專利名稱：配方和元件控制模塊及其方法
配方和元件控制模塊及其方法
背景技術(shù)：
等離子體處理的進(jìn)步促進(jìn)了半導(dǎo)體工業(yè)的增長。為了形
成半導(dǎo)體器件，長時(shí)間以來使用處理模塊來進(jìn)行基片處理。因?yàn)榘?導(dǎo)體器件通常是易于產(chǎn)生誤差的精密器件，所以可以將傳感器附著
于該處理才莫塊以收集lt據(jù)來進(jìn)行缺陷#r測、端點(diǎn)識(shí)別和/或古丈障調(diào) 試。考慮這種情況，例如，其中等離子體處理系統(tǒng)中正在執(zhí) 4亍一種配方(recipe )。圖l顯示了描繪傳感器如何與處理才莫塊相互 作用以及傳感器如<可利用該處理才莫塊來處理和協(xié)調(diào)的示意圖。 一個(gè) 簡化的處理環(huán)境可包括連接到處理模塊l02的處理室100，該處理模 塊102連接于多個(gè)傳感器(104、 106、 108和110)。通常，由每個(gè)傳 感器收集的^b據(jù)可以纟皮上傳到處理才莫塊102。在一個(gè)實(shí)施例中，由 各種傳感器收集的數(shù)據(jù)可以經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)路徑(例如，以太網(wǎng)^各112) 發(fā)送到處理模塊102。多個(gè)傳感器104、 106、 108和110可以是由不 同的制造企業(yè)制造的。相應(yīng)地，該多個(gè)傳感器很有可能在不同的時(shí) 間域收集凄t據(jù)并JU皮此不能互相通信。近年來的趨勢走向一種反饋型的自動(dòng)工藝4空制。相應(yīng):l也， 要求更及時(shí)的數(shù)據(jù)以檢測端點(diǎn)、進(jìn)行缺陷檢測和進(jìn)行故障調(diào)試。結(jié) 果，被加到該等離子體處理系統(tǒng)中的傳感器的數(shù)量增加了，因?yàn)樾?要對(duì)更多的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。盡管增加傳感器的數(shù)量也許能夠向軟件 控制的處理模塊提供更多數(shù)據(jù)以執(zhí)行其任務(wù)，然而該傳感器和該處 理模塊之間交換的更多的數(shù)據(jù)可能事實(shí)上導(dǎo)致整個(gè)處理上的耗盡。在一個(gè)實(shí)施例中，該網(wǎng)紹^各徑可能變得擁堵，因?yàn)檫@些傳感器互相
爭著向該處理模塊發(fā)送數(shù)據(jù)。在另一個(gè)實(shí)施例中，因?yàn)樘幚砟K102 (其功能是管理基片處理)通常不是被設(shè)計(jì)來處理來自多個(gè)傳感器 的巨量數(shù)據(jù)流，所以處理模塊102可能遭遇延遲(latency )問題，這 會(huì)對(duì)該處理模塊控制基片處理的主要功能帶來負(fù)面影響。而且，處理模塊102可能沒有處理無限個(gè)傳感器的處理能 力和/或存儲(chǔ)容量。在一個(gè)實(shí)施例中，需要將另一個(gè)傳感器模塊附著 到該處理模塊以提供更多的細(xì)節(jié)。然而，由于處理的能力和存4諸容 量的限制，處理才莫塊102不能處理另一個(gè)傳感器。相應(yīng)地，處J里才莫 塊102可能必須將它有限的資源從管理基片處理轉(zhuǎn)移到操作額外的 傳感器上。另外，延遲可能成為問題，導(dǎo)致該處理才莫塊不能處理對(duì) 其資源的額外的負(fù)擔(dān)而最終崩潰。除了存儲(chǔ)來自該多個(gè)傳感器的數(shù)據(jù)以外，處理模塊102 還可以纟皮用來分析該數(shù)據(jù)。然而，分析任務(wù)不僅可能將有限的資源 從管理基片處理的任務(wù)轉(zhuǎn)移走，還可能要求處理模塊102可以訪問 存4諸于單獨(dú)的傳感器中的配方的各種不同部分。不幸的是，該處理 模塊通常不能訪問該配方的這些不同部分，而且不能對(duì)接收的數(shù)據(jù) 做出恰當(dāng)?shù)姆治?。在一個(gè)實(shí)施例中，對(duì)存4諸在傳感器104上的那部分配方估文 出了改變。為了適應(yīng)這種改變，工程師可能必須相應(yīng)于該改變更新 各種纟莫塊(例如，該傳感器、該處理模塊等)。在未對(duì)一個(gè)或多個(gè) 沖莫塊進(jìn)行改變的可能情況下，該配方的執(zhí)行可能產(chǎn)生有缺陷的器 件。在分析該數(shù)據(jù)以確定問題時(shí)，處理模塊102可能需要了解配方 的改變以進(jìn)行恰當(dāng)?shù)姆治?。如果該配方不容易取得，該處理才莫塊可 能必須進(jìn)行對(duì)數(shù)據(jù)的不完善的分析，或者可能必須從該傳感器獲取 該配方，由此為了訪問所需的翁:據(jù)而花費(fèi)不必要的處理能力，由此 導(dǎo)致有限網(wǎng)絡(luò)管道上不必要的翁:據(jù)通信擁塞。
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另外，由傳感器收集的"不良數(shù)據(jù)"也可能影響處理才莫 塊102的性能。在一個(gè)實(shí)施例中，傳感器106已經(jīng)被損害，因而收集 到了 "不良數(shù)據(jù)"。當(dāng)該數(shù)據(jù)被上傳到處理模塊102的時(shí)候，處理模 塊102可能會(huì)利用該數(shù)據(jù)，由此對(duì)基片處理帶來負(fù)面影響甚至》于其 它傳感器帶來負(fù)面影響。除了處理由各種傳感器上傳的大量凄t據(jù)之外，處理才莫塊 102還可能負(fù)責(zé)整合這些數(shù)據(jù)并協(xié)調(diào)各傳感器的相互作用。每一個(gè) 傳感器可能是獨(dú)特的，具有不同的數(shù)據(jù)收集標(biāo)準(zhǔn)。在一個(gè)實(shí)施例中， 傳感器104每50微秒收集資料而傳感器106每1 OO微秒收集資料。由 于各傳感器間的差異，比如數(shù)據(jù)收集時(shí)機(jī)的差異，各傳感器通常不 能夠彼此通信而必須-使用該處理才莫塊來幫助交換。因此，要求該處 理沖莫塊具有處理這些類型的要求的智能。不幸的是，該處理模塊可能不是總能滿足該要求，因?yàn)?該處理模塊可能不能整合來自不同來源的數(shù)據(jù)。在一個(gè)實(shí)施例中， 從傳感器104和106收集的數(shù)據(jù)是以不同的時(shí)間間隔收集的。為了能 整合該凄t據(jù)以^使傳感器104能夠利用由傳感器106收集的數(shù)據(jù)，處理 才莫塊102可能需要智能以匹配兩組凄t據(jù)。然而，處理才莫塊102可能沒 有進(jìn)4亍這種復(fù)雜運(yùn)算的處理能力。而且，如果該數(shù)據(jù)是在不同的時(shí) 間域收集的話，整合這兩組數(shù)據(jù)實(shí)際上是不可能的。處理才莫塊102原本是為了管理基片處理而創(chuàng)建的。相應(yīng) 地，處理一莫塊102可能沒有處理數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、數(shù)據(jù)處理、數(shù)據(jù)協(xié)調(diào)等 其它任務(wù)的存儲(chǔ)資源或處理能力。因而，處理4莫塊102的處理和存 儲(chǔ)能力可能被拉伸。隨著連接于處理模塊102的傳感器的數(shù)量的增 長，當(dāng)該處理模塊試圖滿足來自各不同傳感器的需要并盡量管理該 處理室時(shí)，處理一莫塊102可能成為并瓦頸。因此，該處理一莫塊可能開 始經(jīng)歷更長的延遲，不能夠迅速地做出反應(yīng)以改變執(zhí)行環(huán)境，甚至 可能經(jīng)歷總關(guān)才幾。發(fā)明內(nèi)容[OOll]在一個(gè)實(shí)施方式中，本發(fā)明涉及一種配方和元件控制才莫 塊(RACCM)。該RACCM是用于進(jìn)行具有多個(gè)元件的等離子體處 理系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)管理的月良務(wù)器。該RACCM包括多個(gè)智能代理，該 多個(gè)智能代理中的每個(gè)智能代理被配置為與該多個(gè)元件的每個(gè)元 件互相作用。該RACCM還包括協(xié)調(diào)代理，該協(xié)調(diào)代理被配置為4妄 收來自該多個(gè)智能代理的處理過的數(shù)據(jù)。
上述發(fā)明內(nèi)容只涉及此處所揭露的本發(fā)明的許多實(shí)施方 式中的一個(gè)，而非意在限制本發(fā)明的范圍，本發(fā)明的范圍在4又利要 求中進(jìn)4亍闡明。下面，在本發(fā)明的具體實(shí)施方式
部分，并結(jié)合附圖， 對(duì)本發(fā)明的這些和其它特性估文出更加詳細(xì)的"i兌明。


本發(fā)明是以附圖各圖中的實(shí)施例的方式進(jìn)行描繪的，而 不是通過限制的方式，其中類似的參考標(biāo)號(hào)指示類似的元件，其中
圖1顯示了描繪傳感器如何與處理才莫塊相互作用以及該 傳感器如〗可利用該處理才莫塊來處理和協(xié)調(diào)的示意圖。
圖2顯示了，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，配方和元4牛控 制模塊(RACCM)的筒化的整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。
圖3顯示了，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，描繪配置一個(gè) 傳感器的各步驟的簡單流程圖。
圖4顯示了，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，描繪智能4戈理 (intelligent agent)從緩存中產(chǎn)生摘要數(shù)據(jù)的各步驟的筒單流程圖。
