專利名稱：輸送容器及其蓋裝卸裝置、輸送容器的蓋裝卸系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將收容半導(dǎo)體晶片等薄型基板并進(jìn)行輸送的輸送容器 安裝到無塵室，在保持相互的清潔度的狀態(tài)下，對(duì)其蓋進(jìn)行裝卸的輸送 容器的蓋裝卸裝置、輸送容器及輸送容器的蓋裝卸系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
以往，有一種將輸送半導(dǎo)體晶片的被稱為FOUP ( FRONT OPENING UNIFIED POD)等的輸送容器的蓋體保持為能夠與門部件 裝卸，并且在水平方向及垂直方向兩個(gè)方向移動(dòng)的裝載口 (loadport) (例如專利文獻(xiàn)l)。
裝載口，經(jīng)過將輸送容器載置到移動(dòng)工作臺(tái)上，將輸送容器的蓋體 推靠于門部件而與之密閉接觸的工序，將輸送容器的蓋體保持于門部 件。該移動(dòng)工作臺(tái)和輸送容器通過設(shè)置在移動(dòng)工作臺(tái)上的銷、和設(shè)置在 輸送容器的底面的V字槽，來進(jìn)行鉛垂方向及水平方向的定位。
但是，在輸送容器收容直徑超過300mm左右的大口徑晶片的情況 下，裝載口需以大力推撞輸送容器的蓋體使其與門部件抵接。該情況下， 有可能使輸送容器底面的V字槽躍上移動(dòng)工作臺(tái)的銷，使得輸送容器浮 起。
專利文獻(xiàn)1:日本特開平11 - 288991號(hào)7>凈艮

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題在于，提供即使以大力將輸送容器的蓋體推靠于蓋裝 卸裝置的門部件，也能夠防止輸送容器浮起的輸送容器的蓋裝卸裝置、 輸送容器及輸送容器的蓋裝卸系統(tǒng)。
本發(fā)明通過以下的解決方法來解決課題。其中，為了容易理解，賦 予了與本發(fā)明的實(shí)施方式對(duì)應(yīng)的符號(hào)進(jìn)行說明，但不限定于此。另外，賦予符號(hào)進(jìn)行說明的結(jié)構(gòu)可以進(jìn)行適當(dāng)?shù)母牧?，也可以將至少一部分?代為其他的構(gòu)成物。
第一發(fā)明涉及一種輸送容器的蓋裝卸裝置，其使內(nèi)部被保持為高清
潔度的輸送容器(200)的開口部的蓋部件(203 )，與被保持為高清潔 度的清潔室的開口部的門部件卡合，在密閉所述兩開口部的周邊部、保 持高清潔度的狀態(tài)下，裝卸所述蓋部件，具有可供所述輸送容器載置、 能夠沿規(guī)定的移動(dòng)方向(M)移動(dòng)的工作臺(tái)(15);與所述規(guī)定的移動(dòng) 方向近似垂直地設(shè)置于所述工作臺(tái)的連結(jié)銷(15a~15c)，該連結(jié)銷與 設(shè)置于所述輸送容器下表面的V字剖面槽(205a ~ 205c)中、且近似垂 直于所述規(guī)定的移動(dòng)方向(M)的固定面(205a-l~205c-l)卡合。
第二發(fā)明根據(jù)第一發(fā)明的輸送容器的蓋裝卸裝置而提出，其中，所 述工作臺(tái)(15)的所述規(guī)定的移動(dòng)方向(M)為水平方向，所述連結(jié)銷 (15a ~ 15c)的軸向?yàn)殂U垂方向，所述固定面(205a-1~ 205c-1)是 使所述V字剖面槽(205a ~ 205c )內(nèi)凹陷而設(shè)置的凹部(205a - 2 ~ 205c -2)的鉛垂方向的內(nèi)壁。
第三發(fā)明根據(jù)第一發(fā)明的輸送容器的蓋裝卸裝置而提出，其中，所 述連結(jié)銷(15a ~ 15c)具有設(shè)置于前端部的平面部(15a-7)，通過所 述平面部與在所述輸送容器(200)的所述凹部(205a-2 ~ 205c-2) 的底部設(shè)置的平面(205a-7)面接觸，來進(jìn)行所述輸送容器的鉛垂方 向的定位。
第四發(fā)明根據(jù)第三發(fā)明的輸送容器的蓋裝卸裝置而提出，其中，具 備檢測(cè)部(1018-1、 1018-2),對(duì)所述連結(jié)銷(1015a)的所述平面部 (1015a-7)、與所述輸送容器(200)的底部的所述平面(205a - 7 ) 面接觸的情況進(jìn)行檢測(cè)。
第五發(fā)明根據(jù)第一發(fā)明的輸送容器的蓋裝卸裝置而提出，其中，具 有通過與所述V字剖面槽(205a、 205a)的斜面(205a-6、 205a - 6 ) 抵接，來進(jìn)行所述輸送容器(200)的鉛垂方向的定位的V字斜面抵接 部(811-1、 915a-8)。
第六發(fā)明根據(jù)第一發(fā)明的輸送容器的蓋裝卸裝置而提出，其中，所
6述工作臺(tái)(15)的所述規(guī)定的移動(dòng)方向(M)為水平方向，在所述連結(jié) 銷(15a~15c)的前端緣部設(shè)置有剖面形狀為錐狀的引導(dǎo)部(15a-6), 所述引導(dǎo)部(15a-6)將所述固定面(205a-1~ 205c-1)向所述連結(jié) 銷引導(dǎo)。
第七發(fā)明根據(jù)笫一發(fā)明的輸送容器的蓋裝卸裝置而提出，其中，所 述工作臺(tái)(915)的所述規(guī)定的移動(dòng)方向(M)為水平方向，在所述連 結(jié)銷(915a )的前端緣部設(shè)置有剖面形狀為圓弧狀的引導(dǎo)部(915a - 6 ), 所述引導(dǎo)部(915a-6)將所述固定面(205a-1)向所述連結(jié)銷引導(dǎo)。
