專利名稱：：熱電模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及熱電模塊。更詳細(xì)地說，涉及例如在空調(diào)機(jī)、冷庫、半導(dǎo)體制造裝置、光檢測裝置、激光二極管等的溫度調(diào)節(jié)等中所使用的熱電模塊。
背景技術(shù)：
：例如，在專利文獻(xiàn)l中公開了現(xiàn)有的熱電模塊。近年來，要求熱電模塊具有高熱電特性、并且小型化。專利文獻(xiàn)l:特開2001—119076號公報(bào)但是，在使熱電模塊小型化的情況下，當(dāng)鄰接的熱電元件的間隔變小時(shí)，有可能在該鄰接的熱電元件間由未直接連接的熱電元件之間的電位差而引起電短路。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的熱電模塊具備第l基板；第2基板，其具有與上述第l基板的第1表面相隔規(guī)定距離對置的第2表面；多個(gè)熱電元件，其分別與上述第l表面和上述第2表面抵接并進(jìn)行排列；多個(gè)電極，其配設(shè)在上述第l表面和上述第2表面上、且與上述多個(gè)熱電元件的一個(gè)以上連接；以及接地電極，其配設(shè)在上述第1表面和上述第2表面的至少一方上；該熱電模塊的特征是，上述多個(gè)電極在上述第1表面和上述第2表面的至少一方中具有兩個(gè)以上電極在長度方向上排列而成的多個(gè)列，上述接地電極位于上述多個(gè)列中鄰接的兩列之間。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述結(jié)構(gòu)中的特征是，上述接地電極在上述鄰接的兩列對置的長度區(qū)域內(nèi)延伸。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述各個(gè)結(jié)構(gòu)中的特征是，該熱電模塊還具有覆蓋上述接地電極的覆蓋部件。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述結(jié)構(gòu)中的特征是，上述覆蓋部件按照填充上述鄰接的兩列之間的方式延伸。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述各個(gè)結(jié)構(gòu)中的特征是，上述多個(gè)熱電元件具有多個(gè)P型熱電元件和多個(gè)N型熱電元件。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述結(jié)構(gòu)中的特征是，上述多個(gè)電極分別與上述多個(gè)P型熱電元件的一個(gè)和上述多個(gè)N型熱電元件的一個(gè)連接，并電串聯(lián)連接上述多個(gè)P型熱電元件和上述多個(gè)N型熱電元件。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述結(jié)構(gòu)中的特征是，上述多個(gè)電極分別將其長度方向的第1端部與上述多個(gè)P型熱電元件的一個(gè)連接，將第2端部與上述多個(gè)N型熱電元件的一個(gè)連接。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述各個(gè)結(jié)構(gòu)中的特征是，上述接地電極位于鄰接的上述多個(gè)P型熱電元件的一個(gè)和上述多個(gè)N型熱電元件的一個(gè)之間。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述各個(gè)結(jié)構(gòu)中的特征是，上述接地電極的通電方向和上述多個(gè)電極中的與上述接地電極鄰接的電極的通電方向平行。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述各個(gè)結(jié)構(gòu)中的特征是，該熱電模塊還具有與上述接地電極連接的熱敏電阻(thermistor)。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述結(jié)構(gòu)中的特征是，上述熱敏電阻配設(shè)在上述第1表面和上述第2表面的至少一方上。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述結(jié)構(gòu)中的特征是，上述熱敏電阻位于上述多個(gè)列中鄰接的兩列之間。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述各個(gè)結(jié)構(gòu)中的特征是，上述多個(gè)電極都是長方形。