專利名稱：：有機(jī)el面板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及具有發(fā)光區(qū)域和劃分該發(fā)光區(qū)域的不發(fā)光區(qū)域、且該不發(fā)光區(qū)域至少表面由有機(jī)材料形成的有機(jī)EL面板及其制造方法。
背景技術(shù)：
：近年，有機(jī)EL面板已經(jīng)被廣泛地應(yīng)用，其在J41上形成作為薄型自發(fā)光元件的有機(jī)EL(電致發(fā)光)元件。有機(jī)EL元件，是由在^L相反側(cè)形成的陽極和其相反側(cè)形成的陰極2個電極夾著包含了發(fā)光層的有機(jī)層，在該電極間流過規(guī)定的電流，M光層射出要求亮度光的元件。因此，發(fā)光的亮度依賴于流過的電流。另外，由于陽極和陰極的重疊部分中的發(fā)光層發(fā)光，在^M目反側(cè)射出光的頂部發(fā)光結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL元件是能增大陽極面積的結(jié)構(gòu)，因此經(jīng)常被釆用。那么，在頂部發(fā)光結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL元件中，相對于發(fā)光層位于射出方向側(cè)、在發(fā)光區(qū)域整體上形成作為通用電極的陰極，需要采用具有透光性的透明電極。以往作為被作為透明電極使用的材料，有銦錫氧化物(ITO)和銦鋅氧化物(IZO)等?？墒?，這些材料由于電阻率比金和鋁之類的金屬大，陰極的電位不能在整個顯示面上達(dá)到等電位，導(dǎo)致流經(jīng)有機(jī)EL元件的電流產(chǎn)生差異。因此，導(dǎo)致發(fā)出的光不是要求的亮度而導(dǎo)致亮度不均。另外，即使由電阻率小的金屬膜形成陰極，為了增大光透過率，需要將膜厚做得極薄(例如，5~50nm)，其結(jié)果，同樣使電阻增高，導(dǎo)致亮度不均。因此，專利文獻(xiàn)l公開了在整個發(fā)光區(qū)域中，減少陰極電位差的技術(shù)。專利文獻(xiàn)1是采取在陽極間形成電阻低的輔助布線，去除在輔助布線上形成的有機(jī)材料，使輔助布線和陰極電連接來抑制陰極上產(chǎn)生的電位差的。專利文獻(xiàn)1:日本特開2007-73323號>^才艮由此可知在專利文獻(xiàn)1中，如果輔助布線，也與陰極同樣相對于有機(jī)材料的層在^L側(cè)相反側(cè)形成，則不必去除有機(jī)材料，簡化制造工序?？墒牵o助布線為了降低電阻，多由電阻率小的金屬等無機(jī)材料形成，因此，存在與有機(jī)材料之間的粘接性差這樣的課題。例如，作為輔助布線的4材料，電阻率小的鋁、銅和金比較適宜，但是由于與有機(jī)材料的粘接性不足，導(dǎo)致形成的輔助布線由于熱量等而剝落。另外，在有機(jī)EL面板中，作為專利文獻(xiàn)l以外的結(jié)構(gòu)，是通過在陽極間形成由有機(jī)材料構(gòu)成的隔壁來劃分發(fā)光區(qū)域。這樣的情況下，也存在形成隔壁的有機(jī)材料與輔助布線之間的粘接性差的課題，由于熱量等導(dǎo)致形成的輔助布線從隔壁剝落。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而產(chǎn)生的，可以采用以下方式或者應(yīng)用例實現(xiàn)。(應(yīng)用例1)一種有機(jī)EL面板，具有發(fā)光區(qū)域和劃分該發(fā)光區(qū)域的不發(fā)光區(qū)域，該不發(fā)光區(qū)域至少表面由有機(jī)材料形成，該有機(jī)EL面板特征在于，具備中間層，其在上述不發(fā)光區(qū)域內(nèi)，在上述有機(jī)材料上形成；第1電極層，其在上述中間層上形成；第2電極層，其與上述第1電M電連接，并形成為至少覆蓋上逸義光區(qū)域；上述第l電極層，由具有比上述第2電極層小的電阻率的無機(jī)材料形成，上述中間層由無機(jī)材料形成，對于上述有機(jī)材料該無機(jī)材料具有比上述第1電極層高的粘接性。通過該結(jié)構(gòu)，由于將由電阻率小的無機(jī)材料形成的第1電M配置在發(fā)光區(qū)域外的不發(fā)光區(qū)域，因此不會遮^JL出的光，能夠抑制在發(fā)光區(qū)域的第2電極層中產(chǎn)生的電位差。另外，通過介入中間層，能夠提高第l電極層和有機(jī)材料的粘接性。因此，可以提供抑制發(fā)光區(qū)域中發(fā)光的亮度差，并且在不發(fā)光區(qū)域形成的第1電極層難以剝落的可靠性高的有機(jī)EL面板。(應(yīng)用例2)上述有機(jī)EL面板，其特征在于，上述中間層由多層無機(jī)材料層形成。通過該結(jié)構(gòu)，由于用多層無機(jī)材料層形成中間層，對于第1電極層和有機(jī)材料兩者，能夠提高分別形成粘接性好的中間層的概率。因此，可以提供抑制發(fā)光的亮度差并且不發(fā)光區(qū)域形成的第1電M更難以剝落的可靠性高的有機(jī)EL面板。