第八發(fā)明根據(jù)第一發(fā)明的蓋裝卸裝置而提出，其中，具備通過與 所述V字剖面槽(205a)的斜面(205a-6)相接來將所述固定面(205a -l)向所述連結(jié)銷(815a)引導(dǎo)的基部引導(dǎo)部(811-1);將所述連結(jié) 銷保持為能夠在所述連結(jié)銷的軸向移動(dòng)的基部(811);和向使所述連結(jié) 銷沿軸向從所述基部突出的一側(cè)施力的施力部件(816);所述連結(jié)銷在 所述基部引導(dǎo)部對(duì)所述固定面進(jìn)行引導(dǎo)的過程中，通過被所述V字剖面 槽的斜面(205a-6)按壓而按入到所述基部內(nèi)部，在由所述基部引導(dǎo) 部引導(dǎo)所述固定面的狀態(tài)下，被所述施力部件施力而從所述基部突出。
第九發(fā)明根據(jù)第八發(fā)明的蓋裝卸裝置而提出，其中，具備對(duì)所述連 結(jié)銷(815a)從所述基部(811)突出的狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)部(818、 818-l、 818-2)。
第十發(fā)明根據(jù)笫八發(fā)明的輸送容器的蓋裝卸裝置而提出，其中，所 述基部引導(dǎo)部(811-1)是在將所述固定面(205a-1)向所述連結(jié)銷 (815a)引導(dǎo)的狀態(tài)下，通過與所述V字剖面槽(205a)的斜面(205a -6)抵接，來進(jìn)行所述輸送容器(200 )的鉛垂方向定位的V字斜面抵 接部(811-1 )。
第十一發(fā)明涉及一種輸送容器(200),使內(nèi)部被保持為高清潔度的 其開口部的蓋部件(203)，與被保持為高清潔度的清潔室的開口部的門 部件卡合，在密閉所述兩開口部的周邊部、保持高清潔度的狀態(tài)下，利 用蓋裝卸裝置來裝卸所述蓋部件，具有設(shè)置在該輸送容器下表面的V字 剖面槽(205a~205c)的固定面(205a - 1 ~ 205c - 1 )，該固定面與設(shè): 置在可供該輸送容器載置、且能夠沿規(guī)定的移動(dòng)方向(M)移動(dòng)的所述蓋裝卸裝置的工作臺(tái)(15)上的連結(jié)銷(15a~ 15c)卡合，其中，所述 固定面、連結(jié)銷分別設(shè)置成與所述規(guī)定的移動(dòng)方向(M)近似垂直。
第十二發(fā)明根據(jù)第十一發(fā)明的輸送容器而提出，其中，所述工作臺(tái) (15)的所述規(guī)定的移動(dòng)方向(M)為水平方向，所述固定面(205a-
l~205c-1)是4吏所述V字剖面槽(205a~205c)內(nèi)凹陷而i更置的凹部 (205a-2~205c-2)的鉛垂方向的內(nèi)壁，所述連結(jié)銷(15a ~ 15c )的
軸向?yàn)殂U垂方向。
第十三發(fā)明根據(jù)第十一發(fā)明的輸送容器而提出，其中，在所述凹部 (205a-2~205c-2)的底部具有平面(205a - 7 )，通過所述底部的平 面與設(shè)置在所述連結(jié)銷(15a~15c)的前端的平面部(15a-7)面接觸， 來進(jìn)行該輸送容器的鉛垂方向定位。
第十四發(fā)明涉及一種輸送容器的蓋裝卸系統(tǒng)，具備內(nèi)部被保持為 高清潔度的輸送容器(200 );使所述輸送容器的開口部的蓋部件(203 )， 與被保持為高清潔度的清潔室的開口部的門部件卡合，在密接所述兩開 口部的周邊部、保持高清潔度的狀態(tài)下，裝卸所述蓋部件的蓋裝卸裝置； 其中，所述蓋裝卸裝置具有設(shè)置在可供所述輸送容器載置、且能夠沿規(guī) 定的移動(dòng)方向(M)移動(dòng)的工作臺(tái)(15)上的連結(jié)銷(15a~15c)，該 連結(jié)銷被設(shè)置成與所述規(guī)定的移動(dòng)方向(M)近似垂直，所述輸送容器 具有設(shè)置于所述輸送容器下表面的V字剖面槽(205a ~ 205c)的固定面 (205a - 1 ~ 205c - 1 )，該固定面被i殳置成和所述規(guī)定的移動(dòng)方向近似 垂直，并且與所述連結(jié)銷卡合。
根據(jù)本發(fā)明可以起到以下的效果。
(1) 由于即使以大力推靠于門部件而在工作臺(tái)的移動(dòng)方向承受很 大的力量，由于設(shè)置于輸送容器的固定面會(huì)與設(shè)置于工作臺(tái)的連結(jié)銷卡 合，所以本發(fā)明可防止輸送容器的浮起。
(2) 由于工作臺(tái)的移動(dòng)方向?yàn)樗椒较?，連結(jié)銷是鉛垂方向的銷， 與輸送容器的作為鉛垂方向內(nèi)壁的固定面卡合，所以，本發(fā)明可以進(jìn)行 輸送容器水平方向的定位。
(3) 本發(fā)明通過連結(jié)銷的平面部與輸送容器的凹部的平面面接觸，來進(jìn)行輸送容器的鉛垂方向定位。即，由于輸送容器的鉛垂方向的定位 是面接觸，所以在連結(jié)銷與輸送容器的底面抵接的情況下，可以不使輸 送容器的底面凹陷，能夠提高輸送容器的耐久性。
(4) 由于本發(fā)明具備對(duì)連結(jié)銷的平面部與輸送容器底面的平面面 接觸的情況進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)部，所以，只有在正確配置了輸送容器的情 況下驅(qū)動(dòng)移動(dòng)工作臺(tái)，可防止對(duì)蓋裝卸裝置及輸送容器施加過量的負(fù) 載，從而防止它們破損。