圖5顯示了，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，描繪智能K理 產(chǎn)生端點(diǎn)和/或缺陷4全測數(shù)據(jù)的各步驟的簡化流程圖。
圖6顯示了，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，描繪協(xié)調(diào)^理 (coordinating agent)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析的各步驟的簡化流程圖。
圖7顯示了，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，描繪經(jīng)由臨時(shí) 4戈理(provisional agent)將配方在RACCM的不同實(shí)體間進(jìn)4亍分配 的簡化流程圖。
圖8顯示了，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，描繪用智能^ 理關(guān)聯(lián)元件的各步驟的簡單流程圖。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)在參考附圖中所示的一些實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明做出詳細(xì) 描述。在下面的描述中，闡明了許多的具體細(xì)節(jié)以提供對(duì)本發(fā)明的 徹底了解。然而，顯然，對(duì)本領(lǐng)i或的4支術(shù)人員來il，';殳有這些細(xì)節(jié) 中的一些或全部本發(fā)明仍然可以實(shí)玉見。在其它'l"青況下，沒有^于熟知 的處理步驟和/或結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)描述以免不必要地才莫糊本發(fā)明。
下面描述了各種實(shí)施方式，包4舌方法和4支術(shù)。應(yīng)當(dāng)i己4主， 本發(fā)明還涵蓋包括計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)的制造品，在該計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì) 存儲(chǔ)有用于執(zhí)行本發(fā)明:技術(shù)實(shí)施方式的計(jì)算機(jī)可讀指令。計(jì)算4幾可讀介質(zhì)可包4舌，例如，半導(dǎo)體的、》茲的、光^茲的、光學(xué)的或其它的 形式的用于存儲(chǔ)計(jì)算機(jī)可讀代碼的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)。而且，本發(fā)明 還涵蓋用于實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的實(shí)施方式的裝置。這樣的裝置可包括用以 執(zhí)行與本發(fā)明的實(shí)施方式有關(guān)的任務(wù)的專用的或可編程的電路。這 樣的裝置的例子包括恰當(dāng)編程過的通用計(jì)算機(jī)和/或?qū)Ｓ糜?jì)算裝置，專用的/可編程的電路的結(jié)合。
在本發(fā)明的一個(gè)方面中，發(fā)明人在此實(shí)現(xiàn)了， 一種處理 模塊，在某些方面，可以以跟傳感器類似的方式運(yùn)轉(zhuǎn)。在一個(gè)實(shí)施 例中，該傳感器和該處理模塊兩者均可根據(jù)配方參數(shù)收集數(shù)據(jù)。相 應(yīng)地，可以使用單獨(dú)的控制模塊執(zhí)行原來在現(xiàn)有技術(shù)中由該處理才莫 塊對(duì)該傳感器完成的^f壬務(wù)。因此，該處理才莫塊可以專注于批^亍它的 執(zhí)行工藝控制的主要功能。
依照本發(fā)明的實(shí)施方式，提供一種結(jié)構(gòu)布置，在其中配 方和元件控制才莫塊(RACCM)對(duì)附著于該處理系統(tǒng)的元件進(jìn)4亍凄t 據(jù)管理和/或配方管理。此處所討論的元件指的是數(shù)據(jù)采集元件。元 件可包括但不限于傳感器、度量工具和處理才莫塊。因?yàn)樘幚聿拍獕K可 以按以跟傳感器類似的方式收集數(shù)據(jù)，在數(shù)據(jù)管理和/或配方管理方 面，該RACCM可以以類似的方式對(duì)待該處理模塊和該傳感器兩者。
在本文中，〗吏用傳感器作為實(shí)例來討^侖各種實(shí)現(xiàn)。然而， 本發(fā)明不限于傳感器，而可包括任何數(shù)據(jù)采集元件，比如度量工具。 相反，這些討論意在作為本發(fā)明的實(shí)例，而本發(fā)明并不限于所介紹 的這些實(shí)例。
在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，該RACCM是一種才莫塊化布 置，其中可以添加、移除或<奮改一個(gè)元件而不影響另一個(gè)元4牛。在 現(xiàn)有4支術(shù)中，每次傳感器更新的時(shí)候，該處理才莫塊必須^皮重新配置 以適應(yīng)^f多改過的傳感器。相應(yīng)地，當(dāng)重新配置該處理4莫塊時(shí)，可能 纟合也耦合于該處理沖莫塊的其它傳感器帶來負(fù)面影響，因?yàn)樵撎幚聿拍?塊可能不能對(duì) 它傳感器進(jìn)行數(shù)據(jù)管理。與現(xiàn)有技術(shù)不同，更新一 個(gè)傳感器不會(huì)對(duì)其它元件中的任一個(gè)，尤其是該處理模塊帶來負(fù)面 影響。相反，其它元件可以無視可能發(fā)生的變化。
在本發(fā)明的另 一個(gè)實(shí)施方式中，該RACCM可以包括多個(gè) ^C理，比如智能^理、妨、調(diào)^理和臨時(shí)代理，其可扭Z于H據(jù)管玉里和 /或配方管理。因此，該RACCM能夠在多個(gè)代理中分配工作量。與 現(xiàn)有技術(shù)中該處理模塊執(zhí)行如果不是全部至少是大部分?jǐn)?shù)據(jù)管理 任務(wù)不同，工作量的分配使得數(shù)據(jù)管理能夠凈皮更快和更有效的處 理。另外，該RACCM可包4舌多個(gè)處理器。因此，即4吏一個(gè)代J里經(jīng) 歷了變慢的處理， 一個(gè)^理的經(jīng)歷不會(huì)影響乂于其它代理的凄t纟居處 理，因?yàn)檫@些代J里可以在不同的處3里器上。
在本發(fā)明的另 一個(gè)實(shí)施方式中，該RACCM可以是分層結(jié) 構(gòu)布置，其中工作量可以根據(jù)該代理的等級(jí)來分配。在一個(gè)實(shí)施例 中，該RACCM可包4舌多個(gè)智能代理。該智能^^理可以是最{氐等級(jí) 的 理，因?yàn)樵撝悄?<理直4妾與各元件相互作用，配置各元件并乂人 各元件接收數(shù)據(jù)。比較起來，該協(xié)調(diào)代理可以在最高等級(jí)。因此， 該協(xié)調(diào)代理可以只從較低等級(jí)的代理接收摘要化數(shù)據(jù)以進(jìn)行數(shù)據(jù) 分析。在一個(gè)實(shí)施方式中，該協(xié)調(diào)代理進(jìn)行的分析可以生成組合識(shí) 別才示志(signature),其可只于該處理才莫塊4是供指令。注意，RACCM 中存在的等級(jí)的數(shù)量可依賴于該RACCM想要如何分配工作量。在 一個(gè)實(shí)施例中，該協(xié)調(diào)代理和該智能代理之間可以存在另 一個(gè)等級(jí) 的代理以減少該智能代理的工作量。
在本發(fā)明的又一個(gè)實(shí)施方式中，該RACCM可包4舌用于進(jìn) 行配方管理的臨時(shí)代理。注意，根據(jù)具體實(shí)現(xiàn)，可以使用一個(gè)或多 個(gè)臨時(shí)代理執(zhí)行此項(xiàng)任務(wù)。在現(xiàn)有技術(shù)中，該配方的不同部分可以 位于各種位置，比如在該處理才莫塊中、在該傳感器中等。因此，對(duì) 配方的改變通常要求手動(dòng)(physically)更新在各種不同位置的配方 的多個(gè)步驟。不幸的是，忘記更新一個(gè)模塊可能對(duì)基片處理產(chǎn)生負(fù) 面影響甚至導(dǎo)致有缺陷的器件。與現(xiàn)有技術(shù)不同，將修改過的配方 分配到相關(guān)實(shí)體的任務(wù)是一項(xiàng)利用編輯器界面來對(duì)該配方做出修。在該RACCM可以如〗可分配。通過〗吏用該臨時(shí)^理，配方管理可以由一個(gè)實(shí)體集 中并自動(dòng)完成。
在一個(gè)實(shí)施方式中，該臨時(shí)代理可以分析該配方以確定 哪個(gè)傳感器需要該參數(shù)。 一旦該臨時(shí)代理做出決定，該臨時(shí)代理可 以將該配方的各部分分配到與各傳感器有關(guān)的智能代理。換句話 i兌，該配方是^f呆持在該智能4《理中而不是分配癥合該元件。通過在該 RACCM內(nèi)存儲(chǔ)該配方，該RACCM可以4艮容易訪問該配方以#丸4亍凄史 據(jù)分析和^t據(jù)4喿作。
在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，該RACCM可將部分工作量 卸載到該元件。在現(xiàn)有4支術(shù)中，傳感器在向該處理沖莫塊上傳該凄t據(jù) 方面沒有選4奪性。與現(xiàn)有l(wèi)支術(shù)不同，該RACCM可以將配置要求發(fā) 送給各元件，提供上傳數(shù)據(jù)的條件。有了該配置要求，該元件可以 進(jìn)行預(yù)處理以確定該數(shù)據(jù)是否滿足該配置要求。因此，該網(wǎng)絡(luò)不會(huì) 被該RACCM不需要的數(shù)據(jù)不必要地阻塞。
參考下面的附圖和討-淪，可以更好i也理解本發(fā)明的特征 和4尤點(diǎn)。