本發(fā)明的熱電模塊具備第l基板；第2基板，其具有與上述第l基板的第1表面相隔規(guī)定距離對置的第2表面；多個(gè)熱電元件，其分別與上述第l表面和上述第2表面抵接并進(jìn)行排列；多個(gè)電極，其配設(shè)在上述第l表面和上述第2表面上、且與上述多個(gè)熱電元件的一個(gè)以上連接；以及接地電極，其配設(shè)在上述第1表面和上述第2表面的至少一方上，該熱電模塊的特征是，上述多個(gè)電極在上述第1表面和上述第2表面的至少一方中具有兩個(gè)5以上電極在長度方向上排列的多個(gè)列，上述接地電極位于多個(gè)列中鄰接的兩列之間，因此能夠降低在鄰接的熱電元件之間電流短路的可能性。這是因?yàn)槔缂词乖卩徑拥臒犭娫g產(chǎn)生了漏電流也可以使上述接地電極作為地線來發(fā)揮作用。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述結(jié)構(gòu)中，當(dāng)接地電極在鄰接的兩列對置的長度區(qū)域內(nèi)延伸時(shí)，可進(jìn)一步降低在鄰接的熱電元件之間電流短路的可能性。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述各個(gè)結(jié)構(gòu)中，當(dāng)還具有覆蓋接地電極的覆蓋部件時(shí)，可抑制接地電極的劣化，所以即使長時(shí)間使用熱電模塊，也能夠?qū)⒔拥仉姌O作為穩(wěn)定的地線來使用。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述結(jié)構(gòu)中，當(dāng)覆蓋部件按照填充鄰接的兩列之間的方式延伸時(shí)，可抑制在接地電極和電極之間產(chǎn)生漏電流本身，因此即使長期使用熱電模塊，也能夠更可靠地抑制熱電特性降低。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述各個(gè)結(jié)構(gòu)中，當(dāng)多個(gè)熱電元件具有多個(gè)P型熱電元件和多個(gè)N型熱電元件時(shí)，能夠作成可并用發(fā)熱及冷卻的熱電模塊，該熱電模塊中，多個(gè)熱電元件的一個(gè)端部為發(fā)熱部，另一端部為冷卻部。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述結(jié)構(gòu)中，當(dāng)多個(gè)電極分別與多個(gè)P型熱電元件的一個(gè)和多個(gè)N型熱電元件的一個(gè)連接，并電串聯(lián)連接多個(gè)P型熱電元件及多個(gè)N型熱電元件時(shí)，能夠容易地構(gòu)成可并用發(fā)熱及冷卻的小型熱電模塊，該熱電模塊中，多個(gè)熱電元件的一個(gè)端部為發(fā)熱部，另一端部為冷卻部。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述結(jié)構(gòu)中，當(dāng)多個(gè)電極分別將其長度方向的第1端部與多個(gè)P型熱電元件的一個(gè)連接、將第2端部與多個(gè)N型熱電元件的一個(gè)連接時(shí)，可容易地電串聯(lián)連接多個(gè)P型熱電元件及多個(gè)N型熱電元件。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述各個(gè)結(jié)構(gòu)中，當(dāng)接地電極位于鄰接的多個(gè)P型熱電元件的一個(gè)和多個(gè)N型熱電元件的一個(gè)之間時(shí)，可確保原來相互電獨(dú)立的P型熱電元件的一個(gè)和N型熱電元件的一個(gè)之間絕緣。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述各個(gè)結(jié)構(gòu)中，當(dāng)接地電極的通電方向和多個(gè)電極中的與接地電極鄰接的電極的通電方向平行時(shí)，可抑制在鄰接的電極間的電氣短路。另外，在將熱電模塊用作對高頻電路尤其是調(diào)制器進(jìn)行冷卻的情況下，能夠抑制在高頻電路尤其是調(diào)制器中發(fā)生的高頻分量作為噪聲信號施加給熱電模塊的電路。結(jié)果，能夠提高熱電模塊的熱電性能。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述各個(gè)結(jié)構(gòu)中，當(dāng)還具有與接地電極連接的熱敏電阻時(shí)，可將接地電極用作熱敏電阻的電路的一部分，并且即使在產(chǎn)生了漏電流的情況下也能夠抑制熱敏電阻的測量精度降低。