(5) 由于本發(fā)明將連結(jié)銷保持為沿軸向可移動(dòng)，所以，在以往的 輸送容器中利用的情況下，連結(jié)銷被V字槽按入到基部，也能夠應(yīng)對(duì)以 往的輸送容器。


圖l是對(duì)本發(fā)明涉及的輸送容器的蓋裝卸裝置的第一實(shí)施方式的概 略進(jìn)行表示的立體圖。
圖2是對(duì)第一實(shí)施方式涉及的輸送容器的蓋裝卸裝置的工作臺(tái)的定 位部件進(jìn)行表示的圖。
圖3是第一實(shí)施方式的輸送容器的V字剖面槽與蓋裝卸裝置的定位 銷發(fā)生卡合的狀態(tài)下的剖面圖。
圖4是對(duì)第一實(shí)施方式的輸送容器和以往的輸送容器進(jìn)行比較說明 的圖。
圖5是第二實(shí)施方式的輸送容器的V字剖面槽與蓋裝卸裝置的定位 銷發(fā)生卡合的狀態(tài)下的剖面圖。
圖6是第二實(shí)施方式的蓋裝卸裝置的定位銷與以往的輸送容器的V 字剖面槽發(fā)生卡合的狀態(tài)下的剖面圖。
圖7是第三實(shí)施方式的蓋裝卸裝置的定位銷與輸送容器的V字剖面 槽發(fā)生卡合的狀態(tài)下的剖面圖。
圖8是第四實(shí)施方式的蓋裝卸裝置的定位銷與輸送容器的V字剖面 槽發(fā)生卡合的狀態(tài)下的剖面圖。附圖文字如下
15、 815、 915、 1015 —工作臺(tái)，15a、 15b、 15c、 815a、 915a、 1015a -定位銷，15a-l、 15b-l、 15c-l、 915a-l-固定面，100 -蓋裝卸 裝置，200-輸送容器，205a、 205b、 205c-V字剖面槽，810-定位部， 811-基部，816、 1016-施力部件，817-底蓋，818、 1018-光傳感器， 915a-6-引導(dǎo)部，1015a-8-檢測(cè)銷。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明提供即使以大力將輸送容器的蓋體推靠于蓋裝卸裝置的門 部件，也能夠防止輸送容器浮起的輸送容器的蓋裝卸裝置、輸送容器及 輸送容器的蓋裝卸系統(tǒng)，為了實(shí)現(xiàn)該目的，在輸送容器的蓋裝卸裝置中 設(shè)置了載置輸送容器并能夠移動(dòng)的工作臺(tái)；和設(shè)置于輸送容器的V字剖 面槽、與近似垂直于工作臺(tái)移動(dòng)方向的固定面卡合，并與所述移動(dòng)方向 近似垂直地設(shè)置于工作臺(tái)的連結(jié)銷。
(第一實(shí)施方式)
下面，參照附圖等對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式進(jìn)行說明。
圖l是表示本發(fā)明的輸送容器的蓋裝卸裝置的第一實(shí)施方式的圖。
輸送容器的蓋裝卸裝置100 (裝載口 )具備對(duì)輸送容器200的蓋 203進(jìn)行閉鎖(latch)的閉鎖機(jī)構(gòu)104;和i殳置于4氐清潔度的空間B側(cè)， 用于載置輸送容器200并具有3個(gè)定位銷15a、 15b、 15c及一個(gè)鎖止鍵 105d的工作臺(tái)15等，其中，所述閉鎖機(jī)構(gòu)104具有劃分出高清潔度 的空間A和低清潔度的空間B的隔板101;形成于隔板IOI，連通高清 潔度的空間A與低清潔度的空間B的開口部102;使隔板101的開口部 102開閉的門103;和i殳置于門103的兩個(gè)定位銷104a及104b和兩個(gè) T字鍵104c、 104d。
輸送容器200是內(nèi)部空間C被保持為高清潔度、且收容多個(gè)(例如 25個(gè)左右)半導(dǎo)體晶片的容器。
該輸送容器200具備容器主體201、蓋203和底面205，所述蓋 203具有設(shè)置在容器主體201的一面的開口部202;對(duì)開口部202進(jìn)行開閉，嵌合定位銷104a、 104b的銷孔204a、 204b及卡合T字鍵104c、 104d的鍵孔204c、 204d;所述底面205具有嵌合工作臺(tái)15的定位銷 15a、 15b、 15c的V字剖面槽205a、 205b、 205c及卡合鎖止鍵105d的 鍵孔205d。
當(dāng)將輸送容器200載置于工作臺(tái)15時(shí)，3個(gè)定位銷15a、 15b、 15c 嵌合到V字剖面槽205a ~ 205c中。這里，如果開啟未圖示的鎖止按鈕， 則鎖止鍵105d上升并傾斜，與鍵孔205d卡合，并且工作臺(tái)15整體向 隔板101側(cè)移動(dòng)規(guī)定距離(約30mm左右)，使得輸送容器200與隔板 101密閉接觸。在隔板IOI的開口部102及輸送容器200的開口部202 的外周，設(shè)置有未圖示的O型環(huán)等密封部件，通過密封可以保持清潔度。
對(duì)于輸送容器200而言，通過工作臺(tái)15的移動(dòng)，蓋203密閉附著 于門103,定位銷104a、 104b嵌合于蓋203的銷孔204a、 204b， T字 鍵104c、 104d進(jìn)入到鍵孔204c、 204d。然后，通過利用未圖示的旋轉(zhuǎn) 促動(dòng)機(jī)構(gòu)等使T字鍵104c、 104d旋轉(zhuǎn)卯度，拉入爪204e ~ 204h,來 解除容器主體201與蓋203的鎖止。
接著，門103通過未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)被拉入到空間A的內(nèi)側(cè)(箭頭 Dl)，并且下降(箭頭D2)，使得輸送容器200的內(nèi)部空間C和隔板lOl 的內(nèi)部空間A以保持高清潔度的狀態(tài)連通。