圖2顯示了在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，配方和元件控制 模塊(RACCM)的筒化的整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。RACCM環(huán)境200可包括 多個(gè)元件，比如處理才莫塊202和多個(gè)傳感器204、 206、 208和210。 與現(xiàn)有技術(shù)不同，各種不同的傳感器不直接耦合于處理才莫塊202 。 相反，各種不同的傳感器耦合于RACCM212。因此，數(shù)據(jù)被發(fā)送到 RACCM 212而不是處玉里才莫Jt夾202。
另外，在一個(gè)實(shí)施方式中，處理模塊202也耦合于RACCM 212。與現(xiàn)有技術(shù)中處理才莫塊負(fù)責(zé)收集、加工、協(xié)調(diào)和/或處理凄史據(jù) 不同，RACCM環(huán)境中的處理才莫塊202可以以類似傳感器的方式運(yùn) 轉(zhuǎn)，處理才莫塊202也將凄t據(jù)上傳到RACCM212。因此，通過/人婆t據(jù) 管理<壬務(wù)中除去該處理才莫塊，該處理才莫塊可以專注于扭^f亍它進(jìn)4亍工 藝控制的主要任務(wù)，并有足夠的帶寬以及時(shí)而高效的方式對(duì)可能出 i見的問題^故出響應(yīng)。因?yàn)樵撎幚聿拍獕K基本上以于傳感器類似的方式運(yùn)轉(zhuǎn)，該 處理才莫塊，在本發(fā)明的一些方面中，可以作為連4妄到該RACCM的 另一個(gè)"元件"出現(xiàn)。為了i"更于討i侖，該術(shù)語"元件"^皮用于指^ 等離子體處理系統(tǒng)中的凝:才居采集元fK在一個(gè)實(shí)施例中，元件可包 括^f旦不限于處理一莫塊、傳感器和度量工具。在一個(gè)實(shí)施方式中，RACCM212可以是計(jì)算才幾系統(tǒng)，比 如服務(wù)器。在一個(gè)實(shí)施方式中，RACCM212可包括用于進(jìn)行數(shù)據(jù)管 理和/或配方管理的一個(gè)或多個(gè)處理器。處理器的ft量耳又決于該 RACCM的具體實(shí)現(xiàn)。在一個(gè)實(shí)施方式中，RACCM212還可以包括「 存儲(chǔ)器。存儲(chǔ)器的數(shù)量可以根據(jù)該RACCM的存儲(chǔ)需求方便而便宜 地?cái)U(kuò)展。在一個(gè)實(shí)施方式中，RACCM 212可包括用于管理lt據(jù)和 進(jìn)行配方管理的智能(intelligence )。在一個(gè)實(shí)施例中，RACCM 212 可包括用于配置接收輸入數(shù)據(jù)文件的條件、處理數(shù)據(jù)、處置數(shù)據(jù)請(qǐng) 求、分配配方等的智能。與現(xiàn)有4支術(shù)中用于處理收集的^i:據(jù)的智能 是由處理4莫塊單獨(dú)處置不同，RACCM 212中用于處理該凄t據(jù)的智能 可以在RACCM 212中的各不同代理間分配。在一個(gè)實(shí)施方式中， RACCM212可包括多個(gè)智能代理(214、 216、 218、 220和222 )、協(xié) 調(diào)代理246和臨時(shí)代理248。通過將該智能分配于多個(gè)實(shí)體中，可以將工作量分配開，因此能夠獲得更高效的處理環(huán)境。所以，數(shù)據(jù)傳
專lr擁堵和延遲可以減少，帶來更穩(wěn)、定的環(huán)境。在一個(gè)實(shí)施方式中，RACCM 212可包4舌多個(gè)智能^理 (214、 216、 218、 220和222)。每個(gè)智能代理關(guān)聯(lián)于一個(gè)元件(204、 206、 208和210)。在一個(gè)實(shí)施例中，智能代理214關(guān)聯(lián)于傳感器210。 在一個(gè)實(shí)施方式中，當(dāng)將數(shù)據(jù)上傳到RACCM212時(shí)，傳感器210可 以沿著i 各徑224和226發(fā)送數(shù)據(jù)文件以由智能代理214接收。類似地， 處理才莫塊202也可以有對(duì)應(yīng)的智能代理222,該智能代理222被配置 為接收由處理才莫塊202沿路徑224和228發(fā)送的數(shù)據(jù)。在一個(gè)實(shí)施方式中，每個(gè)^口肯^PC玉里(214、 216、 218、 220 和222)具有智能，以將配置要求發(fā)送到對(duì)應(yīng)的元件，提供上傳數(shù) 據(jù)文件的標(biāo)準(zhǔn)。在現(xiàn)有4支術(shù)中，該傳感器可以將凄t據(jù)上傳到該處理 模塊而不進(jìn)行預(yù)處理。相反，該傳感器趨向于依靠該處理模塊來進(jìn) 行凌t據(jù)分析和處理。與現(xiàn)有4支術(shù)不同，以前在該處理才莫塊中存在的 部分智能現(xiàn)在可以壓^f氐到傳感器等級(jí)。在一個(gè)實(shí)施例中，由該智能 代理提供的該配置要求可以向該傳感器提供上傳數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)。利用 該配置要求，該傳感器可以進(jìn)4亍預(yù)處理(例如確定什么已經(jīng)改變了 ) 并只向該智能代理提供該智能代理想要的lt據(jù)，由此減少網(wǎng)絡(luò)擁 塞。在一個(gè)實(shí)施方式中，智能^理可以發(fā)送配置要求，該配 置要求指導(dǎo)相應(yīng)元件只發(fā)送在小于工藝控制速率的時(shí)間域的數(shù)據(jù)。 為便于討論，還使用術(shù)語"時(shí)間周期"來指代工藝控制速率?？紤] 這種情況，例如，其中確定工藝控制速率為每125樣t秒一次。智能 代理214可以向傳感器210發(fā)送配置要求，該配置要求指示傳感器 210在每10(M效秒的時(shí)間域發(fā)送lt據(jù)。因此，在智能4氣理214必須向 協(xié)調(diào)代理246提供數(shù)據(jù)之前，智能代理214具有足夠的時(shí)間從傳感器2104妄收凄t才居并處理該凄丈據(jù)，該協(xié)調(diào)^理246,皮配置為采集并處理來 自各種智能代理的數(shù)據(jù)。通過配置該時(shí)間域，該智能代理能夠控制何時(shí)接收數(shù)據(jù) 文件。在現(xiàn)有技術(shù)中，匹配來自每一個(gè)傳感器的數(shù)據(jù)文件是一項(xiàng)困 難的(如果不是不可能的話)的任務(wù)，因?yàn)閿?shù)據(jù)文件是以不同的時(shí) 間周期收集的。然而，本發(fā)明的實(shí)施方式可要求該時(shí)間域?yàn)橐粋€(gè)時(shí) 間周期(工藝控制速率)中至少一次。因此，在單一時(shí)間周期中由 各種智能代理接收的多個(gè)數(shù)據(jù)文件可以匹配，以允許更容易的數(shù)據(jù) 共享以及更全面的分才斤。可以分別對(duì)各智能代理多少時(shí)間要求一次數(shù)據(jù)文件進(jìn)行 編程。在一個(gè)實(shí)施例中，傳感器210可每50孩i秒收集一次凄t梧。在 一個(gè)實(shí)施方式中，智能代理可以要求傳感器在產(chǎn)生數(shù)據(jù)文件的時(shí)候 將該H據(jù)文件上傳。在一個(gè)實(shí)施例中，智能^理214可選擇在該傳 感器210接收到數(shù)據(jù)時(shí)收集該數(shù)據(jù)。換句話說，傳感器210可以每50 微秒發(fā)送更新過的數(shù)據(jù)文件到智能代理214 。在另一個(gè)實(shí)施方式中，智能^理可以要求基于乘法器 (multiplier)的數(shù)據(jù)文件。在一個(gè)實(shí)施例中，傳感器208可以每25 樣吏秒收集一次數(shù)據(jù)。因此，對(duì)每一個(gè)時(shí)間周期(IIO微秒的工藝控 制速率)，傳感器208可以產(chǎn)生至少4組凄t據(jù)文件。智能K理216可配 置傳感器208為只在2的乘法器中發(fā)送數(shù)據(jù)(例如每55微秒)。因此， 傳感器208可以只發(fā)送兩個(gè)lt據(jù)文件，而不收集到的4個(gè)lt據(jù)文件。 例如，在每55孩i秒時(shí)，傳感器208可以向智能代理216發(fā)送所產(chǎn)生的 最近更新的lt據(jù)文件。在又一個(gè)實(shí)施方式中，該智能 J里可以每個(gè)時(shí)間周期只 收集一次。在一個(gè)實(shí)施例中，智能^理214可以每10(M鼓秒收集一次 數(shù)據(jù)。由傳感器210收集的任何其它數(shù)據(jù)文件可以被智能代理214忽略。在一個(gè)實(shí)施方式中，智能^理214可以不管所產(chǎn)生的其它凄t據(jù) 文件，因?yàn)橹悄艽?14只關(guān)心每100微秒接收一次數(shù)據(jù)文件。通過 控制該時(shí)間i或，可以管理沿該網(wǎng)紹-路徑的凄t據(jù)傳輸擁塞。另外，通 過只在必要時(shí)收集凄t據(jù)，可以最小化處理/人各元件-接收的每一個(gè)凄t 據(jù)文件所需的處理能力。因此，可以顯著減少延遲而網(wǎng)全各變4尋更加 可靠。除了發(fā)送具有時(shí)機(jī)指令的配置要求之外，該智能代理還 可以向該元件發(fā)送具有限定發(fā)送凄t據(jù)文件的條件的標(biāo)準(zhǔn)的配置要 求。在一個(gè)實(shí)施例中，智能^理214可以限定由傳感器210收集的參 ^:的最小和最大范圍。例如，智能^理214可以指導(dǎo)傳感器210只在 參數(shù)在特定范圍之外的情況下，發(fā)送新的數(shù)據(jù)文件。相應(yīng)地，只要 收集到該參凄t的^t據(jù)在特定范圍內(nèi)，不需要將新的凄t據(jù)文件上傳到 智能^理214。通過限定可以上傳新的數(shù)據(jù)文件的條件，該智能代理能 最小化沿該網(wǎng)絡(luò)路徑(例如路徑224)的數(shù)據(jù)通信擁塞。而且，智 能代理還能夠減少總開銷(overhead)成本，比如用于存儲(chǔ)和處理 數(shù)據(jù)的不必要的存儲(chǔ)器的使用和處理能力的使用，其對(duì)整個(gè)lt據(jù)分 牙斤只有4艮小的貢獻(xiàn)或者沒有貢獻(xiàn)。在一個(gè)實(shí)施方式中，由智能代理收到的最新數(shù)據(jù)可以存 4諸在位于每一個(gè)智能代理中的纟爰存(230、 232、 234、 236和238)