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述結(jié)構(gòu)中，當(dāng)熱敏電阻配設(shè)在第l表面和第2表面的至少一方時(shí)，可通過熱敏電阻來高精度地控制熱電模塊的溫度。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述結(jié)構(gòu)中，當(dāng)熱敏電阻位于多個(gè)列中鄰接的兩列之間時(shí)，例如，可設(shè)置為使熱敏電阻與接地電極連接，由此，可將接地電極用作熱敏電阻的電路的一部分，即使在發(fā)生了漏電流的情況下也可以抑制熱敏電阻的測量精度降低。另外，本發(fā)明的熱電模塊在上述各個(gè)結(jié)構(gòu)中，當(dāng)多個(gè)電極的各個(gè)電極都是長方形時(shí)，可容易地電串聯(lián)連接多個(gè)P型熱電元件及多個(gè)N型熱電元件。尤其，容易在第l基板和第2基板上形成多個(gè)電極，且立體電路狀地電串聯(lián)連接多個(gè)P型熱電元件和多個(gè)N型熱電元件。圖l是表示本發(fā)明第l實(shí)施方式的熱電模塊的部分欠缺立體圖。圖2是針對圖1所示的第1實(shí)施方式的熱電模塊中的基體表面平行的截面圖。圖3是針對本發(fā)明第2實(shí)施方式的熱電模塊中的基體表面平行的截面圖。圖4是圖3所示的第2實(shí)施方式的變形例，是針對基體表面平行的截面圖。圖5是針對本發(fā)明第3實(shí)施方式的熱電模塊中的基體表面平行的截面圖。圖6(a)是針對圖5所示的第3實(shí)施方式的熱電模塊中的基體表面垂直的截面圖。(b)是圖6(a)所示截面的、放大了配置有接地電極的部分的放大截面圖。圖7是針對本發(fā)明第4實(shí)施方式的熱電模塊中的基體表面垂直的截面，是放大了配置有接地電極的部分的放大截面圖。圖8是針對圖1所示的第1實(shí)施方式的熱電模塊的變形例中的基體表面平行的截面圖。符號說明I、熱電模塊3、熱電元件3a、P型熱電元件3b、N型熱電元件5、第l電極7、第2電極9、接地電極II、基體lla、基體(第l基板)llb、基體(第2基板)13、熱敏電阻17、覆蓋部件19、取出電極21、熱傳導(dǎo)部件23、電路30、電極列l(wèi)lla、第l基板的第l表面lllb、第2基板的第2表面具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對本發(fā)明的熱電模塊進(jìn)行詳細(xì)的說明,8<第1實(shí)施方式>圖1以及圖2示出本發(fā)明第1實(shí)施方式所涉及的熱電模塊。本實(shí)施方式的熱電模塊l具備多個(gè)熱電元件3，其被一對基體lla、lib(第l基板lla、第2基板llb)所夾持；以及多個(gè)長方形的電極5、7(第l電極5、第2電極7)，其分別形成在一對基體lla、11b的熱電元件3側(cè)的表面(第1表面、第2表面)上，并電串聯(lián)連接多個(gè)熱電元件3;多個(gè)電極5、7包含多個(gè)在長度方向上排列的列30，在鄰接的列30之間的基體lla、lib的表面上設(shè)有接地電極9，該接地電極9位于多個(gè)列30中的鄰接的兩個(gè)列之間。艮P，熱電模塊l具備第l基板lla;第2基板llb，其具有與第l基板lla的第l表面llla隔著規(guī)定距離對置的第2表面lllb;多個(gè)熱電元件3，其分別與第l表面llla及第2表面lUb抵接并進(jìn)行排列；多個(gè)電極5、7，其配設(shè)在第l表面llla及第2表面lllb上、且與多個(gè)熱電元件3中的一個(gè)以上熱電元件連接；以及接地電極9，其配設(shè)在第l表面llla及第2表面lllb的至少一方上；多個(gè)電極5、7在第l表面llla及第2表面lllb的至少一方上具有多個(gè)列30，該多個(gè)列30由兩個(gè)以上電極在長度方向上排列而成，接地電極9位于多個(gè)列30中鄰接的兩列之間。通過上述結(jié)構(gòu)，可降低在鄰接的熱電元件3之間的電流短路的可能性。這是因?yàn)椋缂词乖卩徑拥臒犭娫?之間產(chǎn)生漏電流，也可以將接地電極9作為地線發(fā)揮作用。另外，熱電模塊1優(yōu)選接地電極9在鄰接的兩列30對置的長度區(qū)域內(nèi)延伸。在此情況下，可進(jìn)一步降低在鄰接的熱電元件3之間的電流短路的可能性。另外，第1電極5與熱電元件3的一個(gè)端部電連接，第2電極7與熱電元件3的另一端部電連接。