下面，對(duì)第一實(shí)施方式的輸送容器200及工作臺(tái)15進(jìn)行更詳細(xì)的 說明。
圖2是表示第一實(shí)施方式的輸送容器200及蓋裝卸裝置的工作臺(tái)15 的圖。
圖2 (a)是圖2 (b)的A1-A1部向視剖面圖，圖2 (b)是仰視圖。
圖3是第一實(shí)施方式的V字剖面槽205a與定位銷15a卡合的狀態(tài) 下的剖面圖，圖3 (a)是圖2 (b)的A2-A2部向視剖面圖，圖3(b) 是從長邊方向觀察V字剖面槽205a的側(cè)視剖面圖(圖2 (b)的B-B 部向視剖面圖)。如圖2(b)所示，輸送容器200具備3個(gè)V字剖面槽205a、 205b、 205c。
V字剖面槽205a、 205b被配置成隨著工作臺(tái)15到達(dá)移動(dòng)方向(箭 頭M)的蓋203側(cè)而逐漸彼此遠(yuǎn)離。另一方面，V字剖面槽205c被配 置成其長邊方向與移動(dòng)方向平行。
下面，主要對(duì)V字剖面槽205a進(jìn)行說明，而V字剖面槽205b、 205c 由于與V字剖面槽205a是同樣的形狀，所以省略說明。
如圖3所示，V字剖面槽205a由長孔205a - 2 (凹部)和斜面205a -6形成。
長孔205a - 2被設(shè)置成使V字剖面槽205a在鉛垂方向(即與移動(dòng) 方向(水平方向)垂直的方向)凹陷。如圖2(b)所示，當(dāng)觀察輸送 容器200的底面時(shí)，長孔205a-2為細(xì)長的形狀，兩端部205a - 3、 205a -4為半圓狀。
如圖3所示，對(duì)于長孔205a - 2而言，內(nèi)壁是鉛垂方向的固定面205a -l,如后所述，該固定面205a-l與定位銷15a卡合。
斜面205a - 6以錐狀設(shè)置在長孔205a - 2的全周與輸送容器200的 底面205a-5之間，傾斜角度一定。
如圖2所示，工作臺(tái)15是載置輸送容器200并移動(dòng)的部件。工作 臺(tái)15的移動(dòng)方向?yàn)樗椒较颉９ぷ髋_(tái)15具備3個(gè)定位銷15a、 15b、 15c (連結(jié)銷)。
定位銷15a、 15b、 15c被配置在與所載置的輸送容器200的V字剖 面槽205a、 205b、 205c對(duì)應(yīng)的位置。定位銷15a、 15b、 15c的軸向?yàn)?鉛垂方向，被設(shè)置成從工作臺(tái)15突出。另外，下面主要對(duì)定位銷15a 進(jìn)行說明，由于定位銷15b、 15c與定位銷15a是同樣的形狀，所以省 略說明。
如圖3所示，定位銷15a是圓柱狀的部件。定位銷15a的直徑和長 孔205a的寬度大致相同，以使定位銷15a與長孔205a卡合。如圖2(b) 所示，定位銷15a的直徑與長孔205a的兩端部205a-3、 205a-4的半圓直徑大致相同。這是由于在將輸送容器200載置到工作臺(tái)15的情況 下，當(dāng)最終定位銷15a與兩端部205a-3、 205a-4接觸時(shí)，通過使它 們面接觸，來防止它們發(fā)生破損。
如圖3所示，在定位銷15a的前端緣部，在全周范圍內(nèi)設(shè)置有引導(dǎo) 部15a-6。引導(dǎo)部15a-6的剖面形狀為錐狀。引導(dǎo)部15a-6的傾斜角 度與V字剖面槽205a的斜面205a-6的傾斜角度大致相同。由此，在 將輸送容器200載置到裝卸裝置10的工作臺(tái)15的情況下，V字剖面槽 205a的斜面205a-6在引導(dǎo)部15a-6上滑動(dòng)，固定面205a-l被向定 位銷15a引導(dǎo)，可以順利地配置輸送容器200。
接著，對(duì)輸送容器200及工作臺(tái)15的動(dòng)作進(jìn)行說明。
如圖2所示，在將輸送容器200載置到工作臺(tái)15的情況下，作業(yè) 者只要在定位銷15a、 15b、 15c的引導(dǎo)部(參照?qǐng)D3所示的引導(dǎo)部15a -6)、與V字剖面槽205a、 205b、 205c的斜面(參照?qǐng)D3所示的斜面 205a-6)相接的范圍配置輸送容器200即可。與之對(duì)應(yīng)，長孔205a-2、 205b-2、 205b-2被向定位銷15a、 15b、 15c引導(dǎo)，使得固定面205a -l、 205b —1、 205c —l與固定面15a —1、 15b —1、 15c —l卡合。
輸送容器200通過定位銷15a的固定面15a - 1與V字剖面槽205a 的固定面205a-1卡合(參照?qǐng)D2 (a))、且定位銷15b的固定面15b - 1與V字剖面槽205b的固定面205b - 1卡合，來進(jìn)行移動(dòng)方向的前 后方向上的定位。
并且，輸送容器200通過定位銷15c的固定面15c - 1與V字剖面 槽205c的固定面205c-1卡合，而被禁止在水平方向旋轉(zhuǎn)(參照箭頭 6 )，從而進(jìn)行水平方向的定位。
另一方面，在鉛垂方向上，如圖3所示，對(duì)于輸送容器200而言， 定位銷15a的前端部的平面部15a - 7與輸送容器200的長孔205a的底 部的平面205a-7抵接。對(duì)于定位銷15b及長孔205b-2、定位銷15c 及長孔205c-2也同樣。由此，輸送容器200相對(duì)工作臺(tái)15被施以鉛 垂方向的定位。另外，由于這些平面部通過面接觸承受輸送容器200的 負(fù)載，所以，可以不使輸送容器200的底面205a-5凹陷，能夠提高輸送容器200的耐久性。
在對(duì)蓋203進(jìn)行裝卸的情況下可以防止輸送容器200升起(浮起) 的理由如上所述。