(應(yīng)用例3)上述有機(jī)EL面板，其特征在于，上述第2電極層由無機(jī)材料形成，形成上述中間層的無機(jī)材料至少1種是與形成上述第2電極層的無機(jī)材料相同的材料。通過該結(jié)構(gòu)，由于形成中間層時能夠同時形成第1電極層起到縮短制造工序這樣的效果。(應(yīng)用例4)是一種上述有機(jī)EL面板，其特征在于，形成上述中間層的無機(jī)材料為金屬材料或者合金材料。由于中間層中使用了金屬材料或者^r材料，提高了與第1電M的粘接性，同時在有機(jī)EL面板制造工序中，對于施加的熱量通過熱擴(kuò)散緩和熱應(yīng)力，能夠抑制中間層的剝落。因此，能夠提供可靠性高的有機(jī)EL面板。(應(yīng)用例5)上述有機(jī)EL面板，其特征在于，上述有機(jī)材料與構(gòu)成在上述發(fā)光區(qū)域所形成的有機(jī)EL元件的有機(jī)材料相同。通過該結(jié)構(gòu)，由于構(gòu)成有機(jī)EL元件的有機(jī)材料也能夠在不發(fā)光區(qū)域表面形成，也可以將有機(jī)EL元件的形成工序不作為只在發(fā)光區(qū)域形成的掩膜工序。因此，使有機(jī)EL元件的形成工序變得容易。(應(yīng)用例6)—種上述有機(jī)EL面板，其特征在于，上述第1電極層由多層膜構(gòu)成，上述多層膜中的1層膜是位于上述第2電極層之間具有高粘接性的材料.通過該結(jié)構(gòu)，將第1電極層作為多層，其中的1層膜在第2電極層之間由具有高粘接性的材料形成，能夠由第1電極層實現(xiàn)笫2電M之間的粘接性的提高和電阻率的降低兩者。(應(yīng)用例7)—種有機(jī)EL面板的制造方法，該有機(jī)EL面板具有發(fā)光區(qū)域和劃分該發(fā)光區(qū)域的不發(fā)光區(qū)域，該不發(fā)光區(qū)域至少表面由有機(jī)材料形成，該有機(jī)EL面板的制造方法特征在于，具備在上述不發(fā)光區(qū)域內(nèi)，在上述有機(jī)材料上形成中間層的工序；在上述中間層上形成第1電極層的工序；以及形成與上述第1電極層電連接且至少覆蓋上述發(fā)光區(qū)域的第2電極層的工序，上述第l電極層，由具有比上述笫2電極層小的電阻率的無機(jī)材料形成，上述中間層由無機(jī)材料形成，該無機(jī)材料對于上述有機(jī)材料具有比上述第1電極層高的粘接性。通過該方法，通過在發(fā)光區(qū)域外的不發(fā)光區(qū)域配置由電阻率小的無機(jī)材料形成的第l電極層，能夠不遮H光，而降^J^光區(qū)域中第2電極層產(chǎn)生的電位差。另外，插入中間層能夠提高第l電極層和有機(jī)材料的粘接性高。因此，可以提供抑制發(fā)光區(qū)域中的發(fā)光亮度差，并且在不發(fā)光區(qū)域形成的第1電極層難以剝落的可靠性高的有機(jī)EL面板。(應(yīng)用例8)—種有機(jī)EL面板的制造方法，該有機(jī)EL面板具有發(fā)光區(qū)域和劃分該發(fā)光區(qū)域的不發(fā)光區(qū)域，該不發(fā)光區(qū)域至少表面由有機(jī)材料形成，該有機(jī)EL面板的制造方法特征在于，具備在上述不發(fā)光區(qū)域內(nèi)，在上述有機(jī)材料上形成中間層的工序；以及在上述中間層上形成第1電極層的工序，形成上述中間層的工序包含形成與上述第1電極層電連接且至少覆蓋上逸&光區(qū)域的第2電極層的工序，上述笫1電極層由具有比上述第2電極層小的電阻率的無機(jī)材料形成，上述中間層由無機(jī)材料形成，該無機(jī)材料對于上述有機(jī)材料具有比上述第1電極層高的粘接性。通過該方法，插入中間層能夠提高由電阻率小的無機(jī)材料形成的第1電極層和有機(jī)材料的粘接性。并且，通過電連接配置在不發(fā)光區(qū)域的第1電極層和第2電M能夠降低第2電極層中產(chǎn)生的電位差。其結(jié)果，可以提供不必遮蔽發(fā)光，而抑制發(fā)光區(qū)域中的發(fā)光亮度差，并且在不發(fā)光區(qū)域形成的第1電極層難以剝落可靠性高的有機(jī)EL面板。另外，由于在中間層的形成的同時形成笫2電極層，產(chǎn)生縮短制造工序這樣的效果。圖1是與電路結(jié)構(gòu)一起表示有機(jī)EL面板整體布置圖的示意圖。圖2(a)是示意地表示有機(jī)EL面板中RGB的各像素的結(jié)構(gòu)的俯視圖，(b)是其示意剖面圖。圖3是表示在平面上與陽極不重疊的位置形成的輔助陰極的示意俯視圖。圖4是表示第1實施例的輔助陰極形成情況的有機(jī)EL面板的結(jié)構(gòu)示意圖.圖5是(a)~(d)是說明第l實施例中的中間層和輔助陰極形成方法的說明圖。圖6是表示第2實施例的輔助陰極形成情況的有機(jī)EL面板的結(jié)構(gòu)示意圖。圖7(a)~(d)另j兌明第2實施例中的中間層和輔助陰極形成方法的"i兌明圖。圖8另_表示第1變形例的有機(jī)EL面板結(jié)構(gòu)的示意圖。