(熱電元件)在本實(shí)施方式中，使用電動(dòng)勢表示正的P型熱電元件3a和電動(dòng)勢表示負(fù)的N型熱電元件3b這兩種熱電元件來作為熱電元件3。這些P型熱電元件3a及N型熱電元件3b有間隔地交互排列，鄰接的P型熱電元件3a和N型熱電元件3b由第1電極5及第2電極7進(jìn)行連接，以進(jìn)行電串聯(lián)連接。9作為熱電元件3優(yōu)選熱電特性高的熱電元件，具體地說最好應(yīng)用包含從Bi、Sb、Te及Se群中選擇的兩種以上元素的合金。在熱電模塊1上所配設(shè)的多個(gè)熱電元件3經(jīng)由取出電極19與外部電源電連接。當(dāng)多個(gè)熱電元件3具有多個(gè)P型熱電元件3a和多個(gè)N型熱電元件3b時(shí)，能夠?qū)犭娔Kl制成可并用發(fā)熱及冷卻的熱電模塊，該熱電模塊中，多個(gè)熱電元件3的一個(gè)端部為發(fā)熱部，另一端部為冷卻部。(基體(第l基板))基體(第l基板)lla可在其表面(第l表面llla)上固定第1電極5和接地電極9。由此，第1電極5和接地電極9的間隔穩(wěn)定，所以能夠減小產(chǎn)生漏電流或放電的可能性。在基體lla中可采用例如氧化鋁陶瓷、氮化鋁陶瓷、玻璃陶瓷、耐熱塑料這樣具有絕緣性的物質(zhì)。尤其優(yōu)選采用由廉價(jià)且熱膨脹率與熱電元件3接近的物質(zhì)、例如以氧化鋁為主要成分的氧化鋁陶瓷構(gòu)成的基體lla。在基體lla中，在與固定有第l電極5及接地電極9的第l表面llla相反側(cè)的表面上可配設(shè)有熱傳導(dǎo)部件21。由此，可高效地發(fā)熱或吸熱，所以能夠提高熱電效率。作為熱傳導(dǎo)部件21優(yōu)選采用熱傳導(dǎo)性高于基體lla的部件，例如可釆用Cu、Al等低電阻金屬。尤其，熱傳導(dǎo)部件21優(yōu)選與第1電極5相同的材質(zhì)。在此情況下，兩者的熱膨脹率是相同的，所以能夠抑制應(yīng)力集中到第l電極5和基體lla的接合面以及熱傳導(dǎo)部件21和基體lla的接合面上。(接地電極)如上所述，接地電極9配設(shè)在第l基板lla的表面(第l表面llla)上。另外，由于接地電極9接地，所以接地電極9和第1電極5之間的電位差大于鄰接的第1電極5之間的電位差。因此，可降低在鄰接的第1電極5之間發(fā)生短路的可能性。結(jié)果，可減小與鄰接的第1電極5分別連接的熱電元件3彼此的間隔，所以能夠使熱電模塊l小型化，且不會使熱電變換效率降低。由此例如，即使在熱電元件3間發(fā)生由冷卻所導(dǎo)致的結(jié)露這樣的使用環(huán)境下，也會使漏電流流入接地電極9，所以能夠抑制結(jié)露所引起的在熱電元件3之間發(fā)生短路的情況。作為接地電極9可采用例如CU、Al等導(dǎo)電性高的物質(zhì)。另外，優(yōu)選采用熱傳導(dǎo)性高于基體lla、llb的物質(zhì)。由此，可將接地電極9作為媒介來傳導(dǎo)熱，所以能夠減小基體lla、llb的熱分布偏差。尤其，接地電極9優(yōu)選由與第1電極5相同的組成構(gòu)成。通過對熱電模塊1的熱電元件3通電，使熱電元件3的一個(gè)端部以及另一端部的某一個(gè)發(fā)熱，另一個(gè)吸熱。因此，固定有第l電極5的基體lla成為發(fā)熱部或吸熱部，接地電極9及第1電極5膨脹或收縮。此時(shí)，如果接地電極9和第1電極5是相同組成、相同熱膨脹率，則可抑制兩者所產(chǎn)生的應(yīng)力的偏差。另外，優(yōu)選接地電極9中的通電方向和與該接地電極9鄰接的第1電極5中的通電方向平行。因?yàn)闊犭娔Kl的電路形態(tài)為直流電路，所以通過接地電極9處于與熱電模塊1的電路平行，能夠抑制在鄰接的第1電極5之間的電短路。這樣的、使接地電極9位于與熱電模塊1的電路平行的結(jié)構(gòu)，可適用于將熱電模塊l用作對高頻電路尤其是調(diào)制器進(jìn)行冷卻的情況。從而能夠抑制在高頻電路尤其是調(diào)制器中發(fā)生的高頻分量作為噪聲信號施加給熱電模塊l的電路。結(jié)果，能夠提高熱電模塊l的熱電性能。另外，還可將鄰接的熱電元件3之間的距離配置為小于鄰接的第1電極5之間的距離。在該情況下，接地電極9位于熱電元件3之間，因此能夠抑制在上述的熱電元件3之間發(fā)生電短路。作為例子舉出了以下的情況，在熱電元件3的形狀是梭形或球形時(shí)，針對與后述的基體lla、llb的表面垂直的方向，熱電元件3端部的寬度小于熱電元件3中央部的寬度。接地電極9可位于鄰接的多個(gè)P型熱電元件3a的一個(gè)和多個(gè)N型熱電元件3b的一個(gè)之間。