圖4是對(duì)第一實(shí)施方式的輸送容器200 (圖4 (a))和以往的輸送 容器300 (圖4 (b) ~圖4 (d))進(jìn)行比較說明的圖。其中，圖4 U) 是與上述的圖3(a)同樣的剖面圖，用于進(jìn)行參考。
對(duì)于以往的輸送容器300而言，如果工作臺(tái)15向箭頭M的方向前 進(jìn)，則由于V字剖面槽305c與移動(dòng)方向平行，所以，不會(huì)特別產(chǎn)生多 余的力，但V字剖面槽305a、305b會(huì)產(chǎn)生使輸送容器300向箭頭N( Nl) 的方向升起的力。
結(jié)果如圖4 (d)所示，在輸送容器300中以定位銷15c為中心、在 箭頭P (Pl)的方向產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)力。因此，輸送容器300的前端上部會(huì)從 隔板11離開，有可能引起密封不良等。
與之相對(duì)，如圖4(a)所示，由于笫一實(shí)施方式的輸送容器200通 過在形成于其下表面的V字剖面槽205a (205b、 205c )上，i殳置垂直 的固定面205a- 1 (205b-l、 205c - 1 )，可以與定位銷15a (15b、 15c) 的垂直的固定面15a-1 (15b-1、 15c - 1)相接(結(jié)合姿勢(shì)矯正機(jī)構(gòu))， 所以，即使以水平方向的力推壓，也不會(huì)產(chǎn)生使輸送容器200升起的力。
不過， 一般情況下如果晶片直徑增大，則需要采用大型的輸送容器 及蓋，所以當(dāng)對(duì)蓋進(jìn)行裝卸時(shí)需要對(duì)輸送容器施加更大的力。因此，晶 片直徑越大，越容易發(fā)生輸送容器的浮起。
對(duì)此，本實(shí)施方式的輸送容器200由于是以與對(duì)輸送容器200施加 的力的方向垂直的方向、即鉛垂方向的定位銷15a、 15b、 15c及固定面 205a-1、 205b-1、 205c-l卡合的，所以，可有效防止浮起。
(第二實(shí)施方式)
圖5是第二實(shí)施方式的蓋裝卸裝置的定位銷815a與輸送容器200 的V字剖面槽205a卡合的狀態(tài)下的剖面圖(相當(dāng)于圖3 (a)的圖)。第二實(shí)施方式的蓋裝卸裝置對(duì)第一實(shí)施方式的定位銷15a ~ 15c進(jìn) 行了變更。
本實(shí)施方式的蓋裝卸裝置的工作臺(tái)815配置有3個(gè)定位部810。圖 5表示了其中的一個(gè)。
定位部810具備基部811、定位銷815a、施力部件816、底蓋817 和光傳感器818。
基部811是圓筒狀的部件，將定位銷815a保持為能夠沿定位銷815a 的軸線、即鉛垂方向移動(dòng)?；?11具有將固定面205a-l向定位銷815a 引導(dǎo)的基部引導(dǎo)部811 - 1 ( V字斜面抵接部)?；恳龑?dǎo)部811-1的剖 面形狀為圓弧狀，通過該圓弧與V字剖面槽205a的斜面205a-6相接， 來引導(dǎo)固定面205a-1。
基部引導(dǎo)部811 - 1通過在將固定面205a - 1向定位銷815a引導(dǎo)的 狀態(tài)下，與V字剖面槽205a的斜面205a-6抵接，從而在工作臺(tái)815 的鉛垂方向(與移動(dòng)方向垂直的方向)上對(duì)輸送容器卯O定位。
基部811，在外周具有螺紋部811-2,并通過該螺栓部811-2和 螺母812被安裝到工作臺(tái)815。
定位銷815a在與第一實(shí)施方式的定位銷15a、 15b、 15c同樣的位 置，被配置在工作臺(tái)815上。定位銷815a以能夠沿鉛垂方向移動(dòng)的方 式被保持于基部811。定位銷815a是頂面為球狀的部件，在下表面設(shè)置 有遮光部815a-7。
在定位銷815a從基部811向上側(cè)突起的狀態(tài)下，遮光部815a-7 被設(shè)定成其下端與底蓋817的下表面成為相同的位置。因此，在定位銷 815a被向基部811內(nèi)部按入的狀態(tài)下，遮光部815a-7如圖中雙點(diǎn)劃線 所示那樣從底蓋817突出。
施力部件816是收容在基部811的內(nèi)部的壓縮圓柱彈簧。對(duì)于施力 部件816而言，鉛垂方向下側(cè)的端部通過底蓋817來進(jìn)行定位，鉛垂方 向側(cè)的端部與定位銷815a的下表面抵接。由此，施力部件816向?qū)⒍?位銷815a向鉛垂方向上側(cè)頂起而從基部811的頂面突出一側(cè)施力。底蓋817是與基部811螺紋結(jié)合、作為基部811的下側(cè)的蓋的部件。 底蓋817設(shè)置有可供定位銷815a的遮光部815a - 7插通的貫通孔。
光傳感器818是發(fā)光元件818 - 1與受光元件818 - 2對(duì)置配置的檢 測(cè)部。光傳感器818配置在底蓋817的下表面。在定位銷815a的遮光 部815a-7未從底蓋817的下表面突起的情況下，受光元件818 - 2可 以接收發(fā)光元件818-1發(fā)出的光L。另一方面，在遮光部815a-7從 底蓋817的下表面突起的情況下，由于發(fā)光元件818-1的光L被遮光 部815a-7遮擋，所以，受光元件818-2無法接收光L。這才羊，光傳 感器818對(duì)遮光部815a - 7是否從底蓋817的下表面突出進(jìn)行檢測(cè)。
光傳感器818與未圖示的控制器連接，光傳感器818的檢測(cè)信號(hào)向 控制器輸出。
接著，對(duì)輸送容器200及工作臺(tái)815的動(dòng)作進(jìn)行說明。