中。在另一個(gè)實(shí)施方式中，該緩存可存儲(chǔ)一個(gè)或多個(gè)數(shù)據(jù)文件(最 新的lt據(jù)文件和一定量的過去的凄t據(jù)文件)。因?yàn)橛袛?shù)才居文件存4諸 在緩存中，該數(shù)據(jù)文件很容易得到以進(jìn)行分析和/或與其它代理(例 如智能代理、協(xié)調(diào)代理、臨時(shí)代理等)共享。在一個(gè)實(shí)施例中，通 過使用緩存，即便沒有上傳新的數(shù)據(jù)，智能代理也能夠向發(fā)出請(qǐng)求 的實(shí)體提供數(shù)據(jù)。
在一個(gè)實(shí)施方式中，如果在一個(gè)時(shí)間周期內(nèi)接收了超過 一個(gè)數(shù)據(jù)文件，只共享最新的數(shù)據(jù)文件。在一個(gè)實(shí)施例中，傳感器 208向智能代理216發(fā)送了兩組數(shù)據(jù)文件，數(shù)據(jù)流a和數(shù)據(jù)流b,其中 數(shù)據(jù)流b是最新的凄t據(jù)流。當(dāng)協(xié)調(diào)代理246要求來自智能代理216的 凄丈據(jù)文件時(shí)，智能^理216可以與協(xié)調(diào)4戈理246共享該最新的lt:悟文 件(數(shù)據(jù)流b)。RACCM 212還可以包括臨時(shí)代理248,可以利用該臨時(shí) 代理248來接收各種不同的配方并將該配方在各種智能代理間分 配?？紤]這種情況，例如，其中一個(gè)配方已經(jīng)#皮<務(wù)改。該配方可以 在單一的集中區(qū)域j皮-修改，而不是手動(dòng)更新在各種不同傳感器和處 理才莫塊的配方。更新過的配方可以上傳到主才幾，然后該主才幾與處理 模塊202共享該更新過的配方。在一個(gè)實(shí)施方式中，該處理模塊可 以拷貝該配方中與處理才莫型有關(guān)的部分。在另一個(gè)實(shí)施方式中，該 處理模塊可以選擇不存儲(chǔ)更新過的配方的任何部分。無論如何，然 后，該處理4莫塊可以將更新過的配方轉(zhuǎn)送到臨時(shí)代理248。臨時(shí)代理248可以;險(xiǎn)查該配方并將該配方的不同部分分 配到該各種代理(例如智能代理和/或協(xié)調(diào)代理)。例如，該配方可 以包4舌不同的參凌t。那些參凄t中的每一個(gè)均與該傳感器中的一個(gè)或 多個(gè)有關(guān)。臨時(shí)代理248有確定哪個(gè)智能代理需要更新過的配方的 哪一部分的智能。利用臨時(shí)代理248,配方可以更新一次而自動(dòng)在 各種^理間分配?，F(xiàn)在在各代理間分配該配方，而不是將該配方存儲(chǔ)在不 同元件(傳感器、度量工具和/或處理才莫塊)中。與現(xiàn)有技術(shù)不同， 該智能代理很容易得到該配方以使得該智能代理能夠進(jìn)行全面的 凄t據(jù)分析。在一個(gè)實(shí)施方式中，該協(xié)調(diào)代理可包括整個(gè)配方的高等 級(jí)副本以便于進(jìn)行數(shù)據(jù)分析。在一個(gè)實(shí)施例中，存儲(chǔ)在每個(gè)智能代 理的那部分配方可包括涉及與該智能代理關(guān)聯(lián)的傳感器的配方的
19整個(gè)部分。在一個(gè)實(shí)施例中，因?yàn)樵搮f(xié)調(diào)^理不需要該智能^理需 要的細(xì)節(jié)，存儲(chǔ)在該協(xié)調(diào)代理中的配方可以只包括該限定每一個(gè)參 數(shù)如何跟其它參數(shù)相互關(guān)聯(lián)的那部分配方。在一個(gè)實(shí)施方式中，每個(gè)智能代理具有執(zhí)行不同的與數(shù) 據(jù)有關(guān)的任務(wù)的智能，比如數(shù)據(jù)匯總、基于存儲(chǔ)在該智能代理上的 配方的端點(diǎn)檢測、缺陷檢測等。在一個(gè)實(shí)施例中， 一旦接收了數(shù)據(jù) 文件，該智能代理可以進(jìn)行數(shù)據(jù)分析以生成識(shí)別標(biāo)志數(shù)據(jù)，其摘要 化對(duì)特定時(shí)間周期收集的該lt據(jù)。例如，才艮據(jù)4妻收的數(shù)據(jù)文件和存 4諸在智能K理214的酉己方，才企測出一個(gè)斷點(diǎn)。通過同化(assimilating) 各種IW居點(diǎn)，該智能^理可以生成一個(gè)該智能^理可以共享的識(shí)別 標(biāo)志數(shù)據(jù)。在一個(gè)實(shí)施方式中，每個(gè)智能代理與一個(gè)協(xié)調(diào)代理共享 它的識(shí)別標(biāo)志。在一個(gè)實(shí)施例中，協(xié)調(diào)代理246可以,皮配置為在每 個(gè)時(shí)間周期接收來自每一個(gè)智能代理的識(shí)別標(biāo)志數(shù)據(jù)。相應(yīng)地，分配在各種智能代理中的智能可以進(jìn)行該分析 并提供該協(xié)調(diào)代理需要的數(shù)據(jù)。在一個(gè)實(shí)施方式中，在接收該多個(gè) 識(shí)別標(biāo)志后，該協(xié)調(diào)代理可以才艮據(jù)存儲(chǔ)在該協(xié)調(diào)代理中的配方分析 各種不同的數(shù)據(jù)識(shí)別標(biāo)志以產(chǎn)生組合識(shí)別標(biāo)志?？梢耘c需要該數(shù)據(jù) 的元件共享該組合識(shí)別標(biāo)志。在一個(gè)實(shí)施方式中，該妨、調(diào)^理可以 才艮據(jù)該組合識(shí)別標(biāo)志才丸4亍動(dòng)作。因?yàn)樵搮f(xié)調(diào)代理不會(huì),皮上傳到該RACCM的過量的數(shù)據(jù) 淹沒，該協(xié)調(diào)代理能專注于確定配方的整個(gè)執(zhí)行狀態(tài)所需的數(shù)據(jù)。 因而，該協(xié)調(diào)代理能夠?qū)撛诘膯栴}快速做出反應(yīng)。在一個(gè)實(shí)施例 中，根據(jù)從該智能代理接收到的那組識(shí)別標(biāo)志，協(xié)調(diào)代理246能針 對(duì)存儲(chǔ)在該協(xié)調(diào)代理中的配方在協(xié)調(diào)代理等級(jí)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析以產(chǎn) 生組合識(shí)別標(biāo)志，該組合識(shí)別標(biāo)志指示當(dāng)前基片處理中可能存在的 問題。因此，協(xié)調(diào)^理246能夠通過向處理;模塊202發(fā)送停止4丸行消 息而快速啦文出反應(yīng)。
如果該組合識(shí)別標(biāo)志要求來自該處理才莫塊的立即動(dòng)作， 提供專用信道(比如專用信道240)以便于協(xié)調(diào)代理246和處理才莫塊 202間的通信。專用信道可以使得該協(xié)調(diào)代理能夠快速通知該處理 模塊而不需要對(duì)付公用網(wǎng)絡(luò)路徑(例如路徑224)中可能的通信擁 塞。在一個(gè)實(shí)施方式中，如果不需要來自該處理模塊202的立即動(dòng) 作的話，協(xié)調(diào)代理246可以沿公用網(wǎng)絡(luò)路徑(路徑224)與處理模塊 202通信。在一個(gè)實(shí)施方式中，還可以使用該協(xié)調(diào)代理來協(xié)調(diào)各種 智能代理間的數(shù)據(jù)共享。在一個(gè)實(shí)施例中，智能代理214可能需要 由智能^理216存儲(chǔ)的^:據(jù)。為了i青求該數(shù)據(jù)，該智能4戈理間可摘: 此通信。然而，如果所要求的lt據(jù)來自多個(gè)智能^理，乂人該切、調(diào)^ 理取得該多個(gè)凄t據(jù)而不是分別與不同的智能^理協(xié)調(diào)可以更有歲文率。在又一個(gè)實(shí)施方式中，還可以使用該協(xié)調(diào)代理取得進(jìn)行 故障調(diào)試所需的數(shù)據(jù)。在一個(gè)實(shí)施例中，協(xié)調(diào)代理246可以連接到 用于進(jìn)行故障調(diào)試的計(jì)算才幾系統(tǒng)244。當(dāng)故障調(diào)試計(jì)算4幾系統(tǒng)244需 要數(shù)據(jù)時(shí)，經(jīng)由路徑250向協(xié)調(diào)代理246發(fā)送請(qǐng)求。協(xié)調(diào)代理246可