圖9是表示第2變形例的有機(jī)EL面板結(jié)構(gòu)的示意圖。圖中符號說明IO-基板，11-掃描驅(qū)動電路，12-數(shù)據(jù)驅(qū)動電路，13-供電端子，14、15-TFT,16-保持電容，20-器件層，IOO-有機(jī)EL面板，110-反射層，120-絕緣層，130-陽極，140-有機(jī)EL元件，150-中間層，160-輔助陰極，170-陰極。具體實施例方式首先，在說明本發(fā)明的實施例之前，使用圖1和圖2對其顯示原理以及面板結(jié)構(gòu)，作為應(yīng)用本發(fā)明實施例的一個方式的有機(jī)EL面板進(jìn)行簡單地說明。這是為了易于理解后面說明的實施例所收到的效果。圖1是與電路結(jié)構(gòu)一起表示有機(jī)EL面板100整體布置的示意圖。有(沒有圖示)。像素根據(jù)陽極130的排列，在^110上的規(guī)定區(qū)域內(nèi)，規(guī)則地正確排列在行方向(圖面橫向)和列方向(圖面縱向)上。并且，陽極130形狀也可以是矩形形狀以外的形狀。另外陽極130的排列，即像素的排列當(dāng)然也可以是不規(guī)則的。在本實施例中，為了以后的說明變得簡單，如圖l所示，假定有機(jī)EL面板100根據(jù)陽極130的排列在列方向(圖面縱方向)形成4像素，在行方向(圖面橫方向)上形成6像素，共計24個像素。當(dāng)然，實際上，當(dāng)然可以在行列每個方向上能夠形成數(shù)百像素~數(shù)千像素這樣大量的像素。另外，有機(jī)EL面板100是按每個像素進(jìn)行發(fā)光驅(qū)動的有源矩陣型裝置。即，在各像素中，形成有機(jī)EL元件和用于對有機(jī)EL元件進(jìn)行發(fā)光驅(qū)動的驅(qū)動元件。驅(qū)動元件，如圖1所示，由TFT(薄膜晶體管)14、15和保持電容16構(gòu)成。并且，假定有機(jī)EL面板100具有頂部發(fā)光的結(jié)構(gòu)。因此，驅(qū)動元件在平面上位于與成為發(fā)光區(qū)域的陽極130重疊的位置，相對于陽極130形成在^i4110—側(cè)，在基板10的端部，形成掃描驅(qū)動電路ll、數(shù)據(jù)驅(qū)動電路12和供電端子13。從掃描驅(qū)動電路11開始對于每個各像素中形成的驅(qū)動元件如圖所示布線掃描線Gate,從數(shù)據(jù)驅(qū)動電路12開始對于每個各像素中形成的驅(qū)動元件如圖所示布線數(shù)據(jù)線Sig，另外，從供電端子13開始對于每個各4象8素中形成的驅(qū)動元件如圖所示布線與其相連接的電源供給線Com,驅(qū)動有機(jī)EL元件發(fā)光。首先，掃描線Gate,與TFT14的柵^目連接，根據(jù)通過掃描線Gate供給的電流信號，對TFT14進(jìn)行ON/OFF控制。并且，在TFT14處于ON時，根據(jù)與TFT14的源糾目連接的數(shù)據(jù)線Sig所提供的圖像信號，通過由電源供給線Com提供的電源，使保持電容16保持規(guī)定的電壓。于是，保持電容16保持的電壓，被施加到TFT15的柵極上，TFT15處于ON狀態(tài)。TFT15的源極和漏極分別與電源供給線Com和陽極130相連接，通即與圖傳4t號相應(yīng)的電流。在各像素中形成的有機(jī)EL元件是通過電流流經(jīng)陽極130和在遍及所有像素(發(fā)光區(qū)域)表面形成的陰極170(圖中二點劃線)之間而發(fā)光。因此，通過使對陽極130施加的電流流向陰極170，^^發(fā)光區(qū)域以與圖《象信號對應(yīng)的亮度發(fā)光。并且，陰極170在外周端部被接地。下面，使用圖2對有機(jī)EL面板100中的具體的像素結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖2是表示與有機(jī)EL面板100上形成的RGB各像素相關(guān)的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖2(a)是表示在圖1所示的各像素中R像素、G像素、B像素的發(fā)光區(qū)域排列在行方向(圖面橫向)上的部分的俯視圖，圖2(b)是表示圖2(a)中A-A剖面的示意剖面圖。并且，各尺寸，由于才艮據(jù)i兌明情況的需要進(jìn)行了夸大，與實際尺寸未必一致。如圖2U)所示，通過由不發(fā)光區(qū)域(圖中陰影部分)劃分的發(fā)光區(qū)域形成各像素。發(fā)光區(qū)域，如上所述是陽極130的區(qū)域，呈大致矩形形狀。并且，在各像素的像素區(qū)域中，如圖2(b)所示，RGB的各色濾光器以規(guī)定的排列進(jìn)行排列的彩色濾光器，以重疊在各發(fā)光區(qū)域上的方式配置。彩色濾光器是在玻璃板上形成由遮光區(qū)域BM劃分的R濾光器、G濾光器、B濾光器的，從發(fā)光區(qū)域射出的白色光分別由該R濾光器、G濾光器、B濾光器而變換為R光、G光、B光.這樣，通過射出與各發(fā)光區(qū)域亮度相應(yīng)的顏色的光，分別形成R像素、G像素、B像素，有機(jī)EL面板IOO顯示彩色圖像.