在將輸送容器200載置到工作臺(tái)815的情況下，作業(yè)者只要在基部 引導(dǎo)部811 - 1與V字剖面槽205a的斜面205a - 6相接的范圍配置輸送 容器200即可。與之對(duì)應(yīng)，長孔205a-2被向定位銷815a引導(dǎo)，固定 面205a - 1與定位銷815a的固定面815a - 1卡合。
該情況下，在固定面205a-l通過基部引導(dǎo)部811-1被向定位銷 815a引導(dǎo)的狀態(tài)下，定位銷815a通過被V字剖面槽205a的斜面205a -6按壓而按入到基部811內(nèi)部。
與之對(duì)應(yīng)，定位銷815a的遮光部815a-7從底蓋817的下表面突 出?？刂破鞲鶕?jù)光傳感器818的輸出判斷輸送容器200未被可靠地載置 于工作臺(tái)815,不驅(qū)動(dòng)用于移動(dòng)工作臺(tái)815的移動(dòng)馬達(dá)(未圖示)，維持 工作臺(tái)815的停止?fàn)顟B(tài)。
然后，在固定面205a-l被基部引導(dǎo)部811-1引導(dǎo)的狀態(tài)下，定位 銷815a被施力部件816施力而從基部811突出(圖5的狀態(tài))。輸送容 器200通過定位銷815a來進(jìn)行相對(duì)工作臺(tái)815的水平方向的定位。
另一方面，在鉛垂方向上，通過基部引導(dǎo)部811-1與V字剖面槽 205a的斜面205a-6抵接，來進(jìn)行輸送容器200的定位。該狀態(tài)下，定位銷815a的遮光部815a-7的下端與底蓋817的下 表面成為相同的位置?？刂破鞲鶕?jù)光傳感器818的輸出判斷輸送容器 200被可靠地載置于工作臺(tái)815，然后驅(qū)動(dòng)移動(dòng)馬達(dá)，使工作臺(tái)815前 進(jìn)。
另外，輸送容器200是否被可靠地載置于工作臺(tái)815的判斷還可以 利用以下的方法來進(jìn)行。
第一方法是在工作臺(tái)815上設(shè)置光傳感器，對(duì)工作臺(tái)815的表面與 輸送容器200的底面的距離進(jìn)行測(cè)定，從而來判定容器200的有無的方 法。但是，該方法需要將傳感器的檢測(cè)誤差設(shè)置為在例如2mm左右以 內(nèi)，從設(shè)置精度及維護(hù)等方面出發(fā)不優(yōu)選。
第二方法是在銷815a 815c等上設(shè)置對(duì)容器200的負(fù)載進(jìn)行檢測(cè) 的壓力傳感器等，來判定容器200的有無的方法。但是， 一般情況下由 于壓力傳感器的檢測(cè)誤差大，所以，成為工作臺(tái)815的誤動(dòng)作的原因。 而且，由于容器200因收容物的種類等而重量不同，所以，容器200的 負(fù)栽存在偏差。因此，該方法也不優(yōu)選。
相對(duì)這些方法，本實(shí)施方式中只要判定定位銷815a是否從底蓋817 的下表面突出即可，幾乎不會(huì)發(fā)生檢測(cè)錯(cuò)誤。而且，定位銷815a的移 動(dòng)行程可確保為長孔205a-l的深度左右。因此，可以使該移動(dòng)行程、 即定位銷815a的突出量例如為5mm左右充分的長度，不要求高的設(shè)置 精度，而且維護(hù)也容易。
圖6是第二實(shí)施方式的蓋裝卸裝置的定位銷815a與以往的輸送容 器300的V字剖面槽305a發(fā)生卡合的狀態(tài)下的剖面圖(相當(dāng)于圖3(a) 的圖)。
目前已經(jīng)使用的輸送容器300不具有像輸送容器200那樣的長孔 205a-2、 205b-2、 205c - 2 (參照?qǐng)D2 )。該情況下，定位銷815a也通 過被V字剖面槽305a的斜面305a-6按壓而壓入到基部811內(nèi)部。然 后，通過基部引導(dǎo)部811-1 (V字斜面抵接部)與V字剖面槽305a的 斜面305a - 6抵接，可以進(jìn)行輸送容器300的水平方向的定位及鉛垂方 向的定位。另夕卜，在該情況下，控制器與光傳感器818的檢測(cè)信號(hào)的有無無關(guān)， 只要使工作臺(tái)815移動(dòng)即可。
由此，本實(shí)施方式的蓋裝卸裝置也可以應(yīng)對(duì)現(xiàn)有的輸送裝置300。
根據(jù)以上的說明，笫二實(shí)施方式的蓋裝卸裝置可以對(duì)輸送容器200 是否被可靠地載置到工作臺(tái)815進(jìn)行判斷，在可靠地載置的情況下使工 作臺(tái)815前進(jìn)。
并且，第二實(shí)施方式的蓋裝卸裝置可以應(yīng)對(duì)設(shè)置有長孔205a - 2、 205b-2、 205c-2的輸送容器200、和未設(shè)置這些部件的現(xiàn)有的輸送容 器300。
(第三實(shí)施方式)
圖7是笫三實(shí)施方式的蓋裝卸裝置的定位銷915a與輸送容器200 的V字剖面槽205a發(fā)生卡合的狀態(tài)下的剖面圖(相當(dāng)于圖3(a)的圖)。
本實(shí)施方式的蓋裝卸裝置的工作臺(tái)915上，在與第一實(shí)施方式的定 位銷15a、 15b、 15c同樣的位置配置有3個(gè)定位銷915a。
定位銷915a形成為由上段915a - 7和下段915a - 8構(gòu)成的兩段狀， 上段915a-7的前端緣部設(shè)置有引導(dǎo)部915a-6。引導(dǎo)部915a-6的剖 面形狀為圓弧狀，與V字剖面槽205a的斜面205a-6抵接，將V字剖 面槽205a的固定面205a-l向定位銷915a的固定面915a-1引導(dǎo)。而 且，定位銷915a的下段915a - 8 ( V字斜面抵接部)的縱剖面形狀也是 圓弧狀。