在該情況下，可確保原來相互電獨(dú)立的P型熱電元件3a的一個(gè)和N型熱電元件3b的一個(gè)之間絕緣。(基體(第2基板))如圖1及圖2所示，熱電模塊l具有基體(第2基板)llb，在基體llb中，可在其第2表面lllb上固定第2電極7。結(jié)果，可通過基體lla及基體llb夾持熱電元件3、第1電極5及第2電極7，因此能夠確保熱電模塊l的形狀穩(wěn)定。與基體lla同樣，也可在固定了基體llb的第2電極7的第2表面lllb上配設(shè)接地電極9。通過在基體lla及基體llb的各個(gè)表面llla、lllb上配設(shè)接地電極9，即使在熱電模塊l的電路形態(tài)為立體電路的情況下，也能夠抑制電短路的發(fā)生。也可將配設(shè)到基體llb表面上的接地電極9和配設(shè)到基體lla表面上的接地電極9采用導(dǎo)體進(jìn)行電連接。由此，即使在漏電流流入一個(gè)接地電極9的情況下，也能夠使漏電流分散到另一個(gè)接地電極9，從而提高接地電極9的耐久性。尤其優(yōu)選利用上述導(dǎo)體來保持在基體lla及基體llb的各個(gè)表面llla、111b上配設(shè)的接地電極9。由此，能夠更穩(wěn)定地固定接地電極9，所以可進(jìn)一步抑制在立體電路中發(fā)生電短路。與基體Ua同樣，在基體llb中優(yōu)選在與固定有第2電極7的表面lllb相反側(cè)的表面上配設(shè)熱傳導(dǎo)部件21。(第1電極及第2電極)如上所述，第l電極5被配設(shè)到基體lla的表面llla上，第2電極7被配設(shè)到基體llb的表面lllb上。作為第l電極5及第2電極7可采用如Cu、Al等的低電阻金屬。為了避免腐蝕、并且提高利用接合部件與熱電元件3接合時(shí)的可濕性，優(yōu)選對第l電極5及第2電極7進(jìn)行例如基于鍍Ni、鍍Au等的鍍處理。另外，第1電極5及第2電極7的形狀不限于上述長方形，例如，帶狀、楕圓形、或?qū)挾确较虻囊徊糠职既氲男螤畹?，在本?shí)施方式的主旨范圍內(nèi)能夠適當(dāng)變更。多個(gè)電極5、7的各個(gè)電極最好是長方形，這樣容易電串聯(lián)地連接多個(gè)P型熱電元件3a及多個(gè)N型熱電元件3b。尤其容易在第l基板lla及第2基板11b上形成多個(gè)電極5、7，且立體電路狀地電串聯(lián)連接多個(gè)P型熱電元件3a及多個(gè)N型熱電元件3b。另外，多個(gè)熱電元件3可具有多個(gè)P型熱電元件3a和多個(gè)N型熱電元件3b。在此情況下，能夠制成可并用發(fā)熱及冷卻的熱電模塊l，該熱電模塊中，多個(gè)熱電元件3的一個(gè)端部為發(fā)熱部，另一個(gè)端部為冷卻部。另外，多個(gè)電極5、7分別與多個(gè)P型熱電元件3a的一個(gè)以及多個(gè)N型熱電元件3b的一個(gè)連接，這樣能夠電串聯(lián)連接多個(gè)P型熱電元件3a及多個(gè)N型熱電元件3b。在此情況下，能夠容易地構(gòu)成可并用發(fā)熱及冷卻的小型熱電模塊l，該熱電模塊中，多個(gè)熱電元件3的一個(gè)端部為發(fā)熱部，另一端部為冷卻部。12另外，多個(gè)電極5、7分別在其長度方向的第1端部與多個(gè)P型熱電元件3a的一個(gè)連接，在第2端部與多個(gè)N型熱電元件3b的一個(gè)連接。在該情況下，可容易地電串聯(lián)連接多個(gè)P型熱電元件3a及多個(gè)N型熱電元件3b。(接合部件)本發(fā)明中還可具有接合熱電元件3、和第1電極5及第2電極7的接合部件。作為接合部件例如舉出包含Au、Sn、Ag、Cu、Zn、Sb、Pb、In或Bi的焊錫，包含Ag、Cu、Zn、Ti或Al的焊料，包含Ag膠的導(dǎo)電性粘著劑。尤其優(yōu)選比較容易變形的焊錫。這是因?yàn)橥ㄟ^緩和在熱電模塊l的兩面所產(chǎn)生的較大溫差而引起的熱應(yīng)力，可以提高對冷熱反復(fù)的耐久性。對本實(shí)施方式的熱電模塊l可實(shí)施如以下所例示的各種變更。第l，如圖8所示在接地電極9被引出到基體lla、llb的邊緣部時(shí)，優(yōu)選該邊緣部的寬度大于其以外部位的寬度。此時(shí)，即使在漏電流流入接地電極9的情況下，也能夠經(jīng)由與接地電極9中的基體lla、llb的邊緣部的幅寬部分連接的外部端子等，有效地使漏電流向基體lla、llb的外部導(dǎo)出。第2，接地電極9優(yōu)選被設(shè)置到在基體lla、llb的表面上形成的溝槽中。