并且，由于是已經(jīng)周知的結(jié)構(gòu)，省略具體的說明，但彩色濾光器，相對于形成有機(jī)EL元件的基&10保持規(guī)定的間隔，并且在其外周部分，通9過樹脂等粘接密封。另外，根據(jù)需要形成防止氣體從各色濾光器或遮光區(qū)域BM流出的保護(hù)膜。并且，如上所述，有機(jī)EL面板100,通過使電流流經(jīng)由陽極130和陰極170夾著的有機(jī)EL元件140而發(fā)光。因此，陽極130和陰極170在平面上重疊的區(qū)域是電流流過的區(qū)域，發(fā)光區(qū)域為該區(qū)域。并且，這以外的區(qū)域為不發(fā)光區(qū)域。有機(jī)EL元件140,從陽極130側(cè)起按照空穴注入層、空穴輸送層、發(fā)光層和電子輸送層各功能層的順序?qū)盈B。各功能層，例如，由胺系有機(jī)材料等這樣的有機(jī)材料形成.另外，發(fā)光層，以層疊藍(lán)色發(fā)光功能層和黃色發(fā)光功能層從發(fā)光區(qū)域射出白色光的方式構(gòu)成。并且，對于構(gòu)成有機(jī)EL元件140的各功能層的形成有機(jī)材料，由于在上述專利文獻(xiàn)1等中公開了可以使用的材料，在這里省略詳細(xì)的說明。另外，由于有機(jī)EL面板100為頂部發(fā)光方式，為了使有機(jī)EL元件140發(fā)光光線從陰極170側(cè)射出，在與陽極130的^L10相對的一側(cè)，隔著絕緣層120形成反射層110。該絕緣層120是為了抑制電蝕等導(dǎo)致陽極130的劣化等目的而形成。當(dāng)然，陽極130兼作反射層110時，不需要形成反射層110(和絕緣層120)。例如Al適合作為反射層llO。作為陽極130，并不局限于ITO(銦錫氧化物)和IZO(銦鋅氧化物)之類具有透光性的材料，也可以使用氧化錫、金、銀和銅等沒有透光性的材料。當(dāng)然，陰極170，由ITO或IZO等具有透光性的材料形成。并且，即^^金屬材料，只要形成能夠薄到透光的程度，就可以作為陰極材料使用。可是，用于發(fā)光驅(qū)動有機(jī)EL元件140的驅(qū)動元件，如上所述，在平面上與陽極130重疊的位置形成。具體的說，如圖2(b)所示，在位于反射層110和基板10之間，整個表面被平坦化的器件層20的內(nèi)部，形成作為驅(qū)動元件的TFT14、15和保持電容16。并且，TFT15的漏極電極，通過在器件層20和絕緣層120中所形成的圖中沒有表示的通孔與陽極130連接。并且，對于器件層20，對于以后說明的實施例不是要點，省略其具體的說明。另外，在用于以后的說明的圖面中，作為包含在基板10中的部件處理。這樣，在基板10上形成器件層20、反射層IIO、陽極130、有機(jī)EL元件140和陰極170，通過電流流經(jīng)陽極130和遍及所有像素表面形成的陰極170之間，存在于陽極130區(qū)域的有機(jī)EL元件140發(fā)出白光。此時，由于形成的陰極170，如上所述需要具有透光性，不得不采用ITO和極薄的金屬膜這樣的電阻率大的電極層。其結(jié)果，在陰極170中，由于流向接地的外周端部的電流而產(chǎn)生一定的電位差，如果在陰極170中產(chǎn)生這樣電位差時，按照產(chǎn)生的電位差抑制從陽極130流向有機(jī)EL元件140的電流。于是，降低有機(jī)EL元件140的發(fā)光亮度，導(dǎo)致RGB各像素的亮度降低。因此，RGB各像素的亮度產(chǎn)生差異，導(dǎo)致不能正確地顯示彩色圖^>。因此，在本實施例中，為了抑制在陰極170中產(chǎn)生的電位差，在不發(fā)光區(qū)域形成由電阻率小的無機(jī)材料構(gòu)成的電^:作為輔助陰極，抑制陰極170中產(chǎn)生的電位差.即，如圖3所示，在分別存在于行方向和列方向上的方格狀不發(fā)光區(qū)域(粗的陰影部分)中，與陽極130位置不是在平面上重疊的位置形成輔助陰極160(細(xì)的陰影部分)，該輔助陰極160由電阻率小的無機(jī)材料構(gòu)成。并且，圖3中沒有表示，但輔助陰極160的端部是與陰極170的外周端部同樣接地的。這樣，由于輔助陰極160電阻降低，無論哪個位置都變?yōu)榻咏拥仉娢坏碾娢?。其結(jié)果，不會遮蔽從發(fā)光區(qū)域射出的光，使RGB各像素間的陰極170的電位差抑制為很小。并且，輔助陰極160，也可以只在行方向形成或只在列方向上形成。或者，不是在所有的l象素間(即所有發(fā)光區(qū)域間)的不發(fā)光區(qū)域中形成而是隔開規(guī)定的間隔形成等，只要根據(jù)陰極170中的電位差的發(fā)生狀態(tài)形成即可。那么，舉2個實施例對輔助陰極160形成進(jìn)行說明。以下依次使用圖4和圖5對第1實施例進(jìn)行說明，使用圖6和圖7對第2實施例進(jìn)^i兌明。并且，圖4和圖6，都是表示圖3中B-B剖面的示意圖。