在定位銷915a的固定面915a - 1與V字剖面槽205a的固定面205a -l卡合的狀態(tài)下，輸送容器200以與第二實(shí)施方式同樣的方式進(jìn)行相 對(duì)工作臺(tái)915的定位。
即，在水平方向上，輸送容器200通過定位銷915a的固定面915a -l和長孔205a-2的固定面205a-l進(jìn)行定位。另一方面，在鉛垂方 向上，輸送容器200通過定位銷915a的下段915a - 8與V字剖面槽205a 的斜面205a-6抵接，來進(jìn)行鉛垂方向的定位。如以上說明那樣，即使定位銷915a的頂面不是平面而是圓弧狀， 本實(shí)施方式的蓋裝卸裝置也能夠進(jìn)行輸送容器200的定位。
(第四實(shí)施方式)
圖8是第四實(shí)施方式的蓋裝卸裝置的定位銷1015a與輸送容器200 的V字剖面槽205a發(fā)生卡合的狀態(tài)下的剖面圖(相當(dāng)于圖3(a)的圖)。
在本實(shí)施方式的定位銷1015a上按照能夠沿鉛垂方向移動(dòng)的方式設(shè) 置有檢測(cè)銷1015a-8。而且，定位銷1015a具備與第二實(shí)施方式的施力 部件816、光傳感器818同樣的施力部件1016、光傳感器1018。
定位銷1015a被施力部件1016向鉛垂方向上側(cè)施力。在輸送容器 200未被載置到工作臺(tái)1015上的情況下，定位銷1015a如圖中雙點(diǎn)劃線 所示那樣從平面部1015a-7突出，而且遮光部1015a-9被i更定成與底 蓋1017的下表面成為相同的位置。
另一方面，如果輸送容器200被載置于工作臺(tái)1015、固定面205a -l被引導(dǎo)部1015a-6引導(dǎo)而正常載置的話，則定位銷1015a的平面部 1015a-7與輸送容器200的底部的平面205a-7面接觸。該情況下，檢 測(cè)銷1015a-8被平面205a-7向鉛垂方向下側(cè)按壓。由此，如圖8所 示，檢測(cè)銷1015a-8被向定位銷1015a內(nèi)部壓入。另外，由于遮光部 1015a-9從底蓋1017突出，所以，受光元件1018-2無法接收發(fā)光元 件1018-1的光L。
這樣，本實(shí)施方式的蓋裝卸裝置能夠檢測(cè)出輸送容器200被載置到 工作臺(tái)1015上。
如以上說明那樣，本實(shí)施方式的蓋裝卸裝置能夠根據(jù)由發(fā)光元件 1018 — 1和受光元件1018 — 2構(gòu)成的檢測(cè)部的輸出，檢測(cè)出定位銷1015a 的平面部1015a-7與輸送容器200的底部的平面205a-7發(fā)生了面接 觸。由此，本實(shí)施方式的蓋裝卸裝置可以檢測(cè)輸送容器200是否正常地 載置到工作臺(tái)1015上。
另外，本實(shí)施方式的蓋裝卸裝置可以替代發(fā)光元件1018-l和受光 元件1018 - 2而在定位銷1015a的平面部1015a - 7具備壓力傳感器。該情況下，蓋裝卸裝置為了判定是否載置了輸送容器200，只要確認(rèn)定 位銷1015a的平面部1015a-7與輸送容器200的底部的平面205a - 7 發(fā)生面接觸所伴隨的壓力的變化即可。由此，蓋裝卸裝置能夠更可靠地 檢測(cè)出輸送容器200是否被正常地載置到工作臺(tái)1015上。
以上對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限定于上述的實(shí) 施方式，還能夠進(jìn)行各種的變形與變更，這些變形、變更也都在本發(fā)明 的技術(shù)范圍內(nèi)。另外，實(shí)施方式中記載的效果不過列舉了本發(fā)明所帶來 的最佳效果，本發(fā)明的效果不限定于實(shí)施方式記載的效果。
權(quán)利要求
1.一種輸送容器的蓋裝卸裝置，使內(nèi)部被保持為高清潔度的輸送容器的開口部的蓋部件，與被保持為高清潔度的清潔室的開口部的門部件卡合，在密閉所述兩開口部的周邊部、保持高清潔度的狀態(tài)下，裝卸所述蓋部件，其特征在于，具有可供所述輸送容器載置、能夠沿規(guī)定的移動(dòng)方向移動(dòng)的工作臺(tái)；以及與所述規(guī)定的移動(dòng)方向近似垂直地設(shè)置于所述工作臺(tái)的連結(jié)銷，該連結(jié)銷與設(shè)置于所述輸送容器下表面的V字剖面槽中、且近似垂直于所述規(guī)定的移動(dòng)方向的固定面卡合。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的輸送容器的蓋裝卸裝置，其特征在于，所述工作臺(tái)的所述規(guī)定的移動(dòng)方向?yàn)樗椒较?，所述連結(jié)銷的軸向?yàn)殂U垂方向，所述固定面是使所述V字剖面槽內(nèi)凹陷而設(shè)置的凹部的鉛垂方向的內(nèi)壁。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的輸送容器的蓋裝卸裝置，其特征在于，所述連結(jié)銷具有設(shè)置于前端部的平面部，通過使所述平面部與在所述輸送容器的所述凹部的底部設(shè)置的平面面接觸，來進(jìn)行所述輸送容器的鉛垂方向的定位。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的輸送容器的蓋裝卸裝置，其特征在于，具備檢測(cè)部，對(duì)所述連結(jié)銷的所述平面部、與所述輸送容器的底部的所述平面面接觸的情況進(jìn)行檢測(cè)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的輸送容器的蓋裝卸裝置，其特征在于，具有V字斜面抵接部，其通過與所述V字剖面槽的斜面抵接來進(jìn)行所述輸送容器的鉛垂方向的定位。