以耳又得所_清求的凄t據(jù)并將該凄t據(jù)發(fā)送到該古文障調(diào)試計(jì)算才幾系統(tǒng)。如圖2所示，RACCM是能夠?qū)μ幚硐到y(tǒng)進(jìn)4亍數(shù)據(jù)處置和 配方管理的控制模塊。與現(xiàn)有技術(shù)不同，不將該處理模塊作為收集、 處置和協(xié)調(diào)數(shù)據(jù)的集中模塊。相反，新RACCM環(huán)境中的處理才莫塊 在凄t據(jù)和配方管理方面^象其中一個(gè)傳感器一才羊運(yùn)轉(zhuǎn)。在一個(gè)實(shí)施方 式中，當(dāng)需要更多的傳感器來使得基片的處理更精確時(shí)，可以相對(duì) 容易和便宜地將該RACCM修改為具有更大的存儲(chǔ)容量和更強(qiáng)的處 理能力。因?yàn)樵揜ACCM可以包括多個(gè)實(shí)體(例如智能代理、協(xié)調(diào) 代理、臨時(shí)代理)，可以分配工作量以便單一實(shí)體不會(huì)不必要地承 擔(dān)完成所有這些任務(wù)的重?fù)?dān)。通過分配工作量，可以顯著減少現(xiàn)有技術(shù)中存在的數(shù)據(jù)通信擁塞和延遲，提供更加穩(wěn)定的網(wǎng)絡(luò)以進(jìn)行數(shù) 據(jù)共享和數(shù)據(jù)分析。圖3-8顯示了 ，在本發(fā)明的各實(shí)施方式中，實(shí)現(xiàn)該RACCM 的方法。圖3顯示了，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，描《會(huì)配置一個(gè) 傳感器的各步驟的簡單流程圖。在第一個(gè)步驟302中，智能代理可以從臨時(shí)代理接收該配 方。如上所述，該臨時(shí)代理可以通過將該配方分配給需要該配方的 各實(shí)體而進(jìn)4于配方管理。在一個(gè)實(shí)施方式中，只有該配方的一部分 可以凈皮分配給任一個(gè)特定實(shí)體。在一個(gè)實(shí)施例中，智能代理214可 能只需要涉及與傳感器210有關(guān)的參數(shù)的那部分配方。在下一個(gè)步驟304中，該智能代理可以根據(jù)該配方生成配 置要求。在一個(gè)實(shí)施方式中，配置要求可包括限定傳感器何時(shí)將數(shù) 據(jù)文件發(fā)送到該智能代理的標(biāo)準(zhǔn)。在一個(gè)實(shí)施例中，配置要求可包 括時(shí)間域(例如，關(guān)于多長時(shí)間發(fā)送一次數(shù)據(jù)文件的指令)。在另 一個(gè)實(shí)施方式中，配置要求可包括發(fā)送凄t據(jù)文件到該智能代理的凄t 據(jù)條件。在一個(gè)實(shí)施例中，只有在該參數(shù)在特定范圍內(nèi)時(shí)上傳數(shù)據(jù) 文件。在下一個(gè)步驟306中，該智能代理可以將該配置要求傳送 到相應(yīng)的傳感器。在一個(gè)實(shí)施例中，智能^C理214可與傳感器210關(guān)
于該配置要求進(jìn)行通信。在一個(gè)實(shí)施方式中，該傳感器具有應(yīng)用該 配置要求以確定應(yīng)該在4可時(shí)將數(shù)據(jù)文件發(fā)送到該智能 理的智能。 在一個(gè)實(shí)施例中，配置要求可以要求每10(M效秒發(fā)送一次數(shù)據(jù)文件。 然而，該傳感器可以每5(M鼓秒收集一次凄t據(jù)。該傳感器可以應(yīng)用該 配置要求而只依照該配置要求發(fā)送數(shù)據(jù)文件，即使該傳感器更頻繁地收集數(shù)據(jù)。在另一個(gè)實(shí)施例中，該傳感器已經(jīng)收集了多個(gè)凄t據(jù)文
件；然而，該傳感器可能不上傳該數(shù)據(jù)文件到該智能代理，因?yàn)閰?數(shù)的變化可能不匹配該配置要求。通過經(jīng)由配置要求管理lt據(jù)文件的傳送，該智能^理連 同該傳感器能夠管理該網(wǎng)絡(luò)上的數(shù)據(jù)傳輸。與現(xiàn)有^^支術(shù)中的處理才莫 塊不同，該智能代理能夠控制由該傳感器上傳的數(shù)據(jù)的量；因此，
可以顯著減少不必要的tt據(jù)傳iir擁塞。圖4顯示了，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，描《會(huì)智能代理 從緩存中產(chǎn)生摘要數(shù)據(jù)的各步驟的簡單流程圖。在第一個(gè)步驟402中，智能代理從傳感器接收數(shù)據(jù)。在一 個(gè)實(shí)施例中，智能代理214可以從傳感器210接收數(shù)據(jù)文件。在一個(gè)
實(shí)施方式中，被上傳的數(shù)據(jù)文件是基于該配置要求的(如圖3中所 討i侖的)。在另一個(gè)實(shí)施方式中，進(jìn)來的教:據(jù)文件可以存儲(chǔ)在l^存 中。該緩存可包含一個(gè)或多個(gè)數(shù)據(jù)文件。在一個(gè)實(shí)施例中，該緩存 可包含最新的凄t據(jù)文件和/或多個(gè)4交新的凄t悟文件。通過在該纟爰存中 存儲(chǔ)該數(shù)據(jù)文件，該數(shù)據(jù)文件容易取得以進(jìn)行分析、數(shù)據(jù)操作，以 及與發(fā)出請(qǐng)求的實(shí)體(例如協(xié)調(diào)代理、其它的智能代理等)共享。另外，通過在該緩存中存4諸凄t據(jù)，可以進(jìn)4亍數(shù)據(jù)鎖存 (latching )。換句話說，如果該傳感器沒有收集到新的數(shù)據(jù)，就無 法取得新的數(shù)據(jù)文件上傳到該智能代理。因此，當(dāng)處理才莫塊向該智 能代理請(qǐng)求更新過的數(shù)據(jù)時(shí)，該智能代理仍能向該處理模塊纟是供數(shù) 據(jù)文件，即目前存儲(chǔ)在該緩存中的數(shù)據(jù)文件(因?yàn)闆]有新的文件上 傳過)。在下一個(gè)步-驟404中，該智能4義理可以計(jì)算該凄t據(jù)。在一 個(gè)實(shí)施方式中，該數(shù)據(jù)計(jì)算可以基于存儲(chǔ)在該智能代理中的配方。例如，協(xié)調(diào)^理)請(qǐng)求彰:據(jù) 時(shí)，進(jìn)4亍凄t據(jù)計(jì)算。在一個(gè)實(shí)施例中，協(xié)調(diào)^理可要求識(shí)別標(biāo)志凄t 據(jù)(例如，端點(diǎn)、缺陷才企測數(shù)據(jù)等)每125孩史秒計(jì)算一次。因此， 一旦接收到該數(shù)據(jù)文件，智能代理214就可以根據(jù)本地存儲(chǔ)的配方 分析接收到的數(shù)據(jù)以形成可以與協(xié)調(diào)代理246共享的識(shí)別標(biāo)志。在下一個(gè)步驟406中，該智能代理可以向發(fā)出請(qǐng)求的實(shí)體 才是供該凄t據(jù)。在一個(gè)實(shí)施例中，該智能^理可以每125孩史秒向該妨、 調(diào)^理發(fā)送一次識(shí)別標(biāo)志彩:據(jù)。在一個(gè)實(shí)施方式中，如果沒有出3見 對(duì)該數(shù)據(jù)的更新的話，就不發(fā)送lt據(jù)文件。在一個(gè)實(shí)施例中，智能 ^理214沒有/人該傳感器4姿收到更新過的tt據(jù)文件，因?yàn)闆]有滿足 新的凝:據(jù)文件的標(biāo)準(zhǔn)。因此，當(dāng)智能^理必須在下次-清求時(shí)向妨、調(diào) 代理244提供更新過的識(shí)別標(biāo)志時(shí)，智能代理214可能不會(huì)發(fā)送更新 過的識(shí)別標(biāo)志文件。在一個(gè)實(shí)施方式中，該妨、調(diào)4戈理可包4舌能夠4偉 斷出擊夾乏更新過的識(shí)別標(biāo)志表明當(dāng)前的識(shí)別標(biāo)志沒有改變的智能。與現(xiàn)有技術(shù)中的處理模塊不同，不是由單一的代理負(fù)責(zé) 數(shù)據(jù)管理。相反，通過在多個(gè)代理間分配數(shù)據(jù)分析、數(shù)據(jù)操作和數(shù) 據(jù)協(xié)調(diào)的智能，將該工作量在i午多不同實(shí)體間分配。因此，可以通 過多個(gè)代理的協(xié)調(diào)實(shí)現(xiàn)更高效的數(shù)據(jù)管理。另外，因?yàn)橛羞M(jìn)行數(shù)據(jù) 管理的智能代理，該處理才莫塊可以減輕職責(zé)轉(zhuǎn)而專注于管理工藝控 制的主要任務(wù)。圖5顯示，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，描繪智能代理產(chǎn) 生端點(diǎn)和/或缺陷檢測數(shù)據(jù)的各步驟的簡化流程圖。在第一個(gè)步驟502中，智能代理/人傳感器接收數(shù)據(jù)。在一 個(gè)實(shí)施例中，智能^理214可以乂人傳感器2104妄收^i:據(jù)文件。如上所 述，被上傳的數(shù)據(jù)文件是基于該配置要求的(如圖3中所討論的)。
在下一個(gè)步驟504中，該智能代理可分析該數(shù)據(jù)文件以識(shí) 別端點(diǎn)和/或缺陷4企測。在一個(gè)實(shí)施例中，才艮據(jù)在本地存儲(chǔ)的配方， 智能代理214能夠根據(jù)接收到的數(shù)據(jù)文件識(shí)別端點(diǎn)。在另一個(gè)實(shí)施 例中，智能代理可分析該數(shù)據(jù)文件以進(jìn)行缺陷檢測。在一個(gè)實(shí)施方 式中，進(jìn)行缺陷檢測可包括將接收到的文件與存儲(chǔ)在該智能代理本 ;也的配方進(jìn)4于比4交。在下一個(gè)步驟506中，該智能代理可向發(fā)出請(qǐng)求的實(shí)體提 供該端點(diǎn)和/或缺陷檢測數(shù)據(jù)。在一個(gè)實(shí)施方式中，從智能代理發(fā)送 到協(xié)調(diào)代理的數(shù)據(jù)可以是摘要化數(shù)據(jù)(例如，識(shí)別標(biāo)志文件、端點(diǎn) 等)。換句話說，該協(xié)調(diào)代理接收從該傳感器收集的數(shù)據(jù)的摘要； 因此向上游發(fā)送的數(shù)據(jù)量大大減少，因?yàn)樵撝悄艽硪呀?jīng)進(jìn)行了數(shù) 據(jù)分析和凄t據(jù)處理。在一個(gè)實(shí)施例中，智能代理214可以只向協(xié)調(diào) 代理246發(fā)送該端點(diǎn)，而不是發(fā)送全部的數(shù)據(jù)文件。 —旦接收到該端點(diǎn)，協(xié)調(diào)代理可以將該端點(diǎn)與在本地存 儲(chǔ)的配方進(jìn)行比4交。