(第l實施例)圖4是表示第1實施例的輔助陰極160形成情況的圖，是有機(jī)EL面板100的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，在存在于相鄰的陽極130之間、絕緣層120上所形成的有機(jī)EL元件140上，在與陽極130平面不重疊的不發(fā)光區(qū)域形成中間層150，在其上面形成輔助陰極160。并且，陰極170在有機(jī)EL元件140和輔助陰極160上形成。相對于構(gòu)成有機(jī)EL元件140的有機(jī)材料，中間層150由具有粘接性比輔助陰極160高的無機(jī)材料形成。輔助陰極160由電阻率低的無M料形成，在本實施例使用鋁。當(dāng)然，也可以使用銅、金或銀。并且與由具有透光性的無機(jī)材料形成的陰極170電導(dǎo)通。在本實施例中，假定陰極170是由ITO形成的。這里，表1表示調(diào)查的可以采用作為中間層150材料的無機(jī)材料中，尤其是金屬材料和合金材料，與有機(jī)材料的粘接性的測試結(jié)果。測試方法，在試驗板上貼上透明膠帶(注冊商標(biāo))后進(jìn)行剝離，上述試驗板是在^L10上形成厚度150nm的有機(jī)EL元件140后，在其上側(cè)整個面上通過蒸鍍形成作為評^h對象的中間層，并且在其上側(cè)整個面形成厚度300nm的作為輔助陰極的鋁。然后，評價殘留的輔助陰極的面積相對于貼上的透明膠帶(注冊商標(biāo))面積的百分比(％)，百分比越大者粘接性越高。并且，在表1中，中間層的構(gòu)成為2層以上時，中間層材料欄記載的材料表示從左側(cè)依次在有機(jī)EL元件上形成該材料。另外，括弧內(nèi)的數(shù)字表示形成的膜的厚度。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>如表1所示，通過形成金屬材料或者合金材料的中間層，改善了粘接性。并且，對于所形成的中間層得到了2層比1層，3層比2層粘接性好的測試結(jié)果。另夕卜，測試結(jié)果顯示對于l層，Mg和Au對粘接性的改善效果低，但Cr和Ti得到比較的大的改善效果。并且，通常來說顯示出金屬化合物和金屬氧化物這樣的合金材料具有高的粘接性。即，對于粘接性的改善效果大的無機(jī)材料而言，LiF、Li02、MgAg合金和ITO粘接性高。當(dāng)然通過組合這些材料也可以得到很大的粘接性改善效果.因此，在本實施例中，作為中間層150，中所示的可采用材料中選擇實驗10的材料構(gòu)成。即，在圖4中，在有機(jī)EL元件140上，首先形成厚度10nm的MgAg膜(Ag含有重量比率10%)，在其上面，形成厚度100nm的ITO膜，形成中間層150。因此，輔助陰極160在ITO層上形成。這樣，在本實施例中，形成相對于有機(jī)EL元件140具有粘接性高的多層^T材料層的中間層150。其結(jié)果，隔著中間層150，能夠形成由原本相對于有機(jī)材料易于剝落的鋁形成的電阻低的輔助陰極160，不會從由有機(jī)材料形成的不發(fā)光區(qū)域剝落。并且，通過電連接由ITO形成的電阻高的陰極170和電阻低的輔助陰極160，能夠抑制各像素中的陰極170的電位差。因此，由于不會抑制電流從陽極130流向有機(jī)EL元件140，不會降低有機(jī)EL元件140的發(fā)光亮度，能夠根據(jù)RGB各像素的發(fā)光亮度正確顯示彩色圖4象。下面，使用圖5對本實施例中的中間層150和輔助陰極160的形成方法進(jìn)行說明。圖5(a)是在基tl10上形成的絕緣層120和陽極130上通過蒸鍍形成具有由上述的有機(jī)材料構(gòu)成的各功能層的有機(jī)EL元件140的狀態(tài)的剖面示意圖。接著，如圖5(b)所示，通過掩膜蒸鍍在位于相鄰的陽極130間的有機(jī)EL元件140上形成中間層150。中間層150如上所述由無機(jī)材料構(gòu)成的2個層構(gòu)成，首先，掩膜蒸鍍堆積含重量比率10。/。Ag的MgAg合金，形成膜厚10nm的MgAg層，作為第1層無機(jī)材料層。然后，接著使用同樣掩膜蒸鍍ITO在MgAg層上，蒸鍍形成膜厚100nm的ITO層，作為第2層無機(jī)材料層。接著，如圖5(c)所示，在形成的中間層150上，^使用在中間層150的形成中所使用的同樣掩膜蒸鍍鋁，形成厚度300nm的輔助陰極160。其結(jié)果，由于輔助陰極160正確地形成在中間層150上，因此不會出現(xiàn)在有機(jī)EL元件140上直接形成時所所產(chǎn)生的剝落，通過中間層150可靠地粘附在有機(jī)EL元件140上。接著，如圖5(d)所示，通過蒸鍍在輔助陰極160和有機(jī)EL元件140上形成陰極170。此時，由于陰極170被重疊蒸鍍在輔助陰極160上，獲得電導(dǎo)通。當(dāng)然，由于輔助陰極160和陰極170都是無機(jī)材料層，所以呈現(xiàn)良好的粘接性。并且，由于通過將金屬材料用于中間層150,蒸鍍工序時產(chǎn)生的熱量擴(kuò)散到陰極170整個面上進(jìn)行散熱的概率提高，通過緩和熱應(yīng)力能夠抑制中間層150的剝落。然后，如圖4所示，正確配置在像素位置的彩色濾光器被粘附固定在J4110的外周部分，完成有機(jī)EL面板IOO。