此時(shí)，即使在熱電元件3之間產(chǎn)生冷卻所導(dǎo)致的結(jié)露，也能夠使結(jié)露所產(chǎn)生的水分留在溝槽內(nèi)所形成的接地電極9上，從而可抑制該水分存在于鄰接的熱電元件3之間。結(jié)果，能夠進(jìn)一步抑制在熱電元件3之間發(fā)生電短路。第3，接地電極9優(yōu)選將形成在基體lla、llb表面上的縱截面形狀設(shè)計(jì)成凸形的壩狀部。此時(shí)，即使在熱電元件3之間產(chǎn)生冷卻所導(dǎo)致的結(jié)露，也能夠利用在梯狀部中形成的接地電極9來阻止由結(jié)露而產(chǎn)生的水分，從而可抑制該水分存在于鄰接的熱電元件3之間。結(jié)果，能夠進(jìn)一步抑制在熱電元件3間產(chǎn)生電短路。第4，接地電極9優(yōu)選表面被疏水性的樹脂等覆蓋。此時(shí)，即使在熱電元件3之間產(chǎn)生冷卻所導(dǎo)致的結(jié)露，也能夠被接地電極9表面的有疏水性的樹脂等所阻止，從而能夠抑制由結(jié)露所產(chǎn)生的水分存在于鄰接的熱電元件3之間。結(jié)果，能夠進(jìn)一步抑制在熱電元件3間產(chǎn)生電短路。<第2實(shí)施方式>圖3及圖4示出本發(fā)明第2實(shí)施方式的熱電模塊。另外，在本實(shí)施方式中僅對與前述的第l實(shí)施方式不同的點(diǎn)進(jìn)行說明，對同樣的構(gòu)成要素使用相同的參照符號，并省略重復(fù)的說明。在本實(shí)施方式的熱電模塊l中，接地電極9被設(shè)置在與熱電模塊1的電路平行的多個(gè)位置。從而，與第l實(shí)施方式相比，能夠進(jìn)一步抑制電短路的發(fā)生。尤其如圖4所示，優(yōu)選在全部鄰接的第1電極5之間設(shè)置接地電極9。從而，與圖3所示的實(shí)施方式相比，能夠進(jìn)一步抑制電短路的發(fā)生。<第3實(shí)施方式〉圖5及圖6示出本發(fā)明第3實(shí)施方式的熱電模塊。另外，在本實(shí)施方式中僅對與前述的第l實(shí)施方式不同的點(diǎn)進(jìn)行說明，對同樣的構(gòu)成要素采用相同的參照符號，并省略重復(fù)的說明。在本實(shí)施方式的熱電模塊中，除了第l實(shí)施方式所述的之外，還具有與接地電極9連接的熱敏電阻13。由此，接地電極9可作為熱敏電阻13的電路23的一部分使用，并且即使在發(fā)生漏電流的情況下也能夠抑制熱敏電阻13的測量精度降低。熱敏電阻13可配設(shè)在第l表面llla及第2表面lllb的至少一方上。此時(shí)，可利用熱敏電阻13來高精度地控制熱電模塊1的溫度。另外，熱敏電阻13可位于多個(gè)列30中的鄰接兩列之間。在此情況下，例如，可設(shè)置成使熱敏電阻13與接地電極9連接，由此，可將接地電極9作為熱敏電阻13的電路的一部分進(jìn)行使用，并且在發(fā)生漏電流的情況下也能夠抑制熱敏電阻13的測量精度降低。另外，如圖6(b)所示，還可具有覆蓋接地電極9的覆蓋部件17。由此，可抑制接地電極9的劣化，所以即使長時(shí)間地使用熱電模塊，也能夠?qū)⒔拥仉姌O9用作穩(wěn)定的地線。作為覆蓋部件17可采用具有絕緣性的物質(zhì)。具體地說，可釆用氧化鋁陶瓷、氮化鋁陶瓷、玻璃陶瓷或樹脂。尤其，通過采用的彈性比較高的樹脂，可相應(yīng)于基體lla的膨脹或收縮來進(jìn)行膨脹或收縮，從而能夠抑制應(yīng)力集中到覆蓋部件17上。此外，采用如環(huán)氧樹脂這樣的耐熱塑料是更有效的。因?yàn)榄h(huán)氧樹脂抗?jié)裥院?，所以能夠進(jìn)一步減小由于外部氣體而使接地電極9變質(zhì)的可能性。另外，覆蓋部件17為與基體lla相同材質(zhì)的情況也是有效的。在該情況下，能夠提高覆蓋部件17和基體lla的接合性。由此，可減小覆蓋部件17從基體lla上剝離而使接地電極9露出的可能性。另外，由于兩者的熱膨脹率相同，所以在熱電模塊i通電時(shí)，能夠抑制應(yīng)力集中到覆蓋部件n和基體lla的接合面上。<第4實(shí)施方式>圖7示出本發(fā)明第4實(shí)施方式的熱電模塊。另外，在本實(shí)施方式中僅對與前述的第3實(shí)施方式不同的點(diǎn)進(jìn)行說明，對同樣的構(gòu)成要素采用相同的參照符號，并省略重復(fù)的說明。在本實(shí)施方式的熱電模塊l中，絕緣性的部件(覆蓋部件17)被填充至接地電極9和第1電極5之間。從而，可抑制在接地電極9和第1電極5之間產(chǎn)生漏電流本身。另外，即使假設(shè)在覆蓋部件17的絕緣性降低的情況下，也具有可將漏電流導(dǎo)出使其流入接地電極9這樣的上述效果，所以即便長期地使用熱電模塊l也能夠更有效地抑制熱電特性的降低。