在一個(gè)實(shí)施方式中，存儲(chǔ)在該協(xié)調(diào)代理的配方 可包4舌存〗諸在多個(gè)智能^理中的配方。然而，該協(xié)調(diào)4戈理可以不詳 細(xì)地存儲(chǔ)在每一個(gè)智能代理中的全部配方。相反，該協(xié)調(diào)代理可以 只存儲(chǔ)一,J、部分，從而該協(xié)調(diào)代理能夠進(jìn)行高級(jí)別的綜合分析。在 一個(gè)實(shí)施例中，如果從智能代理214接收的預(yù)料的端點(diǎn)實(shí)際上是一 個(gè)端點(diǎn)，或者該協(xié)調(diào)代理需要請(qǐng)求更多數(shù)據(jù)時(shí)，該協(xié)調(diào)代理可存儲(chǔ) 足夠的配方以十辦助該十辦調(diào)代i理估文出決定。與現(xiàn)有4支術(shù)不同，該處理才莫塊不負(fù)責(zé)^^測該^:據(jù)以識(shí)別 端點(diǎn)和/或進(jìn)行缺陷4企測。相反，該任務(wù)可以在多個(gè)代理間進(jìn)行分配， 其中該多個(gè)代理能夠根據(jù)在本地存儲(chǔ)的配方分析該數(shù)據(jù)以確定端 點(diǎn)/缺陷;險(xiǎn)測數(shù)據(jù)。如前，通過分配用于識(shí)別端點(diǎn)和/或4丸行缺陷才企 測的智能，在許多不同代理間分配工作量。而且，網(wǎng)絡(luò)上的數(shù)據(jù)通 信擁塞可以顯著減少，因?yàn)樵摱鄠€(gè)智能代理能夠比單一處理才莫塊處置更大量的凄史據(jù)。因此，可以存在更加穩(wěn)定的網(wǎng)絡(luò)環(huán)境而該處理才莫 塊可以專注于進(jìn)4于工藝控制的任務(wù)。圖6顯示了，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，描繪協(xié)調(diào)代理 (coordinating agent)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析的各步驟的簡化流程圖。在第一個(gè)步-驟602中，協(xié)調(diào)代理可4妄收來自多個(gè)智能^理 的凄t悟。在一個(gè)實(shí)施方式中，；波上傳到該協(xié)調(diào)^理的凄t才居可以是摘 要化數(shù)據(jù)，比如端點(diǎn)、缺陷檢測數(shù)據(jù)等。在下一個(gè)步驟604中，該協(xié)調(diào)代理可以決定是否要求扭J亍 一個(gè)動(dòng)作。在一個(gè)實(shí)施方式中，根據(jù)在該協(xié)調(diào)代理本地存儲(chǔ)的配方， 該協(xié)調(diào)代理可以產(chǎn)生輸出。在一個(gè)實(shí)施例中，協(xié)調(diào)代理246可以分 析由該多個(gè)智能代理發(fā)送的凄t據(jù)以確定是否實(shí)際上識(shí)別出了 一個(gè) 或多個(gè)端點(diǎn)。在另一個(gè)實(shí)施例中，協(xié)調(diào)代理246可以根據(jù)在本地存 儲(chǔ)的配方對(duì)該數(shù)據(jù)進(jìn)行進(jìn)一步的分析以產(chǎn)生組合識(shí)別標(biāo)志。如果要求執(zhí)行一個(gè)動(dòng)作，在下一個(gè)步驟606中，該協(xié)調(diào)代 理可以執(zhí)行該動(dòng)作。在一個(gè)實(shí)施例中，如果已經(jīng)識(shí)別出了一個(gè)端點(diǎn)， 該十辦調(diào)4<5里必須要4丸4亍一個(gè)或多個(gè)動(dòng)4乍。例3口，該十辦調(diào)^理必須通 知該處理模塊有關(guān)該端點(diǎn)的信息。在另一個(gè)實(shí)施例中，該組合識(shí)別 標(biāo)志表明存在問題而且該處理才莫塊必須停止運(yùn)4爭。在一個(gè)實(shí)施方式 中，如果該動(dòng)作不是關(guān)鍵(critical)的，該協(xié)調(diào)代理可以通過相應(yīng) 的智能代理通知該處理才莫塊。然而，如果該動(dòng)作4艮關(guān)4定，該協(xié)調(diào)代 理可以直4姿通過專用信道(比如專用信道240)通知該處理4莫塊。3o果沒有要求扭J于一個(gè)動(dòng)作，該妨、調(diào)代J里可以退回步-驟 602以繼續(xù)*接收來自該多個(gè)智能^理的lt據(jù)。
因?yàn)樵搮f(xié)調(diào)代理接收的數(shù)據(jù)是由該傳感器發(fā)送的數(shù)據(jù)的 摘要，該協(xié)調(diào)代理不會(huì)纟皮大量不需要由該協(xié)調(diào)代理進(jìn)行數(shù)據(jù)分沖斤的 凄史據(jù)淹沒。相應(yīng)地，該協(xié)調(diào)^理能夠快速地進(jìn)^f于數(shù)據(jù)分一斤并能夠方 l更地對(duì)任何請(qǐng)求和/或識(shí)別出的潛在問題做出響應(yīng)。因此，該協(xié)調(diào)代 理能夠,人該處理纟莫塊卸下一些4壬務(wù)，比如協(xié)調(diào)和IW居分一斤。圖7顯示了，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，描繪經(jīng)由臨時(shí) 代理將配方在RACCM的不同實(shí)體間分配的簡化流程圖。在第一個(gè)步驟702中，將配方裝載到該處理才莫塊上?？紤] 這種情況，例:V,其中配方已經(jīng)^皮改變。在;見有4支術(shù)中，配方的 文 變要求在不同元件(例如，在一個(gè)或多個(gè)傳感器中、在該處理才莫塊 中等)分別更新該改變。與現(xiàn)有才支術(shù)不同，該改變是在一個(gè)集中的 位置更新的，然后將更新過的配方上傳到該處理纟莫塊。在下一個(gè)步驟704中，該處理模塊可將該配方上傳到臨時(shí) 代理。在一個(gè)實(shí)施方式中，處理模塊202可以將修改過的配方上傳 到相應(yīng)的智能^理。在一個(gè)實(shí)施例中，處理沖莫塊202可以將該配方 上傳到智能代理222。 一旦接收到該配方之后，智能代理222可以將 該配方轉(zhuǎn)送到臨時(shí)代理248。在一個(gè)實(shí)施例中，智能代理222可以將 修改過的配方沿著路徑242發(fā)送到臨時(shí)代理248。在下一個(gè)步驟706中，該臨時(shí)代理可以在該RACCM中的 各種不同代理之間分配該配方。在一個(gè)實(shí)施方式中，可以根據(jù)各代 理(智能代理/協(xié)調(diào)代理)和該元件之間的關(guān)系分配該配方。在一個(gè) 實(shí)施例中，智能代理222與處理模塊202關(guān)聯(lián)。相應(yīng)地，智能代理222 可以只接收處理模塊202要求的那部分配方。通過由該RACCM存4諸和管理該配方，可以快速地進(jìn)4亍配 方的更新。與現(xiàn)有技術(shù)不同，該配方更新一次，由此最小化出現(xiàn)人為誤差的風(fēng)險(xiǎn)。而且，分配該配方的任務(wù)可以自動(dòng)化，由此減少更 新沒有在其中一個(gè)元件上扭j亍的可能性。實(shí)際上，不再要求將該配 方分配到該各種元件，因?yàn)樵撆浞酱嬖谟谠撝悄艽碇校撝悄?戈 理向該元件^是供該配置要求。通過將該配方在該RACCM中的多個(gè)^理間分配，需要進(jìn) 行數(shù)據(jù)操作和數(shù)據(jù)分析的不同實(shí)體都可以取得該配方。在一個(gè)實(shí)施 例中，智能代理222在進(jìn)行數(shù)據(jù)分析。然而，為了進(jìn)行精確的分析， 智能代理222可能需要訪問存儲(chǔ)在智能代理214中的配方。因?yàn)樵撆?方是存儲(chǔ)在該RACCM本地的，智能代理222很容易與智能代理214 通信以取得所需的配方。圖8顯示了，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，描《會(huì)用智能代i 理關(guān)聯(lián)元件的各步驟的簡單流程圖。在第一個(gè)步驟802中，元件附裝于處理系統(tǒng)?？紤]這種情 況，例如，其中一個(gè)新的傳感器被附裝于處理系統(tǒng)。在一個(gè)實(shí)施方 式中，當(dāng)該傳感器第一次連接到RACCM時(shí)，它會(huì)宣布它的存在。 可以通過至少三個(gè)不同的方法使該RACCM得知該新的傳感器的存在。在下一個(gè)步驟804中，該方法決定該元件是否通知該 RACCM。在一個(gè)實(shí)施方式中，元件可以向該RACCM發(fā)送報(bào)告數(shù)據(jù) 包。在一個(gè)實(shí)施例中，傳感器210可以向RACCM 212發(fā)送報(bào)告凄t據(jù)
包。該才艮告數(shù)據(jù)包可包括關(guān)于該傳感器的資料數(shù)據(jù)。在下一個(gè)步驟808中，該RACCM可激活一個(gè)智能代理。 一旦接收到該報(bào)告數(shù)據(jù)包之后，RACCM 212可分析該報(bào)告數(shù)據(jù)包以 識(shí)別出想要開始通4言的傳感器。在一個(gè)實(shí)施方式中，RACCM可包 括多個(gè)智能代理，即便該多個(gè)智能代理中的 一個(gè)或多個(gè)可以保持不活動(dòng)(inactive )。在一個(gè)實(shí)施例中，RACCM可包括100個(gè)智能代J里， 每一個(gè)智能代理都是不活動(dòng)的，直到一個(gè)傳感器纟皮連接到該 RACCM。在一個(gè)實(shí)施方式中，該RACCM可以激活一個(gè)智能^^理并 將那個(gè)智能代理與發(fā)出請(qǐng)求的傳感器關(guān)聯(lián)。在一個(gè)實(shí)施方式中，可