(第2實施例)下面，對第2實施例進(jìn)行說明。在上述第1實施例中，形成中間層150和輔助陰極160之后，形成陰極170，而第2實施例是在形成中間層150時，同時形成陰極170，然后形成輔助陰極160的.圖6是表示第2實施例的輔助陰極160形成情況的圖，是有機(jī)EL面板100的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，在存在于相鄰的陽極130之間的有機(jī)EL元件140上形成中間層150，其上面形成陰極170。并且，在陰極170上的與中間層150平面重疊的位置上形成輔助陰極160。在本實施例中，陰極170是由規(guī)定的厚度的ITO膜形成的。另外，中間層150，與上述第l實施例同樣，是采用從上Wl中的可以采用材料中選擇實驗10的材料結(jié)構(gòu)而形成的。即，形成厚度10nm的MgAg膜(Ag含有重量比率10%)，在其上面形成厚度100nm的ITO膜。另外，輔助陰極160，由電阻率低的無機(jī)材料形成，這里，是形成厚度300nm的鋁。并且，與由作為具有透光性的無機(jī)材料的ITO形成的陰極170電導(dǎo)通。在本實施例中，在構(gòu)成中間層150的層中的1層和陰極170，由這樣的相同的無機(jī)材料ITO形成時，由于各層采用相同的膜厚，能夠同時形成這些層。即，陰極170的ITO膜的厚度，設(shè)定為與構(gòu)成中間層150的ITO膜的厚度相同的100nm。其結(jié)果，由于能夠在形成構(gòu)成中間層150的ITO膜的同時形成陰極170，與第l實施例相比，形成工序變短。這樣，在本實施例中，形成對于有機(jī)EL元件140粘接性高的中間層150時，同時形成陰極170。其結(jié)果，能夠通過中間層150將本來由相對于有機(jī)材料易于剝落的鋁形成的電阻低的輔助陰極160，難以剝落地形成在由有機(jī)材料形成的不發(fā)光區(qū)域上。并且，通過電連接由ITO形成的電阻高的陰極170和電阻低的輔助陰極160，能夠抑制各像素中陰極170的電位14差。因此，由于不能抑制從陽極130流向有機(jī)EL元件140的電流，所以不會降低有機(jī)EL元件140的發(fā)光亮度，能夠提供根據(jù)RGB的各像素發(fā)光亮度正確顯示彩色圖像的可靠性高的有機(jī)EL面板100。并且，在第2實施例中，構(gòu)成中間層150的ITO膜和形成陰極170的ITO膜為相同的1層膜層，但與構(gòu)成中間層150的MgAg膜在平面上重疊的部分為構(gòu)成中間層150的ITO。因此，在第2實施例中，輔助陰極160和陰極170通過構(gòu)成中間層150的ITO膜電連接。下面，使用圖7對本實施例中的中間層150和輔助陰極160的形成方法進(jìn)行說明。圖7(a)是表示在^10上形成的絕緣層120和陽極130上，通過蒸鍍形成具有由上述有機(jī)材料構(gòu)成的各功能層的有機(jī)EL元件140的狀態(tài)的剖面示意圖。接著，如圖7(b)所示，在位于相鄰的陽極130之間的有機(jī)EL元件140上，通過掩膜蒸鍍形成中間層150。中間層150，如上所述，由無機(jī)材料構(gòu)成的2個層結(jié)構(gòu)，首先，掩膜蒸鍍堆積包含10%重量成分Ag的Mg，形成膜厚10nm的MgAg層，作為第1層無機(jī)材料層。接著，如圖7(c)所示，在作為形成的中間層150中的第l層的MgAg層上和有機(jī)EL元件140上蒸鍍ITO，形成膜厚100nm的ITO層。通過該形成工序，同時形成中間層150的第2層無機(jī)材料層和陰極170。接著，如圖7(d)所示，采用與中間層150的笫l層的MgAg層形成中所采用的掩膜同樣的掩膜蒸鍍鋁，形成厚度300nm的輔助陰極160。其結(jié)果，由于輔助陰極160，能夠正確地形成在中間層150上，也不會出現(xiàn)在有機(jī)EL元件140直接形成時所產(chǎn)生的剝落，通過中間層150可靠地固定在有機(jī)EL元件140上。并且，與上述第1實施例同樣，通過將金屬材料用于中間層150，由于提高了將蒸鍍工序時產(chǎn)生的熱量擴(kuò)散到陰極170整個面散熱的概率，緩和了熱應(yīng)力，能夠抑制中間層150的剝落。另外，并且由于輔助陰極160采用2層膜，可以提高與陰極170的粘接性。具體的說，能夠通過在輔助陰極160下面形成30nm左右的MgAg膜的掩膜蒸鍍來實現(xiàn)。然后，如圖6所示，正確地配置在像素位置的彩色濾光器被粘接固定在基板10的外周部分，完成有機(jī)EL面板100。以上，使用2個實施例對本發(fā)明進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不局限于這樣的實施例，在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)，能夠以各種方式實施。以下舉變形例進(jìn)行i兌明。(第1變形例)上述實施例，假定有機(jī)EL元件發(fā)出的光為白色光，說明了通過彩色濾光器變換為RGB各色后射出的有機(jī)EL面板的實施情況，當(dāng)然并不局限于此。