覆蓋部件17優(yōu)選按照填充鄰接的兩列30之間的方式延伸。在該情況下，可抑制在接地電極9和電極5之間產(chǎn)生漏電流本身，所以即便長期地使用熱電模塊l也能夠更可靠地抑制熱電特性降低。以上，對本發(fā)明采用多個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行了說明，不過本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)可進(jìn)行各種變更。例如，在上述實(shí)施方式中采用了四角柱狀的熱電元件3，不過也可以采用多角柱狀的熱電元件3以及圓柱狀的熱電元件3。實(shí)施例1按照以下方式制作了熱電模塊。分別熔融由Bi、Te和Se構(gòu)成的N型熱電材料以及由Bi、Sb及Te構(gòu)成的P型溶制材料，利用布里奇曼法(Bridgmanmethod)使其向一個(gè)方向凝固，來準(zhǔn)備了縱截面直徑為cpO.8mm的棒狀的N型材料及P型材料。然后，為了成為厚度1.5mm，而利用線鋸(wiresaw)來切斷這些N型材料及P型材料，而獲得了N型熱電元件及P型熱電元件。針對獲得的N型熱電元件及P型熱電元件，利用電鍍來僅在橫截面上形成鎳層，并在其上配設(shè)了Au層。隨后，準(zhǔn)備了基板(尺寸12mmxl2mm)作為布線了作為配線導(dǎo)體且厚度105pm的銅的基體。在該配線導(dǎo)體上采用15金屬掩模來涂敷了80Au—20Sn(80質(zhì)量^Au—20質(zhì)量^Sn)的焊錫膠。在該焊錫膠上配設(shè)了N型熱電元件及P型熱電元件，使其成為24對電串聯(lián)。另外，在另一配線導(dǎo)體上使用金屬掩模來涂敷了80Au—20Sn的焊錫膠。隨后，禾I」用2片基板來夾入如上那樣排列了的N型熱電元件和P型熱電元件。然后，對兩片基板的上下面施加應(yīng)力(壓力)并且利用回流爐來加熱處理。最后，利用連結(jié)部件將支持基板和熱交換器進(jìn)行連結(jié)從而獲得了熱電模塊。試樣編號1未設(shè)置接地電極9，試樣編號24分別如圖2圖4所示設(shè)有接地電極9。試樣編號5如圖5所示連接有熱敏電阻。接地電極9的線寬為0.3mm，利用環(huán)氧樹脂來覆蓋接地電極9的表面。采用如上這樣制作出的熱電模塊進(jìn)行了通電評價(jià)。作為熱電模塊的通電評價(jià)，首先對施加了頻率lkHz的電壓時(shí)的熱電模塊的電阻值進(jìn)行測量。然后，采用恒溫槽在零下2(TC的溫度條件下，通入2V的直流電壓，以驅(qū)動(dòng)熱電模塊。而且，在25。C的溫度條件下同樣通入2V的直流電壓，以驅(qū)動(dòng)熱電模塊。由此，在熱電模塊內(nèi)強(qiáng)制地產(chǎn)生結(jié)露。然后，對在內(nèi)部產(chǎn)生了結(jié)露的熱電模塊通入2V的直流電壓，以驅(qū)動(dòng)熱電模塊。然后，再次測量施加了頻率lkHz的電壓時(shí)的熱電模塊的電阻值。結(jié)果如表l所示。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>試樣編號l的熱電模塊不具有接地電極，所以在熱電元件間的一部分中發(fā)生電短路，熱電模塊的電阻值發(fā)生變化。當(dāng)在測量后分解試樣編號l的熱電模塊來進(jìn)行觀察時(shí)，在上述電極間確認(rèn)了表示在鄰接的第l電極間產(chǎn)生電短路的變色部。另外，可知跳躍連接了8對熱電元件。另一方面，在試樣編號25的熱電模塊中具有接地電極，所以成功防止了在熱電元件間的電短路。因此，熱電模塊的電阻值幾乎沒有變化。另外，采用試樣編號5的熱敏電阻來計(jì)測熱電模塊的溫度，結(jié)果示出與恒溫槽溫度相同的溫度，從而成功確認(rèn)了可正確地計(jì)測溫度的情況。實(shí)施例2此外，針對試樣編號25的熱電模塊，首先在送風(fēng)烘干機(jī)中用8(TC的溫度進(jìn)行l(wèi)小時(shí)烘干，以完全去除已結(jié)露的水分。接著，采用恒溫槽，再次以25"C的溫度條件，對各個(gè)熱電模塊通入2V的直流電壓，驅(qū)動(dòng)100小時(shí)。然后，再次測量在施加了頻率lkHz的交流電壓后的各個(gè)熱電模塊的電阻值。結(jié)果如表2所示。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>根據(jù)表2，試樣編號25的熱電模塊可通過完全去除由結(jié)露在表面所產(chǎn)生的水分，由此沒有發(fā)生由水分所導(dǎo)致的漏電流，成為結(jié)露前模塊的電阻值。