以在啟動(dòng)時(shí)將該智能代理類裝載入RACCM。當(dāng) 一個(gè)傳感器第 一次 宣布它的存在時(shí)，該RACCM會(huì)/人該關(guān)聯(lián)的智能代理類實(shí)例化一個(gè) 智能代理對(duì)象。 一旦該智能代理對(duì)象被實(shí)例化，該智能代理可以初 始化到該目標(biāo)傳感器的通信序列。在一個(gè)實(shí)施例中，智能代理214保持不活動(dòng)，直到RACCM 212將智能4<理214指定癥合傳感器210。在一個(gè)實(shí)施方式中， 一旦智 能4戈理一皮激活之后，臨時(shí)^理可以發(fā)送與該新的傳感器有關(guān)的配 方。在一個(gè)實(shí)施例中，傳感器210已經(jīng)被添加到該處理系統(tǒng)。大和無 在同一時(shí)間內(nèi)，該配方已經(jīng),皮^f奮改以負(fù)責(zé)(account for)傳感器210 將要收集數(shù)據(jù)的新的參數(shù)。該修改過的配方被裝載到臨時(shí)代理248 上，然后該臨時(shí)代理將涉及傳感器210的那部分配方分配到智能代 理214。在下一個(gè)步驟810中，該智能代理可以向該元件發(fā)送配置 要求。在一個(gè)實(shí)施例中， 一旦智能^理2K敫活之后，智能代J里可 以進(jìn)行向傳感器210發(fā)送配置要求(例如時(shí)間域、數(shù)據(jù)流條件等)。 因?yàn)樵撝悄艽硪呀?jīng)4皮預(yù)裝載入該RACCM，傳感器就具有即插即 用能力，當(dāng)該傳感器連4妄到該處理系統(tǒng)時(shí)，該傳感器可以幾乎立即 被激活。回頭參考步驟804,如果該元件不能夠向該RACCM自動(dòng) 宣布它的存在，那么在下一個(gè)步驟806中，人類用戶可以通知該 RACCM。在一個(gè)實(shí)施例中，技術(shù)人員將傳感器210連接到處理系統(tǒng)。
在下一個(gè)步驟808中，該RACCM可以激活一個(gè)智能代J里。 在一個(gè)實(shí)施例中，該技術(shù)人員可以將可與該傳感器通信的智能代理 下載到RACCM 212上以使得RACCM 212能夠與傳感器210通信。在 一個(gè)實(shí)施例中，智能代理214可以-波下載到RACCM212。換句話i兌， 如果該元件不能夠自動(dòng)向該RACCM宣布它的存在的話，技術(shù)人員 可以手動(dòng)乂人相關(guān)的智能代理類實(shí)例化一個(gè)智能4戈理對(duì)象。 一旦該智 能^理對(duì)象實(shí)例化后，它會(huì)初始化到目標(biāo)傳感器的通信序列。與上面類似(步驟810)， 一旦該智能代理214激活之后， 智能代理可以進(jìn)行向傳感器210發(fā)送配置要求(例如，時(shí)間域、邀: 據(jù)流條件等)。有利地，通過只維持活動(dòng)的智能代理，可以將該 RACCM的存儲(chǔ)要求最小化。回頭參考步驟806，如果不進(jìn)行人工干預(yù)，那么在下一 個(gè)步驟812中，該RACCM可以進(jìn)4亍自我發(fā)現(xiàn)(self-discovery )?？紤] 這種情況，例如，其中新的傳感器已經(jīng)連4妄到該處理系統(tǒng)。然而， 該傳感器沒有發(fā)送自我報(bào)告數(shù)據(jù)包的能力，而且也沒有發(fā)生人工干 預(yù)。在一個(gè)實(shí)施例中，傳感器210已經(jīng)被添加到該處理系統(tǒng)。然而， 傳感器210沒有辦法向RACCM212宣布它的存在。在一個(gè)實(shí)施方式中，該RACCM可具有自我發(fā)現(xiàn)特't"生， 其可偵:得該RACCM能夠定期^r查該處理系統(tǒng)以確定是否發(fā)生了變 (例如，新的4專感器、只于該處理系統(tǒng)的改變等)。在另一個(gè)實(shí)施 方式中，該自我發(fā)現(xiàn)特性可包4舌中斷事件，當(dāng)出現(xiàn)乂于該處理系統(tǒng)的 改變時(shí)利用中斷事件通知該RACCM。 一旦該RACCM確定新的傳感 器已經(jīng)一皮添加到該處理系統(tǒng)，該RACCM可以與該新的傳感器建立 通4言以耳又4尋該4專感器的資沖+ ( profile the sensor )。在下一個(gè)步驟808中， 一旦進(jìn)行完取得資料(profiling) 之后，該RACCM可以激活一個(gè)智能代理，其可以與該新的傳感器通信。在一個(gè)實(shí)施方式中，該智能代理可以已經(jīng)存在于該RACCM 中。在另一個(gè)實(shí)施方式中，該RACCM必須下載該智能^理。有了 自我發(fā)現(xiàn)，該RACCM就有了處置不同類型傳感器(例如自我才艮告
傳感器、非自我報(bào)告?zhèn)鞲衅鞯?的通用性。從上文可以看出，本發(fā)明的實(shí)施方式大體上減少了該處 理才莫塊的數(shù)據(jù)管理的重?fù)?dān)。通過使用RACCM,創(chuàng)建了一種結(jié)構(gòu)布 置，其中該處理才莫塊看起來但J又成為另一個(gè)元件，其可以受益于該 RACCM的功能。有了該RACCM，網(wǎng)絡(luò)中的延遲和數(shù)據(jù)通信擁塞一皮 顯著減少，因?yàn)閿?shù)據(jù)管理在不同代理與元件間進(jìn)行了分配。而且， 可以進(jìn)行更全面的數(shù)據(jù)分析，因?yàn)閿?shù)據(jù)和/或配方在各代理間是共享 的。通過將該處理才莫塊從耗時(shí)而復(fù)雜的數(shù)據(jù)管理任務(wù)中解放出來， 工藝控制和凄t據(jù)管理的4壬務(wù)不再為了相同的資源而4皮此竟?fàn)帯１M管本發(fā)明是依據(jù)幾個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式描述的，然而有落 入本發(fā)明范圍的變更、置換和等同。盡管此處提供了各種實(shí)施例， 這些實(shí)施例意在對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說明而非限制。而且，此處提供的名稱和發(fā)明內(nèi)容是為了方i"更，不應(yīng)當(dāng) 被用于解釋此權(quán)利要求的范圍。而且，發(fā)明內(nèi)容是以高度簡略的形 式寫成的，在這里提供是為了方便，因此不應(yīng)被用于解釋或限制整 個(gè)發(fā)明，該發(fā)明用權(quán)利要求來表述。如果此處使用了術(shù)語"組"， 這種術(shù)語意在具有其通常理解的數(shù)學(xué)含義，涵蓋零、 一或一個(gè)以上 成員。應(yīng)當(dāng)注意，有許多實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的方法和裝置的替代方式。因 此，所附權(quán)利要求的范圍意在被解讀為包括所有這些落入本發(fā)明的 真實(shí)精神和范圍的變更、置換和等同。
權(quán)利要求
1.一種配方和元件控制模塊(RACCM)，所述RACCM是用于進(jìn)行具有多個(gè)元件的等離子體處理系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)管理的服務(wù)器，所述RACCM包含多個(gè)智能代理，所述多個(gè)智能代理中的每個(gè)智能代理被配置為與所述多個(gè)元件的每個(gè)元件互相作用；以及協(xié)調(diào)代理，所述協(xié)調(diào)代理被配置為接收來自所述多個(gè)智能代理的處理過的數(shù)據(jù)。
2. 根據(jù)斥又利要求1所述的RACCM,進(jìn)一步包括一組臨時(shí)^理， 所述組臨時(shí)代理被配置為進(jìn)行配方管理，所述配方管理包括將 配方的至少部分分配到所述多個(gè)智能 理中的至少一個(gè)和所 述協(xié)調(diào)代理。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的RACCM,其中所述多個(gè)智能代理的所 述每個(gè)智能代理包括限定對(duì)所述多個(gè)元件的所述每個(gè)元件的 配置要求的智能，所述配置要求包括向所述多個(gè)智能 理的所 述每個(gè)代理發(fā)送數(shù)據(jù)文件的標(biāo)準(zhǔn)，所述標(biāo)準(zhǔn)是基于存儲(chǔ)在所述 多個(gè)智能代理的所述每個(gè)智能代理本地的所述配方的所述部 分的。
4. 纟艮據(jù)權(quán)利要求3所述的RACCM，其中所述多個(gè)元件在向所述 多個(gè)智化7白B匕'述數(shù)據(jù)文件進(jìn)行預(yù)處理,
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的RACCM，其中所述多個(gè)智能代理的所 述每個(gè)智能代理包括緩存，所述緩存^^皮配置為至少存儲(chǔ)最新的 數(shù)據(jù)文件以使數(shù)據(jù)能夠鎖存。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的RACCM，其中所述多個(gè)智能代理的所 述每個(gè)智能代理進(jìn)行所述數(shù)據(jù)文件的數(shù)據(jù)分析以生成識(shí)別標(biāo) 志數(shù)據(jù)，所述識(shí)別標(biāo)志數(shù)據(jù)是所述數(shù)據(jù)文件的摘要化數(shù)才居。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的RACCM，其中所述協(xié)調(diào)4戈理^皮配置為 接收來自所述多個(gè)智能代理的每個(gè)智能代理的所述識(shí)別標(biāo)志 凄t據(jù)，所述協(xié)調(diào)代理進(jìn)朽售t據(jù)分析以生成組合識(shí)別標(biāo)志。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的RACCM，其中所述協(xié)調(diào)代理包括才艮據(jù) 所述組合識(shí)別標(biāo)志向所述多個(gè)元件提供指令的智能。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的RACCM，其中所述多個(gè)元件包括處理 模塊、傳感器和度量工具中的至少一個(gè)。