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的輸送容器的蓋裝卸裝置，其特征在于，所述工作臺(tái)的所述規(guī)定的移動(dòng)方向?yàn)樗椒较?，在所述連結(jié)銷的前端緣部設(shè)置有剖面形狀為錐狀的引導(dǎo)部，所述引導(dǎo)部將所述固定面向所述連結(jié)銷引導(dǎo)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的輸送容器的蓋裝卸裝置，其特征在于，所述工作臺(tái)的所述規(guī)定的移動(dòng)方向?yàn)樗椒较?，在所述連結(jié)銷的前端緣部設(shè)置有剖面形狀為圓弧狀的引導(dǎo)部，所述引導(dǎo)部將所述固定面向所述連結(jié)銷引導(dǎo)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的輸送容器的蓋裝卸裝置，其特征在于，具備通過與所述V字剖面槽的斜面相接來將所述固定面向所述連結(jié)銷引導(dǎo)的基部引導(dǎo)部；將所述連結(jié)銷保持為能夠在所述連結(jié)銷的軸向移動(dòng)的基部；和向使所述連結(jié)銷沿軸向從所述基部突出的一側(cè)施力的施力部件；所述連結(jié)銷，在所述基部引導(dǎo)部對(duì)所述固定面進(jìn)行引導(dǎo)的過程中，通過被所述v字剖面槽的斜面按壓而按入到所述基部內(nèi)部，在由所述基部引導(dǎo)部引導(dǎo)所述固定面的狀態(tài)下，被所述施力部件施力而從所述基部突出。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的輸送容器的蓋裝卸裝置，其特征在于，具備對(duì)所述連結(jié)銷從所述基部突出的狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)部。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的輸送容器的蓋裝卸裝置，其特征在于，所述基部引導(dǎo)部是在將所述固定面向所述連結(jié)銷引導(dǎo)的狀態(tài)下，通過與所述v字剖面槽的斜面抵接，來進(jìn)行所述輸送容器的鉛垂方向定位的v字斜面抵接部。
11. 一種輸送容器，使內(nèi)部被保持為高清潔度的輸送容器的開口部的蓋部件，與被保持為高清潔度的清潔室的開口部的門部件卡合，在密閉所述兩開口部的周邊部、保持高清潔度的狀態(tài)下，利用蓋裝卸裝置來裝卸所述蓋部件，其特征在于，具有設(shè)置在該輸送容器下表面的V字剖面槽的固定面，該固定面與設(shè)置在可供該輸送容器載置、且能夠沿規(guī)定的移動(dòng)方向移動(dòng)的所述蓋裝卸裝置的工作臺(tái)上的連結(jié)銷卡合，其中，所述固定面、連結(jié)銷分別設(shè)置成與所述規(guī)定的移動(dòng)方向近似垂直。
12. 根據(jù)權(quán)利要求ll所述的輸送容器，其特征在于，所述工作臺(tái)的所述規(guī)定的移動(dòng)方向?yàn)樗椒较?，所述固定面是使所述V字剖面槽內(nèi)凹陷而設(shè)置的凹部的鉛垂方向的內(nèi)壁，所述連結(jié)銷的軸向?yàn)殂U垂方向。
13. 根據(jù)權(quán)利要求ll所述的輸送容器，其特征在于，在所述凹部的底部具有平面，通過所述底部的平面與設(shè)置在所述連結(jié)銷的前端的平面部面接觸，來進(jìn)行該輸送容器的鉛垂方向定位。
14. 一種輸送容器的蓋裝卸系統(tǒng)，具備內(nèi)部被保持為高清潔度的輸送容器和蓋裝卸裝置，該蓋裝卸裝置使所述輸送容器的開口部的蓋部件，與被保持為高清潔度的清潔室的開口部的門部件卡合，在密接所述兩開口部的周邊部、保持高清潔度的狀態(tài)下，裝卸所述蓋部件，該送容器的蓋裝卸系統(tǒng)的特征在于，所述蓋裝卸裝置具有設(shè)置在可供所述輸送容器載置、且能夠沿規(guī)定的移動(dòng)方向移動(dòng)的工作臺(tái)上的連結(jié)銷，且該連結(jié)銷被設(shè)置成與所述規(guī)定的移動(dòng)方向近似垂直，所述輸送容器具有設(shè)置于所述輸送容器下表面的V字剖面槽的固定面，該固定面被設(shè)置成與所述規(guī)定的移動(dòng)方向近似垂直，并且與所述連結(jié)銷卡合。
全文摘要
本發(fā)明提供即使以大力將輸送容器的蓋體推靠到蓋裝卸裝置的門部件上，也能夠防止輸送容器浮起的輸送容器的蓋裝卸裝置、輸送容器及輸送容器的蓋裝卸系統(tǒng)。輸送容器的蓋裝卸裝置(100)具有可供輸送容器(200)載置并能夠移動(dòng)的工作臺(tái)(15)；和與設(shè)置在輸送容器(200)的下表面的V字剖面槽(205a～205c)、近似垂直于移動(dòng)方向(M)的固定面(205a-1～205c-1)卡合，并設(shè)置于工作臺(tái)(15)，與移動(dòng)方向(M)近似垂直的定位銷(15a～15)。
文檔編號(hào)H01L21/673GK101515559SQ20091000765
公開日2009年8月26日 申請(qǐng)日期2009年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月20日
發(fā)明者永田龍彥 申請(qǐng)人:株式會(huì)社來易特制作所