例如，有機(jī)EL元件，也可以由每個RGB中射出不同顏色光的有機(jī)EL面板來實施。使用圖8對該變形例進(jìn)行說明。圖8是表示本變形例有機(jī)EL面板結(jié)構(gòu)的示意圖。如圖所示，在M10上形成的陽極130的周圍，形成至少表面由不具有導(dǎo)電性的有M料構(gòu)成的隔壁，在該隔壁圍成的區(qū)域，形成作為發(fā)光顏色不同的R發(fā)光層、G發(fā)光層、B發(fā)光層的有機(jī)EL元件。并且，以包含隔壁、覆蓋各發(fā)光層整體的方式形成陰極170,因此，通過在陽極130和陰極170之間流過規(guī)定的電流，每個有機(jī)EL元件都發(fā)出與發(fā)光層相對應(yīng)的RGB發(fā)光顏色，分別成為R像素、G像素、B像素。在本變形例中，發(fā)光層是將顯示RGB各色的熒光材料作為溶質(zhì)的功能液等、用于形成構(gòu)成有機(jī)EL元件的功能層的功能液，噴射到隔壁圍成的區(qū)域，進(jìn)行真空干燥等熱處理，形成規(guī)定厚度的膜的。因此，對于隔壁，為了使噴射的功能液留在由隔壁圍成的區(qū)域，才艮據(jù)需要對其表面實施疏液處理，通常，是由有機(jī)材料(例如，聚酰亞胺樹脂或丙烯樹脂)形成的。并且，由光刻的蝕刻法形成隔壁。在具有這樣的結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL面板中，為了抑制在陰極170中產(chǎn)生的電位差，在形成電阻低的輔助陰極160時，由于隔壁為不發(fā)光區(qū)域因此在隔壁上形成。因此，為了形成相對于有機(jī)材料粘接性低的輔助陰極160，通過在隔壁上首先通過掩膜蒸鍍形成相對于有機(jī)材料粘接性高的中間層150。然后，使用同樣掩膜，形成輔助陰極160，為了得到與輔助陰極160電連接，以覆蓋輔助陰極160和各發(fā)光層的方式形成陰極170的。當(dāng)然，如上述第2實施例，也可以通在形成構(gòu)成中間層150的1層時，同時形成陰極170,通過本變形例，形成相對于由有機(jī)材料構(gòu)成的隔壁粘接性高的中間層150。其結(jié)果，通過中間層150，能夠不會剝落地形成相對于有機(jī)材料粘接性低的輔助陰極160。并且，由于電阻高的陰極170和電阻低的輔助陰極160電連接，能夠抑制各像素中陰極170的電位差。因此，由于不能抑制從陽極130流向有機(jī)EL元件140的電流，不會降低有機(jī)EL元件140的發(fā)光亮度，能夠根據(jù)RGB各像素的發(fā)光亮度正確地顯示彩色圖像。(第2變形例)在上述實施例中，說明了相鄰的陽極130間不存在如上述第1變形例所示的隔壁的有機(jī)EL面板，并不局限于此，也可以形成隔壁。實際上，在形成有機(jī)EL元件時，使用掩膜蒸鍍有機(jī)材料。此時掩膜和蒸鍍面之間不存在間隙的情況，所使用的掩膜上粘著的微小異物很容易復(fù)制到像素部分，導(dǎo)致像素缺陷產(chǎn)生。因此，通過設(shè)定具有規(guī)定的高度的隔壁，能夠抑制像素缺陷。使用圖9對該變形例進(jìn)^^兌明。圖9是表示本變形例有機(jī)EL面板結(jié)構(gòu)的示意圖。并且省略了彩色濾光器。如圖所示，在絕緣層120上形成的陽極130的周圍，形成至少表面由不具有導(dǎo)電性的有機(jī)材料構(gòu)成的隔壁，在遍及包含該隔壁和陽極130的所有區(qū)域，形成射出白色光的有機(jī)EL元件140。并且，以覆蓋有機(jī)EL元件140整體的方式形成陰極170。在本變形例中，在具有這樣的結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL面板中，為了抑制陰極170中產(chǎn)生的電位差，在形成電阻低的輔助陰極160時，在成為不發(fā)光區(qū)域的隔壁上形成。因此，為了形成輔助陰極160，隔壁上首先通過掩膜蒸鍍形成相對于有機(jī)EL元件140的形成有機(jī)材料粘接性高的中間層150。然后，使用同樣掩膜形成輔助陰極160，為了與輔助陰極160電連接，以覆蓋輔助陰極160和各發(fā)光層的方式形成陰極170。通過本變形例，形成相對于有機(jī)EL元件140粘接性高的中間層150。其結(jié)果，通過中間層150,能夠不會剝落地形成相對于有機(jī)材料粘接性差的輔助陰極160。并且，通過電連接電阻高的陰極170和電阻低的輔助陰極160，能夠抑制各像素中陰極170的電位差。因此，由于不會抑制從陽極130流向有機(jī)EL元件140的電流，所以不會降低有機(jī)EL元件140的發(fā)光亮度，能夠根據(jù)RGB的各像素發(fā)光亮度正確地顯示彩色圖像。(其他變形例)在上述實施例中，對于能夠用于中間層的無機(jī)材料，假設(shè)采用金屬或者合金，當(dāng)然，并不特定局限于此。例如，除了金屬材料以外也可以采用鈣(Ca)。另外除了合金材料之外，還可以采用氧化硅或氮化硅。另外對于^T，除了金屬氧化物以外，也可以采用金屬氮化物。