10. 才艮據(jù)4又利要求1所述的RACCM,其中所述RACCM包括寺丸行 自我發(fā)現(xiàn)以識(shí)別對(duì)所述等離子體處理系統(tǒng)的改變的智能，所述 自我發(fā)現(xiàn)包括當(dāng)所述多個(gè)元件中的元件被連接到所述等離子 體處理系統(tǒng)中時(shí)進(jìn)行識(shí)別。
11 所述計(jì)算機(jī)可讀代碼一皮配置為進(jìn)行等離子體處理系統(tǒng)的凄t據(jù) 管理，包含用于提供配方和元件控制模塊(RACCM)的代碼，所述 RACCM是服務(wù)器，其中所述RACCM包括多個(gè)智能代理，所述多個(gè)智能代理中的每個(gè)智能代 理-故配置為與所述多個(gè)元件的每個(gè)元件互相作用，以及協(xié)調(diào)^理，所述協(xié)調(diào)代理^皮配置為4妻^L來自所述多 個(gè)智能代理的處理過的數(shù)據(jù)。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制造品，其中所述RACCM包括一組 臨時(shí)代理，所述組臨時(shí)代理被配置為包括用于進(jìn)行配方管理的 代碼，所述配方管理包括用于將配方的至少部分分配到所述多 個(gè)智能代理中的至少一個(gè)和所述協(xié)調(diào)代理的代碼。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的制造品，其中所述多個(gè)智能代理的所 述每個(gè)智能代理包括用于包含限定對(duì)所述多個(gè)元件的所述每 個(gè)元件的配置要求的 碼的智能，所述配置要求包4舌向所述多 個(gè)智能代理的所述每個(gè)代理發(fā)送數(shù)據(jù)文件的標(biāo)準(zhǔn)，所述標(biāo)準(zhǔn)是 基于存儲(chǔ)在所述多個(gè)智能代理的所述每個(gè)智能^f戈理本地的所 述配方的所述部分的。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的制造品，其中所述多個(gè)智能代理的所 述每個(gè)智能代理包括緩存，所述緩存,皮配置為包括用于至少保 存最新的數(shù)據(jù)文件以使得數(shù)據(jù)能夠鎖存的代碼。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的制造品，其中所述多個(gè)智能代理的所別標(biāo)志數(shù)據(jù)的代碼，所述識(shí)別標(biāo)志數(shù)據(jù)是所述數(shù)據(jù)文件的摘要 化數(shù)據(jù)。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的制造品，其中所述協(xié)調(diào)^理被配置為 包括用于接收來自所述多個(gè)智能代理的每個(gè)智能代理的識(shí)別 標(biāo)志數(shù)據(jù)的代碼，所述識(shí)別標(biāo)志數(shù)據(jù)是所述數(shù)據(jù)文件的摘要化數(shù)據(jù)。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的制造品，其中所述協(xié)調(diào)代理包括進(jìn)行 數(shù)據(jù)分析以產(chǎn)生組合識(shí)別標(biāo)志的智能，所述協(xié)調(diào)^理包4舌用于 使用所述識(shí)別標(biāo)志數(shù)據(jù)向所述多個(gè)元件提供指令的代碼。
18. 才艮據(jù)權(quán)利要求11所述的制造品，其中所述RACCM包4舌4丸行 自我發(fā)現(xiàn)以識(shí)別對(duì)所述等離子體處理系統(tǒng)的改變的智能，所述 自我發(fā)現(xiàn)包括用于當(dāng)所述多< 個(gè)元件中的元件被連接到所述等 離子體處理系統(tǒng)中時(shí)進(jìn)行識(shí)別的代碼。
19. 一種進(jìn)行等離子體處理系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)管理的由計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的 方法5 包括二提供配方和元件控制模塊(RACCM),所述RACCM是 月良務(wù)器，其中所述RACCM包括多個(gè)智能代理，所述多個(gè)智能代理中的每個(gè)智能代 理,皮配置為與所述多個(gè)元件的每個(gè)元件互相作用，協(xié)調(diào)代理，所述協(xié)調(diào)代理4皮配置為4妄收來自所述多 個(gè)智能代理的處理過的數(shù)據(jù)，以及一組臨時(shí)代理，所述組臨時(shí)代理;陂配置為進(jìn)4于配方 管理，所述配方管理包4舌將配方的至少部分分配到所述多個(gè)智 能^理中的至少一個(gè)和所述協(xié)調(diào)^理。
20. 根據(jù)權(quán)利要求19所述的由計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的方法，其中所述多個(gè) 智能〗<理的所述每個(gè)智能 理包括限定對(duì)所述多個(gè)元件的所 述每個(gè)元件的配置要求的智能，所述配置要求包4舌向所述多個(gè) 智能代理的所述每個(gè)代理發(fā)送數(shù)據(jù)文件的標(biāo)準(zhǔn)，所述標(biāo)準(zhǔn)是基 于存儲(chǔ)在所述多個(gè)智能代理的所述每個(gè)智能代理本地的所述 配方的所述部分的。
21. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的由計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的方法，其中所述多個(gè) 智能代理的所述每個(gè)智能代理包括緩存，所述緩存被配置為包 括用于至少保存最新的數(shù)據(jù)文件以使得數(shù)據(jù)能夠鎖存的代碼。
22. 根據(jù)權(quán)利要求21所述的由計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的方法，其中所述多水4口 6匕 S 3匕'分析以產(chǎn)生識(shí)別標(biāo)志數(shù)據(jù)的代碼，所述識(shí)別標(biāo)志數(shù)據(jù)是所述數(shù) 據(jù)文件的摘要化數(shù)據(jù)。
23. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的由計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的方法，其中所述協(xié)調(diào) 代理一皮配置為包括用于接收來自所述多個(gè)智能代理的每個(gè)智 能代理的識(shí)別標(biāo)志數(shù)據(jù)的代碼，所述識(shí)別標(biāo)志數(shù)據(jù)是所述^t據(jù) 文件的摘要化數(shù)據(jù)。
24. 根據(jù)權(quán)利要求23所述的由計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的方法，其中所述協(xié)調(diào) 代理包括進(jìn)行數(shù)據(jù)分析以產(chǎn)生組合識(shí)別標(biāo)志的智能，所述協(xié)調(diào) 代理包括用于4吏用所述識(shí)別標(biāo)志數(shù)據(jù)向所述多個(gè)元件才是供指 令的代碼。
25. 才艮據(jù)斥又利要求24所述的由計(jì)算4幾實(shí)現(xiàn)的方法，其中所述 RACCM包括執(zhí)行自我發(fā)現(xiàn)以識(shí)別對(duì)所述等離子體處理系統(tǒng) 的改變的智能，所述自我發(fā)現(xiàn)包括用于當(dāng)所述多個(gè)元件中的元 件4皮連4妄到所述等離子體處理系統(tǒng)中時(shí)進(jìn)行識(shí)別的代碼。
26. 才艮據(jù)斥又利要求19所述的由計(jì)算才幾實(shí)現(xiàn)的方法，其中所述 RACCM包括執(zhí)行自我發(fā)現(xiàn)以識(shí)別對(duì)所述等離子體處理系統(tǒng) 的改變的智能，所述自我發(fā)現(xiàn)包括用于當(dāng)所述多個(gè)元件中的元 件^皮連接到所述等離子體處理系統(tǒng)中時(shí)進(jìn)行識(shí)別的代碼。
全文摘要
提供一種配方和元件控制模塊(RACCM)。該RACCM是用于進(jìn)行具有多個(gè)元件的等離子體處理系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)管理的服務(wù)器。該RACCM包括多個(gè)智能代理。該多個(gè)智能代理中的每個(gè)智能代理被配置為與該多個(gè)元件的每個(gè)元件互相作用。該RACCM還包括協(xié)調(diào)代理，該協(xié)調(diào)代理被配置為接收來自該多個(gè)智能代理的處理過的數(shù)據(jù)。
文檔編號(hào)H01L21/3065GK101652838SQ200880010750
公開日2010年2月17日 申請(qǐng)日期2008年3月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月29日
發(fā)明者安德魯·呂, 黃忠河 申請(qǐng)人:朗姆研究公司