以上，本發(fā)明的熱電模塊具有接地電極，所以在發(fā)生了結(jié)露的環(huán)境中也能夠防止熱電元件間的短路，另外，可確認(rèn)為具有如下特性的熱電模塊，該特性是即使進(jìn)行連續(xù)驅(qū)動(dòng)其電阻值也不發(fā)生變化的極穩(wěn)定的特性。權(quán)利要求1.一種熱電模塊，具備第1基板；第2基板，其具有與上述第1基板的第1表面相隔規(guī)定距離而對置的第2表面；多個(gè)熱電元件，其分別與上述第1表面和上述第2表面抵接并進(jìn)行排列；多個(gè)電極，其配設(shè)在上述第1表面和上述第2表面上且與上述多個(gè)熱電元件的一個(gè)以上連接；以及接地電極，其配設(shè)在上述第1表面和上述第2表面的至少一方上；上述多個(gè)電極在上述第1表面和上述第2表面的至少一方中具有兩個(gè)以上電極在長度方向上排列而成的多個(gè)列，上述接地電極位于上述多個(gè)列中鄰接的兩列之間。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的熱電模塊，其特征在于，上述接地電極在上述鄰接的兩列相對置的長度區(qū)域內(nèi)延伸。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱電模塊，其特征在于，該熱電模塊還具有覆蓋上述接地電極的覆蓋部件。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的熱電模塊，其特征在于，上述覆蓋部件按照填充上述鄰接的兩列之間的方式延伸。5.根據(jù)權(quán)利要求14中任一項(xiàng)所述的熱電模塊，其特征在于，上述多個(gè)熱電元件包括多個(gè)P型熱電元件和多個(gè)N型熱電元件。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的熱電模塊，其特征在于，上述多個(gè)電極分別與上述多個(gè)P型熱電元件的一個(gè)和上述多個(gè)N型熱電元件的一個(gè)連接，并電串聯(lián)連接上述多個(gè)P型熱電元件和上述多個(gè)N型熱電元件。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的熱電模塊，其特征在于，上述多個(gè)電極，分別在其長度方向的第1端部與上述多個(gè)P型熱電元件的一個(gè)連接，在第2端部與上述多個(gè)N型熱電元件的一個(gè)連接。8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的熱電模塊，其特征在于，上述接地電極位于鄰接的上述多個(gè)P型熱電元件的一個(gè)和上述多個(gè)N型熱電元件的一個(gè)之間。9.根據(jù)權(quán)利要求l所述的熱電模塊，其特征在于，上述接地電極中的通電方向和上述多個(gè)電極中的與上述接地電極鄰接的電極中的通電方向平行。10.根據(jù)權(quán)利要求l所述的熱電模塊，其特征在于，該熱電模塊還具有與上述接地電極連接的熱敏電阻。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的熱電模塊，其特征在于，上述熱敏電阻配設(shè)在上述第1表面和上述第2表面的至少一方上。12.根據(jù)權(quán)利要求ll所述的熱電模塊，其特征在于，上述熱敏電阻位于上述多個(gè)列中鄰接的兩列之間。13.根據(jù)權(quán)利要求l所述的熱電模塊，其特征在于，上述多個(gè)電極都是長方形。全文摘要本發(fā)明提供一種熱電模塊(1)，具備具有第1表面(111a)的第1基板(11a)；具有與第1表面(111a)對置的第2表面(111b)的第2基板(11b)；分別與第1表面(111a)和第2表面(111b)抵接并排列的多個(gè)熱電元件(3)；配置在第1表面(111a)和第2表面(111b)上且與多個(gè)熱電元件(3)的一個(gè)以上連接的多個(gè)電極(5、7)；以及配設(shè)在第1表面(111a)和第2表面(111b)的至少一方上的接地電極(9)；多個(gè)電極(5、7)在第1表面(111a)和第2表面(111b)的至少一方中具有兩個(gè)以上電極在長度方向上排列的多個(gè)列(30)，接地電極(9)位于多個(gè)列(30)中鄰接的兩列之間。文檔編號H01L25/04GK101499466SQ200910009739公開日2009年8月5日申請日期2009年1月23日優(yōu)先權(quán)日2008年1月29日發(fā)明者岡村健申請人:京瓷株式會社