這些無機(jī)材料，在上述的表l中沒有表示，根據(jù)與上述實施例同樣調(diào)查的相對于有機(jī)材料的粘接性的測試結(jié)果，是可以得到改善粘接性效果的材料.另外，在上述實施例中，中間層采用2層無機(jī)材料層，當(dāng)然，并不特別局限于此。例如，也可以采用3層、l層。在釆用l層時，基本上^J^在形成中間層過程中同時形成陰極，但如果例如是相同的無機(jī)材料，只是膜厚不同時，也可能不用改變材料，只要交換掩膜就可以連續(xù)地進(jìn)行蒸鍍，成膜工序變?nèi)菀?。另外，在上述實施例中，對假定顯示元件射出光的方向為陰極側(cè)的頂部發(fā)光方式進(jìn)行說明，并不局限于此，也可以采用顯示元件的光射出方向射向M側(cè)的方式。此時，不形成^^射層，基H和陽極的材料采用具有透光性的材料(例如，玻璃或ITO)即可。并且，由于TFT等驅(qū)動元件，不能與發(fā)光元件平面重疊，所以不必在基仗和表示元件之間插入器件層，權(quán)利要求1.一種有機(jī)EL面板，具有發(fā)光區(qū)域和劃分該發(fā)光區(qū)域的不發(fā)光區(qū)域，該不發(fā)光區(qū)域至少表面由有機(jī)材料形成，該有機(jī)EL面板特征在于，具備中間層，其在上述不發(fā)光區(qū)域內(nèi)，在上述有機(jī)材料上形成；第1電極層，其在上述中間層上形成；第2電極層，其與上述第1電極層電連接，并形成為至少覆蓋上述發(fā)光區(qū)域；上述第1電極層，由具有比上述第2電極層小的電阻率的無機(jī)材料形成，上述中間層由無機(jī)材料形成，該無機(jī)材料對于上述有機(jī)材料具有比上述第1電極層高的粘接性。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL面板，其特征在于，上述中間層，由多層無機(jī)材料層形成。3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的有機(jī)EL面板，其特征在于，上述第2電極層由無:tMt料形成，形成上述中間層的無機(jī)材料的至少1種材料與形成上述第2電極層的無機(jī)材料相同。4.根據(jù)權(quán)利要求1~3中任意一項所述的有機(jī)EL面板，其特征在于，形成上述中間層的無機(jī)材料是金屬材料或者^材料。5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任意一項所述的有機(jī)EL面板，其特征在于，上述有機(jī)材料與構(gòu)成在上述發(fā)光區(qū)域所形成的有機(jī)EL元件的有機(jī)材料是相同的材料。6.根據(jù)權(quán)利要求1~5中任意一項所述的有機(jī)EL面板，其特征在于，上述第1電極層由多層膜構(gòu)成，上述多層膜中的1層膜的材料與上述第2電極層之間具有高的粘接性。7.—種有機(jī)EL面板的制造方法，該有機(jī)EL面板具有發(fā)光區(qū)域和劃分該發(fā)光區(qū)域的不發(fā)光區(qū)域，該不發(fā)光區(qū)域至少表面由有機(jī)材料形成，該有機(jī)EL面板的制造方法特征在于，具備在上述不發(fā)光區(qū)域內(nèi)，在上述有機(jī)材料上形成中間層的工序；在上述中間層上形成第1電極層的工序；以及形成與上述第1電極層電連接且至少覆蓋上1良光區(qū)域的第2電極層的工序，上述第1電極層，由具有比上述第2電極層小的電阻率的無機(jī)材料形成，上述中間層由無機(jī)材料形成，該無機(jī)材料對于上述有機(jī)材料具有比上述第1電極層高的粘接性。8.—種有機(jī)EL面板的制造方法，該有機(jī)EL面板具有發(fā)光區(qū)域和劃分該發(fā)光區(qū)域的不發(fā)光區(qū)域，該不發(fā)光區(qū)域至少表面由有機(jī)材料形成，該有機(jī)EL面板的制造方法特征在于，具備在上述不發(fā)光區(qū)域內(nèi)，在上述有機(jī)材料上形成中間層的工序；以及在上述中間層上形成第1電極層的工序，形成上述中間層的工序包含形成與上述第1電極層電連接且至少覆蓋上U光區(qū)域的第2電極層的工序，上述第1電極層由具有比上述第2電極層小的電阻率的無機(jī)材料形成，上述中間層由無機(jī)材料形成，該無機(jī)材料對于上述有機(jī)材料具有比上述第1電極層高的粘接性。全文摘要本發(fā)明提供一種有機(jī)EL面板及其制造方法，形成相對于有機(jī)EL元件(140)具有粘接性高的由多層疊金材料層構(gòu)成的中間層(150)。通過中間層(150)由有機(jī)材料形成輔助陰極(160)，其相對于有機(jī)材料難以脫離。能夠使輔助陰極也與陰極同樣，相對于有機(jī)材料層在與基板側(cè)相反側(cè)形成，就不必去除有機(jī)材料，使制造工序更為容易。文檔編號H01L27/32GK101483188SQ20091000303公開日2009年7月15日申請日期2009年1月8日優(yōu)先權(quán)日2008年1月10日發(fā)明者四谷真一申請人:精工愛普生株式會社