂高架升降，沿所述頂高架移動方向相對所述周壁升降。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所示的晶圓承載裝置，其特征在于，所述周壁包括復(fù)數(shù) 個底部與所述固定框形成有間隔穿孔的直立柱，所述從動件為復(fù)數(shù)條分別套接 環(huán)繞于所述直立柱的皮帶。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所示的晶圓承載裝置，其特征在于，所述皮帶具有兩分 別被固定于所述頂高架的端部。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或者2或者3所示的晶圓承載裝置，其特征在于，所述 周壁設(shè)置有一個可供所述晶圓移出的側(cè)向缺口 ，所述承載裝置還包括封閉或者 開啟所述側(cè)向缺口的門扇，所述門扇通過樞軸設(shè)置于所述固定框上，所述門扇 更包括控制所述門扇與所迷周壁配合或者分離的卡固件。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所示的晶圓承載裝置，其特征在于，所述周壁側(cè)向缺口 的側(cè)邊設(shè)置有對應(yīng)所述門扇的卡槽，所述卡固件為對應(yīng)所述卡槽的卡栓。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或者2或者3所示的晶圓承載裝置，其特征在于，所述 周壁還設(shè)置有一組手把。
專利摘要本實用新型適用于測試技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種周壁設(shè)有從動件的晶圓承載裝置，用來迭置復(fù)數(shù)晶圓，所述的承載裝置包括基座、周壁和從動件，其中所述基座包括固定框，以及位于所述的固定框中央、并可相對所述固定框上下移動的頂高架；所述周壁設(shè)置于所述固定框周緣，其尺寸與所述晶圓對應(yīng)；所述從動件設(shè)置于所述周壁，隨所述頂高架升降，沿所述頂高架移動方向相對所述周壁升降。本實用新型克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，采用與頂高架連動的從動件，頂高架可穩(wěn)定且緩步提供升降機能，使晶圓迭置更安全穩(wěn)定，并設(shè)置有可開合的門扇，使迭置的晶圓取出更加便利，承載裝置周壁兩側(cè)的把手更便利于安全搬運，有效的提升了測試質(zhì)量與測試效率。
文檔編號H01L31/18GK201327840SQ200820213419
公開日2009年10月14日 申請日期2008年11月7日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月7日
發(fā)明者蘇彥璋 申請人:中茂電子(深圳)有限公司